半導体基板処理チャンバで基板の現場データを取得するための方法及び装置が提供される。装置は、基板に関するデータを取得するための光学アセンブリと、光学アセンブリを基板に対して２次元で横方向に移動するため用いられるアクチュエータアセンブリを含む。

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本発明は、光信号の主成分の振幅を決定するための光学分析系を提供する。その主成分は、分光学的な分析を受ける物質の特定の化合物又は様々な化合物の濃度を示す。その光信号は、重み付けの関数によって指定された、波長選択的な重み付け及び波長選択的な空間的な分離を受ける。その光信号は、好ましくは、それぞれその重み付けの関数の正の及び負のスペクトルの帯域に対応する二個の部分に分離される。その分離は、強度の顕著な損失無しにその光信号の分離された部分の別個の検出を提供し、それによって、決定された主成分の改善された信号対雑音比を提供する。その光信号の分離及び重み付けは、二個の多変量光学素子によって実現される。
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本発明は、目の網膜の画像データの取得に特に有用な光学測定システム及び光学測定方法を提供する。データの取得はＯＣＴ測定によって行われ、これらの測定の品質は、能動光学素子をビーム経路内に配置することによって改善される。 （もっと読む）

液体中の不純物を分析するための装置及び方法が提供される。この装置は、光源１０２に結合されたセル２０４と検出器１１４とを備えている。セル２０４は、該セル２０４の第１の端部に配置され、光を受け取って該セル２０４の長手方向の軸に沿って該セル２０４内に導入する第１の鏡１０８を備えるとともに、該セル２０４の第２の端部に配置され、上記光を少なくとも部分的に反射させる第２の鏡１１０を備えている。液体供給装置２１０は、第１の鏡１０８と第２の鏡１１０との間で、セル２０４の長手方向の軸と交差するように、液体の流れ２０８を投与する。検出器１１４がセル２０４の第２の端部に結合され、液体を透過する光に基づいて、セル２０４内の光の減衰率を決定する。

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この発明は、測定対象（１２；１５；１８）の特性を光学的に測定するための測定装置（６）に関し、この測定装置は、ある有効光学空洞長さを有する空洞（７）を形成する、第１および第２反射端（１、２）を有する主共振器（１１）、この第１および第２反射端（１、２）の間の光ビーム経路に沿って進む光を発生するための光学ゲイン素子（３）、並びにこの光学ゲイン素子（３）とこの第２反射端（２）の間のこの光ビーム経路に沿って配置してある分散集束共振器素子（５）を含み、それでこの測定対象が少なくとも部分的にこの主共振器（１１）のこの光ビーム経路内にあるように配置してあり、およびそれでこの測定装置（６）が更にこの主共振器から出た光の特性を検出するための検出手段（８）を含み、この検出した特性の値がこの測定対象の特性の尺度である。
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複数本のコア５１を有する導波路部４３の両端に、各コア５１端面と対向させるようにして発光素子４７と受光素子４９を配置する。導波路部４３の上には、スイッチング部４４を重ねる。スイッチング部４４には、コア５１を伝搬する光を透過させる状態と反射させる状態とに切替可能となったスイッチング窓５２を縦横に配列し、各コア５１の上面に沿ってスイッチング窓５２を複数配列させる。スイッチング部４４の上には、金属薄膜６１が形成された流路６０を複数有する検査基板４５を配置し、流路６０内で金属薄膜６１の上に受容体６２を固定する。各流路６０内には、特異性のリガンドを含んだ被検体を流す。 （もっと読む）

【課題】分子状汚染物質膜モデル作成ツール
【解決手段】分子状汚染物質膜が光学システムの性能に対して及ぼす影響のモデルを作成するためのシステム及び方法が開示されている。該光学システムの材料からガスの形で放出された物質の質量が、ガスの形で放出された生成物のスペクトルと相互に関連づけられる（３０、３１）。ガスの形で放出された生成物のスペクトルが正規化され（３０）、総分子状汚染物質膜厚が、各材料から予測される（３２）。該総分子状汚染物質膜の吸光スペクトルが導き出され（３２）、該総分子状汚染物質膜の該導き出された吸光スペクトルに、光学システム装置関数が畳み込まれる（３８）。該光学システムの性能劣化を決定するために、ソース温度の関数としての少なくとも１つの透過帯域の作図が実施される（３６）。 （もっと読む）

ガラスにおける水分を検出するためのレインセンサにおいて送射器（２）から出射された放射をガラス内に入力結合するもしくはガラスから出力結合するための結合手段（１，７）が設けられている。放射は複数回全反射しながら放射チャネル（３）に沿ってガラス内を伝搬する。検出のためにだけ役立つのではない少なくとも１つの純伝搬領域（９，１０，１０ａ）およびアクティブな部分反射領域（５，１１）が形成されるように、入力結合された放射の結合変換を行う別の結合手段（６，６ａ）が提案される。
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【課題】廉価で、頑丈および単純な光学リモート・センシング装置を提供する【解決手段】システムは非常にポータブルであるが、固定してあるいはそれらの組み合せとして使用することができる。本方法およびシステムは、容積測定のターゲット化学種（個体、液体、あるいはガス）によって放射されあるいは吸収された放射線を分配し、アパーチャーし、変調し、そしてスペクトル解析する能力を備えている。放射線は、レンズ、レンズ、望遠鏡あるいは鏡のような単一の集光装置によってまず集められ、次いで、スペクトル識別コンポーネントを通じて複数の検知器に分配し、必要に応じて所望の検知および識別を達成するために孔を通過させる。 （もっと読む）

本発明は、表面プラズモン共鳴測定を実施するための方法及び装置に関する。電磁放射ビーム１は電磁放射線源２によって生成される。前記電磁放射ビーム１は、プリズム３を通って入射角（ａ１；ａ２）で材料層５に当たり、この材料層５はプリズム３の平面状表面４を覆う。共鳴現象が生じる。表面４によって反射電磁放射ビーム６が生成され、反射電磁放射ビーム６の強度レベルを検出するための検出器７へと向けられる。表面共鳴現象によって生じる、反射電磁放射ビーム６の強度の変化が測定される。前記反射電磁放射ビーム６は、ミラー８で検出器７へと反射される。
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天然ガスバックグラウンドにおける水蒸気検出のための技法を開示する。装置は、９２０〜９６０ｎｍ、１．８７７〜１．９０１、または２．７１１〜２．７８６などの波長範囲にほぼ入る光を発する光源（５１９）を備える。その光源は、天然ガスの試料を通って検出器（５２３）によって検出される光を発する。１つの実施形態では、光源は波長可変ダイオードレーザーであって、湿量は倍音スペクトル法により定量する。他の実施形態では、ＶＣＳＥＬ、色中心レーザー、または量子カスケードレーザーが利用される。 （もっと読む）

異なる波長の光を発光するＬＥＤ（２３ａ〜２３ｈ）と、これらのＬＥＤ（２３ａ〜２３ｈ）からの光をリレーする複数の光学ロッド（２５）と、これらの光学ロッド（２５）からの光を白色拡散面（２６ａ）およびアルミコート反射面（２６ｂ）により拡散反射して撮像光軸に対して略６０度の角度をなすように照射する光拡散素子（２６）と、この光拡散素子（２６）からの光をさらに拡散する光学シート（２７）と、を有するマルチスペクトル照明装置と、このマルチスペクトル照明装置により照明された被照射面からの反射光を結像し撮像する撮像光学系（２１）およびＣＣＤ（１３）と、を有し、ＣＣＤ（１３）の撮像出力を解析して被照射面の色成分を測定するマルチスペクトル撮像装置。 （もっと読む）

反射率対光路差の明確なプロファイル（ミラー項の無いＡスキャン）を供給し、正の光路差と負の光路差との間に差を付けるか、又は光路差の選択された間隔で出力を与えるためのスペクトル干渉装置及びスペクトル干渉法が提供される。その装置は、光源からのビームを目標物体（５５）に送出し、物体ビームを生成する物体光学系と、参照ビームを生成する参照光学系とを備える。物体ビーム（４１’）及び参照ビーム（４２’）との間に間隙（ｇ）を生成するための変位手段（５７）が設けられる。回折格子及びプリズムのような光スペクトル分散手段（７）が、２つの相対的に変位したビームを受光し、それらのスペクトル成分をＣＣＤのような読取り素子上に分散させる。変位手段及び光スペクトル分散手段の組み合わせは、物体ビーム及び参照ビームの波列間に固有の光学的遅延を生成し、この固有の光学的遅延を干渉計内の光路差とともに用いて、干渉計内の光路差のためのチャネルドスペクトルを読取り素子上に生成することができる。

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【課題】
【解決手段】ファブリ・ペロー（ＦＰ）可変（波長可変）フィルタ分光計の高分解能、小型、堅牢、および低消費電力といった利点と、ＦＴおよび／または格子／検出器アレイの多チャネル多重化の利点とを兼ね備えた能力を備える分光計。主要な概念は、可変ＦＰフィルタを多次フィルタ条件に設計し、作動させることにある。次いで、このフィルタの後には「低分解能」の固定格子があり、この格子がフィルタ処理されたｎ次の信号を、好ましくは整合Ｎ素子組込み検出器アレイに分散して並列検出する。このシステムのスペクトル分解能は、きわめて高分解能を有するように設計できるＦＰフィルタによって決定される。Ｎ次の並列検出方式によって全積分または走査時間が１／Ｎに短縮され、単一チャネルの可変フィルタ法と同一分解能で同一の信号対雑音比（ＳＮＲ）を達成できる。 （もっと読む）

本発明は、例えばインビボ血液分析の目的で、流体の特性を決定することを可能にする。まず、流体が流れる関心ボリュームの位置が、対物レンズを利用することによって光学的検出ステップによって決定される。好適には、光学的検出ステップは、イメージングステップである。次に、対物レンズは、対物レンズの焦点を関心ボリュームに至らせるように移動される。この位置において、光学分光ステップが実施される。これは、光学分光を実施するための測定ビームが最適な効率のために光軸に沿って進むという利点を有する。
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周囲媒体の屈折率と比較して物体の屈折率を決定する方法及びデバイス。物体はレーザ対象物ビームに露光され、散乱光はレーザ参照ビームと干渉してホログラムを得る。位相情報を求めてホログラムが分析され、その位相情報に基づいて、物体の屈折率が周囲媒体の屈折率よりも大きいか小さいかが決定される。
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脈管内プローブは、遠位部と近位部とを備えた外装を含む。この脈管内プローブは、外装に沿って延伸する第１光学導波路であって、遠位部と近位部との間で光放射を伝達するよう構成された第１光学導波路と、遠位部に設けられると共に、第１光学導波路と光学連通した第１ビーム方向転換器とを含む。更に、脈管内プローブは、第１光学導波路から光放射を受け取るよう構成された光学検出器と、遠位部に設けられた超音波トランスデューサとを含む。超音波トランスデューサは、超音波エネルギーを脈管内プローブと伝搬媒体との間に結合するよう構成されている。電線が外装に沿って延伸し、超音波トランスデューサと電気連通している。

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スペクトル測定システムからのデータのダイナミックレンジを改善可能な方法および装置を提供する。分光器測定を行う際、画像の品質と、ユーザが所望の特徴を区別する能力を改善することができる光源およびスペクトル測定システムを提供する。 （もっと読む）

真空紫外線スペクトラムで動作する分光検査システム（５００）が提供される。特に、該真空紫外線スペクトラムの反射率計測技術を使うシステムが度量衡応用での使用のため提供される。精密で繰り返し可能な測定を保証するために、光路（５０６，５０８）の環境が、該光路内に存在するガスの吸収効果を制限するよう制御される。なお起こる吸収効果の責めを負うために、該光路の長さは最小化される。更に吸収効果の責めを負うために、該反射率データは相対的標準に基準合わせされる。
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大きさ及び密度、弾性散乱特性、吸収及び蛍光に関して単一粒子の特性をほぼ同時に計測することによって、生物学的及び非生物学的粒子をリアルタイムで検出し且つ分類するための高められた方法、装置、及びシステムが開示される。
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