【課題】露光工程前に異物検出を行い、基板に付着している異物を同定するシステムを提供する。
【解決手段】基板上に付着する異物を同定するシステムであって、異物の特性と発生状況を示す異物発生状況集計データベースと異物の発生状況と該異物の分析結果による異物名の対比を示す異物分析情報管理データベースと異物検出装置とを有し、基板上の付着異物を基板を露光する前に前記異物検出装置によって得られた検出結果情報と前記異物発生状況集計データベースとを照合し、照合して得られた照合結果と前記異物分析情報管理データベースとを対比して推定異物情報を取得して異物を同定することを特徴とする異物同定システム。 （もっと読む）

【課題】検査対象物中に含まれる異物をより充分に検出することができる異物検査装置を提供する。
【解決手段】異物検査装置１は、検査対象物９中に混在する異物を検査する装置であって、ドラム１０、対象物供給部２０、第１撮像部３１、第２撮像部３２および解析部６０を備える。ドラム１０は、円筒形状を有し、水平な中心軸の周りに回転するものであって、透明な材料からなる。対象物供給部２０は、ドラム１０の表面のうち検査対象物９との間で滑りが生じない所定領域上に検査対象物９を供給する。第１撮像部３１は、ドラム１０の外部に設けられ、ドラム１０の所定領域に含まれる第１撮像領域上にある検査対象物９をドラム１０の外部から撮像する。第２撮像部３２は、ドラム１０の内部に設けられ、ドラム１０の所定領域に含まれる第２撮像領域上にある検査対象物９をドラム１０の内部から撮像する。 （もっと読む）

【課題】内筒の内側にチャンバを形成することにより、内筒の円周方向に延びる円弧状溝の長さの範囲内で複数の連通孔を設けることができ、必要な有効流路断面積を容易に確保できるロータリバルブ装置を提供する。
【解決手段】固定側部材である内筒５１と回転側部材である外筒５２とを備え、外筒５２が内筒５１に対して摺接しながら回転することにより、内筒５１の外周面に形成された円弧状溝５１ａと外筒５２に形成された連通孔５２ｈとが断続的に連通するように構成されたロータリバルブ装置５０において、内筒５１の内側に固定軸３９を設けて内筒５１を固定軸３９に固定するとともに内筒５１と固定軸３９との間に所定容量のチャンバ５３を形成し、内筒５１に、円弧状溝５１ａの底部とチャンバとを連通する複数の連通孔５１ｈを設けた。 （もっと読む）

【課題】水に濡れた被検査体に含まれる異物を判別する精度を向上させること。
【解決手段】特定の単一波長且つ直線偏光のレーザー光を被検査体（Ｓ）に照射する照射光源系（７）と、前記被検査体（Ｓ）自身による前記レーザー光の偏光方向とは異なる方向成分を含む反射・散乱光と、前記被検査体（Ｓ）表面の水による前記レーザー光と同じ偏光方向の反射光と、を含む反射・散乱光の中で、少なくとも前記レーザー光の偏光方向とは異なる方向の偏光成分を含む反射・散乱光を受光する受光素子（ＰＤ１〜ＰＤｎ）を有する受光光学系（８）と、受光した反射・散乱光の前記レーザー光の偏光方向とは異なる方向の偏光成分に基づいて、前記被検査体（Ｓ）が異物であるか否かを判別する異物混入判別手段（１１Ａ）と、を備えた異物混入判別装置（６）。 （もっと読む）

【課題】検査部の異常を感知して又はその他の理由によりシート状物の搬送を停止し、その後にシート状物の搬送を再開する際に、シート状物を全体ではなく、部分的に所要長さだけ逆送りさせることにより、簡単かつ速やかにラインスキャンが開始できる。
【解決手段】一定間隔ごとに検査部を有するシート状物３を巻き出す巻出ローラ４及び巻き取る巻取ローラ５を備え、これら巻出ローラ４及び巻取ローラ５間にシート状物３の検査部の画像を写すラインスキャン型のセンサ６と、このセンサ６の画像情報に基づいて検査部の異常を感知する感知判断装置７と、シート状物３を搬送する搬送装置８とが設けられ、搬送装置８は、シート状物３の搬送を開始する前にセンサ６の検出部位Ｘに位置するシート状物３を所要長さ逆送りさせる逆送手段９を有している。 （もっと読む）

【課題】光の干渉による影響を大幅に抑制し、検査対象物の外観検査を極めて高精度に行うことが可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置１０は、透明テーブルＴと、素体供給ユニットＡ１０と、第１姿勢矯正ユニットＢ１０と、第２姿勢矯正ユニットＣ１０と、第１撮像ユニットＤ１０と、第２撮像ユニットＥ１０と、第３撮像ユニットＦ１０と、第４撮像ユニットＧ１０と、第５撮像ユニットＨ１０と、第６撮像ユニットＩ１０と、良品回収ユニットＪ１０と、不良品回収ユニットＫ１０と、制御部１２とを備える。透明テーブルＴの周縁近傍には、透明テーブルＴの回転方向（矢印Ｒ方向）に沿って、第１撮像ユニットＤ１０、第２撮像ユニットＥ１０、第３撮像ユニットＦ１０、第４撮像ユニットＧ１０、第５撮像ユニットＨ１０及び第６撮像ユニットＩ１０がこの順に配置されている。 （もっと読む）

【課題】省スペース性および運用作業性に優れた検査装置付き折畳機の提供。
【解決手段】シート状物品を搬送する複数のコンベアからなるコンベア機構、および、コンベア機構により搬送されるシート状物品の折り手段を有する折畳機構が配置された機枠体と、撮像部、照明部および表示画面を有する操作部を含んで構成される検査装置と、表示画面および制御盤を有する制御部と、を備え、機枠体の一方の側面に検査装置の操作部を一体的に配置し、機枠体の他方の側面に制御部を一体的に配置し、かつ、操作部の表示画面および制御部の表示画面を機枠体の側面と隣接する同一面に配置したことを特徴とする検査装置付き折畳機。 （もっと読む）

【課題】判定結果の信頼性を向上させることができる物品検査装置を提供すること。
【解決手段】被検査物Ｗを搬送する搬送部２と、搬送部２により搬送される被検査物Ｗを同一検査条件で複数回検査して、検査毎に被検査物Ｗが良品または不良品のいずれであるかの仮判定を行う仮判定部５と、仮判定部５が検査毎に複数行った仮判定に基づいて、被検査物Ｗが良品または不良品のいずれであるかの本判定を行う本判定部６と、を備えた。また、本判定部６が、仮判定部５が行った複数の仮判定のうち良品の仮判定が不良品の仮判定よりも多かったとき、被検査物Ｗが良品であるとの本判定を行う。 （もっと読む）

【課題】半導体チップの有無に応じて検査エリアを設定し、効率的に外観検査が行える半導体チップの外観検査方法を提供する。
【解決手段】半導体チップ２６が配列された領域を含む外観検査エリア４０を格子状に区分けして、複数の第１外観検査エリア４２を設定するステップと、第１外観検査エリアに斜め上方から光を照射し、半導体チップの有無を検出し、検出された半導体チップの座標を求めるとともに、半導体チップの第１外観検査を行うステップと、半導体チップの座標データに基づいて、第１外観検査エリア４２を、半導体チップが配列されていない領域５１はスキップするとともに、同一の半導体チップを２度検査しないように区分けして、複数の第２外観検査エリア５２〜５５を設定するステップと、第２外観検査エリアに上方から光を照射し、半導体チップの第２外観検査を行うステップと、を具備する。 （もっと読む）

【課題】円筒体における凸状欠陥の検査を簡単かつ正確に行える円筒体の表面検査装置を提供する。
【解決手段】本発明は、円筒体Ｗを軸心回りに回転させつつ、表面状態を検査するようにした円筒体の表面検査装置を対象とする。本装置は、円筒体Ｗの周面端部に転がり接触し、かつ円筒体の位置を規定する基準ローラ５１と、円筒体Ｗの周面端部に凸状欠陥Ｗ５が形成されている場合に、その凸状欠陥Ｗ５に基準ローラ５１が接触して、円筒体Ｗが乗り上がることにより、円筒体が径方向に変位する際の変位量を検出する変位量検出手段と、変位量検出手段からの情報に基づいて、円筒体における凸状欠陥の有無を検出する凸状欠陥検出手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被検査物の側面の全周検査を、１台のＣＣＤカメラを用いて高速かつ効率的に精度良く行えるようにすることを課題としている。
【解決手段】外径面２ａが鏡面、内径面２ｂがプリズム面として構成されたコーンレンズ２と、カメラ１と、環状光源３を有し、これ等が検査部中心Ｃと同軸上に配置され、環状光源３からの照明光をコーンレンズ２に通し、内径面２ｂ、外径面２ａで順に反射させて検査部Ｂに導き、その照明光で検査部Ｂに送り込まれる被検査物Ａの搬送面１０ａ上に置かれた部分の外周の側面を照明し、その側面の全周の画像を前記外径面２ａ、内径面２ｂで順に反射させてカメラ１に取り込むようにした。 （もっと読む）

【課題】リードフレームの最終検査における各種の不良項目の検査を、同時かつリアルタイムに高い信頼性の下で行うことが可能な検査装置を提供すること。
【解決手段】板状金属製品の検査装置であって、板状金属製品に照明光を照射する複数種類の照明手段と、板状金属製品を撮像する複数の撮像手段と、板状金属製品を一定速度で一方向へ移動する搬送手段と、搬送手段上に板状金属製品を１枚ずつ供給する供給部と、複数の撮像手段により板状金属製品を撮像して得られた画像データを用いて板状金属製品に存在する不良を検出し良否判定する検査部と、検査部によって良否判定された板状金属製品をその良否により仕分けして排出する排出部と、検査装置全体の動作制御を行う制御部とを備え、各撮像手段が搬送手段と同期を取りつつ各撮像手段の撮像位置に到達した板状金属製品の撮像を行うことを特徴とする板状金属表面検査装置。 （もっと読む）

【課題】検査領域が適正な検査範囲に設定され、検査領域に検査すべきでない範囲が入り込むことがなく、高精度のシール異常の検出を行うことができる包装体におけるシールの異常を検査する方法及び検査装置を提供すること。
【解決手段】被包装物を収納して端部をシールする包装体におけるシール部の異常を検査する検査方法であって、前記シール部を撮像し、得られた画像からシール部の外縁を検出し、外縁と異なる変形量で内縁を変形させて設定し、該外縁と内縁の間の領域を検査領域として設定して、検査領域内の画像データを用いて、被包装物のシール異常の存否を検査することを特徴とする包装体におけるシール部の異常を検査する検査方法。 （もっと読む）

【課題】手間と検査時間が掛からず、コストを節約し作業効率をアップでき、検査の正確度を上げて、ベアチップを損壊させない、ベアチップ用両面検査設備を提供する。
【解決手段】搬入装置１、正面画像キャプチャ装置３、透明ガラス４、背面画像キャプチャ装置５、ピックアップ装置６、及びコントローラー７を包含する。正面画像キャプチャ装置３がトレイ１３上の複数のベアチップ２の正面画像１４１を撮影並びに検出し、続いてピックアップ装置６がトレイ１３上の被検査ベアチップ２を取り出し並びに透明ガラス４の上に置き、更に背面画像キャプチャ装置５が下から上に被検査ベアチップ３の背面画像１５１を撮影並びに検査し、最後に検査結果によりピックアップ装置６がベアチップ２を搬出する時に分類する。 （もっと読む）

【課題】ハードディスクの平面部及び端面（エッジ部）の同時検査に好適なディスク検査装置及び方法並びにプログラムを提供する。
【解決手段】エッジを含んだディスク表面の所定形状の検査領域部分を視野内に含む撮像手段を用いて当該検査領域部分からの反射光を撮像することにより得た取り込み画像からハードディスクのエッジ位置を検出するエッジ検出処理手段と、当該検査対象ディスクの内径、外径及び記録面領域の範囲を規定する仕様情報を取得する情報取得手段と、検出したエッジ位置と仕様情報に基づき、取り込み画像を記録面領域、非記録内周領域、非記録外周領域、外周エッジ領域、内周エッジ領域の各領域に対応したウインドウに分離するウインドウ分離手段と、各領域ごとにデータ処理を行い、塵埃の位置及び大きさの情報を得る画像解析手段と、得られた結果をモニタ画面上に表示させる表示制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】被検査部品の外周を検査する装置および検査方法であって、特に被検査部品の外周上の特定箇所を検査する場合、検査時間を短縮可能な部品検査装置および部品検査方法を提供する。
【解決手段】被検査部品Ｓには外周に開口する貫通孔が穿設され、この貫通孔の両開口Ｈを検査する場合、まず当該貫通孔のどちらか一方の開口Ｈを撮像手段３２が検出するまでは、当該被検査部品を高速で自転させ、撮像手段が当該開口を撮像した後には、当該被検査部品Ｓを高速で１８０度自転させることにより当該貫通孔のもう一方の開口を撮像手段３２が検出して撮像することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】媒体の選別精度を向上させつつ生産性の低減を抑制すること。
【解決手段】元画像（６）に基づいて画像を媒体（Ｓ）に記録する画像記録部（ＵＹ〜ＵＫ＋Ｔ１＋Ｂ＋Ｔ２＋Ｆ）と、分岐路（３）が接続される検査路（ＳＨ６）と、搬送先を切り替える排出切替部材（Ｇ３）と、媒体（Ｓ）を撮像する撮像部材（４）と、媒体（Ｓ）を搬送する搬送部材（Ｒａ１，Ｒａ２）と、元画像（６）と撮像された画像（７）とに基づいて欠陥があるか判別する画像欠陥判別手段（Ｃ２ｅ）と、搬送部材（Ｒａ１，Ｒａ２）による搬送速度を制御して媒体（Ｓ）を搬送させる搬送速度制御手段（Ｃ２ｇ）と、欠陥があると判別された場合に搬送先を分岐路（３）に切り替える排出切替部材制御手段（Ｃ２ｆ）と、分岐路（３）に搬送された媒体（Ｓ）が排出される欠陥媒体排出部（ＴＲｈｐ）と、を備えた画像形成装置（Ｕ）。 （もっと読む）

【課題】成形むらを欠けと区別できるようにし、良品である成形むらの無駄ばねを抑制することを可能にする。
【解決手段】検査領域生成部１６は、検査対象である物品Ｇの濃淡画像について指定した着目領域から検査領域を生成する。方向値画像生成部１４は、検査領域に含まれる画素の濃度勾配に対応付けた方向値を各画素の画素値とする方向値画像を生成する。着目画素抽出部１７は、方向値画像のうち物品の成形むらに相当する特定の方向値を持つ画素を着目画素として抽出する。演算部１８は、検査領域において方向値を持つすべての画素の画素数に対する着目画素の画素数の割合を算出する。判定部１９は、演算過程において求めた割合を欠けに対する範囲として規定した数値範囲と比較し前記割合が当該数値範囲を逸脱しているときには成形むらであると判定する。 （もっと読む）

【課題】複数のチップ部品を順次１つずつ連続して高速に、しかも精度良く確実に外観検査することのできる外観検査装置を提供する。
【解決手段】部品供給機構から搬送路上に供給されたチップ部品を検出する光電センサの出力に基づいて前記搬送路上における複数のチップ部品の並びの良否を判定し（判定手段）、前記搬送路上のチップ部品を撮像するカメラの上流側に設けた排除機構により、並びが不良と判定されたチップ部品を前記搬送路上からを排除して前記カメラによる検査対象から除外する。 （もっと読む）

【課題】 ＦＰＤの滅点と塵埃を識別することができるディスプレイ検査装置を提供する。
【解決手段】 複数の異なる原色を発色する素子が画素ごとに配列され、素子が発色する輝度に基づきカラー表示するディスプレイを検査するディスプレイ検査装置であって、ディスプレイ２とＣＣＤ３１とを搭載し、ディスプレイ２とＣＣＤ３１との位置関係を維持しつつ素子の配列の並び方向に移動可能な移動部３２と、ディスプレイ２上に表示された像を折り返してＣＣＤ３１に伝送する伝送部（ミラー３４、等倍結像用レンズ３５）と、移動部３２の移動前に、ＣＣＤ３１が伝送部によって伝送された像を撮像した画像と、移動部３２の移動後に、ＣＣＤ３１が伝送部によって伝送された像を撮像した画像とで、ディスプレイにおける素子の点欠位置に差がある場合、点欠を異物による点欠とする制御部３３と、を備えた。 （もっと読む）