【課題】カウンタウェイトの側面部分の測定データが欠落している状態でも、隣接するカウンタウェイト間の距離を測定できるクランクシャフトの形状測定方法を提供する。
【解決手段】複数のカウンタウェイトを有するクランクシャフトの三次元形状データからクランクシャフト中心軸に沿う断面形状を表す点データ群を抽出する。次に、この点データ群中のカウンタウェイト端面から側面にかけてのＲ部２１ｂに相当する部分の点データの分布にフィットする円弧Ａを得る。そして、この円弧Ａの中心Ｏの位置（Ｘ座標）、半径寸法Ｒ、及び予め設定したクランクシャフトの設計値等の基準位置からカウンタウェイト側面のクランクシャフト中心軸方向の位置ｘ１を求め、求められたカウンタウェイト側面位置ｘ１に基づいて隣接するカウンタウェイト間の距離を求める。 （もっと読む）

【課題】リトグラフィー投影装置の提供。
【解決手段】マスクステージのＸ、ＹおよびＲｘ位置が、マスクステージに装着された各グリッド格子の変位を測定する２つの光学式エンコダー読取りヘッド１０，１１を使用して測定され、グリッド格子１２，１３は、マスクＭＡ自体上のパターンと同一平面となるようにマスクテーブルＭＴの切取り部に設けるのが好ましい。他の自由度におけるテーブル位置の測定は、容量性または光学式高さセンサHSで測定することができる。 （もっと読む）

【課題】ディスプレイ装置の蛍光体や色素材の塗布に用いる塗布ノズルの検査方法において、塗布ノズルに形成された多数の微小な塗液量が適切であるかどうかを検査し、吐出量の適切さを評価できる塗布ノズル検査装置を提供する。
【解決手段】吐出口９２から連続的に液体を吐出させ柱状流を形成させておき、その柱状流に光をあてて３５，３６、透過光の輝度を測定する。透過光の状態は柱状流の直径に応じて変化するため、得られた輝度情報を処理することによって吐出量の違いを検査することができる。 （もっと読む）

【課題】溶融金属用容器の耐火物層の残寸法の正確な計測方法を提供する。
【解決手段】溶融金属用容器２の耐火物層を張り替えた後、溶融金属の収容、排出を複数回行って、容器２の熱変形が収束した段階における容器２の内面２１形状を計測して基準値とする。一定期間使用後の容器２の内面２１形状の計測値と基準値とを比較して、耐火物層４の損傷量ｔ_１を算出することにより、耐火物層４の残寸法ｔ_２を求める。容器２の使用による初期の熱変形を考慮した基準値を用いることにより、正確な耐火物層４の残寸法ｔ_２を計測できる。 （もっと読む）

【課題】最適な方法で３次元マップを生成できる画像処理装置、荷物搬送設備、及びそのプログラムを提供する。
【解決手段】荷物搬送設備１００の制御部７０は、カメラ１０を移動させて、二地点において撮像させた二枚の２次元画像に基づいて部分的な３次元マップを生成する３次元マップ生成手段を備える。制御部７０は、予め、ガイドレール９０上の各地点からカメラ１０に撮影させて、それらの画像から全体の３次元マップを生成して記憶させる。制御部７０は、記憶している全体の３次元マップに基づいて、任意の撮像対象地点を見通せる地点を導出し、その地点の近傍でカメラ１０に撮像対象地点が撮影できた３次元マップが生成できるまで撮像させ、その部分の３次元マップを生成し、撮影対象地点の３次元マップを取得する。 （もっと読む）

【課題】微量な液体の分注量を安定して高精度の下にモニタすることが可能な分注量モニタ装置を提供すること。
【解決手段】分注される液体に対する非親和性処理が施された壁面からなる保持部２２ｂを有し、保持部によって液体を略球形に保持するモニタ容器２２と、保持部に保持された液体の形状を撮像し、この撮像された液体の形状をもとに液体の液量を算出する液量算出部２３とを備えている。保持部２２ｂの壁面は、水平面に対して傾斜し、液体の水平方向の動きを規制する少なくとも３つの傾斜面を有し、多角錐面又は円錐面からなる。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理システムにおいてエンドエフェクタのアラインメントを校正するためのシステムおよび方法
【解決手段】プラズマ処理システムにおいてチャックに対するエンドエフェクタのアラインメントを校正するための方法が提供される。方法は、エンドエフェクタをチャックの上に位置決めすることと、チャックおよびエンドエフェクタの静止画像を撮影することとを含む。方法は、チャックの中心およびエンドエフェクタによって定められたエンドエフェクタ規定中心を決定するために静止画像を処理することを含む。方法は、エンドエフェクタ規定中心とチャックの中心との間の位置差を決定することを含む。方法は、また、エンドエフェクタがウエハを運ぶときにロボットメカニズムが位置差を調整するようにロボットメカニズムを制御するために、位置差をロボットコントローラに提供することも含む。 （もっと読む）

【課題】歯牙の齲蝕部分や歯周ポケットの断面画像を鮮明に表示すること。
【解決手段】歯の表面や散乱抑制剤をあらかじめ塗布し、その後光干渉断層画像診断装置によって歯とその周辺部分の断層画像を表示する。あらかじめ散乱抑制薬剤を塗布しておくことにより、歯の表面での散乱が防止され光が内部に浸透する。そのため鮮明な断面画像を表示することができる。又歯周ポケットや齲蝕部分も他の部分の間とでコントラストが大きくなり、鮮明な画像を得ることができる。これにより正確な歯牙齲蝕領域や歯周ポケットの判定を客観的、非侵襲、非破壊に実現でき、そのことによって正確な治療や予防策を講じることができる。 （もっと読む）

【課題】測定試料を変えるたびごとに測定点の位置補正を行う必要がなく、更に、測定試料上の同一点についての複数種類の特性の測定を、同一検査装置を用いて行なうことができる検査装置を提供する。
【解決手段】試料を載置するためのステージ３と、１又は複数の検査機器６、７を支持可能な検査機器支持用ヘッド５と、ステージ及び／又は検査機器支持用ヘッドを支持している移動機構２３、４３と、ステージ上の基準点の実座標と目標座標との偏差を格納する偏差格納部と、複数の検査機器の測定点間のオフセット値を格納するオフセット値格納部と、格納された偏差及びオフセット値を参照して、複数の検査機器のうちのいずれか１つの検査機器の測定点と他の検査機器の測定点とが一致するように、ステージ及び／又は前記検査機器支持用ヘッドを移動させる位置制御部と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】測定精度を向上させたマーク位置検出装置を提供する。
【解決手段】ラインスケール３の目盛線に照明光を照射する照明光学系ＬＳ１と、目盛線からの反射光を集光して目盛線の像を結像させる結像光学系ＬＳ２と、目盛線と結像光学系ＬＳ２との間の光路中に配されて、検出光を通す開口部３０を有する開口絞り２５と、結像光学系ＬＳ２で集光された検出光を検出する光電センサ２８と、光電センサ２８による検出情報に基づいて目盛線の測定方向の位置を算出する検出センサ９および信号処理部１１とを備え、開口絞り２５に形成される開口部３０は、測定方向の開口幅よりも、この測定方向に直交する非測定方向の開口幅が大きく構成される。 （もっと読む）

【課題】 歯車の歯面に沿って移動しながら歯面粗さの測定を行うことができる粗さ測定装置を提供する。
【解決手段】 歯車における歯面の粗さおよび前記歯面との間の距離の変動の和を測定する測定光学系１２Ｓと、歯面と測定光学系１２Ｓとの間の距離の変動を検出する変動検出光学系１２Ｄと、測定光学系１２Ｓおよび変動検出光学系１２Ｄを、歯面に沿って導くガイド部１５と、が設けられたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】床面形状データの歪みを正確に補正することができる移動ロボット、及び床面形状データの補正方法を提供すること。
【解決手段】本発明にかかる移動ロボット１００は、移動ロボット１００が移動する床面の形状データを検出する床面形状検出センサ１０と、床面形状検出センサ１０により検出された床面形状データを補正するデータ補正部１３とを備えた移動ロボット１００であって、データ補正部１３は、床面形状検出センサ１０のセンシング領域の一部である基準領域における床面形状データの傾き補正量を算出し、当該算出した傾き補正量に基づいて、床面形状データの全体を補正するものである。 （もっと読む）

【課題】 透明基板に形成された電極と電源とを容易に電気的に接続したり、切り離したりすることができるセル固定装置及びそれを用いた粒子測定装置を提供する。
【解決手段】 セル１０を固定するセルホルダ２１と、透明基板３０を支持し、セルホルダ２１に対して着脱可能である電極ホルダ３５と、測定時には、電極ホルダ設定位置に電極ホルダ３５を固定する電極ホルダ固定部２１ｃ、２１ｄ、３５ａ、３５ｂと、金属接点部３を支持し、測定時と非測定時とで位置が変化するように移動可能である金属接点部ホルダ２とを備え、測定時には、接点接続位置に、金属接点部ホルダ２を移動させ、非測定時には、接点収納位置に、金属接点部ホルダ２を移動させてから、電極ホルダ３５がセルホルダ２１から取り外されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 一対のミラーチップを対向配置した平行ミラーデバイスにおいて、平行度及び位置ずれを簡便、かつ、短時間で測定可能とする。
【解決手段】 一対のミラーチップ２間の平行度及び位置ずれを検出するための検査光を反射させる反射部２Ｄを各ミラーチップ２の対角の位置に設ける。これにより、一対の反射部２Ｄのうちいずれか一方の反射部２Ｄに照射された検査光を他方の反射部２Ｄに向かうように反射させるとともに、他方の反射部２Ｄで反射した光の光量及び光量分布を検出することにより、ミラーチップ２間の平行度と位置ずれを一度の測定で判断することができる。したがって、対向させたミラーチップ２間の平行度及び位置ずれを、簡便かつ短時間で測定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 畑に栽培されたアスパラガスが収穫に適した所定長さ以上に成長したものを、走行車に搭載した装置により自動的に判定し、且つその切断するアスパラガスの位置情報を出力して自動収穫装置・切断把持装置を作動させ易くする。
【解決手段】 畑を走行する走行車１０に、畑のアスパラガスに向けて上下巾が狭く且つ走行方向の前後に所定巾をもった略水平な光を投射する上下一対の投光器１１，１２と、アスパラガスを撮影する撮影装置１４と、同撮影装置の撮影画像のアスパラガスの表面にあらわれる受光ラインＬ_１，Ｌ_２の上側受光ラインＬ_２と下側受光ラインＬ_１の位置を算出し且つ同一アスパラガスの上下の受光ラインのものかの関連性を判定し、判定結果と位置情報とを出力するコンピュータによる判定位置計算回路１９を備える。 （もっと読む）

基板内の堆積インクを測定するシステム及び方法が提供される。本発明は、光を、基板上の堆積インクを透過させるように構成された光源と、ＣＣＤセンサアレイを有するカメラとを含み、前記カメラは、前記堆積インクを透過する光の量を測定するように構成される。多数の他の態様が提供される。
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【課題】ガラス基板の多数枚を収容し、運搬するワイヤカセットのワイヤの撓みを容易に検出することのできるワイヤの撓み検出方法を提供すること。
【解決手段】ワイヤ列４に対し直角水平に、レーザ光をワイヤカセット１の手前から奥行きに向け、少なくともワイヤカセットの左右中央部と両端部の３ヵ所から照射し、ワイヤカセットの昇降時にワイヤが前記３ヵ所からのレーザ光を遮断するタイミングを計測し、計測した３ヵ所からのタイミングのタイミング差を、予め設定された許容されるワイヤの撓みに対応したタイミング差と比較して、当該ワイヤが異常か否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】透明板状体の表面反射像と裏面反射像が重なることなく、良好に分離して透明板状体の面形状を精度良く算出する。
【解決手段】形状測定装置１０は、照明光学系１２の配置位置を透明板状体Ｇの面に射影した位置と、撮像デバイス１４の配置位置を透明板状体Ｇの面に射影した位置とを結ぶ方向を第１の方向というとき、ストライプパターン画像の、透明板状体Ｇの表面反射の像と裏面反射の像とが、第１の方向に位置ずれして少なくとも一部で分離されるように、照明光学系１２は、ストライプパターン画像の直線状の暗部の線の延在方向が、第１の方向に一致するように照射する。ストライプパターン画像の一部をマスクすることで、表裏反射像を分離する。 （もっと読む）

【課題】移送経路上を移送される棒状物品のサンプリングから、その直径の測定を経て測定後の棒状物品を移送経路に戻すまでの一連のプロセスを迅速に行うことができる棒状物品の直径測定システム及びその測定方法を提供する。
【解決手段】フィルタロッドのための直径測定システムは、フィルタロッドＦの移送コンベア２からサンプリング位置にて取出したフィルタロッドＦを受渡し位置に移動する取出しヘッド１０と、取出しヘッド１０との間にてフィルタロッドＦの受渡しをなし、受取ったフィルタロッドＦを測定位置に移動させる受渡しヘッド１２と、測定位置にて、フィルタロッドＦがその軸線回りに回転されるとき、フィルタロッドＦの直径をその全周に亘り、連続して測定する測定ヘッド２４とを備え、取出しヘッド１０はサンプリング位置と受渡し位置との間で往復動し、受渡し位置は受渡し位置と測定位置との間で往復動する。 （もっと読む）

【課題】非縮退であって周波数エンタングルされた光子を用いて撮像を行なう。
【解決手段】少なくとも部分的に不明瞭であることが考えられる物体を撮像する。周波数エンタングルされた光子が生成される。これらの周波数エンタングルされた光子は、第１および第２の周波数を有する光子を含む。第１の周波数を有する光子は、遮蔽物を通過して物体を照らすことができる。物体により散乱した光子および第２の周波数を有する光子を用いて、到達時間の一致を考慮することにより、画像を形成する。 （もっと読む）