本発明は、室内空間で移動するロボットの位置を認識するためのランドマーク、並びにこれを利用した移動ロボットの位置認識装置及び方法に関する。
本発明は、任意位置の１つのマークと、このマークを中心にＸ軸及びＹ軸上に位置する少なくとも２つのマークとからなる位置認識部、異なるランドマークを区別するために複数のマークの組み合わせからなる領域認識部を含む移動ロボットの位置認識用ランドマーク、並びにこのように構成されたランドマークの映像を赤外線カメラで取得してランドマークを構成するマークを検出し、これから移動ロボットの位置情報（座標及び方位）と領域情報を正確に検出することのできる、移動ロボットの位置認識装置及び方法を提供する。
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【課題】 列車前方の撮影画面の全領域の中からパターンマッチングのための探索エリアを確実に絞り込むこと。
【解決手段】 ビデオカメラと鉄道信号・標識認識装置とで構成され、パターンマッチングを行って列車前方のレールの近傍に設置されている鉄道信号・標識を認識する列車前方鉄道信号・標識認識装置において、列車前方の撮影画像データから取得し（１０１）、検索画面の中にレールを抽出し（１０２）、段階的に変更したテンプレート画像のスケールに対応した探索エリアをレール幅、建築限界及び建植ゲージを利用して前記検索画面上のレールの近傍に特定し、探索エリア毎にパターンマッチングを行い（１０３〜１０７）、最高のスコアを出したパターンマッチングに対応した探索エリアを決定する（１１１）。そして、前記決定した探索エリアに鉄道信号・標識が存在すると判断する。 （もっと読む）

【課題】ステージの位置を測定するための干渉計等の位置測定装置を用いることなく、基板を的確な位置に位置づけることができる投影露光装置及び投影露光方法を提供する。
【解決手段】基準基板に形成された基準基板基準マークの位置に基づいて、載置台の位置の誤差を補正するための載置台位置補正データを演算し、載置台位置補正データと、露光基板に形成された露光基板基準マークの位置とに基づいて、露光基板基準マークの位置の線形成分の誤差を補正するための線形誤差補正データを、最小二乗法を用いて演算する。 （もっと読む）

【課題】軸心位置の設定方法を工夫して、容易に迅速に軸合わせができるとともに、軸合わせの前に行われる防風工程を省略できるようにする。
【解決手段】各々が円形状の開口部を有し、互いの開口部の軸心が略同一直線上に乗るように仮設置された第１及び第２の物体の、軸心位置のズレ量及びズレ方向を検出する軸合わせ補助装置において、第１の物体の開口部の一方の端部から、当該第１の物体の開口部の軸心に沿った光線ＬＢ１を、第２の物体の開口部に向けて照射するレーザ照射装置１０と、第２の物体の開口部の内側面に、一端部の２つの接合部を接して配置され、当該第２の物体の開口部の軸心周辺において他端部が光線を受光するとともに、受光された光線の位置情報を出力する受光器２０と、受光器２０により出力された位置情報を入力して、第１及び第２の物体の開口部の軸心位置のズレ量及びズレ方向を検出するコンピュータ４０とを備えるものである。 （もっと読む）

透明基板、特に板ガラスの欠陥を検出して定量化する方法が開示される。この方法は、上面及び底面を有する平面状の透明基板を供給することを含む。供給された平面状の透明基板の上面の少なくとも一部の表面トポグラフィーが測定され、サブナノメートルレベルの精度を有する三次元上面プロファイルが取得される。この三次元上面プロファイル測定から、三次元上面プロファイルにおける、所定の許容範囲より大きい大きさを有する１つ以上の表面ばらつきの存在を識別及び／又は定量化できる。 （もっと読む）

【課題】コストを低減できる測定システムを提供すること。
【解決手段】測定システムは、搬送コンベア２上を搬送されるエンジンブロック１０のボアＡ０〜Ａ３の寸法を測定する。測定システムは、搬送コンベア２上に設けられたＣＣＤカメラと、寸法を測定するエアマイクロメータと、ＣＣＤカメラおよびエアマイクロメータを搬送コンベアに対して相対移動させる移動機構と、これらを制御する制御装置と、を備える。制御装置は、搬送コンベア２上を搬送されるエンジンブロック１０のボアＡ０および側面ＡをＣＣＤカメラで撮影し、この撮影画像に基づいてエンジンブロック１０の残るボアＡ１〜Ａ３の位置を特定して、これらボアＡ０〜Ａ３にマイクロメータを接近させて寸法を測定する。 （もっと読む）

【課題】主として台秤に設置し、重量と同時に寸法を測定することができる、荷物の寸法測定装置を提供する。
【解決手段】荷物の重量を測定する台秤１の上面２部分に、縦方向及び横方向の直線上に一定寸法の光電池３，３を一定間隔で複数配置する。個々の光電池３の起電力(出力)を測定して一定値以下の起電力の光電池３の上方には荷物が存在し、一定値以上の起電力の光電池３の上方に荷物が存在しないと認識するとともに、起電力が前記一定値以下の起電力と一定値以上の起電力の間の起電力である光電池は、その起電力の程度によって光電池３の長さに対応する寸法比率で長さを認識して荷物の平面寸法を測定する。これにより、光電池の中間位置を荷物の周縁として測定することができる。 （もっと読む）

【課題】所望の開口と対物レンズとを容易に対向させることを可能にする。
【解決手段】プレート検査装置は、制御装置と、複数の孔２ａが形成されたプレート２を支持する平板３２を有するステージと、ステージが設けられた顕微鏡とを含んでいる。制御装置は、第１〜第３記憶部と、測定部と、算出部と、移動制御部とを有している。算出部は、第１〜第３記憶部４２〜４４に記憶された座標を、Ｘｍ´＝Ｘ１´＋（Ｘｍ−Ｘ１）×（Ｘ２´−Ｘ１´）／（Ｘ２−Ｘ１）、及び、Ｙｍ´＝Ｙ１´＋（Ｙｍ−Ｙ１）×（Ｙ２´−Ｙ１´）／（Ｙ２−Ｙ１）の２式に代入し、平板３２の所定位置からずれた位置に配置されたプレート２の所望の孔２ａの座標（Ｘｍ´、Ｙｍ´）を算出する。そして、移動制御部が、算出部によって算出された座標（Ｘｍ´、Ｙｍ´）と対物レンズの光軸とが一致するように、ステージを制御する。 （もっと読む）

【課題】正確な三次元形状測定を行うことができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】パタン投影系２０が、投影パターンの投影方向を、第１の投影方向Ａ１と、第１の投影方向に対して撮像系の光軸を中心に１８０度回転対称となる第２の投影方向Ａ２とで切り替える投影方向切替手段３０を有して構成され、形状測定部５０は、被検物の表面上における同一の測定点に対し、第１の投影方向Ａ１で投影された投影パターンが基準線に対して変形した量から求まる測定点の第１の高さ情報と、第２の投影方向で投影された投影パターンが基準線に対して変形した量から求まる第２の高さ情報との差から算出可能な撮像系のディストーションに因り発生する高さ情報を、第１又は第２の高さ情報から除いて、測定点の高さを測定する。 （もっと読む）

【課題】バルブプレートの高さ・幅・幅辺厚み・反りを高精度にかつ高速に測定し、演算するバルブプレート寸法演算方法および装置を提供することを目的とする。
【解決手段】上下左右に傾斜させた状態で配置されたレーザ距離計を走査してバルブプレートの断面形状や寸法を測定および演算するバルブプレート寸法演算方法であって、前記レーザ距離計の距離データ、傾斜角、および走査中の位置データから前記バルブプレートの断面形状を求め、この断面形状に基づき前記バルブプレートの各部寸法を演算する。 （もっと読む）

【課題】正確な三次元形状測定を行うことができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】所定幅を有したスリット光Ｓからなる投影パターンを被検物５に投影する投影部２０と、スリット光Ｓが所定間隔走査される毎に被検物に投影された投影パターン像を撮像する撮像部３０と、撮像部３０で撮像される投影パターン像のそれぞれに対し、スリット光Ｓの走査位置に応じて算定される３以上の変調係数をそれぞれ乗じて３以上の変調画像を取得し、同じ変調係数を乗じて取得された変調画像群をスリット光Ｓの走査方向に並べて合成して３以上の正弦波パターン投影画像を生成する画像生成部４１と、３以上の正弦波パターン投影画像から被検物５の位相分布を算出し、位相分布に基づいて被検物５の表面形状を測定する形状測定部４２と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】欠陥の検査を短時間で精度良く行い、回路形成の歩留まりを向上させることのできる金属箔張り積層板の外観検査技術を提供する。
【解決手段】外観検査装置Ａは、金属箔張り積層板１の表面の打痕、キズ、ピンホール、シワなどの欠陥の有無を判定するため、金属箔張り積層板１の表面を撮像するためのカメラ２と、モニター９を有しカメラ２の撮像により得られた画像に基づいて欠陥の有無を判定するためのリファレンス部２０とを備える。リファレンス部２０には、目視により確認された金属箔張り積層板１の欠陥箇所にマーキングされたマーキング部の画像がカメラ２で撮像されて入力されるとともに、検査対象の金属箔張り積層板１の表面に形成する予定の外層回路パターンの画像が入力されて、両者の画像がモニター９上に合成表示され、マーキング部の外層回路パターンへの干渉により欠陥の有無が判定される。 （もっと読む）

【課題】被検物の表面形状の影響を受けることがないように投影パターンを生成して正確な三次元形状測定を行うことができるような測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】被検物に所定の投影パターンを投影するパターン投影部と、前記投影パターンが投影された前記被検物を撮像する撮像部と、前記撮像部により得られた撮像画像から前記投影パターンに対応する前記被検物の複数の部分の光軸方向の位置を演算する形状演算部と、前記パターン投影部により投影された前記投影パターンと前記撮像部により得られた撮像画像との位置の対応づけを行うとともに、前記撮像画像の画像面上の点の輝度を演算する輝度演算部と、前記輝度演算部により得られた前記撮像画像の画像面上の点の輝度により、前記投影パターン上の点に対して輝度の補正を行うパターン補正部とを備える形状測定装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】鏡面反射光の影響を受けることなく正確な三次元形状測定を行う。
【解決手段】被検物２０に所定の投影パターンを投影するパターン投影系と、投影パターンが投影された被検物を撮像する第１の開口数ＮＡ１を有した第１撮像装置６と、これと同一光軸上において被検物を撮像する第２の開口数ＮＡ２を有した第２撮像装置８と、被検物に対する光軸方向の相対位置を調整する位置調整器とを備えて形状測定器が構成される。Ｚ１位置およびＺ２位置において、投影パターンを投影した被検物を、第１および第２撮像系により撮像して第１（Ｚ１）および第２（Ｚ１）測定画像並びに第２（Ｚ１）および第２（Ｚ２）測定画像を取得し、所定画像位置における第1位置ずれ（Δｄ１）と第２位置ずれ（Δｄ２）とから、所定画像位置に対して合焦する合焦位置（Ｚ０）を求め、所定画像位置における合焦位置（Ｚ０）での測定画像から所定画像位置の光軸方向位置を求め、前記被検物の三次元形状を求める。 （もっと読む）

【課題】バリの検出を適切に開始することができるバルブボデーの加工穴のバリ検出方法を提供する。
【解決手段】ＳＮＲがＳＮＲ閾値をこえた状態からＳＮＲ閾値未満に変化した時点に対応する前記反射部位をエッジ部として検出する。さらに、高さ位置データＺ（高さ位置データＺ下限値を含む。）がＺ閾値ＺＳより小さいと判定される部位（低レベル部位）ひいてはエッジ部からバリ検出を開始させる。溝部１５の側壁１７には傾斜（鋳抜き勾配）が形成されていることから、ＳＮＲ及びＳＮＲ閾値を用いてエッジ部を決定してバリ検出開始側部分を定めることにより、エッジ部の検出を高さ位置データＺのみにより行う場合に比して、バリ検出開始すべき位置を精度高く把握でき、ひいてはバリ検出の精度向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】被検物の時間的な変化の影響もしくは被検物表面の急激な状態変化の影響を受けることがないようにして正確な三次元形状測定を行うことができるような測定装置及び測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】位置によって異なる光学波長および位相を有する投影パターンを被検物に投影する投影部と、前記投影パターンが投影された前記被検物の像を色調に対応する少なくとも２つの波長特性に基づいて分けた撮像として取得する撮像取得部と、前記被検物の複数の位置に対応する前記撮像から前記波長特性同士の重複による誤差を修正した修正位相を取得する修正位相取得部と、前記修正位相取得部により得られた前記修正位相から前記被検物の形状を測定する形状測定部とを備えることを特徴とする形状測定装置を提供する。 （もっと読む）

本発明は、移動中のスレッドラインの表面凸凹のレベルをモニターするための方法および装置であって、（ａ）スレッドラインに対して０度超および９０度未満の照射角でスレッドラインに付随して置かれた光源によってスレッドラインを照明して分光反射エネルギーおよび拡散反射エネルギーを生成する工程と、（ｂ）スレッドラインからの分光反射エネルギーの量を、照射角に実質的に等しい反射角でスレッドラインに付随して置かれた第１受信器で測定する工程と、（ｃ）スレッドラインからの拡散反射エネルギーの量を、照射角および反射角とは異なる角度で置かれた第２受信器で測定する工程と、（ｄ）拡散反射エネルギーの量対分光反射エネルギーの量の比を測定する工程と、（ｅ）前記比を表面凸凹のレベルと関係づける工程とを含む方法および装置に関する。
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【課題】コークス炉の炭化室における微小な炉壁の変化を、長期間に亘って連続的に且つ高精度に測定できるようにする。
【解決手段】炭化室１１ｂ内の炉壁１４に対して、レーザ光２１を鋭角に投射するに際し、そのレーザ光２１の画像を鉛直上方向（石炭装入口１３ｂの方向）に映し出す耐熱ミラー３を炭化室１１ｂ内で懸垂させておく。従って、耐熱ミラー３により映し出された画像の撮像結果を用いてレーザ光２１の移動量ΔＨを求めることにより、炉壁１４の変位量ΔＤをサブミリ単位で高精度に識別することが可能になる。更に、大掛かりな冷却装置を用いなくても、長期間（例えば、隣接する炭化室に石炭が装入されてから、その石炭の乾留が完了するまでの約２０時間）に亘って耐熱ミラー３を炭化室１１ｂ内で懸垂させておくことができる。 （もっと読む）

【課題】Ｚ方向の位置を計測する機構の周囲に影響を抑え軽量化及び高制御性を達成する露光装置、その露光装置を用いるデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】 露光装置は、レチクルステージ１０２である微動ステージ３の底面に直交する第１方向における位置を計測する第１の計測光１６ｃを発射する第１の干渉計としてのＺ干渉計７と、微動ステージ３の底面に設けられる第１のミラーとしての微動Ｚミラー１３と、微動Ｚミラー１３の直下に設けられる第２のミラーとしての反射鏡１６ａとを有し、Ｚ干渉計７から発射された第１の計測光１６ｃを反射鏡１６ａを介して微動Ｚミラー１３へと導く。微動Ｚミラー１３により反射された第１の計測光１６ｃを反射鏡１６ａを介して干渉計７へ戻して微動ステージ３の第１の方向における位置を計測する。 （もっと読む）

【課題】ハニカム構造体を製造するに際し、小規模の装置を用いてハニカム構造体の外形形状を測定する。
【解決手段】テーブル１２０の回転軸上にワーク２００の中心軸が重なるようにテーブル１２０上にワーク２００を載せる。そして、レーザ光照射部１４１から照射される面状のレーザ光のうちもっとも外側の光路が少なくともワーク２００の外周面に交わるようにテーブル１２０を移動させる。この後、レーザ光を水平面状に照射すると共に、ワーク２００の外周面に当たらないレーザ光を受光部１４２で受光する。これにより、ワーク２００の径方向の寸法に相当する電気信号を取得し、当該電気信号に基づいてワーク２００の径方向の寸法を取得する。このとき、テーブル１２０を一定角度で回転させると共に、テーブル１２０をワーク２００の高さ方向に移動させてワーク２００の径方向の外形寸法を取得する。 （もっと読む）