【課題】データ処理アプリケーション等の他のアプリケーションを用いることなく分析条件を決定すること。
【解決手段】分析対象元素が指定される分析対象元素指定手段１８と、分析対象元素が指定されることにより、予めデータベース１６に記憶されている当該元素のピーク位置とバックグラウンド測定位置を検索する検索手段１５と、スペクトル収集が指示されると、前記検索された当該元素のピーク位置とバックグラウンド測定位置情報に基づいて実際の試料を用いた時の所定の波長範囲のスペクトルを測定してディスプレイに表示する表示手段１５と、表示されたスペクトル上でピーク位置とバックグラウンド測定位置を指定して、指定されたピーク位置とバックグラウンド測定位置におけるＸ線強度を測定するための、ピーク位置とバックグラウンド測定位置を設定するピーク位置とバックグラウンド測定位置設定手段１５と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】絶縁性樹脂中に存在する最大長が５０μm以上の金属粉異物を検知・判別することができ、且つインライン化が可能な金属粉異物の検知方法を提供する。
【解決手段】絶縁性樹脂組成物中に異物として存在する金属粉を、少なくとも１台のＸ線管２，３を有するＸ線透視装置を用いて、Ｘ線照射角度を変化させることにより検知した後、画像処理装置８を用いて自動的に該金属粉を画像認識することを特徴とする絶縁性樹脂組成物中の金属粉異物の自動検知方法である。 （もっと読む）

【課題】低エネルギＸ線の散乱による被検査物内の異物像のコントラストの低下を防止し、簡単な操作により、様々な材質の被検査物のそれぞれに良好なコントラストの異物像を得ることができ、ひいては異物の検出性能を常に良好なものとすることのできるＸ線検査方法および装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生器１からのＸ線を被検査物Ｗに照射し、その被検査物Ｗを透過したＸ線の空間線量分布から、被検査物内の異物の有無を判定するに当たり、Ｘ線発生器１と被検査物Ｗの間に、当該被検査物Ｗの材質と同じ材質、もしくは、当該被検査物Ｗの材質とＸ線に対して等価な物質からなるＸ線フィルタＦを介在させることで、被検査物Ｗ（正常部位）を透過しやすいＸ線で、かつ、被検査物Ｗ内で散乱しにくいエネルギ帯のＸ線を選択的に被検査物Ｗに照射することを可能とし、被検査物Ｗ内でのＸ線の散乱による異物像のコントラストの低下を防止する。 （もっと読む）

【課題】ウェハの評価の良い部分の領域や悪い部分の領域が分かる半導体検査装置のデータ処理方法とデータ表示方法と半導体検査装置を提供する。
【解決手段】電子ビームを用いた吸収電流測定方法を用いて、ウェハ２３のコンタクトホール界面状況を評価する半導体検査装置において、電子銃１０によって所定の電子ビームサイズでコンタクトホールを照射し、その際に測定される吸収電流値をコンタクトホールサイズで正規化した値をグラフ化し、そのグラフから任意の領域を指定して、表示装置１５０に表示されるウェハ上のマップにその測定点を表示する。 （もっと読む）

【課題】対象物に含まれる異物の検出精度を向上させることができるＸ線画像取得システムを提供する。
【解決手段】Ｘ線画像取得システム１は、所定の厚みＷを有する対象物ＳにＸ線源からＸ線を照射し、対象物Ｓを透過したＸ線を複数のエネルギ範囲で検出する。Ｘ線画像取得システム１は、対象物Ｓ内において厚み方向に延在する領域Ｒ１を透過したＸ線を低エネルギ範囲で検出する低エネルギ検出器３２と、対象物Ｓ内において厚み方向に延在する領域Ｒ２を透過したＸ線を高エネルギ範囲で検出する高エネルギ検出器４２と、対象物Ｓ内の所定箇所に位置する被検査領域Ｅが領域Ｒ１及び領域Ｒ２に含まれるように低エネルギ検出器３２及び高エネルギ検出器４２でのＸ線の検出タイミングを制御するタイミング制御部５０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】進行中の測定値に応答して検出器回路のパラメータをリアルタイムで設定し、かつ変更する蛍光Ｘ線分析方法及び装置の提供。
【解決手段】サンプルの元素組成及び／又はエネルギ分解能条件に従って、Ｘ線検出器１１４のシェーピング時間及び／又は他のパルス処理パラメータを適合させる方法及び装置。Ｘ線１０４はＸ線源１０２からサンプル１１０に向けられ、これに応答してサンプルから放出される放射線（例えば、元素組成の特徴を有する蛍光発光した放射線）１０８が、入射放射線のエネルギ及び強度を示すパルスを発生するＸ線検出器１１４により検出される。元素組成の最初の分析に基づいて、シェーピング時間及び／又は他のパルス処理パラメータが、対象とするスペクトル領域内のエネルギ分解能の拘束を受けるカウント速度を最適化すべく設定される。 （もっと読む）

【課題】多重イメージング・エネルギ源を用いるＣＴシステムを提供する。
【解決手段】ＣＴシステム（１０）は、ガントリ（１２）の開口部（４８）を通るＸ線（１６）を投射するＸ線源（１４）を含む。Ｘ線源は、ターゲット（１００）へ第１及び第２の電子ビーム（１１４、１１６）をそれぞれ放出する第１及び第２の陰極（１０２、１０４）と、第１及び第２の陰極にそれぞれ結合された第１及び第２のグリッディング電極（１０８、１１２）とを含む。本システムは、第１及び第２の陰極を第１及び第２の電圧までそれぞれ付勢する発生装置（２９）と、ガントリの開口部を通過したＸ線を受け取る検出器（１２３）と、第１及び／又は第２のグリッディング電極にグリッディング電圧を印加して第１及び／又は第２の電子ビームの放出を阻止し、また検出器からイメージング・データを取得するように構成されている制御装置（２８）とを含む。 （もっと読む）

【課題】 過去の測定結果情報との比較により、容易な変化点管理を行うことが可能な蛍光Ｘ線分析装置を提供すること。
【解決手段】 被測定物２０５を特定する特定情報を入力する入力部２０１と、被測定物の測定部位画像を取得する撮像部２１０と、蛍光Ｘ線の測定後においては、少なくとも、被測定物の分析結果を表示する表示部２０８と、特定情報に対応づけられた過去の測定情報を蓄積したデータベース２０９と、を備え、測定情報は、被測定物の測定部位画像と分析結果とを含み、表示部は、蛍光Ｘ線の測定条件設定時においては、少なくとも、撮像部で得られる被測定物の測定部位画像と、データベースに蓄積されている測定情報のうち入力部で入力された特定情報に対応する測定情報に含まれる被測定物の過去の測定時の測定部位画像と、を同時に表示可能である、蛍光Ｘ線分析装置。 （もっと読む）

【課題】放射線トモシンセシス撮影装置において、散乱放射線の影響の排除を行うとともに、放射線源の利用効率を向上させる。
【解決手段】被写体に向けて放射線を射出する多数の放射線源１ａを有し、各放射線源１ａから射出されて被写体を透過した放射線が被写体の投影像の一部分を形成するように多数の放射線源が分散配置された放射線照射部１を設け、各放射線源１ａが、ファンビームの放射線を射出するものであるとともに、そのファンビームの広がり角が大きい方の面が多数の放射線源１ａの配列方向と交差し、互いに平行に並ぶように配置する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線投影データの取りこぼしがなく、光束に画像処理ができ、また、ＭＰＲ表示やＶＲ表示などの３次元表示の指令操作等が付与されたときに素早く応答することができ、オペレータにとって操作性が良好で体感的な処理速度を短縮化することのできるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】ＣＴ撮影時にＸ線検出器２から出力されるＸ線投影データをＲＡＭディスク４１ａに取り込むとともに、再構成演算により得られる対象物Ｗの３次元画像情報を一旦ＲＡＭディスク４１ａに格納し、ＭＰＲ表示やＶＲ表示の指令に対してはそのＲＡＭディスク４１ａのアクセスにより表示すべき画像を読み出す一方、ＲＡＭディスク４１ａ内のデータを自動的にハードディスク４４に退避させることで、体感的な処理速度の短縮化を実現する。 （もっと読む）

【課題】走査装置を通過するコンベヤシステムとの互換性を有し、かつ高速な走査が可能なＸ線検査システムを提供する。
【解決手段】物品を検査するＸ線画像化検査システムは、撮像容積（１６）の周りに延在し、放射されるＸ線が撮像容積を通過できるように配向された複数の点状放射源（１４）を構成するＸ線放射源（１０）を有する。Ｘ線検出器アレー（１２）は同様に走査容積の周りに延在し、点状放射源からの撮像容積（１６）を通過したＸ線を検出し、この検出されたＸ線に基づく出力信号を生成するように構成されている。コンベヤ（２０）は撮像容積（１６）を通過して物品が運ばれるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】製造プロセスが変動しても、また、試料から検査対象領域を撮像した撮像画像に周期性が少なくても、良好かつ迅速に欠陥検出できる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】試料１１上の検査対象領域の撮像画像３１を撮像する撮像手段１３と、撮像画像３１から欠陥候補４１ａ〜５０ａを検出する欠陥候補検出手段１４と、検査対象領域における欠陥のないパターン情報３３を格納する格納手段１５と、欠陥のないパターン情報３３から擬似欠陥候補４１ｂ〜４９ｂを検出する擬似欠陥候補検出手段１６と、欠陥候補４１ａ〜５０ａと擬似欠陥候補４１ｂ〜４９ｂとを位置的に対応付けし、対応付けができなかった欠陥候補５０ａを欠陥３７として登録する欠陥候補限定手段１７とを有する。 （もっと読む）

本発明は、複数の検出器と、制御装置と、Ｘ線源とを有し、ａ）前記制御装置は、複数の検出器の少なくとも一つから、最低Ｘ線透過レベルを検出、及び、特定し、ｂ）前記制御装置は、前記最低Ｘ線透過レベルを少なくとも一つの既定の閾透過レベルと比較し、ｃ）前記制御装置は、前記比較に基づいて、調整信号を生成し、前記Ｘ線源は、前記調整信号を受信し、前記調整信号に基づきＸ線のパルスの持続時間を調整することを特徴とするＸ線走査システムを提供する。
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【課題】円錐傾斜断層撮影装置で生じるリング状アーチファクトを低減化する。
【解決手段】Ｘ線３を照射するＸ線源４と、被検体１からのＸ線透過像を検出する検出器５と、被検体を相対的に回転軸ＲＡに対して回転させる回転手段２，６と、３次元画像を作成する制御処理部１２とを備えた装置であって、回転軸ＲＡは、Ｘ線中心線の方向に対し９０度より小さなラミノ角で交差し、制御処理部１２は、３次元サイノグラムＰ０に対し回転方向にローパスフィルタ処理してサイノグラムＰ１を得、サイノグラムＰ１に対し透過像に沿った２次元ローパスフィルタ処理してサイノグラムＰ２を得、サイノグラムＰ１からＰ２を減算してリング成分を抽出し、サイノグラムＰ０からリング成分を減算したサイノグラムＰ^＊を得るリング補正処理部１２ｃと、得られたサイノグラムＰ^＊から３次元画像を再構成する再構成部１２ｄとを有する断層撮影装置である。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線マッピングされた画像から特定元素に関して所定濃度以上の部位等を容易にかつ直接的に認識でき、特定することが可能なＸ線分析装置等を提供すること。
【解決手段】 試料Ｓ上に放射線を照射するＸ線管球２と、特性Ｘ線及び散乱Ｘ線を検出しそのエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出器３と、信号を分析する分析器５と、予め設定されたマッピング領域Ｍ内で試料Ｓに対して照射ポイントを相対的に移動可能な試料ステージ１と、特定の元素に対応したＸ線強度を判別し、該Ｘ線強度に応じて色又は明度を変えた強度コントラストを決定して照射ポイントに対応した位置に画像表示するＸ線マッピング処理部６と、を備え、該Ｘ線マッピング処理部６が、予め組成元素及びその濃度が既知の標準物質７について判別したＸ線強度を基準にして、照射ポイントにおけるＸ線強度の強度コントラストを決定する。 （もっと読む）

【課題】マイクロリトグラフィーのための物体の検査を可能にし、短い全長を有する反射型顕微鏡を提供する。
【解決手段】物体平面内での物体を検査する反射型Ｘ線顕微鏡であって、物体は、波長＜１００ｎｍ、特に、＜３０ｎｍの光線で照明され、像平面に拡大して結像され、第１鏡と第２鏡とを含み、物体平面から像平面までの光路内に配置される第１副系とを備える。反射型Ｘ線顕微鏡が光路内で第１副系に後置されて少なくとも第３鏡を有する第２副系を含むことにより特徴付けられる。 （もっと読む）

Ｘ線分光器は解析中の試料からエネルギー分散スペクトルを収集し、試料中に存在し得る候補元素のリストを生成する。その後、波長分散スペクトル収集手段は、候補元素のいくつかまたはすべてのエネルギー／波長においてＸ線強度測定値を取得するように調整され、これによりこれらの候補元素が試料中に実際に存在するかどうかを検証する。さらに、候補元素から選択された１つ（好ましくは、試料中にその存在が検証されたもの、または試料中に存在する可能性が高いもの）のエネルギー／波長に波長分散スペクトル収集手段を調節し、次に、波長分散スペクトル収集手段が選択された候補元素の最大強度測定値を戻すまで波長分散スペクトル収集手段と試料との位置合わせを変更することにより、波長分散スペクトル収集手段と試料との位置合わせを最適化することができる。次に、他の候補元素の強度測定値はこの最適化された位置合わせにおいて収集される。
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【課題】ハードウエアの追加を伴わない簡単な構成で、Ｘ線照射の絞りを変更するためのＸ線遮蔽板の位置ずれを検知する。
【解決手段】設定されているものと異なる絞り孔４ａ〜４ｄの選択が指示されると、制御部１０は現在の絞り孔に応じた数のパルス信号をパルスモータに送ってＸ線遮蔽板４をホームポジションＰ２に戻し、その後、センサ１３により原点位置Ｐ１に来たことが検出されるまでパルス信号を計数しつつパルスモータを駆動する。その計数値と規定数との差が許容値以下であるか否かを判定し、許容値を超えている場合、ホームポジションが適切でなく元のＸ線遮蔽板４の位置が異常であると判断して表示部１２にエラー表示を行う。また、絞り孔の変更がない場合でも規定回数毎に同様の異常検知を実行することで、絞り孔の位置がずれた状態で取得された可能性のある信頼性のないデータの棄却を可能とする。 （もっと読む）

【課題】 試料の化合物組成をより精度良く判別するとともに、その際の使い勝手を向上することができる化合物分析装置を提供する。
【解決手段】 ＦＴＩＲ法によって試料を測定した結果にピークサーチマッチングを施してこれを分析し、当該試料を構成する化合物組成の候補を１又は複数抽出するＦＴＩＲ分析部３１と、ＸＲＦ法によって前記試料を測定した結果にピークサーチマッチングを施してこれを分析し、当該試料を構成する元素組成の候補を１又は複数抽出するＸＲＦ分析部３２と、前記ＦＴＩＲ分析部３１による候補抽出結果とＸＲＦ分析部３２による候補抽出結果とを照合し、ＦＴＩＲ分析部３１で抽出された各候補に対して試料組成としての妥当性を示す妥当性評価値をそれぞれ算出する評価部３３と、を設けるようにした。 （もっと読む）

【課題】
取得画像の像質や分解能の劣化を防ぐことができる走査型電子顕微鏡、および走査型電子顕微鏡の画像の改良方法を提供する。
【解決手段】
試料に電子ビームを照射し該試料から発生する二次信号の情報を画像化する走査型電子顕微鏡において、前記電子ビームを前記試料で走査する走査信号を補正する補正データを格納する記憶部と、該記憶部へ格納された補正データを用いて前記走査信号を補正する補正回路と、該補正回路で補正された走査信号を用いて得られた画像を表示するディスプレイとを備え、該ディスプレイには、さらに、前記補正データに基づいて生成された補正データ波形が表示される。 （もっと読む）