【課題】ＳＥＭ画像等の画像中に含まれる欠陥パターンを基準パターンを利用して効率的かつ高精度に検出することを可能にするパターン検査装置を提供する。
【解決手段】比較基準となるリファレンスパターン画像１３１における所定の特徴点の位置情報を登録するリファレンスパターン登録処理Ｓ１と、検査対象画像１３２から抽出された輪郭線の位置情報と特徴点の位置情報とに基づいて検査対象画像１３２に含まれる欠陥候補パターンを探索する欠陥候補パターン探索処理Ｓ２と、リファレンスパターン画像１３１における特徴点に対応した輝度分布情報と欠陥候補パターンにおける特徴点に対応した輝度分布情報とに基づいて、欠陥パターンを検出する欠陥パターン検出処理Ｓ３とを行うパターン検査装置である。 （もっと読む）

【課題】
空港での手荷物検査官の訓練の効率を上げるなどのため、任意のＸ線撮影装置を用いて撮影された、異なる被写体に対する複数のＸ線画像を合成し、当該Ｘ線撮影装置を用いて異なる被写体を１画像として撮影されたＸ線画像と同等のＸ線画像を作成できるＸ線画像合成装置、方法及びプログラムを提供することを目的とする。
【解決手段】
試験体データ入力手段１からＸ線撮影装置に固有な試験体データ２を入力する。合成係数算出手段３で、Ｘ線合成係数を算出し、Ｘ線合成係数ＤＢ４に登録する。合成対象物データ入力手段５よりＸ線部品画像を入力し、Ｘ線部品画像ＤＢ６に登録する。Ｘ線部品画像ＤＢ６には複数のＸ線部品画像を保持することができる。合成画像作成手段７で、合成先画像のオペレータが指定した位置にＸ線部品画像ＤＢ６から複数の画像部品を配置し、各画像部品とＸ線重ね合わせ用データ４から合成Ｘ線画像データ９を作成する。表示部１０で、合成Ｘ線画像データ９を表示する。 （もっと読む）

【課題】コンテナ内にある少なくとも一つの問題となる物体の画像を生成する方法及びシステムである。
【解決手段】本発明の方法は、コンテナの走査から三次元容積走査データを受信することと、該三次元容積走査データからコンテナの三次元表示を再構築することと、三次元表現を検査して、このコンテナ内にある少なくとも一つの問題となる物体を検出することとを含む。また、本発明の方法は、三次元容積走査データ及び三次元表現のうちの一つから二次元画像を再投影することと、少なくとも一つの問題となる物体の位置に対応する、二次元画像における第一の複数の画像要素を識別することとを含む。さらに、本発明の方法は、強調表示された第一の複数の画像要素を伴って二次元画像を出力することを含む。 （もっと読む）

【課題】化学結合状態に起因するケミカルシフトの影響を受けにくい分析手法を用いて、一つの分析対象元素について一つの標準試料で定量分析を可能とすることにより、標準試料の変更等の手間を省くことのできる試料分析方法及び試料分析装置を提供する。
【解決手段】試料５に電子線１２を照射し、これにより試料５から発生する特性Ｘ線１３を検出して、試料５中の特定の元素についての定量分析を行う際に、当該元素に対応する特性Ｘ線１３における複数のＬ線の検出強度に基づいて定量分析を行う。 （もっと読む）

【課題】誘電体からなる感光体の表面に生じている電荷分布、電位分布をμオーダーで高分解能の計測が可能な装置を用い、電子写真プロセス上でおこる静電潜像の形成能力を評価することを可能とする。
【解決手段】表面電荷分布あるいは表面電位分布を有する感光体試料２０に荷電粒子ビームを照射して帯電させ、感光体試料２０に静電潜像を形成した後荷電粒子ビームを照射して得られる検出信号により試料２０の静電潜像を計測し評価する。１つの評価を行うために帯電領域を複数定め、感光体材料２０の複数の帯電領域に波長４００〜８００ｎｍの集光光束を照射することで潜像パターンを形成し、帯電領域が異なることによって生じる検出信号の違いを複数の画像として取り込み、得られた複数の画像より複数の静電潜像を抽出し、抽出された複数の静電潜像の大きさを比較する。 （もっと読む）

【課題】温度変化を伴って所定角度範囲のＸ線測定を繰り返して行う場合に、Ｘ線測定の中断をできる限り抑えることができ、しかも、得られた測定結果の分析を正確且つ迅速に行えるＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】試料にＸ線を照射したときにその試料から出たＸ線をＸ線検出器によって検出するＸ線分析装置である。温度変化曲線３９に従って試料温度を変化させながら、Ｘ線回折測定を行って２θ＝５°から２θ＝４０°の間で複数の回折線プロファイル３５を縦軸に沿って間隔をおいて複数描く。５°〜４０°の間で角度が増加する順方向移動時のＸ線強度データ３５（→）を角度座標軸（座標表示３６の横軸）上の５°から４０°へ向かって画面上で表示させ、角度が減少する逆方向移動時のＸ線強度データ３５（←）を同じ角度座標軸上の４０°から５°へ向かって画面上で表示させる。順・逆表示をスイッチアイコン４３によって切替えて表示できる。 （もっと読む）

【課題】 ボーリングにより得られたサンプルの採取時の状態を乱すことなく克明且つ正確に地盤の状況を把握することができる地盤状況の判定方法を提供する。
【解決手段】 コアパックチューブに収納した状態でボーリングマシンにより採取された地盤のサンプルをコア箱に収納するサンプル採取工程と、前記サンプルが収納された前記コア箱の裏面側にＸ線用の感光紙を配設する撮像準備工程と、コアパックチューブに収納した状態のまま前記サンプルが収納された前記コア箱の表面側から前記コア箱に向けてＸ線を照射することにより前記感光紙に前記サンプルのＸ線写真を撮像する撮像工程と、前記Ｘ線写真を撮像した感光紙を現像する工程と、現像した前記Ｘ線写真を観察して地盤における擾乱帯の内部構造を特定する観察工程とを有する。 （もっと読む）

本発明は、描画空間を介して点源（１２）からＸ線を放射するＸ線線源を有するＸ線スキャナを開示する。スキャナは、さらに、描画空間の周囲に配置されてＸ線の検出に反応して検出器信号を出力するＸ線検出器（２６）のアレイを含む。スキャナは、さらに、走査方向に描画空間を横切るように物体を搬送するコンベヤ（２２）と、検出器信号を処理して、物体の画像を画定する画像データセットを生成する少なくとも１つのプロセッサ（３０）とを含む。画像は、走査方向において、走査方向とは直交する１の方向、場合によっては、２つの方向の分解能に対して少なくとも９０％の分解能を有する。
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【課題】水分の存在の判定に用いる情報のデータベースを予め作成する必要がない水分検出方法を提供する。
【解決手段】単一エネルギーを有するパルス状の高速中性子１７が、中性子発生管２から、配管１２を取り囲む保温材１３に照射される。高速中性子１７が保温材１３内の水１５及び配管１２内の液体１６で減速されて熱中性子１８になる。高速中性子１７の照射方向と逆方向に進む熱中性子１８を^３Ｈｅ比例計数管３で検出する。スケーラー１０は、熱中性子の検出信号を用いて設定された時間毎の計数値を算出する。データ処理装置１１は、これらの計数値を用いて、各時間幅での熱中性子の強度を求める。この強度がピークになる時間を基に熱中性子の飛行距離を求め、この飛行距離、及び^３Ｈｅ比例計数管３と配管１２の外面との距離に基づいて、保温材１３内の水分の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】被検体の着目部を簡便に回転軸上に合わせる。
【解決手段】テーブル４をｘｙ方向に移動させるＸＹ機構６と、ｚ方向に移動させる昇降機構７と、ある回転位置でＸ線検出器３が検出した第一の透過像を表示する表示部９ａと、表示部９ａに表示された第一の透過像上で着目部の設定を受け付けるＲＯＩ設定部９ｃにより第一の透過像上で着目部が設定されると、移動制御部９ｄによりＸＹ機構６を制御してテーブル４を所定距離ｘｙ移動させてからあるいは昇降機構７を制御してテーブル４を所定距離ｚ移動させてから第二の透過像をＸ線検出器３で検出させ、第一の透過像と第二の透過像とから着目部の透過像上の移動量を求め、求めた透過像上の移動量から着目部のｘｙ面に沿った位置を求め、ＸＹ機構６を制御して着目部を回転軸ＲＡ上に合わせるようにテーブル４をｘｙ移動させる。 （もっと読む）

【課題】冊子状の被検査物の内部に綴じ部材が隠れている場合であっても綴じ状態の良否を判別することができるＸ線検査装置を提供すること。
【解決手段】被検査物Ｗの綴じ部材Ｓの正常状態を含む綴じ部材情報を予め設定する設定入力手段１５と、Ｘ線検出器１０から出力される濃度データから、被検査物Ｗの外形を抽出する外形抽出手段１７と、Ｘ線検出器１０から出力される濃度データから、被検査物Ｗの綴じ部材Ｓを抽出する綴じ部材抽出手段１８と、外形抽出手段１７が抽出した被検査物Ｗの外形の中に綴じ部材抽出手段１８が抽出した綴じ部材Ｓを重ね合わせ、綴じ部材抽出手段１８が抽出した綴じ部材Ｓの状態と、綴じ部材情報に含まれる綴じ部材Ｓの正常状態とを比較して、被検査物Ｗの綴じ状態の良否を判別する判別手段２０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】本発明はＸ線分光装置に関し、広い波長範囲でＸ線の分光を再現性よく得ることができるＸ線分光装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 試料１１から発生した特性Ｘ線１３を受ける互いにほぼ９０°の角度で配置された２つの分光素子１，２と、該２つの分光素子からの分散光を同時に受けて電気信号に変換する位置敏感検出器１５と、該位置敏感検出器の出力を記憶するメモリと、該メモリに記憶されたデータを読み出して所定の画像処理を行なう画像処理部と、該画像処理部の出力を受けて分光情報を表示する表示部と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で、微小異物の検出を確実に行うことができるＸ線検査装置を提供することである。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、物品にＸ線Ｓ１を照射し、シンチレータ３００による光変換をフォトダイオードアレイ（ＰＤＡと略記する）４００で検出することにより物品６００内の微小異物６１０を検出することができ、シンチレータ３００のＸ線照射側にスリット部材５００を積層したものである。特に、本発明の実施の形態に関するＸ線検査装置１００では、シンチレータ３００のＸ線照射側にスリット部材５００が積層され、Ｘ線検査装置１００ａでは、さらに防水部材７００が積層される。 （もっと読む）

【課題】分類基準を改善することを目的とする。
【解決手段】画像データを分類する際の基準となる画像データの情報が登録されている分類基準データ１２１と、新規に入力された画像データを分類基準データ１２１を使用して分類した結果としての画像データの情報が登録されている分類データ１２２と、が記憶部１２に格納されており、画像分類装置１が、入力部１３を介して、分類データに登録されている画像データのうちの任意の画像データの情報が選択され、入力部１３を介して、選択された画像データの情報を分類基準データ１２１に追加登録する旨の指示が入力されると、選択された画像データの情報を分類基準データ１２１に追加登録することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡素な構造でありながら空間分解能が高いＸ線解析装置を提供する。
【解決手段】測定物である単位セル１８を保持する測定物保持機構２０は、単位セル１８の位置を調整可能な位置決めステージ３０によって位置決めされ、且つ１８０°以上回転可能な回転台座７４を有する回転ステージ６８と、単位セル１８を挟持する第１支持部材８０及び第２支持部材８２と、前記回転台座７４と同期して回転動作することで単位セル１８を第１支持部材８０ごと回転動作させる回転用支持部材７８と、支持軸１００を介して第２支持部材８２に押圧力を付与するエアシリンダ１９０と、支持軸１００を回転自在に支持する軸受１８６と、エアシリンダ１９０が付与する押圧力を測定するロードセル１８８とを有する。この中、軸受１８６、エアシリンダ１９０及びロードセル１８８は回転しないように構成されている。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線フラットパネル検出器を用いたＸ線検査装置において、クラスタ状の欠陥についても補完処理を行い、しかも、その補完処理により擬似的な像が生じても、オペレータによる良／不良判定に誤りが生じることを防止することができ、ひいては長期にわたってＸ線フラットパネル検出器を使用することのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線フラットパネル検出器２の欠陥画素を抽出し、その欠陥画素の出力データを周囲の画素の出力データを用いて補完して表示器に表示する欠陥画素補完手段１３，１５を備えるとともに、その欠陥画素補完手段による補完の対象となった画素を、表示器１３の画面上で報知する補完対象画素報知手段を設けることで、欠陥画素の位置情報と、補完後の像の変化から、検査に影響を与えるか否かをユーザが判断できるようにする。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線受光面の大きさの互いに異なる複数のＸ線検出器を設け、被検査物の全体像の把握を可能とし、かつ、拡大断層像を高分解能のもとに得ることのできるＸ線ＣＴ装置でありながら、ＣＴ撮影範囲の設定を容易化することのできるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】一つのＸ線検出器２ａでＣＴ撮影した基準画像を表示するとともに、そのときの回転テーブル３，ｘｙテーブル５の位置を記憶しておき、他のＸ線検出器２ｂを選択した状態では、回転テーブル３，ｘｙテーブル５の位置と、基準画像の撮影時における回転テーブル３，ｘｙテーブル５の位置情報とから、当該他のＸ線検出器２ｂによる視野の位置と大きさに係る情報を、基準画像上に重畳表示することで、例えばＸ線受光面の小さいＸ線検出器２ｂを用いて被検査物Ｗの局部を高拡大率でＣＴ撮影する際に、被検査物Ｗ上のどの部位を撮影しようとしているのかを直感的に把握することを可能とする。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線透過量に基づいて生成する透過画像から仕切り部材の位置を正確に検知するとともに、検査性能の低下を防止する。
【解決手段】被検査物Ｗを搬送方向Ｙに搬送するベルトコンベア５と、ベルトコンベア５の搬送面５ａに近接して設けられ、搬送面５ａを搬送方向Ｙと直交する方向Ｚに分割して複数の検査レーン１４を形成する仕切り部材１１と、検査レーン１４に搬送されている被検査物ＷにＸ線を照射するＸ線発生器２１と、被検査物Ｗを透過してくるＸ線を検出するＸ線検出器２２とを備え、Ｘ線透過量に基づいて透過画像を生成し、この透過画像から被検査物Ｗの品質を検査するＸ線検査装置１において、仕切り部材１１を、搬送手段５の搬送方向Ｙに延在する略板状のＸ線易透過部１２と、Ｘ線易透過部１２の搬送手段５の搬送面５ａに近接する底部に設けられているＸ線難透過部１３とから構成した。 （もっと読む）

【課題】検査装置で検出された半導体装置の欠陥に関する検査データに基づいて、欠陥の分類精度の向上が可能な観察条件決定支援装置を提供する。
【解決手段】検査装置４で検出された半導体装置の欠陥に関する検査データに基づいて、詳細観察装置５において予め設定した複数の観察条件で同一の欠陥を撮影した複数の欠陥画像を取得する詳細観察条件の詳細観察結果ＤＢ２６と、それぞれの欠陥画像に基づいて、複数の同一の欠陥の分類を行い、分類の結果として観察条件毎に同一の欠陥の属する第１カテゴリを決定する欠陥分類手段１２と、詳細観察装置５のユーザが同一の欠陥の分類を行い決定した第２カテゴリに、第１カテゴリが一致する比率に基づいて、複数の観察条件の中から半導体装置の製造時に使用する詳細観察条件決定・登録手段１５とを有する。 （もっと読む）

【課題】対象物の検査を短時間で精度よく行なえる装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、走査型Ｘ線源１０と、複数のＸ線検出器２３．１〜２３．Ｎと、画像取得制御機構３０と、演算部７０と、メモリ９０とを備える。走査型Ｘ線源１０は、検査対象２０に向けてＸ線を出力する。Ｘ線検出器２３．１〜２３．Ｎは、検査対象２０を透過したＸ線を検出する。画像取得制御機構３０は、Ｘ線検出器２３．１〜２３．Ｎが検出した画像データ９８をメモリ９０に格納する。演算部７０に含まれる再構成部７６は、画像データ９８に基づいて、解析法を用いて水平断面の再構成画像を生成し、反復法を用いて垂直断面の再構成画像を生成する。 （もっと読む）