【課題】検査対象物の残肉厚を適切に検出することができる非破壊検査方法を提供する。
【解決手段】所定の厚みを有する配管１０Ｂ等の検査対象物にγ線Ｅ_０をその厚さ方向に照射し、コンプトン効果により散乱された散乱γ線Ｅのうち特定のエネルギーを有する単色の散乱γ線Ｅを弁別し、弁別した散乱γ線Ｅに基づき前記配管１０Ｂの散乱γ線Ｅによる二次元の画像Ｃ１´，Ｃ２´を得、この二次元の画像Ｃ１´，Ｃ２´を正常な配管１０Ａの画像Ｃ１，Ｃ２と比較することにより前記配管１０Ｂの状態を検査するようにした。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、微小ビームで励起した蛍光Ｘ線を用いて、実装はんだ及びプリント板実装部品の鉛の含有可能性を判定するための検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 上記課題は、蛍光Ｘ線測定装置を用いて部品又は材料中の指定元素の含有可能性を検査する検査方法において、指定元素毎に、蛍光Ｘ線測定装の測定結果によって示されるＸ線強度を測定された測定エリアにおける位置情報に対応させたマッピングデータを生成し、検出されたＸ線強度と部品又は材料上の照射位置までの距離との関係に基づいて、マッピングデータによって示されるＸ線強度を補正し、所定Ｘ線強度に基づいて該指定元素の含有可能性有りと判断した照射位置を検出位置情報として生成し、指定元素毎の検出位置情報を２つ以上の指定元素について合成することによって指定物質が含有される可能性を示す画像データを生成し表示ユニットに表示させることによって達成される。 （もっと読む）

【課題】原子炉構造物での亀裂の検出等、表面形状の解析が、クラッド等で覆われた場合であってもより高い精度で行える放射線検査装置を提供する。
【解決手段】対向する検査部位６からの放射線の強度を検出位置と対応させて検出する二次元放射線検出器２と、この二次元放射線検出器２の出力信号から放射線強度の二次元位置分布を算出する信号処理部３と、この信号処理部３での処理結果を記憶する情報記憶部４と、この情報記憶部４に記憶された情報に基づく解析を行い検査部位６の表面形状についての解析結果を出力する演算解析部５を備えるもので、信号処理部３が、放射線の強度を放射線の個数に換算する演算手段を備えており、演算された放射線個数による放射線強度の二次元位置分布を算出するものである。 （もっと読む）

【課題】複数の色成分の透過像を出力する放射線検出器を用いて、ダイナミックレンジの広い断面像を得る。
【解決手段】放射線を検出してカラーの可視光像に変換するカラーＸ線ＩＩ３ａとカラーの可視光像を撮影して色成分ごとの透過像データを出力するカラーカメラ３ｂより成るＸ線検出器３と、複数の走査位置でカラーＸ線ＩＩ３ａにより得た色成分ごとの透過像データを画像合成部９ｅにより互いに加算した単色透過像データを用いて被検体５の断面像を再構成するＣＴ装置。 （もっと読む）

【課題】コンテナ内にある少なくとも一つの問題となる物体の画像を生成する方法及びシステムである。
【解決手段】本発明の方法は、コンテナの走査から三次元容積走査データを受信することと、該三次元容積走査データからコンテナの三次元表示を再構築することと、三次元表現を検査して、このコンテナ内にある少なくとも一つの問題となる物体を検出することとを含む。また、本発明の方法は、三次元容積走査データ及び三次元表現のうちの一つから二次元画像を再投影することと、少なくとも一つの問題となる物体の位置に対応する、二次元画像における第一の複数の画像要素を識別することとを含む。さらに、本発明の方法は、強調表示された第一の複数の画像要素を伴って二次元画像を出力することを含む。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の端部付近に小さな異物が混入している場合においても、該異物を検出可能なＸ線検査装置を得る。
【解決手段】搬送コンベア１０によってＹ軸方向へ搬送されている検査対象物１に対してＸ線を照射するＸ線源１１、１２と、Ｘ線源１１、１２のそれぞれに対応し、Ｘ線源１１、１２から検査対象物１に照射され透過したＸ線を検出するＸ線検出器１３、１４とを備えている。Ｘ線源１１は、図１のＺ軸方向であって検査対象物１の上方から、検査対象物１の幅方向の一端部を中心として扇状にＸ線を照射できるように配設されている。Ｘ線源１２は、図１のＺ軸方向であって検査対象物１の上方から、検査対象物１の幅方向の他端部を中心として扇状にＸ線を照射できるように配設されている。 （もっと読む）

【課題】ＳＥＭ画像等の画像中に含まれる欠陥パターンを基準パターンを利用して効率的かつ高精度に検出することを可能にするパターン検査装置を提供する。
【解決手段】比較基準となるリファレンスパターン画像１３１における所定の特徴点の位置情報を登録するリファレンスパターン登録処理Ｓ１と、検査対象画像１３２から抽出された輪郭線の位置情報と特徴点の位置情報とに基づいて検査対象画像１３２に含まれる欠陥候補パターンを探索する欠陥候補パターン探索処理Ｓ２と、リファレンスパターン画像１３１における特徴点に対応した輝度分布情報と欠陥候補パターンにおける特徴点に対応した輝度分布情報とに基づいて、欠陥パターンを検出する欠陥パターン検出処理Ｓ３とを行うパターン検査装置である。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、既知の方法の欠点である、ミリングによって曝露された面では像が生成されないこと、及び如何なるエンドポイント指定もウエハ表面から生成される像に基づかなければならないことを解決することを目的とする。
【解決手段】 本発明は、FIB鏡筒のみが用いられている装置によって、この問題に対する代替解決策を提供する。
薄片を最終的な厚さ-たとえば30nm-にまでミリングするため、集束イオンビーム100は前記薄片に沿って繰り返し走査される。前記薄片をミリングしている際、前記薄片から信号が得られ、該信号はエンドポイント指定にとって十分であることが分かった。検査用のさらなる電子ビームは必要ない。 （もっと読む）

【課題】コンテナの内容物の画像を再構築して、分割する方法及びシステムが提供される。
【解決手段】実際の走査データを前記コンテナの走査から受信することと、実際のデータを再構築して、再構築された画像を取得することと、再構築された画像を分割して、分割された画像を取得するステップと、分割された画像に対応するシミュレートされた走査データを導出することと、シミュレートされた走査データと実際の走査データとの間の差異に基づいて、エラー項を導出することと、基準が満足されるか否かを判定することと、基準が満足されない場合には、エラー項を用いて修正済みの再構築された画像を生成し、前記再構築された画像と置き換えられた修正済みの再構築された画像を用いて、前段階を繰り返すことと、基準が満足される場合には、分割された画像から情報を出力することを含む方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、シンチレータの区画とコリメータとの位置を精度よく合わせることができる放射線検出器、Ｘ線ＣＴ装置、及び放射線検出器の製造方法を提供する。
【解決手段】コリメータと、前記コリメータと対向して設けられ放射線を受けて蛍光を発するシンチレータと、前記蛍光を電気信号に変換する複数の光電変換素子を有し、前記シンチレータの主面に設けられた光電変換手段と、前記光電変換素子毎に前記シンチレータを区画する光反射部と、前記光電変換手段の前記シンチレータが設けられた主面とは反対側の主面の側に設けられた基部と、前記基部に設けられ、前記コリメータの端部を保持することで前記光反射部の位置を前記コリメータの位置に合わせる位置合わせ手段と、を備えたことを特徴とする放射線検出器が提供される。 （もっと読む）

【課題】平行ビーム法を用いたＸ線回折法において、角度分解能が優れていて、Ｘ線強度の低下が少なく、構造が簡素化されたＸ線回折装置およびＸ線回折方法を提供する。
【解決手段】平行ビームのＸ線２４を試料２６に照射して、試料２６からの回折Ｘ線２８をミラー１８で反射させてからＸ線検出器２０で検出する。ミラー１８の反射面は複数の平坦反射面の組み合わせからなり、各平坦反射面の中心点は、試料２６の表面上に中心を有する等角螺旋の上にある。Ｘ線検出器２０は、回折平面に平行な平面内において１次元の位置感応型である。異なる平坦反射面で反射した反射Ｘ線が、Ｘ線検出器２０の異なる地点にそれぞれ到達する。異なる平坦反射面で反射した反射Ｘ線がＸ線検出器の同一の検出領域上で混在して検出されることを想定して、それらを互いに区別するための補正処理を実施する。 （もっと読む）

【課題】質量数の大きな元素から小さな元素まで分析でき、各元素の分析において十分な分析性能が得られる散乱イオン分析装置及び散乱イオン分析方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、分析可能な各元素に対応するビーム軸方向における試料台１４からアパーチャ１６までの第１の距離Ｌ１とアパーチャ１６からイオン検出器２０までの第２の距離Ｌ２とアパーチャ１６の開口１６ａの大きさφａとを予め取得しておき、この取得しておいた情報から分析の対象とする元素の種類に基づいて試料Ｓを分析するときの第１の距離Ｌ１と第２の距離Ｌ２とアパーチャ１６の開口１６ａの大きさφａとを決定し、この決定に基づいて試料台１４とアパーチャ１６とイオン検出器２０とのうちの少なくとも２つをビーム軸に沿って移動させると共にアパーチャ１６の開口１６ａの大きさを変更することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線照射装置において、制御機構等に不具合を生じた場合にも、安全機構の各部品や回路の自己診断動作が阻害されない、信頼性の高いＸ線照射装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線管球１５に電力を供給するＸ線管球電源１６、Ｘ線の照射対象を格納する試料室１１を有するＸ線照射機構１と、Ｘ線照射機構１の動作を制御する制御機構２と、試料室１１蓋１２の開閉を検知する蓋センサ３４、蓋センサ３４からの出力信号に基づき、Ｘ線管球電源１６への通電を禁止又は許可とするインターロック機構３７を有する安全機構３とを備える。安全機構３は、制御機構２からの通信を受けることなく、制御機構２から独立して安全機構３の状態を自己診断する診断機構３８を更に有する。 （もっと読む）

【課題】蛋白単分子等の微小標的粒子にＸ線ビームを照射するＸ線分析装置において、コンテナレス法やコンテナ法では解決が難しかった種々の技術的課題を一挙に解決する。
【解決手段】保持基板１に保持されている標的粒子Ｐの位置形状測定を行うプローブ式測定手段２と、前記プローブ式測定手段２のプローブ２ａを、標的粒子Ｐの測定が可能な位置である測定位置と、前記Ｘ線照射機構による標的粒子へのＸ線ビームの照射に干渉しない位置である退避位置との間で移動可能に保持する移動機構３と、前記保持基板１及びＸ線照射機構の相対位置を調整する位置調整機構５とを設け、前記プローブ式測定手段２で位置が特定された標的粒子Ｐに対し、前記保持基板１及びＸ線照射機構の相対位置を調整してＸ線ビームを照射できるように構成した。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線管が結露した状態であるか否かを判定して、Ｘ線管を破損することを防止することができる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】 一次Ｘ線を筐体１４の出射窓１４ａから出射するＸ線管１０と、試料Ｓで発生した蛍光Ｘ線の強度を検出する検出器３０と、入力操作される入力装置８２と、入力装置８２から入力される分析開始操作信号に基づいて、ターゲット１１に高電圧を印加するとともにフィラメント１２に低電圧を印加することにより、検出器３０で検出された蛍光Ｘ線の強度を取得する制御部５０とを備える蛍光Ｘ線分析装置１であって、Ｘ線管１０の外側筐体１４の外周面に取り付けられ、水分情報を検出する結露センサ１７を備え、制御部５０は、入力装置８２から分析開始操作信号が入力された際に、結露センサ１７で検出された水分情報に基づいて、ターゲット１１に低電圧を印加するか、若しくは、ターゲット１１に電圧を印加しない。 （もっと読む）

【課題】本発明はＸ線マイクロアナライザに関し、スペクトル同士の比較が容易に行なえるＸ線マイクロアナライザを提供することを目的としている。
【解決手段】細かく絞った電子線を試料１９に照射し、該試料１９から放射される特性Ｘ線を分光結晶９に入射し、その分光された特性Ｘ線を検出器１１で検出し、試料中に含まれる元素を横軸波長と縦軸Ｘ線強度のスペクトルとして定性又は定量するＸ線マイクロアナライザにおいて、電子線の照射電流と特性Ｘ線の計数時間とスペクトルを表示するスケールを予め条件として決めておく設定手段２９と、前記照射電流と計数時間が変化した場合には、前記予め決めてある条件に正規化して表示するようにした演算表示手段２９と、を具備して構成される。 （もっと読む）

【課題】撮影倍率を変更しても都度較正を行なうことなく寸法精度のよい断面像を得る。
【解決手段】撮影距離ＦＣＤと検出距離ＦＤＤを設定するシフト機構（撮影距離設定手段、検出距離設定手段）７と、第一の撮影距離ＦＣＤを設定してスキャンして得た既知の大きさの第一の基準体の第一の断面像上の大きさと、第二の撮影距離ＦＣＤを設定してスキャンして得た第一の基準体の断面像上の大きさとから、ＦＣＤ及びＦＤＤの誤差を求め較正する較正計算手段を有する。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線検出器の不良部位の存在にも拘らず、Ｘ線投影データの再構成演算により得られる断層像上に現れるリングアーチファクトを減少させることのできるＸ線断層像撮影装置を提供する。
【解決手段】対象物ＷのＸ線投影データを得るＸ線ＣＴ撮影中に、Ｘ線発生装置１とＸ線検出器２、および対象物Ｗを回転させる回転機構（回転テーブル３）の回転軸Ｒの相対位置を、Ｘ線発生装置１とＸ線検出器２を結ぶ線に交差する方向に連続的もしくは断続的に移動させ、各Ｘ線投影データを、それぞれの収集時の相対位置に応じて補正したうえで再構成演算に供する。これにより、各Ｘ線投影データ上で、対象物Ｗの透視像とＸ線検出器２の異常部位との相対位置がそれぞれに相違するデータが得られ、これを再構成演算に供することで、得られる断層像にＸ線検出器２の異常部位に起因するリングアーチファクトが出現することを抑制する。 （もっと読む）

【課題】回転テーブルの実際の回転中心、あるいはＸ線発生装置とＸ線検出器の対の実際の回転中心の、設定されている回転軸からのずれが断層像に与える影響をなくするか、少なくすることのできるＸ線断層像撮影装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検出器２により収集した各投影方向へのＸ線投影データを用いた再構成演算によって得られた断層像を、投影方向と同じ方向に順投影し、その順投影データと収集した投影データとのずれを求め、そのずれに基づいて収集した投影データを補正して新たに再構成演算を行うことにより、Ｘ線発生装置１とＸ線検出器２の対と対象物Ｗとの相対回転の不正確さに係わらず、その影響の少ない鮮明な断層像の修得を可能とする。 （もっと読む）

【課題】アセンブリ内での部品の非破壊試験を行うシステムを提供する。
【解決手段】システムは、ディスプレイ及びメモリを有するコンピュータを含み、コンピュータは、アセンブリの少なくとも一部分の画像から点群を抽出するステップ（１０２）と、抽出した点群をＣＡＤ座標系に登録するステップ（１０４）と、同じＣＡＤ座標系を用いる、アセンブリのＣＡＤモデルの表面から選択距離より離れている、画像の点群の中の点を特定するステップ（１０６）と、特定した点を用いて、アセンブリ内の異常の存在を検出するステップとを行うように構成されている。 （もっと読む）