【課題】船舶、橋梁、配管などに用いられている様々な溶接形状を計測し、実際の溶接形状に即した溶接の形状パラメータを算出し、自動的に溶接部の疲労強度を算出する溶接形状評価装置及び方法を提供する。
【解決手段】溶接形状評価装置１が照射部１３からレーザーを照射し、溶接部を複数の２次元座標（直交座標又は極座標）を持った計測点で計測する計測装置１０と、前記計測点を用いて疲労強度を算出する演算装置２０とからなり、溶接形状評価方法が座標から計算式により溶接の形状パラメータを算出して簡易式により応力集中係数を算出する簡易式工程と、有限要素法（ＦＥＭ）を用いて溶接部を解析して応力集中係数を算出する有限要素法（ＦＥＭ）工程とを備えた応力集中係数算出工程と、複数の提案式と方法を備えて疲労強度を算出する疲労強度算出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】パターンの形状測定において、対象構造が計測可能か、又はどの程度の誤差が生じるかを分光反射率測定により事前に知る。
【解決手段】繰り返しパターンを分光検出して分光反射率を求めるとともに検出時に生じる検出波長ごとのノイズの量を求め、分光反射率の情報及び検出時に生じる検出波長ごとのノイズの量の情報と、繰り返しパターンの屈折率と消衰係数とを含む光学的材質の情報及び繰り返しパターンの形状の情報とを用いて繰り返しパターンの形状を算出して所定の精度で繰り返しパターンを計測することが可能かを評価し、評価した結果所定の精度で計測可能と判定した場合に繰り返しパターンと同一のパターンが形成された基板を順次分光検出してパターンの形状を検査するようにした。 （もっと読む）

【課題】オーバーレイ測定、非対称性測定、およびインダイオーバーレイターゲットの再構築を可能にする。
【解決手段】四分くさび光デバイス（ＱＷ）は、基板から散乱した放射の回折次数を別々に再誘導し、第１方向および第２方向の各々に沿って照明から回折次数を分離する。例えば、０次（０、０’）および１次（−１、＋１’）を、各入射方向について分離する。マルチモードファイバ（ＭＦ）での捕捉の後、スペクトロメータ（Ｓ１−Ｓ４）を使用して波長（Ｉ_０’（λ）、Ｉ_０（λ）、Ｉ_＋１’（λ）、およびＩ_−１（λ））の関数としての空間的に再誘導された回折次数の強度を測定する。そして、これをオーバーレイエラーの計算、または単一格子の非対称パラメータの再構築に用いる。 （もっと読む）

【課題】タイヤのトレッド面の断面形状とトレッド溝の深さを非接触で高速で測定する装置
【解決手段】この発明は、タイヤのトレッド面の断面形状を測定して、測定結果からトレッド溝の深さを計測する装置であり、タイヤのトレッド面近くに幅方向に並置するガイド機構と、トレッド面を単一光で照射する光源装置と、単一光の反射輝点を撮影するデジタルカメラと、光源装置並びにデジタルカメラをガイド機構に沿って移動させながら反射輝点を撮影する制御装置と撮影された画像データからトレッド面断面形状とトレッド溝の深さを測定する手段を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】観察対象物の表面の断面曲線を正確でかつ高速に検出することが可能な共焦点顕微鏡システム、画像処理方法および画像処理プログラムを提供する。
【解決手段】使用者が観察対象物Ｓの断面曲線データの取得範囲を指示する。ＣＰＵ２１０は、その指示に基づいてＸ方向に沿って連続的に並ぶ複数の帯状領域を設定するとともに、各帯状領域においてＸ方向に平行な複数の測定ライン上でレーザ光を走査することにより、複数の測定ラインに基づく画素データを制御部３００から取得する。ＣＰＵ２１０は、取得した複数の測定ラインの画素データに基づいて帯状領域の複数の断面曲線データを生成し、作業用メモリ２３０に記憶する。ＣＰＵ２１０は、複数の帯状領域の複数の測定ラインについて生成された断面曲線データをＸ方向に沿って連続する測定ラインごとに連結することにより、連結された複数の断面曲線データを得る。 （もっと読む）

【課題】部品およびはんだに対する３次元計測結果に基づく検査の結果や検査対象部位の状態を、ユーザが容易に確認できるような表示を行い、検査結果の確認作業を支援する。
【解決手段】基板上の部品およびはんだに、それぞれ異なる手法の３次元計測を実施し、それぞれの計測により得た３次元情報をはんだ付け部毎および種別毎に読出可能に蓄積する。そして、これらの蓄積情報に基づき、はんだ付け部位毎に部品とはんだとの関係を表す画像を生成し、この画像を含む画面を検査結果の確認用の画面として表示する。好ましい確認用画面では、はんだの３次元情報が表す立体形状を部品のはんだへの接合面の近傍位置で切断した場合に得られるはんだの断面を正面として、このはんだの断面と部品との関係を示す画像（ＹＺ図またはＸＺ図）が表示される。 （もっと読む）

【課題】炉壁表面の凹凸形状を測定するためのレーザ光と炉壁の自発光とを同時に取得しつつもレーザ光と自発光とが干渉せず、炉壁表面に対し垂直方向の計測可能範囲およびレーザ光の照射範囲を広くする。
【解決手段】スリット状の窓２を有する断熱性保護箱３の内部に配置された、スリット状のレーザ光を射出するスリットレーザ光源４と、レーザ光を反射して窓２を介して炉壁表面へレーザ光を照射するレーザ光用ミラー５と、窓２を介して断熱性保護箱３の内部に入射する、レーザ光の照射による炉壁表面の反射光および炉壁表面が発する自発光を反射する撮像用ミラー６と、撮像用ミラー６から反射された自発光と反射光とを光学フィルタ７を介して撮像する撮像装置８とを備える。 （もっと読む）

【課題】棒状ワークの曲がり角度を簡単に計測することができるのに加えて、棒状ワークの計測部位毎の曲がり角度を記録に残すことが可能になる三次元計測治具及びこれを用いた三次元計測方法を提供する。
【解決手段】筒体や柱体等の棒状ワークの曲がり角度を計測するのに用いられる三次元計測治具であって、互いに合体してパイプＷの外周に嵌合装着される一対の半円形治具構成体２，２を備え、一対の半円形治具構成体２，２には、レーザ光Ｌｒの送受信を行うことで中心Ｒｐの三次元座標が求められる球状のリフレクタＲをスライド可能に保持する外向き溝２ｂが形成され、リフレクタＲを保持する外向き溝２ｂは、パイプＷの治具構成体２，２が装着される部位における断面を算出するのに必要な複数の位置を結んでパイプＷの外周に沿ってそれぞれ形成されている。 （もっと読む）

【課題】対象物の変位を正確に検出することが可能な光学式変位計を提供する。
【解決手段】投光部１は、偏光方向が互いに異なる第１および第２の光を選択的にワークＷに照射する。ワークＷからの反射光が、受光レンズ２２を通して受光素子２１に入射する。波形生成部は、受光素子２１による第１および第２の光の受光量分布を示す第１および第２波形データを生成する。波形処理部７は、第１および第２の波形データの間で互いに対応するピークの比を算出し、算出された比に基づいて、第１および第２の波形データの各々から１つのピークを選択し、そのピークの位置を検出する。 （もっと読む）

【課題】光切断法を用いた形状測定装置の投光手段または撮影手段に付着した異物を容易に検出する技術を提供する。
【解決手段】被測定物Ｗにスリット光を投光する投光手段１，２と、撮像面を有し、スリット光が投光された被測定物Ｗを撮影する撮影手段３，４と、撮影手段３，４により撮影された画像の中のスリット光の像である光切断線に基づいて被測定物Ｗの形状を算出する形状算出部と、を備えた形状測定装置Ａは、スリット光が直線として投光される面を有する被測定物Ｗにそのスリット光が投光された状態で撮影された画像の中の光切断線の連続性を判定することにより投光手段１，２または撮影手段３，４に付着した異物の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】乗員とチャイルドシートとの存在を精度良く判定する。
【解決手段】乗員検知装置１０は、単眼距離画像センサ１１から出力される距離画像に基づき、乗員の頭部領域を検知する頭部領域検知部５２およびシートの領域を検知するシート領域検知部５３と、シートの領域を距離画像から除去して得られるシート領域除去画像に基づき、頭部領域を有する乗員領域の体積を推定し、該体積が所定体積範囲内であるか否かを判定する体積判定部５４と、乗員領域の体積が所定体積範囲内であると判定された場合に、頭部領域の断面画像と乗員領域の断面画像とを比較し、乗員の肩部の有無を判定し、乗員の肩部が存在すると判定された場合には乗員領域には大人が存在すると判定し、乗員の肩部が存在しないと判定された場合には乗員領域にはチャイルドシートおよび該チャイルドシートに着座した子供が存在すると判定する乗員判定部５６とを備える。 （もっと読む）

【課題】合焦精度を向上させる。
【解決手段】高感度のラインセンサ１６Ｂは、レーザ照明部１１により照明された対象物２の光点像の光量から得られる高輝度の受光データを取得し、低感度のラインセンサ１６Ａは、対象物２の光点像の光量から得られる低輝度の受光データを取得し、データ処理部１７は、正常時は、高感度のラインセンサ１６Ｂからの高輝度の受光データを選択し、高輝度の受光データを得るときのレーザ光が飽和した場合、低輝度の受光データを選択する。そして、検出部１８は、データ処理部１７により選択された受光データに基づいて、対象物２の像の合焦状態を検出することで、対象物２の像の合焦状態が確実に検出されるので、合焦精度を向上させることができる。本発明は、例えば、対象物の断面形状を測定する測定装置に用いられる位置検出装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】合焦精度の低下を軽減する。
【解決手段】ラインピクセルにより受光される光量データが飽和したとき、ラインピクセルの略中央のピクセルである合焦ピクセルを過ぎたときの前後２ピークのピークピクセルを決定し（Ｓ１１）、決定したピークピクセルにおけるＺ軸カウンタ値を取得し（Ｓ１２）、取得したＺ軸カウンタ値を直線補間して、合焦ピクセルにおけるＺ軸カウンタ値を推定し（Ｓ１３）、推定された合焦ピクセルにおけるＺ軸カウンタ値に基づいて、対象物２の面位置を検出する（Ｓ１４）ので、受光される光量が飽和したときでも、合焦精度の低下を軽減することができる。本発明は、例えば、対象物の断面形状を測定する測定装置に用いられる位置検出装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】パターン形状の測定精度を向上させた検査装置を提供する。
【解決手段】下地層の上に所定のパターンを有するウェハ５のパターンを検査する検査装置であって、対物レンズ７の瞳面もしくは該瞳面と共役な面における領域毎の光の強度情報を検出する撮像素子１８と、パターンの形状変化に対しては強度情報の変化が異なり、下地層の変化に対しては強度情報の変化が同程度である、瞳面もしくは該瞳面と共役な面内の第１領域と第２領域の位置情報をそれぞれ記憶する記憶部と、撮像素子１８で検出される、第１領域の強度情報と、第２領域の強度情報との差異に基づいてパターンの形状を求める演算処理部２０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 重量測定方式と非接触測定方式との両方の要素を備えることによって、被輸送物の輸送量を求めるというコンベヤスケール本来の機能を確実に保証しつつ、特に重量測定方式の要素に故障等の異常が発生したときに、これを簡単な構成で検知する。
【解決手段】 本発明のコンベヤスケール１０は、計量ローラ１８と２台のロードセル２２および２４とを含む重量測定系と、７個の非接触型距離センサ３０〜４２を含む非接触型測定系と、を備えている。重量測定系が正常なときは、当該重量測定系によって求められた被輸送物１００の精確な輸送量が制御装置５０のディスプレイに表示される。重量測定系に異常が発生したときは、非接触型測定系によって求められた副次的に精確な輸送量が表示される。なお、重量測定系が正常であるか否かは、重量測定系によって求められた輸送量と非接触型測定系によって求められた輸送量との比較に基づいて、判定される。 （もっと読む）

【課題】車輪の径中心を求める必要も、カメラの焦点も変える必要がなく、簡単に光切断法による車輪の形状計測を実行できる車輪形状計測装置等を提供する。
【解決手段】レールに対し所定の高さに設置され、通過センサ１１ａ〜１２ｂによって車輪１０ａが通過したことが検出された場合、車輪１０ａ，１０ｂの計測部位に向け水平方向にレーザ線条光を照射するレーザ線条光照射部１３ａと、車輪１０ａ，１０ｂの通過が検出された場合、レーザ線条光が照射された車輪１０ａ，１０ｂの照射部位を撮影するカメラ１５ａ，１７ａと、それらのカメラ１５ａ，１７ａが撮影した車輪１０ａ，１０ｂの照射部位の画像を画像処理して、水平方向にレーザ線条光を照射したことに基づく歪を補正する画像処理部１８と、歪補正された画像に基づいて車輪１０ａ，１０ｂの形状に関する所定の計測項目を計測する車輪形状計測部１９とを有する。 （もっと読む）

【課題】校正作業のバラツキを最小限にとどめ、車輪の所定の計測項目を計測する際の計測データの信頼性を向上させることができる車輪形状校正冶具、車輪形状校正冶具を用いた校正方法を提供する。
【解決手段】車輪形状校正冶具１０は、光切断法によるレーザ線条光が照射され、所定の計測項目が計測される未使用時の車輪における計測部位と同一寸法であって、かつ、その寸法が既知である計測部位を有する校正冶具本体１１と、レール２に対し平行面上において、校正冶具本体１１を回転させ、レール２に対し任意のアタック角を設定する回転ステージ１２と、レール２に対し平行面上において、校正冶具本体１１を前後左右に移動させるＸ，Ｙ方向移動ステージ１３，１４と、校正冶具本体１１等を搭載し、レール２上に設置される架台１５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】断面円形材である高温の棒鋼、線材や鋼管の外径を測定しても測定精度が良く、かつ、スケールや粉塵が投光部及び受光部に付着し難い外径測定装置を提供する。
【解決手段】外径測定装置１は、棒鋼Ｗの外径を測定する外径測定器２と、棒鋼Ｗを挿通させる挿通部材３とを備えている。外径測定器２は、棒鋼Ｗに光Ｌを投光する投光部２１と、光Ｌを受光する受光部２２と、棒鋼Ｗの外径を演算する制御演算部２３とを有している。挿通部材３は、棒鋼Ｗを挿通させる挿通口３１を有しており、挿通口３１が投光部２１から受光部２２への光路に対向するように設けられている。挿通部材３は、挿通口３１を囲繞する環状の送風口３２を有しており、送風口３２は、棒鋼Ｗの径方向外方の周囲を棒鋼Ｗの軸方向にエアーＦを送風してエアーカーテンＡを形成する。送風口３２から送風されるエアーＦの送風方向には遮蔽物がない。 （もっと読む）

【課題】 母材が露出する領域が少ない場合でも、フィッティング領域を広く設定することが可能な技術を提供する。
【解決手段】 曲面形状を有する第１板材と曲面形状を有する第２板材とを溶接した構造体の溶接ビードの検査装置であって、溶接ビードに交差する断面における構造体の表面形状を測定した測定形状７０を記述する測定形状データの入力を受ける入力手段と、前記断面における第１板材の溶接前の表面形状の基準形状を記述する第１板材基準形状データ７４を記憶する記憶手段と、測定形状７０の傾斜角度分布と第１板材の基準形状７４の傾斜角度分布に基づいて、測定形状７０の中から、第１板材の表面形状に相当する第１板材領域８０を特定する第１板材領域特定手段を有する。 （もっと読む）

【課題】互いに噛み合う破断面の噛み合わせを判定する。
【解決手段】各破断面の表面形状データ(Ｘ座標値，Ｙ座標値，Ｚ座標値)が測定される(ステップＳ１０)。続いて、表面形状データに基づき各破断面上に複数の基準点が設定され(ステップＳ１１)、設定された基準点から３点を選択した後に、この３つの基準点を含む仮基準面が設定される(ステップＳ１２)。続いて、対向する仮基準面の一致状態が判定され(ステップＳ１４)、仮基準面が一致している場合には仮基準面が基準面として設定される(ステップＳ１５)。次いで、基準面を基準として表面形状データが比較データに変換され(ステップＳ１８)、この比較データに基づいて各破断面における欠け等の発生状況が判定される(ステップＳ１９)。そして、欠け等の面積に基づいて破断面の噛み合わせが判定される(ステップＳ２０)。 （もっと読む）