【課題】Ｘ線の漏洩防止を図りつつ、検査室を良好な衛生状態に保つ。
【解決手段】このＸ線検査装置は、被検査物を検査する検査室Ｓ２と、検査室Ｓ２内にＸ線を照射するＸ線源と、Ｘ線源から照射されるＸ線を検出する検出部と、検査室Ｓ２内に被検査物を搬入出させる搬送部と、検査室Ｓ２の前面に設けられた検査室を開放するＸ線遮蔽扉６００と、を備える。Ｘ線遮蔽扉６００は、第１遮蔽部材６１０、第２遮蔽部材６２０、および第３遮蔽部材６３０を含み、第２遮蔽部材６２０は、第１遮蔽部材６１０および第３遮蔽部材６３０よりもＸ線遮蔽性が高く、第１遮蔽部材６１０は、検査室Ｓ２側の最内側に配置されることで検査室Ｓ２の前面を形成し、かつ検査室Ｓ２側の面が連続した平坦面を有し、第２遮蔽部材６２０は、第１遮蔽部材６１０の外側に配置され、第３遮蔽部材６３０は、第２遮蔽部材６２０の外側で、かつ第２遮蔽部材６２０に対して所定間隔を有して設けられる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線の漏洩を防止しつつ、被検査物のＸ線検査を適切に実施する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、被検査物を検査する検査室Ｓ２と、検査室Ｓ２内に設けられたＸ線照射口ＵからＸ線を照射するＸ線源と、Ｘ線源から照射されるＸ線を検出する検出部４００と、検査室Ｓ２内に被検査物を搬入出させる搬送部５００と、検査室Ｓ２内へ被検査物を搬入出するための搬入出口２０１，２０２を遮蔽するＸ線遮蔽カーテン６７１〜６７６と、を含む。Ｘ線遮蔽カーテン６７３，６７６は、Ｘ線遮蔽カーテン６７３，６７６の鉛直方向の長さＣ１，Ｃ２が、Ｘ線照射口ＵからＸ線遮蔽カーテン６７３，６７６が配置されている位置までの水平長さＬ５，Ｌ６と比較して、略同一または短い位置に設けられる。 （もっと読む）

【課題】確実に異物検出を行うことが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、被検査物ＡにＸ線を照射するＸ線源２００と、Ｘ線源２００から照射される低エネルギー帯のＸ線を検知するセンサ３１０および高エネルギー帯のＸ線を検知するセンサ３２０を有するセンサユニット３００と、センサ３１０により検知されたＸ線データに基づいて被検査物Ａの透過画像を生成すると共に、センサ３２０により検知されたＸ線データに基づいて被検査物Ａの透過画像を生成する画像生成部４０１と、２つの透過画像の輝度が一致または近似するように一方の透過画像の輝度を変換させる輝度変換テーブルを作成する輝度変換テーブル作成部４０６と、輝度変換テーブルを平滑化して平滑輝度変換テーブルを取得する平滑化部４０８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】面方位測定とノッチ方位測定の両方を１つの測定で同時に行うことができるようにする。
【解決手段】Ｘ線源Ｆからの連続Ｘ線を平行化して単結晶試料位置へ導くコリメータ３３と、試料の格子面（００１）に対応したラウエ像を検出できる第１位置に配置された第１の２次元検出器３１と、試料の格子面（ｈｈｌ）に対応したラウエ像を検出できる第２の位置に配置された第２の２次元検出器３２と、第１の２次元検出器３１の出力に基づいて格子面（００１）の法線ベクトルＶ_００１を演算し、第２の２次元検出器３２の出力に基づいて格子面（ｈｈｌ）の法線ベクトルＶ_ｈｈｌを演算し、ベクトルＶ_００１とベクトルＶ_ｈｈｌとに基づいて方位マークの方向を演算する演算装置とを有するＸ線結晶方位測定装置である。２つの格子面（００１）及び（ｈｈｌ）は方位マークを付けようとしている結晶方位を晶帯軸とするときにその晶帯軸に属する格子面である。 （もっと読む）

【課題】 蛍光Ｘ線の検出強度や分解能を向上させることができるＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線分析装置１は、試料Ｓに照射するためのＸ線を出射するＸ線管３と、Ｘ線の照射によって試料Ｓから放出された蛍光Ｘ線を一端５ａから他端５ｂに伝播するキャピラリー管５を複数含むキャピラリー管集合体４と、キャピラリー管５の他端５ｂから出射された蛍光Ｘ線を検出するＸ線検出器６と、を備えている。キャピラリー管集合体４は、キャピラリー管５の一端５ａの集合によって形成された一端面４ａを有し、当該一端面４ａは、試料Ｓが膜状に配置される試料配置面となっている。 （もっと読む）

【課題】合金系別にアルミニウム合金を判別する方法と、それを利用したアルミ合金選別設備を提供する。
【解決手段】回収する複数の校正用試料（第１アルミ合金）と排除する対比用試料（第２アルミ合金）のエネルギーの異なるＸ線の単位面積毎の透過Ｘ線強度測定結果を測定平面にプロットし、校正用試料の測定結果の分布を上側曲線と下側曲線で挟んだ判別帯を画定し、判別帯により測定平面を中密度領域と高密度領域と低密度領域に分け、対比用試料の測定結果分布と対比して高密度領域内または低密度領域内の校正用試料の測定結果に関する第１閾値を決め、中密度領域内の校正用試料の測定結果から第２閾値を決めておき、被選別試料に係る単位面積毎の透過Ｘ線強度測定値が高密度領域または低密度領域に含まれる割合が第１閾値より小さく、中密度領域に含まれる割合が第２閾値より大きいときに、回収対象品と判定する判別方法。 （もっと読む）

【課題】複数の読取りヘッドを用いて回転ステージを所望の回転角度で高精度に回転させることができる定量移動装置を提供する。
【解決手段】回転ステージ２を回転させるサーボモータ４と、回転ステージ２又は回転ステージ２と一体に動く物体に設けられたスケール３と、スケール３を検知して信号を出力する複数の読取りヘッド８ａ〜８ｈと、複数の読取りヘッド８ａ〜８ｈの各出力信号に基づいて回転角度データの平均値を演算しその平均値を信号Ｓ１として出力するデータ処理部９と、回転角度の平均値の信号Ｓ１に基づいてモータ４の回転を制御するサーボアンプ６とを有する定量移動装置１である。 （もっと読む）

【課題】高品位のアルミニウム合金展伸材をそのまま展伸材として水平リサイクルし、省エネルギー化・省資源化に役立てることができるアルミニウム合金の材質判定技術を提供する。
【解決手段】下記材質判定のうち、少なくとも一方を有することを特徴とするアルミニウム合金の材質判定方法。
（Ａ）測定対象であるアルミニウム合金に強度の異なる２以上のＸ線を別々に照射し、透過Ｘ線強度を測定し、その測定値から減弱係数の比の値を求め、求めた比の値に基づきアルミニウム合金の材質を判定すること、
（Ｂ）測定対象であるアルミニウム合金に渦電流プローブを用いて渦電流を形成させ、形成された渦電流を検出し、その検出結果から渦電流によるアルミニウム合金のインピーダンスを求め、求めたインピーダンスの値に基づきアルミニウム合金の材質を判定すること。 （もっと読む）

【課題】排ガス中に含まれるＣｌ^-濃度を測定することができるガス分析装置、水銀除去システム、ガス分析方法及び排ガス中の水銀除去方法を提供する。
【解決手段】本実施形態に係るガス分析装置１０は、ＮＨ₄Ｃｌ、ＳＯ₃の両方を含む排ガス１１が送給される煙道１２から排ガス１１Ａを抜出す排ガス抜出し管１３と、排ガス抜出し管１３に設けられ、抜出した排ガス１１Ａ中に含まれる煤塵を除去する捕集器１４と、排ガス抜出し管１３に設けられ、排ガス１１Ａ中に含まれるＮＨ₄Ｃｌ、ＳＯ₃の両方を析出させるロールフィルタ１５と、ロールフィルタ１５で析出されたＮＨ₄Ｃｌ、ＳＯ₃の両方を含む試料にＸ線を照射させて試料から発生する蛍光Ｘ線を検出して排ガス１１Ａ中に含まれるＮＨ₄Ｃｌ、ＳＯ₃の両方を測定する測定装置１９とを含む。 （もっと読む）

【課題】二重エネルギ計算機式断層写真法（ＣＴ）でのエネルギ分離を拡大する。
【解決手段】イメージング・システム（１０）が、Ｘ線のビーム（１６）を撮像対象（２２）へ向けて放出するＸ線源（１４）と、対象（２２）によって減弱されたＸ線（１６）を受光する検出器（１８）と、Ｘ線源（１４）と対象（２２）との間に配置されるスペクトル・ノッチ・フィルタ（１５）と、検出器（１８）に接続されて動作するデータ取得システム（ＤＡＳ）（３２）と、ＤＡＳ（３２）に接続されて動作するコンピュータ（３６）とを含んでおり、コンピュータ（３６）は、第一のｋＶｐ（１０４）において第一の画像データセットを取得し、第一のｋＶｐ（１０４）よりも大きい第二のｋＶｐ（１０８）において第二の画像データセットを取得して、第一の画像データセット及び第二の画像データセットを用いて対象（２２）の画像を形成するようにプログラムされている。 （もっと読む）

【課題】複数の信号を用いた高精度な寸法測定を実現することを可能にする。
【解決手段】本実施形態は、走査顕微鏡を用いて対象物の寸法測定を行う寸法測定方法であって、前記対象物の測定に関する始点および終点となる測長点を定義する工程と、前記対象物にビームを入射して走査することにより、同時刻における前記対象物からの複数の信号を検出する工程と、前記対象物の測長点の定義に基づいて、前記複数の信号から測長点を決定する工程と、前記対象物において決定された測長点の間の距離を算出する工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検査を効率的に実施することができるＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】開始位置である第1開始ポイントおよびその後の観察ポイントの相対位置が、第２〜第１０開始ポイントおよびその後の観察ポイントの相対位置と同じである場合において、第1開始ポイント、その後の観察ポイント（ここでは縦・横の送り量）および第２〜第１０開始ポイントをそれぞれ設定して登録する。このように、第２〜第１０開始ポイントの後の残りの観察ポイントを登録せずとも、登録された第1開始ポイント、その後の観察ポイントおよび第２〜第１０開始ポイントに基づいて、当該残りの観察ポイントを演算することが可能であり、必要である第1開始ポイント、その後の観察ポイントおよび第２〜第１０開始ポイントのみを登録すれば、Ｘ線検査を効率的に実施することができる。 （もっと読む）

【課題】被検査物の底面付近および被検査物の全体についても異物検査を行うことが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、被検査物Ｂを搬送する検査テーブル７１１と、検査テーブル７１１で搬送される被検査物ＢにＸ線を照射するＸ線源２００と、Ｘ線源２００から照射されるＸ線を検知するラインセンサ４００とを備えている。そして、Ｘ線源２００は、検査テーブル７１１の水平な搬送面と、被検査物Ｂの搬送領域のＸ線源２００から最も離れた位置Ｐとの交点Ｇへ入射するＸ線とのなす角（θ１）が０°より大きく且つ３０°以下を満たすように配置される。 （もっと読む）

【課題】被検査物の重心を正確に算出する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、被検査物Ｂに異物Ｃが混入しているか否かを検出する異物検出部と、異物検出部により検出された異物Ｃの重心Ｇ１を算出する異物重心算出部と、被検査物Ｂの異物Ｃを除いた対象部分Ｄの重心Ｇ２を算出する対象部分重心算出部と、異物重心算出部により算出された異物Ｃの重心Ｇ１と、対象部分重心算出部により算出された対象部分Ｄの重心Ｇ２とに基づいて、被検査物Ｂの重心Ｇを算出する重心算出部とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 10μm以下のビームサイズの入射X線を使用したX線反射率法で微小領域の膜厚を計測するには、入射角を変えながら、X線の焦点位置、試料表面、回転軸の関係を１μm以下の精度で維持、制御する必要がある。
【解決手段】 本発明は、X線レンズを振幅分割ビームスプリッターと集光光学系として用いることにある。X線レンズで屈折されたX線は、焦点位置で１０μm以下に集光するような角度分布を与える。薄膜積層体を焦点位置に配置し、鏡面反射されたX線を物体波、X線レンズを透過したX線を参照波として薄膜積層体下流に配置したX線レンズで重ね合わせ干渉させる。光路差と薄膜積層体中で生じた位相差を反映した干渉縞の間隔および位置から反射X線の位相を解析し、微小領域の膜厚を計測、検査することを特徴とする薄膜積層体検査方法 （もっと読む）

【課題】高精度に検査を行うことができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】
本実施の形態に係るＸ線検査装置１００においては、被検査物９００を透過した透過Ｘ線２１０がラインセンサ２２０により検出される。検出された透過Ｘ線２１０から透過画像が作成されて被検査物９００の検査が行われる。本発明のラインセンサ２２０は、シンチレータおよびフォトダイオードからなる間接型ラインセンサのシンチレータがないセンサである。 （もっと読む）

【課題】 膨大な量のテーブルを記憶するデータベースが無くても、強度を正確に算出し、正確な定量値を算出することのできる蛍光Ｘ線分析方法を提供する。
【解決手段】 ＦＰ法や検量法を用いて得た定量値の精密性に着目し、必要最小のテーブルを用いて蛍光Ｘ線の実測値から試料の大体の組成比等を仮定し、この仮定から得られた仮の強度を使って定量計算を行い、定量計算で得られた仮の定量値に基づいて前記仮の強度を修正して定量計算を行うという処理を繰り返し、仮の強度を規定値内に収束させ、収束したときの仮の定量値を「定量値」として決定するようにした。 （もっと読む）

【課題】容器中の二相流状態における液膜厚さの分布情報を求めるために、ＣＴ画像により計測領域を２次元又は３次元の連続的情報として得る。ＣＴ装置での時間平均画像において液膜厚さを評価しようとした場合に、液膜分布を計測するために液膜の真値との相関関係を把握することが必要となる。
【解決手段】被検体を透過するエネルギーを持つＸ線源と、透過Ｘ線を検出する検出器と、被検体の全周方向からの透過データが取得可能な機構とからなるＸ線ＣＴ装置と、該被検体内の容器表面の液膜厚さを計測可能な厚さ計測器を少なくとも１つ有し、Ｘ線ＣＴ装置が取得するＣＴ画像において厚さ計測器の計測位置と対応する箇所の液膜厚さを、厚さ計測器の計測値によりキャリブレーションを実施し、ＣＴ画像から液膜厚さを算出する。 （もっと読む）

【課題】板状試料の大きさ、形状に関わらず、試料底面を試料台に接触させずに簡便に安定した状態で保持できる保持具を提供する。
【解決手段】板状上部保持部材２と板状下部保持部材３と両保持部材の間に試料を挟んだ状態で両保持部材を固定する固定手段（４、５、５a、５ｂ）とを備え、前記固定手段を、前記両保持部材の板中心から離れる位置に設ける構造とする。 （もっと読む）

【課題】無機成分を含んでガラスビードに調製すべき試料について、無機成分のみの濃度を簡便かつ正確に求めることができる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】ＦＰ法により試料における各成分の濃度を算出する算出手段１０Ａを備えた蛍光Ｘ線分析装置であって、算出手段１０Ａが、ガラスビード３について試料３ａに含まれていた各無機成分の濃度および残分としての融剤３ｂの濃度を仮定して、ガラスビード３における各成分の濃度を算出し、算出した各無機成分の濃度の合計が１００％になるように規格化して各無機成分の濃度を試料３ａについての最終分析値とする。 （もっと読む）