【課題】簡便なシステムにより低コストで、しかも正確に地滑り等の傾斜面や、地盤沈下による地表変動などの各種変位状況を検出あるいは予知する。
【解決手段】検測域外に設置され、検測域内に向けてレーザー光を発射するレーザー光発射手段と、同じく検測域外に設置され、上記レーザー光を受光するレーザー光受光手段と、検測領域内に設置され、レーザー光受光手段に向けてレーザー光をコントロールするためのレーザー光コントロール手段とからなり、さらに前記レーザー光受光手段は光センサを有し、これを増幅手段および解析手段を介して変位状況を解析するようにしたために、レーザービームの減衰が少なく、比較的広範囲での変位状況検出が可能となり、鳥や動物あるいは落ち葉、さらには地震などによる悪影響が殆どなく、きわめて簡単なシステムにより高精度の変位検出もしくは予知が可能となり、しかも大幅なコストの低減化ができる。 （もっと読む）

【課題】 複数のベルト端面に照射する光や反射する光が隣接するベルトに干渉されないようにすることで、それぞれのベルト端面を効率的かつ高精度に検査することのできるベルト端面の検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置１は、２つの並行な軸心まわりを回転可能な駆動ローラ２１および従動ローラ２２と、これらのローラに掛け渡されたフープｂの端面に光を照射する複数のＬＥＤランプ３ａ，３ｂ，３ｃと、フープｂの端面で反射する光を撮影するＣＣＤカメラ５とから少なくとも構成されている。ここで、駆動ローラ２１および従動ローラ２２の端面には径方向外側に湾曲するクラウニングが設けられており、フープｂの回転に伴ってローラ端面の中央付近に集められ易い構造となっている。従動ローラ２２と駆動ローラ２１の双方の回転軸心は、並行な状態から捻れの状態とすることもできる。 （もっと読む）

【課題】姿勢安定装置のような機構を不要とし、かつハフ変換に比較して処理負荷を軽減することができる移動体用の障害物検出装置を提供する。
【解決手段】距離画像センサ１１は、移動体本体２に搭載され移動体本体２が走行しようとする面を含む空間領域を斜め下向きに撮像する。基準画像記憶部１５には、移動体本体２が平面上を走行する際に距離画像センサ１１で生成されることが予測される角度範囲内の平面の距離画像が所定の刻み幅で候補基準画像として格納される。差分画像生成部１２は、基準画像記憶部１５に格納された複数の候補基準画像のうち距離画像センサ１１で生成された距離画像との差分画像を生成し、基準距離画像選択部１３は、差分画像において一致領域の面積が最大になる候補基準画像を基準距離画像として選択する。判断部１４は、この基準距離画像に対する差分画像の一致領域以外を障害物が存在する領域とする。 （もっと読む）

【課題】 露光品位の向上を図る。
【解決手段】 レチクルステージ３とウエハステージ１０とを投影レンズ５に対して走査することにより、レチクルステージに支持されたレチクル２に形成されたパターン像を、投影レンズを介してウエハステージに支持されたウエハ８上に転写する露光装置において、投影レンズに対するレチクルまたはレチクルステージの高さをレチクルステージが走査中に計測する計測手段８１，８２と、計測手段により計測された高さ情報に基づいてレチクルの面形状の補正量またはレチクルステージの駆動軌跡の補正量を算出する算出手段７０と、走査露光時、算出手段により算出された補正量に基づいてウエハ上に転写されるパターン像の形状補正を行う補正手段７０とを設ける。 （もっと読む）

【課題】単純な系で、精度がよく、角柱の根元部の角柱度も計測できるようにすること、
【解決手段】角柱の一つの面に光ビームを射出する第１の照明手段４と、前記角柱の他の面に光ビームを射出する第２の照明手段５と、入射した光ビームの位置を検出する光位置検出手段１と、前記角柱の各面で反射した光ビームが前記光位置検出手段１で検出できるようにする前記角柱の位置決め手段３と、前記角柱の角柱度の計算を行う処理手段６とを備え、前記処理手段６は、前記光位置検出手段１で検出した２つの光ビーム間の距離と、前記角柱上の２つの光ビーム間の距離と、前記角柱と前記光位置検出手段間の距離とにより前記角柱の２面間の角柱度を計測する。 （もっと読む）

本発明は、輪郭に従って複数層形式に具現化された平坦な布地構造の品質規準を検査するための方法に関し、とくには前記構造がエアバッグ用に使用される場合に関する。本発明の方法は、画像形成検査手段、とくには光学式検査手段、好ましくは直線アレイ・カメラまたはＣＣＤアレイ・カメラの助けを借りて実行され、それによって検査対象の構造とカメラとの間に相対運動が生み出され、該構造が、画像形成検査手段から所定の距離に少なくとも領域によって、好ましくは検査テーブルまたは検査ラインの事実上平坦な表面上に配置される。テクスチャ構造がセグメント方法に従って分析される。例えば重心、面積、主軸等の特徴は同様のテクスチャの個々のコヒーレントセグメントのために算出され、セグメント特徴に基づいて、構造および同じ種類の対応する構造のために、構造のねじり、反射、伸張、圧縮、および変形に関して不変である特有の座標系を定義でき、該座標系が、測定点の定義の実行を可能にしている。特有の座標系の定義において、セグメント特徴に追加して、検査しようとする構造へと織り込まれた識別糸の位置および方向が考慮される。各距離の寸法制度が制御され、品質リポートが、製造者または顧客の品質仕様、好ましくは限界距離及び周縁領域に基づくシステムによって記録された測定点に基づいて、作成される。
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【課題】 電気鉄道車両の屋根上に設置された集電装置の一つであるパンタグラフについて、パンタグラフ近傍にある構造物や、車両走行時の揺れ等によるノイズの影響を排除し、簡単な構成でパンタグラフの高さや加速度を求めることのできるパンタグラフ動作測定装置を提供する。
【解決手段】 ラインセンサ２で撮影したパンタグラフ１の画像を時系列的に並べたラインセンサ画像に対し、二値化処理（Ｓ２）を行い、一ライン上でパンタグラフ部分として設定した範囲内の長さを持つ部分を抽出して上端部あるいは下端部いずれかの点をパンタグラフの軌跡として残し（Ｓ３）、さらに、パンタグラフ軌跡トレースフィルタ処理（Ｓ４）により画像上に短い点列として現れるノイズを、またパンタグラフ単一点フィルタ処理（Ｓ５）により長い点列として現れるノイズを削除したパンタグラフ軌跡画像から、パンタグラフの実際の高さおよび加速度を求める（Ｓ６，Ｓ９）。 （もっと読む）

【課題】 コンクリート部材の長さ寸法をより簡易かつ正確に測定することができ、また測定した長さ寸法のデータを容易かつ迅速に記録、管理する。
【解決手段】
各端面１２,１３の各測定点１９,２０につきそれぞれ先端に球状物２１が固着された棒体２２からなる指標１５,１６を突設し、各指標１５,１６を複数の撮像装置２によりそれぞれ撮影範囲に含めて互いに異なる撮影方向から撮像することにより測定用画像を生成し、生成した複数の測定用画像に写し出された指標における球状物の画像位置をそれぞれ特定し、特定した上記球状物の画像位置と、予め測定された上記棒体の突設角度方向並びにその長さとに基づき、測定点１９,２０の座標を求め、求めた各測定点１９,２０の座標に基づいてコンクリート部材１１の端面１２,１３間の長さ寸法を測定する。 （もっと読む）

【課題】所定距離ｄを有する複眼センサにより、複数の指示手段により入力が同時に行われた場合、少なくとも一方の指示手段の直径がｄを超えると、複数の指示手段の座標値を正確に算出できなくなる場合が起こり得る。
【解決手段】指示手段の直径を計測する手段を設け、該距離ｄより大きな径を有する指示手段により座標入力動作が行われた場合に、その旨を告知する、あるいは算出座標値を制御することによって、操作者の意図と異なる重大な結果を招かないように機器を制御する。 （もっと読む）

本発明は、表面上の着霜の厚さを測定するプローブに関するものである。本発明によると、本プローブは、複数の測定段（Ｅ_１からＥ_ｎ）から成り、それらはプローブの基台(２)に少なくとも実質的に直交して積み重ねられている。各測定段は、少なくとも一つのエミッターであって、そのエミッターは前記基台に対して少なくとも実質的に平行な光線を発するものと、少なくとも一つのレシーバーであって、霜に反射した後前記光線を受けるものとからなる。
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本発明によれば、口腔のスキャニングのための、またはスキャニングを容易にするための方法およびシステムが提供される。スキャンすることが望まれる口腔の目標部分が特定され、前記目標部分をスキャニング装置によってスキャンすることを可能にするのに適した前記スキャニング装置と口腔の目標部分との空間的関係が、やはり特定、または別様に決定される。次いで、これらの関係が表示され、表示された関係は、口腔をスキャンするためのガイドとして使用される。
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本発明は、三次元画像情報を取得するための３Ｄ半導体センサ７９を用いて、エレベータエリアを監視するための装置に関する。半導体センサ７９は、監視されるべきエレベータエリアが、光源によって照光される領域に配置されるようにして取り付けられる光源と、反射光を受光するようにして取り付けられるセンサ群と、電気的信号を画像情報に変換するための処理チップとを備えている。装置には、三次元画像情報を供給するために半導体センサ７９に接続されている処理ユニット８０も設けられている。処理ユニット８０は、監視されるべきエレベータエリアの状態をあらわす状態情報を得るために、画像情報を処理する。
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【課題】電縫管製造工程の任意の位置で、電縫管のシーム（ボンド）位置を的確且つ迅速に検出する。
【解決手段】突合せ溶接によって生じるビード１４が切削された後、溶接部がアニールされる電縫管１２のシーム位置検出方法において、シームアニール入側で溶接線位置と切削帯中心位置とのずれ量Δを測定し、シームアニールスタンド間あるいはアニーラ（２４）出側の所定の位置で切削帯位置を測定し、この測定された切削帯位置の測定値を、前記ずれ量Δで修正する。 （もっと読む）

【課題】 移動体としてのステージ自体に歪みが生じていてもステージの位置検出精度を向上させることができる面形状計測方法等を提供する。
【解決手段】 レーザ干渉計１３を用いてウェハステージＷＳＴに設けられた移動鏡１２のＺ軸に対する傾きを計測し、この計測結果に基づいてＺ軸に対する移動鏡１２の傾きが零となるようにウェハステージＷＳＴの姿勢を制御し、多点フォーカス位置検出系２１を用いてこのときのウェハステージＷＳＴの姿勢を計測する。以上の処理を計測対象の移動鏡１２の鏡面に沿ってウェハステージＷＳＴを微小移動させながら繰り返す。 （もっと読む）

【課題】フラットディスプレイパネルの塗布膜の表面形状を短時間で、かつ低コストに検査できるようにする。
【解決手段】光照射手段（光ファイバ２８）とフレネルレンズ３０と撮像手段（エリアセンサーカメラ２４）とを有する光学系３１を用いて、基板２１上に形成された塗布膜２２の表面形状の検査を行うものであり、光照射手段から放射されてフレネルレンズ３０を通過させた光を塗布膜２２に照射し、そのときの反射光を撮像手段で撮像し、この撮像により得られた画像の階調分布を解析して前記検査を行う際に、前記画像から光学系３１の特性によって生じる階調変化を除去するための画像処理を行う。 （もっと読む）

複数の独立の適用機器からの放射線を同時に検出するための２次元放射線センサを使用、及び個々の適用機器に関する情報が引き出される信号を出力するためのシステム及び方法である。個々の適用機器からの放射線はセンサの別々の部分に供給される。
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【課題】 燃料補給プローブがより容易に燃料補給ドローグ内に挿入できるようにする。
【解決手段】 燃料補給ドローグと、前記燃料補給ドローグに対して捕捉されている燃料補給ホース（１１０）とを含む燃料補給ドローグアセンブリ（１００）と、ドローグ位置決めシステムとを備えた空中燃料補給システム。前記ドローグ位置決めシステムは、照射光発光器（２００）と、照射光受光器（３００）と、信号プロセッサとを含む。前記照射光発光器（２００）は、照射光を前記照射光発光器から規定された距離だけ離れた位置決め領域（４００）に向けるように適合されており、前記照射光は前記位置決め領域（４００）内の位置に対応する情報を含む変調位置信号を搬送する。前記照射光受光器（３００）は、前記変調信号を搬送する発光された前記照射光の少なくとも一部を受光し、且つ受光した前記照射光の位置信号の変調を示す信号を前記プロセッサに出力するように適合されている。前記信号プロセッサは、前記出力信号を処理し、且つ前記受光した照射光の前記位置決め領域内の位置を示す、位置決め領域（４００）内位置を識別するように適合されている。 （もっと読む）

【課題】 塗布ノズルへのセンサの取り付け、調整が容易であり、また塗布ノズルと基板との衝突を回避することができる安価な塗布膜形成装置を提供する。
【解決手段】 レジスト膜形成装置１０は、基板Ｇの載置台１１と、レジストノズル１２と、ノズル１２を移動させる水平駆動機構１４および昇降機構１５と、ノズルギャップの変化を検出する光学式のセンサ２１を備えたセンサアレイ２０と、ノズル１２をレジスト液の吐出開始位置に配置したときのセンサ２１の出力信号をセンサ２１ごとに標準出力信号に設定し、その標準出力信号と基板Ｇにレジスト液を吐出してレジスト膜を形成しているときの各センサ２１からの出力信号との差に基づいてギャップの変化を監視する副制御部６０と、副制御部６０からギャップの変化に関する信号を取り込み、ノズル１２と基板Ｇとの接触が回避されるように、ノズル１２の動作を制御する主制御部５０と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】 省スペース化、装置レイアウトの簡素化を容易であって、無端移動部材に設けられるマーク部材上の所定箇所の位置やマーク部材を備える無端移動部材上の所定箇所の位置を正確に検知することである。
【解決手段】 光反射特性又は光透過特性が互いに異なるマーク部分と非マーク部分とが所定間隔で交互に連続して構成されており、複数あるマーク部分のうちの一部及び複数ある非マーク部分のうちの一部の少なくとも一方に代えて、該マーク部分及び該非マーク部分のいずれとも光反射特性又は光透過特性が異なる特定マーク部分が設けられている。これらの部分は、受光した光特性又は受光量の違いを区別して検知できるマーク検知手段によって、それぞれ個別に検知できる。 （もっと読む）

【課題】移動体の位置計測及び移動制御を高精度に行なう。
【解決手段】固定子と、前記固定子に対して相対的に移動する移動体と、前記移動体に設けられた目標物の位置を光学的に検出する計測部と、前記固定子の基準部に対して位置合わせされた基準部材とを備え、前記移動体を前記基準部材に当接させた状態で、前記計測部により前記目標物を計測して、前記計測部と前記目標物との相対位置を調整する。 （もっと読む）