基板処理システム
【課題】セキュリティ及び操作性の向上を実現する基板処理システムを提供する。
【解決手段】
本発明に係る基板処理システムは、基板を処理する基板処理装置及びこれを制御するための制御データを編集及び操作する制御装置とを有する基板処理システムであって、前記制御装置は、操作者を認証する認証手段と、認証された操作者から、制御データの編集及び操作を受け付ける受付手段と、制御データの編集及び操作が受け付けられない状態で予め定められた時間が経過した場合であって、予め定められた時間前に最後に制御データが編集されていたときには、編集された内容を保存して、認証された操作者の認証を無効化し、予め定められた時間前に最後に制御データが操作されていたときには、制御データの操作が完了した後、認証された操作者の認証を無効化する無効化手段とを有する。
【解決手段】
本発明に係る基板処理システムは、基板を処理する基板処理装置及びこれを制御するための制御データを編集及び操作する制御装置とを有する基板処理システムであって、前記制御装置は、操作者を認証する認証手段と、認証された操作者から、制御データの編集及び操作を受け付ける受付手段と、制御データの編集及び操作が受け付けられない状態で予め定められた時間が経過した場合であって、予め定められた時間前に最後に制御データが編集されていたときには、編集された内容を保存して、認証された操作者の認証を無効化し、予め定められた時間前に最後に制御データが操作されていたときには、制御データの操作が完了した後、認証された操作者の認証を無効化する無効化手段とを有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板やガラス基板等の基板を処理する基板処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板処理システムは、基板処理装置及びリモート端末から構成される。基板処理装置は、各種パラメータ及びレシピに基づいて制御される。リモート端末には、専用のアプリケーションがインストールされ、リモート端末を利用するユーザは、アプリケーションを起動してログインすることによって、ネットワークを介して基板処理装置にアクセスし、パラメータ及びレシピを編集及び操作することができる。
リモート端末を利用するユーザが不特定多数である場合には、あるユーザ（ユーザＡ）がログインして作業した後、ログアウトせずリモート端末を離れてしまい、別のユーザ（ユーザＢ）がユーザＡになりすまして作業するおそれがある。
このようなセキュリティの問題を解決するため、例えば、あるユーザがログアウトしないままセッションを切断した後、別のユーザが再度セッションを接続した場合に、図１に示すような警告画面を表示することにより、別のユーザにログアウトを促すという技術が知られている。
しかしながら、ユーザにとっては、このようにログアウトを促されることは非常に煩雑である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、上述した背景からなされたものであり、セキュリティ及び操作性の向上を実現する基板処理システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記目的を達成するために、本発明に係る基板処理システムは、基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置を制御する制御データを編集及び操作して、前記基板処理装置を制御する制御装置とを有する基板処理システムであって、前記制御装置は、前記制御装置の操作者を認証する認証手段と、前記認証手段により認証された操作者から、制御データの編集及び操作を受け付ける受付手段と、前記受付手段により制御データの編集及び操作が受け付けられない状態で予め定められた時間が経過した場合であって、予め定められた時間前に最後に制御データが編集されていたときには、編集された内容を保存して、前記認証手段により認証された操作者の認証を無効化し、予め定められた時間前に最後に制御データが操作されていたときには、制御データの操作が完了した後、前記認証手段により認証された操作者の認証を無効化する無効化手段とを有する基板処理システムである。
【０００５】
好適には、制御データの操作は、制御データのコピー、削除及び移動である。
【０００６】
好適には、前記無効化手段は、前記受付手段により制御データの編集及び操作が受け付けられず、予め定められた時間が経過し、直前に制御データが編集されていた場合、編集された制御データをバッファに保存する。
【０００７】
好適には、前記認証手段により認証された操作者が再度認証された場合、前記受付手段は、再度認証された操作者から、バッファに保存された制御データの編集及び操作を受け付ける。
【０００８】
好適には、前記無効化手段により制御データが保存されるバッファは、操作者ごとに設けられる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る基板処理システムによれば、再ログインが促されることなく、ユーザのなりすましが防止されるので、セキュリティ及び操作性の向上を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
[基板処理システム１の全体構成]
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。
図２は、本発明の実施形態に係る基板処理システム１の構成を示す図である。
図２に示すように、基板処理システム１は、基板処理装置１０−１〜１０−ｎ、ルータ１６及び外部操作装置１７を有し、これらは、例えば、ＬＡＮ等の通信ネットワーク１８により互いに通信可能なように接続されている。
このような構成によって、基板処理システム１において、基板処理装置１０−１〜１０−ｎは、外部操作装置１７からの制御を受け付ける。
【００１１】
なお、複数存在しうる基板処理装置１０−１〜１０−ｎなどのいずれかが特定されずに示されるときには、基板処理装置１０などと略記される。
以下、各図面において、実質的に同じ構成部分には、同じ符号が付加される。
【００１２】
[基板処理装置１０]
基板処理装置１０は、それぞれ、基板処理装置本体１１を有する。さらに、基板処理装置本体１１は、それぞれ、主コントローラ１２、スイッチングハブ１３、操作装置１４及びビデオケーブル１５を有する。
基板処理装置本体１１の外壁（例えば、基板処理装置１０の背面側（図２における左側））には、それぞれ、操作装置１４が装着されている。操作装置１４は、ビデオケーブルを介して、主コントローラに接続されている。
また、基板処理装置１０には、スイッチングハブ１３を介して主コントローラ１２に接続されるようにして、外部操作装置１７が接続されている。
なお、基板処理装置１０の詳細は後述する。
【００１３】
[主コントローラ１２]
主コントローラ１２は、少なくとも、処理炉（後述）を制御する制御手段として用いられ、主コントローラ１２によって、基板処理装置１０が制御される。また、主コントローラ１２は、ビデオケーブル１５及び通信ネットワーク１８を介して、操作装置１４及び外部操作装置１７から、基板処理装置１０に関するパラメータ及びレシピに対する編集及び操作を受け入れる。例えば、主コントローラ１２は、モータ（後述）に関するパラメータの編集を受け入れた場合には、搬送制御部（後述）に対して、受け入れた編集内容を反映させるようにする。また、主コントローラ１２は、ヒータ（後述）に関するパラメータの編集を受け入れた場合には、プロセス制御部（後述）に対して、受け入れた編集内容を反映させるようにする。
【００１４】
ここで、基板処理装置１０に関するパラメータは、例えば、基板処理装置１０を操作するユーザ、ユーザが所属するグループに応じて予め設定される操作権限を定義する権限パラメータ、及び、ユーザが操作する機能を制限する機能制御パラメータなどである。また、基板処理装置１０に関するレシピは、例えば、複数のプロセスからなる運転レシピである。
基板処理装置１０に関するパラメータ及びレシピは、パラメータ及びレシピが関連する制御部のＲＡＭ（後述）などに、ファイル形式で記憶される。例えば、モータに関するパラメータ及びレシピは、搬送制御部のＲＡＭに記憶され、ヒータに関するパラメータ及びレシピは、プロセス制御部のＲＡＭに記憶される。
以下、基板処理装置１０に関するパラメータ及びレシピをファイル形式で保存したものの少なくとも一部を変更することを「ファイル編集」と記載し、コピー、削除及び移動することを「ファイル操作」と記載する。
【００１５】
[操作装置１４]
操作装置１４は、基板処理装置１０の近傍に配置される。ここでは、操作装置１４は、基板処理装置本体１１に装着させているが、基板処理装置１０と一体にしてもよいし、基板処理装置１０と別体にしてもよい。
ここで、操作装置１４が基板処理装置１０の近傍に配置されるとは、基板処理装置１０を操作するユーザが、基板処理装置１０の状態を確認できる位置に操作装置１４が配置されていることをいう。
【００１６】
操作装置１４は、例えば、液晶表示パネルからなる表示装置（不図示）を有する。
操作装置１４のＣＰＵ（不図示）が表示制御プログラム（後述）を実行することにより、表示装置には、少なくとも、ユーザ認証、ファイル編集及びファイル操作を行うための画面が表示される。
【００１７】
[外部操作装置１７]
外部操作装置１７は、操作装置１４と同様の表示装置を有し、外部操作装置１７においても、外部操作装置１７のＣＰＵ（不図示）が表示制御プログラム（後述）を実行することにより、表示装置には、少なくとも、ユーザ認証、ファイル編集及びファイル操作を行うための画面が表示される。
外部操作装置１７は、例えば、ＷＢＴ（Ｗｉｎｄｏｗｓ（登録商標）−Ｂａｓｅｄ Ｔｅｒｍｉｎａｌ）からなる。ＷＢＴとは、前述のＴＳＥが動作するサーバにネットワークを介して接続して処理するための専用端末機である。
また、外部操作装置１７は、基板処理装置１０（または基板処理装置本体１１）近傍に配置される。ここでは、外部操作装置１７は、基板処理装置本体１１に直接接続させ、スイッチングハブ１３を介して主コントローラにアクセスするよう構成しているが、ルータ１６を介して基板処理装置本体１１に接続させてもよい。
また、ここでは、１台の外部操作装置１７が１台の基板処理装置１０に接続されるよう構成しているが、複数の外部操作装置１７が１台の基板処理装置１０に接続されるよう構成してもよい。
また、外部操作装置１７は、基板処理装置１０が設置されているクリーンルーム内に設置されてもよいし、別のフロアに設置されてもよい。
【００１８】
[基板処理装置１０の詳細構成]
図３には、基板処理装置１０が斜視図を用いて示されている。また、図４には、基板処理装置１０が側面透視図を用いて示されている。
基板処理装置１０は、基板として用いられるシリコン等からなるウエハ１００を処理する。
【００１９】
図３及び図４に示されているように、基板処理装置１０は、基板処理装置本体１１を備える。また、基板処理装置１０では、ウエハ１００を収納したウエハキャリアとして用いられるフープ（基板収容器。以下、ポッド）１０１が使用されている。
基板処理装置本体１１の正面壁１１ａの正面前方部にはメンテナンス可能なように設けられた開口部として用いられる正面メンテナンス口１０２が設置され、正面メンテナンス口１０２を開閉する正面メンテナンス扉１０３が建て付けられている。なお、上側の正面メンテナンス扉１０３近傍には、操作部（不図示）が設置されている。
【００２０】
基板処理装置本体１１の正面壁１１ａには、ポッド搬入搬出口１０４が基板処理装置本体１１の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出部１０４はフロントシャッタ１０５によって開閉されるようになっている。
ポッド搬入搬出部１０４の正面前方側にはロードポート１０６が設置されており、ロードポート１０６はポッド１０１を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド１０１はロードポート１０６上に工程内搬送装置（不図示）によって搬入され、ロードポート１０６上から搬出されるようになっている。
【００２１】
基板処理装置本体１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚１０７が設置されており、回転式ポッド棚１０７は複数個のポッド１０１を保管するように構成されている。すなわち、回転式ポッド棚１０７は垂直に設置されて水平面内で間欠回転される支柱１０８と、支柱１０８に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板１０９とを備えており、複数枚の棚板１０９はポッド１０１を複数個宛にそれぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
【００２２】
基板処理装置本体１１内におけるロードポート１０６と回転式ポッド棚１０７との間には、ポッド搬送装置１１０が設置されており、ポッド搬送装置１１０は、ポッド１０１を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ１１０ａと搬送機構としてのポッド搬送機構１１０ｂとで構成されており、ポッド搬送装置１１０はポッドエレベータ１１０ａとポッド搬送機構１１０ｂとの連続動作により、ロードポート１０６、回転式ポッド棚１０７、ポッドオープナ１１１との間で、ポッド１０１を搬送するように構成されている。
【００２３】
基板処理装置本体１１内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１１２が後端にわたって設置されている。サブ筐体１１２の正面壁１１２ａにはウエハ１００をサブ筐体１１２内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口１１３が一対、垂直方向に上下二段に並べられて設置されており、上下段のウエハ搬入搬出口１１３には、一対のポッドオープナ１１１がそれぞれ設置されている。ポッドオープナ１１１はポッド１０１を載置する載置台１１４と、ポッドのキャップを着脱するキャップ着脱機構１１５を備えている。ポッドオープナ１１１は載置台１１４に載置されたポッド１０１のキャップをキャップ着脱機構１１５によって着脱することにより、ポッド１０１のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。
【００２４】
サブ筐体１１２はポッド搬送装置１１０や回転式ポッド棚１０７の設置空間から流体的に隔絶された移載室１１６を構成している。移載室１１６の前側領域にはウエハ移載機構１１７が設置されており、ウエハ移載機構１１７は、ウエハ１００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置１１７ａ及びウエハ移載装置１１７ａを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ１１７ｂとで構成されている。図３に模式的に示されているようにウエハ移載装置エレベータ１１７ｂは基板処理装置本体１１右側端部とサブ筐体１１２の移載室１１６前方領域右端部との間に設置されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ１１７ｂ及びウエハ移載装置１１７ａの連続動作により、ウエハ移載装置１１７ａのツイーザ１１７ｃをウエハ１００の載置部として、ボート１１８に対してウエハ１００を装填（チャージング）及び脱装（ディスチャージング）するように構成されている。
【００２５】
移載室１１６の後側領域には、ボート１１８を収容して待機させる待機部１１９が構成されている。待機部１１９の上方には、処理炉１２０が設けられている。処理炉１２０の下端部は、炉口シャッタ１２１により開閉されるように構成されている。
【００２６】
図３に模式的に示されているように、基板処理装置本体１１右側端部とサブ筐体１１２の待機部１１９右端部との間にはボート１１８を昇降させるためのボートエレベータ１２２が設置されている。ボートエレベータ１２２の昇降台に連結された連結具としてのアーム１２３には蓋体としてのシールキャップ１２４が水平に据え付けられており、シールキャップ１２４はボート１１８を垂直に支持し、処理炉１２０の下端部を閉塞可能なように構成されている。
ボート１１８は複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０〜１２５枚程度）のウエハ１００をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。
【００２７】
また、図３に模式的に示されているように移載室１１６のウエハ移載装置エレベータ１１７ｂ側及びボートエレベータ１２２側と反対側である左側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１２５を供給するよう供給ファン及び防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１２６が設置されており、ウエハ移載装置１１７ａとクリーンユニット１２６との間には、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置（不図示）が設置されている。
【００２８】
クリーンユニット１２６から吹き出されたクリーンエア１２５は、ノッチ合わせ装置及びウエハ移載装置１１７ａ、待機部１１９にあるボート１１８に流通された後に、ダクト（不図示）により吸い込まれて、基板処理装置本体１１の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット１２６の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環され、再びクリーンユニット１２６によって、移載室１１７内に吹き出されるように構成されている。
【００２９】
[基板処理装置１０の動作]
次に、本発明の基板処理装置１０の動作について説明する。
図３及び図４に示されているように、ポッド１０１がロードポート１０６に供給されると、ポッド搬入搬出口１０４がフロントシャッタ１０５によって開放され、ロードポート１０６の上のポッド１０１はポッド搬送装置１１０によって基板処理装置本体１１の内部へポッド搬入搬出口１０４から搬入される。
【００３０】
搬入されたポッド１０１は回転式ポッド棚１０７の指定された棚板１０９へポッド搬送装置１１０によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１０９から一方のポッドオープナ１１１に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１０９から一方のポッドオープナ１１１に搬送されて載置台１１４に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ１１１に搬送されて載置台１１４に移載される。この際、ポッドオープナ１１１のウエハ搬入搬出口１１３はキャップ着脱機構１１５によって閉じられており、移載室１１６にはクリーンエア１２５が流通され、充満されている。例えば、移載室１１６にはクリーンエア１２５として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、基板処理装置本体１１の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。
【００３１】
載置台１１４に載置されたポッド１０１はその開口側端面がサブ筐体１１２の正面壁１１２ａにおけるウエハ搬入搬出口１１３の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ウエハ出し入れ口を開放される。
ポッド１０１がポッドオープナ１１１によって開放されると、ウエハ１００はポッド１０１からウエハ移載装置１１７ａのツイーザ１１７ｃによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、ノッチ合わせ装置（不図示）にてウエハを整合した後、移載室１１６の後方にある待機部１１９へ搬入され、ボート１１８に装填（チャージング）される。ボート１１８にウエハ１００を受け渡したウエハ移載装置１１７ａはポッド１０１に戻り、次のウエハをボート１１８に装填する。
【００３２】
この一方（上段または下段）のポッドオープナ１１１におけるウエハ移載機構１１７によるウエハのボート１１８への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１１１には回転式ポッド棚１０７から別のポッド１０１がポッド搬送装置１１０によって搬送されて移載され、ポッドオープナ１１１によるポッド１０１の開放作業が同時進行される。
【００３３】
予め指定された枚数のウエハ１００がボート１１８に装填されると、炉口シャッタ１２１によって閉じられていた処理炉１２０の下端部が、炉口シャッタ１２１によって、開放される。続いて、ウエハ１００群を保持したボート１１８はシールキャップ１２４がボートエレベータ１２２によって上昇されることにより、処理炉１２０内へ搬入（ローディング）されて行く。
【００３４】
ローディング後は、処理炉１２０にてウエハ１００に任意の処理が実施される。
処理後は、ノッチ合わせ装置（不図示）でのウエハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウエハ１００及びポッド１０１は筐体の外部へ払出される。
【００３５】
[基板処理システム１のハードウエア構成]
以下、基板処理システム１におけるハードウエア構成を説明する。
図５は、基板処理システム１のハードウエア構成を示す図である。
図５に示すように、基板処理装置１０内の基板処理装置本体１１は、前述した主コントローラ１２、スイッチングハブ１３、操作装置１４及びビデオケーブル１５のほか、搬送制御部１９及びプロセス制御部２１を有する。
【００３６】
搬送制御部１９は、例えばＣＰＵなどからなる搬送系コントローラ２０を有し、プロセス制御部２１は、例えばＣＰＵなどからなるプロセス系コントローラ２２を有する。搬送系コントローラ２０及びプロセス系コントローラ２２は、スイッチングハブ１３を介して、主コントローラ１２に接続される。
なお、搬送系コントローラ２０及びプロセス系コントローラ２２の詳細は後述する。
【００３７】
[搬送制御部１９]
図６には、搬送制御部１９の詳細が記載されている。
図６に示されるように、搬送制御部１９は、上記の搬送系コントローラ２０を有するとともに、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）２００、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）２０１、モータドライバ２０２、モータドライバ２０３、及び、モータドライバ２０２及びモータドライバ２０３とのＩ／Ｏ制御を行うＩ／Ｏ制御部２０４を有する。ＲＯＭ２００及びＲＡＭ２０１は、モータ２０５及びモータ２０６に関するパラメータ及びレシピを記憶する。
搬送系コントローラ２０は、操作装置１４及び外部操作装置１７の表示装置でファイル編集及びファイル操作された内容を、ＲＡＭ２０１等に記憶されているパラメータ及びレシピに反映させ、反映後のパラメータ及びレシピに基づいて基板を搬送するための制御データを、モータドライバ２０２及びモータドライバ２０３に対して出力する。
モータドライバ２０２及びモータドライバ２０３は、基板を搬送するための駆動源として用いられるモータ２０５及びモータ２０６により、基板処理システム１内におけるウエハ１００の搬送を制御する。
【００３８】
[プロセス制御部２１]
図７には、プロセス制御部２１の詳細が記載されている。
図７に示されるように、プロセス制御部２１は、前述したプロセス系コントローラ２２を有するとともに、ＲＯＭ２００、ＲＡＭ２０１、温度制御部２０７、ガス制御部２０８、圧力制御部２０９、及び、温度制御部２０７等とのＩ／Ｏ制御を行うＩ／Ｏ制御部２０４を有する。ＲＯＭ２００及びＲＡＭ２０１は、前述した処理炉１２０、ヒータ２１０、ＭＦＣ（マスフローコントローラ）２１１、ガス配管２１２、排気配管２１３、圧力センサ２１４及びバルブ２１５に関するパラメータ及びレシピを記憶する。
プロセス系コントローラ２２は、操作装置１４及び外部操作装置１７の表示装置でファイル編集及びファイル操作された内容を、ＲＡＭ２０１等に記憶されているパラメータ及びレシピに反映させ、反映後のパラメータ及びレシピに基づいて基板を処理するための制御データを、温度制御部２０７、ガス制御部２０８及び圧力制御部２０９に対して出力する。
【００３９】
温度制御部２０７は、処理炉１２０の外周部に設けられたヒータ２１０により処理炉１２０内の温度を制御する。
ガス制御部２０８は、処理炉１２０のガス配管２１２に設けられたＭＦＣ（マスフローコントローラ）２１１からの出力値に基づいて処理炉１２０内に供給する反応ガスの供給量等を制御する。
圧力制御部２０９は、処理炉１２０の排気配管２１３に設けられた圧力センサ２１４の出力値に基づいてバルブ２１５を開閉することにより処理炉１２０内の圧力を制御する。
このように、温度制御部２０７等のサブコントローラは、プロセス系コントローラ２２からの制御データに基づいて基板処理装置１０の各部（ヒータ２１０、ＭＦＣ２１１及びバルブ２１５等）を制御する。
【００４０】
[表示制御プログラム２３]
図８は、前述した操作装置１４及び外部操作装置１７において実行される表示制御プログラム２３の機能構成を示す図である。
図８に示すように、表示制御プログラム２３は、ユーザインターフェース（ＵＩ部）２４、認証部２５、認証情報記憶部２６、セッション監視部２７、セッション情報記憶部２８及び操作制御部２９を有する。
表示制御プログラム２３は、例えば、フロッピー（登録商標）ディスク及びＣＤ−ＲＯＭなどの外部記憶媒体（不図示）に格納されて操作装置１４及び外部操作装置１７に供給され、メモリ（不図示）にロードされて、操作装置１４及び外部操作装置１７上で動作するＯＳ（Ｏｐｅｒａｔｉｏｎ Ｓｙｓｔｅｍ；不図示）上で、ハードウエア資源を具体的に利用して実行される。
なお、表示制御プログラム２３は、前述した通信ネットワーク１８に接続されたコンピュータから供給されてもよい。
【００４１】
[ＵＩ部２４]
表示制御プログラム２３において、ＵＩ部２４は、表示装置（不図示）に対するユーザの作業を受け入れ、表示制御プログラム２３の各構成要素に出力する。例えば、ＵＩ部２４は、ユーザ認証のためのユーザ名及びパスワードを受け入れた場合には、認証部２５に出力し、ファイル編集及びファイル操作を受け入れた場合には、操作制御部３０に出力する。また、ＵＩ部２４は、表示制御プログラム２３の各構成要素により作成されたデータ及び各構成要素の処理内容などを、表示装置に表示する。例えば、ＵＩ部２４は、認証部２５によるユーザ認証が失敗した場合には、その旨を表示装置に表示し、操作制御部２９により自動ログアウトされた場合には、その旨を表示装置に表示する。
【００４２】
[認証部２５]
認証部２５は、ＵＩ部２４から受け入れたユーザ名及びパスワードが、認証情報記憶部２６に予め登録されたユーザ名及びパスワードのいずれかと一致するか否かを判定する。認証部２５は、一致すると判定する場合には、表示装置の操作者が正規のユーザであると判断して（ユーザ認証に成功）、表示装置の操作者にファイル編集及びファイル操作を許可する。一方、そうでない場合には、表示装置の操作者は正規のユーザではないと判断し（ユーザ認証に失敗）、表示装置の操作者にファイル編集及びファイル操作を禁止する。
さらに、認証部２５は、このようなユーザ認証の履歴を認証情報記憶部２６に送信し、認証に成功したユーザの名前をセッション情報記憶部２８に送信する。
【００４３】
[認証情報記憶部２６]
認証情報記憶部２６は、例えば、図９に示すように、ユーザ名、パスワード及びログイン履歴というデータ項目を有する。
ユーザ名及びパスワードは、基板処理システム１の管理者などにより、予め登録される。ログイン履歴は、上記の認証部２５によってユーザ認証が行われた場合に、ユーザ認証の履歴として記憶される。
【００４４】
[セッション監視部２７]
セッション監視部２７は、例えば、１秒間隔でＯＳに対してＡＰＩ（例えば、WTSQuerySessionInformationなど）を実行することにより、セッションの接続状態を問い合わせる。
さらに、セッション監視部２７は、問い合わせた接続状態に応じて、セッション情報記憶部２８の接続状態を更新する。例えば、セッション監視部２７は、問い合わせた接続状態がアクティブである場合には、セッション情報記憶部２８の接続状態がアクティブになるよう更新する。一方、セッション監視部２７は、問い合わせた接続状態が切断であって、セッション情報記憶部２８に記憶されている接続状態がアクティブである場合には、セッション切断イベントを操作制御部２９に通知し、セッション情報記憶部２８の接続状態を更新する。セッション切断イベントは、例えば、予め定められた時間内に、ＵＩ部２４が、ユーザによる処理を受け入れないことなどである。
【００４５】
[セッション情報記憶部２８]
セッション情報記憶部２８は、例えば、図１０に示すように、ユーザ名及び接続状態というデータ項目を有する。ユーザ名として、上記の認証部２５から送信されたものがセットされ、接続状態として、ここでは、初期値'切断'がセットされている。
【００４６】
[操作制御部２９]
操作制御部２９は、ＵＩ部２４から受け入れたユーザによる処理の内容を、前述の主コントローラ１２に出力する。さらに、操作制御部２９は、上記のセッション監視部２７から、セッション切断イベントを通知された場合には、適宜、自動ログアウトする。
具体的には、操作制御部２９は、セッション切断イベントの発生直前にＵＩ部２４から受け入れた処理がファイル編集である場合には、編集された内容が反映されないようにして（つまり、編集された内容を破棄し、編集される前の状態で保存されるようにして）から、セッションを終了する（ログアウト）。なお、操作制御部２９は、編集された内容が予め作成されたバッファファイル（不図示）に保存されるようにしてから、セッションを終了してもよい。バッファファイルには、同一ユーザが再ログインすることによりアクセス可能であるようにしてもよい。また、バッファファイルは、ユーザごとに設けられてもよい。
また、操作制御部２９は、セッション切断イベントの発生直前にＵＩ部２４から受け入れた処理がファイル操作である場合には、予め定められた時間間隔で、ファイル操作が終了したか否かを確認し、ファイル操作が終了したことを確認してからセッションを終了する。
操作制御部２９は、セッションを終了した場合には、認証情報記憶部２６のログイン履歴を更新する。
【００４７】
図１１は、上記のＵＩ部２４により表示される画面である。
図１１Ａは、ＵＩ部２４により表示されるメイン画面である。メイン画面は、上記の表示制御プログラム２３の実行が開始される場合に表示される初期画面である。
図１１Ａに示すように、メイン画面には、ユーザ認証のためのログインボタン３０が表れる。
【００４８】
図１１Ｂは、ＵＩ部２４により表示される認証画面である。認証画面は、上記のメイン画面でログインボタン３０が押下されることにより、この認証画面に切り替えられる。
図１１Ｂに示すように、認証画面には、ユーザ名を入力するためのフォームであるユーザ名入力部３１、パスワードを入力するためのフォームであるパスワード入力部３２と、入力されたユーザ名及びパスワードを確定する確定ボタン３３とが表れる。
【００４９】
図１１Ｃは、ＵＩ部２４により表示されるメニュー画面である。メニュー画面は、上記の認証画面で確定ボタン３３が押下され、入力されたユーザ名及びパスワードに基づき、ユーザ認証が成功した場合、このメニュー画面に切り替えられる。
図１１Ｃに示すように、メニュー画面には、ファイル編集ボタン３４及びファイル操作ボタン表示部３５が表れる。ここでは、ファイル操作ボタンとして、ファイルコピーボタン３６、ファイル削除ボタン３７及びファイル移動ボタン３８が表れる。
【００５０】
図１２は、表示制御プログラム２３の全体動作（Ｓ１０）を説明するフローチャートである。
ステップ１００（Ｓ１００）において、前述したＵＩ部２４が、図１１Ａに示したメイン画面を表示する。
ステップ１０１（Ｓ１０１）において、ＵＩ部２４が、メイン画面のログインボタン３０が押下されたか否かを判定し、ログインボタン３０が押下されたと判定した場合、ステップ１０２の処理に進む。一方、そうでない場合には、ステップ１０１の判定を繰り返す。
ステップ１０２（Ｓ１０２）において、ＵＩ部２４が、図１１Ｂに示した認証画面を表示する。
ステップ１０３（Ｓ１０３）において、前述した認証部２５が、認証画面のユーザ名入力部３１に入力されたユーザ名及びパスワード入力部３２に入力されたパスワードに基づいて、ユーザ認証を行う。ユーザ認証が成功した場合には、ステップ１０４の処理に進み、そうでない場合には、ステップ１０３の判定を繰り返す。
【００５１】
ステップ１０４（Ｓ１０４）において、ステップ１０３で認証に成功したユーザがファイル編集及びファイル操作するための新しいセッションが生成され、ユーザにセッションＩＤが割り振られる。
さらに、接続状態の初期値が、前述したセッション情報記憶部２８に記憶され、ステップ１０５及びステップ１０８の処理に進む。なお、ステップ１０５〜１０７の処理及びステップ１０８〜１０９の処理は、並行して行われ、ステップ１１０におけるイベント検知をトリガとして、ステップ１０７の処理は自動ログアウト処理（Ｓ３０）に移行する。
ステップ１０５（Ｓ１０５）において、ＵＩ部２４は、図１１Ｃに示したメニュー画面を表示する。
ステップ１０６（Ｓ１０６）において、ＵＩ部２４が、メニュー画面のボタンが押下されたか否かを判定し、いずれかのボタンが押下されたと判定した場合、ステップ１０７の処理に進む。一方、そうでない場合には、ステップ１０６の判定を繰り返す。
【００５２】
ステップ１０７（Ｓ１０７）において、ＵＩ部２４が、表示装置に対するユーザの作業を受け入れる。さらに、ステップ１０７では、操作制御部２９が、ステップ１０９においてセッション切断イベントを受信した場合には、自動ログアウト処理（Ｓ３０）に進む。
ステップ１０８（Ｓ１０８）において、前述したセッション監視部２７が、ステップ１０４においてセッションが作成されてから、予め定められた時間を経過したか否かを判定する。予め定められた時間を経過したと判定した場合、セッション監視処理（Ｓ２０）に移行する。一方、そうでない場合には、ステップ１０８の判定を繰り返す。
ステップ１０９（Ｓ１０９）において、前述した操作制御部２９が、セッション監視部２７から、セッション切断イベントを受信したか否かを判定する。セッション切断イベントを受信したと判定された場合には、自動ログアウト処理（Ｓ３０）に進み、そうでない場合には、ステップ１０８の判定に戻る。
【００５３】
図１３は、上記のセッション監視処理（Ｓ２０）を説明するフローチャートである。
ステップ２００（Ｓ２００）において、前述のセッション監視部２７は、セッションの接続状態を問い合わせ、ステップ２０１の処理に進む。
ステップ２０１（Ｓ２０１）において、ステップ２０１で問い合わせた接続状態がアクティブ又は切断のいずれであるかを判定する。問い合わせた接続状態が切断である場合には、ステップ２０２の処理に進み、アクティブである場合には、ステップ２０３の処理に進む。
ステップ２０２（Ｓ２０２）において、ステップ２０１で接続状態が切断であると判定されたセッションの、前述のセッション情報記憶部２８に記憶されている接続状態が、アクティブ又は切断のいずれであるかを判定する。セッション情報記憶部２８の接続状態がアクティブである場合には、ステップ２０４の処理に進み、切断である場合には、セッション監視処理を終了する。
【００５４】
ステップ２０３（Ｓ２０３）において、セッション監視部２７は、セッション情報記憶部２８の接続状態がアクティブになるよう更新する。
ステップ２０４（Ｓ２０４）において、セッション監視部２７は、セッション切断イベントを操作制御部２９に通知し、ステップ２０５の処理に進む。
ステップ２０５（Ｓ２０５）において、セッション監視部２７は、セッション情報記憶部２８の接続状態が切断になるよう更新する。
【００５５】
図１４は、前述した自動ログアウト処理（Ｓ３０）を説明するフローチャートである。
ステップ３００（Ｓ３００）において、操作制御部２９が、前述したステップ１０７で受け入れた処理がファイル編集であるか否かを判定する。ユーザがファイル編集中であると判定された場合には、ステップ３０３の処理に進み、そうでない場合には、ステップ３０１の処理に進む。
ステップ３０１（Ｓ３０１）において、操作制御部２９が、ステップ１０７で受け入れた処理がファイル操作であるか否かを判定する。ユーザがファイル操作中であると判定された場合には、ステップ３０２の処理に進み、そうでない場合には、ステップ３０４の処理に進む。
ステップ３０２（Ｓ３０２）において、操作制御部２９が、ステップ３０１の判定から予め定められた時間を経過したか否かを判定する。予め定められた時間を経過したと判定された場合には、ステップ３０１の判定に戻り、そうでない場合には、ステップ３０２の判定を繰り返す。
【００５６】
ステップ３０３（Ｓ３０３）において、ステップ３００で編集中と判定された内容が反映されないようにして、ステップ３０４の処理に進む。
ステップ３０４（Ｓ３０４）において、ＵＩ部２４は、ステップ１０５で表示されたメニュー画面を、メイン画面に切り替え、ステップ３０５の処理に進む。
ステップ３０５（Ｓ３０５）において、操作制御部２９は、ステップ１０４で作成されたセッションを終了し、認証情報記憶部２６のログイン履歴を更新する。
【００５７】
以上説明したように、ユーザが認証された後、セッション切断イベントが検知された場合には、認証されたユーザは自動でログアウトされるので、ユーザは、手動でログアウトする必要がなくなる。
【００５８】
なお、本発明に係る基板処理システムを構成する基板処理装置１０は、半導体製造装置だけではなく、ＬＣＤ装置などのガラス基板を処理する装置にも適用される。また、本発明に係る基板処理システムを構成する基板処理装置１０は、他の基板処理装置である露光装置、塗布装置、乾燥装置、加熱装置などにも適用される。また、本発明に係る基板処理システムを構成する基板処理装置１０は、炉内の処理を限定せず、ＣＶＤ、ＰＶＤ、酸化膜、窒化散を形成する処理、及び、金属を含む膜を形成する処理を含む成膜処理を行うことができる。さらに、本発明に係る基板処理システムを構成する基板処理装置１０は、アニール処理、酸化処理、窒化処理及び拡散処理等を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】従来技術において表示される警告画面である。
【図２】本発明の実施形態に係る基板処理システム１の構成を示す図である。
【図３】斜視図を用いて示される基板処理装置１０である。
【図４】側面透視図を用いて示される基板処理装置１０である。
【図５】基板処理システム１のハードウエア構成を示す図である。
【図６】搬送制御部１９の詳細が記載されている。
【図７】プロセス制御部２１の詳細が記載されている。
【図８】操作装置１４及び外部操作装置１７において実行される表示制御プログラム２３の機能構成を示す図である。
【図９】認証情報記憶部２６に記憶される認証情報の例である。
【図１０】セッション情報記憶部２８に記憶されるセッション情報の例である。
【図１１Ａ】ＵＩ部２４により表示されるメイン画面である。
【図１１Ｂ】ＵＩ部２４により表示される認証画面である。
【図１１Ｃ】ＵＩ部２４により表示されるメニュー画面である。
【図１２】表示制御プログラム２３の全体動作（Ｓ１０）を説明するフローチャートである。
【図１３】セッション監視処理（Ｓ２０）を説明するフローチャートである。
【図１４】自動ログアウト処理（Ｓ３０）を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
【００６０】
１ 基板処理システム
１０ 基板処理装置
１１ 基板処理装置本体
１２ 主コントローラ
１３ スイッチングハブ
１４ 操作装置
１５ ビデオケーブル
１６ ルータ
１７ 外部操作装置
１８ 通信ネットワーク
１９ 搬送制御部
２０ 搬送系コントローラ
２１ プロセス制御部
２２ プロセス系コントローラ
２３ 表示制御プログラム
２４ ＵＩ部
２５ 認証部
２６ 認証情報記憶部
２７ セッション情報記憶部
２８ セッション監視部
２９ 操作制御部
３０ ログインボタン
３１ ユーザ名入力部
３２ パスワード入力部
３３ 確定ボタン
３４ ファイル編集ボタン
３５ ファイル操作ボタン表示部
３６ ファイルコピーボタン
３７ ファイル削除ボタン
３８ ファイル移動ボタン
１００ ウエハ
１０１ ポッド
１０２ 正面メンテナンス口
１０３ 正面メンテナンス扉
１０４ ポッド搬入搬出口
１０５ フロントシャッタ
１０６ ロードポート
１０７ 回転式ポッド棚
１０８ 支柱
１０９ 基板収容器載置台
１１０ ポッド搬送装置
１１１ ポッドオープナ
１１２ サブ筐体
１１３ ウエハ搬入搬出口
１１４ 載置台
１１５ キャップ着脱機構
１１６ 移載室
１１７ ウエハ移載機構
１１８ ボート
１１９ 待機部
１２０ 処理炉
１２１ 炉口シャッタ
１２２ ボートエレベータ
１２３ アーム
１２４ シールキャップ
１２５ クリーンエア
１２６ クリーンユニット
２００ ＲＯＭ
２０１ ＲＡＭ
２０２ モータドライバ
２０３ モータドライバ
２０４ Ｉ／Ｏ制御部
２０５ モータ
２０６ モータ
２０７ 温度制御部
２０８ ガス制御部
２０９ 圧力制御部
２１０ ヒータ
２１１ ＭＦＣ
２１２ ガス配管
２１３ 排気配管
２１４ 圧力センサ
２１５ バルブ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板やガラス基板等の基板を処理する基板処理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の基板処理システムは、基板処理装置及びリモート端末から構成される。基板処理装置は、各種パラメータ及びレシピに基づいて制御される。リモート端末には、専用のアプリケーションがインストールされ、リモート端末を利用するユーザは、アプリケーションを起動してログインすることによって、ネットワークを介して基板処理装置にアクセスし、パラメータ及びレシピを編集及び操作することができる。
リモート端末を利用するユーザが不特定多数である場合には、あるユーザ（ユーザＡ）がログインして作業した後、ログアウトせずリモート端末を離れてしまい、別のユーザ（ユーザＢ）がユーザＡになりすまして作業するおそれがある。
このようなセキュリティの問題を解決するため、例えば、あるユーザがログアウトしないままセッションを切断した後、別のユーザが再度セッションを接続した場合に、図１に示すような警告画面を表示することにより、別のユーザにログアウトを促すという技術が知られている。
しかしながら、ユーザにとっては、このようにログアウトを促されることは非常に煩雑である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明は、上述した背景からなされたものであり、セキュリティ及び操作性の向上を実現する基板処理システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記目的を達成するために、本発明に係る基板処理システムは、基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置を制御する制御データを編集及び操作して、前記基板処理装置を制御する制御装置とを有する基板処理システムであって、前記制御装置は、前記制御装置の操作者を認証する認証手段と、前記認証手段により認証された操作者から、制御データの編集及び操作を受け付ける受付手段と、前記受付手段により制御データの編集及び操作が受け付けられない状態で予め定められた時間が経過した場合であって、予め定められた時間前に最後に制御データが編集されていたときには、編集された内容を保存して、前記認証手段により認証された操作者の認証を無効化し、予め定められた時間前に最後に制御データが操作されていたときには、制御データの操作が完了した後、前記認証手段により認証された操作者の認証を無効化する無効化手段とを有する基板処理システムである。
【０００５】
好適には、制御データの操作は、制御データのコピー、削除及び移動である。
【０００６】
好適には、前記無効化手段は、前記受付手段により制御データの編集及び操作が受け付けられず、予め定められた時間が経過し、直前に制御データが編集されていた場合、編集された制御データをバッファに保存する。
【０００７】
好適には、前記認証手段により認証された操作者が再度認証された場合、前記受付手段は、再度認証された操作者から、バッファに保存された制御データの編集及び操作を受け付ける。
【０００８】
好適には、前記無効化手段により制御データが保存されるバッファは、操作者ごとに設けられる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明に係る基板処理システムによれば、再ログインが促されることなく、ユーザのなりすましが防止されるので、セキュリティ及び操作性の向上を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
[基板処理システム１の全体構成]
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。
図２は、本発明の実施形態に係る基板処理システム１の構成を示す図である。
図２に示すように、基板処理システム１は、基板処理装置１０−１〜１０−ｎ、ルータ１６及び外部操作装置１７を有し、これらは、例えば、ＬＡＮ等の通信ネットワーク１８により互いに通信可能なように接続されている。
このような構成によって、基板処理システム１において、基板処理装置１０−１〜１０−ｎは、外部操作装置１７からの制御を受け付ける。
【００１１】
なお、複数存在しうる基板処理装置１０−１〜１０−ｎなどのいずれかが特定されずに示されるときには、基板処理装置１０などと略記される。
以下、各図面において、実質的に同じ構成部分には、同じ符号が付加される。
【００１２】
[基板処理装置１０]
基板処理装置１０は、それぞれ、基板処理装置本体１１を有する。さらに、基板処理装置本体１１は、それぞれ、主コントローラ１２、スイッチングハブ１３、操作装置１４及びビデオケーブル１５を有する。
基板処理装置本体１１の外壁（例えば、基板処理装置１０の背面側（図２における左側））には、それぞれ、操作装置１４が装着されている。操作装置１４は、ビデオケーブルを介して、主コントローラに接続されている。
また、基板処理装置１０には、スイッチングハブ１３を介して主コントローラ１２に接続されるようにして、外部操作装置１７が接続されている。
なお、基板処理装置１０の詳細は後述する。
【００１３】
[主コントローラ１２]
主コントローラ１２は、少なくとも、処理炉（後述）を制御する制御手段として用いられ、主コントローラ１２によって、基板処理装置１０が制御される。また、主コントローラ１２は、ビデオケーブル１５及び通信ネットワーク１８を介して、操作装置１４及び外部操作装置１７から、基板処理装置１０に関するパラメータ及びレシピに対する編集及び操作を受け入れる。例えば、主コントローラ１２は、モータ（後述）に関するパラメータの編集を受け入れた場合には、搬送制御部（後述）に対して、受け入れた編集内容を反映させるようにする。また、主コントローラ１２は、ヒータ（後述）に関するパラメータの編集を受け入れた場合には、プロセス制御部（後述）に対して、受け入れた編集内容を反映させるようにする。
【００１４】
ここで、基板処理装置１０に関するパラメータは、例えば、基板処理装置１０を操作するユーザ、ユーザが所属するグループに応じて予め設定される操作権限を定義する権限パラメータ、及び、ユーザが操作する機能を制限する機能制御パラメータなどである。また、基板処理装置１０に関するレシピは、例えば、複数のプロセスからなる運転レシピである。
基板処理装置１０に関するパラメータ及びレシピは、パラメータ及びレシピが関連する制御部のＲＡＭ（後述）などに、ファイル形式で記憶される。例えば、モータに関するパラメータ及びレシピは、搬送制御部のＲＡＭに記憶され、ヒータに関するパラメータ及びレシピは、プロセス制御部のＲＡＭに記憶される。
以下、基板処理装置１０に関するパラメータ及びレシピをファイル形式で保存したものの少なくとも一部を変更することを「ファイル編集」と記載し、コピー、削除及び移動することを「ファイル操作」と記載する。
【００１５】
[操作装置１４]
操作装置１４は、基板処理装置１０の近傍に配置される。ここでは、操作装置１４は、基板処理装置本体１１に装着させているが、基板処理装置１０と一体にしてもよいし、基板処理装置１０と別体にしてもよい。
ここで、操作装置１４が基板処理装置１０の近傍に配置されるとは、基板処理装置１０を操作するユーザが、基板処理装置１０の状態を確認できる位置に操作装置１４が配置されていることをいう。
【００１６】
操作装置１４は、例えば、液晶表示パネルからなる表示装置（不図示）を有する。
操作装置１４のＣＰＵ（不図示）が表示制御プログラム（後述）を実行することにより、表示装置には、少なくとも、ユーザ認証、ファイル編集及びファイル操作を行うための画面が表示される。
【００１７】
[外部操作装置１７]
外部操作装置１７は、操作装置１４と同様の表示装置を有し、外部操作装置１７においても、外部操作装置１７のＣＰＵ（不図示）が表示制御プログラム（後述）を実行することにより、表示装置には、少なくとも、ユーザ認証、ファイル編集及びファイル操作を行うための画面が表示される。
外部操作装置１７は、例えば、ＷＢＴ（Ｗｉｎｄｏｗｓ（登録商標）−Ｂａｓｅｄ Ｔｅｒｍｉｎａｌ）からなる。ＷＢＴとは、前述のＴＳＥが動作するサーバにネットワークを介して接続して処理するための専用端末機である。
また、外部操作装置１７は、基板処理装置１０（または基板処理装置本体１１）近傍に配置される。ここでは、外部操作装置１７は、基板処理装置本体１１に直接接続させ、スイッチングハブ１３を介して主コントローラにアクセスするよう構成しているが、ルータ１６を介して基板処理装置本体１１に接続させてもよい。
また、ここでは、１台の外部操作装置１７が１台の基板処理装置１０に接続されるよう構成しているが、複数の外部操作装置１７が１台の基板処理装置１０に接続されるよう構成してもよい。
また、外部操作装置１７は、基板処理装置１０が設置されているクリーンルーム内に設置されてもよいし、別のフロアに設置されてもよい。
【００１８】
[基板処理装置１０の詳細構成]
図３には、基板処理装置１０が斜視図を用いて示されている。また、図４には、基板処理装置１０が側面透視図を用いて示されている。
基板処理装置１０は、基板として用いられるシリコン等からなるウエハ１００を処理する。
【００１９】
図３及び図４に示されているように、基板処理装置１０は、基板処理装置本体１１を備える。また、基板処理装置１０では、ウエハ１００を収納したウエハキャリアとして用いられるフープ（基板収容器。以下、ポッド）１０１が使用されている。
基板処理装置本体１１の正面壁１１ａの正面前方部にはメンテナンス可能なように設けられた開口部として用いられる正面メンテナンス口１０２が設置され、正面メンテナンス口１０２を開閉する正面メンテナンス扉１０３が建て付けられている。なお、上側の正面メンテナンス扉１０３近傍には、操作部（不図示）が設置されている。
【００２０】
基板処理装置本体１１の正面壁１１ａには、ポッド搬入搬出口１０４が基板処理装置本体１１の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出部１０４はフロントシャッタ１０５によって開閉されるようになっている。
ポッド搬入搬出部１０４の正面前方側にはロードポート１０６が設置されており、ロードポート１０６はポッド１０１を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド１０１はロードポート１０６上に工程内搬送装置（不図示）によって搬入され、ロードポート１０６上から搬出されるようになっている。
【００２１】
基板処理装置本体１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚１０７が設置されており、回転式ポッド棚１０７は複数個のポッド１０１を保管するように構成されている。すなわち、回転式ポッド棚１０７は垂直に設置されて水平面内で間欠回転される支柱１０８と、支柱１０８に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板１０９とを備えており、複数枚の棚板１０９はポッド１０１を複数個宛にそれぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
【００２２】
基板処理装置本体１１内におけるロードポート１０６と回転式ポッド棚１０７との間には、ポッド搬送装置１１０が設置されており、ポッド搬送装置１１０は、ポッド１０１を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ１１０ａと搬送機構としてのポッド搬送機構１１０ｂとで構成されており、ポッド搬送装置１１０はポッドエレベータ１１０ａとポッド搬送機構１１０ｂとの連続動作により、ロードポート１０６、回転式ポッド棚１０７、ポッドオープナ１１１との間で、ポッド１０１を搬送するように構成されている。
【００２３】
基板処理装置本体１１内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１１２が後端にわたって設置されている。サブ筐体１１２の正面壁１１２ａにはウエハ１００をサブ筐体１１２内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口１１３が一対、垂直方向に上下二段に並べられて設置されており、上下段のウエハ搬入搬出口１１３には、一対のポッドオープナ１１１がそれぞれ設置されている。ポッドオープナ１１１はポッド１０１を載置する載置台１１４と、ポッドのキャップを着脱するキャップ着脱機構１１５を備えている。ポッドオープナ１１１は載置台１１４に載置されたポッド１０１のキャップをキャップ着脱機構１１５によって着脱することにより、ポッド１０１のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。
【００２４】
サブ筐体１１２はポッド搬送装置１１０や回転式ポッド棚１０７の設置空間から流体的に隔絶された移載室１１６を構成している。移載室１１６の前側領域にはウエハ移載機構１１７が設置されており、ウエハ移載機構１１７は、ウエハ１００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置１１７ａ及びウエハ移載装置１１７ａを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ１１７ｂとで構成されている。図３に模式的に示されているようにウエハ移載装置エレベータ１１７ｂは基板処理装置本体１１右側端部とサブ筐体１１２の移載室１１６前方領域右端部との間に設置されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ１１７ｂ及びウエハ移載装置１１７ａの連続動作により、ウエハ移載装置１１７ａのツイーザ１１７ｃをウエハ１００の載置部として、ボート１１８に対してウエハ１００を装填（チャージング）及び脱装（ディスチャージング）するように構成されている。
【００２５】
移載室１１６の後側領域には、ボート１１８を収容して待機させる待機部１１９が構成されている。待機部１１９の上方には、処理炉１２０が設けられている。処理炉１２０の下端部は、炉口シャッタ１２１により開閉されるように構成されている。
【００２６】
図３に模式的に示されているように、基板処理装置本体１１右側端部とサブ筐体１１２の待機部１１９右端部との間にはボート１１８を昇降させるためのボートエレベータ１２２が設置されている。ボートエレベータ１２２の昇降台に連結された連結具としてのアーム１２３には蓋体としてのシールキャップ１２４が水平に据え付けられており、シールキャップ１２４はボート１１８を垂直に支持し、処理炉１２０の下端部を閉塞可能なように構成されている。
ボート１１８は複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０〜１２５枚程度）のウエハ１００をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。
【００２７】
また、図３に模式的に示されているように移載室１１６のウエハ移載装置エレベータ１１７ｂ側及びボートエレベータ１２２側と反対側である左側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１２５を供給するよう供給ファン及び防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１２６が設置されており、ウエハ移載装置１１７ａとクリーンユニット１２６との間には、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置（不図示）が設置されている。
【００２８】
クリーンユニット１２６から吹き出されたクリーンエア１２５は、ノッチ合わせ装置及びウエハ移載装置１１７ａ、待機部１１９にあるボート１１８に流通された後に、ダクト（不図示）により吸い込まれて、基板処理装置本体１１の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット１２６の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環され、再びクリーンユニット１２６によって、移載室１１７内に吹き出されるように構成されている。
【００２９】
[基板処理装置１０の動作]
次に、本発明の基板処理装置１０の動作について説明する。
図３及び図４に示されているように、ポッド１０１がロードポート１０６に供給されると、ポッド搬入搬出口１０４がフロントシャッタ１０５によって開放され、ロードポート１０６の上のポッド１０１はポッド搬送装置１１０によって基板処理装置本体１１の内部へポッド搬入搬出口１０４から搬入される。
【００３０】
搬入されたポッド１０１は回転式ポッド棚１０７の指定された棚板１０９へポッド搬送装置１１０によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１０９から一方のポッドオープナ１１１に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１０９から一方のポッドオープナ１１１に搬送されて載置台１１４に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ１１１に搬送されて載置台１１４に移載される。この際、ポッドオープナ１１１のウエハ搬入搬出口１１３はキャップ着脱機構１１５によって閉じられており、移載室１１６にはクリーンエア１２５が流通され、充満されている。例えば、移載室１１６にはクリーンエア１２５として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、基板処理装置本体１１の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。
【００３１】
載置台１１４に載置されたポッド１０１はその開口側端面がサブ筐体１１２の正面壁１１２ａにおけるウエハ搬入搬出口１１３の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ウエハ出し入れ口を開放される。
ポッド１０１がポッドオープナ１１１によって開放されると、ウエハ１００はポッド１０１からウエハ移載装置１１７ａのツイーザ１１７ｃによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、ノッチ合わせ装置（不図示）にてウエハを整合した後、移載室１１６の後方にある待機部１１９へ搬入され、ボート１１８に装填（チャージング）される。ボート１１８にウエハ１００を受け渡したウエハ移載装置１１７ａはポッド１０１に戻り、次のウエハをボート１１８に装填する。
【００３２】
この一方（上段または下段）のポッドオープナ１１１におけるウエハ移載機構１１７によるウエハのボート１１８への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１１１には回転式ポッド棚１０７から別のポッド１０１がポッド搬送装置１１０によって搬送されて移載され、ポッドオープナ１１１によるポッド１０１の開放作業が同時進行される。
【００３３】
予め指定された枚数のウエハ１００がボート１１８に装填されると、炉口シャッタ１２１によって閉じられていた処理炉１２０の下端部が、炉口シャッタ１２１によって、開放される。続いて、ウエハ１００群を保持したボート１１８はシールキャップ１２４がボートエレベータ１２２によって上昇されることにより、処理炉１２０内へ搬入（ローディング）されて行く。
【００３４】
ローディング後は、処理炉１２０にてウエハ１００に任意の処理が実施される。
処理後は、ノッチ合わせ装置（不図示）でのウエハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウエハ１００及びポッド１０１は筐体の外部へ払出される。
【００３５】
[基板処理システム１のハードウエア構成]
以下、基板処理システム１におけるハードウエア構成を説明する。
図５は、基板処理システム１のハードウエア構成を示す図である。
図５に示すように、基板処理装置１０内の基板処理装置本体１１は、前述した主コントローラ１２、スイッチングハブ１３、操作装置１４及びビデオケーブル１５のほか、搬送制御部１９及びプロセス制御部２１を有する。
【００３６】
搬送制御部１９は、例えばＣＰＵなどからなる搬送系コントローラ２０を有し、プロセス制御部２１は、例えばＣＰＵなどからなるプロセス系コントローラ２２を有する。搬送系コントローラ２０及びプロセス系コントローラ２２は、スイッチングハブ１３を介して、主コントローラ１２に接続される。
なお、搬送系コントローラ２０及びプロセス系コントローラ２２の詳細は後述する。
【００３７】
[搬送制御部１９]
図６には、搬送制御部１９の詳細が記載されている。
図６に示されるように、搬送制御部１９は、上記の搬送系コントローラ２０を有するとともに、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）２００、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）２０１、モータドライバ２０２、モータドライバ２０３、及び、モータドライバ２０２及びモータドライバ２０３とのＩ／Ｏ制御を行うＩ／Ｏ制御部２０４を有する。ＲＯＭ２００及びＲＡＭ２０１は、モータ２０５及びモータ２０６に関するパラメータ及びレシピを記憶する。
搬送系コントローラ２０は、操作装置１４及び外部操作装置１７の表示装置でファイル編集及びファイル操作された内容を、ＲＡＭ２０１等に記憶されているパラメータ及びレシピに反映させ、反映後のパラメータ及びレシピに基づいて基板を搬送するための制御データを、モータドライバ２０２及びモータドライバ２０３に対して出力する。
モータドライバ２０２及びモータドライバ２０３は、基板を搬送するための駆動源として用いられるモータ２０５及びモータ２０６により、基板処理システム１内におけるウエハ１００の搬送を制御する。
【００３８】
[プロセス制御部２１]
図７には、プロセス制御部２１の詳細が記載されている。
図７に示されるように、プロセス制御部２１は、前述したプロセス系コントローラ２２を有するとともに、ＲＯＭ２００、ＲＡＭ２０１、温度制御部２０７、ガス制御部２０８、圧力制御部２０９、及び、温度制御部２０７等とのＩ／Ｏ制御を行うＩ／Ｏ制御部２０４を有する。ＲＯＭ２００及びＲＡＭ２０１は、前述した処理炉１２０、ヒータ２１０、ＭＦＣ（マスフローコントローラ）２１１、ガス配管２１２、排気配管２１３、圧力センサ２１４及びバルブ２１５に関するパラメータ及びレシピを記憶する。
プロセス系コントローラ２２は、操作装置１４及び外部操作装置１７の表示装置でファイル編集及びファイル操作された内容を、ＲＡＭ２０１等に記憶されているパラメータ及びレシピに反映させ、反映後のパラメータ及びレシピに基づいて基板を処理するための制御データを、温度制御部２０７、ガス制御部２０８及び圧力制御部２０９に対して出力する。
【００３９】
温度制御部２０７は、処理炉１２０の外周部に設けられたヒータ２１０により処理炉１２０内の温度を制御する。
ガス制御部２０８は、処理炉１２０のガス配管２１２に設けられたＭＦＣ（マスフローコントローラ）２１１からの出力値に基づいて処理炉１２０内に供給する反応ガスの供給量等を制御する。
圧力制御部２０９は、処理炉１２０の排気配管２１３に設けられた圧力センサ２１４の出力値に基づいてバルブ２１５を開閉することにより処理炉１２０内の圧力を制御する。
このように、温度制御部２０７等のサブコントローラは、プロセス系コントローラ２２からの制御データに基づいて基板処理装置１０の各部（ヒータ２１０、ＭＦＣ２１１及びバルブ２１５等）を制御する。
【００４０】
[表示制御プログラム２３]
図８は、前述した操作装置１４及び外部操作装置１７において実行される表示制御プログラム２３の機能構成を示す図である。
図８に示すように、表示制御プログラム２３は、ユーザインターフェース（ＵＩ部）２４、認証部２５、認証情報記憶部２６、セッション監視部２７、セッション情報記憶部２８及び操作制御部２９を有する。
表示制御プログラム２３は、例えば、フロッピー（登録商標）ディスク及びＣＤ−ＲＯＭなどの外部記憶媒体（不図示）に格納されて操作装置１４及び外部操作装置１７に供給され、メモリ（不図示）にロードされて、操作装置１４及び外部操作装置１７上で動作するＯＳ（Ｏｐｅｒａｔｉｏｎ Ｓｙｓｔｅｍ；不図示）上で、ハードウエア資源を具体的に利用して実行される。
なお、表示制御プログラム２３は、前述した通信ネットワーク１８に接続されたコンピュータから供給されてもよい。
【００４１】
[ＵＩ部２４]
表示制御プログラム２３において、ＵＩ部２４は、表示装置（不図示）に対するユーザの作業を受け入れ、表示制御プログラム２３の各構成要素に出力する。例えば、ＵＩ部２４は、ユーザ認証のためのユーザ名及びパスワードを受け入れた場合には、認証部２５に出力し、ファイル編集及びファイル操作を受け入れた場合には、操作制御部３０に出力する。また、ＵＩ部２４は、表示制御プログラム２３の各構成要素により作成されたデータ及び各構成要素の処理内容などを、表示装置に表示する。例えば、ＵＩ部２４は、認証部２５によるユーザ認証が失敗した場合には、その旨を表示装置に表示し、操作制御部２９により自動ログアウトされた場合には、その旨を表示装置に表示する。
【００４２】
[認証部２５]
認証部２５は、ＵＩ部２４から受け入れたユーザ名及びパスワードが、認証情報記憶部２６に予め登録されたユーザ名及びパスワードのいずれかと一致するか否かを判定する。認証部２５は、一致すると判定する場合には、表示装置の操作者が正規のユーザであると判断して（ユーザ認証に成功）、表示装置の操作者にファイル編集及びファイル操作を許可する。一方、そうでない場合には、表示装置の操作者は正規のユーザではないと判断し（ユーザ認証に失敗）、表示装置の操作者にファイル編集及びファイル操作を禁止する。
さらに、認証部２５は、このようなユーザ認証の履歴を認証情報記憶部２６に送信し、認証に成功したユーザの名前をセッション情報記憶部２８に送信する。
【００４３】
[認証情報記憶部２６]
認証情報記憶部２６は、例えば、図９に示すように、ユーザ名、パスワード及びログイン履歴というデータ項目を有する。
ユーザ名及びパスワードは、基板処理システム１の管理者などにより、予め登録される。ログイン履歴は、上記の認証部２５によってユーザ認証が行われた場合に、ユーザ認証の履歴として記憶される。
【００４４】
[セッション監視部２７]
セッション監視部２７は、例えば、１秒間隔でＯＳに対してＡＰＩ（例えば、WTSQuerySessionInformationなど）を実行することにより、セッションの接続状態を問い合わせる。
さらに、セッション監視部２７は、問い合わせた接続状態に応じて、セッション情報記憶部２８の接続状態を更新する。例えば、セッション監視部２７は、問い合わせた接続状態がアクティブである場合には、セッション情報記憶部２８の接続状態がアクティブになるよう更新する。一方、セッション監視部２７は、問い合わせた接続状態が切断であって、セッション情報記憶部２８に記憶されている接続状態がアクティブである場合には、セッション切断イベントを操作制御部２９に通知し、セッション情報記憶部２８の接続状態を更新する。セッション切断イベントは、例えば、予め定められた時間内に、ＵＩ部２４が、ユーザによる処理を受け入れないことなどである。
【００４５】
[セッション情報記憶部２８]
セッション情報記憶部２８は、例えば、図１０に示すように、ユーザ名及び接続状態というデータ項目を有する。ユーザ名として、上記の認証部２５から送信されたものがセットされ、接続状態として、ここでは、初期値'切断'がセットされている。
【００４６】
[操作制御部２９]
操作制御部２９は、ＵＩ部２４から受け入れたユーザによる処理の内容を、前述の主コントローラ１２に出力する。さらに、操作制御部２９は、上記のセッション監視部２７から、セッション切断イベントを通知された場合には、適宜、自動ログアウトする。
具体的には、操作制御部２９は、セッション切断イベントの発生直前にＵＩ部２４から受け入れた処理がファイル編集である場合には、編集された内容が反映されないようにして（つまり、編集された内容を破棄し、編集される前の状態で保存されるようにして）から、セッションを終了する（ログアウト）。なお、操作制御部２９は、編集された内容が予め作成されたバッファファイル（不図示）に保存されるようにしてから、セッションを終了してもよい。バッファファイルには、同一ユーザが再ログインすることによりアクセス可能であるようにしてもよい。また、バッファファイルは、ユーザごとに設けられてもよい。
また、操作制御部２９は、セッション切断イベントの発生直前にＵＩ部２４から受け入れた処理がファイル操作である場合には、予め定められた時間間隔で、ファイル操作が終了したか否かを確認し、ファイル操作が終了したことを確認してからセッションを終了する。
操作制御部２９は、セッションを終了した場合には、認証情報記憶部２６のログイン履歴を更新する。
【００４７】
図１１は、上記のＵＩ部２４により表示される画面である。
図１１Ａは、ＵＩ部２４により表示されるメイン画面である。メイン画面は、上記の表示制御プログラム２３の実行が開始される場合に表示される初期画面である。
図１１Ａに示すように、メイン画面には、ユーザ認証のためのログインボタン３０が表れる。
【００４８】
図１１Ｂは、ＵＩ部２４により表示される認証画面である。認証画面は、上記のメイン画面でログインボタン３０が押下されることにより、この認証画面に切り替えられる。
図１１Ｂに示すように、認証画面には、ユーザ名を入力するためのフォームであるユーザ名入力部３１、パスワードを入力するためのフォームであるパスワード入力部３２と、入力されたユーザ名及びパスワードを確定する確定ボタン３３とが表れる。
【００４９】
図１１Ｃは、ＵＩ部２４により表示されるメニュー画面である。メニュー画面は、上記の認証画面で確定ボタン３３が押下され、入力されたユーザ名及びパスワードに基づき、ユーザ認証が成功した場合、このメニュー画面に切り替えられる。
図１１Ｃに示すように、メニュー画面には、ファイル編集ボタン３４及びファイル操作ボタン表示部３５が表れる。ここでは、ファイル操作ボタンとして、ファイルコピーボタン３６、ファイル削除ボタン３７及びファイル移動ボタン３８が表れる。
【００５０】
図１２は、表示制御プログラム２３の全体動作（Ｓ１０）を説明するフローチャートである。
ステップ１００（Ｓ１００）において、前述したＵＩ部２４が、図１１Ａに示したメイン画面を表示する。
ステップ１０１（Ｓ１０１）において、ＵＩ部２４が、メイン画面のログインボタン３０が押下されたか否かを判定し、ログインボタン３０が押下されたと判定した場合、ステップ１０２の処理に進む。一方、そうでない場合には、ステップ１０１の判定を繰り返す。
ステップ１０２（Ｓ１０２）において、ＵＩ部２４が、図１１Ｂに示した認証画面を表示する。
ステップ１０３（Ｓ１０３）において、前述した認証部２５が、認証画面のユーザ名入力部３１に入力されたユーザ名及びパスワード入力部３２に入力されたパスワードに基づいて、ユーザ認証を行う。ユーザ認証が成功した場合には、ステップ１０４の処理に進み、そうでない場合には、ステップ１０３の判定を繰り返す。
【００５１】
ステップ１０４（Ｓ１０４）において、ステップ１０３で認証に成功したユーザがファイル編集及びファイル操作するための新しいセッションが生成され、ユーザにセッションＩＤが割り振られる。
さらに、接続状態の初期値が、前述したセッション情報記憶部２８に記憶され、ステップ１０５及びステップ１０８の処理に進む。なお、ステップ１０５〜１０７の処理及びステップ１０８〜１０９の処理は、並行して行われ、ステップ１１０におけるイベント検知をトリガとして、ステップ１０７の処理は自動ログアウト処理（Ｓ３０）に移行する。
ステップ１０５（Ｓ１０５）において、ＵＩ部２４は、図１１Ｃに示したメニュー画面を表示する。
ステップ１０６（Ｓ１０６）において、ＵＩ部２４が、メニュー画面のボタンが押下されたか否かを判定し、いずれかのボタンが押下されたと判定した場合、ステップ１０７の処理に進む。一方、そうでない場合には、ステップ１０６の判定を繰り返す。
【００５２】
ステップ１０７（Ｓ１０７）において、ＵＩ部２４が、表示装置に対するユーザの作業を受け入れる。さらに、ステップ１０７では、操作制御部２９が、ステップ１０９においてセッション切断イベントを受信した場合には、自動ログアウト処理（Ｓ３０）に進む。
ステップ１０８（Ｓ１０８）において、前述したセッション監視部２７が、ステップ１０４においてセッションが作成されてから、予め定められた時間を経過したか否かを判定する。予め定められた時間を経過したと判定した場合、セッション監視処理（Ｓ２０）に移行する。一方、そうでない場合には、ステップ１０８の判定を繰り返す。
ステップ１０９（Ｓ１０９）において、前述した操作制御部２９が、セッション監視部２７から、セッション切断イベントを受信したか否かを判定する。セッション切断イベントを受信したと判定された場合には、自動ログアウト処理（Ｓ３０）に進み、そうでない場合には、ステップ１０８の判定に戻る。
【００５３】
図１３は、上記のセッション監視処理（Ｓ２０）を説明するフローチャートである。
ステップ２００（Ｓ２００）において、前述のセッション監視部２７は、セッションの接続状態を問い合わせ、ステップ２０１の処理に進む。
ステップ２０１（Ｓ２０１）において、ステップ２０１で問い合わせた接続状態がアクティブ又は切断のいずれであるかを判定する。問い合わせた接続状態が切断である場合には、ステップ２０２の処理に進み、アクティブである場合には、ステップ２０３の処理に進む。
ステップ２０２（Ｓ２０２）において、ステップ２０１で接続状態が切断であると判定されたセッションの、前述のセッション情報記憶部２８に記憶されている接続状態が、アクティブ又は切断のいずれであるかを判定する。セッション情報記憶部２８の接続状態がアクティブである場合には、ステップ２０４の処理に進み、切断である場合には、セッション監視処理を終了する。
【００５４】
ステップ２０３（Ｓ２０３）において、セッション監視部２７は、セッション情報記憶部２８の接続状態がアクティブになるよう更新する。
ステップ２０４（Ｓ２０４）において、セッション監視部２７は、セッション切断イベントを操作制御部２９に通知し、ステップ２０５の処理に進む。
ステップ２０５（Ｓ２０５）において、セッション監視部２７は、セッション情報記憶部２８の接続状態が切断になるよう更新する。
【００５５】
図１４は、前述した自動ログアウト処理（Ｓ３０）を説明するフローチャートである。
ステップ３００（Ｓ３００）において、操作制御部２９が、前述したステップ１０７で受け入れた処理がファイル編集であるか否かを判定する。ユーザがファイル編集中であると判定された場合には、ステップ３０３の処理に進み、そうでない場合には、ステップ３０１の処理に進む。
ステップ３０１（Ｓ３０１）において、操作制御部２９が、ステップ１０７で受け入れた処理がファイル操作であるか否かを判定する。ユーザがファイル操作中であると判定された場合には、ステップ３０２の処理に進み、そうでない場合には、ステップ３０４の処理に進む。
ステップ３０２（Ｓ３０２）において、操作制御部２９が、ステップ３０１の判定から予め定められた時間を経過したか否かを判定する。予め定められた時間を経過したと判定された場合には、ステップ３０１の判定に戻り、そうでない場合には、ステップ３０２の判定を繰り返す。
【００５６】
ステップ３０３（Ｓ３０３）において、ステップ３００で編集中と判定された内容が反映されないようにして、ステップ３０４の処理に進む。
ステップ３０４（Ｓ３０４）において、ＵＩ部２４は、ステップ１０５で表示されたメニュー画面を、メイン画面に切り替え、ステップ３０５の処理に進む。
ステップ３０５（Ｓ３０５）において、操作制御部２９は、ステップ１０４で作成されたセッションを終了し、認証情報記憶部２６のログイン履歴を更新する。
【００５７】
以上説明したように、ユーザが認証された後、セッション切断イベントが検知された場合には、認証されたユーザは自動でログアウトされるので、ユーザは、手動でログアウトする必要がなくなる。
【００５８】
なお、本発明に係る基板処理システムを構成する基板処理装置１０は、半導体製造装置だけではなく、ＬＣＤ装置などのガラス基板を処理する装置にも適用される。また、本発明に係る基板処理システムを構成する基板処理装置１０は、他の基板処理装置である露光装置、塗布装置、乾燥装置、加熱装置などにも適用される。また、本発明に係る基板処理システムを構成する基板処理装置１０は、炉内の処理を限定せず、ＣＶＤ、ＰＶＤ、酸化膜、窒化散を形成する処理、及び、金属を含む膜を形成する処理を含む成膜処理を行うことができる。さらに、本発明に係る基板処理システムを構成する基板処理装置１０は、アニール処理、酸化処理、窒化処理及び拡散処理等を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】従来技術において表示される警告画面である。
【図２】本発明の実施形態に係る基板処理システム１の構成を示す図である。
【図３】斜視図を用いて示される基板処理装置１０である。
【図４】側面透視図を用いて示される基板処理装置１０である。
【図５】基板処理システム１のハードウエア構成を示す図である。
【図６】搬送制御部１９の詳細が記載されている。
【図７】プロセス制御部２１の詳細が記載されている。
【図８】操作装置１４及び外部操作装置１７において実行される表示制御プログラム２３の機能構成を示す図である。
【図９】認証情報記憶部２６に記憶される認証情報の例である。
【図１０】セッション情報記憶部２８に記憶されるセッション情報の例である。
【図１１Ａ】ＵＩ部２４により表示されるメイン画面である。
【図１１Ｂ】ＵＩ部２４により表示される認証画面である。
【図１１Ｃ】ＵＩ部２４により表示されるメニュー画面である。
【図１２】表示制御プログラム２３の全体動作（Ｓ１０）を説明するフローチャートである。
【図１３】セッション監視処理（Ｓ２０）を説明するフローチャートである。
【図１４】自動ログアウト処理（Ｓ３０）を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
【００６０】
１ 基板処理システム
１０ 基板処理装置
１１ 基板処理装置本体
１２ 主コントローラ
１３ スイッチングハブ
１４ 操作装置
１５ ビデオケーブル
１６ ルータ
１７ 外部操作装置
１８ 通信ネットワーク
１９ 搬送制御部
２０ 搬送系コントローラ
２１ プロセス制御部
２２ プロセス系コントローラ
２３ 表示制御プログラム
２４ ＵＩ部
２５ 認証部
２６ 認証情報記憶部
２７ セッション情報記憶部
２８ セッション監視部
２９ 操作制御部
３０ ログインボタン
３１ ユーザ名入力部
３２ パスワード入力部
３３ 確定ボタン
３４ ファイル編集ボタン
３５ ファイル操作ボタン表示部
３６ ファイルコピーボタン
３７ ファイル削除ボタン
３８ ファイル移動ボタン
１００ ウエハ
１０１ ポッド
１０２ 正面メンテナンス口
１０３ 正面メンテナンス扉
１０４ ポッド搬入搬出口
１０５ フロントシャッタ
１０６ ロードポート
１０７ 回転式ポッド棚
１０８ 支柱
１０９ 基板収容器載置台
１１０ ポッド搬送装置
１１１ ポッドオープナ
１１２ サブ筐体
１１３ ウエハ搬入搬出口
１１４ 載置台
１１５ キャップ着脱機構
１１６ 移載室
１１７ ウエハ移載機構
１１８ ボート
１１９ 待機部
１２０ 処理炉
１２１ 炉口シャッタ
１２２ ボートエレベータ
１２３ アーム
１２４ シールキャップ
１２５ クリーンエア
１２６ クリーンユニット
２００ ＲＯＭ
２０１ ＲＡＭ
２０２ モータドライバ
２０３ モータドライバ
２０４ Ｉ／Ｏ制御部
２０５ モータ
２０６ モータ
２０７ 温度制御部
２０８ ガス制御部
２０９ 圧力制御部
２１０ ヒータ
２１１ ＭＦＣ
２１２ ガス配管
２１３ 排気配管
２１４ 圧力センサ
２１５ バルブ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置を制御する制御データを編集及び操作して、前記基板処理装置を制御する制御装置とを有する基板処理システムであって、
前記制御装置は、
前記制御装置の操作者を認証する認証手段と、
前記認証手段により認証された操作者から、制御データの編集及び操作を受け付ける受付手段と、
前記受付手段により制御データの編集及び操作が受け付けられない状態で予め定められた時間が経過した場合であって、予め定められた時間前に最後に制御データが編集されていたときには、編集された内容を保存して、前記認証手段により認証された操作者の認証を無効化し、予め定められた時間前に最後に制御データが操作されていたときには、制御データの操作が完了した後、前記認証手段により認証された操作者の認証を無効化する無効化手段と
を有する基板処理システム。
【請求項１】
基板を処理する基板処理装置と、前記基板処理装置を制御する制御データを編集及び操作して、前記基板処理装置を制御する制御装置とを有する基板処理システムであって、
前記制御装置は、
前記制御装置の操作者を認証する認証手段と、
前記認証手段により認証された操作者から、制御データの編集及び操作を受け付ける受付手段と、
前記受付手段により制御データの編集及び操作が受け付けられない状態で予め定められた時間が経過した場合であって、予め定められた時間前に最後に制御データが編集されていたときには、編集された内容を保存して、前記認証手段により認証された操作者の認証を無効化し、予め定められた時間前に最後に制御データが操作されていたときには、制御データの操作が完了した後、前記認証手段により認証された操作者の認証を無効化する無効化手段と
を有する基板処理システム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１Ａ】
【図１１Ｂ】
【図１１Ｃ】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１Ａ】
【図１１Ｂ】
【図１１Ｃ】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２０１０−１０２４３０（Ｐ２０１０−１０２４３０Ａ）
【公開日】平成２２年５月６日（２０１０．５．６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−２７１８４１（Ｐ２００８−２７１８４１）
【出願日】平成２０年１０月２２日（２００８．１０．２２）
【出願人】（０００００１１２２）株式会社日立国際電気 (5,007)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年５月６日（２０１０．５．６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年１０月２２日（２００８．１０．２２）
【出願人】（０００００１１２２）株式会社日立国際電気 (5,007)
【Ｆターム（参考）】
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