プラズマ洗浄装置
【課題】リードフレームに搭載されたＬＥＤ素子を傷付けることなく、プラズマ洗浄するプラズマ洗浄装置を提供すること。
【解決手段】収納装置２内の３つの収納ブロック１０の各収納溝１３内に複数枚のリードフレーム３が収納されて開閉扉が閉じた状態で、プラズマ洗浄装置１において真空状態にされたチャンバー１Ａ内にプラズマ反応性ガスを供給すると共に、一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレーム３を洗浄する。このとき、収納装置２の各収納溝１３内に収納された状態の各リードフレーム３は各マグネット１４の磁力により下方に引かれて垂直状態に自立するので、傾いて各リードフレーム３は上端部が互いに近くなったり、逆に遠くなったりしないようにすることができる。
【解決手段】収納装置２内の３つの収納ブロック１０の各収納溝１３内に複数枚のリードフレーム３が収納されて開閉扉が閉じた状態で、プラズマ洗浄装置１において真空状態にされたチャンバー１Ａ内にプラズマ反応性ガスを供給すると共に、一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレーム３を洗浄する。このとき、収納装置２の各収納溝１３内に収納された状態の各リードフレーム３は各マグネット１４の磁力により下方に引かれて垂直状態に自立するので、傾いて各リードフレーム３は上端部が互いに近くなったり、逆に遠くなったりしないようにすることができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置に関する。詳述すると、ＬＥＤ素子が搭載されたリードフレームを複数枚並設して収納するプラズマ洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のプラズマ洗浄装置は、例えば特許文献１などに開示されているが、電子部品としての複数のＬＥＤ素子が端部に搭載されたリードフレームを複数枚並設して収納して洗浄するものも出現している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１２３３７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、プラズマ洗浄装置内において、並設収納された複数枚のリードフレームのうち、傾斜して互いの間隔が広くなったリードフレームが存在すると、プラズマ洗浄の際に広くなったリードフレーム間の異常放電により異常なプラズマが発生して、前記間隔が広くなったリードフレームに搭載された前記ＬＥＤ素子を傷付けてしまうという問題が考えられる。
【０００５】
そこで本発明は、リードフレームに搭載されたＬＥＤ素子を傷付けることなく、プラズマ洗浄するプラズマ洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このため第１の発明は、真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝を上面に形成する共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納装置を設けたことを特徴とする。
【０００７】
第２の発明は、真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、
前記チャンバー内に出し入れ可能なベースと、
このベース上に設けられ、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝が上面に形成される共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納ブロックとを
備えた収納装置を設けたことを特徴とする。
【０００８】
第３の発明は、真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、
前記チャンバー内に出し入れ可能なベースと、このベース上に設けられ、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝が上面に形成される共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納ブロックとを備えた収納装置と、
複数枚の前記リードフレームを多段に収納する供給マガジンと、
この供給マガジン内の複数枚のリードフレームを前記チャンバー外に出ている前記ベース上の前記収納ブロック上に移送する移送装置と
を設けたことを特徴とする。
【０００９】
第４の発明は、真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、
前記チャンバー内に出し入れ可能なベースと、このベース上に設けられ、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝が上面に形成される共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納ブロックとを備えた収納装置と、
複数枚の前記リードフレームを多段に収納可能な排出マガジンと、
前記チャンバー外に出ている前記ベース上の前記収納ブロック上の洗浄を終えた複数枚のリードフレームを前記排出マガジンに移送する移送装置と
を設けたことを特徴とする。
【００１０】
第５の発明は、真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、
前記チャンバー内に出し入れ可能なベースと、このベース上に設けられ、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝が上面に形成される共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納ブロックとを備えた収納装置と、
複数枚の前記リードフレームを多段に収納する供給マガジンと、
この供給マガジン内の複数枚のリードフレームを前記チャンバー外に出ている前記ベース上の前記収納ブロック上に移送する第１移送装置と、
複数枚の前記リードフレームを多段に収納可能な排出マガジンと、
前記チャンバー外に出ている前記ベース上の前記収納ブロック上の洗浄を終えた複数枚のリードフレームを前記排出マガジンに移送する第２移送装置と
を設けたことを特徴とする。
【００１１】
第６の発明は、第１乃至第５の発明において、前記マグネットを前記収納溝に面しないように埋設したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、リードフレームに搭載されたＬＥＤ素子を傷付けることなく、プラズマ洗浄するプラズマ洗浄装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】洗浄ラインシステムの概略平面図である。
【図２】収納装置の平面図である。
【図３】収納装置の右側面図である。
【図４】収納ブロックの右側面図である。
【図５】立てた状態のリードフレームの側面図である。
【図６】第１移送装置及び第２移送装置によりリードフレームを移送させた状態の洗浄ラインシステムの概略平面図である。
【図７】プラズマ洗浄装置の収納装置の移動状態を説明するための図である。
【図８】従来の収納ブロックの右側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、リードフレームを洗浄するための洗浄ラインシステムの概略平面図である図１を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。１はプラズマ洗浄装置で、真空状態にされたチャンバー１Ａ内に基板を収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記基板を洗浄する。
【００１５】
２は基板としてのリードフレーム３を複数枚並設して収納する収納装置、６は上流側装置である供給マガジン７内の複数枚のリードフレーム３を前記収納装置２に移送する第１移送装置、４はこの収納装置２に収納された複数枚のリードフレーム３を下流側装置である排出用マガジン５に移送する第２移送装置である。
【００１６】
前記収納装置２の平面図である図２及び前記収納装置２の右側面図である図３において、前記プラズマ洗浄装置１の一部を構成する前記収納装置２は、Ｙ方向移動駆動源（例えば、Ｙ軸駆動モータ）を備えたＹ方向移動機構（図示せず）によりガイドに沿ってＹ方向（搬送方向と直交する方向）に移動可能なＹ方向移動体８と、このＹ方向移動体８上に位置決め固定されたベース９にＹ方向に所定間隔を存して設けられた３つの収納ブロック１０とから構成されて、前記チャンバー１Ａ内に出し入れ可能に設けられる。
【００１７】
そして、収納ブロック１０の右側面図である図４に示すように、前記収納装置２の各収納ブロック１０には、搬送方向（Ｘ方向）と平行に所定の間隔を存して複数の収納溝１３が上面から下方へ向けて各収納ブロック１０の中間位置まで延びて形成されており、前記収納溝１３の搬送方向と直交する方向の幅はリードフレーム３の厚さより少し幅広に形成されている。
【００１８】
詳述すると、第２移送装置４により前記収納装置２に収納されたリードフレーム３を下流側装置である排出用マガジン５に移送する際、また第１移送装置６により供給マガジン７内のリードフレーム３を前記収納装置２に移送する際に、前記収納溝１３の搬送方向と直交する方向の幅はこの移送の妨げとならないように狭すぎず、且つ各収納溝１３内に収納された状態の各リードフレーム３が傾いて上端部が互いに近くなったり、逆に遠くなったりしないように広すぎないような寸法に形成されている。
【００１９】
更に、前記各収納溝１３の底面より下方に少し離れた位置に、各収納溝１３に対応してそれぞれマグネット１４が各収納ブロック１０の下端から上方へ向けて延びて形成された取付溝内に所定間隔を存して３個ずつ埋設した状態で、この取付溝を封止蓋１２により封止している（図２乃至図４参照）。従って、前記マグネット１４は各収納溝１３に面していないので、リードフレーム３の移送の際に、リードフレーム３が各収納溝１３の底面上を摺動しても、この摺動によってマグネット１４が削られて粉末が発生しないので、ホコリ・ゴミが発生しない。このため、リードフレーム３にマグネット１４の粉末が吸着することがないので、プラズマ洗浄装置１内でその対策をとる必要がない。
【００２０】
なお、立てた状態のリードフレーム３の側面図である図５に示すように、前記リードフレーム３の上端部には複数のＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）素子１５が搭載され、また前記リードフレーム３は素材が鉄で表面がニッケルメッキを施しており、磁性体から構成されているので、前記リードフレーム３の移送の際に、各マグネット１４の磁力により各リードフレーム３は下方に引かれて、ほぼ垂直に立ちながら傾かないように移送されることなると共に、移送停止後は各収納溝１３内に収納された各リードフレーム３は各マグネット１４の磁力により複数箇所にて下方に引かれて垂直状態に自立するので、傾いて各リードフレーム３は特に上端部が互いに近くなったり、逆に遠くなったりしないようにすることができる。
【００２１】
なお、前記供給マガジン７及び排出用マガジン５は、前記収納装置２と同様にそれぞれ複数枚のリードフレーム３を収納する収納ブロックを多段に備えると共に、各マガジンを昇降させるエレベータ機構を備えている。従って、エレベ−タ機構により供給マガジン７を上昇又は下降させて受け渡すべきリードフレーム３を収納した収納ブロックを受渡し位置に移動させて、前記第１移送装置６によるリードフレーム３の移送に備えることができる。また、エレベ−タ機構により排出マガジン７を上昇又は下降させて収納装置２から受け継ぐべきリードフレーム３を収納した収納ブロックを受け継ぎ位置に移動させて、前記第２移送装置４によるリードフレーム３の移送に備えることができる。
【００２２】
前記第１移送装置６はＸ方向駆動源によりＸ方向（リードフレーム３の移送方向）に移動可能で先端部に移送体１６Ａを備えた連結体１６Ｂが連結固定された移動体１６を備え、前記移動体１６が移動するとその先端部に設けた移送体１６Ａにより供給マガジン７内の１つの収納ブロック上の複数枚のリードフレーム３は一括して前記収納装置２内の１つの収納ブロック１０の各収納溝１３内に導かれると共に各収納溝１３の底面上を摺動しながら移送されることとなる（図６参照）。
【００２３】
また、前記第２移送装置４は、リードフレーム３の搬送方向と平行に延びたガイドとなるスライドベース１７と、移動源を含む移動機構によりスライドベース１７に沿って移動可能で先端部に移送体１９Ａを備えた連結体１９Ｂが連結固定された移動体１９とから構成される。従って、この移動体１９の移動による移送体１９Ａによって前記収納装置２内の１つの収納ブロック上の洗浄を終えた複数枚のリードフレーム３は一括して排出マガジン５内に移送されるが、このとき各収納溝１３の底面上を摺動しながら移送されることとなる（図６参照）。
【００２４】
そして、前記収納装置２内の３つの収納ブロック１０の各収納溝１３内に複数枚のリードフレーム３が収納されて開閉扉が閉じた状態で、プラズマ洗浄装置１において真空状態にされたチャンバー１Ａ内にプラズマ反応性ガスを供給すると共に、一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレーム３を洗浄する。
【００２５】
このとき、収納装置２の各収納溝１３内に収納された状態の各リードフレーム３は各マグネット１４の磁力により下方に引かれて垂直状態に自立するので、各リードフレーム３が傾いて上端部が互いに近くなったり、逆に遠くなったりしないようにすることができる。
【００２６】
即ち、図８に示す従来の場合のように、マグネット１４を設けない場合にあっては、リードフレーム３同士が近くなって、この異常放電による異常なプラズマＰの発生によって、前記リードフレーム３の上端部にそれぞれ搭載されたＬＥＤ素子１５が傷付くことがあったが（図示せず）、本発明は前述したように、各リードフレーム３を各マグネット１４の磁力により下方に引くことにより、各リードフレーム３を上下方向において互いに等間隔のまま位置決め保持できて、特に上端部が互いに近くなったり、逆に遠くなったりしないようにできるので、前述した異常放電によるＬＥＤ素子１５が損傷するのを防止することができる。
【００２７】
そして、洗浄を終えると前記開閉扉が開いて、Ｙ方向移動駆動源が駆動するとＹ方向移動機構によりＹ方向移動体８がＹ方向（搬送方向と直交する方向）に移動し、このＹ方向移動体８上に固定されたベース９上の手前側の収納ブロック１０を前記チャンバー１Ａから外方へ移動させる（図７の左から２番目の状態）。
【００２８】
そして、前記第２移送装置４の移動機構により移動体１９が図１の右方向に移動すると（図６参照）、移送体１９Ａにより前記収納装置２内の手前側の収納ブロック１０上の洗浄を終えた複数枚のリードフレーム３は一括して排出マガジン５の受け継ぎ位置にある収納ブロックに移送されるが、このとき各収納溝１３の底面上を摺動しながら移送される。また、前記第２移送装置４の駆動と同時に、前記第１移送装置６の移動体１６も移動し、移送体１６Ａにより供給マガジン７内の受渡し位置にある収納ブロック上の複数枚のリードフレーム３は一括して前記収納装置２内の手前側の収納ブロック１０の各収納溝１３内に導かれると共に各収納溝１３の底面上を摺動しながら移送される（図６参照）。
【００２９】
次いで、同様に、Ｙ方向移動駆動源が駆動してＹ方向移動体８がＹ方向に移動し、このＹ方向移動体８上に固定されたベース９上の手前側と奥側との間の真ん中の収納ブロック１０を前記チャンバー１Ａから外方へ移動させる（図７の左から２番目の状態）。
【００３０】
そして、前記移動体１９が図１の右方向に移動して、移送体１９Ａにより前記収納装置２内の前記真ん中の収納ブロック１０上の洗浄を終えた複数枚のリードフレーム３は一括して排出マガジン５の受け継ぎ位置にある収納ブロックに移送される。また、前記第２移送装置４の駆動と同時に、前記第１移送装置６も作動して移送体１６Ａにより供給マガジン７内の受渡し位置にある収納ブロック上の複数枚のリードフレーム３は一括して前記収納装置２内の真ん中の収納ブロック１０の各収納溝１３内に導かれる。
【００３１】
更に、同様に、Ｙ方向移動駆動源が駆動してＹ方向移動体８がＹ方向に移動し、このＹ方向移動体８上に固定されたベース９上の奥側の収納ブロック１０を前記チャンバー１Ａから外方へ移動させる（図７の左から４番目の状態）。
【００３２】
そして、前記移動体１９が図１の右方向に移動して、移送体１９Ａにより前記収納装置２内の前記奥側の収納ブロック１０上の洗浄を終えた複数枚のリードフレーム３は一括して排出マガジン５の受け継ぎ位置にある収納ブロックに移送される。また、前記第２移送装置４の駆動と同時に、前記第１移送装置６も作動して移送体１６Ａにより供給マガジン７内の受渡し位置にある収納ブロック上の複数枚のリードフレーム３は一括して前記収納装置２内の奥側の収納ブロック１０の各収納溝１３内に導かれる。
【００３３】
このようにして、前記収納装置２内の全ての収納ブロック１０上の洗浄を終えた複数枚のリードフレーム３は排出マガジン５へ移送されると共に、供給マガジン７からこれから洗浄すするためのリードフレーム３が収納装置２内に移送され、Ｙ方向移動駆動源が駆動してＹ方向移動体８がＹ方向に移動し、全ての収納ブロック１０を前記チャンバー１Ａ内へ移動させ、前述したように、開閉扉が閉じてリードフレーム３を洗浄する。
【００３４】
以上のように本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
【符号の説明】
【００３５】
１ プラズマ洗浄装置
１Ａ チャンバー
２ 収納装置
３ リードフレーム
４ 第２移送装置
６ 第１移送装置
９ ベース
１０ 収納ブロック
１３ 収納溝
１４ マグネット
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置に関する。詳述すると、ＬＥＤ素子が搭載されたリードフレームを複数枚並設して収納するプラズマ洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種のプラズマ洗浄装置は、例えば特許文献１などに開示されているが、電子部品としての複数のＬＥＤ素子が端部に搭載されたリードフレームを複数枚並設して収納して洗浄するものも出現している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−１２３３７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、プラズマ洗浄装置内において、並設収納された複数枚のリードフレームのうち、傾斜して互いの間隔が広くなったリードフレームが存在すると、プラズマ洗浄の際に広くなったリードフレーム間の異常放電により異常なプラズマが発生して、前記間隔が広くなったリードフレームに搭載された前記ＬＥＤ素子を傷付けてしまうという問題が考えられる。
【０００５】
そこで本発明は、リードフレームに搭載されたＬＥＤ素子を傷付けることなく、プラズマ洗浄するプラズマ洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
このため第１の発明は、真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝を上面に形成する共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納装置を設けたことを特徴とする。
【０００７】
第２の発明は、真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、
前記チャンバー内に出し入れ可能なベースと、
このベース上に設けられ、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝が上面に形成される共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納ブロックとを
備えた収納装置を設けたことを特徴とする。
【０００８】
第３の発明は、真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、
前記チャンバー内に出し入れ可能なベースと、このベース上に設けられ、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝が上面に形成される共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納ブロックとを備えた収納装置と、
複数枚の前記リードフレームを多段に収納する供給マガジンと、
この供給マガジン内の複数枚のリードフレームを前記チャンバー外に出ている前記ベース上の前記収納ブロック上に移送する移送装置と
を設けたことを特徴とする。
【０００９】
第４の発明は、真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、
前記チャンバー内に出し入れ可能なベースと、このベース上に設けられ、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝が上面に形成される共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納ブロックとを備えた収納装置と、
複数枚の前記リードフレームを多段に収納可能な排出マガジンと、
前記チャンバー外に出ている前記ベース上の前記収納ブロック上の洗浄を終えた複数枚のリードフレームを前記排出マガジンに移送する移送装置と
を設けたことを特徴とする。
【００１０】
第５の発明は、真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、
前記チャンバー内に出し入れ可能なベースと、このベース上に設けられ、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝が上面に形成される共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納ブロックとを備えた収納装置と、
複数枚の前記リードフレームを多段に収納する供給マガジンと、
この供給マガジン内の複数枚のリードフレームを前記チャンバー外に出ている前記ベース上の前記収納ブロック上に移送する第１移送装置と、
複数枚の前記リードフレームを多段に収納可能な排出マガジンと、
前記チャンバー外に出ている前記ベース上の前記収納ブロック上の洗浄を終えた複数枚のリードフレームを前記排出マガジンに移送する第２移送装置と
を設けたことを特徴とする。
【００１１】
第６の発明は、第１乃至第５の発明において、前記マグネットを前記収納溝に面しないように埋設したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、リードフレームに搭載されたＬＥＤ素子を傷付けることなく、プラズマ洗浄するプラズマ洗浄装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】洗浄ラインシステムの概略平面図である。
【図２】収納装置の平面図である。
【図３】収納装置の右側面図である。
【図４】収納ブロックの右側面図である。
【図５】立てた状態のリードフレームの側面図である。
【図６】第１移送装置及び第２移送装置によりリードフレームを移送させた状態の洗浄ラインシステムの概略平面図である。
【図７】プラズマ洗浄装置の収納装置の移動状態を説明するための図である。
【図８】従来の収納ブロックの右側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１４】
以下、リードフレームを洗浄するための洗浄ラインシステムの概略平面図である図１を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。１はプラズマ洗浄装置で、真空状態にされたチャンバー１Ａ内に基板を収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記基板を洗浄する。
【００１５】
２は基板としてのリードフレーム３を複数枚並設して収納する収納装置、６は上流側装置である供給マガジン７内の複数枚のリードフレーム３を前記収納装置２に移送する第１移送装置、４はこの収納装置２に収納された複数枚のリードフレーム３を下流側装置である排出用マガジン５に移送する第２移送装置である。
【００１６】
前記収納装置２の平面図である図２及び前記収納装置２の右側面図である図３において、前記プラズマ洗浄装置１の一部を構成する前記収納装置２は、Ｙ方向移動駆動源（例えば、Ｙ軸駆動モータ）を備えたＹ方向移動機構（図示せず）によりガイドに沿ってＹ方向（搬送方向と直交する方向）に移動可能なＹ方向移動体８と、このＹ方向移動体８上に位置決め固定されたベース９にＹ方向に所定間隔を存して設けられた３つの収納ブロック１０とから構成されて、前記チャンバー１Ａ内に出し入れ可能に設けられる。
【００１７】
そして、収納ブロック１０の右側面図である図４に示すように、前記収納装置２の各収納ブロック１０には、搬送方向（Ｘ方向）と平行に所定の間隔を存して複数の収納溝１３が上面から下方へ向けて各収納ブロック１０の中間位置まで延びて形成されており、前記収納溝１３の搬送方向と直交する方向の幅はリードフレーム３の厚さより少し幅広に形成されている。
【００１８】
詳述すると、第２移送装置４により前記収納装置２に収納されたリードフレーム３を下流側装置である排出用マガジン５に移送する際、また第１移送装置６により供給マガジン７内のリードフレーム３を前記収納装置２に移送する際に、前記収納溝１３の搬送方向と直交する方向の幅はこの移送の妨げとならないように狭すぎず、且つ各収納溝１３内に収納された状態の各リードフレーム３が傾いて上端部が互いに近くなったり、逆に遠くなったりしないように広すぎないような寸法に形成されている。
【００１９】
更に、前記各収納溝１３の底面より下方に少し離れた位置に、各収納溝１３に対応してそれぞれマグネット１４が各収納ブロック１０の下端から上方へ向けて延びて形成された取付溝内に所定間隔を存して３個ずつ埋設した状態で、この取付溝を封止蓋１２により封止している（図２乃至図４参照）。従って、前記マグネット１４は各収納溝１３に面していないので、リードフレーム３の移送の際に、リードフレーム３が各収納溝１３の底面上を摺動しても、この摺動によってマグネット１４が削られて粉末が発生しないので、ホコリ・ゴミが発生しない。このため、リードフレーム３にマグネット１４の粉末が吸着することがないので、プラズマ洗浄装置１内でその対策をとる必要がない。
【００２０】
なお、立てた状態のリードフレーム３の側面図である図５に示すように、前記リードフレーム３の上端部には複数のＬＥＤ（Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ）素子１５が搭載され、また前記リードフレーム３は素材が鉄で表面がニッケルメッキを施しており、磁性体から構成されているので、前記リードフレーム３の移送の際に、各マグネット１４の磁力により各リードフレーム３は下方に引かれて、ほぼ垂直に立ちながら傾かないように移送されることなると共に、移送停止後は各収納溝１３内に収納された各リードフレーム３は各マグネット１４の磁力により複数箇所にて下方に引かれて垂直状態に自立するので、傾いて各リードフレーム３は特に上端部が互いに近くなったり、逆に遠くなったりしないようにすることができる。
【００２１】
なお、前記供給マガジン７及び排出用マガジン５は、前記収納装置２と同様にそれぞれ複数枚のリードフレーム３を収納する収納ブロックを多段に備えると共に、各マガジンを昇降させるエレベータ機構を備えている。従って、エレベ−タ機構により供給マガジン７を上昇又は下降させて受け渡すべきリードフレーム３を収納した収納ブロックを受渡し位置に移動させて、前記第１移送装置６によるリードフレーム３の移送に備えることができる。また、エレベ−タ機構により排出マガジン７を上昇又は下降させて収納装置２から受け継ぐべきリードフレーム３を収納した収納ブロックを受け継ぎ位置に移動させて、前記第２移送装置４によるリードフレーム３の移送に備えることができる。
【００２２】
前記第１移送装置６はＸ方向駆動源によりＸ方向（リードフレーム３の移送方向）に移動可能で先端部に移送体１６Ａを備えた連結体１６Ｂが連結固定された移動体１６を備え、前記移動体１６が移動するとその先端部に設けた移送体１６Ａにより供給マガジン７内の１つの収納ブロック上の複数枚のリードフレーム３は一括して前記収納装置２内の１つの収納ブロック１０の各収納溝１３内に導かれると共に各収納溝１３の底面上を摺動しながら移送されることとなる（図６参照）。
【００２３】
また、前記第２移送装置４は、リードフレーム３の搬送方向と平行に延びたガイドとなるスライドベース１７と、移動源を含む移動機構によりスライドベース１７に沿って移動可能で先端部に移送体１９Ａを備えた連結体１９Ｂが連結固定された移動体１９とから構成される。従って、この移動体１９の移動による移送体１９Ａによって前記収納装置２内の１つの収納ブロック上の洗浄を終えた複数枚のリードフレーム３は一括して排出マガジン５内に移送されるが、このとき各収納溝１３の底面上を摺動しながら移送されることとなる（図６参照）。
【００２４】
そして、前記収納装置２内の３つの収納ブロック１０の各収納溝１３内に複数枚のリードフレーム３が収納されて開閉扉が閉じた状態で、プラズマ洗浄装置１において真空状態にされたチャンバー１Ａ内にプラズマ反応性ガスを供給すると共に、一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレーム３を洗浄する。
【００２５】
このとき、収納装置２の各収納溝１３内に収納された状態の各リードフレーム３は各マグネット１４の磁力により下方に引かれて垂直状態に自立するので、各リードフレーム３が傾いて上端部が互いに近くなったり、逆に遠くなったりしないようにすることができる。
【００２６】
即ち、図８に示す従来の場合のように、マグネット１４を設けない場合にあっては、リードフレーム３同士が近くなって、この異常放電による異常なプラズマＰの発生によって、前記リードフレーム３の上端部にそれぞれ搭載されたＬＥＤ素子１５が傷付くことがあったが（図示せず）、本発明は前述したように、各リードフレーム３を各マグネット１４の磁力により下方に引くことにより、各リードフレーム３を上下方向において互いに等間隔のまま位置決め保持できて、特に上端部が互いに近くなったり、逆に遠くなったりしないようにできるので、前述した異常放電によるＬＥＤ素子１５が損傷するのを防止することができる。
【００２７】
そして、洗浄を終えると前記開閉扉が開いて、Ｙ方向移動駆動源が駆動するとＹ方向移動機構によりＹ方向移動体８がＹ方向（搬送方向と直交する方向）に移動し、このＹ方向移動体８上に固定されたベース９上の手前側の収納ブロック１０を前記チャンバー１Ａから外方へ移動させる（図７の左から２番目の状態）。
【００２８】
そして、前記第２移送装置４の移動機構により移動体１９が図１の右方向に移動すると（図６参照）、移送体１９Ａにより前記収納装置２内の手前側の収納ブロック１０上の洗浄を終えた複数枚のリードフレーム３は一括して排出マガジン５の受け継ぎ位置にある収納ブロックに移送されるが、このとき各収納溝１３の底面上を摺動しながら移送される。また、前記第２移送装置４の駆動と同時に、前記第１移送装置６の移動体１６も移動し、移送体１６Ａにより供給マガジン７内の受渡し位置にある収納ブロック上の複数枚のリードフレーム３は一括して前記収納装置２内の手前側の収納ブロック１０の各収納溝１３内に導かれると共に各収納溝１３の底面上を摺動しながら移送される（図６参照）。
【００２９】
次いで、同様に、Ｙ方向移動駆動源が駆動してＹ方向移動体８がＹ方向に移動し、このＹ方向移動体８上に固定されたベース９上の手前側と奥側との間の真ん中の収納ブロック１０を前記チャンバー１Ａから外方へ移動させる（図７の左から２番目の状態）。
【００３０】
そして、前記移動体１９が図１の右方向に移動して、移送体１９Ａにより前記収納装置２内の前記真ん中の収納ブロック１０上の洗浄を終えた複数枚のリードフレーム３は一括して排出マガジン５の受け継ぎ位置にある収納ブロックに移送される。また、前記第２移送装置４の駆動と同時に、前記第１移送装置６も作動して移送体１６Ａにより供給マガジン７内の受渡し位置にある収納ブロック上の複数枚のリードフレーム３は一括して前記収納装置２内の真ん中の収納ブロック１０の各収納溝１３内に導かれる。
【００３１】
更に、同様に、Ｙ方向移動駆動源が駆動してＹ方向移動体８がＹ方向に移動し、このＹ方向移動体８上に固定されたベース９上の奥側の収納ブロック１０を前記チャンバー１Ａから外方へ移動させる（図７の左から４番目の状態）。
【００３２】
そして、前記移動体１９が図１の右方向に移動して、移送体１９Ａにより前記収納装置２内の前記奥側の収納ブロック１０上の洗浄を終えた複数枚のリードフレーム３は一括して排出マガジン５の受け継ぎ位置にある収納ブロックに移送される。また、前記第２移送装置４の駆動と同時に、前記第１移送装置６も作動して移送体１６Ａにより供給マガジン７内の受渡し位置にある収納ブロック上の複数枚のリードフレーム３は一括して前記収納装置２内の奥側の収納ブロック１０の各収納溝１３内に導かれる。
【００３３】
このようにして、前記収納装置２内の全ての収納ブロック１０上の洗浄を終えた複数枚のリードフレーム３は排出マガジン５へ移送されると共に、供給マガジン７からこれから洗浄すするためのリードフレーム３が収納装置２内に移送され、Ｙ方向移動駆動源が駆動してＹ方向移動体８がＹ方向に移動し、全ての収納ブロック１０を前記チャンバー１Ａ内へ移動させ、前述したように、開閉扉が閉じてリードフレーム３を洗浄する。
【００３４】
以上のように本発明の実施態様について説明したが、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包含するものである。
【符号の説明】
【００３５】
１ プラズマ洗浄装置
１Ａ チャンバー
２ 収納装置
３ リードフレーム
４ 第２移送装置
６ 第１移送装置
９ ベース
１０ 収納ブロック
１３ 収納溝
１４ マグネット
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝を上面に形成する共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納装置を設けたことを特徴とするプラズマ洗浄装置。
【請求項２】
真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、
前記チャンバー内に出し入れ可能なベースと、
このベース上に設けられ、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝が上面に形成される共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納ブロックとを
備えた収納装置を設けたことを特徴とするプラズマ洗浄装置。
【請求項３】
真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、
前記チャンバー内に出し入れ可能なベースと、このベース上に設けられ、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝が上面に形成される共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納ブロックとを備えた収納装置と、
複数枚の前記リードフレームを多段に収納する供給マガジンと、
この供給マガジン内の複数枚のリードフレームを前記チャンバー外に出ている前記ベース上の前記収納ブロック上に移送する移送装置と
を設けたことを特徴とするプラズマ洗浄装置。
【請求項４】
真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、
前記チャンバー内に出し入れ可能なベースと、このベース上に設けられ、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝が上面に形成される共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納ブロックとを備えた収納装置と、
複数枚の前記リードフレームを多段に収納可能な排出マガジンと、
前記チャンバー外に出ている前記ベース上の前記収納ブロック上の洗浄を終えた複数枚のリードフレームを前記排出マガジンに移送する移送装置と
を設けたことを特徴とするプラズマ洗浄装置。
【請求項５】
真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、
前記チャンバー内に出し入れ可能なベースと、このベース上に設けられ、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝が上面に形成される共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納ブロックとを備えた収納装置と、
複数枚の前記リードフレームを多段に収納する供給マガジンと、
この供給マガジン内の複数枚のリードフレームを前記チャンバー外に出ている前記ベース上の前記収納ブロック上に移送する第１移送装置と、
複数枚の前記リードフレームを多段に収納可能な排出マガジンと、
前記チャンバー外に出ている前記ベース上の前記収納ブロック上の洗浄を終えた複数枚のリードフレームを前記排出マガジンに移送する第２移送装置と
を設けたことを特徴とするプラズマ洗浄装置。
【請求項６】
前記マグネットを前記収納溝に面しないように埋設したことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のプラズマ洗浄装置。
【請求項１】
真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝を上面に形成する共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納装置を設けたことを特徴とするプラズマ洗浄装置。
【請求項２】
真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、
前記チャンバー内に出し入れ可能なベースと、
このベース上に設けられ、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝が上面に形成される共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納ブロックとを
備えた収納装置を設けたことを特徴とするプラズマ洗浄装置。
【請求項３】
真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、
前記チャンバー内に出し入れ可能なベースと、このベース上に設けられ、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝が上面に形成される共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納ブロックとを備えた収納装置と、
複数枚の前記リードフレームを多段に収納する供給マガジンと、
この供給マガジン内の複数枚のリードフレームを前記チャンバー外に出ている前記ベース上の前記収納ブロック上に移送する移送装置と
を設けたことを特徴とするプラズマ洗浄装置。
【請求項４】
真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、
前記チャンバー内に出し入れ可能なベースと、このベース上に設けられ、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝が上面に形成される共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納ブロックとを備えた収納装置と、
複数枚の前記リードフレームを多段に収納可能な排出マガジンと、
前記チャンバー外に出ている前記ベース上の前記収納ブロック上の洗浄を終えた複数枚のリードフレームを前記排出マガジンに移送する移送装置と
を設けたことを特徴とするプラズマ洗浄装置。
【請求項５】
真空状態にされたチャンバー内にリードフレームを収納して、プラズマ反応性ガスを供給すると共に一対の電極のうちの一方に高周波電源により高周波を印加して前記反応性ガスをプラズマ化して前記リードフレームを洗浄するプラズマ洗浄装置において、
前記チャンバー内に出し入れ可能なベースと、このベース上に設けられ、複数枚の各リードフレームを立てた状態で支承して並設収納するための複数の収納溝が上面に形成される共に、各収納溝内に収納された前記リードフレームを磁力により下方に引いて位置決め保持するマグネットを埋設した収納ブロックとを備えた収納装置と、
複数枚の前記リードフレームを多段に収納する供給マガジンと、
この供給マガジン内の複数枚のリードフレームを前記チャンバー外に出ている前記ベース上の前記収納ブロック上に移送する第１移送装置と、
複数枚の前記リードフレームを多段に収納可能な排出マガジンと、
前記チャンバー外に出ている前記ベース上の前記収納ブロック上の洗浄を終えた複数枚のリードフレームを前記排出マガジンに移送する第２移送装置と
を設けたことを特徴とするプラズマ洗浄装置。
【請求項６】
前記マグネットを前記収納溝に面しないように埋設したことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のプラズマ洗浄装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１２−２００６８５（Ｐ２０１２−２００６８５Ａ）
【公開日】平成２４年１０月２２日（２０１２．１０．２２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−６８６６６（Ｐ２０１１−６８６６６）
【出願日】平成２３年３月２５日（２０１１．３．２５）
【出願人】（３０００２２５０４）株式会社日立ハイテクインスツルメンツ (607)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１０月２２日（２０１２．１０．２２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年３月２５日（２０１１．３．２５）
【出願人】（３０００２２５０４）株式会社日立ハイテクインスツルメンツ (607)
【Ｆターム（参考）】
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