【課題】適性な分注性能を維持しながら有効に処理能力を向上し得る自動分注装置を提供する。
【解決手段】鉛直方向に立設された回転支柱１１と、回転支柱１１に上下動可能に配置構成された複数の昇降軸１２と、回転支柱１１の半径方向に延出するように各昇降軸１２に支持された複数の分注アーム１３と、回転支柱１１の周囲に設定された複数の工程領域とを備える。回転支柱１１の回転により各分注アーム１３を順次、各工程領域に移動させ、それぞれの工程領域まで降下した分注アームが実質的に同時に、所定の作業工程を実行する。 （もっと読む）

【課題】徴候型電子デバイス製品の製造に使用される高純度液体試薬及び化学機械的研磨組成等の化学試薬及び組成を保存し、分配するために、分配作業中に閉じ込められた液体が涸渇するか、涸渇に近づいている場合、空の状態又はほぼ空の状態を検出する機能を有する流体供給システムを提供する。
【解決手段】ディスペンサから分配された材料を使用する下流のツールへの材料を流すために、供給パッケージとサーボ油圧分配ポンプの中間で分配された材料を監視するか、周期的なスケジュールで補給されているディスペンサ内で、ディスペンサ室の補給時間を監視する圧力変換器を含む、空検出構成を使用する流体送出システムである。 （もっと読む）

【課題】 ポンプを使用して高所から低所に液体を送る送液装置において，サイホン現象の発生を防止するための従来の機構は可動弁体を設けた構成であるので，動作させるために比較的大きな負圧が必要であったり，可動弁体の動作不良が生じ易い等の課題がある。
【解決手段】 そこで本発明では、送液元容器１内の液体３をポンプ４により吸上げて供給配管６を通して送液先容器２まで送液する送液装置において，供給配管には，送液元容器よりも高い位置に大気開放部８を配置し，この大気開放部は，送液元側供給配管と送液先側供給配管に連なる送液経路に，空気取入配管１２に連なる大気開放経路を，上側から合流させた構成としたサイホン現象防止機構を提案している。 （もっと読む）

過剰な液体スラグを容器からプローブ内に吸引し、この過剰な液体の一部を排出し、次いで所望体積の液体を容器内に分配することによって、生化学アナライザ内に所望体積の液体を供給する。 （もっと読む）

本発明は、流体を分配する方法に関する。本発明によれば、チェック弁を備え、入口及び出口を含む弁（１）に以下の部材、すなわち流体サンプリング及び注入デバイス、例えばシリンジ（２）；気体（例えば空気）供給路；分配される液体用の供給路；及び排出路（６）、が同時に接続されている。本発明の方法は、分配される液体を引き出してサンプリング及び注入デバイス（２）に移すこと、この液体を排出路（６）に注入すること、気体を引き出してサンプリング及び注入デバイス（２）に移すこと、及びこの気体を排出路（６）に注入して残っている液体を排出路（６）に押出すこと、からなる。本発明はまた、前記方法を実施するためのデバイス及びキットに関する。
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ドラムキャップ通気装置は、概して、通気用キャップアセンブリを含む。通気用キャップアセンブリは、通気用キャップと通気用キーを含むことができる。通気用キャップは、概して、主本体部と、バルブ部と、リング部とを含む。通気用キーは、概して、キー本体部と通気用チューブとを含む。通気用キーは、通気用キャップのバルブ部と回転係合し、キーの回転により、ドラムから、通気用キャップの導管を経て、通気用キーの通気用チューブの外へ出る、連続的な流体流通用の通路を提供する。その結果、加圧ガスをドラムから解放或いは放出することによって、加圧ガスは、ユーザーから離れた安全な場所或いは安全な装置へを導かれることが可能となる。
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【課題】
設定されるあらゆる投与量について同じ動作ストロークで動作することを可能にするピペット装置。
【解決手段】
変位チャンバと、前記変位チャンバを区切っている可撓膜と、前記可撓膜の中央領域の一直線上において変形できる少なくとも１つの調節可能な絞り開口を備え、前記可撓膜の縁領域を覆っている絞り装置と、前記可撓膜を変形させるための駆動装置と、前記駆動装置を前記可撓膜に接続するため前記駆動装置と前記可撓膜との間に位置する接続装置と、ピペット先端部を着脱可能に保持するためのネックと、前記変位チャンバと前記ピペット先端部を着脱可能に保持するためのネックとの間の接続導管と、を備えるピペット装置。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、様々な利用場面で、液体の精密な位置決めを容易に行うことが可能であり、設計並びに製作が容易な送液流路を提供することである。
【解決手段】液体１６に連通される上流端部２と、下流端部４とを有する管状の送液流路１を有する液体送り装置。前記下流端部４は、前記送液流路１内のエアを吸引するエア吸引装置に接続される。前記上流端部２と下流端部４との間で、狭窄部６が、前記送液流路１の一部分を細くすることにより形成されている。前記狭窄部６と下流端部４との間で、外部エアと連通する分岐流路１２が、前記送液流路１から分岐している。液体１６は、前記下流端部４からのエア吸引によって、前記送液流路１内で上流から下流へと移動され、前記狭窄部６内で移動を妨げられ、そして、前記分岐流路１２によってエア吸引による減圧が緩和されることにより、前記狭窄部６において位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】薬液混合供給方法を提供する。
【解決手段】本発明は硫酸、過酸化水素、超純水、及びＨＦが混合したエッチング処理液を作る半導体製造工程の薬液混合供給方法に係り、本発明の薬液混合供給方法は、（ａ）混合タンクにＨＦがＰＰＭ単位に混合するようにＨＦを供給する段階と、（ｂ）前記混合タンクに超純水、過酸化水素、及び硫酸を一定割合供給して混合する段階とを含み、前記（ｂ）段階は、前記超純水、過酸化水素、及び硫酸の供給開始時点が互いに異なることを特徴とする。
このような薬液混合供給方法によると、硫酸、過酸化水素、及び超純水の供給開始時点を各々異にして、硫酸と過酸化水素との相互反応時間を最小化することによって、硫酸と過酸化水素の混合過程で発生する発熱時間が最小化できる。 （もっと読む）

流動接触分解触媒注入システムにおいて触媒を調量供給する方法および装置が提供される。一実施形態では、流動接触分解触媒注入システムにおいて触媒を調量供給する装置は、この装置の高圧サイドを規定する圧力容器に結合された低圧貯蔵容器を含み、移送された触媒量の測定はこの装置の低圧サイドで行われる。
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【課題】吐出された液体の流量に応じて、添加ユニットにより添加される薬液の量を常時精度良く注入できるポンプおよびそれを備えた液体供給装置を提供する。
【解決手段】ポンプ部１から排出された液体が流れる吐出路４ａに配置された圧力センサ５と、モータ部２の電流を検出する電流検出部８と、吐水路４ａを流れる液体に所定の物質を添加する添加ユニット１０を備え、制御部７は圧力センサ５で検出された圧力が所定値以下の場合にモータ部２を駆動させ、前記電流検出部８により検出された電流値が所定値未満の場合に、前記圧力が所定の圧力を維持するようにモータ部２の出力を所定値に設定するようにした。 （もっと読む）

圧電式ディスペンス機器１０は、液貯蔵部２０ａと圧電式ディスペンスチューブ７０とを含む圧電式ディスペンス装置２０を含む。本機器は、本装置とプランジャとを収容する取付け台を含み、プランジャは、貯蔵部に接し、貯蔵部の上部を密閉するように形成および構成され、また、貫通孔を形成し、これにより、貫通孔を介して、貯蔵部に対して減圧および／または加圧を行う。プランジャは、取付け台に対し近づいたり離れたりして上下方向に移動することができる。液体貯蔵部は、開口上部を形成するとともに基部に流出口を形成し、流出口はフィルタによって閉鎖される。貯蔵部の基部には、脚部が形成される。二次フィルタアセンブリは、貯蔵部の基部に装着可能である。二次フィルタアセンブリは、二次フィルタアセンブリが貯蔵部に取り付けられると、貯蔵部と流体連通する孔部を形成する。また、二次フィルタアセンブリは、孔部と流体連通する圧電式ディスペンスチューブを着脱可能に取り付ける手段を形成する。圧電式ディスペンス装置は、貯蔵部が着脱可能な二次フィルタアセンブリに取り付けられるまで貯蔵部の流出口を閉鎖するダックスバムバルブまたはセプタムを含む。
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【課題】複数箇所の容器に検体や試薬を分注する場合であっても、効率良く検体や試薬を混合した液体を攪拌できる分注装置を提供する。
【解決手段】円筒形状の枠体１０３と、複数の超音波振動子１０５と、超音波伝達媒体が供給、排出可能に構成された略円筒形状のバッグ１０７とを有する超音波照射装置１０１を分注装置の作業領域に設け、マイクロプレートに所定量の液体を分注する前に、所望の液体を吸引したノズルチップ１９内の液体に向けて超音波を照射して液体を攪拌する。 （もっと読む）

【課題】人手による１操作によってウエルに対する試薬の注入とウエルの移動が可能な、簡便で使い勝手のよい試薬注入装置を提供する。
【解決手段】試薬を収容した容器６を載置する載置台５と、容器６から吐出しノズル８を介して試薬を排出させるプッシュポンプ７と、プッシュポンプ７を押圧作動可能な操作レバー２５等からなるプッシャと、ウエルを整列状態に配置したプレート部材を支持するスライドテーブル４と、スライドテーブル４をウエルの進行方向に１ピッチ分ずつ移動させる移動手段とを備え、前記プッシャによりプッシュポンプ７を押圧してウエルに試薬を分注するとともに次のウエルへ移動する。 （もっと読む）

洗浄溶液を生成及び分配する方法並びに装置。洗浄溶液は分配装置内で化学物質を反応させることによって生成される。一つの実施態様では、分配装置は触媒又は反応物を収容している導管を有する。前駆体は、導管を通る際、反応して洗浄溶液を形成する。洗浄溶液は次いで、分配される前にタンクに貯蔵される。別の実施態様では、分配装置は洗浄溶液を生成するのに用いられる前駆体を収容している第１の部分と、洗浄溶液を生成するのに用いられる１つ又は複数の反応物若しくは触媒を収容している第２の部分とを有する。分配動作中、第１の部分の内容物が第２の部分の内容物と接触し、それにより、化学反応が生じて洗浄溶液が生成される。いくつかの実施形態では、分配装置の１つ又は複数の部分は移動プラットフォームに載置される。
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【課題】 液体混合の効率を向上できるシンクロ分析器の保存及び注入機構を提供する。
【解決手段】 回転盤装置は１０、駆動ユニット１１と受け台１２とを有する。受け台１２は、駆動ユニット１１に連結されている。若干の保存注入ユニット２０は、それぞれ保存筒２２と作用ユニット２３とを有する。保存筒２２は、一定の距離で受け台１２の周辺上に連接され、その中に液体を収納するための収納室２２１を有し、保存筒２２の底縁に外界と収納室２２１に繋がる注入孔２２２を有する。作用ユニット２３は、収納室２２１内に位置付けられている。回転盤装置１０により各保存注入ユニット２０を動かして回転させ、一つの所定の保存注入ユニット２０を所定の位置に置き、所定の位置における作用ユニット２３を移動させ、収納室２２１内の液体を注入孔２２２から押し出すことが可能である。 （もっと読む）

【課題】薬液洗浄の作業負担が軽くて済むと共に長時間の連続運転が可能な石灰水注入装置を提供する。
【解決手段】スラリー槽（３）との連通／遮断が可能なケーシング収納タイプのろ過膜モジュール（５，６）を用い、運転時は連通させておき、薬液洗浄時は遮断する。複数台のろ過膜モジュール（５，６）を用い、少なくとも１台の運転ろ過膜モジュールでスラリー（Ｌ）のろ過を継続しながら、残りのろ過膜モジュールを逆洗する。
【効果】薬液洗浄時にスラリー槽（３）内のスラリーを薬液（Ａ）に入れ替えたり，ろ過膜モジュール（５，６）をスラリー槽（３）から引き上げる手間がかからず、薬液洗浄の作業負担が軽くて済む。逆洗時にも一部の運転を継続するから長時間の連続運転が可能となる。 （もっと読む）

【課題】水処理対象水系の障害を防止する為の水処理剤を、簡易な制御の下で適量に投入することのできる稼働コストおよび設備コストの低廉な薬注装置を提供する。
【解決手段】水処理対象水系内のおける処理対象水の状態を検出する温度センサ１５および／または前記処理対象水の汚れを検出するスライムセンサ１７、水処理対象水系内に水処理薬剤を投入する２台の薬注ポンプ１１，１２とを備え、薬注制御装置（ＣＰＵ）２１においては、一方の薬注ポンプを水処理設備のインターロックに連動させて作動させて必要最小限の量の水処理薬剤を投入し、前記センサの出力に応じて決定される時間に亘って他方の薬注ポンプを選択的に作動させて、水処理に必要な水処理薬剤の不足分を投入する。 （もっと読む）

本発明では液滴吐出装置から吐出された液滴が基板に着弾した後の位置制御を改善することが可能なパターンの作製方法を提供する。また着弾後の液滴位置精度を改善することが可能な液滴吐出装置を提供する。更には、本発明の液滴吐出装置を用いた半導体装置の製造方法を提供する。
本発明は、吐出部から吐出された液滴、又は液滴を着弾する基板にレーザ光を照射して、液滴の着弾位置を制御することを特徴とする。本発明によりフォトリソグラフィー工程を用いることなくパターンを形成することが可能である。
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本発明は、分注用シリンダ、大容量分注装置および大容量分注装置の使用方法に関し、多数種類の検査対象物について比較的大容量の流体を扱うにも拘らず、定量性が高く、かつ装置規模が抑制され、作業空間を効率的に利用することができる分注用シリンダ、大容量分注装置および大容量分注装置の使用方法を提供することを目的とし、細径部と、該細径部と連通し流体を収容可能な太径部と、該太径部内を摺動可能に設けられ前記細径部を介して該太径部に対し流体の吸引および吐出を可能とする摺動部と、該摺動部を駆動する吸引吐出機構に該摺動部を着脱自在に連結する連結部と、を有するように構成する。
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