積層シートの製造装置及び製造方法
【課題】樹脂フィルムに金属蒸着膜と蒸着重合膜とが積層形成された積層シートを低コストに且つ優れた作業性をもって有利に製造し得る技術を提供する。
【解決手段】排気パイプ２４と真空ポンプ２６によって真空状態とされる真空槽２２内に、巻出し及び巻取りローラ２８，３０と第一、第二、及び第三のローラ３２，３４，３６とを設置すると共に、第一のローラの周面上で、樹脂フィルムの一方の面上に、第一の金属薄膜を形成せしめる第一の金属蒸着手段と、第二のローラの周面上で、第一の金属薄膜上に、樹脂薄膜を形成せしめる蒸着重合手段と、第三のローラの周面上で、樹脂フィルムの他方の面上に、第二の金属薄膜を形成せしめる第二の金属蒸着手段とを更に設置して、製造装置２０を構成する。
【解決手段】排気パイプ２４と真空ポンプ２６によって真空状態とされる真空槽２２内に、巻出し及び巻取りローラ２８，３０と第一、第二、及び第三のローラ３２，３４，３６とを設置すると共に、第一のローラの周面上で、樹脂フィルムの一方の面上に、第一の金属薄膜を形成せしめる第一の金属蒸着手段と、第二のローラの周面上で、第一の金属薄膜上に、樹脂薄膜を形成せしめる蒸着重合手段と、第三のローラの周面上で、樹脂フィルムの他方の面上に、第二の金属薄膜を形成せしめる第二の金属蒸着手段とを更に設置して、製造装置２０を構成する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層シートの製造装置及び製造方法に係り、特に、樹脂フィルムの両面に金属蒸着膜がそれぞれ形成されると共に、それらの金属蒸着膜のうちの少なくとも何れか一方のものの上に、更に、樹脂薄膜が蒸着重合法によって積層形成されてなる積層シートを製造するための新規な装置と、そのような積層シートを有利に製造する方法とに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、樹脂フィルムの両面に、金属薄膜がそれぞれ金属蒸着により形成されると共に、それらの金属薄膜のうちの少なくとも何れか一方のものの上に、更に、樹脂薄膜が蒸着重合法によって積層形成されてなる積層シートが、様々な用途で用いられている。例えば、電子機器に使用されるフィルムコンデンサの構成材料や、包装用シート、或いは各種物品の保護用シート等として、利用されている。
【０００３】
ところで、このような積層シートを製造する際には、一般に、先ず、公知の連続真空蒸着装置を用いて、樹脂フィルムの両面に金属薄膜が金属蒸着によりそれぞれ形成された金属化フィルムが作製される。また、そこでは、通常、長尺な金属化フィルムが巻回体として得られる。そして、例えば、特開２００１−２６１８６７号公報（特許文献１）等に記載されるように、金属化フィルムの製造装置（連続真空蒸着装置）とは別個の巻取り式真空蒸着重合装置等を用いて、金属化フィルムの両面に形成されている金属薄膜のうちの少なくとも何れか一方のものの上に、樹脂薄膜が、蒸着重合法によって積層形成される。かくして、目的とする積層シートが製造されるのである。
【０００４】
ところが、そのような従来の技術によって積層シートを製造する場合、樹脂フィルムの両面に金属薄膜を形成するための連続真空蒸着装置と、金属薄膜上に樹脂薄膜を積層形成するための巻取り式真空蒸着重合装置の両方の装置を個別に導入する必要がある。また、それら２種類の装置を使用する場合、連続真空蒸着装置内で作製された金属化フィルムを連続真空蒸着装置から取り出した後、巻取り式真空蒸着重合装置にセットしなければならない。このとき、連続真空蒸着装置各装置の内部を真空状態から大気開放状態とする一方、巻取り式真空蒸着重合装置の内部を大気開放状態から真空状態とするといった面倒な作業が必要となる。
【０００５】
このため、従来の積層シートの製造技術では、設備費やランニングコストが高くなってしまうだけでなく、時間と手間の掛かる作業を強いられていたのである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−２６１８６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ここにおいて、本発明は、上述せる如き事情を背景にして為されたものであって、その解決課題とするところは、樹脂フィルムの両面に金属蒸着膜がそれぞれ形成されると共に、それらの金属蒸着膜のうちの少なくとも何れか一方のものの上に、更に、樹脂薄膜が蒸着重合法によって積層形成されてなる積層シートを、十分に低いコストと優れた作業性をもって有利に製造し得る積層シートの製造装置と製造方法とを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記した課題、又は本明細書全体の記載や図面から把握される課題を解決するために、以下に列挙する各種の態様において、好適に実施され得るものである。また、以下に記載の各態様は、任意の組み合わせにおいても、採用可能である。そして、本発明の態様乃至は技術的特徴は、以下に記載のものに何等限定されることなく、明細書全体の記載並びに図面に開示の発明思想に基づいて、認識され得るものであることが、理解されるべきである。
【０００９】
＜１＞ 樹脂フィルムの一方の面に第一の金属薄膜が、その他方の面に第二の金属薄膜が、それぞれ金属蒸着により形成されると共に、該第一の金属薄膜上に、更に、樹脂薄膜が蒸着重合法によって積層形成されてなる積層シートを製造するための装置であって、（ａ）前記樹脂フィルムの巻回体から該樹脂フィルムを巻き出す巻出しローラと、該巻回体から巻き出された該樹脂フィルムを巻き取る巻取りローラとが内部に設置された真空槽と、（ｂ）該真空槽内の空気を排出して、該真空槽内を真空状態とする排気手段と、（ｃ）前記巻出しローラにて、前記樹脂フィルムの巻回体から巻き出された前記樹脂フィルムが、前記一方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第一のローラと、（ｄ）該第一のローラから送り出された前記樹脂フィルムが、前記一方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第二のローラと、（ｅ）該第二のローラから送り出された前記樹脂フィルムが、前記他方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第三のローラと、（ｆ）前記巻出しローラと前記巻取りローラと前記第一乃至第三のローラのうちの少なくとも何れか一つを回転駆動させることにより、前記樹脂フィルムを該巻出しローラ側から該巻取りローラ側に向かって走行させる駆動手段と、（ｇ）前記第一のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面上に、前記第一の金属薄膜を金属蒸着により形成せしめる第一の金属蒸着手段と、（ｈ）前記第二のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面に形成された前記第一の金属薄膜上に、前記樹脂薄膜を蒸着重合法によって積層形成せしめる蒸着重合手段と、（ｉ）前記第三のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記他方の面上に、前記第二の金属薄膜を金属蒸着により形成せしめる第二の金属蒸着手段とを含むことを特徴とする積層シートの製造装置。
【００１０】
＜２＞ 前記第二のローラに巻き掛けられた前記樹脂フィルム部位の前記一方の面を収容可能な補助真空槽が、前記真空槽内に設けられると共に、前記排気手段とは独立して作動して、該補助真空槽内の空気を排出することにより、該補助真空槽内を該真空槽内とは真空度の異なる真空状態とする補助排気手段が設けられて、該補助真空槽内で、前記第一の金属薄膜上に、前記樹脂薄膜が、前記蒸着重合手段により積層形成されるようになっている上記態様＜１＞に記載の積層シートの製造装置。
【００１１】
＜３＞ 前記樹脂薄膜をプラズマ処理して、該樹脂薄膜に三次元架橋構造を導入せしめるプラズマ処理手段が、前記真空槽内に、更に設けられている上記態様＜１＞又は＜２＞に記載の積層シートの製造装置。
【００１２】
＜４＞ 樹脂フィルムの一方の面に第一の金属薄膜が、その他方の面に第二の金属薄膜が、それぞれ金属蒸着により形成されると共に、該第一の金属薄膜上に第一の樹脂薄膜が、該第二の金属薄膜上に第二の樹脂薄膜が、蒸着重合法によってそれぞれ積層形成されてなる積層シートを製造するための装置であって、（ａ）前記樹脂フィルムの巻回体から該樹脂フィルムを巻き出す巻出しローラと、該巻回体から巻き出された該樹脂フィルムを巻き取る巻取りローラとが内部に設置された真空槽と、（ｂ）該真空槽内の空気を排出して、該真空槽内を真空状態とする排気手段と、（ｃ）前記巻出しローラにて、前記樹脂フィルムの巻回体から巻き出された前記樹脂フィルムが、前記一方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第一のローラと、（ｄ）該第一のローラから送り出された前記樹脂フィルムが、前記一方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第二のローラと、（ｅ）該第二のローラから送り出された前記樹脂フィルムが、前記他方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第三のローラと、（ｆ）該第三のローラから送り出された前記樹脂フィルムが、前記他方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第四のローラと、（ｇ）前記巻出しローラと前記巻取りローラと前記第一乃至第四のローラのうちの少なくとも何れか一つを回転駆動させることにより、前記樹脂フィルムを該巻出しローラ側から該巻取りローラ側に向かって走行させる駆動手段と、（ｈ）前記第一のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面上に、前記第一の金属薄膜を金属蒸着により形成せしめる第一の金属蒸着手段と、（ｉ）前記第二のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面に形成された前記第一の金属薄膜上に、前記第一の樹脂薄膜を蒸着重合法によって積層形成せしめる第一の蒸着重合手段と、（ｊ）前記第三のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記他方の面上に、前記第二の金属薄膜を金属蒸着により形成せしめる第二の金属蒸着手段と、（ｋ）前記第四のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記他方の面に形成された前記第二の金属薄膜上に、前記第二の樹脂薄膜を蒸着重合法によって積層形成せしめる第二の蒸着重合手段とを含むことを特徴とする積層シートの製造装置。
【００１３】
＜５＞ 前記第二のローラに巻き掛けられた前記樹脂フィルム部位の前記一方の面を収容可能な第一の補助真空槽と、前記第四のローラに巻き掛けられた前記樹脂フィルム部位の前記他方の面を収容可能な第二の補助真空槽とが、前記真空槽内に設けられると共に、前記排気手段とは独立して作動して、該第一の補助真空槽内の空気を排出することにより、該第一の補助真空槽内を該真空槽内とは真空度の異なる真空状態とする第一の補助排気手段と、該排気手段とは独立して作動して、該第二の補助真空槽内の空気を排出することにより、該第二の補助真空槽内を該真空槽内とは真空度の異なる真空状態とする第二の補助排気手段とが更に設けられて、該第一の補助真空槽内で、前記第一の金属薄膜上に、前記第一の樹脂薄膜が、前記第一の蒸着重合手段により積層形成される一方、該第二の補助真空槽内で、前記第二の金属薄膜上に、前記第二の樹脂薄膜が、前記第二の蒸着重合手段により積層形成されるようになっている上記態様＜４＞に記載の積層シートの製造装置。
【００１４】
＜６＞ 前記第一の樹脂薄膜をプラズマ処理して、該第一の樹脂薄膜に三次元架橋構造を導入せしめる第一のプラズマ処理手段と、前記第二の樹脂薄膜をプラズマ処理して、該第二の樹脂薄膜に三次元架橋構造を導入せしめる第二のプラズマ処理手段とが、前記真空槽内に、更に設けられている上記態様＜４＞又は＜５＞に記載の積層シートの製造装置。
【００１５】
＜７＞ 前記積層シートが、フィルムコンデンサを形成するための材料となるフィルムコンデンサ形成用積層シートである上記態様＜１＞乃至＜６＞に記載の積層シートの製造装置。
【００１６】
＜８＞ 樹脂フィルムの一方の面に第一の金属薄膜が、その他方の面に第二の金属薄膜が、それぞれ金属蒸着により形成されると共に、該第一の金属薄膜上に、更に、樹脂薄膜が蒸着重合法によって積層形成されてなる積層シートを製造する方法であって、（ａ）第一のローラと第二のローラと第三のローラとが内部に設置された真空槽を有し、前記樹脂フィルムが、該真空槽内に収容されて、該第一のローラと該第二のローラと該第三のローラとに対して、その順番で巻き掛けられた状態において、該樹脂フィルムを該第一のローラ側から該第三のローラ側に向かって走行させ得るように構成された成膜装置を準備する工程と、（ｂ）前記第一のローラと前記第二のローラとに対して、前記樹脂フィルムを、前記一方の面が外側となるようにそれぞれ巻き掛けると共に、該第二のローラから送り出された該樹脂フィルムを、前記第三のローラに対して、前記他方の面が外側となるように巻き掛けて、前記真空層内を真空とした状態で、該樹脂フィルムを該第一のローラ側から該第三のローラ側に向かって走行させる工程と、（ｃ）前記第一のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面上に、前記第一の金属薄膜を金属蒸着により形成する工程と、（ｄ）前記第二のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面に形成された前記第一の金属薄膜上に、前記樹脂薄膜を蒸着重合法によって積層形成する工程と、（ｅ）前記第三のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記他方の面上に、前記第二の金属薄膜を金属蒸着により形成する工程とを含むことを特徴とする積層シートの製造方法。
【００１７】
＜９＞ 前記樹脂薄膜に対するプラズマ処理を実施して、該樹脂薄膜に三次元架橋構造を導入するようにした上記態様＜８＞に記載の積層シートの製造方法。
【００１８】
＜１０＞ 上記態様＜８＞又は＜９＞に記載の製造方法によって得られた前記積層シートを巻回して、又は該積層シートの複数を積層して製造することを特徴とするフィルムコンデンサの製造方法。
【００１９】
＜１１＞ 前記樹脂薄膜が、ポリユリア樹脂膜である上記態様＜１０＞に記載のフィルムコンデンサの製造方法。
【００２０】
＜１２＞ 前記樹脂薄膜が、前記樹脂フィルムよりも高い誘電率を有している上記態様＜１０＞又は＜１１＞に記載のフィルムコンデンサの製造方法。
【００２１】
＜１３＞ 前記樹脂薄膜が０．０１〜１０μｍの範囲内の厚さを有している上記態様＜１０＞乃至＜１２＞のうちの何れか一つに記載のフィルムコンデンサの製造方法。
【００２２】
＜１４＞ 前記樹脂フィルムがポリプロピレンからなる一方、前記樹脂薄膜がポリユリア樹脂からなる上記態様＜１０＞乃至＜１３＞のうちの何れか一つに記載のフィルムコンデンサの製造方法。
【００２３】
＜１５＞ 前記積層シートが、前記樹脂薄膜を内側にして巻回されている上記態様＜１０＞乃至＜１４＞のうちの何れか一つに記載のフィルムコンデンサの製造方法。
【００２４】
＜１６＞ 前記積層シートが、複数回、巻回されている上記態様＜１０＞乃至＜１５＞のうちの何れか一つに記載のフィルムコンデンサの製造方法。
【００２５】
＜１７＞ 前記積層シートの複数が、前記樹脂薄膜と前記金属薄膜とを互いに重なり合うように積層するようにした上記態様＜１０＞乃至＜１４＞のうちの何れか一つに記載のフィルムコンデンサ。
【００２６】
＜１８＞ 樹脂フィルムの一方の面に第一の金属薄膜が、その他方の面に第二の金属薄膜が、それぞれ金属蒸着により形成されると共に、該第一の金属薄膜上に第一の樹脂薄膜が、該第二の金属薄膜上に第二の樹脂薄膜が、蒸着重合法によってそれぞれ積層形成されてなる積層シートを製造する方法であって、（ａ）第一のローラと第二のローラと第三のローラと第四のローラとが内部に設置された真空槽を有しており、前記樹脂フィルムが、該真空槽内に収容されて、該第一のローラと該第二のローラと該第三のローラと該第四のローラとに対して、その順番で巻き掛けられた状態において、該樹脂フィルムを該第一のローラ側から該第四のローラ側に向かって走行させ得るように構成された成膜装置を準備する工程と、（ｂ）前記第一のローラと前記第二のローラとに対して、前記樹脂フィルムを、前記一方の面が外側となるようにそれぞれ巻き掛けると共に、該第二のローラから送り出された該樹脂フィルム部分を、前記第三のローラと前記第四のローラとに対して、前記他方の面が外側となるようにそれぞれ巻き掛けて、前記真空層内を真空とした状態で、該樹脂フィルムを該第一のローラ側から該第四のローラ側に向かって走行させる工程と、（ｃ）前記第一のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面上に、前記第一の金属薄膜を金属蒸着により形成する工程と、（ｄ）前記第二のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面に形成された前記第一の金属薄膜上に、前記第一の樹脂薄膜を蒸着重合法によって積層形成する工程と、（ｅ）前記第三のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記他方の面上に、前記第二の金属薄膜を金属蒸着により形成する工程と、（ｆ）前記第四のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記他方の面に形成された前記第二の金属薄膜上に、前記第二の樹脂薄膜を蒸着重合法によって積層形成する工程とを含むことを特徴とする積層シートの製造方法。
【００２７】
＜１９＞ 前記第一の樹脂薄膜と第二の樹脂薄膜とに対して、プラズマ処理をそれぞれ実施して、該第一の樹脂薄膜と該第二の樹脂薄膜とに三次元架橋構造をそれぞれ導入するようにした上記態様＜１８＞に記載の積層シートの製造方法。
【００２８】
＜２０＞ 上記態様＜１８＞又は＜１９＞に記載の製造方法によって得られた前記積層シートを巻回して、又は該積層シートの複数を積層して製造することを特徴とするフィルムコンデンサの製造方法。
【００２９】
＜２１＞ 前記樹脂薄膜が、ポリユリア樹脂膜である上記態様＜２０＞に記載のフィルムコンデンサの製造方法。
【００３０】
＜２２＞ 前記第一の樹脂薄膜と前記第二の樹脂薄膜とが、前記樹脂フィルムよりも高い誘電率を有している上記態様＜２０＞又は＜２１＞に記載のフィルムコンデンサの製造方法。
【００３１】
＜２３＞ 前記第一の樹脂薄膜と前記第二の樹脂薄膜膜が０．０１〜１０μｍの範囲内の厚さを有している上記態様＜２０＞乃至＜２２＞のうちの何れか一つに記載のフィルムコンデンサの製造方法。
【００３２】
＜２４＞ 前記樹脂フィルムがポリプロピレンからなる一方、前記第一の樹脂薄膜と前記第二の樹脂薄膜とがポリユリア樹脂からなる上記態様＜２０＞乃至＜２３＞のうちの何れか一つに記載のフィルムコンデンサの製造方法。
【００３３】
＜２５＞ 前記積層シートが、複数回、巻回されている上記態様＜２０＞乃至＜２４＞のうちの何れか一つに記載のフィルムコンデンサの製造方法。
【発明の効果】
【００３４】
このように、本発明に従う積層シートの製造装置のうち、第一乃至第三のローラを有するものにおいては、一つの真空槽内において、樹脂フィルムを巻出しローラから巻き出して、巻取りローラに送り出すことにより、その途中で、かかる樹脂フィルムの両面に対して、金属蒸着により、第一の金属薄膜と第二の金属薄膜とが形成されると共に、第一の金属薄膜上に、樹脂薄膜が、蒸着重合により形成されるようになっている。
【００３５】
また、本発明に従う積層シートの製造装置のうち、第一乃至第四のローラを有するものにあっても、一つの真空槽内において、樹脂フィルムを巻出しローラから巻き出して、巻取りローラに送り出すことにより、その途中で、かかる樹脂フィルムの両面に対して、金属蒸着により、第一の金属薄膜と第二の金属薄膜とが形成されると共に、第一の金属薄膜上に第一の樹脂薄膜が、第二の金属薄膜上に第二の樹脂薄膜が、それぞれ、蒸着重合により形成されるようになっている。
【００３６】
それ故、このような本発明に係る積層シートの製造装置を用いれば、金属薄膜形成用の連続真空蒸着装置と樹脂薄膜形成用の巻取り式真空蒸着重合装置の両方を個別に準備する必要が解消される。また、樹脂フィルムの両面に金属薄膜が形成された金属化フィルムを連続真空蒸着装置から取り出した後、改めて、巻取り式真空蒸着重合装置にセットする作業や、それに付随して実施される、各装置内をそれぞれ真空状態と大気開放状態とに別個に制御する面倒で時間のかかる作業からも有利に開放され得る。
【００３７】
従って、かくの如き本発明に従う積層シートの製造装置によれば、樹脂フィルムの両面に金属蒸着膜がそれぞれ形成されると共に、それらの金属蒸着膜のうちの少なくとも何れか一方のものの上に、更に、樹脂薄膜が蒸着重合法によって積層形成されてなる積層シートを、十分に低いコストと優れた作業性をもって有利に製造することが出来るのである。
【００３８】
そして、本発明に従う積層シートの製造方法にあっても、本発明に従う積層シートの製造装置において奏される作用・効果と実質的に同一の作用・効果が有効に享受され得ることとなる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明に従う積層シートの製造装置を用いて製造された積層シートの一例を示す部分断面説明図である。
【図２】本発明に従う積層シートの製造装置の一実施形態を示す断面説明図である。
【図３】図２に示された製造装置を用いて積層シートを製造する際の一工程例を示す説明図であって、樹脂フィルムを巻出し及び巻取りローラと第一乃至第三のローラに架け渡した状態を示している。
【図４】本発明に従う積層シートの製造装置を用いて製造された積層シートの別の例を示す図１に対応する図である。
【図５】本発明に従う積層シートの製造装置の別の実施形態を示す図２に対応する図である。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
以下、本発明を更に具体的に明らかにするために、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ、詳細に説明することとする。
【００４１】
先ず、図１には、本発明に従う構造を有する製造装置を用いて製造された積層シートの一例として、フィルムコンデンサを構成する積層シートの一部が、断面形態において示されている。かかる図１から明らかなように、積層シート１０は、樹脂フィルムたる誘電体フィルム１２をベースとして有し、この誘電体フィルム１２の主面を与える一方の面（図１における誘電体フィルム１２の上面）と他方の面（図１における誘電体フィルム１２の下面）に対して、それぞれ、第一の金属薄膜としての第一電極膜１４と第二の金属薄膜たる第二電極膜１６とが、積層形成されている。また、第一電極膜１４上には、樹脂薄膜としての第一誘電体膜１８が、更に積層形成されている。
【００４２】
この積層シート１０のベースたる誘電体フィルム１２は、ここでは、ポリプロピレン製の延伸フィルムからなり、１〜１０μｍ程度の厚さを有している。なお、この誘電体フィルム１２の形成材料は、ポリプロピレンに何等限定されるものではなく、例えば、ポリエチレンテレフタレートやポリフェニレンサルファイド、ポリエチレンナフタレート等、従来のフィルムコンデンサを構成する誘電体フィルムの形成材料として使用される樹脂材料が、ポリプロピレンに代えて、適宜に用いられ得る。また、積層シート１０が、フィルムコンデンサ以外の用途に使用される場合には、誘電体フィルム１２たる樹脂フィルムの形成材料として、例示のもの以外の樹脂材料も、勿論、使用可能である。
【００４３】
誘電体フィルム１２の両方の面上に形成される第一電極膜１４と第二電極膜１６は、真空中での蒸着法の実施によって形成された金属蒸着薄膜からなっている。各電極膜１４，１６の厚さは、各電極膜１４，１６の膜抵抗値が１〜２５Ω／ｃｍ2 程度の範囲内の値となるように、適宜に決定される。
【００４４】
また、それら第一及び第二電極膜１４，１６の形成材料としては、従来品と同様に、アルミニウムや亜鉛等の金属材料の中から、例えば、誘電体フィルム１２の材質等に応じて適宜に選択されたものが、使用される。なお、それら第一電極膜１４と第二電極膜１６は、必ずしも、同一の金属材料からなるものでなくとも良く、フィルムコンデンサに対する要求性能等に応じて、形成材料が決定される。また、第一電極膜１４と第二電極膜１６のそれぞれの厚さや膜抵抗値も、フィルムコンデンサに対する要求性能等に応じて、互いに同一の値とされるか、若しくは互いに異なる値とされる。なお、積層シート１０が、フィルムコンデンサ以外の用途に使用される場合には、金属薄膜（本実施形態での電極膜１４，１６に相当する）の形成材料や厚さ等は、用途等によって、適宜に変更可能である。
【００４５】
第一電極膜１４の外周面上に、換言すれば誘電体フィルム１２側とは反対側の面上に形成される第一誘電体膜１８は、ポリユリア樹脂製の薄膜からなっている。この第一誘電体膜１８は、真空中で、蒸着重合法を公知の手法に従って実施することにより形成されてなるものである。
【００４６】
このように、第一誘電体膜１８は、真空中で生成した重合体によって形成された蒸着重合膜にて構成されているために、ナノオーダーでの膜厚制御が可能となっており、膜厚が、極めて薄く且つ均一にコントロールされているだけでなく、膜中の不純物量が十分に少なくされている。また、この第一誘電体膜１８の厚さは、一般に、０．０１〜１０μｍ程度とされることとなる。
【００４７】
なお、第一誘電体膜１８は、上述のポリユリア樹脂膜に、特に限定されるものではなく、ポリアミド樹脂膜や、ポリイミド樹脂膜、ポリアミドイミド樹脂膜、ポリエステル樹脂膜、ポリアゾメチン樹脂膜、ポリウレタン樹脂膜、アクリル樹脂膜等、公知の蒸着重合法によって成膜可能な樹脂膜にて構成しても、何等差し支えない。そして、その中でも、誘電体フィルム１２よりも高い誘電率を有する樹脂膜が、好適に採用される。そのような樹脂膜にて第一誘電体膜１８を形成することによって、フィルムコンデンサの静電容量を効果的に増大させることが可能となる。なお、誘電率の差異を有する誘電体フィルム１２や第一誘電体膜１８を形成する樹脂材料としては、例示の如きポリプロピレンとポリユリアの組合せに何等限定されるものではない。
【００４８】
また、第一誘電体膜１８は、上記の如き高誘電率を有する樹脂膜のうちでも、特に、ポリユリア樹脂膜にて構成されていることが、より望ましい。何故なら、ポリユリア樹脂は、原料モノマー（ジイソシアネートとジアミン）の重合に際して、加熱処理が不要であり、しかも、水やアルコール等の脱離が全くない重付加重合反応において、形成されるものであるからである。このため、原料モノマーの重合時に加熱処理を実施するための設備が不要となって、低コスト化が実現され得ると共に、加熱処理時の熱によって、誘電体フィルム１２が変形する、所謂熱負けが惹起されることが有利に回避され得るのである。また、重合反応によって脱離した水やアルコール等を、重合反応が進行する真空槽中から除去する必要がなく、そのための設備も不要となり、これによっても、低コスト化が実現可能となるのである。勿論、積層シート１０がフィルムコンデンサ用以外に使用される場合には、樹脂薄膜（本実施形態での第一誘電体膜１８に相当する）の形成材料や厚さ等は、用途等によって、適宜に変更可能である。
【００４９】
そして、本実施形態では、第一電極膜１４上に積層形成された第一誘電体膜１８の表面に対して、更にプラズマ処理が施されて、第一誘電体膜１８に三次元架橋構造が導入されている。これによって、第一誘電体膜１８の耐電圧性が有利に高められ得るのである。
【００５０】
ところで、このような積層シート１０を製造する際には、例えば、図２に示される如き積層シート製造装置２０（成膜装置）が用いられる。
【００５１】
この積層シート製造装置２０は、長手矩形状の真空槽２２を有している。かかる真空槽２２の一つの側壁部には、排気パイプ２４が接続されており、また、この排気パイプ２４が、真空ポンプ２６に接続されている。かくして、真空ポンプ２６の作動により、真空槽２２内の空気が外部に排出されて、真空槽２２内が真空状態とされるようになっている。このことから明らかなように、本実施形態では、排気パイプ２４と真空ポンプ２６とにて、排気手段が構成されている。なお、ここでは、真空ポンプ２６の作動によって、真空槽２２内が１０-4〜１００Ｐａ程度の圧力（真空度）にコントロールされるようになっている。
【００５２】
また、かかる真空槽２２内には、巻出しローラ２８と巻取りローラ３０とが、設置されている。それら巻出しローラ２８と巻取りローラ３０は、真空槽２２の長さ方向（図２の上下方向）中央部において、幅方向（図２の左右方向）両側にそれぞれ偏倚して配置されている。また、巻取りローラ３０は、駆動手段としての電動モータ（図示せず）に連結されている。これにより、巻取りローラ３０が、電動モータの駆動／停止に伴って回転駆動／停止させられるようになっている。
【００５３】
真空槽２２内には、更に、第一のローラ３２と第二のローラ３４と第三のローラ３６とが、設置されている。それら第一乃至第三のローラ３２，３４，３６は、互いに同一の外径を有している。そして、第一のローラ３２と第二のローラ３４とが、巻出しローラ２８を間に挟んで、真空槽２２の長さ方向両側にそれぞれ偏倚して配置されている。一方、第三のローラ３６は、真空槽２２の幅方向において、第一のローラ３２と並んで配置されている。
【００５４】
また、真空槽２２内において、第一のローラ３２を間に挟んで、巻出しローラ２８側とは反対側の箇所には、アルミニウム又はアルミニウム合金（以下、アルミニウムと総称する）からなる第一蒸着材料３８ａが、第一のローラ３２の外周面と所定距離を隔てて対向した状態で、図示しないホルダ等により設置されている。一方、第三のローラ３６を間に挟んで、巻取りローラ３０とは反対側の箇所にも、アルミニウム又はアルミニウム合金（以下、アルミニウムと総称する）からなる第二蒸着材料３８ｂが、第三のローラ３６の外周面と所定距離を隔てて対向した状態で、ホルダ等により設置されている。また、それら第一及び第二蒸着材料３８ａ，３８ｂの第一及び第三のローラ３２，３６とは反対側には、各蒸着材料３８ａ，３８ｂを加熱するための第一ヒータ４０ａと第二ヒータ４０ｂが、それぞれ設置されている。
【００５５】
さらに、真空槽２２内において、第二のローラ３４を間に挟んで、巻出しローラ２８側とは反対側の箇所には、第一の補助真空槽４２が設置されている。この第一の補助真空槽４２は、真空槽２２の外部から、真空槽２２の側壁部を貫通して延びる第一の補助排気パイプ４４が接続されている。また、かかる第一の補助排気パイプ４４の真空槽２２から外部への突出部分には、第一の補助真空ポンプ４６が接続されている。更に、第一の補助真空槽４２の側壁部には、窓部４８が設けられており、この窓部４８を通じて、第二のローラ３４の一部が、その外周面を第一の補助真空槽４２内に露呈させるように、突入している。
【００５６】
かくして、第一の補助真空ポンプ４６が、前記真空ポンプ２６の作動とは独立して制御された状態下で作動することにより、第一の補助真空槽４２内から空気が第一の補助排気パイプ４４を通じて外部に排出されるようになっている。そして、それにより、第一の補助真空槽４２内が、真空槽２２内とは圧力が異なる真空状態とされるようになっている。
【００５７】
また、そのような第一の補助真空槽４２の窓部４８が形成される側壁部と対向する別の側壁部には、二つの開口部５０ａ，５０ｂが形成されている。そして、それら各開口部５０ａ，５０ｂに対して、二つのモノマー導入ポット５２ａ，５２ｂが、連通状態で、接続されている。それら二つのモノマー導入ポット５２ａ，５２ｂのうちの一方の内部には、ジイソシアネートが所定の量だけ収容されている一方、それらのうちの他方の内部には、ジアミンが所定の量だけ収容されている。更に、二つのモノマー導入ポット５２ａ，５２ｂにおける第一の補助真空槽４２内への開口側とは反対の底部側には、各モノマー導入ポット５２ａ，５２ｂ内の原料モノマーを加熱するための第三ヒータ５４ａと第四ヒータ５４ｂが、それぞれ設置されている。なお、モノマー導入ポット５２ａ，５２ｂ内に収容されるモノマー原料は、蒸着重合によって形成されるべき第一誘電体膜１８を与える重合物の種類によって適宜に変更されることは、言うまでもないところである。
【００５８】
また、真空槽２２内における第二のローラ３４の近傍において、後述する誘電体フィルム１２の送出し側に位置する箇所には、プラズマ処理手段としての第一のプラズマ発生装置５６が設置されている。このプラズマ発生装置５６は、例えば、レーザを用いてプラズマを発生させる、従来より公知の構造を有している。
【００５９】
そして、このような本実施形態の積層シート製造装置２０を用いて、目的とする積層シート１０を製造する際には、例えば、以下のようにして、その作業が進められる。
【００６０】
すなわち、図３に示されるように、先ず、前記せる誘電体フィルム１２の巻回体５８を、巻出しローラ２８に外挿して、セットする。そして、巻回体５８から誘電体フィルム１２の一部を巻き出して、それを第一のローラ３２と第二のローラ３４とに対して、それらに架け渡すように巻き掛ける。
【００６１】
このとき、誘電体フィルム１２は、その一方の面が、第一のローラ３２と第二のローラ３４のそれぞれの外周面側とは反対側に位置して、外部に露呈されるように、つまり、一方の面が外側となるように、各ローラ３２，３４に巻き掛けられる。これにより、第一のローラ３２の外周面上で外側に位置する誘電体フィルム１２の一方の面が、第一蒸着材料３８ａに対して所定距離を隔てて対向配置される。また、第二のローラ３４の外周面上で外側に位置する誘電体フィルム１２の一方の面は、第一の補助真空槽４２の内側空間に露呈した状態で、第一の補助真空槽４２内に収容される。
【００６２】
また、第二のローラ３４から第一のローラ３２側とは反対側に送り出される誘電体フィルム１２部分を、第三のローラ３６に巻き掛ける。このとき、かかる誘電体フィルム１２部分は、第一及び第二のローラ３２，３４の外周面上で外側に位置する一方側の面とは反対側の他方の面が、第三のローラ３６の外周面上で外部に露呈されるように、つまり外側となるように、第三のローラ３６に巻き掛けられる。これにより、第三のローラ３６の外周面上で外側に位置する誘電体フィルム１２の他方の面が、第二蒸着材料３８ｂに対して所定距離を隔てて対向配置される。
【００６３】
さらに、第三のローラ３６から第二のローラ３４側とは反対側に送り出される誘電体フィルム１２部分を、巻取りローラ３０にセットされた巻取りリール３１に巻き掛けて、取り外し可能に固定する。
【００６４】
そして、そのような状態において、真空ポンプ２６を作動させて、真空槽２２内を１０-4〜１００Ｐａ程度にまで減圧して、真空状態とする。また、それと共に、第一の補助真空ポンプ４６も作動させて、第一の補助真空槽４２内を１０-5〜１０Ｐａ程度にまで減圧して、真空状態とする。
【００６５】
次に、図示しない電動モータを駆動して、図２に示されるように、巻取りローラ３０を、半時計回りに回転させる。これにより、巻取りローラ３０にセットされた巻取りリール３１を回転駆動させて、誘電体フィルム１２の巻取りを開始する。そうして、巻出しローラ２８に外挿された巻回体５８から、誘電体フィルム１２を徐々に巻き出しつつ、誘電体フィルム１２が巻き掛けられた第一乃至第三のローラ３２，３４，３６を図２中の矢印回りに回転させる。これにより、巻回体５８から巻き出された誘電体フィルム１２を、第一のローラ３２→第二のローラ３４→第三のローラ３６→巻取りローラ３０の順に走行させる。
【００６６】
そして、その一方で、第一蒸着材料３８ａを第一ヒータ４０ａにて加熱し、蒸発させて、真空蒸着を実施する。これにより、第一のローラ３２に巻き掛けられた誘電体フィルム１２の一方の面に対して、第一のローラ３２の外周面上で、第一電極膜１４を形成する。その後、この第一電極膜１４が形成された誘電体フィルム１２部分を、誘電体フィルム１２の走行方向下流側に位置する第二のローラ３４に送り出す。
【００６７】
また、二つのモノマー導入ポット５２ａ，５２ｂ内にそれぞれ収容された、原料モノマーであるジイソシアネートとジアミンとを第三ヒータ５４ａと第四ヒータ５４ｂにて加熱し、第一の補助真空槽４２内に蒸発させる。そして、誘電体フィルム１２の一方の面に形成されて、第一の真空補助槽４２内で露呈する第一電極膜１４上において、ジイソシアネートとジアミンとの重合反応を惹起させることにより、かかる第一電極膜１４上に、ポリユリア樹脂膜からなる第一誘電体膜１８を積層形成する。そして、この第一電極膜１４と第一誘電体膜１８とが積層形成された誘電体フィルム１２部分を、下流側の第三のローラ３６に送り出す。
【００６８】
引き続いて、第二のローラ３４から送り出された誘電体フィルム１２が第三のローラ３６に達する前に、第二のローラ３４と第三のローラ３６との間に配置された第一のプラズマ発生装置５６から発生するプラズマを、第一誘電体膜１８の表面に照射して、第一誘電体膜１８をプラズマ処理する。これにより、第一誘電体膜１８に三次元架橋構造を導入する。その結果、第一誘電体膜１８の耐電圧性が有利に高められ得る。
【００６９】
その後、第二蒸着材料３８ｂを第二ヒータ４０ｂにて加熱し、蒸発させて、真空蒸着を行う。これにより、第三のローラ３６に巻き掛けられた誘電体フィルム１２部分の他方の面、つまり、第一電極膜１４と第一誘電体膜１８とが積層形成された側とは反対側の面に対して、第三のローラ３６の外周面上で、第二電極膜１６を形成する。かくして、一方の面に第一電極膜１４と第一誘電体膜１８とが積層形成されると共に、他方の面に第二電極膜１６が形成された積層シート１０を得ると共に、この積層シート１０を、下流側の巻取りローラ３０に送り出す。
【００７０】
次いで、積層シート１０を、巻取りローラ３０にセットされた巻取りリール３１にて巻き取る。かくして、目的とする積層シート１０を、連続的に製造すると共に、それを、巻回物として得るのである。
【００７１】
そして、図示されてはいないものの、例えば、かくして得られた積層シート１０の巻回物から、積層シート１０を巻き出して、所定長さに切断する。その後、それらの積層シート１０の切断片の複数を、第二電極膜１６と第一誘電体膜１８とが互いに重ね合わされるように積層する。これにより、積層タイプのフィルムコンデンサが製造される。或いは、積層シート１０の巻回物から積層シート１０を巻き出しつつ、又は所定長さだけ巻き出した後、巻き出された積層シート１０を、第一誘電体膜１８が内側となるように１回又は複数回、巻回する。これにより、巻回タイプのフィルムコンデンサが製造されるのである。
【００７２】
なお、上記から明らかなように、本実施形態では、第一蒸着材料３８ａと第一ヒータ４０ａとにて、第一の金属蒸着手段が、また、第二蒸着材料３８ｂと第二ヒータ４０ｂとにて、第二の金属蒸着手段とが、それぞれ構成されている。更に、二つのモノマー導入ポット５２ａ，５２ｂと第三及び第四ヒータ５４ａ，５４ｂとにて、蒸着重合手段が構成されている。
【００７３】
また、本実施形態では、誘電体フィルム１２に対して第一及び第二電極膜１４，１６を形成する金属蒸着工程と、第一誘電体膜１８を形成する蒸着重合工程とが、同時に開始されるようになっている。このため、巻取りローラ３０にて巻き取られる巻回物の中心側部位には、誘電体フィルム１２の一方の面上に第一誘電体膜１８のみが形成される部分と、一方の面には膜が何等形成されておらず、他方の面のみに第二電極膜１６が形成されてなる部分とが存在するが、これらの部分は、最終的に切除されることとなる。
【００７４】
このように、本実施形態においては、一つの真空槽２２内で、巻出しローラ２８と巻取りローラ３０との間で、第一乃至第三のローラ３２，３４，３６に架け渡された誘電体フィルム１２を一方向に走行させつつ、第一乃至第三のローラ３２，３４，３６の各外周面上で、誘電体フィルム１２の一方の面に、第一電極膜１４と第一誘電体膜１８とを積層形成すると共に、その他方の面に、第二電極膜１６を形成するようになっている。
【００７５】
そのため、このような本実施形態によれば、誘電体フィルム１２の両面に、第一電極膜１４と第二電極膜１６を、金属蒸着によって連続的に形成するための装置と、誘電体フィルム１２の一方の面に形成された第一電極膜１４上に、第一誘電体膜１８を、蒸着重合によって更に形成するための装置とを、別々に準備する必要がない。また、それ故に、誘電体フィルム１２の両面に第一及び第二電極膜１４，１６が形成された金属化フィルムを金属蒸着装置から取り出した後、改めて、第一誘電体膜１８を蒸着重合によって形成するための装置にセットし直す作業や、その際に、各装置内をそれぞれ真空状態と大気開放状態とに別個に制御する作業からも有利に開放され得る。
【００７６】
従って、かくの如き本実施形態によれば、誘電体フィルム１２の両面に第一及び第二電極膜１４，１６がそれぞれ形成されると共に、第一電極膜１４上に、更に、第一誘電体膜１８が蒸着重合法によって積層形成されてなる積層シート１０を、十分に低いコストと優れた作業性をもって有利に製造することが出来る。そして、その結果として、そのような積層シート１０を積層又は巻回してなる、積層タイプや巻回タイプのフィルムコンデンサが、低コストに且つ作業性良く得られることとなるのである。
【００７７】
また、本実施形態では、第一の補助真空ポンプ４６にて、真空槽２２とは異なる圧力にコントロールされた第一の補助真空槽４２内で、第一誘電体膜１８が、第一電極膜１４上に、蒸着重合により積層形成されるようになっている。このため、金属蒸着とは異なる真空条件で実施される蒸着重合が、金属重合を行うための真空槽２２内で、極めて良好且つ適正な条件の下で実施され得る。その結果として、第一電極膜１４上に、適正な膜厚で且つ高品質の第一誘電体膜１８が、極めて有利に形成され得るのである。
【００７８】
また、本実施形態において製造された積層シート１０を巻回して、或いは積層して得られるフィルムコンデンサにおいては、第一電極膜１４と第二電極膜１６とが、延伸フィルム等からなる誘電体フィルム１２を間に挟んで、その両側に位置せしめられる構造（Ａ）のみを有する、従来のフィルムコンデンサとは異なって、かかるＡ構造と共に、第一電極膜１４と第二電極膜１６とが、蒸着重合膜からなる第一誘電体膜１８を間に挟んで、その両側に位置せしめられる構造（Ｂ）が導入されている。そして、かかるＢ構造においては、第一誘電体膜１８が、真空中での蒸着重合によって形成されたものであるところから、ナノオーダーでの膜厚制御が可能で、極めて薄く且つ均一な膜厚とされているだけでなく、膜中の不純物量が十分に少なくされている。
【００７９】
それ故、本実施形態において製造された積層シート１０を用いて得られるフィルムコンデンサにあっては、従来のフィルムコンデンサとは異なって、誘電体フィルム１２を極端に薄肉化したり、フィルム材料中の不純物を低減させたりすることなく、コンデンサ全体を小型化し且つ静電容量を効果的に増大させることが出来る。
【００８０】
従って、本実施形態において製造された積層シート１０を用いて得られるフィルムコンデンサにあっては、必ずしも、誘電体フィルム１２を薄肉化したり、フィルム材料中の不純物量を低減させたりして、誘電体フィルム１２の高機能化を図らなくとも、また、誘電体フィルム１２の薄肉化による問題を発生させることもなしに、小型・大容量化が有利に実現され得、以て、種々の要求性能が、極めて効果的に達成され得るのである。
【００８１】
次に、図４には、本発明に従う構造を有する製造装置を用いて製造された積層シートの別の例が、断面形態において示されている。かかる図４から明らかなように、この積層シート６０は、樹脂フィルムとしての誘電体フィルム１２の両面に、第一の金属薄膜たる第一電極膜１４と、第二の金属薄膜としての第二電極膜１６が形成され、また、それら第一電極膜１４上と第二電極膜１６上とに対して、第一の樹脂薄膜たる第一誘電体膜１８と、第二の樹脂薄膜としての第二誘電体膜１９とが、更にそれぞれ積層形成されている。
【００８２】
この積層シート６０においては、第一電極膜１４と第二電極膜１６とが、前記第一の実施形態に係る積層シート製造装置２０にて製造される積層シート１０の第一電極膜１４及び第二電極膜１６に対して、材質、膜厚、及び構造が全て同一とされている。また、第一誘電体膜１８と第二誘電体膜１９が、かかる積層シート１０の第一誘電体膜１８に対して、材質、膜厚、及び構造が全て同一とされている。
【００８３】
そして、このような積層シート６０を製造する際には、例えば、図５に示される如き構造を有する積層シート製造装置（成膜装置）６２が、用いられる。
【００８４】
本実施形態に係る積層シート製造装置６２においては、前記第一の実施形態に係る積層シート製造装置２０の真空槽２２内に、第一乃至第三のローラ３２，３４，３６に加えて、第四のローラ６４が設置されている。この第四のローラ６４は、第一乃至第三のローラ３２，３４，３６と同一の外径を有している。そして、真空槽２２の長さ方向において、巻取りローラ３０を間に挟んで第三のローラ３６側とは反対側の箇所に、配置されている。
【００８５】
また、第四のローラ６４を間に挟んで、巻取りローラ３０側とは反対側には、第二の補助真空槽６６が設置されている。この第二の補助真空槽６６は、真空槽２２の外部から、真空槽２２の側壁部を貫通して延びる第二の補助排気パイプ６８が接続されている。また、かかる第二の補助排気パイプ６８の真空槽２２から外部への突出部分には、第二の補助真空ポンプ７０が接続されている。更に、第二の補助真空槽６６の側壁部には、窓部７２が設けられており、この窓部７２を通じて、第四のローラ６４の一部が、その外周面を第二の補助真空槽６６内に露呈させるように、突入している。
【００８６】
かくして、第二の補助真空ポンプ７０が、前記真空ポンプ２６の作動とは独立して制御された状態下で作動することにより、第二の補助真空槽６６内が、真空槽２２内とは圧力が異なる真空状態とされるようになっている。なお、ここでは、第二の補助真空ポンプ７０の作動が、前記第一の補助真空ポンプ４６の作動を制御する制御装置と同一の制御装置にて制御されている。そして、そのような第二の補助真空ポンプ７０の作動により、第二の補助真空層６６内が、第一の補助真空層４２内と同じ圧力の真空状態とされている。
【００８７】
また、そのような第二の補助真空槽６６の側壁部にも、二つの開口部７４ａ，７４ｂが形成されている。そして、それら各開口部７４ａ，７４ｂに対して、二つのモノマー導入ポット７６ａ，７６ｂが、連通状態で接続されている。それら二つのモノマー導入ポット７６ａ，７６ｂのうちの一方の内部には、ジイソシアネートが所定の量だけ収容されている一方、それらのうちの他方の内部には、ジアミンが所定の量だけ収容されている。更に、二つのモノマー導入ポット７６ａ，７６ｂにおける第二の補助真空槽６６内への開口側とは反対の底部側には、各モノマー導入ポット７６ａ，７６ｂ内の原料モノマーを加熱するための第五ヒータ７８ａと第六ヒータ７８ｂが、それぞれ設置されている。なお、モノマー導入ポット７６ａ，７６ｂ内に収容されるモノマー原料は、蒸着重合によって形成されるべき第二誘電体膜１９を与える重合物の種類によって適宜に変更されることは、言うまでもないところである。
【００８８】
また、真空槽２２内における第四のローラ６４と巻取りローラ３０の間において、第四のローラ６４側に偏倚した箇所には、第二のプラズマ処理手段としての第二のプラズマ発生装置８０が設置されている。この第二のプラズマ処理装置８０は、第二のローラ３４の近傍に設置された、第一のプラズマ処理手段としての第一のプラズマ発生装置５６と同一の構造を有している。
【００８９】
そして、このような本実施形態の積層シート製造装置６２を用いて、目的とする積層シート６０を製造する際には、例えば、以下のようにして、その作業が進められる。
【００９０】
すなわち、先ず、巻出しローラ２８に外挿した誘電体フィルム１２の巻回体５８から巻き出される誘電体フィルム１２部分を、前記第一の実施形態と同様にして、第一乃至第三のローラ３２，３４，３６に巻き掛けると共に、第三のローラ３６から送り出される誘電体フィルム１２部分を、その他方の面が、第四のローラ６４の外周面側とは反対側に位置して、第二の補助真空槽６６内に露呈されるように、第四のローラ６４に巻き掛ける。また、第四のローラ６４から送り出される誘電体フィルム１２部分を、巻取りローラ３０にセットされた巻取りリール３１に巻き掛けて、取り外し可能に固定する。
【００９１】
そして、そのような状態において、真空ポンプ２６と第一及び第二の補助真空ポンプ４６，７０とを作動させる。それにより、真空槽２２内を１０-4〜１００Ｐａ程度にまで減圧する一方、第一の補助真空槽４２内を１０-5〜１０Ｐａ程度にまで減圧し、更に、第二の補助真空槽６６内を１０-5〜１０Ｐａ程度にまで減圧して、各真空槽２２，４２，６６内をそれぞれ真空状態とする。
【００９２】
次に、図示しない電動モータを駆動して、図５に示されるように、巻取りローラ３０を、半時計回りに回転させる。これにより、巻出しローラ２８と第一乃至第四のローラ３２３４，３６，６４を図５中の矢印回りに回転させると共に、巻出しローラ２８に外挿された巻回体５８から、誘電体フィルム１２を徐々に巻き出しつつ、巻取りローラ３０にて巻き取る。そうして、巻回体５８から巻き出された誘電体フィルム１２を、第一のローラ３２→第二のローラ３４→第三のローラ３６→第四のローラ６４→巻取りローラ３０の順に走行させる。
【００９３】
そして、前記第一の実施形態と同様に、誘電体フィルム１２を第一のローラ３２→第二のローラ３４→第三のローラ３６の順で走行させるときに、それら各ローラ３２，３４，３６の外周面上で、誘電体フィルム１２の一方の面上に、第一電極膜１４と第一誘電体膜１８とを積層形成する一方、誘電体フィルム１２の他方の面上に、第二電極膜１６を形成する。なお、第一電極膜１４と第一誘電体膜１８とが積層形成された誘電体フィルム１２部分を第二のローラ３４から第三のローラ３６に送り出す際に、その途中で、かかる誘電体フィルム１２部分の第一誘電体膜１８を、第一のプラズマ発生装置５６によりプラズマ処理して、この第一誘電体膜１８に三次元架橋構造を導入する。これによって、第一誘電体膜１８の耐電圧性を高める。
【００９４】
その後、第二の補助真空槽６６内で、第四のローラ６４に巻き掛けられた誘電体フィルム１２の第二電極膜１６上に、第二誘電体膜１９を積層形成する。この第二誘電体膜１９の形成は、第一の補助真空槽４２内で、誘電体フィルム１２の第一電極膜１４上に、第一誘電体膜１８を積層形成する際と同様な蒸着重合を、第二の補助真空槽６６内で実施することにより実現される。
【００９５】
かくして、一方の面に第一電極膜１４と第一誘電体膜１８とが積層形成されると共に、他方の面に第二電極膜１６と第二誘電体膜１９が形成された積層シート６０を得ると共に、この積層シート６０を、下流側の巻取りローラ３０に送り出す。
【００９６】
引き続いて、第四のローラ６４から送り出された誘電体フィルム１２が巻取りローラ３０に達する前に、それら第四のローラ６４と巻取りローラ３０との間に配置された第二のプラズマ発生装置８０から発生するプラズマを、第二誘電体膜１９の表面に照射して、第二誘電体膜１９をプラズマ処理する。これにより、第二誘電体膜１９に三次元架橋構造を導入して、第二誘電体膜１９の耐電圧性を高める。
【００９７】
その後、第二誘電体膜１９がプラズマ処理された積層シート６０を巻取りローラ３０にて、巻取りリール３１に巻き取る。これにより、目的とする積層シート６０を、連続的に製造すると共に、それを、巻回物として得るのである。
【００９８】
そして、この得られた積層シート６０の巻回物から積層シート６０を巻き出し、前述と同様にして、積層タイプや巻回タイプのフィルムコンデンサが製造されるのである。
【００９９】
なお、上記から明らかなように、本実施形態では、第一蒸着材料３８ａと第一ヒータ４０ａとにて、第一の金属蒸着手段が、第二蒸着材料３８ｂと第二ヒータ４０ｂとにて、第二の金属蒸着手段が、それぞれ構成されている。また、モノマー導入ポット５２ａ，５２ｂと第三及び第四ヒータ５４ａ，５４ｂとにて、第一の蒸着重合手段が、モノマー導入ポット７６ａ，７６ｂと第五及び第六ヒータ７８ａ，７８ｂとにて、第二の蒸着重合手段が、各々構成されている。
【０１００】
このように、本実施形態においては、一つの真空槽２２内で、巻出しローラ２８と巻取りローラ３０との間で、第一乃至第四のローラ３２，３４，３６，６４に架け渡された誘電体フィルム１２を一方向に走行させつつ、第一乃至第四のローラ３２，３４，３６，６４の各外周面上で、誘電体フィルム１２の一方の面に、第一電極膜１４と第一誘電体膜１８とを積層形成すると共に、その他方面に、第二電極膜１６と第二誘電体膜１９とを積層形成するようになっている。
【０１０１】
そのため、かかる本実施形態によれば、誘電体フィルム１２の両面に、第一電極膜１４と第二電極膜１６を、金属蒸着によって連続的に形成するための装置と、それら第一電極膜１４上と第二電極膜１６上とに、第一誘電体膜１８と第二誘電体膜１９とを、蒸着重合によって、それぞれ、更に形成するための装置とを別々に準備する必要がない。また、それ故に、誘電体フィルム１２の両面に第一及び第二電極膜１４，１６が形成された金属化フィルムを金属蒸着装置から取り出した後、改めて、かかる金属化フィルムの第一電極膜１４上と第二電極膜１６とに対して、第一誘電体膜１８と第二誘電体膜１９とを蒸着重合によってそれぞれ形成するための装置にセットし直す作業や、その際に、各装置内をそれぞれ真空状態と大気開放状態とに別個に制御する作業からも有利に開放され得る。
【０１０２】
従って、かくの如き本実施形態によれば、誘電体フィルム１２の両面に第一及び第二電極膜１４，１６がそれぞれ形成されると共に、それら第一電極膜１４上と第二電極膜１６上とに、更に、第一誘電体膜１８と第二誘電体膜１９とが蒸着重合法によって積層形成されてなる積層シート６０を、前記第一の実施形態と同様に、十分に低いコストと優れた作業性をもって有利に製造することが出来る。そして、その結果として、積層タイプや巻回タイプのフィルムコンデンサが、低コストに且つ作業性良く得られることとなるのである。また、そのようなフィルムコンデンサの製造に際して、前記第一の実施形態と同様な作用・効果が有利に奏され得る。
【０１０３】
以上、本発明の具体的な構成について詳述してきたが、これはあくまでも例示に過ぎないのであって、本発明は、上記の記載によって、何等の制約をも受けるものではない。
【０１０４】
例えば、前記第一の実施形態では、第一電極膜（第一の金属薄膜）１４に対して、その誘電体フィルム（樹脂フィルム）１２側とは反対側の面のみに、第一誘電体膜（第一の樹脂薄膜）１８が積層形成されていたが、第一電極膜１４に代えて、第二電極膜（第二の金属薄膜）１６の誘電体フィルム１２側とは反対側の面のみに、第一誘電体膜１８を積層形成することも可能である。
【０１０５】
また、前記第一及び第二の実施形態では、第一乃至第四のローラ３２，３４，３６，６４が、全て同一の外径を有していたが、それらのうちの少なくとも一つの外径を異なる大きさとしても良い。その際、他よりも外径が大きなローラの外周面上で、誘電体フィルム１２上に形成される金属薄膜や樹脂薄膜は、他に比して、長い時間をかけて金属蒸着や蒸着重合が実施されて形成されるため、膜厚を厚くすることが出来る。その逆に、他よりも外径が小さなローラの外周面上で、誘電体フィルム１２上に形成される金属薄膜や樹脂薄膜は、他に比して、短い時間で金属蒸着や蒸着重合が実施されて形成されるため、膜厚を薄くすることが出来る。
【０１０６】
また、例えば、成膜に際して、形成されるべき薄膜同士の間で、所定の膜厚に到達させるまでの時間（金属蒸着操作や蒸着重合操作に要する時間）が異なる場合にあっても、第一乃至第四のローラ３２，３４，３６，６４の幾つかのものの外径を、他のもとは異なる大きさとすることが有効となる。即ち、膜厚形成時間の長い薄膜を、周面上で形成するローラの外径を大きくしたり、膜厚形成時間の短い薄膜を、周面上で形成するローラの外径を小さくしたりすれば、誘電体フィルム１２を、各ローラ３２，３４，３６，６４間において一定の速度で走行させつつ、それぞれの薄膜が、所定の厚さをもって、有利に且つ確実に形成され得ることとなる。
【０１０７】
さらに、前記第一及び第二の実施形態では、巻取りローラ３０が電動モータ等の駆動手段により回転駆動させられることにより、誘電体フィルム１２が、巻出しローラ２８側から巻取りローラ３０側に走行するようになっていたが、駆動手段は、巻取り及び巻出しローラ３０，２８や第一乃至第四のローラ３２，３４，３６，６４のうちの少なくとも一つを回転駆動するように設置されておれば良い。勿論、そのような駆動手段として、電動モータ以外の公知の回転駆動装置が、何れも採用可能である。
【０１０８】
更にまた、そのような駆動手段による各ローラ２８，３０，３２，３４，３６，６４の回転速度を調節する回転速度調節機構（例えば、駆動手段が電動モータであれば、その回転速度を制御可能な公知の制御機構等）を設けて、誘電体フィルム１２の走行速度を任意に変化させ得るように構成することも可能である。誘電体フィルム１２の走行速度を遅くすることにより、その分だけ、長い時間を掛けて、金属蒸着操作や蒸着重合操作を実施することが出来、以て、例えば、第一及び第二電極膜１４，１６や第一及び第二誘電体膜１８，１９の膜厚を厚くすることが可能となる。また、誘電体フィルム１２の走行速度を早めれば、その分だけ、金属蒸着操作や蒸着重合操作に掛かる時間を短く為すことが出来、それによって、例えば、第一及び第二電極膜１４，１６や第一及び第二誘電体膜１８，１９の膜厚を薄くすることが可能となる。
【０１０９】
また、第一乃至第四のローラ３２，３４，３６，６４に対して、その外周面を冷却して、それに巻き掛けられる誘電体フィルム１２部分を冷却する冷却手段を設けても良い。これによって、各ローラ３２，３４，３６，６４の外周面上で形成される各電極膜１４，１６や各誘電体膜１８，１９を効率的に冷却して、安定化させることが可能となる。
【０１１０】
さらに、第一のローラ３２と第一蒸着材料３８ａとの間の距離や、第三のローラ３６と第二蒸着材料３８ｂとの間の距離を可変とする距離調節機構を設けても良い。この距離調節機構は、例えば、電動モータとカム機構やリンク機構等との組み合わせやシリンダ機構等の各種のアクチュエータによって構成される。そして、例えば、第一のローラ３２や第三のローラ３６を第一蒸着材料３８ａや第二蒸着材料３８ｂに対して接近又は離隔移動させるか、或いはその逆に、第一蒸着材料３８ａや第二蒸着材料３８ｂを第一のローラ３２や第三のローラ３６に対して接近又は離隔移動させる構造が採用されることとなる。これによって、第一電極膜１４や第二電極膜１６の膜厚制御が可能となる。
【０１１１】
更にまた、第一乃至第六ヒータ４０ａ，４０ｂ，５４ａ，５４ｂ，７８ａ，７８ｂのそれぞれに対して、それらの加熱温度を互いに独立して制御可能な制御機構を設けても良い。これにより、各蒸着材料３８ａ，３８ｂや各原料モノマーの蒸発量が調節可能となって、より緻密な条件で、金属蒸着や蒸着重合が実施され得る。かくして、ローラ外径の制御や上記距離調節機構による制御、或いは真空槽２２と第一及び第二の補助真空槽４２，６６内の真空状態（内圧）の制御等とは独立して、或いはそれらとの組合せにより、各電極膜１４，１６や各誘電体膜１８，１９の膜厚等の調節が、より有利に且つ確実に実現され得ることとなる。
【０１１２】
また、前記第二の実施形態では、第一の補助真空槽４２と第二の補助真空槽６６とが別個のものにて構成されると共に、第一の補助真空ポンプ４６と第二の補助真空ポンプ７０とが互いに独立した別々のものにて構成されていた。しかしながら、第一の補助真空槽４２と第二の補助真空槽６６とを１個の補助真空槽にて構成し、また、第一の補助真空ポンプ４６と第二の補助真空ポンプ７０も、１個の補助真空ポンプにて構成しても良い。この場合には、第二のローラ３４の一部と第四のローラ６４の一部とが、１個の補助真空槽内に突入するように配置される。そして、そのような１個の補助真空槽内で、第一誘電体膜１８と第二誘電体膜１９とが、第一電極膜１４上と第二電極膜１６上に、それぞれ積層形成されることとなる。
【０１１３】
加えて、本発明は、フィルムコンデンサを構成する積層シートの製造装置及び製造方法の他、包装用シートや各種物品の保護用シート等として利用される積層シートの製造装置及び製造方法に対しても、有利に適用可能である。
【０１１４】
その他、一々列挙はしないが、本発明は、当業者の知識に基づいて種々なる変更、修正、改良等を加えた態様において実施され得るものであり、また、そのような実施態様が、本発明の趣旨を逸脱しない限り、何れも、本発明の範囲内に含まれるものであることは、言うまでもないところである。
【符号の説明】
【０１１５】
１０，６０ 積層シート １２ 誘電体フィルム
１４ 第一電極膜 １６ 第二電極膜
１８ 第一誘電体膜 １９ 第二誘電体膜
２０，６２ 積層シート製造装置 ２２ 真空槽
２４ 排気パイプ ２６ 真空ポンプ
２８ 巻出しローラ ３０ 巻取りローラ
３２ 第一のローラ ３４ 第二のローラ
３６ 第三のローラ ３８ 蒸発材料
４０，５４，７８ ヒータ ４２ 第一の補助真空槽
４４ 第一の補助排気パイプ ４６ 第一の補助真空ポンプ
５２，７６ モノマー導入ポット ６４ 第四のローラ
６６ 第二の補助真空槽 ６８ 第二の補助排気パイプ
７０ 第二の補助真空ポンプ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層シートの製造装置及び製造方法に係り、特に、樹脂フィルムの両面に金属蒸着膜がそれぞれ形成されると共に、それらの金属蒸着膜のうちの少なくとも何れか一方のものの上に、更に、樹脂薄膜が蒸着重合法によって積層形成されてなる積層シートを製造するための新規な装置と、そのような積層シートを有利に製造する方法とに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、樹脂フィルムの両面に、金属薄膜がそれぞれ金属蒸着により形成されると共に、それらの金属薄膜のうちの少なくとも何れか一方のものの上に、更に、樹脂薄膜が蒸着重合法によって積層形成されてなる積層シートが、様々な用途で用いられている。例えば、電子機器に使用されるフィルムコンデンサの構成材料や、包装用シート、或いは各種物品の保護用シート等として、利用されている。
【０００３】
ところで、このような積層シートを製造する際には、一般に、先ず、公知の連続真空蒸着装置を用いて、樹脂フィルムの両面に金属薄膜が金属蒸着によりそれぞれ形成された金属化フィルムが作製される。また、そこでは、通常、長尺な金属化フィルムが巻回体として得られる。そして、例えば、特開２００１−２６１８６７号公報（特許文献１）等に記載されるように、金属化フィルムの製造装置（連続真空蒸着装置）とは別個の巻取り式真空蒸着重合装置等を用いて、金属化フィルムの両面に形成されている金属薄膜のうちの少なくとも何れか一方のものの上に、樹脂薄膜が、蒸着重合法によって積層形成される。かくして、目的とする積層シートが製造されるのである。
【０００４】
ところが、そのような従来の技術によって積層シートを製造する場合、樹脂フィルムの両面に金属薄膜を形成するための連続真空蒸着装置と、金属薄膜上に樹脂薄膜を積層形成するための巻取り式真空蒸着重合装置の両方の装置を個別に導入する必要がある。また、それら２種類の装置を使用する場合、連続真空蒸着装置内で作製された金属化フィルムを連続真空蒸着装置から取り出した後、巻取り式真空蒸着重合装置にセットしなければならない。このとき、連続真空蒸着装置各装置の内部を真空状態から大気開放状態とする一方、巻取り式真空蒸着重合装置の内部を大気開放状態から真空状態とするといった面倒な作業が必要となる。
【０００５】
このため、従来の積層シートの製造技術では、設備費やランニングコストが高くなってしまうだけでなく、時間と手間の掛かる作業を強いられていたのである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−２６１８６７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ここにおいて、本発明は、上述せる如き事情を背景にして為されたものであって、その解決課題とするところは、樹脂フィルムの両面に金属蒸着膜がそれぞれ形成されると共に、それらの金属蒸着膜のうちの少なくとも何れか一方のものの上に、更に、樹脂薄膜が蒸着重合法によって積層形成されてなる積層シートを、十分に低いコストと優れた作業性をもって有利に製造し得る積層シートの製造装置と製造方法とを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記した課題、又は本明細書全体の記載や図面から把握される課題を解決するために、以下に列挙する各種の態様において、好適に実施され得るものである。また、以下に記載の各態様は、任意の組み合わせにおいても、採用可能である。そして、本発明の態様乃至は技術的特徴は、以下に記載のものに何等限定されることなく、明細書全体の記載並びに図面に開示の発明思想に基づいて、認識され得るものであることが、理解されるべきである。
【０００９】
＜１＞ 樹脂フィルムの一方の面に第一の金属薄膜が、その他方の面に第二の金属薄膜が、それぞれ金属蒸着により形成されると共に、該第一の金属薄膜上に、更に、樹脂薄膜が蒸着重合法によって積層形成されてなる積層シートを製造するための装置であって、（ａ）前記樹脂フィルムの巻回体から該樹脂フィルムを巻き出す巻出しローラと、該巻回体から巻き出された該樹脂フィルムを巻き取る巻取りローラとが内部に設置された真空槽と、（ｂ）該真空槽内の空気を排出して、該真空槽内を真空状態とする排気手段と、（ｃ）前記巻出しローラにて、前記樹脂フィルムの巻回体から巻き出された前記樹脂フィルムが、前記一方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第一のローラと、（ｄ）該第一のローラから送り出された前記樹脂フィルムが、前記一方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第二のローラと、（ｅ）該第二のローラから送り出された前記樹脂フィルムが、前記他方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第三のローラと、（ｆ）前記巻出しローラと前記巻取りローラと前記第一乃至第三のローラのうちの少なくとも何れか一つを回転駆動させることにより、前記樹脂フィルムを該巻出しローラ側から該巻取りローラ側に向かって走行させる駆動手段と、（ｇ）前記第一のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面上に、前記第一の金属薄膜を金属蒸着により形成せしめる第一の金属蒸着手段と、（ｈ）前記第二のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面に形成された前記第一の金属薄膜上に、前記樹脂薄膜を蒸着重合法によって積層形成せしめる蒸着重合手段と、（ｉ）前記第三のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記他方の面上に、前記第二の金属薄膜を金属蒸着により形成せしめる第二の金属蒸着手段とを含むことを特徴とする積層シートの製造装置。
【００１０】
＜２＞ 前記第二のローラに巻き掛けられた前記樹脂フィルム部位の前記一方の面を収容可能な補助真空槽が、前記真空槽内に設けられると共に、前記排気手段とは独立して作動して、該補助真空槽内の空気を排出することにより、該補助真空槽内を該真空槽内とは真空度の異なる真空状態とする補助排気手段が設けられて、該補助真空槽内で、前記第一の金属薄膜上に、前記樹脂薄膜が、前記蒸着重合手段により積層形成されるようになっている上記態様＜１＞に記載の積層シートの製造装置。
【００１１】
＜３＞ 前記樹脂薄膜をプラズマ処理して、該樹脂薄膜に三次元架橋構造を導入せしめるプラズマ処理手段が、前記真空槽内に、更に設けられている上記態様＜１＞又は＜２＞に記載の積層シートの製造装置。
【００１２】
＜４＞ 樹脂フィルムの一方の面に第一の金属薄膜が、その他方の面に第二の金属薄膜が、それぞれ金属蒸着により形成されると共に、該第一の金属薄膜上に第一の樹脂薄膜が、該第二の金属薄膜上に第二の樹脂薄膜が、蒸着重合法によってそれぞれ積層形成されてなる積層シートを製造するための装置であって、（ａ）前記樹脂フィルムの巻回体から該樹脂フィルムを巻き出す巻出しローラと、該巻回体から巻き出された該樹脂フィルムを巻き取る巻取りローラとが内部に設置された真空槽と、（ｂ）該真空槽内の空気を排出して、該真空槽内を真空状態とする排気手段と、（ｃ）前記巻出しローラにて、前記樹脂フィルムの巻回体から巻き出された前記樹脂フィルムが、前記一方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第一のローラと、（ｄ）該第一のローラから送り出された前記樹脂フィルムが、前記一方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第二のローラと、（ｅ）該第二のローラから送り出された前記樹脂フィルムが、前記他方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第三のローラと、（ｆ）該第三のローラから送り出された前記樹脂フィルムが、前記他方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第四のローラと、（ｇ）前記巻出しローラと前記巻取りローラと前記第一乃至第四のローラのうちの少なくとも何れか一つを回転駆動させることにより、前記樹脂フィルムを該巻出しローラ側から該巻取りローラ側に向かって走行させる駆動手段と、（ｈ）前記第一のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面上に、前記第一の金属薄膜を金属蒸着により形成せしめる第一の金属蒸着手段と、（ｉ）前記第二のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面に形成された前記第一の金属薄膜上に、前記第一の樹脂薄膜を蒸着重合法によって積層形成せしめる第一の蒸着重合手段と、（ｊ）前記第三のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記他方の面上に、前記第二の金属薄膜を金属蒸着により形成せしめる第二の金属蒸着手段と、（ｋ）前記第四のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記他方の面に形成された前記第二の金属薄膜上に、前記第二の樹脂薄膜を蒸着重合法によって積層形成せしめる第二の蒸着重合手段とを含むことを特徴とする積層シートの製造装置。
【００１３】
＜５＞ 前記第二のローラに巻き掛けられた前記樹脂フィルム部位の前記一方の面を収容可能な第一の補助真空槽と、前記第四のローラに巻き掛けられた前記樹脂フィルム部位の前記他方の面を収容可能な第二の補助真空槽とが、前記真空槽内に設けられると共に、前記排気手段とは独立して作動して、該第一の補助真空槽内の空気を排出することにより、該第一の補助真空槽内を該真空槽内とは真空度の異なる真空状態とする第一の補助排気手段と、該排気手段とは独立して作動して、該第二の補助真空槽内の空気を排出することにより、該第二の補助真空槽内を該真空槽内とは真空度の異なる真空状態とする第二の補助排気手段とが更に設けられて、該第一の補助真空槽内で、前記第一の金属薄膜上に、前記第一の樹脂薄膜が、前記第一の蒸着重合手段により積層形成される一方、該第二の補助真空槽内で、前記第二の金属薄膜上に、前記第二の樹脂薄膜が、前記第二の蒸着重合手段により積層形成されるようになっている上記態様＜４＞に記載の積層シートの製造装置。
【００１４】
＜６＞ 前記第一の樹脂薄膜をプラズマ処理して、該第一の樹脂薄膜に三次元架橋構造を導入せしめる第一のプラズマ処理手段と、前記第二の樹脂薄膜をプラズマ処理して、該第二の樹脂薄膜に三次元架橋構造を導入せしめる第二のプラズマ処理手段とが、前記真空槽内に、更に設けられている上記態様＜４＞又は＜５＞に記載の積層シートの製造装置。
【００１５】
＜７＞ 前記積層シートが、フィルムコンデンサを形成するための材料となるフィルムコンデンサ形成用積層シートである上記態様＜１＞乃至＜６＞に記載の積層シートの製造装置。
【００１６】
＜８＞ 樹脂フィルムの一方の面に第一の金属薄膜が、その他方の面に第二の金属薄膜が、それぞれ金属蒸着により形成されると共に、該第一の金属薄膜上に、更に、樹脂薄膜が蒸着重合法によって積層形成されてなる積層シートを製造する方法であって、（ａ）第一のローラと第二のローラと第三のローラとが内部に設置された真空槽を有し、前記樹脂フィルムが、該真空槽内に収容されて、該第一のローラと該第二のローラと該第三のローラとに対して、その順番で巻き掛けられた状態において、該樹脂フィルムを該第一のローラ側から該第三のローラ側に向かって走行させ得るように構成された成膜装置を準備する工程と、（ｂ）前記第一のローラと前記第二のローラとに対して、前記樹脂フィルムを、前記一方の面が外側となるようにそれぞれ巻き掛けると共に、該第二のローラから送り出された該樹脂フィルムを、前記第三のローラに対して、前記他方の面が外側となるように巻き掛けて、前記真空層内を真空とした状態で、該樹脂フィルムを該第一のローラ側から該第三のローラ側に向かって走行させる工程と、（ｃ）前記第一のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面上に、前記第一の金属薄膜を金属蒸着により形成する工程と、（ｄ）前記第二のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面に形成された前記第一の金属薄膜上に、前記樹脂薄膜を蒸着重合法によって積層形成する工程と、（ｅ）前記第三のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記他方の面上に、前記第二の金属薄膜を金属蒸着により形成する工程とを含むことを特徴とする積層シートの製造方法。
【００１７】
＜９＞ 前記樹脂薄膜に対するプラズマ処理を実施して、該樹脂薄膜に三次元架橋構造を導入するようにした上記態様＜８＞に記載の積層シートの製造方法。
【００１８】
＜１０＞ 上記態様＜８＞又は＜９＞に記載の製造方法によって得られた前記積層シートを巻回して、又は該積層シートの複数を積層して製造することを特徴とするフィルムコンデンサの製造方法。
【００１９】
＜１１＞ 前記樹脂薄膜が、ポリユリア樹脂膜である上記態様＜１０＞に記載のフィルムコンデンサの製造方法。
【００２０】
＜１２＞ 前記樹脂薄膜が、前記樹脂フィルムよりも高い誘電率を有している上記態様＜１０＞又は＜１１＞に記載のフィルムコンデンサの製造方法。
【００２１】
＜１３＞ 前記樹脂薄膜が０．０１〜１０μｍの範囲内の厚さを有している上記態様＜１０＞乃至＜１２＞のうちの何れか一つに記載のフィルムコンデンサの製造方法。
【００２２】
＜１４＞ 前記樹脂フィルムがポリプロピレンからなる一方、前記樹脂薄膜がポリユリア樹脂からなる上記態様＜１０＞乃至＜１３＞のうちの何れか一つに記載のフィルムコンデンサの製造方法。
【００２３】
＜１５＞ 前記積層シートが、前記樹脂薄膜を内側にして巻回されている上記態様＜１０＞乃至＜１４＞のうちの何れか一つに記載のフィルムコンデンサの製造方法。
【００２４】
＜１６＞ 前記積層シートが、複数回、巻回されている上記態様＜１０＞乃至＜１５＞のうちの何れか一つに記載のフィルムコンデンサの製造方法。
【００２５】
＜１７＞ 前記積層シートの複数が、前記樹脂薄膜と前記金属薄膜とを互いに重なり合うように積層するようにした上記態様＜１０＞乃至＜１４＞のうちの何れか一つに記載のフィルムコンデンサ。
【００２６】
＜１８＞ 樹脂フィルムの一方の面に第一の金属薄膜が、その他方の面に第二の金属薄膜が、それぞれ金属蒸着により形成されると共に、該第一の金属薄膜上に第一の樹脂薄膜が、該第二の金属薄膜上に第二の樹脂薄膜が、蒸着重合法によってそれぞれ積層形成されてなる積層シートを製造する方法であって、（ａ）第一のローラと第二のローラと第三のローラと第四のローラとが内部に設置された真空槽を有しており、前記樹脂フィルムが、該真空槽内に収容されて、該第一のローラと該第二のローラと該第三のローラと該第四のローラとに対して、その順番で巻き掛けられた状態において、該樹脂フィルムを該第一のローラ側から該第四のローラ側に向かって走行させ得るように構成された成膜装置を準備する工程と、（ｂ）前記第一のローラと前記第二のローラとに対して、前記樹脂フィルムを、前記一方の面が外側となるようにそれぞれ巻き掛けると共に、該第二のローラから送り出された該樹脂フィルム部分を、前記第三のローラと前記第四のローラとに対して、前記他方の面が外側となるようにそれぞれ巻き掛けて、前記真空層内を真空とした状態で、該樹脂フィルムを該第一のローラ側から該第四のローラ側に向かって走行させる工程と、（ｃ）前記第一のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面上に、前記第一の金属薄膜を金属蒸着により形成する工程と、（ｄ）前記第二のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面に形成された前記第一の金属薄膜上に、前記第一の樹脂薄膜を蒸着重合法によって積層形成する工程と、（ｅ）前記第三のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記他方の面上に、前記第二の金属薄膜を金属蒸着により形成する工程と、（ｆ）前記第四のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記他方の面に形成された前記第二の金属薄膜上に、前記第二の樹脂薄膜を蒸着重合法によって積層形成する工程とを含むことを特徴とする積層シートの製造方法。
【００２７】
＜１９＞ 前記第一の樹脂薄膜と第二の樹脂薄膜とに対して、プラズマ処理をそれぞれ実施して、該第一の樹脂薄膜と該第二の樹脂薄膜とに三次元架橋構造をそれぞれ導入するようにした上記態様＜１８＞に記載の積層シートの製造方法。
【００２８】
＜２０＞ 上記態様＜１８＞又は＜１９＞に記載の製造方法によって得られた前記積層シートを巻回して、又は該積層シートの複数を積層して製造することを特徴とするフィルムコンデンサの製造方法。
【００２９】
＜２１＞ 前記樹脂薄膜が、ポリユリア樹脂膜である上記態様＜２０＞に記載のフィルムコンデンサの製造方法。
【００３０】
＜２２＞ 前記第一の樹脂薄膜と前記第二の樹脂薄膜とが、前記樹脂フィルムよりも高い誘電率を有している上記態様＜２０＞又は＜２１＞に記載のフィルムコンデンサの製造方法。
【００３１】
＜２３＞ 前記第一の樹脂薄膜と前記第二の樹脂薄膜膜が０．０１〜１０μｍの範囲内の厚さを有している上記態様＜２０＞乃至＜２２＞のうちの何れか一つに記載のフィルムコンデンサの製造方法。
【００３２】
＜２４＞ 前記樹脂フィルムがポリプロピレンからなる一方、前記第一の樹脂薄膜と前記第二の樹脂薄膜とがポリユリア樹脂からなる上記態様＜２０＞乃至＜２３＞のうちの何れか一つに記載のフィルムコンデンサの製造方法。
【００３３】
＜２５＞ 前記積層シートが、複数回、巻回されている上記態様＜２０＞乃至＜２４＞のうちの何れか一つに記載のフィルムコンデンサの製造方法。
【発明の効果】
【００３４】
このように、本発明に従う積層シートの製造装置のうち、第一乃至第三のローラを有するものにおいては、一つの真空槽内において、樹脂フィルムを巻出しローラから巻き出して、巻取りローラに送り出すことにより、その途中で、かかる樹脂フィルムの両面に対して、金属蒸着により、第一の金属薄膜と第二の金属薄膜とが形成されると共に、第一の金属薄膜上に、樹脂薄膜が、蒸着重合により形成されるようになっている。
【００３５】
また、本発明に従う積層シートの製造装置のうち、第一乃至第四のローラを有するものにあっても、一つの真空槽内において、樹脂フィルムを巻出しローラから巻き出して、巻取りローラに送り出すことにより、その途中で、かかる樹脂フィルムの両面に対して、金属蒸着により、第一の金属薄膜と第二の金属薄膜とが形成されると共に、第一の金属薄膜上に第一の樹脂薄膜が、第二の金属薄膜上に第二の樹脂薄膜が、それぞれ、蒸着重合により形成されるようになっている。
【００３６】
それ故、このような本発明に係る積層シートの製造装置を用いれば、金属薄膜形成用の連続真空蒸着装置と樹脂薄膜形成用の巻取り式真空蒸着重合装置の両方を個別に準備する必要が解消される。また、樹脂フィルムの両面に金属薄膜が形成された金属化フィルムを連続真空蒸着装置から取り出した後、改めて、巻取り式真空蒸着重合装置にセットする作業や、それに付随して実施される、各装置内をそれぞれ真空状態と大気開放状態とに別個に制御する面倒で時間のかかる作業からも有利に開放され得る。
【００３７】
従って、かくの如き本発明に従う積層シートの製造装置によれば、樹脂フィルムの両面に金属蒸着膜がそれぞれ形成されると共に、それらの金属蒸着膜のうちの少なくとも何れか一方のものの上に、更に、樹脂薄膜が蒸着重合法によって積層形成されてなる積層シートを、十分に低いコストと優れた作業性をもって有利に製造することが出来るのである。
【００３８】
そして、本発明に従う積層シートの製造方法にあっても、本発明に従う積層シートの製造装置において奏される作用・効果と実質的に同一の作用・効果が有効に享受され得ることとなる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明に従う積層シートの製造装置を用いて製造された積層シートの一例を示す部分断面説明図である。
【図２】本発明に従う積層シートの製造装置の一実施形態を示す断面説明図である。
【図３】図２に示された製造装置を用いて積層シートを製造する際の一工程例を示す説明図であって、樹脂フィルムを巻出し及び巻取りローラと第一乃至第三のローラに架け渡した状態を示している。
【図４】本発明に従う積層シートの製造装置を用いて製造された積層シートの別の例を示す図１に対応する図である。
【図５】本発明に従う積層シートの製造装置の別の実施形態を示す図２に対応する図である。
【発明を実施するための形態】
【００４０】
以下、本発明を更に具体的に明らかにするために、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ、詳細に説明することとする。
【００４１】
先ず、図１には、本発明に従う構造を有する製造装置を用いて製造された積層シートの一例として、フィルムコンデンサを構成する積層シートの一部が、断面形態において示されている。かかる図１から明らかなように、積層シート１０は、樹脂フィルムたる誘電体フィルム１２をベースとして有し、この誘電体フィルム１２の主面を与える一方の面（図１における誘電体フィルム１２の上面）と他方の面（図１における誘電体フィルム１２の下面）に対して、それぞれ、第一の金属薄膜としての第一電極膜１４と第二の金属薄膜たる第二電極膜１６とが、積層形成されている。また、第一電極膜１４上には、樹脂薄膜としての第一誘電体膜１８が、更に積層形成されている。
【００４２】
この積層シート１０のベースたる誘電体フィルム１２は、ここでは、ポリプロピレン製の延伸フィルムからなり、１〜１０μｍ程度の厚さを有している。なお、この誘電体フィルム１２の形成材料は、ポリプロピレンに何等限定されるものではなく、例えば、ポリエチレンテレフタレートやポリフェニレンサルファイド、ポリエチレンナフタレート等、従来のフィルムコンデンサを構成する誘電体フィルムの形成材料として使用される樹脂材料が、ポリプロピレンに代えて、適宜に用いられ得る。また、積層シート１０が、フィルムコンデンサ以外の用途に使用される場合には、誘電体フィルム１２たる樹脂フィルムの形成材料として、例示のもの以外の樹脂材料も、勿論、使用可能である。
【００４３】
誘電体フィルム１２の両方の面上に形成される第一電極膜１４と第二電極膜１６は、真空中での蒸着法の実施によって形成された金属蒸着薄膜からなっている。各電極膜１４，１６の厚さは、各電極膜１４，１６の膜抵抗値が１〜２５Ω／ｃｍ2 程度の範囲内の値となるように、適宜に決定される。
【００４４】
また、それら第一及び第二電極膜１４，１６の形成材料としては、従来品と同様に、アルミニウムや亜鉛等の金属材料の中から、例えば、誘電体フィルム１２の材質等に応じて適宜に選択されたものが、使用される。なお、それら第一電極膜１４と第二電極膜１６は、必ずしも、同一の金属材料からなるものでなくとも良く、フィルムコンデンサに対する要求性能等に応じて、形成材料が決定される。また、第一電極膜１４と第二電極膜１６のそれぞれの厚さや膜抵抗値も、フィルムコンデンサに対する要求性能等に応じて、互いに同一の値とされるか、若しくは互いに異なる値とされる。なお、積層シート１０が、フィルムコンデンサ以外の用途に使用される場合には、金属薄膜（本実施形態での電極膜１４，１６に相当する）の形成材料や厚さ等は、用途等によって、適宜に変更可能である。
【００４５】
第一電極膜１４の外周面上に、換言すれば誘電体フィルム１２側とは反対側の面上に形成される第一誘電体膜１８は、ポリユリア樹脂製の薄膜からなっている。この第一誘電体膜１８は、真空中で、蒸着重合法を公知の手法に従って実施することにより形成されてなるものである。
【００４６】
このように、第一誘電体膜１８は、真空中で生成した重合体によって形成された蒸着重合膜にて構成されているために、ナノオーダーでの膜厚制御が可能となっており、膜厚が、極めて薄く且つ均一にコントロールされているだけでなく、膜中の不純物量が十分に少なくされている。また、この第一誘電体膜１８の厚さは、一般に、０．０１〜１０μｍ程度とされることとなる。
【００４７】
なお、第一誘電体膜１８は、上述のポリユリア樹脂膜に、特に限定されるものではなく、ポリアミド樹脂膜や、ポリイミド樹脂膜、ポリアミドイミド樹脂膜、ポリエステル樹脂膜、ポリアゾメチン樹脂膜、ポリウレタン樹脂膜、アクリル樹脂膜等、公知の蒸着重合法によって成膜可能な樹脂膜にて構成しても、何等差し支えない。そして、その中でも、誘電体フィルム１２よりも高い誘電率を有する樹脂膜が、好適に採用される。そのような樹脂膜にて第一誘電体膜１８を形成することによって、フィルムコンデンサの静電容量を効果的に増大させることが可能となる。なお、誘電率の差異を有する誘電体フィルム１２や第一誘電体膜１８を形成する樹脂材料としては、例示の如きポリプロピレンとポリユリアの組合せに何等限定されるものではない。
【００４８】
また、第一誘電体膜１８は、上記の如き高誘電率を有する樹脂膜のうちでも、特に、ポリユリア樹脂膜にて構成されていることが、より望ましい。何故なら、ポリユリア樹脂は、原料モノマー（ジイソシアネートとジアミン）の重合に際して、加熱処理が不要であり、しかも、水やアルコール等の脱離が全くない重付加重合反応において、形成されるものであるからである。このため、原料モノマーの重合時に加熱処理を実施するための設備が不要となって、低コスト化が実現され得ると共に、加熱処理時の熱によって、誘電体フィルム１２が変形する、所謂熱負けが惹起されることが有利に回避され得るのである。また、重合反応によって脱離した水やアルコール等を、重合反応が進行する真空槽中から除去する必要がなく、そのための設備も不要となり、これによっても、低コスト化が実現可能となるのである。勿論、積層シート１０がフィルムコンデンサ用以外に使用される場合には、樹脂薄膜（本実施形態での第一誘電体膜１８に相当する）の形成材料や厚さ等は、用途等によって、適宜に変更可能である。
【００４９】
そして、本実施形態では、第一電極膜１４上に積層形成された第一誘電体膜１８の表面に対して、更にプラズマ処理が施されて、第一誘電体膜１８に三次元架橋構造が導入されている。これによって、第一誘電体膜１８の耐電圧性が有利に高められ得るのである。
【００５０】
ところで、このような積層シート１０を製造する際には、例えば、図２に示される如き積層シート製造装置２０（成膜装置）が用いられる。
【００５１】
この積層シート製造装置２０は、長手矩形状の真空槽２２を有している。かかる真空槽２２の一つの側壁部には、排気パイプ２４が接続されており、また、この排気パイプ２４が、真空ポンプ２６に接続されている。かくして、真空ポンプ２６の作動により、真空槽２２内の空気が外部に排出されて、真空槽２２内が真空状態とされるようになっている。このことから明らかなように、本実施形態では、排気パイプ２４と真空ポンプ２６とにて、排気手段が構成されている。なお、ここでは、真空ポンプ２６の作動によって、真空槽２２内が１０-4〜１００Ｐａ程度の圧力（真空度）にコントロールされるようになっている。
【００５２】
また、かかる真空槽２２内には、巻出しローラ２８と巻取りローラ３０とが、設置されている。それら巻出しローラ２８と巻取りローラ３０は、真空槽２２の長さ方向（図２の上下方向）中央部において、幅方向（図２の左右方向）両側にそれぞれ偏倚して配置されている。また、巻取りローラ３０は、駆動手段としての電動モータ（図示せず）に連結されている。これにより、巻取りローラ３０が、電動モータの駆動／停止に伴って回転駆動／停止させられるようになっている。
【００５３】
真空槽２２内には、更に、第一のローラ３２と第二のローラ３４と第三のローラ３６とが、設置されている。それら第一乃至第三のローラ３２，３４，３６は、互いに同一の外径を有している。そして、第一のローラ３２と第二のローラ３４とが、巻出しローラ２８を間に挟んで、真空槽２２の長さ方向両側にそれぞれ偏倚して配置されている。一方、第三のローラ３６は、真空槽２２の幅方向において、第一のローラ３２と並んで配置されている。
【００５４】
また、真空槽２２内において、第一のローラ３２を間に挟んで、巻出しローラ２８側とは反対側の箇所には、アルミニウム又はアルミニウム合金（以下、アルミニウムと総称する）からなる第一蒸着材料３８ａが、第一のローラ３２の外周面と所定距離を隔てて対向した状態で、図示しないホルダ等により設置されている。一方、第三のローラ３６を間に挟んで、巻取りローラ３０とは反対側の箇所にも、アルミニウム又はアルミニウム合金（以下、アルミニウムと総称する）からなる第二蒸着材料３８ｂが、第三のローラ３６の外周面と所定距離を隔てて対向した状態で、ホルダ等により設置されている。また、それら第一及び第二蒸着材料３８ａ，３８ｂの第一及び第三のローラ３２，３６とは反対側には、各蒸着材料３８ａ，３８ｂを加熱するための第一ヒータ４０ａと第二ヒータ４０ｂが、それぞれ設置されている。
【００５５】
さらに、真空槽２２内において、第二のローラ３４を間に挟んで、巻出しローラ２８側とは反対側の箇所には、第一の補助真空槽４２が設置されている。この第一の補助真空槽４２は、真空槽２２の外部から、真空槽２２の側壁部を貫通して延びる第一の補助排気パイプ４４が接続されている。また、かかる第一の補助排気パイプ４４の真空槽２２から外部への突出部分には、第一の補助真空ポンプ４６が接続されている。更に、第一の補助真空槽４２の側壁部には、窓部４８が設けられており、この窓部４８を通じて、第二のローラ３４の一部が、その外周面を第一の補助真空槽４２内に露呈させるように、突入している。
【００５６】
かくして、第一の補助真空ポンプ４６が、前記真空ポンプ２６の作動とは独立して制御された状態下で作動することにより、第一の補助真空槽４２内から空気が第一の補助排気パイプ４４を通じて外部に排出されるようになっている。そして、それにより、第一の補助真空槽４２内が、真空槽２２内とは圧力が異なる真空状態とされるようになっている。
【００５７】
また、そのような第一の補助真空槽４２の窓部４８が形成される側壁部と対向する別の側壁部には、二つの開口部５０ａ，５０ｂが形成されている。そして、それら各開口部５０ａ，５０ｂに対して、二つのモノマー導入ポット５２ａ，５２ｂが、連通状態で、接続されている。それら二つのモノマー導入ポット５２ａ，５２ｂのうちの一方の内部には、ジイソシアネートが所定の量だけ収容されている一方、それらのうちの他方の内部には、ジアミンが所定の量だけ収容されている。更に、二つのモノマー導入ポット５２ａ，５２ｂにおける第一の補助真空槽４２内への開口側とは反対の底部側には、各モノマー導入ポット５２ａ，５２ｂ内の原料モノマーを加熱するための第三ヒータ５４ａと第四ヒータ５４ｂが、それぞれ設置されている。なお、モノマー導入ポット５２ａ，５２ｂ内に収容されるモノマー原料は、蒸着重合によって形成されるべき第一誘電体膜１８を与える重合物の種類によって適宜に変更されることは、言うまでもないところである。
【００５８】
また、真空槽２２内における第二のローラ３４の近傍において、後述する誘電体フィルム１２の送出し側に位置する箇所には、プラズマ処理手段としての第一のプラズマ発生装置５６が設置されている。このプラズマ発生装置５６は、例えば、レーザを用いてプラズマを発生させる、従来より公知の構造を有している。
【００５９】
そして、このような本実施形態の積層シート製造装置２０を用いて、目的とする積層シート１０を製造する際には、例えば、以下のようにして、その作業が進められる。
【００６０】
すなわち、図３に示されるように、先ず、前記せる誘電体フィルム１２の巻回体５８を、巻出しローラ２８に外挿して、セットする。そして、巻回体５８から誘電体フィルム１２の一部を巻き出して、それを第一のローラ３２と第二のローラ３４とに対して、それらに架け渡すように巻き掛ける。
【００６１】
このとき、誘電体フィルム１２は、その一方の面が、第一のローラ３２と第二のローラ３４のそれぞれの外周面側とは反対側に位置して、外部に露呈されるように、つまり、一方の面が外側となるように、各ローラ３２，３４に巻き掛けられる。これにより、第一のローラ３２の外周面上で外側に位置する誘電体フィルム１２の一方の面が、第一蒸着材料３８ａに対して所定距離を隔てて対向配置される。また、第二のローラ３４の外周面上で外側に位置する誘電体フィルム１２の一方の面は、第一の補助真空槽４２の内側空間に露呈した状態で、第一の補助真空槽４２内に収容される。
【００６２】
また、第二のローラ３４から第一のローラ３２側とは反対側に送り出される誘電体フィルム１２部分を、第三のローラ３６に巻き掛ける。このとき、かかる誘電体フィルム１２部分は、第一及び第二のローラ３２，３４の外周面上で外側に位置する一方側の面とは反対側の他方の面が、第三のローラ３６の外周面上で外部に露呈されるように、つまり外側となるように、第三のローラ３６に巻き掛けられる。これにより、第三のローラ３６の外周面上で外側に位置する誘電体フィルム１２の他方の面が、第二蒸着材料３８ｂに対して所定距離を隔てて対向配置される。
【００６３】
さらに、第三のローラ３６から第二のローラ３４側とは反対側に送り出される誘電体フィルム１２部分を、巻取りローラ３０にセットされた巻取りリール３１に巻き掛けて、取り外し可能に固定する。
【００６４】
そして、そのような状態において、真空ポンプ２６を作動させて、真空槽２２内を１０-4〜１００Ｐａ程度にまで減圧して、真空状態とする。また、それと共に、第一の補助真空ポンプ４６も作動させて、第一の補助真空槽４２内を１０-5〜１０Ｐａ程度にまで減圧して、真空状態とする。
【００６５】
次に、図示しない電動モータを駆動して、図２に示されるように、巻取りローラ３０を、半時計回りに回転させる。これにより、巻取りローラ３０にセットされた巻取りリール３１を回転駆動させて、誘電体フィルム１２の巻取りを開始する。そうして、巻出しローラ２８に外挿された巻回体５８から、誘電体フィルム１２を徐々に巻き出しつつ、誘電体フィルム１２が巻き掛けられた第一乃至第三のローラ３２，３４，３６を図２中の矢印回りに回転させる。これにより、巻回体５８から巻き出された誘電体フィルム１２を、第一のローラ３２→第二のローラ３４→第三のローラ３６→巻取りローラ３０の順に走行させる。
【００６６】
そして、その一方で、第一蒸着材料３８ａを第一ヒータ４０ａにて加熱し、蒸発させて、真空蒸着を実施する。これにより、第一のローラ３２に巻き掛けられた誘電体フィルム１２の一方の面に対して、第一のローラ３２の外周面上で、第一電極膜１４を形成する。その後、この第一電極膜１４が形成された誘電体フィルム１２部分を、誘電体フィルム１２の走行方向下流側に位置する第二のローラ３４に送り出す。
【００６７】
また、二つのモノマー導入ポット５２ａ，５２ｂ内にそれぞれ収容された、原料モノマーであるジイソシアネートとジアミンとを第三ヒータ５４ａと第四ヒータ５４ｂにて加熱し、第一の補助真空槽４２内に蒸発させる。そして、誘電体フィルム１２の一方の面に形成されて、第一の真空補助槽４２内で露呈する第一電極膜１４上において、ジイソシアネートとジアミンとの重合反応を惹起させることにより、かかる第一電極膜１４上に、ポリユリア樹脂膜からなる第一誘電体膜１８を積層形成する。そして、この第一電極膜１４と第一誘電体膜１８とが積層形成された誘電体フィルム１２部分を、下流側の第三のローラ３６に送り出す。
【００６８】
引き続いて、第二のローラ３４から送り出された誘電体フィルム１２が第三のローラ３６に達する前に、第二のローラ３４と第三のローラ３６との間に配置された第一のプラズマ発生装置５６から発生するプラズマを、第一誘電体膜１８の表面に照射して、第一誘電体膜１８をプラズマ処理する。これにより、第一誘電体膜１８に三次元架橋構造を導入する。その結果、第一誘電体膜１８の耐電圧性が有利に高められ得る。
【００６９】
その後、第二蒸着材料３８ｂを第二ヒータ４０ｂにて加熱し、蒸発させて、真空蒸着を行う。これにより、第三のローラ３６に巻き掛けられた誘電体フィルム１２部分の他方の面、つまり、第一電極膜１４と第一誘電体膜１８とが積層形成された側とは反対側の面に対して、第三のローラ３６の外周面上で、第二電極膜１６を形成する。かくして、一方の面に第一電極膜１４と第一誘電体膜１８とが積層形成されると共に、他方の面に第二電極膜１６が形成された積層シート１０を得ると共に、この積層シート１０を、下流側の巻取りローラ３０に送り出す。
【００７０】
次いで、積層シート１０を、巻取りローラ３０にセットされた巻取りリール３１にて巻き取る。かくして、目的とする積層シート１０を、連続的に製造すると共に、それを、巻回物として得るのである。
【００７１】
そして、図示されてはいないものの、例えば、かくして得られた積層シート１０の巻回物から、積層シート１０を巻き出して、所定長さに切断する。その後、それらの積層シート１０の切断片の複数を、第二電極膜１６と第一誘電体膜１８とが互いに重ね合わされるように積層する。これにより、積層タイプのフィルムコンデンサが製造される。或いは、積層シート１０の巻回物から積層シート１０を巻き出しつつ、又は所定長さだけ巻き出した後、巻き出された積層シート１０を、第一誘電体膜１８が内側となるように１回又は複数回、巻回する。これにより、巻回タイプのフィルムコンデンサが製造されるのである。
【００７２】
なお、上記から明らかなように、本実施形態では、第一蒸着材料３８ａと第一ヒータ４０ａとにて、第一の金属蒸着手段が、また、第二蒸着材料３８ｂと第二ヒータ４０ｂとにて、第二の金属蒸着手段とが、それぞれ構成されている。更に、二つのモノマー導入ポット５２ａ，５２ｂと第三及び第四ヒータ５４ａ，５４ｂとにて、蒸着重合手段が構成されている。
【００７３】
また、本実施形態では、誘電体フィルム１２に対して第一及び第二電極膜１４，１６を形成する金属蒸着工程と、第一誘電体膜１８を形成する蒸着重合工程とが、同時に開始されるようになっている。このため、巻取りローラ３０にて巻き取られる巻回物の中心側部位には、誘電体フィルム１２の一方の面上に第一誘電体膜１８のみが形成される部分と、一方の面には膜が何等形成されておらず、他方の面のみに第二電極膜１６が形成されてなる部分とが存在するが、これらの部分は、最終的に切除されることとなる。
【００７４】
このように、本実施形態においては、一つの真空槽２２内で、巻出しローラ２８と巻取りローラ３０との間で、第一乃至第三のローラ３２，３４，３６に架け渡された誘電体フィルム１２を一方向に走行させつつ、第一乃至第三のローラ３２，３４，３６の各外周面上で、誘電体フィルム１２の一方の面に、第一電極膜１４と第一誘電体膜１８とを積層形成すると共に、その他方の面に、第二電極膜１６を形成するようになっている。
【００７５】
そのため、このような本実施形態によれば、誘電体フィルム１２の両面に、第一電極膜１４と第二電極膜１６を、金属蒸着によって連続的に形成するための装置と、誘電体フィルム１２の一方の面に形成された第一電極膜１４上に、第一誘電体膜１８を、蒸着重合によって更に形成するための装置とを、別々に準備する必要がない。また、それ故に、誘電体フィルム１２の両面に第一及び第二電極膜１４，１６が形成された金属化フィルムを金属蒸着装置から取り出した後、改めて、第一誘電体膜１８を蒸着重合によって形成するための装置にセットし直す作業や、その際に、各装置内をそれぞれ真空状態と大気開放状態とに別個に制御する作業からも有利に開放され得る。
【００７６】
従って、かくの如き本実施形態によれば、誘電体フィルム１２の両面に第一及び第二電極膜１４，１６がそれぞれ形成されると共に、第一電極膜１４上に、更に、第一誘電体膜１８が蒸着重合法によって積層形成されてなる積層シート１０を、十分に低いコストと優れた作業性をもって有利に製造することが出来る。そして、その結果として、そのような積層シート１０を積層又は巻回してなる、積層タイプや巻回タイプのフィルムコンデンサが、低コストに且つ作業性良く得られることとなるのである。
【００７７】
また、本実施形態では、第一の補助真空ポンプ４６にて、真空槽２２とは異なる圧力にコントロールされた第一の補助真空槽４２内で、第一誘電体膜１８が、第一電極膜１４上に、蒸着重合により積層形成されるようになっている。このため、金属蒸着とは異なる真空条件で実施される蒸着重合が、金属重合を行うための真空槽２２内で、極めて良好且つ適正な条件の下で実施され得る。その結果として、第一電極膜１４上に、適正な膜厚で且つ高品質の第一誘電体膜１８が、極めて有利に形成され得るのである。
【００７８】
また、本実施形態において製造された積層シート１０を巻回して、或いは積層して得られるフィルムコンデンサにおいては、第一電極膜１４と第二電極膜１６とが、延伸フィルム等からなる誘電体フィルム１２を間に挟んで、その両側に位置せしめられる構造（Ａ）のみを有する、従来のフィルムコンデンサとは異なって、かかるＡ構造と共に、第一電極膜１４と第二電極膜１６とが、蒸着重合膜からなる第一誘電体膜１８を間に挟んで、その両側に位置せしめられる構造（Ｂ）が導入されている。そして、かかるＢ構造においては、第一誘電体膜１８が、真空中での蒸着重合によって形成されたものであるところから、ナノオーダーでの膜厚制御が可能で、極めて薄く且つ均一な膜厚とされているだけでなく、膜中の不純物量が十分に少なくされている。
【００７９】
それ故、本実施形態において製造された積層シート１０を用いて得られるフィルムコンデンサにあっては、従来のフィルムコンデンサとは異なって、誘電体フィルム１２を極端に薄肉化したり、フィルム材料中の不純物を低減させたりすることなく、コンデンサ全体を小型化し且つ静電容量を効果的に増大させることが出来る。
【００８０】
従って、本実施形態において製造された積層シート１０を用いて得られるフィルムコンデンサにあっては、必ずしも、誘電体フィルム１２を薄肉化したり、フィルム材料中の不純物量を低減させたりして、誘電体フィルム１２の高機能化を図らなくとも、また、誘電体フィルム１２の薄肉化による問題を発生させることもなしに、小型・大容量化が有利に実現され得、以て、種々の要求性能が、極めて効果的に達成され得るのである。
【００８１】
次に、図４には、本発明に従う構造を有する製造装置を用いて製造された積層シートの別の例が、断面形態において示されている。かかる図４から明らかなように、この積層シート６０は、樹脂フィルムとしての誘電体フィルム１２の両面に、第一の金属薄膜たる第一電極膜１４と、第二の金属薄膜としての第二電極膜１６が形成され、また、それら第一電極膜１４上と第二電極膜１６上とに対して、第一の樹脂薄膜たる第一誘電体膜１８と、第二の樹脂薄膜としての第二誘電体膜１９とが、更にそれぞれ積層形成されている。
【００８２】
この積層シート６０においては、第一電極膜１４と第二電極膜１６とが、前記第一の実施形態に係る積層シート製造装置２０にて製造される積層シート１０の第一電極膜１４及び第二電極膜１６に対して、材質、膜厚、及び構造が全て同一とされている。また、第一誘電体膜１８と第二誘電体膜１９が、かかる積層シート１０の第一誘電体膜１８に対して、材質、膜厚、及び構造が全て同一とされている。
【００８３】
そして、このような積層シート６０を製造する際には、例えば、図５に示される如き構造を有する積層シート製造装置（成膜装置）６２が、用いられる。
【００８４】
本実施形態に係る積層シート製造装置６２においては、前記第一の実施形態に係る積層シート製造装置２０の真空槽２２内に、第一乃至第三のローラ３２，３４，３６に加えて、第四のローラ６４が設置されている。この第四のローラ６４は、第一乃至第三のローラ３２，３４，３６と同一の外径を有している。そして、真空槽２２の長さ方向において、巻取りローラ３０を間に挟んで第三のローラ３６側とは反対側の箇所に、配置されている。
【００８５】
また、第四のローラ６４を間に挟んで、巻取りローラ３０側とは反対側には、第二の補助真空槽６６が設置されている。この第二の補助真空槽６６は、真空槽２２の外部から、真空槽２２の側壁部を貫通して延びる第二の補助排気パイプ６８が接続されている。また、かかる第二の補助排気パイプ６８の真空槽２２から外部への突出部分には、第二の補助真空ポンプ７０が接続されている。更に、第二の補助真空槽６６の側壁部には、窓部７２が設けられており、この窓部７２を通じて、第四のローラ６４の一部が、その外周面を第二の補助真空槽６６内に露呈させるように、突入している。
【００８６】
かくして、第二の補助真空ポンプ７０が、前記真空ポンプ２６の作動とは独立して制御された状態下で作動することにより、第二の補助真空槽６６内が、真空槽２２内とは圧力が異なる真空状態とされるようになっている。なお、ここでは、第二の補助真空ポンプ７０の作動が、前記第一の補助真空ポンプ４６の作動を制御する制御装置と同一の制御装置にて制御されている。そして、そのような第二の補助真空ポンプ７０の作動により、第二の補助真空層６６内が、第一の補助真空層４２内と同じ圧力の真空状態とされている。
【００８７】
また、そのような第二の補助真空槽６６の側壁部にも、二つの開口部７４ａ，７４ｂが形成されている。そして、それら各開口部７４ａ，７４ｂに対して、二つのモノマー導入ポット７６ａ，７６ｂが、連通状態で接続されている。それら二つのモノマー導入ポット７６ａ，７６ｂのうちの一方の内部には、ジイソシアネートが所定の量だけ収容されている一方、それらのうちの他方の内部には、ジアミンが所定の量だけ収容されている。更に、二つのモノマー導入ポット７６ａ，７６ｂにおける第二の補助真空槽６６内への開口側とは反対の底部側には、各モノマー導入ポット７６ａ，７６ｂ内の原料モノマーを加熱するための第五ヒータ７８ａと第六ヒータ７８ｂが、それぞれ設置されている。なお、モノマー導入ポット７６ａ，７６ｂ内に収容されるモノマー原料は、蒸着重合によって形成されるべき第二誘電体膜１９を与える重合物の種類によって適宜に変更されることは、言うまでもないところである。
【００８８】
また、真空槽２２内における第四のローラ６４と巻取りローラ３０の間において、第四のローラ６４側に偏倚した箇所には、第二のプラズマ処理手段としての第二のプラズマ発生装置８０が設置されている。この第二のプラズマ処理装置８０は、第二のローラ３４の近傍に設置された、第一のプラズマ処理手段としての第一のプラズマ発生装置５６と同一の構造を有している。
【００８９】
そして、このような本実施形態の積層シート製造装置６２を用いて、目的とする積層シート６０を製造する際には、例えば、以下のようにして、その作業が進められる。
【００９０】
すなわち、先ず、巻出しローラ２８に外挿した誘電体フィルム１２の巻回体５８から巻き出される誘電体フィルム１２部分を、前記第一の実施形態と同様にして、第一乃至第三のローラ３２，３４，３６に巻き掛けると共に、第三のローラ３６から送り出される誘電体フィルム１２部分を、その他方の面が、第四のローラ６４の外周面側とは反対側に位置して、第二の補助真空槽６６内に露呈されるように、第四のローラ６４に巻き掛ける。また、第四のローラ６４から送り出される誘電体フィルム１２部分を、巻取りローラ３０にセットされた巻取りリール３１に巻き掛けて、取り外し可能に固定する。
【００９１】
そして、そのような状態において、真空ポンプ２６と第一及び第二の補助真空ポンプ４６，７０とを作動させる。それにより、真空槽２２内を１０-4〜１００Ｐａ程度にまで減圧する一方、第一の補助真空槽４２内を１０-5〜１０Ｐａ程度にまで減圧し、更に、第二の補助真空槽６６内を１０-5〜１０Ｐａ程度にまで減圧して、各真空槽２２，４２，６６内をそれぞれ真空状態とする。
【００９２】
次に、図示しない電動モータを駆動して、図５に示されるように、巻取りローラ３０を、半時計回りに回転させる。これにより、巻出しローラ２８と第一乃至第四のローラ３２３４，３６，６４を図５中の矢印回りに回転させると共に、巻出しローラ２８に外挿された巻回体５８から、誘電体フィルム１２を徐々に巻き出しつつ、巻取りローラ３０にて巻き取る。そうして、巻回体５８から巻き出された誘電体フィルム１２を、第一のローラ３２→第二のローラ３４→第三のローラ３６→第四のローラ６４→巻取りローラ３０の順に走行させる。
【００９３】
そして、前記第一の実施形態と同様に、誘電体フィルム１２を第一のローラ３２→第二のローラ３４→第三のローラ３６の順で走行させるときに、それら各ローラ３２，３４，３６の外周面上で、誘電体フィルム１２の一方の面上に、第一電極膜１４と第一誘電体膜１８とを積層形成する一方、誘電体フィルム１２の他方の面上に、第二電極膜１６を形成する。なお、第一電極膜１４と第一誘電体膜１８とが積層形成された誘電体フィルム１２部分を第二のローラ３４から第三のローラ３６に送り出す際に、その途中で、かかる誘電体フィルム１２部分の第一誘電体膜１８を、第一のプラズマ発生装置５６によりプラズマ処理して、この第一誘電体膜１８に三次元架橋構造を導入する。これによって、第一誘電体膜１８の耐電圧性を高める。
【００９４】
その後、第二の補助真空槽６６内で、第四のローラ６４に巻き掛けられた誘電体フィルム１２の第二電極膜１６上に、第二誘電体膜１９を積層形成する。この第二誘電体膜１９の形成は、第一の補助真空槽４２内で、誘電体フィルム１２の第一電極膜１４上に、第一誘電体膜１８を積層形成する際と同様な蒸着重合を、第二の補助真空槽６６内で実施することにより実現される。
【００９５】
かくして、一方の面に第一電極膜１４と第一誘電体膜１８とが積層形成されると共に、他方の面に第二電極膜１６と第二誘電体膜１９が形成された積層シート６０を得ると共に、この積層シート６０を、下流側の巻取りローラ３０に送り出す。
【００９６】
引き続いて、第四のローラ６４から送り出された誘電体フィルム１２が巻取りローラ３０に達する前に、それら第四のローラ６４と巻取りローラ３０との間に配置された第二のプラズマ発生装置８０から発生するプラズマを、第二誘電体膜１９の表面に照射して、第二誘電体膜１９をプラズマ処理する。これにより、第二誘電体膜１９に三次元架橋構造を導入して、第二誘電体膜１９の耐電圧性を高める。
【００９７】
その後、第二誘電体膜１９がプラズマ処理された積層シート６０を巻取りローラ３０にて、巻取りリール３１に巻き取る。これにより、目的とする積層シート６０を、連続的に製造すると共に、それを、巻回物として得るのである。
【００９８】
そして、この得られた積層シート６０の巻回物から積層シート６０を巻き出し、前述と同様にして、積層タイプや巻回タイプのフィルムコンデンサが製造されるのである。
【００９９】
なお、上記から明らかなように、本実施形態では、第一蒸着材料３８ａと第一ヒータ４０ａとにて、第一の金属蒸着手段が、第二蒸着材料３８ｂと第二ヒータ４０ｂとにて、第二の金属蒸着手段が、それぞれ構成されている。また、モノマー導入ポット５２ａ，５２ｂと第三及び第四ヒータ５４ａ，５４ｂとにて、第一の蒸着重合手段が、モノマー導入ポット７６ａ，７６ｂと第五及び第六ヒータ７８ａ，７８ｂとにて、第二の蒸着重合手段が、各々構成されている。
【０１００】
このように、本実施形態においては、一つの真空槽２２内で、巻出しローラ２８と巻取りローラ３０との間で、第一乃至第四のローラ３２，３４，３６，６４に架け渡された誘電体フィルム１２を一方向に走行させつつ、第一乃至第四のローラ３２，３４，３６，６４の各外周面上で、誘電体フィルム１２の一方の面に、第一電極膜１４と第一誘電体膜１８とを積層形成すると共に、その他方面に、第二電極膜１６と第二誘電体膜１９とを積層形成するようになっている。
【０１０１】
そのため、かかる本実施形態によれば、誘電体フィルム１２の両面に、第一電極膜１４と第二電極膜１６を、金属蒸着によって連続的に形成するための装置と、それら第一電極膜１４上と第二電極膜１６上とに、第一誘電体膜１８と第二誘電体膜１９とを、蒸着重合によって、それぞれ、更に形成するための装置とを別々に準備する必要がない。また、それ故に、誘電体フィルム１２の両面に第一及び第二電極膜１４，１６が形成された金属化フィルムを金属蒸着装置から取り出した後、改めて、かかる金属化フィルムの第一電極膜１４上と第二電極膜１６とに対して、第一誘電体膜１８と第二誘電体膜１９とを蒸着重合によってそれぞれ形成するための装置にセットし直す作業や、その際に、各装置内をそれぞれ真空状態と大気開放状態とに別個に制御する作業からも有利に開放され得る。
【０１０２】
従って、かくの如き本実施形態によれば、誘電体フィルム１２の両面に第一及び第二電極膜１４，１６がそれぞれ形成されると共に、それら第一電極膜１４上と第二電極膜１６上とに、更に、第一誘電体膜１８と第二誘電体膜１９とが蒸着重合法によって積層形成されてなる積層シート６０を、前記第一の実施形態と同様に、十分に低いコストと優れた作業性をもって有利に製造することが出来る。そして、その結果として、積層タイプや巻回タイプのフィルムコンデンサが、低コストに且つ作業性良く得られることとなるのである。また、そのようなフィルムコンデンサの製造に際して、前記第一の実施形態と同様な作用・効果が有利に奏され得る。
【０１０３】
以上、本発明の具体的な構成について詳述してきたが、これはあくまでも例示に過ぎないのであって、本発明は、上記の記載によって、何等の制約をも受けるものではない。
【０１０４】
例えば、前記第一の実施形態では、第一電極膜（第一の金属薄膜）１４に対して、その誘電体フィルム（樹脂フィルム）１２側とは反対側の面のみに、第一誘電体膜（第一の樹脂薄膜）１８が積層形成されていたが、第一電極膜１４に代えて、第二電極膜（第二の金属薄膜）１６の誘電体フィルム１２側とは反対側の面のみに、第一誘電体膜１８を積層形成することも可能である。
【０１０５】
また、前記第一及び第二の実施形態では、第一乃至第四のローラ３２，３４，３６，６４が、全て同一の外径を有していたが、それらのうちの少なくとも一つの外径を異なる大きさとしても良い。その際、他よりも外径が大きなローラの外周面上で、誘電体フィルム１２上に形成される金属薄膜や樹脂薄膜は、他に比して、長い時間をかけて金属蒸着や蒸着重合が実施されて形成されるため、膜厚を厚くすることが出来る。その逆に、他よりも外径が小さなローラの外周面上で、誘電体フィルム１２上に形成される金属薄膜や樹脂薄膜は、他に比して、短い時間で金属蒸着や蒸着重合が実施されて形成されるため、膜厚を薄くすることが出来る。
【０１０６】
また、例えば、成膜に際して、形成されるべき薄膜同士の間で、所定の膜厚に到達させるまでの時間（金属蒸着操作や蒸着重合操作に要する時間）が異なる場合にあっても、第一乃至第四のローラ３２，３４，３６，６４の幾つかのものの外径を、他のもとは異なる大きさとすることが有効となる。即ち、膜厚形成時間の長い薄膜を、周面上で形成するローラの外径を大きくしたり、膜厚形成時間の短い薄膜を、周面上で形成するローラの外径を小さくしたりすれば、誘電体フィルム１２を、各ローラ３２，３４，３６，６４間において一定の速度で走行させつつ、それぞれの薄膜が、所定の厚さをもって、有利に且つ確実に形成され得ることとなる。
【０１０７】
さらに、前記第一及び第二の実施形態では、巻取りローラ３０が電動モータ等の駆動手段により回転駆動させられることにより、誘電体フィルム１２が、巻出しローラ２８側から巻取りローラ３０側に走行するようになっていたが、駆動手段は、巻取り及び巻出しローラ３０，２８や第一乃至第四のローラ３２，３４，３６，６４のうちの少なくとも一つを回転駆動するように設置されておれば良い。勿論、そのような駆動手段として、電動モータ以外の公知の回転駆動装置が、何れも採用可能である。
【０１０８】
更にまた、そのような駆動手段による各ローラ２８，３０，３２，３４，３６，６４の回転速度を調節する回転速度調節機構（例えば、駆動手段が電動モータであれば、その回転速度を制御可能な公知の制御機構等）を設けて、誘電体フィルム１２の走行速度を任意に変化させ得るように構成することも可能である。誘電体フィルム１２の走行速度を遅くすることにより、その分だけ、長い時間を掛けて、金属蒸着操作や蒸着重合操作を実施することが出来、以て、例えば、第一及び第二電極膜１４，１６や第一及び第二誘電体膜１８，１９の膜厚を厚くすることが可能となる。また、誘電体フィルム１２の走行速度を早めれば、その分だけ、金属蒸着操作や蒸着重合操作に掛かる時間を短く為すことが出来、それによって、例えば、第一及び第二電極膜１４，１６や第一及び第二誘電体膜１８，１９の膜厚を薄くすることが可能となる。
【０１０９】
また、第一乃至第四のローラ３２，３４，３６，６４に対して、その外周面を冷却して、それに巻き掛けられる誘電体フィルム１２部分を冷却する冷却手段を設けても良い。これによって、各ローラ３２，３４，３６，６４の外周面上で形成される各電極膜１４，１６や各誘電体膜１８，１９を効率的に冷却して、安定化させることが可能となる。
【０１１０】
さらに、第一のローラ３２と第一蒸着材料３８ａとの間の距離や、第三のローラ３６と第二蒸着材料３８ｂとの間の距離を可変とする距離調節機構を設けても良い。この距離調節機構は、例えば、電動モータとカム機構やリンク機構等との組み合わせやシリンダ機構等の各種のアクチュエータによって構成される。そして、例えば、第一のローラ３２や第三のローラ３６を第一蒸着材料３８ａや第二蒸着材料３８ｂに対して接近又は離隔移動させるか、或いはその逆に、第一蒸着材料３８ａや第二蒸着材料３８ｂを第一のローラ３２や第三のローラ３６に対して接近又は離隔移動させる構造が採用されることとなる。これによって、第一電極膜１４や第二電極膜１６の膜厚制御が可能となる。
【０１１１】
更にまた、第一乃至第六ヒータ４０ａ，４０ｂ，５４ａ，５４ｂ，７８ａ，７８ｂのそれぞれに対して、それらの加熱温度を互いに独立して制御可能な制御機構を設けても良い。これにより、各蒸着材料３８ａ，３８ｂや各原料モノマーの蒸発量が調節可能となって、より緻密な条件で、金属蒸着や蒸着重合が実施され得る。かくして、ローラ外径の制御や上記距離調節機構による制御、或いは真空槽２２と第一及び第二の補助真空槽４２，６６内の真空状態（内圧）の制御等とは独立して、或いはそれらとの組合せにより、各電極膜１４，１６や各誘電体膜１８，１９の膜厚等の調節が、より有利に且つ確実に実現され得ることとなる。
【０１１２】
また、前記第二の実施形態では、第一の補助真空槽４２と第二の補助真空槽６６とが別個のものにて構成されると共に、第一の補助真空ポンプ４６と第二の補助真空ポンプ７０とが互いに独立した別々のものにて構成されていた。しかしながら、第一の補助真空槽４２と第二の補助真空槽６６とを１個の補助真空槽にて構成し、また、第一の補助真空ポンプ４６と第二の補助真空ポンプ７０も、１個の補助真空ポンプにて構成しても良い。この場合には、第二のローラ３４の一部と第四のローラ６４の一部とが、１個の補助真空槽内に突入するように配置される。そして、そのような１個の補助真空槽内で、第一誘電体膜１８と第二誘電体膜１９とが、第一電極膜１４上と第二電極膜１６上に、それぞれ積層形成されることとなる。
【０１１３】
加えて、本発明は、フィルムコンデンサを構成する積層シートの製造装置及び製造方法の他、包装用シートや各種物品の保護用シート等として利用される積層シートの製造装置及び製造方法に対しても、有利に適用可能である。
【０１１４】
その他、一々列挙はしないが、本発明は、当業者の知識に基づいて種々なる変更、修正、改良等を加えた態様において実施され得るものであり、また、そのような実施態様が、本発明の趣旨を逸脱しない限り、何れも、本発明の範囲内に含まれるものであることは、言うまでもないところである。
【符号の説明】
【０１１５】
１０，６０ 積層シート １２ 誘電体フィルム
１４ 第一電極膜 １６ 第二電極膜
１８ 第一誘電体膜 １９ 第二誘電体膜
２０，６２ 積層シート製造装置 ２２ 真空槽
２４ 排気パイプ ２６ 真空ポンプ
２８ 巻出しローラ ３０ 巻取りローラ
３２ 第一のローラ ３４ 第二のローラ
３６ 第三のローラ ３８ 蒸発材料
４０，５４，７８ ヒータ ４２ 第一の補助真空槽
４４ 第一の補助排気パイプ ４６ 第一の補助真空ポンプ
５２，７６ モノマー導入ポット ６４ 第四のローラ
６６ 第二の補助真空槽 ６８ 第二の補助排気パイプ
７０ 第二の補助真空ポンプ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂フィルムの一方の面に第一の金属薄膜が、その他方の面に第二の金属薄膜が、それぞれ金属蒸着により形成されると共に、該第一の金属薄膜上に、更に、樹脂薄膜が蒸着重合法によって積層形成されてなる積層シートを製造するための装置であって、
前記樹脂フィルムの巻回体から該樹脂フィルムを巻き出す巻出しローラと、該巻回体から巻き出された該樹脂フィルムを巻き取る巻取りローラとが内部に設置された真空槽と、
該真空槽内の空気を排出して、該真空槽内を真空状態とする排気手段と、
前記巻出しローラにて、前記樹脂フィルムの巻回体から巻き出された前記樹脂フィルムが、前記一方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第一のローラと、
該第一のローラから送り出された前記樹脂フィルムが、前記一方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第二のローラと、
該第二のローラから送り出された前記樹脂フィルムが、前記他方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第三のローラと、
前記巻出しローラと前記巻取りローラと前記第一乃至第三のローラのうちの少なくとも何れか一つを回転駆動させることにより、前記樹脂フィルムを該巻出しローラ側から該巻取りローラ側に向かって走行させる駆動手段と、
前記第一のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面上に、前記第一の金属薄膜を金属蒸着により形成せしめる第一の金属蒸着手段と、
前記第二のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面に形成された前記第一の金属薄膜上に、前記樹脂薄膜を蒸着重合法によって積層形成せしめる蒸着重合手段と、
前記第三のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記他方の面上に、前記第二の金属薄膜を金属蒸着により形成せしめる第二の金属蒸着手段と、
を含むことを特徴とする積層シートの製造装置。
【請求項２】
前記第二のローラに巻き掛けられた前記樹脂フィルム部位の前記一方の面を収容可能な補助真空槽が、前記真空槽内に設けられると共に、前記排気手段とは独立して作動して、該補助真空槽内の空気を排出することにより、該補助真空槽内を該真空槽内とは真空度の異なる真空状態とする補助排気手段が設けられて、該補助真空槽内で、前記第一の金属薄膜上に、前記樹脂薄膜が、前記蒸着重合手段により積層形成されるようになっている請求項１に記載の積層シートの製造装置。
【請求項３】
樹脂フィルムの一方の面に第一の金属薄膜が、その他方の面に第二の金属薄膜が、それぞれ金属蒸着により形成されると共に、該第一の金属薄膜上に第一の樹脂薄膜が、該第二の金属薄膜上に第二の樹脂薄膜が、蒸着重合法によってそれぞれ積層形成されてなる積層シートを製造するための装置であって、
前記樹脂フィルムの巻回体から該樹脂フィルムを巻き出す巻出しローラと、該巻回体から巻き出された該樹脂フィルムを巻き取る巻取りローラとが内部に設置された真空槽と、
該真空槽内の空気を排出して、該真空槽内を真空状態とする排気手段と、
前記巻出しローラにて、前記樹脂フィルムの巻回体から巻き出された前記樹脂フィルムが、前記一方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第一のローラと、
該第一のローラから送り出された前記樹脂フィルムが、前記一方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第二のローラと、
該第二のローラから送り出された前記樹脂フィルムが、前記他方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第三のローラと、
該第三のローラから送り出された前記樹脂フィルムが、前記他方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第四のローラと、
前記巻出しローラと前記巻取りローラと前記第一乃至第四のローラのうちの少なくとも何れか一つを回転駆動させることにより、前記樹脂フィルムを該巻出しローラ側から該巻取りローラ側に向かって走行させる駆動手段と、
前記第一のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面上に、前記第一の金属薄膜を金属蒸着により形成せしめる第一の金属蒸着手段と、
前記第二のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面に形成された前記第一の金属薄膜上に、前記第一の樹脂薄膜を蒸着重合法によって積層形成せしめる第一の蒸着重合手段と、
前記第三のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記他方の面上に、前記第二の金属薄膜を金属蒸着により形成せしめる第二の金属蒸着手段と、
前記第四のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記他方の面に形成された前記第二の金属薄膜上に、前記第二の樹脂薄膜を蒸着重合法によって積層形成せしめる第二の蒸着重合手段と、
を含むことを特徴とする積層シートの製造装置。
【請求項４】
前記第二のローラに巻き掛けられた前記樹脂フィルム部位の前記一方の面を収容可能な第一の補助真空槽と、前記第四のローラに巻き掛けられた前記樹脂フィルム部位の前記他方の面を収容可能な第二の補助真空槽とが、前記真空槽内に設けられると共に、前記排気手段とは独立して作動して、該第一の補助真空槽内の空気を排出することにより、該第一の補助真空槽内を該真空槽内とは真空度の異なる真空状態とする第一の補助排気手段と、該排気手段とは独立して作動して、該第二の補助真空槽内の空気を排出することにより、該第二の補助真空槽内を該真空槽内とは真空度の異なる真空状態とする第二の補助排気手段とが更に設けられて、該第一の補助真空槽内で、前記第一の金属薄膜上に、前記第一の樹脂薄膜が、前記第一の蒸着重合手段により積層形成される一方、該第二の補助真空槽内で、前記第二の金属薄膜上に、前記第二の樹脂薄膜が、前記第二の蒸着重合手段により積層形成されるようになっている請求項３に記載の積層シートの製造装置。
【請求項５】
樹脂フィルムの一方の面に第一の金属薄膜が、その他方の面に第二の金属薄膜が、それぞれ金属蒸着により形成されると共に、該第一の金属薄膜上に、更に、樹脂薄膜が蒸着重合法によって積層形成されてなる積層シートを製造する方法であって、
第一のローラと第二のローラと第三のローラとが内部に設置された真空槽を有し、前記樹脂フィルムが、該真空槽内に収容されて、該第一のローラと該第二のローラと該第三のローラとに対して、その順番で巻き掛けられた状態において、該樹脂フィルムを該第一のローラ側から該第三のローラ側に向かって走行させ得るように構成された成膜装置を準備する工程と、
前記第一のローラと前記第二のローラとに対して、前記樹脂フィルムを、前記一方の面が外側となるようにそれぞれ巻き掛けると共に、該第二のローラから送り出された該樹脂フィルムを、前記第三のローラに対して、前記他方の面が外側となるように巻き掛けて、該真空層内を真空とした状態で、該樹脂フィルムを該第一のローラ側から該第三のローラ側に向かって走行させる工程と、
前記第一のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面上に、前記第一の金属薄膜を金属蒸着により形成する工程と、
前記第二のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面に形成された前記第一の金属薄膜上に、前記樹脂薄膜を蒸着重合法によって積層形成する工程と、
前記第三のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記他方の面上に、前記第二の金属薄膜を金属蒸着により形成する工程と、
を含むことを特徴とする積層シートの製造方法。
【請求項６】
樹脂フィルムの一方の面に第一の金属薄膜が、その他方の面に第二の金属薄膜が、それぞれ金属蒸着により形成されると共に、該第一の金属薄膜上に第一の樹脂薄膜が、該第二の金属薄膜上に第二の樹脂薄膜が、蒸着重合法によってそれぞれ積層形成されてなる積層シートを製造する方法であって、
第一のローラと第二のローラと第三のローラと第四のローラとが内部に設置された真空槽を有しており、前記樹脂フィルムが、該真空槽内に収容されて、該第一のローラと該第二のローラと該第三のローラと該第四のローラとに対して、その順番で巻き掛けられた状態において、該樹脂フィルムを該第一のローラ側から該第四のローラ側に向かって走行させ得るように構成された成膜装置を準備する工程と、
前記第一のローラと前記第二のローラとに対して、前記樹脂フィルムを、前記一方の面が外側となるようにそれぞれ巻き掛けると共に、該第二のローラから送り出された該樹脂フィルムを、前記第三のローラと前記第四のローラとに対して、前記他方の面が外側となるようにそれぞれ巻き掛けて、前記真空層内を真空とした状態で、該樹脂フィルムを該第一のローラ側から該第四のローラ側に向かって走行させる工程と、
前記第一のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面上に、前記第一の金属薄膜を金属蒸着により形成する工程と、
前記第二のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面に形成された前記第一の金属薄膜上に、前記第一の樹脂薄膜を蒸着重合法によって積層形成する工程と、
前記第三のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記他方の面上に、前記第二の金属薄膜を金属蒸着により形成する工程と、
前記第四のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記他方の面に形成された前記第二の金属薄膜上に、前記第二の樹脂薄膜を蒸着重合法によって積層形成する工程と、
を含むことを特徴とする積層シートの製造方法。
【請求項１】
樹脂フィルムの一方の面に第一の金属薄膜が、その他方の面に第二の金属薄膜が、それぞれ金属蒸着により形成されると共に、該第一の金属薄膜上に、更に、樹脂薄膜が蒸着重合法によって積層形成されてなる積層シートを製造するための装置であって、
前記樹脂フィルムの巻回体から該樹脂フィルムを巻き出す巻出しローラと、該巻回体から巻き出された該樹脂フィルムを巻き取る巻取りローラとが内部に設置された真空槽と、
該真空槽内の空気を排出して、該真空槽内を真空状態とする排気手段と、
前記巻出しローラにて、前記樹脂フィルムの巻回体から巻き出された前記樹脂フィルムが、前記一方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第一のローラと、
該第一のローラから送り出された前記樹脂フィルムが、前記一方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第二のローラと、
該第二のローラから送り出された前記樹脂フィルムが、前記他方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第三のローラと、
前記巻出しローラと前記巻取りローラと前記第一乃至第三のローラのうちの少なくとも何れか一つを回転駆動させることにより、前記樹脂フィルムを該巻出しローラ側から該巻取りローラ側に向かって走行させる駆動手段と、
前記第一のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面上に、前記第一の金属薄膜を金属蒸着により形成せしめる第一の金属蒸着手段と、
前記第二のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面に形成された前記第一の金属薄膜上に、前記樹脂薄膜を蒸着重合法によって積層形成せしめる蒸着重合手段と、
前記第三のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記他方の面上に、前記第二の金属薄膜を金属蒸着により形成せしめる第二の金属蒸着手段と、
を含むことを特徴とする積層シートの製造装置。
【請求項２】
前記第二のローラに巻き掛けられた前記樹脂フィルム部位の前記一方の面を収容可能な補助真空槽が、前記真空槽内に設けられると共に、前記排気手段とは独立して作動して、該補助真空槽内の空気を排出することにより、該補助真空槽内を該真空槽内とは真空度の異なる真空状態とする補助排気手段が設けられて、該補助真空槽内で、前記第一の金属薄膜上に、前記樹脂薄膜が、前記蒸着重合手段により積層形成されるようになっている請求項１に記載の積層シートの製造装置。
【請求項３】
樹脂フィルムの一方の面に第一の金属薄膜が、その他方の面に第二の金属薄膜が、それぞれ金属蒸着により形成されると共に、該第一の金属薄膜上に第一の樹脂薄膜が、該第二の金属薄膜上に第二の樹脂薄膜が、蒸着重合法によってそれぞれ積層形成されてなる積層シートを製造するための装置であって、
前記樹脂フィルムの巻回体から該樹脂フィルムを巻き出す巻出しローラと、該巻回体から巻き出された該樹脂フィルムを巻き取る巻取りローラとが内部に設置された真空槽と、
該真空槽内の空気を排出して、該真空槽内を真空状態とする排気手段と、
前記巻出しローラにて、前記樹脂フィルムの巻回体から巻き出された前記樹脂フィルムが、前記一方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第一のローラと、
該第一のローラから送り出された前記樹脂フィルムが、前記一方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第二のローラと、
該第二のローラから送り出された前記樹脂フィルムが、前記他方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第三のローラと、
該第三のローラから送り出された前記樹脂フィルムが、前記他方の面が外側となるように巻き掛けられる、前記真空槽内に設置された第四のローラと、
前記巻出しローラと前記巻取りローラと前記第一乃至第四のローラのうちの少なくとも何れか一つを回転駆動させることにより、前記樹脂フィルムを該巻出しローラ側から該巻取りローラ側に向かって走行させる駆動手段と、
前記第一のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面上に、前記第一の金属薄膜を金属蒸着により形成せしめる第一の金属蒸着手段と、
前記第二のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面に形成された前記第一の金属薄膜上に、前記第一の樹脂薄膜を蒸着重合法によって積層形成せしめる第一の蒸着重合手段と、
前記第三のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記他方の面上に、前記第二の金属薄膜を金属蒸着により形成せしめる第二の金属蒸着手段と、
前記第四のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記他方の面に形成された前記第二の金属薄膜上に、前記第二の樹脂薄膜を蒸着重合法によって積層形成せしめる第二の蒸着重合手段と、
を含むことを特徴とする積層シートの製造装置。
【請求項４】
前記第二のローラに巻き掛けられた前記樹脂フィルム部位の前記一方の面を収容可能な第一の補助真空槽と、前記第四のローラに巻き掛けられた前記樹脂フィルム部位の前記他方の面を収容可能な第二の補助真空槽とが、前記真空槽内に設けられると共に、前記排気手段とは独立して作動して、該第一の補助真空槽内の空気を排出することにより、該第一の補助真空槽内を該真空槽内とは真空度の異なる真空状態とする第一の補助排気手段と、該排気手段とは独立して作動して、該第二の補助真空槽内の空気を排出することにより、該第二の補助真空槽内を該真空槽内とは真空度の異なる真空状態とする第二の補助排気手段とが更に設けられて、該第一の補助真空槽内で、前記第一の金属薄膜上に、前記第一の樹脂薄膜が、前記第一の蒸着重合手段により積層形成される一方、該第二の補助真空槽内で、前記第二の金属薄膜上に、前記第二の樹脂薄膜が、前記第二の蒸着重合手段により積層形成されるようになっている請求項３に記載の積層シートの製造装置。
【請求項５】
樹脂フィルムの一方の面に第一の金属薄膜が、その他方の面に第二の金属薄膜が、それぞれ金属蒸着により形成されると共に、該第一の金属薄膜上に、更に、樹脂薄膜が蒸着重合法によって積層形成されてなる積層シートを製造する方法であって、
第一のローラと第二のローラと第三のローラとが内部に設置された真空槽を有し、前記樹脂フィルムが、該真空槽内に収容されて、該第一のローラと該第二のローラと該第三のローラとに対して、その順番で巻き掛けられた状態において、該樹脂フィルムを該第一のローラ側から該第三のローラ側に向かって走行させ得るように構成された成膜装置を準備する工程と、
前記第一のローラと前記第二のローラとに対して、前記樹脂フィルムを、前記一方の面が外側となるようにそれぞれ巻き掛けると共に、該第二のローラから送り出された該樹脂フィルムを、前記第三のローラに対して、前記他方の面が外側となるように巻き掛けて、該真空層内を真空とした状態で、該樹脂フィルムを該第一のローラ側から該第三のローラ側に向かって走行させる工程と、
前記第一のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面上に、前記第一の金属薄膜を金属蒸着により形成する工程と、
前記第二のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面に形成された前記第一の金属薄膜上に、前記樹脂薄膜を蒸着重合法によって積層形成する工程と、
前記第三のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記他方の面上に、前記第二の金属薄膜を金属蒸着により形成する工程と、
を含むことを特徴とする積層シートの製造方法。
【請求項６】
樹脂フィルムの一方の面に第一の金属薄膜が、その他方の面に第二の金属薄膜が、それぞれ金属蒸着により形成されると共に、該第一の金属薄膜上に第一の樹脂薄膜が、該第二の金属薄膜上に第二の樹脂薄膜が、蒸着重合法によってそれぞれ積層形成されてなる積層シートを製造する方法であって、
第一のローラと第二のローラと第三のローラと第四のローラとが内部に設置された真空槽を有しており、前記樹脂フィルムが、該真空槽内に収容されて、該第一のローラと該第二のローラと該第三のローラと該第四のローラとに対して、その順番で巻き掛けられた状態において、該樹脂フィルムを該第一のローラ側から該第四のローラ側に向かって走行させ得るように構成された成膜装置を準備する工程と、
前記第一のローラと前記第二のローラとに対して、前記樹脂フィルムを、前記一方の面が外側となるようにそれぞれ巻き掛けると共に、該第二のローラから送り出された該樹脂フィルムを、前記第三のローラと前記第四のローラとに対して、前記他方の面が外側となるようにそれぞれ巻き掛けて、前記真空層内を真空とした状態で、該樹脂フィルムを該第一のローラ側から該第四のローラ側に向かって走行させる工程と、
前記第一のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面上に、前記第一の金属薄膜を金属蒸着により形成する工程と、
前記第二のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記一方の面に形成された前記第一の金属薄膜上に、前記第一の樹脂薄膜を蒸着重合法によって積層形成する工程と、
前記第三のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記他方の面上に、前記第二の金属薄膜を金属蒸着により形成する工程と、
前記第四のローラの周面上で、前記樹脂フィルムの前記他方の面に形成された前記第二の金属薄膜上に、前記第二の樹脂薄膜を蒸着重合法によって積層形成する工程と、
を含むことを特徴とする積層シートの製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２０１１−８４７７２（Ｐ２０１１−８４７７２Ａ）
【公開日】平成２３年４月２８日（２０１１．４．２８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２３８１７８（Ｐ２００９−２３８１７８）
【出願日】平成２１年１０月１５日（２００９．１０．１５）
【出願人】（３０８０１３４３６）小島プレス工業株式会社 (386)
【出願人】（０００２３１４６４）株式会社アルバック (1,740)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年４月２８日（２０１１．４．２８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１０月１５日（２００９．１０．１５）
【出願人】（３０８０１３４３６）小島プレス工業株式会社 (386)
【出願人】（０００２３１４６４）株式会社アルバック (1,740)
【Ｆターム（参考）】
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