【課題】使用中の導電材料製構造物に生じる損傷を非破壊的に、しかも装置等の操業を停止することなく、簡便に検出できる、導電材料製構造物の損傷検出方法を提供する。
【解決手段】複数の電位差測定用端子を所定の間隔で隔離して、構造物の被測定領域を囲んで配置し、複数の電位差測定用端子を挟んで設けられた一対の電極を介して構造物の特定方向に電流を供給しながら、被測定領域を挟んで相対する電位差測定用端子間に生じる電位差を測定する第一の工程と、前記一対の電極とは別に複数の電位差測定用端子を挟んで設けられる他の一対の電極を介し、構造物の特定方向とは異なる方向に電流を供給しながら、被測定領域を挟んで相対する各電位差測定用端子間に生じる電位差を測定する第二の工程とを順次行い、各電位差測定用端子間の電位差を測定する。得られた異なる二方向の各電位差測定用端子間の電位差から、被測定領域における電位差分布、電位差変化率分布を求め、被測定領域における損傷状態を評価する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の微小な欠陥を検出することが出来る検査装置を提供すること。
【解決手段】被測定物（半導体ウェハ１０上に設けたレジスト膜１２）の静電容量を測定する静電容量センサ１５と、前記被測定物の底面と前記静電容量センサとの間の距離を測定する測長センサ２０（測定光源２１，受光部２２）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】検査液の状態変化に影響されることなく被検査ワークに発生した傷の大きさを判定するコイルの検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】既知の大きさの導電部分を有する基準電極と基準用外部電極との組み合わせからなる、少なくとも一つの基準電極対と、絶縁被覆された被検査ワーク２と対になり、検査電極対を構成する外部電極７−１と、少なくとも一つの基準電極対、検査電極対を設置し、導電性を備えた検査液が供給される検査槽１１と、基準電極対、及び検査電極対とへ電圧を印加する電源１３と、基準電極対、及び検査電極対それぞれの間に流れる電流を計測する電流計１２−１〜１２−３と、電流計が計測した、基準電極対を流れる電流値、既知の導電部分の大きさ、及び検査電極対を流れる電流値に基づいて、被検査ワーク２の傷の大きさを判定する判定部１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明は搬送ライン上を搬送されてくる仕上げ加工前の寸法精度の低い孔付鋳造粗材の表面物性や探傷を的確に行うことができる孔付鋳造粗材検査装置を目的とする。
【解決手段】 搬送ライン２上を搬送されてくる孔付鋳造粗材Ｓを停止させる検査ゾーン１の上部に、フローティング装置５を孔付鋳造粗材Ｓに向けて進退動させる進退動機構３を設けるとともに、前記フローティング装置５に、孔付鋳造粗材Ｓの成形上面に形成される複数の成形孔Ｃ内に嵌合されて孔付鋳造粗材Ｓの成形上面のＸ・Ｙ方向への傾きに倣う倣い機構５０を設けるとともに、該倣い機構５０に孔付鋳造粗材Ｓの成形上面に平接触子４ａを密着させて探傷や表面物性の検査を行うセンサ４を取り付けることによって、孔付鋳造粗材Ｓの成形孔Ｃの傾きに応じて倣い機構５０は傾動して孔付鋳造粗材Ｓと平行になり、センサ４の平接触子４ａは孔付鋳造粗材Ｓの成形上面に的確に密着する。 （もっと読む）

【課題】 トンネルのひび割れの位置を特定することができるトンネルのひび割れ位置検知システムを提供する。
【解決手段】 トンネルのひび割れ位置検知システムにおいて、トンネル１に形成されるハシゴ型の導電回路パターン２を備え、このハシゴ型の導電回路パターン２に接続される４端子（Ａ〜Ｄ）のそれぞれの端子を組み合わせ、この端子間の抵抗値の変化に基づいてトンネル１のひび割れ位置を特定する。 （もっと読む）

【課題】半導体チップの故障を解析する際に、外部との端子接続を不要とし、サブミクロンの空間分解能で電流経路と欠陥の可視化を可能にすること。
【解決手段】ＬＳＩチップ１を光電流発生用レーザビーム２で固定照射する工程と、ＬＳＩチップ１の被観測領域を加熱用レーザビーム３で走査して照射する工程と、光電流発生用レーザビーム２及び加熱用レーザビーム３の照射によりＬＳＩチップ１で発生した電流変化をＳＱＵＩＤ磁束計４で検出する工程と、ＳＱＵＩＤ磁束計４で検出された電流変化に基づいてＬＳＩチップ１の故障を解析する工程と、を含む。光電流発生用レーザビーム２及び加熱用レーザビーム３の照射は、ＬＳＩチップ１の裏面側から行い、ＳＱＵＩＤ磁束計４による検出は、ＬＳＩチップ１の表面側で行う。ＬＳＩチップ１の故障の解析では、ＳＱＵＩＤ磁束計４から出力された信号を走査点に対応させる画像処理を行う。 （もっと読む）

【課題】徐々に漏洩する液体燃料を検知することのできるマリンホースを提供する。
【解決手段】ホース本体１０内に導電性エラストマー部材３０が設けられ、導電性エラストマー部材３０は原油によって膨潤するとともに、膨潤によって抵抗値が大きくなり、導電性エラストマー部材３０の抵抗値が検出器４１によって検出されることから、内側ゴム層１１から徐々に原油が漏洩すると、導電性エラストマー部材３０の抵抗値が膨潤によって大きくなり、その抵抗値が検出器４１によって検出される。即ち、検出器４１によって検出される抵抗値に基づいて、内側ゴム層１１から徐々に漏洩する原油を検知することができ、ホース本体１０からの液体燃料の漏洩による環境汚染を防止する上で極めて有利である。 （もっと読む）

【課題】作業効率に優れ、導入が容易な、き裂を顕在化させるための局部冷却装置および局部冷却方法を提供する。
【解決手段】冷却スプレー１１が、金属製の部材１のき裂２を含む所定の領域を冷却可能である。冷却領域限定部材１２が、その領域を囲むよう設けられている。金属製の部材１のき裂２を含む所定の領域を冷却領域限定部材１２で囲んだ後、その領域を冷却スプレー１１により冷却する。これにより、金属製の部材１のき裂２を顕在化させることができ、非破壊検査装置によって容易かつ精度良く、き裂２を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】連続的に板長方向に走行せしめられる金属板の表面に形成された絶縁性塗膜の欠陥を、漏れなく確実に検知し、その欠陥発生部位を特定すると共に、金属板の塗装面を傷付けることのない塗装金属板の検査方法、並びに、かかる塗装金属板の検査方法に有利に用いられる塗装金属板の検査装置を提供すること。
【解決手段】複数のアモルファス金属繊維４４が長手の金属製ホルダ４６に植設された導電性ブラシ３４の複数を、走行中の金属板３２の板幅方向に配列し、塗膜形成部位の全幅に対して接触せしめた状態において、複数の導電性ブラシ３４のそれぞれと金属板３２との間に、絶縁破壊電圧未満の直流電圧を印加し、得られる各電流値に基づいて、塗膜欠陥を検知すると共に、塗膜欠陥を検知した導電性ブラシ３４を特定し、更に、その特定された導電性ブラシ３４の配設位置から金属板における塗膜欠陥の発生部位を求めるようにした。 （もっと読む）

【課題】半導体の表面または半導体において欠陥または汚染を識別するために半導体表面を高速走査する。
【解決手段】半導体ウェーハ１０５などの表面１０６を有する半導体を設けること、非振動式接触電位差センサ１０１を設けること、制御可能な強度または波長の分散を有する照射源１０９を設けること、非振動式接触電位差センサプローブ先端１０２の下または付近でウェーハの表面の制御された照射を提供するために照射源を用いること、制御された照射中にウェーハ表面を走査するために、非振動式接触電位差センサを用いること、ウェーハ表面にわたって接触電位差における変化を表すデータを生成すること、欠陥または汚染のパターン特徴を識別するためにそのデータを処理することを伴う。 （もっと読む）

【課題】遮断器そのものについての劣化状態を測定することにより、接点の接触抵抗を正確に測定することができる。
【解決手段】本発明に係る接触抵抗の測定方法は、樹脂製絶縁カバーの内部に設けられ、所定の金属からなる接点の接触抵抗を測定する方法であって、（ａ）樹脂製絶縁カバーの外側表面状態に関するデータと、接触抵抗との相関を予め取得する工程と、（ｂ）樹脂製絶縁カバーのデータＸ１を取得する工程とを備える。そして、（ｃ）工程（ａ）で予め取得した相関に基づいて、工程（ｂ）で取得したデータＸ１に対応する接触抵抗Ｙ１を得る工程を備える。 （もっと読む）

【課題】検査対象基板の良否を正確に判定する。
【解決手段】検査対象基板を撮像して画像データを出力するカメラと、検査用プローブと、画像データに基づく外観検査処理および検査用プローブを使用した電気的検査処理を実行する検査部と、検査部を制御する制御部と、外観検査処理を実行すべき外観検査ポイントについての第１の検査ポイントデータおよび電気的検査処理を実行すべき電気的検査ポイントについての第２の検査ポイントデータを記憶する記憶部とを備え、制御部は、第１の検査ポイントデータに基づいて外観検査ポイントに対する外観検査処理を実行させて（ステップ２１）不良の外観検査ポイントが存在するときに（ステップ２２）不良の外観検査ポイントに対する電気的検査を実行させると共に（ステップ２４）、第２の検査ポイントデータに基づいて電気的検査ポイントに対する電気的検査処理を実行させる（ステップ２５）。 （もっと読む）

【課題】設置作業の容易化を図りつつ、高い信頼性でガラスの破損有無を検知することができるガラス破損検知装置を提供する。
【解決手段】ウインドウガラスには、破損時に断線状態となる平面コイルパターン２と、その平面コイルパターン２に接続された導電性接続部材３とによって第１共振回路部５が形成されている。また、平面コイル部９とコンデンサ１０とを有する第２共振回路部７が、その第１共振回路部５に対向配置されている。そして、周波数可変発振部３２によって第２共振回路部７に対する発振周波数が変更され、制御部１３は、各発振周波数における第２共振回路部７の電圧の変化を監視し、その電圧の変化傾向に基づいてウインドウガラスの破損有無を検知する。 （もっと読む）

【課題】低速回転で帯電特性、抵抗、感度等のドラム状感光体の様々な特性評価に対応でき、かつ画像出しを実施せずに欠陥を判別可能な電子写真感光体の特性評価装置の提供。
【解決手段】少なくとも帯電手段、露光手段、及び表面電位検出手段を備え、前記表面電位検出手段が、ガラス基材上に導電性材料を塗布してなる透明プローブであり、前記透明プローブと前記露光手段とが一体化した露光・検出ユニットを有し、前記露光・検出ユニットが前記電子写真感光体周りに複数個配置されている電子写真感光体の特性評価装置である。 （もっと読む）

【課題】設置作業の容易化を図りつつ、高い信頼性でガラスの破損有無を検知することができるガラス破損検知装置を提供する。
【解決手段】ウインドウガラス１には、破損時に断線状態となる平面コイルパターン２と、その平面コイルパターン２に接続された導電性接続部材３とによって第１共振回路部５が形成されている。この平面コイルパターン２のコイル機能部２ａの中央部位には、該コイル機能部２ａと非接続状態となる複数のダンピング部３１が設けられている。また、平面コイル部とコンデンサとを有する第２共振回路部が、その第１共振回路部５に対向配置されている。そして、両共振回路部の電磁結合状態が制御部によって監視され、該制御部は、それら共振回路部の電磁結合状態に基づいてウインドウガラス１の破損有無を検知する。 （もっと読む）

【課題】設置作業の容易化を図りつつ、高い信頼性でガラスの破損有無を検知することができるガラス破損検知装置を提供する。
【解決手段】ウインドウガラス１には、破損時に断線状態となる平面コイルパターン２と、その平面コイルパターン２に電気的に接続されたチップコンデンサ４とによって第１共振回路部５が形成されている。また、平面コイル部９とコンデンサ１０とを有する第２共振回路部７が、その第１共振回路部５に対向配置されている。そして、制御部は、両共振回路部５，７の電磁結合状態を監視し、該電磁結合状態に基づいてウインドウガラス１の破損有無を検知する。平面コイルパターン２は、ウインドウガラス１のガラス面に熱硬化性導電樹脂材料を固着することによって構成されている。 （もっと読む）

【課題】透光性導電性薄膜の導電性メッシュの断線や導電性異常等を、簡便で、かつ迅速であり、更に正確に検査する方法を提供する。
【解決手段】ハロゲン化銀感光材料が塗布された可撓性フィルムに０．５〜３０μｍの線幅でメッシュ状の露光を行った後、現像−物理現像し、更に電解メッキを行うという手順で導電性メッシュが形成された透光性導電性薄膜の検査方法において、該導電性メッシュの断線や導電性異常等を、該透光性導電性薄膜の表面抵抗率を測定することによって検出することを特徴とする透光性導電性薄膜の検査方法。 （もっと読む）

【課題】 簡便なＬＲＣ回路のコンデンサをプローブとする非破壊検査用キャパシタンスセンサを提供する。
【解決手段】 非破壊検査用キャパシタンスセンサにおいて、電源と、この電源に接続されるＬＲＣ回路のコンデンサＣ２を測定対象物のプローブとする。 （もっと読む）

【課題】被覆の施された配管であっても、手間と時間がかからずに配管の減肉の有無を判定することができる装置を提供する。
【解決手段】減肉検知装置１は、配管１０の内面より所定深さの位置に埋め込まれ、配管１０を流れる流体と接触したことを検知する圧力センサ１１と、圧力センサ１１による検知結果に基づき減肉の有無を判定する減肉判定部２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】検査費用を節減し検査の確実性を向上させ現場施工が容易で検知機能を長時間維持することができる亀裂監視材及び亀裂監視システムを提供する。
【解決手段】鋼構造物１に亀裂Ｃ₁が発生すると、この鋼構造物１の表面に塗布され形成された亀裂監視材３が部分的に破断して亀裂Ｃ₁が発生する。各監視領域Ａ₁〜Ａ₄₉内の導電層４ａの電気抵抗を通電状態測定部７が測定して、この電気抵抗の変化を評価部９が評価すると亀裂Ｃ₁の発生した監視領域Ａ₁が特定される。監視領域Ａ₁内に亀裂Ｃ₁が発生すると、亀裂Ｃ₁の進展方向と同一方向の電極間の抵抗値の変化に比べて、亀裂Ｃ₁の進展方向と交差する方向の電極間の抵抗値の変化が大きくなる。このため、縦方向、横方向及び斜め方向で対向する監視領域Ａ₁内の電極間の電気抵抗を通電状態測定部７が測定して、この電気抵抗の変化を評価部９が評価すると亀裂Ｃ₁の進展方向が特定される。 （もっと読む）