【課題】当該対象物に正確に荷重を加えることができる試験試料装着装置、曲げ強さ試験装置及び曲げ強さ試験方法等を提供することを目的とする。
【解決手段】荷重を加えることにより試験試料を屈曲させ当該試験試料の耐久性を測定する曲げ強さ試験装置に用いられる試験試料装着装置１３ａ及び１３ｂは、前記屈曲に伴い、把持部２１ａ及び２１ｂを回動し、一対の把持部２１ａ及び２１ｂを近接又は離反するように移動可能とする軸部２２ａ及び２２ｂと、を備える （もっと読む）

【課題】 本発明は、既知の方法の欠点である、ミリングによって曝露された面では像が生成されないこと、及び如何なるエンドポイント指定もウエハ表面から生成される像に基づかなければならないことを解決することを目的とする。
【解決手段】 本発明は、FIB鏡筒のみが用いられている装置によって、この問題に対する代替解決策を提供する。
薄片を最終的な厚さ-たとえば30nm-にまでミリングするため、集束イオンビーム100は前記薄片に沿って繰り返し走査される。前記薄片をミリングしている際、前記薄片から信号が得られ、該信号はエンドポイント指定にとって十分であることが分かった。検査用のさらなる電子ビームは必要ない。 （もっと読む）

【課題】ＦＩＢ加工で薄片試料を作製する際に保護膜形成時に穴が形成されず穴からリデポすることを防ぎ、電子顕微鏡にて良好な像を取得することのできる薄片試料作製方法を提供することを課題とする。
【解決手段】集束イオンビーム装置を用い試料から薄片試料を作製する薄片試料作製方法であって、試料の薄片試料作製箇所にインクを塗布し塗膜を形成する工程と、試料を前記集束イオンビーム装置に導入し、金属系材料を用い薄片試料作製箇所にイオンビームにより保護膜を形成する工程と、前記保護膜が形成された薄片試料作製箇所についてイオンビームによるエッチング加工により薄片試料を作製する工程とを順に備えることを特徴とする薄片試料作製方法とした。 （もっと読む）

【課題】薄膜状試料に張力を与えた時に発生するクラックについて、引張り率の変化やさらには温度依存に応じた挙動の詳細な観察を容易かつ簡単にできる薄膜試料観察用治具を提供する。
【解決手段】基板１０の載置面１０ａ上に載置された薄膜状試料４０を固定する試料固定機構２０と、基板１０の載置面１０ａ上に固定された薄膜状試料４０に張力を付与する張力付与機構３０を備え、張力付与機構３０は、張力が付与された薄膜状試料４０を加熱する加熱手段を含んで構成されている。 （もっと読む）

【課題】フッ素化合物中の不純物成分を高精度で且つ低濃度まで分析可能にする。
【解決手段】まず、コップ状に形成されたアルカリ金属塩のカプセルの中空部分にフッ素化合物の試料を量り取る。そして、その中空部分の開口をアルカリ金属塩の塊状の蓋で密閉し、フッ素化合物の融点以上４００℃以下に設定された熱処理温度まで昇温して試料を融解させたあと溶液化し、その溶液中の不純物を定量分析する。 （もっと読む）

【課題】角型のトレー内にパラフィン等を流入させ、組織片や細胞のような被保管物質を包埋保管する行程にあって、上記トレーに記述等された保管者情報メモ部分を損傷させることがないように工夫された保護カバーである。
【解決手段】有底角型の皿状トレー本体で、少なくともその正面には保管者の氏名や、保管時の年齢や、血液型、その他の理学的症候的所見などが記載され文字や図形あるいはバーコードなどが貼装あるいは直接彫刻して描かれた保管者情報部位があり、かつ該トレー本体内に細胞などの被保管物質を置き、次いでパラフィン等を流入させ被保管物質を保管する行程に用いられるカバー本体であって、かかるカバー本体は上記保管者情報部位を密に覆い、トレー本体に取り付け取り外し出来るように設けたこと。 （もっと読む）

【課題】小型で測定誤差が小さく、高精度な測定を行うことが可能な粒子状物質検出装置を提供する。
【解決手段】一方の端部に貫通孔２が形成された検出装置本体１と、貫通孔２を形成する一方の壁の内側面に配設された一対の計測電極１５，１６と、計測電極１５，１６から延びる一対の計測電極配線１５ｂ，１６ｂと、貫通孔２を形成する壁の内部に埋設された、誘電体で覆われた一対の集塵電極１１，１２と、誘電体を通じて計測電極配線１５ｂ，１６ｂに流れる電流を遮断するためのシールド電極１７と、を備え、貫通孔２内に流入する流体に含有される粒子状物質を一対の電極１１，１２により荷電して貫通孔２の壁面に吸着させ、一対の計測電極１５，１６により貫通孔２を形成する壁の電気的な特性の変化を測定することにより貫通孔２の壁面に吸着された粒子状物質を検出することが可能な粒子状物質検出装置１００。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハやデバイスチップから所望の特定領域を含む試料片のみをサンプリング（摘出）して、分析／計測装置の試料ステ−ジに、経験や熟練や時間のかかる手作業の試料作り工程を経ることなく、マウント（搭載）する試料作製方法およびその装置を提供すること。
【解決手段】FIB加工と、摘出試料の移送、さらには摘出試料の試料ホルダへの固定技術
を用いる。
【効果】分析や計測用の試料作製に経験や熟練技能工程を排除し、サンプリング箇所の決定から各種装置への装填までの時間が短縮でき、総合的に分析や計測の効率が向上する。 （もっと読む）

【課題】製作歩留まりがよく長期間にわたって安定して使用でき、バックグラウンドを抑制する、蛍光Ｘ線分析用のドリフト補正試料等を提供する。
【解決手段】本発明のドリフト補正試料１は、蛍光Ｘ線分析装置１０における測定強度の径時変化を補正するための基準となるドリフト補正試料１であって、母材であるポリイミドまたはパリレンに少なくとも１つの分析対象元素が混入され、厚さが０．１ｍｍ未満に製膜される。 （もっと読む）

【課題】フィルム中の特定成分の表面近傍の成分量と内部に存在する成分量を区別し、深さ方向における特定成分の成分量を求めるための深さ方向分析方法を提供することを課題とする。
【解決手段】フィルムの特定成分の成分量を深さ方向に分析する深さ方向分析方法であって、フィルム表面の特定面積Ｓ_１について第１の溶媒を接触させる工程と、時間Ｔ_１経過後に前記第１の溶媒を回収する工程と、前記回収した溶媒についてクロマトグラフィーをおこない、特定成分の成分量ｍ_１を求める工程と、フィルム表面の特定面積Ｓ_２について第２の溶媒を接触させる工程と、時間Ｔ_２経過後に前記第２の溶媒を回収する工程と、前記回収した溶媒についてクロマトグラフィーをおこない、特定成分の成分量ｍ_２を求める工程とを備え、且つ、少なくとも第１の溶媒と第２の溶媒の溶解度パラメーターが異なる、または、時間Ｔ_１とＴ_２が異なることを特徴とする深さ方向分析方法とした。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハやデバイスチップから所望の特定領域を含む試料片のみをサンプリング（摘出）して、分析／計測装置の試料ステ−ジに、経験や熟練や時間のかかる手作業の試料作り工程を経ることなく、マウント（搭載）する試料作製方法およびその装置を提供すること。
【解決手段】FIB加工と、摘出試料の移送、さらには摘出試料の試料ホルダへの固定技術
を用いる。
【効果】分析や計測用の試料作製に経験や熟練技能工程を排除し、サンプリング箇所の決定から各種装置への装填までの時間が短縮でき、総合的に分析や計測の効率が向上する。 （もっと読む）

【課題】凍結破断法による断面観察試料作製時における損傷や物理的変性を軽減した断面観察試料作製方法を提供することを課題とし、容易かつ簡便に、微小、微量であっても断面作製が可能な固定用冶具を提供することを課題とする。
【解決手段】フィルム状またはシート状の試料を凍結破断法によって破断し断面観察試料を作製するための固定用治具であって、前記フィルム状またはシート状の試料の一方の面と接触させるため基材と、前記試料の両端を基材と固定するための固定具を備え、且つ、前記基材が曲げ可能であることを特徴とする固定用治具とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は電子顕微鏡の試料コーティング方法に関し、絶縁試料の導電性処理を簡易な構成で行なうことができる電子顕微鏡の試料コーティング方法を提供することを目的としている。
【解決手段】走査型電子顕微鏡１０と集束イオンビーム装置１１との光学系を備え、これら二つの光学系の光軸が試料位置の一点で交わる構造のマルチビーム装置において、マルチビーム装置のチャンバ１にその先端部のプローブ１３の位置が移動可能なマニピュレータ１２を設置し、該設置されたマニピュレータ１２のプローブ先端に蒸着材料保持機構を設け、イオンビームによって加工された絶縁試料の加工断面近傍に前記蒸着材料保持機構を近づけ、該蒸着材料保持機構内の蒸着材料に前記集束イオンビーム装置１１からイオンビームを照射してスパッタリングを行ない絶縁試料の加工断面に該蒸着材料をコーティングさせるように構成する。 （もっと読む）

【課題】岩石などの鉱物材料に対しても効率的に破砕することができる試料破砕具を提供する。
【解決手段】細長い有底円筒状で内底面が略半球状または半楕円球状の容器本体５と、容器本体５の開口部を開閉可能に封止する蓋体６とを備えた破砕容器２と、容器本体５内に周方向に隙間をあけて配置され、容器本体５の軸心にほぼ沿った姿勢を保持してほぼ軸心方向に相対移動可能な円柱状の本体部７と、本体部７の少なくとも一端から突出されかつ径が端部に向けて細くなる接続部８と、接続部８に連続する最大径部の直径ｄ２が本体部７の直径ｄ１より小さい略半球状又は半楕円球の破砕端部９とを有する破砕媒体３とを備え、破砕容器２内に破砕対象の試料４とともに破砕媒体３を収容し、破砕容器２を振動させて試料４を破砕するようにした。 （もっと読む）

【課題】大気中における抗原濃度を測定または推測する際に、大気中に含まれる微小物質を効率よく捕集する。
【解決手段】測定器３の開口部に測定用チップ８を挿入すると、測定器３の制御部３１は、測定用チップ８に備えられた吸引ポンプに対向する押圧部を駆動部３４により駆動させる。これにより、吸引ポンプの容量が変動し、吸引口から吸着室へ向かう気流が発生する。この発生した気流に伴って、旋回翼が回転するので、吸着室の内部の気体は旋回する。そして、旋回した気体は吸着室の吸着面にあたった後、排出口から排出される。制御部３１は、吸引ポンプにこの動作を行わせ、所定時間が経過すると吸引ポンプを停止させる。これにより、吸着室の底に備えられた吸着面には、吸引した大気に含まれる粒子が吸着す
る。 （もっと読む）

【課題】微小な特定箇所を劈開して断面を得ることができるミクロ断面加工方法の提供を提供する。
【解決手段】試料表面２ａに、観察対象３が含まれる線状の断面予想位置３Ｌを決定する工程と、断面予想位置に対して、集束イオンビーム２０Ａを垂直または傾斜角を持って照射させ、断面予想位置の前方の位置で断面１０を形成する工程と、断面の両端部に集束イオンビームを照射させ、断面予想位置より後方の位置まで延びる側面切込み１２、１２を形成する工程と、断面予想位置より後方の位置まで延びる底部切込み１４を形成する工程と、側面切込みから断面予想位置に沿って集束イオンビームを照射させ、底部切込みに接続する楔１６，１６を形成する工程と、試料の断面予想位置より前方の部位２ｘに衝撃を加え、楔で挟まれた断面予想位置の近傍を劈開させ、劈開面Ｓを形成する工程とを有するミクロ断面加工方法である。 （もっと読む）

【課題】弱磁性体などの物体（試料）に作用する重力を打ち消せるような強い磁気力を発生させることができ、かつ、径方向の磁気力をキャンセルさせることができる均一磁気力発生装置を提供すること。
【解決手段】中心軸Ｚが鉛直方向に配置された主磁場コイル２と、主磁場コイル２の鉛直上方に配置された反転磁場コイル３と、主磁場コイル２および反転磁場コイル３を収容する保冷容器４と、ボア空間内に配置された試料台５と、試料台５の下端中心に取り付けられた回転軸６と、回転軸６の下端に取り付けられたモータ７とを備える均一磁気力発生装置１である。試料台５をモータ７で水平面内で回転させる。 （もっと読む）

本発明は、ウエハ表面の欠陥分析のためにウエハ欠陥部位にイオンデコレーションを行う際に、デコレーション作業とイオン抽出作業とを別に分離し、イオン抽出の完了した電解液を循環させることで、デコレーション作業時に面倒で長い時間がかかる過程を最小化し、全体デコレーションにかかる時間を画期的に短縮させて、終局としてウエハ欠陥分析時間の短縮と欠陥分析の効率性を向上させることができるウエハ欠陥分析装置及びこれに用いられるイオン抽出装置、並びに該ウエハ欠陥分析装置を用いるウエハ欠陥分析方法を提供する。
また、デコレーション作業のためのイオン抽出時にイオンの活動性を向上させてイオン抽出時間を画期的に短縮させることができるウエハ欠陥分析装置及びこれに用いられるイオン抽出装置、並びに該ウエハ欠陥分析装置を用いるウエハ欠陥分析方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】組織マイクロアレイ作製方法を提供する。
【解決手段】包埋皿と型枠とを加熱し、包埋皿にドナーブロックと比べて少なくとも１℃高い融点を有するパラフィンを流し込み、加熱された型枠をセットし、冷却してパラフィンを固化する工程、固化されたパラフィンから型枠を引き抜き、組織マイクロアレイ作製用レシピエントブロックを作製する工程、ドナーブロックから円柱状の組織を引き抜き、引き抜かれた組織を組織マイクロアレイ作製用レシピエントブロック上の円柱状の穴に挿入する工程、ドナーブロックからの組織が挿入された組織マイクロアレイ作製用レシピエントブロックに、ドナーブロックと同一の融点を有する加熱溶解されたパラフィンを流し込み、当該レシピエントブロックを、ドナーブロックの融点より高いがレシピエントブロックの融点より低い温度でインキュベーションし、ドナーブロックのパラフィンを溶解させる工程を含む。 （もっと読む）

【課題】薄切片を所望の切片厚で高精度に切削すること。
【解決手段】この薄切片作製装置は、制御部が、包埋ブロックＢを加湿手段６により予備加湿した後、移動手段により支持体とカッター３とを相対的に前進移動させ、包埋ブロックをカッターにより予備切削し、その後、包埋ブロックを加湿手段により本加湿すると共に、調整手段により支持体とカッターとを相対的に切片厚だけ前進移動させた後、移動手段により支持体とカッターとを相対的に、予備切削時と同じ速度で前進移動させ、包埋ブロックをカッターにより本切削して薄切片を作製し、制御部が、予備加湿後から予備切削を開始させるまでの時間と、本加湿後から本加湿を開始させるまでの時間と、を同じにすると共に、予備加湿及び本加湿のそれぞれを同じ加湿条件で行う。 （もっと読む）