【課題】マイクロレンズとピンホールとの間にビームスプリッタを設けずともマイクロレンズを介すことなく反射光を光検出器に導くことができる三次元画像取得装置を提供する。
【解決手段】共焦点光学系を用いた三次元画像取得装置１０であって、マイクロレンズ板１３は、照明光を集光する複数のマイクロレンズが二次元に配設される。照明側開口板１４は、マイクロレンズの集光位置に設けられた照明側開口部を有し、照明側開口部によりマイクロレンズが集光した照明光を被計測体１７に向けて通過させる。偏光ビームスプリッタ１５は、照明側開口板１４を通過した照明光を透過するとともに、被計測体１７からの反射光を照明光の光路とは異なる光路に反射する。検出側開口板２１は、照明側開口部と光学的に共役な位置に設けられた検出側開口部を有し、検出側開口部により偏光ビームスプリッタ１５で反射された反射光を光検出器に向けて通過させる。 （もっと読む）

【課題】オーバーレイ測定、非対称性測定、およびインダイオーバーレイターゲットの再構築を可能にする。
【解決手段】四分くさび光デバイス（ＱＷ）は、基板から散乱した放射の回折次数を別々に再誘導し、第１方向および第２方向の各々に沿って照明から回折次数を分離する。例えば、０次（０、０’）および１次（−１、＋１’）を、各入射方向について分離する。マルチモードファイバ（ＭＦ）での捕捉の後、スペクトロメータ（Ｓ１−Ｓ４）を使用して波長（Ｉ_０’（λ）、Ｉ_０（λ）、Ｉ_＋１’（λ）、およびＩ_−１（λ））の関数としての空間的に再誘導された回折次数の強度を測定する。そして、これをオーバーレイエラーの計算、または単一格子の非対称パラメータの再構築に用いる。 （もっと読む）

【課題】 複雑な演算を行うことなく、二種類以上の方向性を持つ線パターンが存在する撮像画像から、同一の方向性を持つ線パターンのみを容易に抽出する為の技術を提供すること。
【解決手段】 投影パターン画像上には、第１の方向に沿って平行に並んでいる単色の第１の線分群と、第１の方向とは異なる第２の方向に沿って平行に並んでいる単色の第２の線分群と、が配置されている。第１の線分群のそれぞれと第２の線分群のそれぞれとの交点位置における画素の輝度値は、該交点位置以外の位置における画素の輝度値と異なる。 （もっと読む）

【課題】単純な形状に限らず認識対象物を的確に抽出する。
【解決手段】形状認識装置１２０は、軸を有する３次元モデル１２２を示す３次元モデル情報を保持するモデル保持部２１０と、認識対象物１１２の３次元形状を示す認識対象情報を取得する認識対象情報取得部２３０と、認識対象情報と３次元モデル情報とに基づいて、認識対象物または３次元モデルを対称的に配置した２つの姿勢候補を示す姿勢候補情報を生成する姿勢候補情報生成部２３４と、認識対象物の姿勢候補情報と３次元モデル情報とに基づいて、または、認識対象情報と３次元モデルの姿勢候補情報とに基づいて認識対象物の位置および姿勢を特定する認識対象物特定部２３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】 パターン画像を高速に投影して撮像する為の技術を提供すること。
【解決手段】 ストライプ状の模様が記されたパターン画像を定期的に送信するＰＣ２０１から、該パターン画像を受信する。パターン画像の送信周期内に、パターン画像におけるそれぞれ異なる水平ラインごとに、該水平ライン上の画素群を繰り返し用いて形成される投影画像を投影部２０７に入力する。投影部２０７が投影画像を投影する毎に、該投影のタイミングでカメラ１０３に撮像させる。 （もっと読む）

【課題】マイクロレンズアレイを用いた技術を適用したうえで、解像力を向上させることができ、且つ解像力を任意に変更させることができる顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】標本Ｓからの観察光を集光する観察光学系ＯＳ２と、観察光をそれぞれ受ける位置に配列された複数のマイクロレンズＭＬを有するマイクロレンズアレイ２６と、それぞれのマイクロレンズＭＬに対して複数の画素が割り当てられ、各マイクロレンズＭＬを介して複数の画素で受光した観察光に基づき撮像データを取得する撮像素子３０と、マイクロレンズアレイ２６に入射する前の観察光を受ける位置に配置され、観察光を偏向させて観察光が各マイクロレンズＭＬを介して撮像素子３０に受光される位置を相対的に移動させる像シフト装置４０と、撮像素子３０で取得された撮像データに対して所定の処理を施す画像処理部３１とを備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】 ケーブルの周りを一周にわたって簡単に、かつ短時間で点検できる装置を提供する。
【解決手段】 この装置は、ケーブル２１が通される通路を有するフレーム部材１１と、フレーム部材１１の長手方向の両端に形成され通路に連続する開口１０の中心に向けて突出するように設けられ、通路を通されたケーブル２１の外表面に当接して、フレーム部材１１をケーブル２１に支持するとともに、フレーム部材１１をケーブル２１の長さ方向へ移動させることが可能な走行支持手段１２と、フレーム部材１１に、ケーブル２１と周方向に対向して取り付けられる複数の撮影手段１４とを含む。 （もっと読む）

【課題】計測対象物の三次元形状を容易に、且つリアルタイムに得ることができる表面形状計測装置、及び表面形状計測方法を提供する。
【解決手段】道路８の表面にレーザビーム９を走査させて、道路８の表面に照射したレーザビーム９の方位毎の測距データを出力する測域センサ１と、レーザビーム９の投光面の一部を含んだ道路８の表面を撮像するカメラ３と、測域センサ１、及びカメラ３を道路８の表面に沿って車輪７を回転させて移動させる走行台車５と、走行台車５により測域センサ１、及びカメラ３を移動させた時に測域センサ１から得られた測距データを演算処理してｚ軸方向の位置座標を求め、カメラ３から得られた画像データを演算処理してｘ軸方向、並びにｙ軸方向の位置座標を求める位置座標検出手段と、位置座標検出手段により求められた各軸方向の位置座標に基づいて道路８の三次元形状を演算するＰＣ４と、を備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】費用面及びメンテナンス面で好適な構成で、適切に尾端クロップを検出することができる尾端クロップ検出装置およびそれを備えた熱間圧延設備を提供する。
【解決手段】熱間圧延ライン外に、熱間圧延ラインの仕上圧延スタンド間（Ｆ３−Ｆ４間）を通過する被圧延材７を連続的に撮像するカメラ１１を設置する。そして、カメラ１１で撮像した被圧延材７の連続画像から被圧延材７の尾端画像を検出し、その尾端画像から被圧延材７の尾端のエッジ部を抽出する。さらに、そのエッジ画像に対して画角合わせ処理を施すことで、圧延方向に対して斜めから見たエッジ画像を圧延方向に対して直交する方向から見た画像に変換し、被圧延材７の尾端クロップ形状を認識する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物に投影される縞の像の歪みを防止することができ、また、影の問題や、ハレーションの問題等を解消することができる３次元測定装置を提供すること。
【解決手段】３次元測定装置１００は、投影部２０と、撮像部３０とを含む。投影部２０は、基板１０に向けて垂線を下ろしたときの基板の表面（投影面）との交点３の周囲の領域である投影可能領域２に縞を投影可能とされる。撮像部３０は、投影可能領域２内に複数の撮像領域１を有する。投影可能領域２は、広範な領域とされているので、投影可能領域２内には複数の撮像領域１を設けることができる。撮像可能領域２内における撮像領域１の位置等は、影あるいはハレーションの影響の排除等を目的として設定される。 （もっと読む）

【課題】試料の表面形状を正確に測定して高い精度で描画することのできる荷電粒子ビーム描画装置を提供する。
【解決手段】高さ測定部４０において、光源４１から照射される光Ｌｉをマスク２上で投光レンズ４２によって収束させた後、マスク２上で反射した光Ｌｒを受光レンズ４３を介して受光素子４４に入射させる。受光素子４４で光の位置が検出されると、信号処理部６０を経て、高さデータ処理部７０で高さデータＨｒが作成される。光Ｌｒの光量が閾値以上であれば、高さデータＨｒを偏向制御部３０へ送る。一方、光Ｌｒの光量が閾値より小さい場合には、描画前に取得した高さデータマップＨｍから、対応する座標の高さデータを偏向制御部３０へ送る。偏向制御部３０は、高さデータ処理部７０から送られた高さデータに基づいて、電子ビーム光学系１０の調整を行う。 （もっと読む）

【課題】３次元形状測定装置の撮像装置や接触子のように、３次元形状の測定に必要であり、かつ、その位置や姿勢が測定データに大きく影響する器具等の位置や姿勢を正確かつ簡便に測定できるようにする。
【解決手段】位置姿勢測定装置は、例えば、互いに直角をなす線状の第１、第２の像１９Ａ、１９Ｂをそれぞれ結ぶレーザー光を利用するものであり、第１、第２の像１９Ａ、１９Ｂと交差することで、レーザー光を反射して特定の方向に向かわせる反射具１１を備える。また、反射具１１は、再帰性反射材により設けられた３つの反射部２３ａ〜２３ｃを有し、反射部２３ａ〜２３ｃは、３角形の頂点を占めるように、かつ、反射されるレーザー光の光量が互いに異なるように設けられている。これにより、球面座標系を利用して撮像装置等の位置および姿勢を正確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】適切な測定照度で測定対象物を３次元測定することができる３次元測定装置等の技術を提供する。
【解決手段】制御部は、投影部により縞が投影された測定対象物を撮像し、縞の位相が異なる合計４枚の画像を取得する（ステップ１０７〜１０９）。次に、制御部は、４枚の画像から各画素の輝度値を抽出して、位相シフト法により輝度値を各画素の高さへ変換する（ステップ１１０）。次に、制御部は、基板選択領域及び半田選択領域のそれぞれについて、高さの変換が不可とされた画素の割合（エラー率）を算出する（ステップ１１１）。制御部は、照明の照度を変化させて、ステップ１０７〜ステップ１１１の処理を繰り返す。制御部は、各照度での選択領域のエラー率に基づいて、投影部の最適な照度を決定する（ステップ１１４）。 （もっと読む）

【課題】 錠剤の振動やポケット内の姿勢に影響を受けることなく正確な検査が行えるようにすること
【解決手段】 ３Ｄカメラ装置は、容器フィルムのポケット部内に供給された錠剤を撮像し、三次元計測法により錠剤の表面の各位置の高さ位置を濃淡画像で表したプロファイル画像を求め、処理装置２２に送る。処理装置は、プロファイル画像に基づき錠剤の外観検査を行うもので、プロファイル画像中の錠剤を示す画像データを抽出する錠剤検出部３１と、抽出した画像データをその錠剤の表面が平坦になるように補正処理をして平坦化画像を生成する平坦化処理部３２と、その平坦化画像に基づいて外観異常の判定を行う欠陥解析部３４を備える。平坦化処理部３２により錠剤の表面の高さ位置が平坦（水平）に正規化されるので、簡単な閾値処理で異常の有無を判定できる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、画像を用いた測定において、１枚の画像に納まりきらない程の高い倍率で画像を取得する際にも、容易な操作で画像を取得でき、かつ、寸法を算出する際に、１枚の画像に納まりきらない程の高い倍率で撮影した画像を用いることで、１枚の画像に納まりきる画像から寸法を算出するよりも高い精度で寸法を算出可能な装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、ワイドカメラの画像からワークの輪郭を抽出し、抽出された輪郭情報に基づき、駆動機構の走査軌跡および、複数のカメラの撮像倍率を決定し、決定された走査軌跡を走査中に、複数のカメラから複数枚の画像を取得し、複数枚の画像を合成して、高倍率の画像を生成し、生成された高倍率画像から高精度に輪郭の寸法を求めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被検面の形状を高精度に計測すること。
【解決手段】部分計測を複数回行い、それらを合成して全体の形状を得るスティッチ計測方法において、全体計測領域に対して、部分計測領域を複数配置するラティス構築ステップと、ラティスにおいて、全体計測領域の外部が存在する周辺部分計測領域に対しては、全体計測領域の内部の第1の領域と外部の第2の領域とに分割し、全体計測領域の外部が存在しない中央部分計測領域に対しては、周辺部分計測領域の分割パターンによって第1の領域と第2の領域とに分割するステップと、第1の領域上に第1の直交関数系を構築するステップと、全体計測領域における各部分計測領域に対して、第1の領域上に第1の直交関数系の各関数の線形結合を第1のシステムエラーとして定義するステップと、線形結合における係数を変数として含む整合性関数を構築するステップと、整合性関数を最適化することにより決定された変数からシステムエラーを算出するステップとを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】照明光を機械的に走査せずに測定対象物の表面形状を精度良く求める。
【解決手段】点灯制御部３１は、光源ＬＥを順次に１個ずつ点灯させる。撮像制御部３２は、各光源ＬＥが点灯される毎に、測定対象物の画像データを撮像部２０に取得させる。画像データ特定部３３は、画像データを構成する各画素について、輝度値が最大となる画像データを、撮像部２０により取得された全画像データ中から特定する。傾き算出部３４は、画像データ特定部３３により特定された各画像データにつき、各画像データを取得する際に点灯された光源ＬＥの位置を特定し、特定した各光源ＬＥの位置を基に、各画素に対応する測定対象物の各測定位置の傾きを算出する。表面形状算出部３５は、傾き算出部３４により算出された各測定位置ＡＰの傾きを基に、各測定位置ＡＰの高さを算出し、測定対象物ＯＢの表面形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】干渉計の撮像素子から出力される被検面のシェア像を利用し、被検面の形状に関わりなく其の実面形状を直接的に把握すること。
【解決手段】波面分布面Ｗを区画して得た各微小セルＷ_１〜Ｗ_Ｃ１毎の波面分布面側法線ｋ_１〜ｋ_Ｃ１の各々が干渉計１による測定時に被検体１３の球心Ｏに収束する光路を辿って被検面１３ａに入射した照明光（入射光）の何れかの反射光の光路と一致することに基いて、波面分布面Ｗの微小セルＷ_１〜Ｗ_Ｃ１における波面分布面側法線ｋ_１〜ｋ_Ｃ１すなわち被検面１３ａからの反射光に相当する波面分布面側法線ｋ_１〜ｋ_Ｃ１毎に、これに対応する照明光波面側法線l_１〜l_Ｃ１つまり入射光の光路を突き止め、これら２つの光路すなわち波面分布面側法線ｋ_１〜ｋ_Ｃ１と照明光波面側法線l_１〜l_Ｃ１の交点位置Ｒ（１）〜Ｒ（Ｃ１）を求めて被検面１３ａの実面形状のデータとする。 （もっと読む）

【課題】低コストで複数の被測定物を測定することができる３次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】３次元形状測定装置は、非線形媒質３０を有し、該非線形媒質３０に照射された第１偏光状態の複数の反射チャープ光１０２、１０４、１０６をポンプ光が照射された期間で切り出すシャッタ部を備え、非線形媒質３０は、シャッタリング光が照射された期間に照射された反射チャープ光１０２、１０４、１０６の偏光状態を第２偏光状態に変化させるものであり、シャッタ部は、非線形媒質３０によって偏光状態が変わった反射チャープ光１０２、１０４、１０６を抽出することで、所定のタイミングで反射チャープ光１０２、１０４、１０６を切り出し、複数の照射装置は、非線形媒質３０におけるポンプ光の非線形効果の有効範囲１００内に反射チャープ光１０２、１０４、１０６を集光させる。 （もっと読む）

【課題】タイヤが走行しているときの接地形状及び接地面近傍を含むタイヤの表面形状を精度よく計測する。
【解決手段】タイヤＴを路面１１の走行路１１ａを構成する透明な強化ガラス板Ｇ上に接地させるとともに、強化ガラス板Ｇの表面に設けられた路面プールに白色の液体Ｌを投入し、移動機構１６３のボールねじ１６３ａを回転させて路面１１を保持するガイド部材１６２をガイドレール１６１に沿って前後方向に移動させながら、強化ガラス板ＧのタイヤＴが接地する側とは反対側に設けられたＣＣＤカメラ１４により液体Ｌ中を走行するタイヤＴの形状を撮影し、この撮影された画像からタイヤＴの形状を計測するようにした。 （もっと読む）