【課題】誤検出の虞を少なくしたセンサ信号検出装置を提供する。
【解決手段】ローパスフィルタ２１は、高周波のノイズ成分Ｓ２及び直流レベル変動成分Ｓ３を遮断し、直流オフセット分Ｓ０及び低周波の状態変動成分Ｓ１を通過させる。変換回路２２は、信号Ｒ１＝Ｋ（Ｓ０＋Ｓ１）（Ｋは定数）を出力する。選択回路２３は、トリガ信号ＴＧに従い、信号Ｒ１（＝Ｋ（Ｓ０＋Ｓ１））、又は変換回路２５から得られる信号Ｒ２のいずれか一方を基準信号Ｒとして選択する。比較回路２４は、信号Ｓと基準信号Ｒとを比較し、Ｓ＜Ｒとなったらトリガ信号ＴＧを立ち上げ、Ｓ＞Ｒとなったらトリガ信号ＴＧを立ち下げる。変換回路２５は、時刻ｔ１でトリガ信号ＴＧの立ち上がりを検知した場合、その時刻ｔ１での基準信号Ｒのサンプリング値Ｒｔ１を比較回路２４から取り込み、係数ｍを乗算した信号Ｒ２＝ｍ・Ｒｔ１を出力する。 （もっと読む）

【課題】プローブと測定試料との間にミクロンオーダーの距離を保持しつつ、試料の表面形状を測定可能な表面形状測定装置を提供する。
【解決手段】プローブ移動機構３によりプローブ２をＸＹ平面方向に走査させ、走査に伴う複数位置において、プローブ移動機構３によるプローブ２のＺ軸方向の位置又は電圧印加機構による印加電圧を変化させてプローブ２と試料表面との間に絶縁破壊を発生させ、絶縁破壊が生じたときの位置測定機構４又は電圧測定機構６の測定結果に基づいて試料の表面形状を得る。 （もっと読む）

【課題】タッチセンサーの検出精度を向上させ得る容量センサーを提供する。
【解決手段】電極１１ａと接地端ＧＮＤとの間の第一の容量Ｃｓ２の充電電圧の変化を検出する第一の充電電圧検出部１２ａと、複数の電極１１ａ，１１ｂ間の第二の容量Ｃｓ１の充電電圧の変化を検出する第二の充電電圧検出部１２ｂと、第一の充電電圧検出部１２ａと第二の充電電圧検出部１２ｂからそれぞれ出力される検出信号Ｆ１，Ｆ２に基づいて判定信号ＯＵＴを生成する判定部１３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】検出対象物についての検出処理を行う新たなセンサ装置を提供する。
【解決手段】アレイ状に配置された複数の電極を有する電極アレイと；第１の周波数を有する第１の信号を生成し、前記電極アレイを構成する前記複数の電極に前記第１の信号を印加する信号生成部と；前記第１の信号が前記電極アレイを構成する前記複数の電極に印加され、第２の周波数を有する第２の信号が検出対象物に印加される場合において、前記電極アレイを構成する各電極と前記検出対象物の表面との距離を、各電極に印加された前記第１の信号と前記検出対象物に印加された前記第２の信号との干渉波を利用して検出する、または、前記検出対象物の表面の凹凸を、一の電極から出力された前記干渉波と他の電極から出力された前記干渉波とを利用して生成された信号を利用して検出する、検出部と；を備えることを特徴とするセンサ装置。 （もっと読む）

【課題】車輪の接地領域で損傷を受け難い構造で、路面に発生するひずみ分布を精度よく測定することができるひずみ測定装置を提供する。
【解決手段】ひずみ測定装置１はセンサ部６を有する。センサ部６は、フレキシブル基板２の裏面に、抵抗式ひずみゲージ３（またはひずみ受感部）を固着したゲージベース４を固着し、フレキシブル基板２の表面にシート状絶縁部材５を固着することで構成される。フレキシブル基板２には、各抵抗式ひずみゲージ３のひずみ受感部の両端部の導線接続部（タブ）１４ａ，１４ｂのうちの導線接続部１４ａに導通する薄膜状導体１８と、導線接続部１４ｂに導通する薄膜状導体１９，２０とが設けられている。ひずみゲージ３が路面のうちの車輪の接地領域に位置し、薄膜状導体１８，１９，２０の端部１８ｂ，１９ｂ，２０ｂが接地領域から車輪の幅方向で逸脱する領域に位置するようにセンサ部６のゲージベース４が路面に固着される。 （もっと読む）

【課題】使用中の導電材料製構造物に生じる損傷を非破壊的に、しかも装置等の操業を停止することなく、簡便に検出できる、導電材料製構造物の損傷検出方法を提供する。
【解決手段】複数の電位差測定用端子を所定の間隔で隔離して、構造物の被測定領域を囲んで配置し、複数の電位差測定用端子を挟んで設けられた一対の電極を介して構造物の特定方向に電流を供給しながら、被測定領域を挟んで相対する電位差測定用端子間に生じる電位差を測定する第一の工程と、前記一対の電極とは別に複数の電位差測定用端子を挟んで設けられる他の一対の電極を介し、構造物の特定方向とは異なる方向に電流を供給しながら、被測定領域を挟んで相対する各電位差測定用端子間に生じる電位差を測定する第二の工程とを順次行い、各電位差測定用端子間の電位差を測定する。得られた異なる二方向の各電位差測定用端子間の電位差から、被測定領域における電位差分布、電位差変化率分布を求め、被測定領域における損傷状態を評価する。 （もっと読む）

【課題】配線数を減少させることでコストを削減し、信頼性を向上させ、さらには検出領域以外の余分な領域を減らすことが可能な電磁結合を利用する圧力分布検出装置を提供する。
【解決手段】圧力分布検出装置は、複数の駆動側ループ状配線２０と、これに直交する方向に配置される複数の検出側ループ状配線３０と、これらがそれぞれ電磁結合するように構成される複数の電磁結合部３６と、複数の駆動側ループ状配線を駆動する駆動部４０と、電磁結合部３６の電磁結合の度合いの変化を複数の検出側ループ状配線３０から検出する検出部５０とからなる。そして、複数の駆動側ループ状配線２０及び複数の検出側ループ状配線３０が、隣り合うループ状配線間の隣り合う線をグラウンド線として共通化する共通グラウンド線２５，３５を有する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の表面形状（真直度）をナノレベルで精密に測定する方法およびその測定に用いる表面形状校正装置の提供。
【解決手段】ｘ軸方向およびｙ軸方向に移動可能なｘｙステージに搭載された３対の変位センサを保持する変位センサ保持具３組の各組変位センサを用い、前記３対の変位センサ保持具の凹字状アームの凹字空間に挿まれる状態で、かつ、前記ｘｙステージとは独立して１８０度反転可能に保持される基準直定規の被測定面（表面および裏面）と変位センサ間距離、固定テーブル上に載置された加工ワークの被測定面と変位センサ間距離を測定し、その距離値をコントローラより電気信号としてデータ解析装置に送信し、それら送信された距離電気信号値から被校正測定物のｘ座標およびｙ座標の表面形状値を算出する。 （もっと読む）

【課題】配線に何ら影響を与えず、感度の低下を防止しながら自己検知型プローブを利用して長期的に安定した状態で試料を液中測定すること。
【解決手段】カンチレバー１１の変位量に応じて抵抗値が変化する歪抵抗素子と、カンチレバーの表面に露出した状態で設けられて歪抵抗素子に電気接続された配線部と、を有する自己検知型プローブ２と、探針及びカンチレバーが液体Ｗに浸された液中環境を作り出す液中設定手段３と、液体内に少なくとも一部が浸かった状態で配置された挿入電極４と、配線部の電位よりも挿入電極の電位の方が陽極側の電位となるように両者に電圧を印加する電圧印加手段５と、カンチレバーの変位量を検出する検出手段６と、カンチレバーの変位量が一定となるように探針と試料表面Ｓ１との距離を制御しながら自己検知型プローブを走査させて試料の表面形状又は物性を測定する測定手段７と、を備えている液中測定装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】信頼性が維持された表面形状センサとその製造方法を提供すること。
【解決手段】シリコン基板１０と、シリコン基板１０の上方に形成された層間絶縁膜４０と、層間絶縁膜４０の上に形成された検出電極膜４４ａ及び静電気放電電極膜４４ｂと、検出電極膜４４ａ及び静電気放電電極膜４４ｂの上に形成され、該静電気放電電極膜４４ｂの上に第１開口５１ａを備えたパッシベーション膜５１と、パッシベーション膜５１の上に形成され、第１開口５１ａが露出する第１窓５５ａを備えたテトラヘドラルアモルファスカーボンよりなる最上層の保護絶縁膜５５とを有し、静電気放電電極膜４４ｂの最上層に第１導電性酸化金属膜４５が形成された表面形状センサによる。 （もっと読む）

【課題】センサを構成する金属部材の形成装置の種類を少なくすること。
【解決手段】半導体基板の表面に層間絶縁膜を介して第１および第２導電配線をスパッタ法で形成し、第１および第２導電配線と層間絶縁膜を第１絶縁膜で覆い、第１絶縁膜の上に第２絶縁膜を積層し、第１導電配線上の第１および第２絶縁膜を除去し、それによって第２絶縁膜表面から第１導電配線に達する溝を形成し、第２絶縁膜と溝の側壁および底とを覆う導電膜をスパッタ法で形成し、前記導電膜の上から溝幅より広いレジスト膜で溝を覆い、レジスト膜をマスクとして前記導電膜と第２絶縁膜とを除去して第１絶縁膜を露出させ、レジスト膜を除去した後、第３絶縁膜をその表面が前記導電膜の表面と同一表面になるように第１絶縁膜上に形成する表面形状認証用センサの製造方法。 （もっと読む）

【課題】長期間の使用でもパッシベーション膜に劣化が発生し難い指紋センサとその製造方法を提供すること。
【解決手段】シリコン基板１０と、シリコン基板１０の上方に形成された層間絶縁膜４０と、層間絶縁膜４０の上に互いに間隔をおいて形成された検出電極膜４４ａ及び接地電極膜４４ｂと、層間絶縁膜４０、検出電極膜４４ａ、及び接地電極膜４４ｂのそれぞれ上に形成され、該接地電極膜４４ｂが露出する開口５１ａを備えた保護絶縁膜５１と、保護絶縁膜５１の上に形成され、検出電極膜４４ａと開口５１ａに重なる窓５５ａを備えたパッシベーション膜５５とを有し、窓５５ａの開口端が面取りされたことを特徴とする表面形状センサによる。 （もっと読む）

【課題】内部処理的な手法ではなく、構造的な手法によって指紋検出性能の向上を図る。
【解決手段】筐体１２の表面１３に、指先１００の汚れを落とす第１の汚れ除去部１４と、指先１００に適度な湿気を供給する湿気供給部１５と、指紋認証用のセンサ部１６と、指先１００に付着した油分を除去する第２の汚れ除去部１７とが、指先１００をスライドさせる方向Ｘ１の上流側から、この順番で配置されている。また、筐体１２の表面１３には、第１の汚れ除去部１４、湿気供給部１５、センサ部１６、第２の汚れ除去部１７を被覆する蓋部材が配置されており、さらに、この蓋部材の下面には、センサ部１６の汚れを拭き取る拭き取り部材が設けられている。 （もっと読む）

【課題】測定対象に損傷を与えず、操作が容易で測定対象等の制約が少ない断面形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は帯状基体２と処理装置３を備える。帯状基体２は内面基体５、外面基体６、及びそれらの間に配置された誘電体膜７を備える。内面基体５は複数の電極８とそれらに接続された接地信号線１１を有する。外面基体６は複数の電極１８、これらに接続されたスイッチ１０、スイッチ１０の制御回路１３、制御回路１３に接続された制御信号線１２、及びスイッチ１０に接続されたセンス信号線１１を有する。処理装置３は、制御信号線１２によりスイッチ１０を選択的に活性化して外面基板６上のいずれかの電極１８を選択し、選択された電極１８と内面基体１５の電極８の間の静電容量を測定する。測定された静電容量から選択された電極１８近傍での内面基体５と外面基体６の長さ方向のずれ量が計測される。 （もっと読む）

【課題】水分の侵入を防止しながら、被検体の表面の凹凸を感度良く検出することが可能な表面形状センサとその製造方法を提供すること。
【解決手段】シリコン基板１０と、シリコン基板１０の上方に形成された層間絶縁膜４０と、層間絶縁膜４０の上に形成された第１水分バリア絶縁膜４１と、第１水分バリア絶縁膜４１の上に形成された検出電極膜４４ａと、検出電極膜４４ａの上に形成された第２水分バリア絶縁膜５１と、第２水分バリア絶縁膜５１の上に形成され、検出電極膜４４ａの上に窓５５ａを備えた保護絶縁膜５５とを有する表面形状センサによる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、優れた耐久性、優れた認識精度および安定した認識性能を有する表面形状認識用センサの製造工程を簡略化し、低コスト化すること。
【解決手段】認識対象物に接触して、認識対象物の表面形状を認識する本発明の表面形状認識用センサ１において、容量センサ電極５と、該容量センサ電極５を覆う容量膜２と、該容量膜２を覆う保護膜３と、該容量膜２に形成されたスルーホール７と、その開口部辺縁とを覆うように形成され、接地された電極パターンとしてのグランド電極４とを備え、該グランド電極４は、該保護膜３における認識対象物の接触面において露出し、該容量膜２の該グランド電極４に覆われた部分は、該容量膜２の該グランド電極４に覆われていない部分よりも０．１μｍ以上厚くなるよう形成されている。このため、優れた耐久性、優れた認識精度および安定した認識性能を有する表面形状認識用センサの製造工程の簡略化および低コスト化を実現できる。 （もっと読む）

【課題】いくつかの容量センサーを内蔵した自動車シートに着座した乗員の形態をより詳細に決定することができるように、容量センサーの前記構造を改良することにある。
【解決手段】シートに内蔵された複数の容量センサーからの出力を収集する工程と、各容量センサーに対して、前記センサーから標的物が離れている距離を示す第１の値、及び、前記標的物によって覆われた前記センサーの表面を示す第２の値を決定する工程と、前記標的物によって覆われた前記センサーの表面を示す前記第２の値に、前記センサーから前記標的物が離れている距離を示しかつ前記第２の値に対応する前記第１の値に基づいた各重み付けを、適用する工程と、重み付けされた第２の値の収集に基づいて前記標的物の形態を決定する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】センサユニットを高密度に配置した触覚センサであっても、短時間に正確な圧力分布情報を計測することができる圧力分布情報検出装置及び圧力分布情報検出方法を提供する。
【解決手段】対象物からの加圧により電気特性値が変化する複数のセンサユニット６がマトリックス状に配列された触覚センサＡに対して、予め設定された所定のセンサユニット６に対して配列順に走査して各電気特性値を検出する広域走査手段Ｂ１と、前記広域走査手段Ｂ１により検出された何れかのセンサユニット６の電気特性値が所定の閾値以上となるときに、当該センサユニット６を中心として、当該センサユニット６及びその周囲のセンサユニット６に対してのみ走査して各電気特性値を検出する局部走査手段Ｂ２を備えて構成される。
（もっと読む）

【課題】オフラインで断裁される金属性支持体上に合紙が堆積されているシート形状物のシート形状測定方法において、直角度を簡便に測定する測定方法を提供する。
【解決手段】金属性支持体上に合紙が堆積されているシート形状物のシート形状測定方法において、直線上に２本以上の導電性のガイドピンをスライドガイドとして配置し、かつ該直線に直交する直線上に２本以上の可動性かつ導電性の押当てピンを配置した台上で、該シート形状物を該スライドガイドに沿わせてスライドさせ、該可動性押当てピンに接触させて、該ガイドピンと押当てピンの全てのピンで電気的導通が取れたときの可動性押当てピンの移動量から直角度を検出することを特徴とするシート形状測定方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、接触型センサ内蔵半導体素子と配線基板との接続部が保護された半導体装置が組み込まれた電子機器を提供することを課題とする。
【解決手段】電子機器に接触型センサ内蔵半導体装置が内蔵される。接触型センサ内蔵半導体装置は、回路形成面に形成されたセンサ領域１ｂとセンサ領域１ｂ以外の領域に設けられた接続用電極１ｃとを有する接触型センサ内蔵半導体素子１と、端面が回路形成面上に位置するように半導体素子１の接続用電極１ｃに接続された配線基板２と、配線基板２の端部から回路形成面までの部分を覆うように設けられた保護樹脂部７とを有する。センサ領域１ｂは筐体３から外部に露出している。 （もっと読む）