【課題】ＦＢＧセンサによるシフト量の変化に際し、１つのファブリペローフィルタで対応し得るＡＥ計測方法及びその装置を提供する。
【解決手段】広帯域波長光を発する光源１と、
広帯域波長光が入射するＦＢＧセンサ２と、
ＦＢＧセンサ２からの反射光を透過させ且つ温度により透過率ピーク波長を調整し得るファブリペローフィルタ２０と、
ファブリペローフィルタ２０を透過した光を電圧信号に変換する光電変換器２１と、
光電変換器２１から光の強度変化のＡＣ成分を計測する計測器２２と、
光電変換器２１からのＤＣ出力電圧を計測する電圧計測器２４と、
ファブリペローフィルタ２０の温度を調整する温度調節器２５と、
電圧計測器２４からのＤＣ出力電圧を基準にして温度調節器２５を制御する制御器２６とを備える。 （もっと読む）

【課題】検出対象基板内で生じる放電を簡易に検出する検出回路および検出装置を提供する。
【解決手段】検出回路は、検出対象基板内で生じる放電を検出する。検出回路は、検出対象基板の面のうち電子素子が形成された主面に対し、平行または略平行に２次元状に配置された複数の検出素子を備える。検出素子のそれぞれは、放電により発生する超音波を検出する。 （もっと読む）

【課題】多結晶シリコン棒のひび割れを簡易的に検知することにより、ひび割れのない多結晶シリコン棒を選別して高品質な多結晶シリコン棒を提供すること。
【解決手段】ハンマー（１２０）で多結晶シリコン棒（１００）の打撃を行い、この打撃音をマイク（１３０）を介して録音器（１４０）に収録する。そして、この打撃音を解析して固有周波数ｆ₀を算出し、さらに、打撃音の音響信号を高速フーリエ変換して周波数分布を表示させる。さらに、高速フーリエ変換後の周波数分布の中で、最も大きな音量を示すピーク周波数ｆを検出し、固有周波数ｆ₀（Ｈｚ）とピーク周波数ｆ（Ｈｚ）を比較する。例えば、周波数比Ｒ（ｆ₀／ｆ）が０．９≦Ｒ≦１．１である場合に、多結晶シリコン棒内外部にひび割れが無いと判断する。 （もっと読む）

【課題】硬い多結晶シリコン棒を簡易的に選別することにより、割れ難い高品質な多結晶シリコン棒を提供すること。
【解決手段】多結晶シリコン棒（１００）の長さを巻尺で測定し、次に、ハンマー（１２０）で多結晶シリコン棒（１００）の打撃を行い、この打撃音をマイク（１３０）を介して録音器（１４０）に収録する。そして、打撃音の音響信号を高速フーリエ変換して周波数分布を表示させる。さらに、高速フーリエ変換後の周波数分布の中で、最も大きな音量を示すピーク周波数ｆを検出する。多結晶シリコン棒の長さ（Ｌ）とピーク周波数ｆの関係を求め、ピーク周波数ｆがｆ≧１４７１／Ｌの領域（Ａ領域）に属するか否かで、多結晶シリコン棒の硬さを判断する。 （もっと読む）

【課題】
回路規模を大きくすることなく、短時間に、かつ確実に媒質音速を求めることができるようにした超音波撮像装置を提供する。
【解決手段】
送受信ビームを形成し超音波を送受信する送受信部と、受信したエコー信号を信号処理して超音波画像を形成する画像構成部２と、前記超音波画像を表示する表示部３を備えた超音波撮像装置において、超音波ビーム走査角を指示するビーム角指示部５と、超音波ビーム走査角の異なる少なくとも２つの超音波画像に写る組織像の位置ずれベクトルを検出する組織像ずれベクトル検出部４０１と、前記検出した位置ずれベクトルと前記超音波ビーム走査角とから媒質音速を算出する媒質音速演算部４０２とを設け、前記表示部３は、前記算出された媒質音速を表示するように構成する。 （もっと読む）

【課題】時間差式の超音波流量計の原理を利用して、温度センサを用いることなく、流体の濃度を精度良く測定可能な超音波式濃度計を得る。
【解決手段】所定の温度、濃度の水溶液に対する受信波形Ｗの自由振動部分Ｗｂのゼロクロス点から振動の平均周期を求めると、平均周期は温度のみに依存する。流体である水溶液に対し上流と下流から超音波ビームを発し、水溶液中を伝播する伝播時間から水溶液の音速を求める。音速は濃度と比例関係にあり、音速は水溶液の温度によって変化するので、得られた音速と温度によって、温度補正がされた濃度を算出できる。 （もっと読む）

【課題】 簡素な構造でありながら配管等の湾曲面上で台車を安定走行させて検査することの可能な検査装置及びこれを用いた検査方法を提供すること。
【解決手段】 探触子を備えた台車と、この台車を被検査体上で走行させるレール４とを備え、台車を走行させて被検査体を検査する。被検査体は少なくとも一部が湾曲した湾曲面１００ａを有する。台車は、モータ及びこのモータにより駆動する一対の動輪２２，２２を有する台車本体と、探触子を支持する探触子支持部とを備える。レール４は、一対の短レール４１，４１を中間の接続部４３で接続してなるレールブロック４０を複数備えると共にこれらレールブロック４０を屈曲可能に連結してなる。台車の走行時において、一対の動輪２２，２２の少なくとも一方は一対の短レール４１，４１の貫通溝を介して湾曲面１００ａに接する。 （もっと読む）

【課題】低コスト且つ簡易な方法で、水中にある構造物の亀裂や劣化等を検査することができる水中検査システムを提供する。また、既存の多くの水道管等の埋設管に対して、適用可能な水中管検査システムを提供する。
【解決手段】水中ロボット１と、前記水中ロボット１と複合ケーブル７を介して接続した制御装置５を有する水中の構造体を検査する検査システムであって、前記水中ロボット１が、検査対象物である前記構造体を打撃する打撃装置３と、前記打撃装置３の振動を受信する受信装置４を有しており、前記受信装置４で受信した少なくとも２回の前記打撃振動を、制御装置５で相互比較する。 （もっと読む）

【課題】 光音響トモグラフィーによる通常の被検体側定時の検出信号から簡便に被検体内部の平均音速を算出し、その実測した平均音速を用いて高解像度の画像データを得ることができる光音響画像形成診断を提供すること。
【解決手段】 本発明の光音響画像形成装置は、被検体にパルス光を照射するための光源１１と、パルス光により被検体表面及び被検体内部で発生する音響波を検出する検出器１７と、検出器で取得される検出信号から、被検体内部の画像データを取得する信号処理部２０と、を有する。信号処理部が、被検体表面で発生し被検体内部を通過した第１の音響波により検出器から取得される検出信号から、被検体内部の平均音速を算出し、被検体内部で発生する音響波により検出器から取得される検出信号と上記で実測した平均音速とを用いて、被検体内部の画像データを取得する。 （もっと読む）

【課題】容易かつ正確に溶接箇所における境界部周囲に形成される熱影響部の欠陥を検出可能な超音波探傷試験方法を提供する。
【解決手段】複数の振動子１１３で構成された探触子１１０を被検体２００の探傷面２０１に配置し、探触子１１０から送信させて探傷面２０１から被検体２００内部へと入射させる超音波の屈折角θ_１を、溶接箇所２０３の境界部２０４、２０５のベベル角φ_１、φ_２の大きさに応じて、当該探触子１１０の複数の振動子１１３の少なくとも一部で受信するように調整する。 （もっと読む）

【課題】 作業が容易であり、かつ、より高精度な診断が可能な、路盤下の空洞診断方法等を提供する。
【解決手段】 起振器９が駆動され、振動が発振される。次に、加速度計７により、被検査体である路盤１の振動データ（受振振動情報）を検出する。処理装置１５によって処理された測定データは、解析装置１３に送信される。次に、解析装置１５によって処理された測定データおよび起振器９により発振された発振データが、解析装置１３の振動情報取得手段により取得される。さらに、得られた振動情報から、クロススペクトル算定手段によりクロススペクトルが算定される。得られたクロススペクトルより、位相特性算出手段により位相特性が算出され、固有振動特定手段により固有振動数が特定される。 （もっと読む）

【課題】鉄道トンネル覆工のひび割れや変形などの変状の進行をリアルタイムに監視することにより、覆工コンクリートの剥落潜在リスクを回避することができるトンネル覆工の変状監視方法を提供する。
【解決手段】鉄道トンネル覆工３に生じた変状４を監視するための方法であって、列車ｔがトンネル内を通過する際に発生する振動により、鉄道トンネル覆工３に伝播する上記振動の加速度の周波数特性を繰り返し計測して蓄積し、この蓄積されたデータから逸脱した上記加速度の周波数特性を検知することにより、上記鉄道トンネル覆工３に生じた変状の進行を監視することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】構造的に簡単な、無接触の管肉厚測定装置を提供する。
【解決手段】少なくとも２つのレーザー超音波測定ヘッド１を、旋回軸を中心に旋回可能な共通の旋回フレーム２に配置し、アブレーティブに励起される超音波によって管の肉厚を測定する。 （もっと読む）

【課題】 光音響装置において音響波を検出する複数の受信素子の受信特性のばらつきを、光音響装置特有の簡便な構成で把握することができる光音響装置を提供すること。
【解決手段】 本発明の光音響装置は、被検体に光を照射するための光源１００と、光により被検体内で発生する音響波を検出する複数の受信素子からなる検出器１０４と、該検出器から取得される検出信号から、被検体内部の情報を取得する信号処理部１０８と、光源から照射された光を特異的に吸収する光吸収体１０２と、光吸収体から発生する音響波を複数の前記受信素子が受信したときの検出信号に基づき、複数の前記受信素子の受信特性情報を算出する受信特性算出部１０７と、を有する。 （もっと読む）

【課題】システム１の簡略化を図りつつも、高精度の探傷結果が得られる探傷システムを実現する。
【解決手段】探傷システム１は、多関節ロボット４と、走行軸５１上でロボット４を移動させる走行装置５と、ロボット４の手首に取り付けられたプローブ３１と、ロボット４の位置に関する情報を所定周期で出力する走行装置位置情報取得器５２と、プローブ３１の位置に関する情報を所定周期で出力するロボット位置情報取得器４１と、プローブ３１の位置情報を算出して出力する制御器４２と、プローブの位置情報と探傷情報とを対応付ける探傷器４３と、を備える。取得したプローブの位置情報と実際の位置との許容ずれ量をＤとしたときに、条件式（１）を満たすように、許容ずれ量Ｄ、上限周期Ｔｍａｘ、プローブの移動速度Ｖ、及び、ワークの形状の走行軸に対する変化率ｒ、をそれぞれ設定する。
【数１】
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【課題】作業者が直接検査対象部位について検査する必要がなく、又構造物の現状を変えることなく、現状を維持したままで、疲労亀裂の検出が可能であると共に疲労亀裂の程度の推定が可能な疲労損傷評価方法及びその装置を提供する。
【解決手段】検査対象部位２に取付けられたＡＥセンサ３と、該ＡＥセンサからＡＥ信号が入力される疲労亀裂進展判断部１２とを具備し、該疲労亀裂進展判断部は前記ＡＥ信号に基づき該ＡＥ信号の内亀裂進行に対応する特定周波数帯での特定周波数帯ＡＥカウント数を演算し、該特定周波数帯ＡＥカウント数に基づき疲労亀裂の発生、亀裂進展状態を判断する。 （もっと読む）

【課題】超音波探触子への電源供給や信号の送受のためのケーブルと、超音波探傷検査装置の管内移送のためのコイルバネ等を用いたケーブルを用いることなく、水流圧だけでスムーズに管内を移動できるようにした管内挿入式超音波探傷検査装置を提供する。
【解決手段】管内挿入式超音波探傷検査装置１０は、管４０の内壁に超音波を照射するとともに、超音波の反射波を受信する超音波探触子１１と、超音波探触子１１にパルス電圧を印加して超音波を発生させるとともに、超音波探触子１１で受信される超音波の反射波のパルス信号を受信するパルス発生受信部１２と、管４０の径方向に対して中央に位置するように超音波探触子を保持する調芯治具１４と、超音波探触子１１の水流方向上流側に設けられ、水ポンプにより加圧された水を駆動源として回転するウォータータービン１１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】ケーブルレスで水流圧のみでスムーズに管内を移動可能な挿入式超音波探傷検査装置及び超音波探傷検査システムを提供する。
【解決手段】水流圧によって管３８内を移動しながら管内の異常の有無を検出する管内挿入式超音波探傷検査装置１０において、管壁３８に向けて超音波を発振し、反射した受信エコー信号を受信する超音波探触子１１と、超音波探触子１１にパルス信号を送出し、受信エコー信号を受信するパルス発生・受信部１２と、受信エコー信号を蓄積する記憶部１４と、パルス発生・受信部１２におけるパルス信号の送出タイミングの制御及び記憶部１４への受信エコー信号の書き込みの制御を行う制御部１５と、各機器に電源を供給する電源供給部１９とを含む超音波探傷手段と、複数に分割された超音波探傷手段を互いに接続するフレキシブル構造体２５と、超音波探触子を管の略中央に保持する調芯治具２６とを備える。 （もっと読む）

【課題】超音波検査システムにおいて、物体に存在する損傷等からの検出信号のＳＮ比を向上させることを可能とすることである。
【解決手段】超音波検査システム１０は、レーザ光を物体に照射して超音波振動を物体に励起させるためのレーザ駆動装置１２、物体５０の表面にレーザ光を走査させるためのガルバノスキャナ１４、物体５０に配置される複数の受信手段である超音波探触子１６，１８、制御装置３０等を含んで構成される。制御装置３０は、レーザ光の走査のタイミングに対応して各受信手段が受信した検出信号に基づき、物体における超音波振動分布を各受信手段ごとに２次元面に画像化する個別画像化処理部３２と、複数の個別画像化データについて、同一位置における複数の画像データを和演算または積演算してその位置の強調処理データとする強調処理を行う強調画像化処理部３４を含む。 （もっと読む）

支持層１１と、支持層上に配置された絶縁層１５ａと、絶縁層上に配置された複数の導電配線１５ｂと、を備える超音波変換器が開示される。導電配線の各々は、上面を有する。各々が（ａ）圧電材料の核と、（ｂ）核の下に配置された導電被膜とを有する複数の変換素子２０は、複数の導電配線のそれぞれ１つの上面に直接接着される。超音波変換器の製造方法もまた開示される。
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