【課題】実装基板などの板状の被検体の透視撮影や、多数の小さな電子部品等を一度で行う透視撮影を簡便に行うことができるＣＴ装置を提供する。
【解決手段】水平な載置面４ａを有する透視用テーブル４と、透視用テーブル４をＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動させるテーブル駆動機構６，７と、透視用テーブル４に固定され、ＣＴ撮影用被検体１０を保持し、Ｙ方向に平行なＣＴ回転軸に対しＣＴ回転させるＣＴ用回転機構５と、透視撮影時およびＣＴ撮影時に所望する撮影視野になるようテーブル駆動機構６，７を制御した後、ＣＴ用回転機構５を制御してＣＴ回転を行わせる機構制御手段８と、透視撮影時は透視用被検体９の透過像を取込み表示し、ＣＴ撮影時はＣＴ回転中にＸ線検出器が出力した複数のＣＴ撮影用被検体１０の透過像を取込み再構成処理してＣＴ撮影用被検体１０の断面像を作成し表示するデータ処理手段８とを有するＣＴ装置。 （もっと読む）

【課題】低エネルギ放射線検出器によって検出する低エネルギ範囲の放射線像のコントラスト差を大きくし、かつ、低エネルギ放射線検出器と高エネルギ放射線検出器との検出エネルギ差を大きくする放射線検出装置を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る放射線検出装置８０は、サブトラクション法を用いる異物検査用の放射線検出装置であって、被検査物を透過した第１エネルギ範囲の放射線を検出する第１放射線検出器３２と、第１エネルギ範囲の放射線よりも高い第２エネルギ範囲の放射線を検出する第２放射線検出器４２とを備え、第１放射線検出器３２の第１シンチレータ層３２２の厚さは第２放射線検出器４２の第２シンチレータ層４２２の厚さより薄く、第１放射線検出器３２の第１画素部３２４の画素３２６の第１面積Ｓ１は、第２放射線検出器４２の第２画素部４２４の画素４２６の第２面積Ｓ２より小さい。 （もっと読む）

【課題】２つの放射線検出器における画素数が異なっても、これらの放射線検出器による放射線像に基づく演算処理を容易にする放射線検出装置を提供する。
【解決手段】一実施形態に係る放射線検出装置８０は、サブトラクション法を用いる異物検査用の放射線検出装置であって、被検査物Ｓを透過した放射線を検出する第１放射線検出器３２及び第２放射線検出器４２と、検出タイミングの制御を行うタイミング制御部５０と、画像補正部３４とを備え、第１放射線検出器３２の画素の像検出方向に直行する直交方向での第１画素幅Ｗｂ１は、第２放射線検出器４２の画素の直交方向での第２画素幅Ｗｂ２より小さく、タイミング制御部５０は、第２放射線検出器４２の検出タイミングを第１放射線検出器３２の検出タイミングに同期させ、画像補正部３４は、第１放射線検出器３２からの画像における連続するＷｂ２／Ｗｂ１個の画素データを加算する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、現地プラント配管を撮影する際に、配管周囲が狭隘な状況においても、装置の動作範囲を小さくしつつ、広範囲の投影データを取得し、配管内部の微小欠陥などを画像化できる高画質な断層画像を作成することにある。
【解決手段】本発明は、放射線源と、検査対象物の着目点、さらに放射線検出器とを結ぶ直線と、放射線源から放射線検出器の検出面に対しておろした垂線とが為す投影角度は、再構成領域の両端が中央よりも小さいことを特徴とする。
【効果】本発明によれば、現地プラント配管を撮影する際に、配管周囲が狭隘な状況においても、装置の動作範囲を小さくしつつ、広範囲の投影データを取得し、配管内部の微小欠陥などを画像化できる高画質な断層画像を作成できる。 （もっと読む）

【課題】欠陥レビューのレポート作成に要する時間を短縮し、欠陥レビュー装置あるいは検査システムユーザの利便性を向上する。
【解決手段】被検査試料に存在する複数の欠陥のレビュー機能を有する欠陥レビュー装置に接続されて使用されるレビュー支援装置１３において、外観検査装置３などによって取り込まれた欠陥の位置情報と画像情報とを処理する演算手段と、欠陥レビューの結果を要約したレビューレポートを作成するための操作画面が表示されるモニタとを有し、レビューレポートのレイアウト編集機能を持ったレビューレポート作成ツール１０〜１２を構成することにより上記の課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】大口径の配管を現地で非破壊検査ができる配管の断層撮影装置およびその制御方法を提供する。
【解決手段】配管検査装置本体１００は、放射線源１と２次元放射線検出器２を対向配置する支持装置３と、軸方向駆動機構１９と、支持装置３を介して、放射線源１と２次元放射線検出器２を、配管横方向に並進移動させる横方向駆動機構１７，１８を備えている。制御コンソール２３において、軸方向駆動機構１９による並進走査の距離を設定するとともに、横方向駆動機構１７，１８の並進移動の横方向最大移動距離を設定する。また、横方向駆動機構１７，１８による配管横方向の並進移動の間隔を、２次元放射線検出器２の配管横方向の幅と、放射線源１と２次元放射線検出器２間の距離と、放射線源１と配管１５の放射線源１側表面までの所定距離とにもとづいて決定する。 （もっと読む）

【課題】光学的検査と電気的検査とを行う基板アレイ検査装置において、装置構成を小型化し、検査のスループットを向上させる。
【解決手段】ＴＦＴアレイ検査装置１は、電子線走査によって得られる二次電子を検出するメインチャンバー２０と、メインチャンバーとの間で基板２を搬出入するロードロックチャンバー１０と、基板の搬送方向と直交する方向の幅のライン状画像を撮像するライン撮像手段４０と、電気的検査画像を形成する検査画像形成手段５２と、光学画像を形成する光学画像形成手段４１と、検査画像および光学画像を用いて基板検出を行う基板検査手段６０とを備え、ライン撮像手段を、基板の搬送路上で、ロードロックチャンバーとメインチャンバーの境界近傍に配置する。メインチャンバーへの基板の搬入時に基板の光学画像を取得することで、光学画像を取得するスペースを不要として小型化し、検査のスループットを向上させる。 （もっと読む）

【課題】欠陥部分を拡大するなどして詳細に検査するときに、記録した参照画像の再利用率があがるように欠陥検出の処理手順などを改良することで、検出率を下げずに短時間に効率よく欠陥を観察することができるようにする。
【解決手段】欠陥画像と記録した参照画像を比較して欠陥を抽出できなかった場合に、新たに参照画像を撮像すること、複数の記録した参照画像やこれらを組み合わせて生成した参照画像と比較したり、異なる倍率の画像の倍率が同じになるように画像処理をしたり、機差による画像の視野を補正すること、記録した参照画像に対して、優先順やスクリーニングによる評価を行うことなどを特徴とする試料の観察方法とした。 （もっと読む）

【課題】プローバフレームの面剛性を高め、歪みを少なくし、これにより、各プローブピンとＴＦＴパネル基板の電極との接触圧力を均一化する。
【解決手段】本発明の外フレームは、アルミニウム合金の板材を基材とし、このアルミニウム合金の板材に、ステンレス合金の板材と繊維強化樹脂の板材の少なくとも何れか一方の板材を層状に連結して層構造を構成する。この層構造とすることによって、外フレームの曲げ剛性を向上させる。 （もっと読む）

本発明は、α相およびβ相を有する２相タイプのチタニウム合金を検査する方法に関する。方法は、
ａ）合金から作られた部分の試料を切断するステップと、
ｂ）試料のエッジ（５０）の近傍に位置する試料の切断面の領域（４）を調製するステップであって、領域（４）が観察されることができるようにするために、エッジ（５０）が部分の外面（１）と共通であるステップと、
ｃ）５０００倍よりも大きな倍率で領域（４）のα相を観察するステップと、
ｄ）試料のエッジ（５０）に隣接する第１のゾーン（１１）のα相に粒状性があるかないかを決定するステップと、
ｅ）隣接するゾーン（１１）のα相に粒状性がないことが認められるが、隣接するゾーン（１１）の外側のα相に粒状性（２２）がある場合、合金が気体で汚染されたと結論付けるステップと
を含む。
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【課題】
撮像する度に発生する異なる歪を算出し、画像毎に異なる歪補正をすることによって、高感度での欠陥検出を可能とし、かつ、歪の無い検査画像を出力する。
【解決手段】
検査画像をビーム走査方向に長い小領域に分割し，領域毎に参照画像と位置合せを行い，検査画像と参照画像の歪状態を補正し、歪補正した検査画像と参照画像の差分を演算して欠陥を検出し、欠陥箇所の歪補正した検査画像と参照画像とをＧＵＩ上に表示するようにした。 （もっと読む）

【課題】 屈折コントラスト法の問題点を解決することのできるＸ線撮像装置およびＸ線撮像方法を提供する。
【解決手段】 Ｘ線発生手段から発生したＸ線を空間的に分割する分割素子を有する。また、分割されたＸ線が入射する第１の蛍光体が複数配列された蛍光体アレイを有する。この第１の蛍光体は、Ｘ線の入射位置に応じてＸ線による蛍光の発光量が変化するように構成されている。また、蛍光体アレイから発光した蛍光の強度を検出するための検出手段を有する。 （もっと読む）

【課題】欠陥観察装置、欠陥観察方法、及び半導体装置の製造方法において、欠陥観察装置と基板との位置合わせ精度を向上させること。
【解決手段】基板Wの表面の欠陥D_iのそれぞれの欠陥座標を取得するステップＳ１と、欠陥D_iのそれぞれに所定領域Rを設定し、その中に含まれる欠陥の総個数N_iを計数するステップと、ステージ座標を一番目の欠陥D₁の欠陥座標に合わせることにより、顕微鏡の視野２２ｆ内に第１の欠陥D₁を導入するステップと、視野中心２２ｃと第１の欠陥D₁とのズレ量を取得するステップと、上記ズレ量に基づいて、第１の欠陥D₁よりも上記総個数が多い第２の欠陥D₂の欠陥座標を補正するステップと、補正後の第２の欠陥D₂の欠陥座標にステージ座標を合わせることにより、顕微鏡の視野２２ｆ内に第２の欠陥D₂を導入するステップとを有する欠陥観察方法による。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡において、従来、複数の方向からの試料の観察を一度に実施することは不可能であり、例えば、試料の３次元形状を求めるには、試料を様々な角度に傾斜させ、得られた各々の画像から３次元形状を再構築するトモグラフィー法、右視野像、左視野像の２枚の画像を試料の傾斜もしくは電子線の照射角度の変化によって作り出し、立体観察を可能成らしめるステレオ法などがあるが、いずれも複数枚の画像を得るには画像枚数回の画像取得作業を必要としており、時間分解能が低く、動的観察、実時間観察には至っていない。
【解決手段】照射光学系中に第１の電子線バイプリズムを設置し、角度の異なる２つの電子線を試料の観察領域に同時に照射する。この同時に試料を透過した２つの電子線を結像光学系に配置した第２の電子線バイプリズムにより空間的に分離して結像させ、照射角度の異なる２つの電子顕微鏡像を得る。この２つの画像を検出手段で取得しこれを元に試料の立体像や異なる情報を有する２つの像を生成し、表示装置に表示する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、実波形とライブラリとの比較に基づいて、形状を推定するに際し、適正な形状推定を行うことができるパターン形状選択方法、及び装置の提案を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、取得された波形をライブラリに参照することによって、パターンの形状を選択する方法、及び装置であって、試料に対する荷電粒子線の照射に基づいて、複数の波形取得条件にて波形情報を取得し、当該複数の波形情報を、複数のパターン形状毎に、異なる波形取得条件で取得された波形情報が記憶されたライブラリに参照することによって、前記ライブラリに記憶されたパターン形状を選択する方法、及び装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】不具合箇所を容易に特定することのできる半導体装置の解析装置及び解析方法の提供。
【解決手段】半導体装置の解析装置は、荷電粒子ビームを試料に照射し、検出した２次電子強度に応じた２次電子像を表示する機能を備える。解析対象の半導体装置に対し、第１の照射パターンで、荷電粒子ビームを照射して、電荷を注入する。次に、前記解析対象の半導体装置の電荷の蓄積状態を観測する。電荷の蓄積状態が正常でない箇所を、半導体装置の不具合箇所として検出することができる。 （もっと読む）

【課題】低速陽電子パルスビーム寿命測定法による薄膜材料の空孔サイズ計測の精度を向上させるために、従来よりも時間分解能に優れた低速陽電子パルスビーム測定方法及び測定装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】陽電子消滅ガンマ線を真空中で電場を印加した多孔材料体に照射し、ガンマ線照射により空孔壁から真空中に放出される電子を直接検出することによって陽電子消滅のタイミング計測を行うことを特徴とする低速陽電子パルスビーム寿命測定方法及び陽電子発生源と、パルス化装置と、試料と、陽電子消滅ガンマ線を電子に変換する多孔材料体と、該多孔材料体とアノード間に電場を印加する高電圧源を備えた低速陽電子パルスビーム寿命測定装置。 （もっと読む）

【課題】複数のエネルギー帯のＸ線を用いて測定対象の成分を計測できるとともに、測定対象に応じて識別すべきエネルギー帯を容易に変更できるＸ線成分計測装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生器１０から照射されたＸ線は、計測対象３０を透過して、Ｘ線検出器２０に入射する。Ｘ線検出器２０は、量子計数方式の検出器であって、予め設定された２個以上のしきい値で区切られたエネルギー帯のＸ線量子数を計数する。Ｘ線検出器２０により計数されたＸ線量子数に基づいて３種類以上の成分比を算出することができる。しきい値は、測定対象に応じて変更でき、しきい値を３個以上にとると、４種類以上の成分比を算出することができる。 （もっと読む）

【課題】部品(components)のインライン検査に適切なシステムを提供する。
【解決手段】Ｘ線照射によって複数の実質的に同一の部品(components)（１２）を自動的に検査しおよび／または測定するためのシステム（１０）は、Ｘ線装置（２４、２５）を備えた検査／測定装置（１１）と、検査／測定装置を取り囲む保護キャビン（１５）と、検査／測定装置へまたはそれから離れて部品(components)を連続して搬送するための搬送装置（１３）と、制御／評価ユニット（１４）であって、システムを自動的に制御するためにおよびＸ線信号を評価するために設定される制御／評価ユニット（１４）とを備える。検査／測定装置は、サポート（１７）と、連続して回転可能であるようにサポートに装着されたロータ（１８）とを備え、Ｘ線装置は、ロータに配置され、搬送装置は、ロータを通って部品を順次搬送するように設定される。 （もっと読む）

【課題】 自動分類の信用性を高めるために調整をしなければならない対象を容易に特定することのできる技術を提供すること。
【解決手段】 分類調整装置１４０は、電子顕微鏡１１０から得られた画像データよりより得られる欠陥の特徴量より、当該欠陥を第一のクラス群に分類し、当該第一のクラス群に分類された前記欠陥の前記特徴量より、前記欠陥を第二のクラス群に分類する。そして、前記第二のクラス群に分類された欠陥と、第二のクラス群に分類されるべき欠陥と、を比較することにより分類性能を算出し、算出した分類性能を予め定められた表示形式にして出力部１８０に出力する。 （もっと読む）