【課題】 光学顕微鏡を用いて試料裏面から観察を行いながら試料と探針の位置合わせを行うことが困難であったという点である。
【解決手段】 試料に対向する探針と、前記試料を置載面に置載する試料ステージと、前記試料ステージを前記置載面方向に走査すると共に、高さを変化させるスキャナと、を有し、前記探針と前記試料との間に作用する物理量により検出される信号に基づいて像を表示する走査形プローブ顕微鏡において、前記試料ステージの少なくとも試料を置載する部分が光を透過し、前記試料ステージの置載面の裏面から前記試料を写すミラーと、前記ミラーからの像を受ける光学顕微鏡と、前記試料と前記探針を相対的に位置合わせする位置合手段と、を備え、前記光学顕微鏡の像に基づいて前記試料と前記探針の位置合わせを行う走査形プローブ顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】基板全体で緩やかな塗布ムラをもった基板であっても的確に精度良く検査できる検査方法および装置を提供する。
【解決手段】照明手段と、照明手段から液状蛍光体層に照射され反射した光のうち入射光入射角度と略同じ角度で反射した光を主として撮像する撮像手段と、信号処理手段とを有し、撮像手段で得られた反射光量と曲率半径係数とから液状蛍光体層の曲率半径を求め、前記曲率半径と液状蛍光体層の両側の隔壁の上部間隔と該隔壁の高さから、液状蛍光体層の高さを算出することを特徴とする、ディスプレイパネルの検査方法および装置。一般的な被測定曲面の曲率半径測定にも展開できる。 （もっと読む）

【課題】集束放射線ビームを多毛管電気泳動装置における各毛管の中心に早く自動的に合わせること。
【解決手段】１つのアレーに多数のカラムのそれぞれを整合させて、前記アレーのいずれかのカラムの中の検体を検出する装置であって、電磁放射線を発生する手段と、可変強度放射線パターンを生じるように電磁放射線をカラムに向けて連続的に走査する、電磁放射線指向手段と、各カラムの中心位置を決定するために前記可変強度放射線パターンを検出する検出手段とを含み、前記装置は、毛管アレーを連続的に横切って電磁放射線ビームを位置決めをすることによって毛管中心のそれぞれの位置を決定するために位置合わせ走査を行い、これにより、前記アレイーの毛管のそれぞれの中心の位置を決定して、その後、前記アレーのカラムのカラム中心を段階的に走査することを通じて、前記アレーのカラムの中の検体を検出する、装置。 （もっと読む）

【課題】プリントヘッドから吐出される液体材料の液滴を確実に撮像する。
【解決手段】液滴分析／液滴検査システムは、実際の圧電マイクロデポジションシステムの動作をエミュレートするために、分析の間、複数のプリントヘッドが静止したままであることを可能にする。システムは、個々のノズル噴出口の正確な調整を提供し、且つ、液滴分析／液滴検査と並行して、基板を載置及び位置合わせすることを可能にする。液滴分析／液滴検査システムは、ステージの動きを指示する動きコントローラと、基板上に被着されるべき流体材料の液滴を選択的に噴出するようにプリントヘッドを制御するプリントヘッドコントローラと、プリントヘッドに対して移動するために、ステージによって支持されるカメラとを有する。カメラは、モーションコントローラからの信号を受信して、カメラの露光を開始し、プリントヘッドによって噴出される流体材料の液滴の画像を撮像する。発光デバイスが、カメラの露光中、カメラからの信号を受信して、液体の液滴を含む領域に光を供給するストロボコントローラを有する。 （もっと読む）

【課題】低可干渉性の光ビームの波面測定にも対応でき、かつ光学系の調整や位相シフト機構の設置を容易に行なうことが可能な光ビーム測定装置を得る。
【解決手段】光ビーム測定装置１Ａは、波面測定部１０Ａとスポット特性測定部１０Ｂとを備えており、波面測定部１０Ａは、反射型波面整形ユニット２０と、光束分離／合波面１５と、反射板１７と、光路長調整手段とを有するマイケルソンタイプの光学系配置となっている。光束分離／合波面１５から反射面１７ａを経て光束分離／合波面１５に戻る第１の光路長と、光束分離／合波面１５から反射型波面整形ユニットを２０経て光束分離／合波面１５に戻る第２の光路長とを互いに略一致させることにより、低可干渉性の光ビームの波面測定と光ビームのスポット特性測定との２つの測定を行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で検査対象物の内周面の検査精度を向上可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置１は、Ｏリング１００の開口部１００ａの開口方向に配置されたカメラ４と、Ｏリング１００とカメラ４との間において、カメラ４から見て開口部１００ａの外周側に配置され、開口部１００ａの内周面１００ｂの鏡像を映し出す鏡部２と、カメラ４により撮像された鏡像の画像に基づいてＯリング１００の欠陥の有無を判別する処理部５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 測定結果に高い信頼性が得られ、測定対象の制限を受けることがなく、しかも比較的短時間のうちに部材表面の粗さ等を評価できる非接触式の加工表面評価装置を提供する。
【解決手段】 加工表面の状態を反映する反映面を有するレプリカに対し、反映面とは反対の面にあたる背面から反映面に向けて略垂直に光を照射する光源、照射されてレプリカを透過した透過光を受光面で受光するマイクロスコープ、受光面において透過光が広がった範囲のうち、所定の値以上の強度を持った透過光が広がった範囲を特定する範囲・形状判定部５０１、範囲・形状判定部５０１によって特定された受光面における範囲に基づいて加工表面の粗さを判定する粗さ判定部５０３を備える。 （もっと読む）

【課題】 スチフナ等の鋼材の形状を迅速かつ正確に認識できることを目的とする。
【解決手段】 専用パレット１８上に重ね合わせて載置された複数のスチフナ１０に対してそれらの上方四方向に設置されたハロゲンランプ２１で順に照射し、専用パレットの略中央の上方に設置されたＣＭＯＳカメラ２０が撮影して４枚の撮影画像を取得する工程と、４枚の撮影画像を１枚の画像に合成する工程と、１枚の合成画像の歪を補正し、歪み補正された画像を生成する工程と、歪み補正された画像と専用パレット上に載置されるスチフナの予め登録された複数のマスタ画像とのマッチング処理を行い最上段の鋼材を仮特定する工程と、仮特定された鋼材にマーキングされている文字を文字認識し、仮特定された鋼材の名称と形状を認識する工程と、名称と形状が認識された鋼材が最上段の鋼材であるどうかを判定する工程とを有している。 （もっと読む）

【課題】構造物の変形量を安価な機器で且つ容易に計測し得る変形量計測方法を提供する。
【解決手段】荷重の付与前と力の付与後とにおける構造物を光学式カメラ装置で撮影した２枚の撮影画像にデジタル画像相関法を適用して両撮影画像上の所定領域での変形量を検出するステップと、この変形量に対してレンズによる歪曲収差を補正するステップとを具備し、この補正ステップを、カメラ装置により構造物の所定領域に対してずれた位置で２枚の撮影画像を得るステップと、この２枚の撮影画像にデジタル画像相関法を適用して所定領域の移動量を検出するステップと、カメラ装置を構造物に対してずらした際の平面上での移動量算出式に、収差モデル量を加えてなる変位量算出式に上記移動量を代入し、最小二乗法を用いて当該変位量算出式の各係数を決定するステップと、各係数が決定された変位量算出式を用いて収差量を求めるステップとを有せしめた方法である。 （もっと読む）

【課題】より高精度の赤外線画像検査方法および装置を提供する。
【解決手段】検査装置２０がワークピース２２の第１の面２４に光７０，７２を案内するように位置決めされた光源５０，５２を含む。赤外線検出器６０が第１の面２４からの放射光７８を受け取るように位置決めされる。光源５０，５２と赤外線検出器６０とにデータ収集処理コンピュータ５６が接続される。コンピュータ５６は光源５０，５２をトリガして複数のインスタンスで光７０，７２を照射させる。コンピュータ５６は各インスタンスの後で温度データを複数回収集する。コンピュータ５６は理論解を用いながら温度データを処理して、複数のインスタンスにおける複数回収集された温度データの中でそれぞれ対応する収集回の温度データの平均に基づいて温度データを解析する。 （もっと読む）

【課題】 道路上に設置した場合、正確に水膜膜厚を正確に測定することができる水膜膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】 水膜膜厚測定装置は、水膜表面に空気中から斜め入射するレーザ光を発光するレーザ光源１と、水膜表面からの反射レーザ光及び道路表面からの反射レーザ光とを検出するリニアイメージセンサ２と、２つの反射レーザ光のリニアイメージセンサ上の位置に基づいて水膜膜厚を演算する演算器３とを備える。水膜膜厚測定装置を道路上に設置するときは、道路に反射板を埋め込んでもよい。また、道路に黒色光吸収層８を背面に有する透明板７を埋め込み、ガラス表面（道路表面）からの反射レーザ光の広がりを防止し位置Ｘ２においても細くて強い光りが得られる。 （もっと読む）

【課題】被加工物の円周面に対して精度良好に微細凹部を形成することができると共に、加工コストの低減を実現する微細凹部加工装置を提供する。
【解決手段】シリンダボアＣＢの内周面Ｂａに微細凹部を形成する加工装置であって、フォームローラ１３と、ローラ支持部材１２と、工具ホルダ１０と、ローラ圧接手段である圧縮コイルばね１６と、工具ホルダ１０を回転させる主軸３と、工具ホルダ１０を軸方向に移動させる主軸ヘッド２を備え、シリンダボアＣＢの直径に応じて主軸ヘッド２の移動速度を変化させることにより、直径が異なる内周面Ｂａに対して、ほぼ同一の所定のパターンで微細凹部を規則的に形成する。 （もっと読む）

【課題】錠剤に過剰な負荷をかけることなく、直立状態に姿勢制御して連続供給することができ、かつ比較的単純な機構で供給不良の発生率を可及的に低くして、信頼性の高い錠剤の連続供給を行うことが出来る扁平錠剤の供給装置の提供。
【解決手段】傘状円盤１１の上面に供給された扁平錠剤ｔを、該傘状円盤１１の回転による遠心力と該傘状円盤１１上面の傾斜によってこの傘状円盤１１の外周に沿って形成された円形溝１３内に導入し、これによりランダムに供給された扁平錠剤ｔを直立状態で円形軌道に沿って一列に整列させ、直立状態で連続的に供給する。 （もっと読む）

コヒーレント光線（２０）を加工部品（１０）のアパーチャ（１６）に通過させることにより加工部品（１０）の厚さを高精度に測定する。代替的に、アパーチャ（１６’）を加工部品（１０）の縁と外側の基準プレート（３０）との間に作り出し得る。光は加工部品（１０）の離れた側で回折されて、その回折パターンはＣＣＤカメラ（２２）により捕捉される。捕捉された画像は、捕捉された回折パターンを記憶されて参照された値と比較するコンピュータ（２４）により分析されて、加工部品（１０）の厚さが許容範囲内であるかどうかが決定される。その方法はミクロンまたはサブミクロン分解能の測定を行うことができ、大量生産品質制御の用途に容易に適用可能な強固な処理である。
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【課題】コンベヤチエンの移動経路脇に配設されたカメラの撮影画像を利用してコンベヤチエンの伸びを高精度に検出し得るシステムを提供する。
【解決手段】交互に配置されたセンターリンク２と一対のサイドリンク３ａ，３ｂとを両者のリンク間重なり部４で連結ピン５により連結したコンベヤチエン１の移動経路脇にカメラ１６が配設され、このカメラ１６により前記コンベヤチエン１の特定領域を含む撮影エリア１５を一定のタイミングで撮影し、得られた前記コンベヤチエン特定領域の画像から当該特定領域のチエン移動方向の長さを求めるコンベヤチエンの伸び検出システムにおいて、前記コンベヤチエ１ンの特定領域として、一対のサイドリンク３ａ，３ｂを介して前後に隣り合う２つのセンターリンク２の同一方向に面する前端２ａ間または後端２ｂ間の領域ＡＸ１が設定された構成。 （もっと読む）

【課題】 ボルトが汚れていても高さを正しく求めることのできるボルト高さ測定方法、ボルト緩み判定方法、ボルト高さ測定装置、およびボルト緩み検出装置の提供。
【解決手段】 高さを測定しようとするボルト頭部頂面をスリット状の検査光で照射し、前記検査光によって前記ボルト頭部頂面に形成された線状の光像と、前記光像に対して平行であって高さの既知な基準線との間のずれの大きさを求め、求めたずれの大きさに基づいて前記ボルト頭部の高さを求めることを特徴とするボルト高さ測定方法、ボルト緩み検出方法、ボルト高さ測定装置、ボルト緩み検出装置。 （もっと読む）

【課題】 レーザ干渉計とミラーを用いて位置計測をするステージ装置において、計測誤差の影響を低減することを目的とする。
【解決手段】 レーザ干渉計と、前記レーザ干渉計からの光を反射するミラーとを用いてステージの位置を計測するステージ装置であって、前記ミラーの形状を算出するミラー形状算出手段と、前記ミラー形状算出手段からの出力に基づいて、前記ミラーの温度を調節する温度調節手段とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

受け取る光の強度に応じた出力信号を出力する撮像デバイスの位置を検出する位置検出装置であって、光を発生する光源と、光源が発生する光を、撮像デバイスの上に照射する照射レンズと、照射レンズを介して受光した光に応じて撮像デバイスが出力する出力信号に基づいて、照射レンズに対する撮像デバイスの相対位置を検出する位置検出部と、位置検出部が検出した相対位置に基づき、撮像デバイス及び照射レンズの少なくとも一方を移動させることにより、撮像デバイスの相対位置を、予め定められた位置に変化させる移動部とを備える。
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磁気エレメント又は電磁エレメントと、磁気ひずみ材料の１つ又は複数のセグメントと、ファイバ・ブラッグ回折格子センサと、磁界を通さない材料のロッドと、光ファイバとを備えた光ファイバ位置変換器である。複数のセンサのうちの１つ又は複数は、ロッドに固定された磁気ひずみ材料のセグメントの上に固定されており、縦方向にのみ変位させることができる。ファイバ・ブラッグ回折格子センサは異なる波長を有しており、同じ光ファイバでできている。含まれている磁気エレメント又は電磁エレメントは、ＮｄＦｅＢ（ネオジミウム−鉄−ボロン）又はＴＸ、テルフェノール−ＤなどのＴｂＤｙＦｅ（テルビウム−ジスプロシウム−鉄）の金属合金を使用して構築することができる。光ファイバ位置変換器は、油井内の制御流量弁に適用され、また、変換器の位置を較正する方法に関している。
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【課題】 観測者の視線方向の映像に対し仮想空間映像を適切に重畳して提示する画像表示装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係る画像表示装置は、映像を表示するディスプレイ部と、前記ディスプレイ部に表示された映像を観測者の眼球に導く第１のミラー部と、観測者の眼球の向きを撮影し観測者の視線方向を検出する第１のカメラ部と、光軸が第１のカメラ部と一致し観測者の視線方向を撮影する第２のカメラ部と、前記第１のカメラ部及び前記第２のカメラ部と有線又は無線で接続し、前記第２のカメラ部により撮影される観測者の視線方向の映像と仮想の情報とを合成するコンピュータ端末とを備え、前記ディスプレイ部にコンピュータ端末により前記観測者の視線方向の映像と仮想の情報とが重畳して表示されることを特徴とする。 （もっと読む）