【課題】被検査体内部を非破壊で精度良く検査する。
【解決手段】超音波検査装置１０を用い、発信部１１から被検査体１に超音波バースト信号を発信し、超音波バースト信号が発信された被検査体１内からの反射信号をカンチレバー１２によって受信する。そして、超音波バースト信号の発信から反射信号の受信までの時間差であるエコー時間と、その反射信号を受信したカンチレバー１２の位置とを関連付けて、超音波検査装置１０の記憶部１５に記憶する。 （もっと読む）

【課題】 水浸共振法を用いて、薄板状被測定物内部に存在する異常部、微細欠陥、転位などを非破壊的に検出し画像化する超音波診断方法及び装置を提供する。
【解決手段】 水槽内に水平に設置した薄板状被測定物１３に焦点型著音波探触子１２により繰返数の多い一定周波数ｆの大振幅バースト波を送信し厚さ方向共振を励起する。ハイパスフィルタ４を介して共振により水中に漏洩した高次高調波を抽出し、その最大振幅及び共振開始時間から閾値に達するまでの時間差をマッピングすることにより、薄板状被測定物内部の介在物、マイクロボイド、マイクロクラック、転位などの異常組織を検出し画像化する。 （もっと読む）

【課題】表面形状が複雑な検査対象の非破壊検査を高速かつ高精度で行うレーザ超音波検査技術を提供する。
【解決手段】レーザ超音波検査装置１０は、第１レーザＲ１を検査対象Ｋに照射して超音波を励起させる送信レーザヘッド２１と、第２レーザＲ２を照射して検査対象Ｋを伝播する超音波を検出する受信レーザヘッド２２と、この受信レーザヘッド２２で検出した超音波に基づいて検査対象Ｋに含まれる欠陥を画像化するための信号処理部と、検査対象Ｋの表面に対する第１レーザＲ１及び第２レーザＲ２の入射角度を調整する角度調整部１３と、から構成される。 （もっと読む）

【課題】探触子位置を機械的に移動することなく簡便に表面検査画像を作成する。
【解決手段】液中に浸漬したアレイ探触子１０１をフェーズドアレイ方式で動作させ、そのアレイ探触子１０１と被検体１０２の間で液体を介して超音波を送受信して、受信した情報に基づく検査画像を表示部１０４で表示する超音波探傷装置において、アレイ探触子１０１から被検体１０２の入射点に斜角超音波を発信して被検体１０２の表面に表面波１０５Ｂを発生させ、その表面波１０５Ｂの伝搬方向であるＸ軸方向と、電子走査で移動させられる入射点１０５の移動方向であるＹ軸方向とによるＸ−Ｙ２次元座標軸にて検査画像を表示部に表示するための画像データを計算機１０３Ａで作成し、表示部１０４に検査画像１０４ＡをＣスコープで表示して可視化する。 （もっと読む）

【課題】レーザ超音波検出において、内部欠陥の大きさや形状を定量的に計測することを目的とする。
【解決手段】レーザ発振器（１）から被検体（４）へレーザ光を照射し、被検体（４）を伝搬してきた超音波（１１３）を超音波検出部（５）で検出する。演算部（８）は超音波検出部（５）から発生する信号から欠陥部（１５）の位置が輝度変化した画像の認識を行って、被検体（４）内部に存在する欠陥部（１５）を検出する。レーザ発振器（１）の発振タイミングと、演算部（８）が超音波検出部（５）から発生する信号を取り込むタイミングは、トリガー発生器（９）から発生するトリガー信号によって同期している。 （もっと読む）

【課題】検査画面とメニュー操作画面との切り換えを容易に行うとともに、メニュー操作を容易に行うことができる非破壊検査装置を提供する。
【解決手段】非破壊検査装置１は、送信コイル２２で形成された磁場を検出し、超音波探傷プローブ１２の３次元位置の情報を検出する受信コイル２４ａ〜２４ｃと、所定の切り換え指示に基づいて、プローブ軌跡表示画面５１と、メニュー操作画面６１とを切り換えて表示部４８に表示させるモード／設定処理部４１と、受信コイル２４ａ〜２４ｃで検出された超音波探傷プローブ１２の３次元位置の情報に基づいて、メニュー操作画面６１における設定を変更するためのポインタ６４の座標位置の情報を検出するポインタ画面座標計算部４３とを有する。 （もっと読む）

【課題】生体組織の音響パラメータの測定を正確に行うことができる音響パラメータ測定装置用試料支持体を提供すること。
【解決手段】試料支持体９は、生体組織８の音響パラメータを求める超音波画像検査装置１に使用される。試料支持体９は、生体組織８を密着させて支持するための第１面９１を有し、その反対側に位置しかつ超音波伝達媒体Ｗ１を接触させるための第２面９２を有する。試料支持体９は、親水性材料であるポリビニルアルコールを用いて形成されており、１．７５×１０^６Ｎｓ／ｍ^３以上の音響インピーダンス値を有している。 （もっと読む）

【課題】 半導体単結晶ウェハのような被検査物の表面に変色などの欠陥を生じせしめることなく、有害な微細結晶欠陥を確実に観察・検査することが可能な、半導体単結晶中の欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】 単結晶の被検査物４を、炭化水素系液体、アルコール系液体、またはケトン系の検査用液体５に浸漬し、前記被検査物４に対して当該被検査物４内での波長が６０μｍ以下または周波数が７８ＭＨｚ以上の超音波６を入射させ、当該被検査物４内で反射された超音波６に基づいて当該被検査物４内の結晶欠陥７の有無を検査する。 （もっと読む）

【課題】超音波探傷検査に用いられ、被検査材に超音波ビームを線収束させて送信しそのエコーを受信する線収束型の超音波探触子であって、超音波ビームの収束方向（走査方向）と直角な幅方向で探傷感度のばらつきを抑制でき、探傷能率を向上できる超音波探触子を提供する。
【解決手段】超音波探触子は、超音波の送受信口３が、超音波ビームを収束させる方向と直角な幅方向に延在する一対の直線１１で挟まれた平行部１０と、この平行部１０の両端それぞれに連なる半円２１で形成された先細り部２０と、から構成される。先細り部２０は、円弧、または連続した複数の直線で形成される構成に変形することができる。 （もっと読む）

【課題】探傷処理を高速化する。
【解決手段】超音波探傷装置は、一方向に配列された複数の超音波振動子を備えたアレイプローブと、超音波振動子を励振させるための励振パルスを出力するパルサー部と、超音波振動子が受信した超音波エコーの強度に応じた出力を取得し、エコー信号として出力するレシーバー部と、パルサー部による励振パルスの出力を制御するとともに、エコー信号の強度から被検体の損傷に関する情報を生成する制御部とを有する。主制御部は、複数の超音波振動子で構成されるグループ（＃ａ〜＃ｇ）の単位で、励振パルスの出力とエコー信号の受信の制御をする。その際に、直前のサイクルに制御対象としたグループから所定の間隔以上に離れたグループを、次の制御対象にする。 （もっと読む）

【課題】センサと検査対象の相対位置に関する情報が無い場合においても、３次元探傷データと３次元形状データの表示位置合わせを可能にし、欠陥エコーと形状エコーの識別を迅速にできるようにした超音波探傷方法および超音波探傷装置を提供することにある。
【解決手段】表示部１０３は、超音波センサで受信した複数の超音波波形から作成した超音波探傷データと、検査対象の３次元形状データに基づいて音線追跡法により計算した複数の超音波伝播データを比較することにより、超音波探傷データまたは３次元形状データの表示位置を移動して両者を重ねて表示する。 （もっと読む）

【課題】従来よりも検査精度の向上させた三次元超音波検査装置を提供する。
【解決手段】三次元超音波検査装置１０は、複数の圧電振動子２０をｍ×ｎに配設した超音波トランスデューサ１１、順次選択される圧電振動子２０から発振された超音波を検査対象物１４の接合部１５に入射させて反射したエコーを受信し、当該エコーの電気信号を検出し信号処理して三次元画像化データを生成する信号処理部１７、三次元画像化データの深さ（ｚ）方向の強度分布の第１ピーク及び第２ピークを検出するピーク検出部５１，５２、第１ピークと第２ピークのｚ方向距離をｘ−ｙ平面にマッピングして接合部１５の三次元画像を生成する接合部画像生成部３６、接合部１５の接合状態を二段階の良否判定によって判定する良否判定部３７及び接合部三次元画像及び接合部１５の接合良否判定結果を表示する表示部３８を備える。 （もっと読む）

【課題】 位置決めロボットで位置決めすることのできる位置決め分解能は、軸制御部から軸移動用パルス信号が通常１パルスだけ送信された場合に移動する距離であって、前記距離以下での細かい位置決めは不可能であった。
【解決手段】 記憶装置にデジタルデータとして連続的に記録された超音波エコー信号のそれぞれの同期時間に対して、位置決めロボットの速度と同期信号の時間間隔から測定範囲内での位置決めロボットによって走査された超音波トランスデューサの位置を再計算して、対応する位置の超音波エコー信号を画素データに変換し、対応する位置情報から画像の位置にプロットし、表示装置に表示する超音波画像装置。 （もっと読む）

【課題】複数の被検査物について行う超音波探傷検査の作業効率を向上させる。
【解決手段】超音波探傷装置１は、被検査物９が載置されるパレット５と、パレット５を所定の水平方向に延びる検査搬送路２３，３３上で間欠搬送する搬送手段２３２，３３２と、検査搬送路２３，３３の途中位置に配設されて、被検査物９に対し超音波探傷検査を行う探傷手段４と、を備える。探傷手段４は、被検査物９に向かって超音波を送信する送信子と、被検査物９からの超音波を受信する受信子とを含んで構成される探傷子と、パレット５の間欠搬送に同期して、探傷子を搬送方向に直交する主走査方向に往復走査する走査機構４２と、を有している。 （もっと読む）

【課題】多結晶シリコン成形体の材料欠陥を破壊なしに試験する方法を提供する。
【解決手段】ポリシリコン成形体に超音波を照射し、ポリシリコン成形体が通過後に超音波受信機により超音波を記録し、これによりポリシリコン中の材料の欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】狭隘部に存在する複数あるいは広い面積の検査対象を感度よく効率的に検査できるレーザー超音波検査装置を提供する。
【解決手段】第１のレーザー光を被検査材に照射する照射手段２と、第２のレーザー光を前記被検査材表面に照射し、その反射成分を受光する照射・集光手段M6と、集光された前記反射成分から第１のレーザー光の照射によって被検査材に発生した超音波信号を光学的に検出する受信用光学系OPと、OPで受信された超音波信号を電気信号に変換する信号変換手段RECと、RECの出力信号を信号処理から超音波の伝播と前記被検査材の特性に関する情報を演算し表示し記録する信号処理手段41を備えたレーザー超音波検査装置において、２およびM6の少なくとも一方を前記被検査材の検査すべき部位の数と同数備え、第１および第２のレーザー光の偏向で選択された各検査点の計測信号を各々の検査点ごとに分別する信号分別手段を備える。 （もっと読む）

【課題】構造物内部状態計測において、超音波を用いてさらに精度よく、測定対象である構造物の内部状態を計測することである。
【解決手段】構造物内部状態計測システム２０は、構造物１０に超音波を印加供給する超音波供給部３０と、構造物１０の内部を伝播する超音波振動１８を検出して超音波検出信号を出力する超音波検出部４０と、構造物１０を移動可能に支持する試料保持部４４と、試料保持部４４を移動させる走査機構部４６と、超音波検出部４０からの超音波検出信号を受け取り、これに周波数解析を行い、得られるスペクトル分布に基いて計測を行う内部計測部５０を含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】基台に対する板状部材の接着状態の不良を検査すること。
【解決手段】凹部が形成された基台３０１及びこの基台３０１の凹部に係合し当該凹部の底面に接着される板状部材を有する保持テーブル３における基台に対する板状部材の接着状態を検査する超音波検査装置１において、基台３０１の凹部の底面と板状部材３０２の被接着面との接着部位に超音波を照射し、当該接着部位からの反射エコーを測定し、上記接着部位からの反射エコーを、色情報を有する画像データに変換し、この画像データの色情報に応じて板状部材３０２の被接着面と基台３０１の凹部の底面との間の接着状態の不良を判定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被検査領域内の広い範囲において欠陥を効率よく検出することができる超音波探傷方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、発信探触子１２ａと受信探触子１２ｂとを欠陥ＣＬ１と直交する方向に並べ、被検査領域５５に沿って移動させつつ発信探触子１２ａから超音波を発信させると共に欠陥ＣＬ１が生じていた場合にこの欠陥ＣＬ１で回折又は反射した超音波を受信探触子１２ｂで受信して、欠陥ＣＬ１の有無又は欠陥ＣＬ１の生じている領域を検出する第１の探傷工程と、斜角探触子１３を欠陥ＣＬ１の生じている領域に対して直交する方向に配置し、欠陥ＣＬ１の生じている領域に対して直交する方向に表面５３上を移動させつつ、傾斜した方向に超音波を発信させると共に欠陥ＣＬ１で回折又は反射した超音波を受信することにより欠陥高さＨを検出する第２の探傷工程と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】超音波検査システムにおいて、物体に存在する損傷等からの検出信号のＳＮ比を向上させることを可能とすることである。
【解決手段】超音波検査システム１０は、レーザ光を物体に照射して超音波振動を物体に励起させるためのレーザ駆動装置１２、物体５０の表面にレーザ光を走査させるためのガルバノスキャナ１４、物体５０に配置される複数の受信手段である超音波探触子１６，１８、制御装置３０等を含んで構成される。制御装置３０は、レーザ光の走査のタイミングに対応して各受信手段が受信した検出信号に基づき、物体における超音波振動分布を各受信手段ごとに２次元面に画像化する個別画像化処理部３２と、複数の個別画像化データについて、同一位置における複数の画像データを和演算または積演算してその位置の強調処理データとする強調処理を行う強調画像化処理部３４を含む。 （もっと読む）