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Fターム[2G052AD46]の内容

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【課題】シリコンウェーハ表面の金属汚染を、汚染金属種によらず高感度に分析可能な手段を提供する。
【解決手段】シリコンウェーハ3表面に溶液を走査させた後、該溶液中の金属成分を分析するシリコンウェーハの金属汚染分析方法。前記溶液として、フッ化水素酸と過酸化水素水と塩酸との混合溶液を使用する。上記金属汚染分析方法を使用するシリコンウェーハの製造方法。 (もっと読む)


タバコまたはタバコ抽出物または他の材料などの材料から多環芳香族炭化水素を抽出する方法であって、この方法は、該材料を低極性媒体の存在下で多環芳香族炭化水素に選択的な分子インプリントポリマーで処理することを含む。
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【課題】種々の環境中に含有される微量の被検物質を、微細気泡等による影響を受けることなく、正確に分析することができる被検物質の分析方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液体を通す流路と、該流路に連通しかつ被検物質を貯留させるための貯留部と、検出用区画とを含む検出用カートリッジを用いて被検物質を分析する方法であって、(a)予め前記貯留部に被検物質を貯留させた前記カートリッジ内で、前記被検物質を溶離し得る溶離液を、前記貯留部に到達するが通過しない状態で所定時間保持し、(b)その後、前記貯留部に、前記被検物質を溶離し得る溶離液を通過させて溶離した被検物質を前記検出用区画に導入し、(c)前記被検物質を測定する被検物質の分析方法。 (もっと読む)


【課題】シリコン溶液の量や分析の対象の形状にかかわらず適用でき、短時間で容易に分析でき、しかも高精度で信頼性の高いシリコンウェーハ中の汚染物の分析方法を提供する。
【解決手段】溶解されたシリコンウェーハを含むシリコン溶液7を製造用シリコンウェーハ8上に載置する載置工程と、前記製造用シリコンウェーハ8上で前記シリコン溶液7を加熱することにより、前記シリコン溶液7中のシリコン成分を除去する除去工程とを備えるシリコンウェーハ6中の汚染物の分析方法とする。 (もっと読む)


【課題】重金属が微量であっても、高感度で定量・定性分析を行うことができる重金属抽出方法を実現する。
【解決手段】本発明の重金属抽出方法は、液体サンプル中の重金属を陽イオン交換樹脂に吸着させる吸着工程と、抽出対象以外の重金属を溶出する洗浄試薬を用いて、陽イオン交換樹脂から抽出対象以外の重金属を除去する第1の除去工程と、抽出対象の重金属を溶出する溶出試薬を用いて、陽イオン交換樹脂から重金属を溶出する第1の溶出工程とを含むので、重金属が微量であっても、高感度で定量・定性分析を行うことができる。 (もっと読む)


【課題】精度を保ちつつ、簡易な工程で迅速に分析を行うことが可能な残留農薬の分析方法を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る残留農薬の分析方法は、第1抽出液12Aであるヘキサン中に農作物30を浸して超音波洗浄し、主として疎水性の農薬を第1抽出液12A中に抽出する第1超音波洗浄工程(S10)と、第2抽出液12Bである水中に農作物30を浸して超音波洗浄し、主として水溶性の農薬を第2抽出液12B中に抽出する第2超音波洗浄工程(S11)と、第1及び第2抽出液12A,12Bに対して転溶・濃縮を行う抽出液の転溶・濃縮工程(S12)と、転溶・濃縮工程において得られた分析試料に含まれる農薬の測定を行う農薬測定工程(S13)とを有している。 (もっと読む)


【課題】人手を介すること無く、安全かつ正確に、一定時間毎に長期間にわたって自動的に水質を観測することができる自動分析定量観測装置を提供する。
【解決手段】サンプリングした試料Sを、空気Aで分節しながら試薬B,Cとともに管10の中に連続的に注入して定量、混合し、この混合液を反応マニホールド4で分解した後、検出器5で常法により分析するようになされた連続流れ分析方法において、一定時間毎に試料Sをサンプリングして管10に供給し、反応マニホールド4では、10〜30分間混合液を停止させ、80〜90℃の温度でUV照射を行いながら加熱することによって混合液を分解し、一定時間毎に反復して調製されるこられ混合液を順次分析して試料サンプリング地点の全窒素および全リンを経時的に定量観測する全窒素および全リンの自動分析定量観測装置1。 (もっと読む)


【課題】開閉体61の閉塞動作における人為的なミスを防止するだけでなく、測定処理において開閉体61に起因する緊急停止を防止する。
【解決手段】生体試料を分析するための測定機器MIを有し、前記生体試料を収容する検体容器Tを出し入れするための開口部C1が設けられた生体試料分析装置に用いられる誤作動防止機構であって、開口部C1を開放する開放位置Pと、開口部C1を閉塞する閉塞位置Rとの間を移動する開閉体61と、開閉体61が閉塞位置近傍Qにあることを検出する位置検出機構62と、位置検出機構62が閉塞位置近傍Qにあることを検出した場合に、開閉体61を閉塞位置近傍Qから閉塞位置Rまで移動させ、開閉体61を閉塞位置Rに磁力により保持する閉塞保持機構63と、を具備する。 (もっと読む)


【課題】汚染物質回収用の液体中の汚染物質の濃度が飽和しにくいノズルシステムを実現する。
【解決手段】ノズルの先端から押出した液体で試料表面を掃引し、掃引後の液体をノズルで吸引して試料表面の汚染物質を回収するノズルシステム(1)は、先端の押出口(122a)とはキャピラリー(122)で連通する液溜(120)を有するノズル(100)と、前記液溜の液体(140)の一部(140a)を前記キャピラリーを通じて前記押出口から押出して試料表面(400)を掃引し、掃引の途中で前記液体を前記キャピラリーを通じて前記液溜に吸引して内部液体(140b)と混合・希釈し、混合・希釈後の前記液溜の液体の一部を前記キャピラリーを通じて前記押出口から押出して掃引を再開する掃引手段を具備する。 (もっと読む)


【課題】 0.1μLから数mLの幅広い試料注入量が可能なクロマトグラフ分析装置用試料注入システムを提供すること。
【解決の手段】 数μLから数mLの試料を注入するための試料注入装置と、数μL以下の微量試料を注入するための試料注入装置とを、試料注入量に応じて切り替えることで、0.1μLから数mLの幅広い試料注入量に対応可能なクロマトグラフ分析装置用試料注入システムを実現した。 (もっと読む)


【課題】高圧流体から各種分析機器へオンラインで微量のサンプルを導入するための、分析機器の雰囲気を高圧流体側に持ちこむことがなく、シンプルな機構でかつデッドボリュームの少ない、サンプリングシステムを提供する。
【解決手段】高圧流体系、分析装置、および洗浄用ガスまたは液体への各一対以上の接続口を備えた固定子と、固定子に密着して高圧流体等の圧力保持が可能であるローターシールからなり、ローターシール上には対となる接続口を連結する定容量の溝等からなるサンプル保持部を備え、サンプル保持部が高圧流体系、分析装置、および洗浄用の接続口の対に順次接続してこれらを連結し、かつそれぞれの接続口の対を移動する間にはどこにも接続しない非接続の状態があり、これを循環的に繰り返すことを特徴とする、高圧流体からのサンプル導入バルブおよびバルブのポジションを駆動するためのシステムである。 (もっと読む)


【課題】 測定対象である試料の一部にのみ検出対象の物質が含有されている場合などでも、検出対象物質の検出ができる検査方法、および、この検査方法に用いることができる検査キットを得ること。
【解決手段】 容器1の中に試料5と溶出液3とを入れ、容器1内で試料5と溶出液3とを接触させて溶出処理を行った後、検査試薬4を用いて、試料5から溶出液3に溶出した成分を検出する検査方法において、容器1として、試料5と溶出液3とを内蔵した状態で、任意にその形状を変形させることができるものを用いる。 (もっと読む)


【課題】被検試料を精度よく分注することができる自動分析装置及びその分注方法を提供する。
【解決手段】同じ被検試料をn回分注する場合、1回目の分注のときに、試料容器17からサンプル分注プローブ16内にエア及びダミー用被検試料を吸引して停止した後、1回目の測定用被検試料を吸引し、吸引した1回目の測定用被検試料のみを反応容器3に吐出する。そして、n回目の分注における吸引のときに、試料容器17からn回目の測定用被検試料を吸引し、吸引したn回目の測定用被検試料のみを反応容器3内に吐出する。 (もっと読む)


【課題】本発明はVPDユニットのみを分離して他の各ユニットと分離し、ウエーハ表面の汚染度をフッ酸で分解させてNガスによる清浄が行われる独立的なVPDユニットを提供する。
【解決手段】本発明による半導体ウエーハ汚染物質測定装置のVPDユニットは、四角桶状の本体であって、該本体の内部に所定の空間を形成し、該本体の底側に各支え具が形成されると共に各ガス排出及び吸入ノズルが位置し、上面は透明に透視窓を形成して該透視窓の中心に内部の雰囲気制御用検出端子を形成し、一側面を開放してウエーハ投入口を形成するVPDユニット本体(100);及び前記VPDユニットのウエーハ投入口を密閉するようにカバーすると共に開放されるドア(114)を含む。 (もっと読む)


【課題】血液検体から析出フィブリンを排除することのできる検体採取用補助器具及びフィブリン排除方法を提供する。
【解決手段】前記検体採取用補助器具は、有底管状の採血容器20内に挿入可能であり、基底部12と、その反対側に開口部13とを有するフィブリン排除用内塔管10であって、前記基底部に、外側に向かって突出する突起15と、内塔管内側と内塔間外側とを連絡可能な貫通孔14を有し、採血容器内に血液を採取した状態で内塔管を挿入すると、基底部側端部を含む内塔管の一部のみが血液内に沈降することを特徴とする。前記フィブリン排除方法では、前記フィブリン排除用内塔管を使用する。 (もっと読む)


【課題】本発明はウエーハが回転プレート上で真空圧力の吸入、排出制御で吸着維持される。
【解決手段】本発明は、円形の固定ハウジング11と、該固定ハウジング11の内側で回転可能に設置されてその中心部で吸着通路13を形成すると共に底部の真空ポート16と連結され、外側の回転力によって回転する吸着プレート14と、該吸着プレート14を駆動する前記固定ハウジング11の底部に設置され、前記吸着プレート14に接続されるステップモーター17から成るステージ本体10;該ステージ本体10の固定ハウジング11の下部空間を形成する柱22で支えられるベースプレート20;該ベースプレート20が上、下移動するその底部でシリンダーロッドに連結されるシリンダー24;前記ステージ本体10の外側でウエーハを支える各ジグ30を含む。 (もっと読む)


【課題】蒸気井から取り出された二相流体から得られる液中に含まれている、発電タービンに付着するシリカ及び/又は塩分の定量をすることのできる地熱発電用成分測定装置を提供すること。
【解決手段】蒸気井から取り出された二相流体から得られる液を試料水として、前記試料水の成分(シリカ含有量又は電気伝導率)を測定する地熱蒸気井用自動成分分析装置であって、前段に空気又は窒素ガスによるバブリング槽を有することを特徴とする地熱蒸気井用自動成分分析装置。 (もっと読む)


【課題】測定精度および信頼性を高めた気相測定式シアン分析計を提供する。
【解決手段】支持管をガス透過性隔膜で密閉し、この支持管内に検知電極、比較電極および内部液を収容したシアン測定電極12を用いて、液相中のシアン濃度と平衡関係にある気相中のシアン濃度を測定することにより、試料液50中のシアン濃度を求める気相測定式シアン分析計において、気相の温度を検出するとともに、検出した気相の温度に基づいて試料の気液平衡の温度特性を温度補償する。 (もっと読む)


【課題】複数の液状サンプルを分析するシステム及び方法を提供する。
【解決手段】システムは、2つの平行な平坦及び複数の貫通孔12を有するプラテン10を有し、表面張力によって各貫通孔内に液状サンプル18を維持するように貫通孔の寸法が定められる。光学的放射光源が貫通孔を照明し、光学的装置が貫通孔から現れる光を分析する。貫通孔は、個々にアドレスを用いてアクセス可能でありかつ100ナノリトル未満の容量を有し得る。サンプルは、毛管作用により平坦面から引き出され、正確に分配、希釈及び混合され得る。 (もっと読む)


【課題】活性炭の無機成分に含まれる微量な触媒成分であっても、その組成分析を迅速かつ高精度に定量分析することができる活性炭分析の前処理方法を提供する。
【解決手段】粉末の活性炭を油圧法により加圧成形して固体化した試料を得る活性炭分析の前処理方法であり、四ホウ酸リチウムとステアリン酸との質量比を2:1の割合でバインダとして混合する。また活性炭を所定の強熱温度で強熱して灰化量を強熱減量分として求め、この求めた強熱減量分を活性炭の触媒成分量の補正値とする。更には活性炭を超純水と混合させ、この混合液中に超音波を照射して得られた水溶液を濾過し、試料溶液を得るようにした。 (もっと読む)


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