【課題】撮像対象とする電子部品がチップ部品である場合であっても基板への装着状態の検査を精度よく行うことができるようにした部品実装システム及び部品実装システムにおける検査用画像の生成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】検査ヘッド４０の光電変換素子４０ａが出力したアナログ信号をＡ／Ｄ変換して輝度値を表す所定のビット数のディジタル信号を生成するＡ／Ｄ変換部４０ｂ、Ａ／Ｄ変換部４０ｂが生成したディジタル信号から、撮像対象となる部品４の種類に応じて可変的に設定された一又は複数のビットを省いてＡ／Ｄ変換部４０ｂによりＡ／Ｄ変換したときよりも少ないビット数のディジタル信号に圧縮する信号圧縮部４０ｃ及び信号圧縮部４０ｃが圧縮したディジタル信号に基づいて検査用画像を生成する画像生成部４０ｄを備え、部品４がチップ部品である場合には、ディジタル信号の圧縮時に省くビットを上位側ビットに設定する。 （もっと読む）

【課題】遊戯盤に植設される釘は植設される位置、および高さが所定の範囲内でなければならない。しかし、所定の高さより高い釘を見つける方法は、すでに開示されているが、所定の高さより低い釘を高速にしかも釘にダメージを与えることなく見つけるのに、適した方法はなかった。
【解決手段】前記遊戯盤を所定の速度で搬送する移送手段と、前記遊戯盤の垂直方向に視軸が配置された第１のラインセンサと、視軸が前記第１のラインセンサの視軸から所定の角度傾き、かつ前記視軸が前記第１のラインセンサの視軸と交わる交線が、前記遊戯盤の前記釘の頭と同じ高さに配置される第２のラインセンサと、前記釘の頭を前記第１のラインセンサが撮影した地点と前記第２のラインセンサが撮影した地点の間の距離に基づいて、前記釘の高さを算出する制御装置を有する検出する検査装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、被測定物との距離に依存することなく、被測定物の膜厚を高い精度を測定することが可能な膜厚測定装置を提供する。
【解決手段】本発明は、光源１０と、第１光路と、第１集光レンズと、分光測定部４０と、第２光路と、第２集光レンズと、データ処理部５０を備える膜厚測定装置１００である。光源は、所定の波長範囲をもつ測定光を照射する。第１光路は、光源１０から照射した測定光を被測定物に導く。第１集光レンズは、第１光路から出射する測定光を被測定物に集光する。分光測定部４０は、反射率または透過率の波長分布特性を取得する。第２光路は、被測定物で反射された光または被測定物を透過した光を、分光測定部に導く。第２集光レンズは、第２光路の端部に集光する。データ処理部５０は、分光測定部４０で取得した波長分布特性を解析することで、被測定物の膜厚を求める。 （もっと読む）

【課題】複雑形状をした物体の外観検査において、目視では検出困難な形状の不良を定量的に評価し、検出する物体の外観検査方法及びその装置を提供することにある。
【解決手段】
物体の外観を検査する方法を、検査対象物体を載置して少なくとも一方向に連続的に移動させながら検査対象物体を撮像して検査対象物体の表面のテクスチャ情報を含む検査対象物体の画像を取得しながら検査対象物体の表面凹凸情報を取得し、この取得した検査対象物体の表面凹凸情報から検査対象物体の立体形状を復元し、取得した画像と復元した検査対象物体の立体形状とから表面テクスチャを持った物体の外観情報を得、この得られた外観情報から複数の特徴を抽出し、この抽出した複数の特徴のうち少なくとも１つの特徴を予め設定した参照データの前記少なくとも１つの特徴に対応する特徴と比較して検査対象となる物体の外観を評価するようにした。 （もっと読む）

【課題】操作入力手段に直接触れずに、非接触に操縦することのできるマニピュレータ装置を提供する。
【解決手段】アーム４０ａを有するマニピュレータ４０（スレーブ）と、このマニピュレータ４０の動作（動き）を制御する制御手段（スレーブコントローラ３０）と、光学式の入力インターフェースを備える操作入力手段（マスタコントローラ２０）とを備えるマニピュレータ装置において、上記操作入力手段の入力インターフェースとして、枠状のフレームの内側に物体検知用の光の格子が形成される光学式センサを、その厚さ方向に複数枚積み重ねて形成した３次元センサ１００を用いる。 （もっと読む）

【課題】被検査対象物であるワークに対して加工したり、他の部位を装着したりすることなく、ワーク全周の疵を安定して検出することが可能な検査方法および検査装置を提供する。
【解決手段】ワークＷの円筒面を検査部４にて検査するための検査装置および検査方法である。回転軸心Ｌ１，Ｌ２が相互に平行に配設されている一対の回転軸１１，１２にてワークを支持させた状態で、回転体１１，１２をワークに接触させる。一対の回転軸１１，１２を回転駆動させることにより、回転体３１をワークとともに回転させる。回転軸１１，１２とワークＷとの間に滑りが生じることなくワークＷがその軸心廻りに１回転する基準時間での回転体３１の回転状態を検出する。回転状態に基づいてワークＷと回転軸１１，１２との間に滑りがあるか否かを判断しつつ、ワークＷの画像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】欠陥座標に含まれている誤差を低減可能な光学式検査装置を提供する。
【解決手段】チャンネルが配列されたラインセンサと、ウエハをステージに載せてラインセンサに対して移動させる移動手段と、行列の行毎に１つ且つ列毎に１つ擬似欠陥ダイが形成され擬似欠陥ダイには複数の擬似欠陥が列方向に一列に形成されている座標管理用ウエハを検査したのを受けてチャンネル上に結像した擬似欠陥のステージ上の位置を擬似欠陥ステージ座標Ｘｓ０として検出するステージ位置検出手段と、擬似欠陥ステージ座標Ｘｓ０を擬似欠陥ダイ座標に変換する座標変換手段と、設計座標に対する擬似欠陥ダイ座標の差分ΔＸを算出する差分算出手段と、擬似欠陥ステージ座標Ｘｓ０に対して差分ΔＸが一定の振幅Ａ１で振動し直線Ｌ１に沿って増加又は減少する座標誤差特性パターンＣＰ１を取得する特性パターン取得手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】ラインセンサ画像中のトロリ線とトロリ線以外の物体とを切り分け、トロリ線摩耗面の誤検出を低減することを可能とした画像処理によるトロリ線摩耗測定装置を提供する。
【解決手段】車両の内部に設置された処理用コンピュータが、車両の屋根上に設置されてトロリ線を撮影するラインセンサカメラ２から入力される画像信号を時系列的に並べてなるラインセンサ画像を作成するラインセンサ画像作成部４ａと、入力された画像に対してＧＳＴＨ処理を行ってＧＳＴＨ画像を作成するＧＳＴＨ処理部４ｂと、入力された画像に対して二値化処理を行って二値化画像を作成する二値化処理部４ｃと、入力された画像に対してトロリ線の摩耗部分の両側のエッジを検出するトロリ線摩耗部エッジ検出部４ｄと、摩耗部分の両側のエッジの位置からトロリ線の摩耗量を検出するトロリ線摩耗部幅計算部４ｅとを備える構成とした。 （もっと読む）

【課題】正確に測定位置を制御でき、かつセンサの取り付け位置調整機構や位置調整作業を必要とせずに測定位置の制御精度を保つことができるレーザー高さ測定装置を提供する。
【解決手段】レーザー光Ｌ１を照射するレーザー光照射部６１および対象物で反射されたレーザー光を検出する反射光検出部６２を有するレーザー高さセンサ６と、レーザー高さセンサ６を平面内で移動させるセンサ移動機構（ヘッド駆動機構４１〜４３）と、所定の較正位置（光入射軸ＡＯ上）に配置された画像カメラ（部品カメラ５）と、レーザー光Ｌ１を減衰しつつ透過する減光フィルタ７１と、レーザー高さセンサ６を較正位置ＡＯに位置決めしてレーザー光Ｌ１を照射し、減光フィルタ７１を透過したレーザー光を画像カメラ５で撮像してレーザー光画像を得るレーザー光撮像手段と、座標位置の補正値をレーザー光画像上でのレーザー光の位置に基づいて求める補正値取得手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】渡り線と背景の切り分けを高精度に行うことが可能な画像処理による渡り線測定装置を提供する。
【解決手段】車両の屋根上に設置されたラインセンサカメラ２と、車両の内部に設置された計測用コンピュータ３とを備えた画像処理による渡り線測定装置において、計測用コンピュータ３が、ラインセンサ画像作成部３ａと、標準偏差背景除去処理部３ｂと、判別分析二値化処理部３ｃと、ノイズ除去処理部３ｄと、渡り線部エッジ検出部３ｅと、渡り線部高さ計算部３ｆと、渡り線部偏位計算部３ｇとを備えるようにし、ラインセンサ画像に対して標準偏差背景除去処理を行ったうえで二値化処理を行うことにより渡り線と背景との切り分けを行うようにした。 （もっと読む）

【課題】スピンドルに取り付けられて高い回転数で回転する極小径丸棒若しくは極小径工具の動的振れを測定可能な極めて実用性に秀れた測定装置の提供。
【解決手段】光源と、光源からの光線を被測定部材へ導くレンズ系と、被測定部材を介して光線を受光する複数のフォトダイオードとを備える光学系を有し、フォトダイオードでの受光量をもとに被測定部材の位置若しくは振れ量を測定する測定装置であって、光学系の光軸方向視において、複数のフォトダイオードにして被測定部材の軸心と交差する辺部が全て直線であり、複数のフォトダイオード間には、被測定部材の軸方向に対して傾斜する少なくとも１つのギャップを設け、このギャップの両端部は被測定部材の外形より外方に位置させ、ギャップを形成するフォトダイオードの辺部以外の被測定部材の軸心と交差する辺部がギャップと平行でないように構成する。 （もっと読む）

【課題】三次元計測器によって計測した点群データから計測対象物のmanifoldでかつ自己交差を含まない閉じた多面体データを生成する。
【解決手段】計測点群データに基づいて計測対象物の表面形状を表すサーフェイスを陰関数として作成する工程と、サーフェイスが存在する計測領域全体を三次元ドロネー図による分割処理により隙間なく、重複なく埋め尽くされた四面体の小領域（以下、セルという）に分割する工程と、セルの各頂点をサーフェイスの内側に存在する内点５と、外側に存在する外点６とに分類する工程と、境界セルを抽出する工程と、境界セルとサーフェイスとの交点７を計算する工程と、各境界セルが持つ交点７を繋ぎ合わせることにより三角形又は四角形の面を求める工程と、全ての面を結合する工程とを含むので、計測対象物のmanifoldでかつ自己交差を含まない閉じた多面体データを自動的に作成することができる。 （もっと読む）

【課題】対物レンズの被計測体側に配設された光学素子によりスポット位置を光軸に垂直な面内方向に走査することができるとともにこの光学素子による光学系全体の結像性能の劣化を抑えることができる三次元画像取得装置および三次元画像取得方法を提供する。
【解決手段】三次元画像取得装置１０は、共焦点光学系を用いた三次元画像取得装置であって、対物レンズ１３の被計測体１５側の光軸と交差するよう配設された平行平板形の部材を有し、光軸と垂直な面に対する平行平板形の部材の傾きを異ならせることで、傾きに応じて屈折作用により被計測体側共役点の位置を光軸方向に垂直な面内で変更するＸＹ方向焦点位置変更部１４を備え、平行平板形の部材の傾きは、対物レンズ１３の被計測体側共役点に集光される光の直径が、エアリーディスク直径の半分となる所定の傾き以下である。 （もっと読む）

【課題】複数の測定対象物それぞれの形状に応じた波形の比較を、作業者に簡易且つ正確にさせることが可能な技術を開示する。
【解決手段】変位センサシステム１０は、変位センサ１１、表示画面３３Ａを有する表示部３３、制御回路３０を備え、制御回路３０は、変位センサ１１から出力された測定信号ＳＧ３に基づき、複数のワークＷそれぞれの形状に対応した複数の信号波形Ｖ１〜Ｖ４それぞれについて当該信号波形のうち基準レベルを示す部位である基準部位Ｘ１〜Ｘ４を抽出する抽出処理と、当該抽出処理で抽出された基準部位Ｘ１〜Ｘ４同士を一致させた状態で、複数の信号波形Ｖ１〜Ｖを表示画面３３Ａに表示させる表示処理とを実行する。 （もっと読む）

【課題】試料を詳細かつ適切に評価することができる形状測定装置、及び形状測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の一態様にかかる形状測定装置は、観察窓５１と、基板５４とを有する試料保持ユニット１１と、観察窓５１又は基板５４を介して、試料５３を加圧するシリンダ５６、５７と、試料５１の形状を測定するため試料５１を照明するとともに、照明光の焦点位置を光軸方向に走査可能な共焦点光学系３０と、共焦点光学系３０を介して、試料保持ユニット１１に保持された試料からの反射光を検出するラインセンサ１５〜１７と、焦点位置を光軸方向に走査した時での検出結果によって、形状を測定する処理部１８と、を備え、観察窓５１の表面５１ａに焦点位置を合わせて、観察窓５１の表面形状を測定するものである。 （もっと読む）

【課題】砥粒の状態を新たな解析パラメータを用いてより詳しく解析し、これにより砥面の状態をさらに正確に検査できるようにする。
【解決手段】カメラ６により砥石３の砥面を撮像してそのライン画像データを取り込み、各ライン画像データに対し砥粒抽出処理部１２３により複数種のフィルタリング処理を行うことで上記ライン画像データから砥粒切れ刃候補の画像を抽出する。そして、砥粒解析処理部１２４の制御の下で、上記抽出された各砥粒切れ刃候補の画像から、砥面全域における各砥粒切れ刃候補の重心の座標と、凸多角形近似データ及び円形度と、内部欠損及び外部欠損と、面積及び欠損度と、すくい角側の稜線形状をそれぞれ算出または検出する。そして、この得られた解析パラメータをもとに、砥石３の幅方向における砥粒分布ヒストグラムと、砥石３の砥面全域における砥粒の分布状態を表す三次元マップを生成する。 （もっと読む）

【課題】ラインカメラの画像からラインカメラの視野範囲が移動した軌跡を特定し、路面全体の画像を正確に生成することが可能な技術を提供する。
【解決手段】本発明の路面画像処理システムは、車両と、車両に搭載されており、一方向に長い第１視野範囲内の路面を撮影する第１ラインカメラと、車両に搭載されており、一方向に長く、第１視野範囲と交差する第２視野範囲内の路面を撮影する第２ラインカメラと、車両の走行距離に応じて第１ラインカメラと第２ラインカメラに繰り返し撮影を指示する手段と、第１ラインカメラが撮影した画像系列にアフィン変換を施した画像と、第２ラインカメラが撮影した画像系列にアフィン変換を施した画像について、最も高い一致度を与えるアフィン変換パラメータを探索する手段と、探索されたアフィン変換パラメータに基づいて、第１視野範囲と第２視野範囲が交差する点の進行方向を算出する手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】陽極酸化アルミナの状態（微細凹凸構造の形状、欠陥等）を簡易に検査できる検査装置および検査方法、ならびに陽極酸化アルミナの微細凹凸構造の形状等のムラや表面の欠陥が抑えられた、陽極酸化アルミナを表面に有する部材の製造方法を提供する。
【解決手段】モールド１００に光を照射するライン状照明装置１０（第一の照射手段）と；モールド１００の陽極酸化アルミナで反射した光を撮像するカラーラインＣＣＤカメラ１２（第一の撮像手段）と；モールド１００に光を照射するライン状照明装置２０（第二の照射手段）と；モールド１００の陽極酸化アルミナで反射した光を撮像するモノクロラインＣＣＤカメラ２２（第二の撮像手段）と；２つのカメラによって撮像された画像から得られた色情報および輝度情報に基づいて陽極酸化アルミナの状態の良否を判定する画像処理装置３０（画像処理手段）とを有する検査装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】検査装置における伝送プロトコルは画像データの送信側と受信側が使用する伝送プロトコルに応じて最適化されている。このため、使用する伝送プロトコルが変更されると、データの分配を実行する部分の再開発が必要とされる。
【解決手段】画像データに付加情報を付して出力する撮像部と画像データを処理する画像処理部との間に画像分配部を配置する。さらに、画像分配部を、第１の伝送プロトコルにより撮像部から入力される画像データを所定のデータ形式に変換する画像入力部と、所定のデータ形式に変換されたデータの分配を制御する分配制御部と、所定のデータ形式のデータを第２の伝送プロトコルの画像データに変換して画像処理部に出力する画像出力部とで構成する。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成でふく進量測定の作業効率や測定精度等を向上させる。
【解決手段】ふく進測定装置４は、鉄道のレール６Ｒ，６Ｌ上を走行する車両５に搭載され、車両走行中に、レール６Ｒ，６Ｌから側方に離れた位置で地面と一体的に設けられた基準マーカ２Ｒ，２Ｌと、レール６Ｒ，６Ｌと一体的に設けられたレールマーカ３Ｒ，３Ｌとを撮影するラインセンサ１１Ｒ，１１Ｌ，１２Ｒ，１２Ｌと、ラインセンサ１１Ｒ，１１Ｌ，１２Ｒ，１２Ｌで撮影された画像上において基準マーカ２Ｒ，２Ｌ及びレールマーカ３Ｒ，３Ｌを検出する画像処理部と、画像処理部で検出された情報から基準マーカ及びレールマーカのレール長手方向の位置を算出する位置算出部と、位置算出部で算出された各位置からレール６Ｒ，６Ｌのふく進量を算出するふく進量算出部と、を備えている。 （もっと読む）