【課題】ハニカム構造体を製造するに際し、小規模の装置を用いてハニカム構造体の外形形状を測定する。
【解決手段】テーブル１２０の回転軸上にワーク２００の中心軸が重なるようにテーブル１２０上にワーク２００を載せる。そして、レーザ光照射部１４１から照射される面状のレーザ光のうちもっとも外側の光路が少なくともワーク２００の外周面に交わるようにテーブル１２０を移動させる。この後、レーザ光を水平面状に照射すると共に、ワーク２００の外周面に当たらないレーザ光を受光部１４２で受光する。これにより、ワーク２００の径方向の寸法に相当する電気信号を取得し、当該電気信号に基づいてワーク２００の径方向の寸法を取得する。このとき、テーブル１２０を一定角度で回転させると共に、テーブル１２０をワーク２００の高さ方向に移動させてワーク２００の径方向の外形寸法を取得する。 （もっと読む）

本発明は、スクリーンゴルフのためのゴルフボールの動的情報測定システムに係り、より詳しくは、主に室内ゴルフ場に設けられるスクリーンゴルフ施設において、ゴルフ打席の前に設けられた４つの相異なる光線面からゴルフボールとゴルフクラブの角度と速度を正確に測定し、これらよりゴルフボールの予測飛距離と落下地点を三次元画像で表示できるようにしたゴングボールの動的情報測定システムに関する。 （もっと読む）

【課題】 同色系のフィルタ素材が隣接する多重フィルタロッドを製造する製造機において、多重フィルタロッド内における個々のフィルタ素材の識別が可能な検査装置を提供する。
【解決手段】 多重フィルタロッド製造機の検査装置は、複数種のフィルタ素材からなる多重フィルタロッドが連続した中間製品Ｉに赤外線の検出光を入射させる光源２４と、中間製品Ｉから反射した検出光を受け取る受光器３０と、受光器３０にて受取った検出光を３つの波長（１５５０ｎｍ，１７２０ｎｍ，１９４０ｎｍ）の検出光に分光する分光処理セクション３４とを備え、この処理セクション３４は分光された検出光の受光レベルに基づき、中間製品Ｉに含まれるフィルタ素材を識別する識別回路５２を含む。 （もっと読む）

【課題】計測時間の短縮、ドリフト誤差低減等を図り被検物の絶対形状を効率よく計測する干渉計測方法、干渉計、これを用いる露光装置、その露光装置を用いるデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の干渉計測方法を実施し、露光装置、デバイス製造方法に用いる干渉計は、被検物１の代りとなるダミー真球２の全ての球面に被検光が当たるようにダミー真球２を回転する第１の回転機構４と、ランダムに回転するダミー真球２を第１の回転機構４とともに光軸周りに回転する第２の回転機構５と、参照光を形成する参照面の形状誤差を演算する第１の演算手段と、参照面の形状誤差に基づき被検物１の真の形状を演算する第２の演算手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】操作が簡単であり、かつ、測定対象物の撮影角度に関する制限を排除する。
【解決手段】回転中心上の異なる高さ位置にそれぞれ真球を配置して、レンジファインダにより真球のそれぞれの高さ位置における画像データを取得する第１の処理、取得された画像データに基づいて、真球のそれぞれの高さ位置における真球の中心座標を算出する第２の処理、算出された真球のそれぞれの高さ位置における真球の中心座標を通る直線を算出する第３の処理、算出された直線を１つの軸とする回転テーブルにおけるローカル座標系を算出する第４の処理、算出されたローカル座標系とレンジファインダにおけるワールド座標系とを座標変換するパラメータを算出する第５の処理、算出されたパラメータによりワールド座標系とローカル座標系とを対応付けて測定対象物の全周の形状を取得する第６の処理よりなる。 （もっと読む）

【課題】対象物にエネルギーを投入するために、対象物の表面に向けてエネルギーを放出するエネルギー源を備える、特に歯科医療分野において、仮想三次元模型を生成するために、対象物の表面輪郭を把握するためのシステムを提供する。
【解決手段】本発明によれば、対象物(2)から出てくるエネルギーの強度を把握するために、センサ(6)が対象物(2)のエネルギー源(1)とは反対の側に設けられている。対象物(2)へのエネルギー入射面(4)に関する高さ情報としての層厚を用いて当該表面輪郭(10)を記述するために、参照ユニット(9)において、対象物(2)の層厚が、エネルギー差モジュール(8)で決定される、対象物で吸収されたエネルギーと関係付けられる。 （もっと読む）

【課題】砥石の研削性能を的確に評価することができる砥石検査装置を提供する。
【解決手段】使用前後の砥石１の画像を重ね合わせ、使用前後の一方の輝度データの画像をＸ、Ｙ方向へずらして画像が重なり合っている部分の輝度値の差をそれぞれピクセル単位で計算し、その計算結果に基いてずれ量を算出する。その後、ずれ量に基いて砥石１の使用前後の座標位置を合わせ、ピクセル毎に輝度データを比較する。 （もっと読む）

【課題】ｎｍオーダーの複数の円柱体の直径、屈折率及び中心軸間距離を効率よく同時に測定する測定方法およびその測定方法を用いた装置を提供する。
【解決手段】中心軸が平行関係を持つ複数の円柱体の長さ方向に対して垂直に偏向された垂直偏光を前記円柱体に投射して得た所定散乱角度の散乱光による測定散乱光強度と前記散乱角度から算出した計算散乱光強度とから、前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の関数で表される偏差指標を算出し、前記偏差指標を最小とする前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角の組み合わせを導出して、前記複数の円柱体の個々の直径、屈折率、中心軸間距離及び入射光軸と間隔のなす角を求める円柱体の直径、屈折率、中心軸間距離入射光軸と間隔のなす角の測定方法である。 （もっと読む）

【課題】レーザ式変位計測装置およびそれを用いた寸法変化測定方法において、被検物の周囲の環境変動があっても、良好な測定精度を保つことができるようにする。
【解決手段】レーザ式変位計測装置２が、端部に変位測定板６を設けたコンクリート供試体５に対して出射部から出射光９ａを出射しその反射光９ｂを受光部で受光して、変位測定板６までの距離を測定するレーザ式変位センサ８と、レーザ式変位センサ８の出射部および受光部から、変位測定板６の近傍までの空間を覆う管状部１０ａを有するカバーケース１０を備えるようにする。そして、レーザ式変位計測装置２を用いてコンクリート供試体５の寸法変化を測定する。 （もっと読む）

【課題】 位置決め装置において、ステージの加減速によって生じる計測誤差を抑える。
【解決手段】 ステージ７を位置決めする位置決め装置であって、ステージ７の位置を計測する計測システム３，４と、ステージ７の加速度に基づいて、計測システム３，４により計測された値を補正する補正器１５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】検査漏れを防止する。
【解決手段】液晶パネル１１内には、バックライトから照射される光をフィルタリングするためのカラーフィルタがＲ，Ｇ，Ｂの三色設置されている。この液晶パネル１１を検査するための検査装置３０は、液晶パネル１１を撮像してその受光信号を出力するカメラ３１と、液晶パネル１１に対してカメラ３１とは反対側から光を照射する検査用バックライト３２と、液晶パネル１１とカメラ３１との間に介在し、液晶パネル１１の各カラーフィルタを透過した各色の光が同じ光量だったとき、それらの光をカメラ３１では同じ強度の光として検出できるようフィルタリングする補正用カラーフィルタ３５と、カメラ３１から出力される受光信号に基づいて得た検出値と、所定の検査基準値とを比較し、検査基準値を超えていた場合は欠陥として検出する演算処理部３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査ステーションで回転しているガラス容器を検査するための機械を提供する。
【解決手段】カメラが、ガラス容器の問題の領域を撮影する。光源を多数回ストロボ状に発光することによってその領域の連続的な照光が行われ、その領域がカメラによって全期間に亘って撮影される。 （もっと読む）

概括すると、第１の態様では、本発明は一つの方法を特徴とし、本方法は、干渉計アセンブリ（１００）を使用して３つの異なる出力ビーム（１８１〜１８３，１９１〜１９３）を供給するステップであって、各出力ビームは、対応する第１ビームと対応する第２ビームとの光路長差に関連付けられる干渉位相を含み、各第１ビームが測定オブジェクト（１２０）に少なくとも１回は接触する、前記供給するステップと、３つの異なる出力ビームの各ビームに対応する干渉位相をモニタリングするステップと、そして第１ビーム経路におけるガスの光学特性の変化に関する情報を、モニタリングされる３つの位相に基づいて生成するステップと、を含む。
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【課題】成形品の外面と内部とに連続するように形成された孔と孔との境界縁に生じたバリの画像を容易に得る。
【解決手段】成形品の外面と内部とに連続するように形成された孔と孔との境界縁に生じたバリの画像を得るために境界縁及びその近傍領域に光を照射するバリ検出用照明装置１であって、境界縁及びその近傍領域の全体に照明可能な照明具２と、照明具２を孔内に挿入するために照明具２を先端に有した棒体と、照明具２の駆動電源１６とを備え、照明具２が発光体（ＬＥＤチップ５）と発光体を覆う覆部６とを備え、覆部６が光拡散部７を備えた。 （もっと読む）

【課題】機械式の受容部を備えた、干渉計式の測定装置のための光ファイバープローブで、前記受容部内に光ファイバーがガイドされており、ファイバー末端部が設けられていて、該ファイバー末端部は前記機械式の受容部を越えて突き出ていて、ファイバー内でガイドされた光線を部分反射するための、ファイバー内に配置された反射ゾーンを備えている形式のものを改良して、高い測定精度で、小さい直径及び大きい深さを有する中空室の干渉計式の検査を可能とするような光ファイバープローブを提供する。
【解決手段】前記反射ゾーンがファイバー末端部内に配置されている。 （もっと読む）

【課題】トロリ線周辺の構造物に影響されることなく、トロリ線の全区間に亘った摩耗測定を確実、容易にする。
【解決手段】検査車両１には、トロリ線の敷設方向とは垂直になる走査線方向にしたラインセンサ５と照明灯６を搭載し、検査車両の走行によってトロリ線のパンタグラフ接触面を撮影し、この画像信号を計測用コンピュータ７が記録装置８に保存する。ラインセンサに得られる走査線の輝度信号を時系列に並べてラインセンサ画像を作成し、このラインセンサ画像から二値化ラインセンサ画像を得、この二値化ラインセンサ画像からトロリ線摩耗部のエッジを検出し、このエッジデータに対するトロリ線全体幅とラインセンサから見たトロリ線高さからトロリ線の摩耗部の実幅を求める。 （もっと読む）

【課題】微細孔８が穿孔された被計測ワーク２の基準軸に対する微細孔８の孔中心軸角度を、短時間で精度良く計測する。
【解決手段】微細孔８の一端側に焦点を合わせ、そのときの画像データから孔一端側中心座標Ｒ１を算出し、次に微細孔８の他端側に焦点を合わせ、そのときの画像データから孔他端側中心座標Ｒ２を算出し、孔一端側中心座標Ｒ１と孔他端側中心座標Ｒ２とから光学中心軸に対する微細孔８の孔中心軸の傾き姿勢を算出し、その孔中心軸の傾き姿勢と被計測ワーク２の所定の位置決め姿勢とから基準軸に対する微細孔８の孔中心軸角度を算出する。
これによれば、被計測ワーク２の基準軸に対する微細孔８の孔中心軸角度を正確に計測することができる。また、ピンゲージを用いた従来の計測方法と比べて計測を短時間で行うことができる。 （もっと読む）

【課題】搬送されるステージ上に載置されたワークに設けられたアライメントマークの位置の測定誤差を抑制する。
【解決手段】ＣＣＤカメラ３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃによってワーク１２に設けられたアライメントマーク１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ、１８Ｄ、１８Ｅ、１８Ｆを撮像する時点での、ステージ１４の正規位置に対する位置の誤差を測定し、この測定結果に応じて、ＣＣＤカメラ３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃの撮影画像から算出される撮像時点でのアライメントマーク１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ、１８Ｄ、１８Ｅ、１８Ｆの位置の算出結果を補正する。 （もっと読む）

【解決手段】 位置検出装置１４は、平板状の素材ガラス２における２箇所の角部２Ａ、２Ｂに向けてライン状の検査光ＬＡを斜め上方から照射する第１検査光照射手段１７および第２検査光照射手段１８と、両角部２Ａ，２Ｂとその周辺を撮影するＣＣＤカメラ１５，１６、ＣＣＤカメラ１５，１６が撮影した画像を基にして加工テーブル３上の素材ガラス２の位置を検出する画像処理手段１９とを備えている。
【効果】 透明な素材ガラス２であっても、両方の角部２Ａ、２Ｂの頂点２Ａ’、２Ｂ’の位置を正確に検出して加工テーブル３上の素材ガラス２の位置を正確に検出することができる。 （もっと読む）

【課題】缶蓋に塗布されているシーリングコンパウンドの分布状態を容易に検査することが可能な缶蓋検査方法を提供する。
【解決手段】外周に全周に亘ってカール部１０１が設けられ、カール部１０１の内面を含む環状の所定範囲Ａにシーリングコンパウンド１０３が塗布された缶蓋１００を検査する検査方法において、所定範囲Ａが略水平になるようにカール部１０１を延ばす前処理工程Ｓ１と、前処理工程Ｓ１にてカール部１０１が延ばされた缶蓋１００の所定範囲Ａ内に設定された複数の測定点Ｐ１、Ｐ２、…、Ｐｎにおけるシーリングコンパウンド１０３の厚さをそれぞれ取得する測定工程Ｓ２と、を備えている。 （もっと読む）