【課題】 回折格子が形成する面内の方向（Ｙ方向）の変位及びその面に垂直な方向（Ｚ方向）の変位を、光源から出射される光から回折格子を用いて複数の回折光を発生させることにより計測できる変位計測装置を提供する。
【解決手段】 第１乃至第３の回折光ｌ_１、ｌ_２、ｌ_３を発生させる第１回折格子ＧＢＳ０と、被計測物と共に移動可能な第２回折格子ＧＴ０と、第２回折格子で回折した第１及び第２の回折光による干渉光を受光する第１受光部ＰＤｘと、第２回折格子で回折した第１の回折光と、第１回折格子を透過した第３の回折光とをそれぞれ反射する反射部ＦＭと、反射部で反射され第２回折格子で回折した第１の回折光と、反射部で反射された第３の回折光と、による干渉光を受光する第２受光部ＰＤｚと、第１受光部で受光した光に基づいてＹ方向の変位を算出し、かつ第２受光部で受光した光に基づいてＺ方向の変位を算出する演算部ＣＵと、を有する。 （もっと読む）

【課題】無撚りの糸条が綾角をなして巻回されたパッケージ上の糸条幅を、パッケージ上にて、自動かつ高精度に検出することができ、また糸条幅測定作業の時間短縮ならびに作業工数の削減を図ることができる糸条幅測定方法を提供する。
【解決手段】無撚りの糸条が綾角をなして巻回されたパッケージ３を照明し、最外層の糸条５と最外層の糸条５の下に巻回されかつ表面に露出している糸条６から反射光を受光してパッケージ３の画像を撮像するとともに、得られた画像において高光量部を特定し、該高光量部の幅を測定することで前記糸条と糸条の少なくとも一方の糸条幅を算出する。 （もっと読む）

【課題】小型の装置で高精度にパンタグラフの鉛直加速度を計測することが可能な画像処理によるパンタグラフの鉛直加速度測定装置および測定方法を提供する。
【解決手段】車両に取り付けたラインセンサカメラ１でパンタグラフを撮像し、画像処理部２により撮像された画像に基づいてパンタグラフの鉛直加速度を測定する装置において、画像処理部２に、ラインセンサカメラ１によって撮像したパンタグラフの測定点における画像を入力する画像入力部２１と、入力された画像からなるラインセンサ画像に対して画像処理を施すことによってラインセンサ画像上のパンタグラフの位置を求めるパンタグラフ位置検出部２３と、ラインセンサ画像上のパンタグラフの位置および予め設定する伝達関数およびパンタグラフの偏位位置に基づきパンタグラフのトロリ線との接触点における鉛直加速度を算出するパンタグラフ鉛直加速度算出部２４とを設けるようにした。 （もっと読む）

【課題】マークの位置関係の決定精度の低下を抑制することが可能な画像形成装置を提供する。
【解決手段】画像形成装置１は、形成部２３と、複数のマーク８１の画像を形成部に形成させる制御部６１と、センサ５３と、検出信号ＳＡに含まれる複数の信号波を、マーク波ＷＭ'と、ノイズ波とに選別する選別する選別部６１と、マーク波群から、ノイズ波と隣り合う信号波を除外する除外部６１と、を備える。 （もっと読む）

コンピューターマウスなどの光学ナビゲーションデバイスにおいてクラッチ高さを管理するアーキテクチャー。マウス向けの一実施形態では、デバイスがトラッキング面からもち上げられたときにイメージセンサーへの反射光を遮ることによって、クラッチ高さを制限する機構が、下部ケースの中に成型され得る。トラッキングは、クラッチ高さ閾値を超えたときに無効にされ、デバイスが距離クラッチ高さ閾値未満にもっていかれると再度有効にされる。デバイスは、１つまたは複数の相関パラメーターに対するファームウェア制御のアルゴリズム調節を含む。Ｄ形状開口を利用するとき、ナイフエッジ（「Ｄ」形状開口の直線部分）など、形状開口の寸法特性を用いてｚ軸高さトラッキング距離に閾値を置いて、イメージセンサー全体に影をあてることができる。開口は、ＬＥＤからの放出光の一部分を遮るようにカスタム設計することができる。 （もっと読む）

【課題】フィン（１３）とチューブ（１２）を具備する熱交換器のコア（１１）の外観検査方法及び装置を提供する。
【解決手段】フィン（１３）とチューブ（１２）を具備する熱交換器（１０）のコア（１１）の外観検査装置であって、該外観検査装置が、撮像手段（３〜５、７）と画像処理装置（２）を具備しており、撮像データを平均化処理と動的２値化処理をしてチューブの画像のみを取り出す画像処理手段と、取り出された前記チューブの画像に対して、チューブの幅方向の中心座標からなるチューブ長手方向に亘る中心軸を求める演算手段と、求められた前記中心軸を、基準値と比較することでチューブ長手方向に亘る最大変位（ΔＴ）を求め、前記最大変位（ΔＴ）が、所定の閾値（ｃ１）以上の場合に、チューブ不良と判別する判別手段とからなる熱交換器のコアの外観検査装置。 （もっと読む）

【課題】計測面の異常に起因するヘッド（例えばエンコーダ、Ｚセンサなど）の計測誤差、さらに動作異常の発生を効果的に抑制する。
【解決手段】露光装置の稼働中、エンコーダヘッド６４〜６８及びＺヘッド７４，７６を用いてウエハステージＷＳＴの位置を計測し、その結果に従ってウエハステージＷＳＴを駆動制御する。これと並行して、各ヘッドの計測ビームのスケール（３９Ｙ₁，３９Ｙ₂等）からの戻り光の強度を計測し、該強度の対応する基準強度からのずれを、スケール上の計測ビームの照射点の位置に対して収集する。そして、収集された計測ビームの強度データを用いてスケール上面の状態を診断する。 （もっと読む）

カメラ装置は、シーンのカメラ投射レンジイメージを捕捉する３Ｄ−ＴＯＦカメラと、レンジイメージを処理するイメージプロセッサを備える。イメージプロセッサは、そのハードウェア及びソフトウェアが組み込まれた位置及び向き較正ルーチンを含み、該位置及び向き較正ルーチンはイメージプロセッサにより実行されるとき、３Ｄ−ＴＯＦカメラにより捕捉されるレンジイメージ内の１つ以上の面を検出し、該１つ以上の検出面から基準面を選択し、基準面に対する３Ｄ−ＴＯＦカメラの位置及び向きパラメタ、例えば基準面上方の高さ及び／又はカメラロール角及び／又はカメラピッチ角を計算する。
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【課題】卵の段階で有精卵、無精卵および雌雄を識別する方法を提供する。
【解決手段】卵が滑り落ちないように、卵との接触面をエッジ構造にした卵の大きさより小さい卵置き台を用いて、垂線に対し正負４５°の角度からの卵の全輪郭を計測する。次に卵輪郭の歪みを９０°異なる角度で計測し、その歪みの和と差を用いて無精卵と有精卵および雌雄の識別を行う。 （もっと読む）

【課題】リソグラフィ露光装置中でパターン付き放射ビームを測定する、より正確なセンサを提供する。
【解決手段】リソグラフィ露光装置中でパターン付き放射ビームを測定するセンサは、パターン付き放射ビームを受け取る受容部分と、受容部分を介してパターン付き放射ビームの少なくとも一部分を受け取るように配置された処理部分とを含む。センサの受容部分は、基板を保持するための基板テーブル中に一体化されている。 （もっと読む）

【課題】外部から視認することができないような穴の深さも測定可能な深さ測定装置及び深さ測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】深さ測定装置は、被検査物に形成された穴の一方の入口を照明する第１の光源（４）と、穴の一方の入口のテーパ状部を撮影した第１の画像を取得する第１の内視鏡（２）と、被検査物に形成された穴のテーパ状部を撮影した画像のテーパ状部に対応する領域における、その穴の半径方向の輝度勾配とテーパ状部の深さの関係を示す参照テーブルを記憶した記憶部（６３）と、第１の画像から一方の入口のテーパ状部における穴の半径方向の輝度勾配である第１の輝度勾配を求め、第１の輝度勾配と参照テーブルを参照して一方の入口のテーパ状部の深さを求める深さ測定部（６１）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ゲル状物の表面に形成されたなだらかな凹凸であっても検出することができるゲル状物の表面凹凸検査方法を提供する。
【解決手段】検査位置４１に液晶パネル７１を設け、バックライト７２からの光を液晶表示部７３でマスクして縞模様の照明をシャーレ２の底面１１側から照射したり、面発光した状態の照明をマスクすることなくシャーレ２の底面１１側から照射できるように構成する。制御装置７４は、液晶パネル７１を全面発光した状態でシャーレ２の平面画像を取得して画像解析することで、シャーレ２の分離壁１３の延在方向を検出した後、検出した分離壁１３の延在方向に合わせた縞模様を液晶パネル７１に表示して、寒天３表面４での凹凸を検査する。 （もっと読む）

【課題】安価で、測定が簡便なすす濃度測定装置を提供する。
【解決手段】試料ガスＧに測定光Ｉを入射させる光源２と、試料ガスＧで生じた第１の角度θ１における散乱光の強度を検出する第１散乱光受光器３θ１と、試料ガスＧで生じた第２の角度θ２における散乱光の強度を検出する第２散乱光受光器３θ２と、第２散乱光強度に対する第１散乱光強度の比からすす寸法を求める寸法比例式に第１散乱光受光器３θ１と第２散乱光受光器３θ２が検出した第１散乱光強度及び第２散乱光強度を代入して試料ガスＧ中のすす寸法を演算すると共に、第１散乱光強度又は第２散乱光強度からすす濃度を求める濃度比例式に当該受光器が検出した当該散乱光強度を代入して試料ガスＧのすす濃度を演算する演算器４とを備える。 （もっと読む）

【課題】ロール表面の凹凸がベルト状被検査体上にノイズとして表れることを防ぎ、高感度な検出を行う表面検査装置を提供する。
【解決手段】ベルト状の被検査体である感光体ベルト１を張架する駆動ロール２と従動ロール３と、感光体ベルト１の表面に照射光を出射する光源６と、照射光による感光体ベルト１表面からの反射光を受光するラインセンサ８と、を備えた表面欠陥検査装置において、感光体ベルト１を裏面から押圧して感光体ベルト１に張力を付与するアイドルロール対２１を備え、アイドルロール対２１による張力付与位置を、ラインセンサ８の受光視野Ｖを挟むように近接配置した。 （もっと読む）

【課題】 ラインＣＣＤのピクセル配列密度が低く抑えられても、サブピクセルレベルで判定できるようにして、検査精度を高くする。
【解決手段】 光源２と光感知器３との間に被検査電線端末を通し、ラインＣＣＤ４を繰り返しラインスキャンして検査を行う。その際、黒ピクセル数が初めて０でなくなる位置から所定範囲内のピクセルにおいて、黒ピクセル数の増分が最大になるピクセルを求め、その前後所定個数のピクセルにおける増分を荷重値として、ピクセルの位置番号の加重平均値を求めて電線の先端位置を判定する。さらに、ストリップ位置より後方の部分について、検出されたデータ群を、ピクセル単位で前後に順次ずらせ、それぞれの位置で、基準データ群との一致度を算出して、一致度が最大となるずれ量を求める。さらに、その前後各１ピクセル分ずらした場合の一致度及びずれ量をも用いて、サブピクセルレベルでのずれ量を求め、防水シール挿入位置を判定する。 （もっと読む）

【課題】測定のためのコストを抑えつつ、所定方向に移動するステージの真直度を容易かつ正確に測定する技術を提供する。
【解決手段】上面に直線状のパターン２１を有するパターン体２を、ステージ１の第１位置ＰＯＳ１に固定した場合と、ステージ１の移動方向（＋Ｙ方向）と平行に所定長さ分ずらした第２位置ＰＯＳ２に固定した場合とのそれぞれについて、パターン体２をＹ軸方向に移動させたときの、各地点におけるパターン２１のＸ軸方向の中心位置を測定する。そして、得られた測定結果Ｄ１，Ｄ２の差分をとることにより、パターン２１自体のＸ軸方向の変位量を相殺し、移動中のステージ１の各位置におけるＸ軸方向についての位置の変化量を算出する。さらに、差分結果を累積加算することにより、（＋Ｙ）方向に移動するステージ１のＸ軸方向についての各地点における変位量（移動誤差、真直度）を算出する。 （もっと読む）

【課題】簡単な装置構造で、目視検査に近い多数の条件にて外観異常部と表面深さ異常部を総括的に評価して検査できる。
【解決手段】円柱周面検査装置１０は、円柱体１の周面に明視野から暗視野の縞模様を映す照明部１２と、円柱周面に投光するラインレーザ投光器と、円柱周面を撮像するカメラ１４と、撮像画像データから円柱体１の異常部を抽出する画像処理装置３０を備えている。画像処理装置３０は、照明条件及び撮像角の違う複数の展開画像を位置を合わせて仮想画面階層配列に再構成し、層別画像データより円柱体１の外観異常部を抽出する外観異常検査部と、画像データよりラインレーザ光が投光された円柱周面の位置を割り出して表面深さ異常部を抽出し、位置を合わせて階層の仮想画面配列にマッピングする表面深さ異常検査部と、目視検査に似せて異常抽出条件の違った多数のデータから総括的に円柱体１の合否判定する判定部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】配筋検査を簡便に、しかも正確に行なえる構成とした、配筋検査装置および配筋検査方法の提供。
【解決手段】１は建設工事で施工される鉄筋で、多数配列されて１本の柱を構成している。２は鉄筋１の固定金具である。３は３次元レーザスキャナヘッドの固定冶具のグリップで任意の鉄筋１に取り付けられる。４は第１の回転軸でグリップ３、アーム５と結合されアーム５を矢視方向に回動自在に取り付ける。６はアーム５、３次元レーザスキャナヘッド７と連結される第２の回転軸で、３次元レーザスキャナヘッド７を矢視方向に回動自在に取り付ける。このように、３次元レーザスキャナヘッドは、グリップ３、第１の回転軸４、アーム５、第２の回転軸６からなる固定治具に取り付けられる構成としている。 （もっと読む）

【課題】 安価で軽量な構成により監視精度を高めることができる洋上監視システムを提供する。
【解決手段】 洋上の測定対象物Ｍを撮像して時系列の画像データを生成する撮像装置２０と、画像データを解析して測定対象物Ｍの位置情報を生成する解析装置３０とを備え、解析装置３０は、各時刻における測定対象物Ｍの座標値を算出し、所定時間内の前記座標値の中央値または平均値から、測定対象物Ｍの位置情報を求める洋上監視システムである。 （もっと読む）

【課題】 欠陥の高さ方向位置を検出できる欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】ガラス板９９は一定の速度ｖで移動され、ステージ２の位置ｄはステージ位置検出装置４により検出される。照明装置１からマスク１０を介してガラス板９９に対して光を所定角度斜めに入射させ、画像検出装置３によりガラス板９９下面で反射した反射光を検出する。入射光と反射光の両方で欠陥を検出し、その時間間隔を測定し、コントローラ５は前記所定角度と所定速度ｖと時間間隔に基づいて欠陥の高さ方向位置を演算する。 （もっと読む）