【課題】位置センサを用いた移動部材の移動情報の検出精度を向上させることができる移動情報検出方法、移動情報検出プログラム、計測装置、光学系、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】ステップＳ１１では、レンズをＺ軸方向及びθｘ方向に移動させると共に、複数の位置で位置センサを用いてレンズのＹ軸移動量ｄを検出させ、さらに、Ｙ軸移動量ｄを検出したときのレンズのＺ軸方向に関する位置及び傾斜角を検出させる。そして、ステップＳ１２，１３では、位置センサのスケールの傾き角度θを算出させる。その後、算出した傾き角度θに基づいて、位置センサを用いてレンズのＹ軸移動量ｄが補正される。 （もっと読む）

【課題】被検物の形状測定において、測定プローブと被検物との位置合わせ作業を簡単に
行うことが可能な構成の形状測定装置を提供する。
【解決手段】被検物に対して光プローブ２０を相対移動させて、光プローブ２０により得
られた情報から被検物の三次元形状を非接触で測定するように構成された形状測定装置に
おいて、光プローブ２０を被検物に対して所定の位置となるように移動させる門型構造体
１０と、被検物を少なくとも２つの回転軸方向に回転させる支持装置３０とを有して構成
される。 （もっと読む）

【課題】ロータの機械加工と非接触検査システムを一体化する。
【解決手段】非接触検査システム１１０は、制動表面を指す非接触センサ（１１２−１、１１２−２）の１つ以上の対及びディスクの外径を指す非接触センサを有する。非接触センサは、誘導性センサ、容量性プローブ及び／又はレーザ・センサである。システムは、制動表面１０２、１０４厚さ変動、横振れ、平坦さ、平行性及び直径等の種々の特徴及び特性を測定する。ディスクが指定速度で回転する間に又はディスクが停止している間に測定を行う。非接触センサ（１１２−１、１１２−２）の対は、センサ又は校正された表面から、その指した表面までの距離を連続的に測定する。他の２つのセンサ（１１５及び／又は１１７）は、センサ又は校正された表面から、その指した面までの距離を連続的に測定する。 （もっと読む）

【課題】測定時の環境温度が異なった場合や任意の線膨張係数の値を持つ標準器を用いた場合などに、それら影響を取り除き、適切な環境温度における測定結果を得ることができる固体の体積変化率及び／又は長さ変化率を測定する方法を提供する。
【解決手段】標準器と固体の供試体の温度を測定し、特定の式に基づいて、標準器と固体の供試体の温度変化による誤差をそれぞれ算定して、温度変化による固体の体積変化率及び／又は長さ変化率の誤差を補正する固体の体積変化率及び／又は長さ変化率を測定する方法を構成とする。 （もっと読む）

【課題】
光学的変位センサを搭載する検出器ユニットを堅牢な構造にしなくても台車に取付けることが可能で一般の営業車両にも取付けることができるように小型軽量化した軌道検測のための検出器ユニットを提供することにある。
【解決手段】
この発明は、レールの横断方向、すなわち、台車の横梁方向に沿って設けた収納ケースに内装する内装フレームを水平板フレームとこれから起立する垂直板フレームで構成し、光学的変位センサは垂直板フレームの両端にそれぞれ設ける。内装フレームの両端を緩衝部材を介して収納ケースに取付け、質量が大きいジャイロを水平板フレームの中央部付近に搭載する。 （もっと読む）

【課題】 動き検出装置および方法を提供する。
【解決手段】 １つ以上の第１回転角測定センサを用いて第１角を測定し、１つ以上の第２回転角測定センサおよび前記１つ以上の第１回転角測定センサと相違する１つ以上の２軸の角速度センサを用いて第２角を推定し、１つ以上の第３回転角測定センサおよび前記１つ以上の２軸の角速度センサを用いて前記２軸のうちのいずれか１つである第３角を推定する動き検出装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】ケーブルの移動力を簡易かつ短時間に求めることができるケーブルの移動解析装置を提供すること。
【解決手段】車両が上部を通過する地盤内の管路に敷設されたケーブルの水平方向の移動を解析する装置であって、車両が通過する際の地盤の振動解析を行って車両の移動に伴うケーブル近傍部分の土壌粒子の水平速度を求め、該水平速度と車両の水平方向位置との関係をもとに、車両の進行方向に向かって、車両の進行方向に速度成分を有する第１前進区間と車両の進行方向とは逆方向に速度成分を有する後進区間と再び車両の進行方向に速度成分を有する第２前進区間との各移動距離を少なくとも算出する振動解析部２１と、各区間毎に、ケーブルの単位長さあたりの重量と管路に対するケーブルの摩擦係数と各区間の移動距離とを乗算した区間移動力を求め、各区間移動力をベクトル演算した値をケーブルにかかる移動力として算出する移動力解析部２２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、ガントリーステージ直交性誤差に関連する問題を解決することである。
【解決手段】本発明によるホーミング処理のためのガントリーステージ直交性誤差測定方法および誤差補正方法は、直交性に構造的に一致するガントリーステージの現在位置のエンコーダ値を解読して記憶する工程と、ガントリーステージを低速で駆動している状態で、ガントリーステージのマスター軸およびスレーブ軸上にそれぞれ設定されたホーミング処理用のセンサまたはエンコーダのインデックス信号をモニタする工程と、インデックス信号が検出された場合、認知された位置のマスター軸またはスレーブ軸のリニアエンコーダ値を解読する工程とを備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 空間的に離間した複数の撮影点で同じ対象物を被写体として撮影して撮影点間の相対位置を判定することができる携帯端末を提供する。
【解決手段】 被写体を撮影して静止画像を生成するカメラ１６と、カメラ１６の光軸の向き及び光軸を中心とする傾きを検出する姿勢検出部３２と、静止画像から特徴点を抽出する特徴点抽出部２４ａと、静止画像内の特徴点に対応する被写体上の点及び当該静止画像の撮影が行われた撮影点間の距離を測定する距離測定部２５と、第１撮影点で撮影された第１画像内の特徴点について測定された距離、第２撮影点で撮影された第２画像内の上記特徴点について測定された距離、並びに、第１撮影点及び第２撮影点でのカメラ１６の向き及び傾きの各検出結果に基づいて、第１撮影点に対する第２撮影点の相対位置を判定する位置判定部２６により構成される。 （もっと読む）

【課題】専用の評価装置を設けることなく、アライメント調整装置でスラスト角を調整できる車両のホイールアライメント調整方法を提供すること。
【解決手段】本発明の車両のホイールアライメント調整方法は、車両の左右前後の車輪の位置を検出するステップと、予め設定されている装置中心線ＭＣに平行な方向への車輪１３、１４のずれ量を測定するセットバック量測定ステップと、左右の車輪１３、１４の装置中心線ＭＣに直交する方向の距離を測定するトレッド量測定ステップと、測定ステップにより測定したセットバック量Ｓおよび後軸トレッド量ＴＢに基づいて、スラスト角θを算出するステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】評価対象の金属板の面歪みを直接的、定量的に評価できるようにする。
【解決手段】測定装置２００により取得された金属板１の表面形状の計測値を入力とし、補間部１０２において、測定装置２００による計測値を直交格子状に補間した上で、ガウス曲率計算部１０３において、直交格子点上の値、すなわち測定装置２００による計測値が直交格子点上にあればその計測値、測定装置２００による計測値が直交格子点上になければ補間計算値を用いてガウス曲率を計算する。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な構成でありながら、重力加速度の影響が補正された物理量を検出可能な物理量検出装置、手ぶれ補正装置及びカメラを提供すること。
【解決手段】物理量検出装置１は、第１の周波数信号９０６を出力する第１の発振部１０、第２の周波数信号９０８を出力する第２の発振部２０、第２の発振部２０に対する発振制御電圧９０４を生成する発振制御部５０、第１、第２の周波数信号の位相差を検出して速度検出信号９０２を生成する速度検出部４０、物理量検出信号９１０を生成する検出信号生成部３０を含む。第１、第２の振動子の少なくとも一方は発振周波数が変化する加速度検出素子であり、発振制御部は、制御信号９１２に基づいて、第２の周波数信号の周波数を第１の周波数信号の周波数と一致させるように発振制御電圧を生成するか保持するかを選択し、検出信号生成部は、保持された発振制御電圧と速度検出信号に基づいて物理量検出信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】特別な外部基準を必要としないため簡便、低コスト、迅速、低設置面積といった特徴を持つ走査運動誤差測定方法において、従来、取り除くことのできなかったスピンドル回転誤差の影響を低減できる走査運動誤差測定方法を提供する。
【解決手段】旋盤や円筒研削盤上において作製した加工対象である被加工物５をスピンドル３から取り外すことなくそのまま測定の基準として用いて、被加工物５を搭載したスピンドル３の回転中心軸４に対して工具Ｔと正対する位置に変位検出器Ｂを配置し、回転中心軸４に沿ってスライドにより走査しながら得られた変位検出器Ｂの出力から、回転中心軸４を基準としたスライド走査機構の持つ運動誤差を測定する装置において、回転中心軸４の整数回転分の平均を求めることにより、回転中心軸４の運動誤差の影響を低減する。 （もっと読む）

【課題】鋼材の地中変位を、当該鋼材の挿入過程において、正確に把握することができ、しかも、装置コストが嵩まない鋼材の変位表示方法とする。
【解決手段】傾斜計１１を用いて地中に挿入された鋼材２の傾斜情報を取得し、この傾斜情報を用いて鋼材２の変位を算出し、この算出変位を表示する方法であって、鋼材２の挿入に先立って、傾斜計１１を鋼材先端部２ａに固定し、鋼材２の挿入過程において、連続的に又は所定の深度ごとに傾斜情報を取得し、鋼材２の挿入完了後、傾斜計１１を、この傾斜計１１に取り付けた線材１３を地上から引いて回収する。 （もっと読む）

【課題】車上側での簡易且つ高精度の位置検出を実現するとともに、位置検出に要する地上側及び車上側の装置の簡素化を図ること。
【解決手段】走行路３には、深さが異なる３種類のスリット部１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃが形成されたパターンプレート１０が配置されている。列車５には、高さ位置が異なることで検出可能なスリット部１１の種類が異なる複数の検出器３０−１〜３０−５が設けられている。そして、車上装置４０では、各検出器３０による検出信号Ｆから検出しているスリット部１１の種類を判定し、走行路３の特定位置に配置された特定種類のスリット部１１の検出によって、列車５が該特定位置に位置していることを検出する。 （もっと読む）

【課題】簡易な設備構成で、かつ正確に位置情報を補正することが可能な位置測定システムを提供する。
【解決手段】位置測定システム１は、レールの変位を計測する変位センサ３４と、位置を計測する距離計３１と、データ処理装置４と、を移動体２に搭載している。また、位置測定システム１のデータ処理装置４は、各遊間９の位置情報が登録されている遊間位置管理ＤＢ４３を備える。データ処理装置４の制御部４１は、変位センサ３４の計測データ及び距離計３１の計測位置データを監視している。制御部４１は、変位センサ３４の計測データが遊間９に固有の特徴的なデータを示した際における計測位置データまたはその近傍にある遊間位置情報を遊間位置管理ＤＢ４３から抽出し、予測値として保持する。そして、距離計３１による計測位置データと、抽出した予測値とを照合し、一致しない場合は、計測した距離を予測値（登録されている遊間位置情報）に補正する。 （もっと読む）

【課題】 特に薄層の厚さ測定に適した、測定用プローブを保持する測定スタンドおよびその制御方法の提供。
【解決手段】 測定用プローブ（２６）を保持する保持器（２４）を担持する変位部材（２３）と、その変位部材を測定用プローブとともに上下に駆動する駆動ユニット（３５）との間に、フリーホイール機構（５１）を介在させ、測定用プローブ（２６）または保持器（２４）が測定対象（１４）に接触すると、駆動ユニット（３５）による駆動が変位部材（２３）から切り離され且つスイッチング・デバイス（５８）がスイッチング信号を制御ユニットへ送出する。 （もっと読む）

【課題】蒸気発生器の伝熱管と振止部材との相対変位を計測できる相対変位計測方法を提供することにある。
【解決手段】伝熱管と振止部材との間で発生する相対変位を検出する相対変位計測方法であって、伝熱管に配置された距離測定手段により、振止部材に配置されたターゲットとの距離を測定する測定ステップと、測定ステップにより測定した間隔に基づいて、伝熱管と振止部材との相対変位を算出する算出ステップとを有し、振動時の伝熱管の所定位置と振止部材の所定位置との相対変位を計測することで上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】連続帯状体の表面に検出部を変位可能に接触配置し、変位センサー部は変位信号を出力し、Ａ／Ｄ変換部が変位データを出力し、しきい値演算部は変位データを基にしきい値を求め、比較判定部は変位データがしきい値よりも大であるとき判定信号を出力し、繋ぎ目信号出力部は判定信号が出力されたとき繋ぎ目信号を出力し、繋ぎ目検出精度を高めることができる。
【解決手段】繋ぎ目Ｊに凸部を有してなる連続帯状体Ｗの表面に接触して変位可能な検出部１を設け、繋ぎ目検出装置において、変位信号を出力する変位センサー部５と、変位信号をデジタル数値化して変位データＤを出力するＡ／Ｄ変換部６と、しきい値Ｔを求めるしきい値演算部７と、変位データがしきい値よりも大であるとき判定信号を出力する比較判定部８と、判定信号が出力されたとき繋ぎ目信号を出力する繋ぎ目信号出力部９とを備えてなる。 （もっと読む）

【課題】計測器を用いて車両に対するエンジンマウントの変位を迅速且つ正確に測定できるエンジンマウント変位測定方法を提供する。
【解決手段】車両１を定盤１１の上に配置して、車両１の車軸方向に基づいて車両基準の座標系Ｐ（ｘ、ｙ、ｚ）を決定し、車両基準の座標系Ｐ（ｘ、ｙ、ｚ）における計測器２１、５１の原点位置と、計測器基準の座標系Ｑ（Ｘ、Ｙ、Ｚ）におけるエンジンマウントの三次元位置とを用いて所定の座標変換行列式により、車両基準の座標系Ｐ（ｘ、ｙ、ｚ）におけるエンジンマウントの三次元位置を算出する。これにより、車両基準の座標系Ｐ（ｘ、ｙ、ｚ）におけるエンジンマウントの変位を迅速且つ正確に測定することができる。 （もっと読む）