【課題】被処理体に付着する異物粒子数を低減させた半導体製造装置を提供する。
【解決手段】本発明では、被処理体を処理するための処理室と、該処理室にガスを供給するガス供給手段と、被処理体を戴置するための戴置電極と、前記処理室を減圧するターボ分子ポンプと、前記処理室の圧力を調整するために前記ターボ分子ポンプと前記処理室の間に設置されたバタフライバルブとを有する半導体製造装置において、前記バタフライバルブのフラッパーに異物粒子落下防止用のストッパーを設置した。 （もっと読む）

【課題】高温環境において使用された場合でもラジカルによりシール部材が劣化することを防止できるゲートバルブ装置を提供する。
【解決手段】弁座６３に対して所定の距離が離間した状態で着座して開口部を閉塞する弁体と、弁体が弁座に着座したときに弁体と弁座との間をシールするシール部材と、を有するゲートバルブ装置であって、シール部材は、常温環境下で弁座を押圧することにより弁座から作用する反作用力を受けて弾性変形する第１シール部５８と、高温環境下で熱膨張することにより弁座を押圧すると同時に弁座から作用する反作用力を受けて弾性変形する第２シール部６０と、を有し、第１シール部５８の体積は第２シール部６０の体積よりも小さく設定され、第１シール部５８の弁座側の先端部は第２シール部６０の弁座側の先端部よりも弁座側に位置している。 （もっと読む）

【課題】ポートの切換えを迅速に行ない得ると共に、３つのポートを同時に遮断状態とすることが容易な３ポート型の切換えバルブ装置を提供すること。
【解決手段】入力される外力によって軸方向に移動せしめられる作動ピストン３０が、それぞれ大径の頭部３２ａ、３４ａと小径の脚部３２ｂ、３４ｂからなる供給ピストン部材３２と排出ピストン部材３４とから構成されて、それらピストン部材３２、３４のそれぞれの頭部３２ａ、３４ａによって、供給ポート２０と出力ポート２２との間の流路の開閉を行なう供給弁部材４２と排出ポート２４と出力ポート２２との間の流路の開閉を行なう排出弁部材４６とが、作動ピストン３０の軸方向の移動によって切換え作動せしめられるようになっていると共に、それらピストン部材３２、３４の頭部３２ａ、３４ａ間の軸方向における距離が、間隔調節機構３６、３８にて調節せしめられるように、切換えバルブ装置１０を構成した。 （もっと読む）

【課題】 弁調整組立体を提供する。
【解決手段】 本発明は、入口ポート、出口ポートおよびバイパスポートを備えた１つの弁ハウジングを有するバイパス弁組立体であって、これらのポートすべてがその弁ハウジングの内部に形成されるバイパス弁組立体に関する。弁体部材は、弁ハウジングに操作可能に連結され、互いにほぼ反対方向に向かい合う第１弁プレートおよび第２弁プレートを含む。第１弁プレートは、弁体部材が第１位置にある時に、出口ポートについて緊密な遮蔽を形成するように関節動作し、第２弁プレートは、弁体部材が第２位置にある時に、バイパスポートについて緊密な遮蔽を形成するように関節動作する。 （もっと読む）

バルブボディ及びシール構造体を備えるアセンブリ、バルブボディ、シール構造体、及び配管を備えるアセンブリ、当該アセンブリ用シール構造体を提供する。
【課題】
【解決手段】本発明は、バルブボディ（Ａ）及びシール構造体（１１）から成るアセンブリに関する。前記バルブボディ（Ａ）は、ガス流路（４）と、開き位置と前記流路（４）へのガスの移動を阻止する閉じ位置との間で移動するバルブシャッタ（６）とを含んでいる。前記流路（４）は、配管（Ｂ）に接続されて、前記流路（４）と配管（Ｂ）との間のガスの流れを可能にするように構成され、前記シール構造体（１１）は、前記流路（４）と前記配管（Ｂ）との間に取り付けられて、前記流路（４）と前記配管（Ｂ）との間のガス気密を保持するように構成されている。前記アセンブリは、前記シール構造体（１１）が、前記閉じ位置にある前記バルブシャッタ（６）のシートを形成している。このシール構造体は、一方において、バルブシャッタが開き位置または閉じ位置にあるかどうかにより、流路と配管との間の気密を保持し、他方において、閉じ位置にあるときのバルブシャッタの気密を保持する。 （もっと読む）

【課題】作動性を向上させることができ、低温環境下においても弁体を円滑に開閉させることができる弁装置を提供する。
【解決手段】流体が導入される一次室１１０ａ、および流体が導出される二次室１２０ａが設けられたボディと、二次室１２０ａ側から一次室１１０ａ側へ延設され、駆動機構によって軸線方向に変位するシャフト１４０と、シャフト１４０の変位に伴って、一次室１１０ａと二次室１２０ａとの間を連通または遮断する弁体１３０と、を備え、弁体１３０は、一次室１１０ａ内に配置され、一次室１１０ａを形成する一次室１１０ａの壁に向けて変位することで開弁するように構成されており、弁体１３０は、少なくともその頂部１３５が、壁に対して弾性的に当接可能な湾曲凸状の弾性部材で形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】作動性や組付性を向上させることができる弁装置を提供する。
【解決手段】流体が通流する通流路１０８が形成されたボディ１０１に回動可能に設けられ、回動動作によって通流路１０８を開閉するバルブが設けられたシャフト１１０と、シャフト１１０の端部に取り付けられ、駆動手段からの回転駆動力をシャフト１１０に伝達するためのギアプレート１２０と、シャフト１１０の端部の直近に配置され、ギアプレート１２０に設けられた検出素子との間で、シャフト１１０の回動位置を検出する非接触式の回転センサ１３０と、を備え、端部と回転センサ１３０との間に隙間Ｓが形成され、シャフト１１０の端部に形成されたねじ穴１１３に螺合される固定ねじ１２５でギアプレート１２０を固定し、隙間Ｓに、固定ねじ１２５の頭部１２５ａが配置されることを特徴とする弁装置。 （もっと読む）

【課題】バタフライ弁の弁座部の止水可否を弁外部から診断できるようにする。
【解決手段】弁体２の弁箱弁座３に摺接する外周円周上に２本の弁体弁座面凸部２ａを有する止水用弁座とそれに挟まれた弁体弁座凹部２ｂの溝を形成し、バタフライ弁の全閉時に、該弁体弁座凹部２ｂを弁外部へ導通する通水孔５を弁箱１又は弁棒４に設けて、該通水孔５から連続して流れ出る流体の有無によって、弁体弁座面凸部２ａの止水状態を弁外部から診断可能とする。 （もっと読む）

【課題】極低温環境で作動することができるように特殊に設計された極低温バルブの提供。
【解決手段】内部に開口部１１を有する本体１と、前記本体１に結合するボンネット２と、前記本体１の内部で開口部１１と前記ボンネット２との間を移動しながら開口部１１を開閉するディスク３と、前記ディスク３に連結され、前記ボンネット２を貫通するステム４と、前記ディスク３および前記ステム４を作動させ、前記本体１を通過する流体を制御する駆動部とを含み、前記ディスク３と前記開口部１１との当接部分には第１座部１２を、前記ディスク３と前記ボンネット２との当接部分には第２座部１３を含むことにより、前記ディスク３を下方に下げてバルブを閉にしたときだけでなく、前記ディスク３を上方に上げてバルブを全開にしたときにも、流体の前記ボンネット２への流入を防止するように気密が維持されるため、システム運用の際にもパッキング２２の取り替え作業が可能であることを特徴とする、極低温バルブを提供する。 （もっと読む）

バタフライバルブに連続的に変更可能な回転出力を有する電動アクチュエータを回転方向において連結するとともに、バタフライバルブから断熱するカップリング装置を提供する。バルブは、エンジンのターボチャージャを流れる高温の排気ガスの流れを調整するために使用されてもよい。アクチュエータはバルブを連続的に変更して制御を行う。カップリング装置は、アクチュエータとバルブとの間の熱伝達を減少する熱的な障害物および振動に対する絶縁物を提供する。カップリング装置は、典型的に、ねじりばね機構によりその対向する端において入力シャフトおよび出力シャフトに回転方向において連結されるカップリングシャフトを含む。ねじりばね機構は、カップリングシャフトを入力シャフトおよび出力シャフトに回転方向において固定するヨークを含む。ねじりばね機構は、カップリングシャフトと入力シャフトおよび出力シャフトとの間で制限された範囲の軸方向における移動および枢動を許容し、バルブの回転方向におけるヒステリシスを防止するために予荷重を加える。
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【課題】止水圧で流されないようにバタフライ弁を用い、しかもバタフライ弁を下水道に後付可能であり、その後付作業を簡単なものとすることである。
【解決手段】円形の下水道管を開閉するバタフライ弁３と、バタフライ弁を下水道管の高さ中間部で揺動可能に支える支持装置４と、バタフライ弁を開く開閉装置５を備え、開閉装置は、マンホール又は下水道管に設置し、支持装置は、回転軸４０と軸受４１からなる軸支ユニット４２を二組と、軸支ユニットを固定するアンカーボルト４３を備え、アンカーボルトは、植え込み部を下水道管の挿入穴に接着固化し、反対側の連結部を下水道管の内部に突出し、バタフライ弁は、円板の弁本体３０と、弁本体の外周縁部に沿ってシール材３１とを備え、弁本体は、複数の分割板３３で円板を形成し、回転軸と軸受の一方をアンカーボルトの連結部に、他方を弁本体に固定してある下水道の止水装置。 （もっと読む）

【課題】作業環境の悪化を防止しながらの作動油中からの空気抜きおよび噴出した作動油の再利用を可能とした油圧装置を提供する。
【解決手段】ブリードスクリュ58の一端側をねじ孔部57に螺合させる。ブリードスクリュ58を、ねじ孔部57を閉塞する締め付け状態から緩めることで、ブリードスクリュ58の他端側に接続したホースを介して、ねじ孔部57から空気とともに作動油を噴出させて作動油タンクに回収する。噴出した作動油の飛散を防止して作業環境の悪化を防止しながら作動油中から空気抜きできるとともに、作動油を再利用することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】
従来技術においては、樹脂成形による剛性向上技術があるが、この場合スロットルバルブ外径寸法精度はこれまでの外周の加工精度よりは悪化するため、スロットルバルブとボアとの隙間が増加し、結果としてエンジンへ吸入する空気流量が多くなることになる。内燃機関のスロットルバルブ制御装置の最小空気流量の低減を達成する。
【解決手段】
本発明は上記目的を達成するため、スロットルバルブ２の下流側の剛性を向上させ、スロットルバルブ２の撓み量減らす、つまり変形し難くくすることで開口面積が出来るだけ変化しない様にし、結果として内燃機関に吸入される最小空気流量を低減できる。 （もっと読む）

【課題】電磁弁における弁体からの流体の漏れを低減する。
【解決手段】シャフト４３と弁体１５とを結合せず、弁体１５に球面状のシャフト支持部２０を設ける一方、シャフト４３の先端部を球面部４３ａとし、球面部４３ａに弁体１５の球面状のシャフト支持部２０をスプリング１６により弾力的に当接させて、弁体１５をシャフト４３に対し揺動自在に保持してなる電磁弁である。 （もっと読む）

【課題】締め切り性を十分に確保できるバタフライバルブを備えた燃料電池システムを提供することを目的とする。
【解決手段】燃料電池システム１は、燃料電池１０と、燃料電池１０に接続されて空気が流通するエア供給配管２１およびエア排出配管２２と、を備える。エア供給配管２１およびエア排出配管２２には、空気の流量を制御するバタフライバルブ４０Ａ、４０Ｂが設けられる。バタフライバルブ４０Ａ、４０Ｂは、ノーマルクローズ構造であり、筒状のハウジング４１と、ハウジング４１の内壁面に沿って設けられた環状のバルブシート部４２と、バルブシート部４２の一端面側に設けられた弁体４３と、弁体４３を貫通して回動可能に軸支するシャフト軸４５と、を備える。弁体４３のバルブシート部４２に着座するバルブシール面４４は、燃料電池１０側に設けられ、シャフト軸４５は、弁体４３に対して燃料電池１０と反対側にオフセットしている。 （もっと読む）

本発明は、パイプを通る気体または固体の流れを制御するバルブに関し、とくには高架鉄道輸送システムにおいて使用されるＺバルブに関する。このバルブは、バルブが開いているときにＺ字形に折り畳まれてバルブ本体へと引き込まれるベーンを、バルブステムにヒンジ接続して備えている。バルブステムの上部に配置されたバルブキャップが、パイプの内表面の輪郭に一致して妨げのない流れを可能にする。バルブが閉じられるとき、バルブステムがパイプの内部へと持ち上げられ、バルブキャップが上部の輪郭に一致してシールをもたらすように、９０°回転させられる。ベーンが、Ｚ字形からパイプの断面を完全に遮断すべく広げられ、流れを停止させる。流れを、その一部がバルブを通過できるようにベーンの広がりを変化させることによって調節することができる。 （もっと読む）

外管及び内管の内部を流れるガスが前記外管の外部に漏洩するのを防止する二重配管装置を提供する。本実施例に係る二重配管装置（１０）は、外管（１１）と、この外管（１１）に内挿された内管（１２）とから構成された二重配管装置の内部を流れるガスＡの流量を調整する二重配管装置であって、内管（１２）の内部を流れるガス（Ａ）の流量を調整する流量調整弁（１３）と、この流量調整弁（１３）を支持し、外管（１１）及び内管（１２）を貫通する弁棒（１４）とを有すると共に、外管（１１）と内管（１２）との間に、ガスＡが外管（１１）の外に漏洩するのを防止する流体漏洩防止手段としてベローズ（１５）を含む流体漏洩防止手段（１６）を有する。ベローズ（１５）の一端を外管（１１）の内壁（１１ａ）に取り付けると共に、他端を弁棒（１４）に形成されたフランジ（１４ａ）に取り付けることで、内管（１２）の内部を流れるガス（Ａ）が外管（１１）の外部に漏洩するのを防止する。

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【課題】燃料カートリッジから燃料電池に液体燃料を注入する際に、液漏れを生じることなく安全にカートリッジの接続または取り外しのできる装置のためのバルブ、該バルブを用いた燃料電池用カップラ、および該カップラを用いた液体燃料の送液方法を提供する。
【解決手段】軸方向に貫通孔を有するピン部材の一端に蓋状部材が配置され、上記ピン部材と蓋状部材の側面より上記貫通孔に通じるスリットが設けられた中空ロットピンと、該中空ロットピンを軸方向可動に収納できる空洞部を有するホルダと、上記蓋状部材の側面周囲に接するように空洞部を有するホルダに装着されるＯ−リングとを備え、上記Ｏ−リングが上記蓋状部材の側面上を軸方向に移動して前記ホルダの空洞部と前記貫通孔との間を開状態または閉状態にし、上記中空ロットピンが該バルブの閉方向に付勢されている。 （もっと読む）

【課題】 バルブシャフトとバルブプレートとの回転軸を一致させなくても、バルブの開閉作動が可能であり、これにより、平板状のバルブプレートを用いることでコストダウンが可能なバタフライバルブの提供。
【解決手段】 バルブシャフト３に一枚のバルブプレート４を接合して構成されるバタフライバルブ１であって、バルブプレート４は平板状に形成されていてバルブシャフト３の回転中心軸に対してオフセットした状態で接合され、バルブプレート４はバルブシャフト３の回転軸と直交する方向に長い長軸Ｌ１を有する楕円形状であり、かつ、バルブシャフト３を中心として非対象に形成され、バルブプレート４は円形断面を有する排気管２に収容され、該排気管２の略軸直方向に対しバルブプレート４が傾斜した状態でバタフライバルブ１が閉じるように構成した。 （もっと読む）

【課題】大気中に腐食要因物質が含まれる場合であっても弁体の腐食を低減できる真空安全弁腐食防止装置を提供することである。
【解決手段】防風カバー本体２５の一方端部は真空安全弁１１の弁箱３５の開口部を覆って取り付けられ弁座１６及び弁体１８を覆い、防風カバー本体２５の他方端部は外気を取り入れるための開口部２６を有し、風遮蔽構造体である風遮蔽板３１ａ、３１ｂ、３１ｃは、防風カバー本体２５に形成され、防風カバー本体２５の開口部２６から外気の風が直接的に真空安全弁１１の弁座１６及び弁体１８に当たらないように風を遮蔽する。 （もっと読む）