【課題】基準値（しきい値）の設定を変更する際の指標を作業者に提供することにより、基準値の設定の変更作業を効率的に行うことが可能な、Ｘ線検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、複数の物品１００に関する検査によってＸ線検出部５で取得された、Ｘ線の強度に関する複数の検出データＳ１を蓄積する蓄積手段２２と、所定の基準値として、複数の物品１００に関する検査で用いられた実基準値とは異なる仮想基準値を設定する設定手段２４と、仮想基準値と、蓄積手段２２に蓄積されている各検出データＳ１との比較結果に基づいて、各物品１００内への異物の混入の有無を判定する判定手段２５と、複数の物品１００の総数における、判定手段２５によって異物が混入されていると判定された物品１００の個数の割合として、仮想異物混入率を算出する算出手段２６と、仮想異物混入率を表示部９に表示させる表示制御手段２７とを備える。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線照射に代表される電子線照射によって得られた転動装置の断層データによって内部の状態を把握することに適した転動装置を提供する。
【解決手段】内側軌道部材３と、外側軌道部材２と、前記内側軌道部材及び前記外側軌道部材との間で転動する転動体４と、前記内側軌道部材及び前記外側軌道部材の間に充填した潤滑剤６とを転動装置構成部材とし、これら転動装置構成部材にＸ線を照射することで当該転動装置構成部材の断面についてのＸ線吸収率データを得るとともに、このＸ線吸収率データに基いて、前記断面内でのＸ線吸収率を所定の階調でもって表すデータを取得し、当該データに基づいて画像表示装置で表示することにより前記内側軌道部材と前記外側軌道部材の間の内部状態を観察することが可能な転動装置１において、前記内側軌道部材、前記外側軌道部材、前記転動体及び前記潤滑剤のＸ線吸収係数を異なるものとした。 （もっと読む）

【課題】従来のものよりも高精細な画像を高速に取得することができる画像処理装置及びそれを備えたＸ線異物検出装置並びに画像処理方法を提供すること。
【解決手段】画像処理装置５は、画像を復元する画像復元手段５２を備え、画像復元手段５２は、関数近似ＰＳＦを生成するＰＳＦ生成手段５２２、関数近似ＰＳＦに基づいて画像復元処理を行うデコンボリューション手段５２３、エッジ保存平滑化処理を行うエッジ保存平滑化手段５２４を備え、エッジ保存平滑化手段５２４は、画像復元処理後に、第１及び第２のエッジ保存平滑化処理をそれぞれ行う第１のエッジ保存平滑化部５２４ａ及び第２のエッジ保存平滑化部５２４ｂを備え、第１及び第２のエッジ保存平滑化処理をそれぞれ順次２回ずつ実施する構成を有する。 （もっと読む）

【課題】基準パターンを活用して基準データをもとにして各種の計測条件を自動設定することができるパターン検査装置および方法を提供する。
【解決手段】検査対象パターン画像と検査対象パターンを製造するために使用するデータを用いて検査するパターン検査装置であって、データから線分もしくは曲線で表現された基準パターンを生成する生成手段と、検査対象パターンに荷電粒子線を走査して検査対象パターン画像を生成し、検査対象パターン画像の画素の位置を置き換えることで回転した画像を取得する生成手段と、検査対象パターン画像のエッジを検出する手段と、検査対象パターン画像のエッジと線分もしくは曲線で表現された基準パターンとを比較することにより、検査対象パターンを検査する検査手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、セル検査を用いて、基板表面に存在する欠陥を容易かつ高精度に検出することができる基板表面の検査方法及び検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 表面に複数の材料を含む基板１０上の欠陥３２を検査する基板表面の検査方法であって、
前記複数の材料のうち少なくとも２種類の材料のコントラストが所定範囲内となるようにランディングエネルギーが設定された電子ビームを、前記基板の表面に照射する電子ビーム照射工程と、
前記基板から発生した電子を検出し、前記２種類の材料からなるパターンが消去された又は薄くなった状態で前記基板の表面画像を取得する工程と、
取得された該表面画像において、背景画像と区別できるコントラストを有する対象物の像を、前記欠陥３２として検出する工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】円錐傾斜断層撮影装置で生じるリング状アーチファクトを低減化する。
【解決手段】Ｘ線３を照射するＸ線源４と、被検体１からのＸ線透過像を検出する検出器５と、被検体を相対的に回転軸ＲＡに対して回転させる回転手段２，６と、３次元画像を作成する制御処理部１２とを備えた装置であって、回転軸ＲＡは、Ｘ線中心線の方向に対し９０度より小さなラミノ角で交差し、制御処理部１２は、３次元サイノグラムＰ０に対し回転方向にローパスフィルタ処理してサイノグラムＰ１を得、サイノグラムＰ１に対し透過像に沿った２次元ローパスフィルタ処理してサイノグラムＰ２を得、サイノグラムＰ１からＰ２を減算してリング成分を抽出し、サイノグラムＰ０からリング成分を減算したサイノグラムＰ^＊を得るリング補正処理部１２ｃと、得られたサイノグラムＰ^＊から３次元画像を再構成する再構成部１２ｄとを有する断層撮影装置である。 （もっと読む）

【課題】エネルギー分解能が良好な１次元の位置感応型Ｘ線検出器を用いることで、受光側にモノクロメータを配置することなく、蛍光Ｘ線に起因するバックグラウンドを低減する。
【解決手段】入射Ｘ線２８と回折Ｘ線３０とのなす角度を変更しながら試料２０からの回折Ｘ線３０の強度をＸ線検出器１０で検出する。Ｘ線検出器１０はシリコン・ストリップ検出器であり、細長く延びる単位検出領域を複数個備えている１次元の位置感応型検出器である。この検出器は、受光したＸ線のうち、そのＸ線エネルギーが上限値と下限値の間にあるものだけを弁別する機能を備えている。ＣｕＫαにおけるエネルギー分解能は２０％以下である。上述の上限値と下限値を適切に設定することで、蛍光Ｘ線の大半をカウントしないようにすることができて、本来の回折Ｘ線の強度をあまり下げずに、バックグラウンドを大幅に下げることができる。 （もっと読む）

【課題】
半導体装置のメモリマット部の最周辺部や、繰り返し性の無い周辺回路まで高感度に欠陥判定できる検査技術を提供する。
【解決手段】
繰り返しパターンを有する複数のダイで構成された回路パターンの画像を取得する画像検出部、取得した検出画像について、繰り返しパターンの領域とそれ以外の領域とに応じて加算対象を切り替えて参照画像を合成し、検出画像と比較して欠陥を検出する欠陥判定部、検出された欠陥の画像を表示する表示装置を備える。 （もっと読む）

【課題】介在物を介して結晶粒が時間の経過と共にどのように変化するのかを、従来よりも容易に且つ正確に解析できるようにする。
【解決手段】有効範囲設定部１２２から取得した有効範囲８０１に基づく３次元の領域内において、インヒビターｋに拘束されている固定点ｉｋが属する粒界ｕの粒界エネルギーＥｉと、平衡位置ｗにあるときに解放された固定点ｉｋが属する粒界の粒界エネルギーＥｉ'と、インヒビターｋから解放されたときの固定点ｉｋが属する粒界ｕの粒界エネルギーＥｉ''とを算出する。そして、粒界エネルギーＥｉ'が粒界エネルギーＥｉよりも小さく、且つ粒界エネルギーＥｉ''と粒界エネルギーＥｉとの差が障壁エネルギーＥ０よりも小さい場合に、固定点ｉｋを解放する。 （もっと読む）

【課題】ハードウエアの追加を伴わない簡単な構成で、Ｘ線照射の絞りを変更するためのＸ線遮蔽板の位置ずれを検知する。
【解決手段】設定されているものと異なる絞り孔４ａ〜４ｄの選択が指示されると、制御部１０は現在の絞り孔に応じた数のパルス信号をパルスモータに送ってＸ線遮蔽板４をホームポジションＰ２に戻し、その後、センサ１３により原点位置Ｐ１に来たことが検出されるまでパルス信号を計数しつつパルスモータを駆動する。その計数値と規定数との差が許容値以下であるか否かを判定し、許容値を超えている場合、ホームポジションが適切でなく元のＸ線遮蔽板４の位置が異常であると判断して表示部１２にエラー表示を行う。また、絞り孔の変更がない場合でも規定回数毎に同様の異常検知を実行することで、絞り孔の位置がずれた状態で取得された可能性のある信頼性のないデータの棄却を可能とする。 （もっと読む）

【課題】 物品の搬送方向における間隔を確保できない等の事情で、被検査物品に対応する画素がＸ線画像情報の区切り部分にかかる場合でも、洩れなく異物を検出できるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 物品を搬送する搬送手段と、搬送中の物品に対してＸ線を照射するＸ線源と、物品を透過した透過Ｘ線を受けるＸ線検出器と、前記Ｘ線検出器からの出力に基づくＸ線画像情報を、物品搬送方向における所定幅ごとに画像処理する画像処理手段と、を備えるＸ線検査装置であって、各画像処理の対象とする前記所定幅のＸ線画像情報を、物品搬送方向においてオーバーラップさせることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
取得画像の像質や分解能の劣化を防ぐことができる走査型電子顕微鏡、および走査型電子顕微鏡の画像の改良方法を提供する。
【解決手段】
試料に電子ビームを照射し該試料から発生する二次信号の情報を画像化する走査型電子顕微鏡において、前記電子ビームを前記試料で走査する走査信号を補正する補正データを格納する記憶部と、該記憶部へ格納された補正データを用いて前記走査信号を補正する補正回路と、該補正回路で補正された走査信号を用いて得られた画像を表示するディスプレイとを備え、該ディスプレイには、さらに、前記補正データに基づいて生成された補正データ波形が表示される。 （もっと読む）

【課題】オペレータの操作により作り出したある時点における状態に戻したり、衝突危険領域から離脱させることを、手間を要することなく確実に実現することのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】ステージ３および／またはＸ線検出器２を移動させるべくオペレータが操作部２０を操作したとき、その操作履歴を記憶する記憶手段１０ａを備えるとともに、指令の付与により、記憶手段１０ａに記憶されている操作履歴を逆順で再生して移動指令としてステージ移動機構６や検出器傾動機構４等に供給することで、例えば衝突危険領域で透視している状態で指令を与えることにより、その衝突危険領域に至る前の状態に自動的にステージ３等が戻ることを可能とする。 （もっと読む）

【課題】 試料の化合物組成をより精度良く判別するとともに、その際の使い勝手を向上することができる化合物分析装置を提供する。
【解決手段】 ＦＴＩＲ法によって試料を測定した結果にピークサーチマッチングを施してこれを分析し、当該試料を構成する化合物組成の候補を１又は複数抽出するＦＴＩＲ分析部３１と、ＸＲＦ法によって前記試料を測定した結果にピークサーチマッチングを施してこれを分析し、当該試料を構成する元素組成の候補を１又は複数抽出するＸＲＦ分析部３２と、前記ＦＴＩＲ分析部３１による候補抽出結果とＸＲＦ分析部３２による候補抽出結果とを照合し、ＦＴＩＲ分析部３１で抽出された各候補に対して試料組成としての妥当性を示す妥当性評価値をそれぞれ算出する評価部３３と、を設けるようにした。 （もっと読む）

【課題】断層像の座標変換を伴うことなくリングアーチファクトを除去することを可能とし、断層像の精度を低下させることなく確実にリングアーチファクトを除去した断層像を得ることのできるＸ線ＣＴ装置を提供する。
【解決手段】互いに対向配置されたＸ線発生装置１とＸ線検出器２の対と、これらの間に配置された試料ステージ３とを相対回転させることにより、複数の角度での対象物ＷのＸ線投影データを収集し、その投影データを用いて回転軸Ｒに直交する面に沿った断層像を構築するＸ線ＣＴ装置において、断層像を構成する各画素について、当該断層像上で回転軸Ｒに相当する位置を中心とした扇形状のコンボリューションフィルタカーネルを用いてフィルタ処理を施すことにより、断層像に現れるリングアーチファクトを抽出し、その抽出した画像をフィルタ処理を施す前の画像から減算することにより、リングアーチファクトを実空間において除去または低減することを可能とし、当初の断層像の精度を維持したままリングアーチファクトの除去を実現する。 （もっと読む）

【課題】
タンパク質等の高分子構造におけるカイラリティ分布や、磁区構造の解析を高分解能で行うことが可能な走査電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】
レーザー201と半導体202を備えたスピン偏極電子源等を搭載した走査電子顕微鏡を用いて、スピン偏極電子線203を照射した試料208からの反射電子209の強度やスピン偏極度を反射電子検出器210などを用いて測定することにより、試料208内部の高分子のカイラリティ構造や磁化ベクトルを可視化することができる。 （もっと読む）

システムは、観察物体内に励起エネルギーを送信するための送信機と、物体への送信励起エネルギーに応答して受信されるエネルギーをエンコードする投影空間データを生成するための検出装置と、投影空間データを生成するための送信機および受信機を制御するためのコントローラと、投影空間データを受信するための画像再構成装置であって、投影空間データと予測投影データの間の差を特徴づける第１の量を計算し、各インパルス応答が単位強度の参照ボクセルに対応する少なくとも１つのインパルス応答に対応する第２の量を計算し、第１の量および第２の量の反転関数を使ってアップデート値を計算し、アップデート値を使って観察物体を表す物体空間画像を再構成することによって投影空間データを処理するための画像再構成装置とを含む。
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【課題】Ｘ線管又は電子管用の絶縁体について、高電圧不安定性及び絶縁体表面フラッシュオーバに対する耐久性があり、先端応用向けに小型であり、また修理の容易さ、並びに内部への追加の給電路及び冷却剤の通過を可能にするように設計をモジュール型にする。
【解決手段】Ｘ線管用のモジュール型絶縁体アセンブリが、円筒形の周縁壁を有し電気絶縁材料で構築された円環状絶縁体を含んでいる。壁部材が円筒形の周縁壁に固定的に取り付けられて該周縁壁を超えて延在しており、第一の遮蔽体が壁部材に隣接して配置されて、壁部材及び絶縁体によって形成される隅部に近接して延在する端部を有している。 （もっと読む）

【課題】余分な時間をかけずに、観察像取得手段の視野に関係なく、マッピングの観察範囲と同じ視野の光学的観察像が、位置ズレも伴わずに得られるマッピング分析装置を提供する。
【解決手段】試料１１の表面に複数配列されたマッピング単位領域から、放出されるマップ像用信号を検出するマップ像用検出手段（Ｘ線検出器）２８と、試料１１の表面の光学的観察像を撮像する撮像手段２２と、撮像手段２２の出力信号から光学的信号ではない部分を除去する信号補間抽出回路２３ａと、マップ像用信号検出手段２８及び信号補間抽出回路２３ａの出力信号を格納する画像メモリ２５と、試料１１を移動させ、マッピング単位領域を逐次走査するＸ−Ｙステージ１２と、Ｘ−Ｙステージ１２の動きに同期してマップ像用信号検出手段２８及び信号補間抽出回路２３ａの出力信号を画像メモリ２５に取り込ませる同期制御回路２７とを備える。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の面取斜面の異物を発見することができる検査方法及び検査装置及びガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】ステージ上に搭載したガラス基板の表面の欠陥に電子線を照射して検査する検査方法において、ガラス基板の面取斜面を検査する際の面取斜面と電子線との照射角度が、ガラス基板の磁性層形成面を検査する際の磁性層形成面と電子線との照射角度と同じとなるように、ステージを傾けることを特徴とする。 （もっと読む）