【課題】基板上の半導体デバイスを均一に汚染した試料を作成できる試料汚染方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の実施形態に係る試料汚染方法は、汚染物を含有する薬液を筺体内へ噴霧する工程と、噴霧により薬液が充満した筺体内へ半導体基板を搬入する工程と、薬液が充満した筺体内へ半導体基板を所定時間放置する工程と、所定時間経過後に、半導体基板を筺体内から搬出する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】減厚による歪緩和の影響を補正して、バルクの結晶中の歪を測定する。
【手段】結晶基材を含む被測定試料に集束イオンビームを照射して減厚し、被測定試料薄片とする減厚工程と、減厚工程途中の複数時点で、被測定試料薄片に集束電子線を照射して高角度散乱電子の電子線強度Ｉ１〜Ｉ３を測定する工程と、前記複数時点で、結晶基材の格子定数を電子線回折法により測定し、被測定試料薄片の歪Ｅ１〜Ｅ３を算出する工程と、散乱電子の電子線強度Ｉ１〜Ｉ３及び歪Ｅ１〜Ｅ３に基づき、散乱電子の電子線強度Ｉを変数とする歪の近似式Ｅ＝Ｅ（Ｉ）を作成する工程と、減厚に伴い歪緩和が始まる臨界厚さに等しい厚さの結晶基材に、集束電子線を照射したとき測定される高角度散乱電子の臨界電子線強度Ｉｏを予測する工程と、臨界電子線強度Ｉｏを近似式Ｅ＝Ｅ（Ｉ）に代入して、被測定試料の歪Ｅｏを算出する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】シリコンウェハの金属不純物の元素情報及び空間情報を高感度且つ高精度で取得することができ、加えて低コスト且つ簡便に実現することができるシリコンウェハの金属不純物分析方法を提供する。
【解決手段】気相エッチング用のＯ_３／ＨＦ混合ガスをシリコンウェハ表面に噴射し、シリコンウェハ表面を気相エッチングする。これにより、第１表層のシリコンが分解され、該第１表層に含まれる金属不純物がその位置をほぼ維持したまま第１表層分解後のシリコンウェハ表層に蓄積する。また、第１表層分解後のシリコンウェハ表面は、Ｏ_３／ＨＦ混合ガスによる気相エッチングにより鏡面化される。その後、気相エッチングにて鏡面化されたシリコンウェハ表面をＴＸＲＦ法にてスキャンし、シリコンウェハの第１表層に含まれる金属不純物の面内分布情報を取得する。 （もっと読む）

【課題】棚の向きを変えるための経費が可能な限り小さくなるように、単純かつ短時間で棚の配向を変える能力を提供すること。
【解決手段】組織学的な検査のための組織サンプルを調製するシステムにおいて使用される標本スライドガラスの棚を回動させるための棚回動装置であって、棚回動装置は、少なくとも１つの棚のための棚受容部を有し、当該棚は、第１の状態では、棚の中の標本スライドガラスが、前記棚の長軸に対して直交し、かつ、互いに隣り合うように載置されるように、棚受容部に水平に配向され、棚受容部は、棚が垂直方向に配向する第２の状態へ回転軸を中心として旋回可能である。ここで、回転軸を中心に１８０度回転させる手段によって棚が第１の状態と、第２の状態の間で可逆的に旋回することが可能なように、棚の回転軸が棚の水平な長軸に対して斜めに延在する。 （もっと読む）

【課題】本願の目的は，イオンビームによる断面形成時間を短縮する加工方法，およびウェーハから微小試料を分離する加工時間を短縮する加工方法，およびイオンビーム加工装置を提供することにある。
【解決手段】本発明によるイオンビーム加工装置は，真空容器４１を有しており，真空容器内には，デュオプラズマトロン５１，非軸対称イオンビームレンズ５２，ステンシルマスク５７，などから構成されており，断面に垂直方向に急峻なビームプロファイルを持つアルゴンイオンビームにより試料１１から微小試料１３９を摘出する。
【効果】本願によると，デバイス製造ウェーハ検査・不良解析のための断面観察結果が短時間で得られる。さらに試料を取り出したおよびウェーハをプロセスに戻しても不良を発生させない新たな検査・解析方法，および高歩留まりの電子部品製造方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡を用いた鉄鋼材料の微細構造の観察に適した電子顕微鏡観察用試料の作製方法を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡による鉄鋼材料の観察に用いる電子顕微鏡観察用試料の作製方法であって、鉄鋼材料を電解研磨して得た電解研磨試料に、濃度０．１質量％以上０．５質量％以下の水酸化ナトリウム水溶液、或いは、濃度０．１質量％以上０．５質量％以下のアスコルビン酸またはアスコルビン酸塩の水溶液を用いて表面処理を施す表面処理工程と、表面処理工程を経た電解研磨試料を乾燥させる乾燥工程とを含むことを特徴とする、電子顕微鏡観察用試料の作製方法である。 （もっと読む）

【課題】断面試料作製時に、ボイド、異種物質由来の凹凸の発生を抑え、観察／分析に好適な試料断面を作製する。
【解決手段】イオンビーム２の光軸（Ｚ軸）に対し試料３をチルト振動させて、試料３の加工面３ａが傾斜軸方向（Ｙ軸方向）に向いた面状態と、その面状態から加工面３ａの試料台側部分が加工面３ａのマスク側部分よりも傾斜軸方向（Ｙ軸方向）に突出したチルト面状態との間での、試料３の加工面３ａの傾斜及び傾斜回復を繰り返すことにより、加工面３ａにイオンビーム２が低角度照射し、ボイド６１、異種物質６２由来の凹凸６３を抑える。 （もっと読む）

【課題】低侵襲であると共に、角層細胞表面の物理的／化学的特性に影響を与えずに、角層細胞の物性を簡便、正確かつ客観的に測定する、角層細胞の物性測定方法を提供する。
【解決手段】片面に粘着層を有する、透孔を設けた支持体をヒトの皮膚に貼着し、前記支持体を皮膚から剥離して支持体に角層細胞を接合採取し、透孔内の角層細胞に対して支持体の非接合側から走査型プローブ顕微鏡観察を行い、角層細胞の物性を測定する、角層細胞の物性測定方法。 （もっと読む）

【課題】試料識別標記や特異元素で構成されたマスクや試料ホルダを要せず、試料を試料ホルダに搬送する前に試料ホルダを短時間で自動識別する分析装置を提供する。
【解決手段】本発明の分析装置は、カセット２１の種類を識別するカセット部２０と、試料Ｓが挿入される挿入口８３、および、試料が載置される輪状の台座８２を有する試料ホルダ８と、カセット２１から試料ホルダ８へ試料Ｓを搬送する搬送手段２３と、試料ホルダの挿入口の径方向端８４または輪状の台座の内径方向端８５を検出して、載置されるべき試料の直径に対応した試料ホルダの種類を識別する試料ホルダ識別信号を発信する試料ホルダ識別手段３５と、カセット識別信号および試料ホルダ識別信号に基づいて、カセット２１に収納されるべき試料の直径と試料ホルダ８の台座に載置されるべき試料の直径とが合致しているか、否かを判定する判定手段４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】空気中を浮遊して沈降する粒子径の大きい粒子の計測を正確に連続して、かつ定時的に、計測の精度にバラツキがなく計測することができる粒子計測装置と粒子計測方法を提供する。
【解決手段】空気中を浮遊して沈降する粒子を捕集面に捕集する捕集工程と、捕集面に捕集された前記粒子を撮像する撮像工程と、粒子の計測を行う計測工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 短時間で電子顕微鏡観察用の試料を作製する。
【解決手段】 ポリイミド樹脂からなる第１の基材１上に、被検試料３と流動状態の硬化性樹脂４とを載せ、ポリイミド樹脂からなる第２の基材２を第１の基材１に重ね合わせて硬化性樹脂４を硬化させて、第１の基材１と、硬化性樹脂４の内部に被検試料３を位置させた硬化性樹脂層５と、第２の基材２とが順に積層された積層体６を作製する。積層体６を積層方向に切断し、切断した面にアルゴンイオンエッチングを施す。 （もっと読む）

【課題】短時間で容易に、半導体デバイス基板の微小な欠陥部を特定でき、透過形電子顕微鏡観察に適した薄片試料とすることが可能な半導体デバイス基板の欠陥部観察用試料の作製方法を提供すること。
【解決手段】光学顕微鏡によって、観察対象である、シリコン半導体基板上に形成された半導体デバイス内の微小欠陥部の上部表面に電子ビーム、レーザーなどでマーキングして位置を特定する第１工程、該特定場所を支持台に固定する第２工程、基板の両面からのＦＩＢ加工によって表面を削って電子が透過する程度に薄くして平面観察用試料を作成する第３工程、ＳＴＥＭで観察することにより微小欠陥部を特定する第４工程、微小欠陥を特定した後にＳＥＭ観察して、欠陥部上に新たにマーキングする第５工程、ＦＩＢで切断して断面観察用試料とする第６工程を実施する。 （もっと読む）

【課題】質量分析装置を用いて同定検査を行うコロニーと薬剤感受性検査用のコロニーとを同一のコロニーとする場合に、質量分析装置による分析に用いる試料に培地成分が混入することを防止する。また、複数のコロニーを渡り歩いて釣菌する場合、異種コロニーのコンタミネーションの影響がないようにする。
【解決手段】細菌のコロニーに接触して質量分析用コロニー片を付着させて採取する質量分析用釣菌部２０１と、質量分析用釣菌部２０１に液出口を有する液流路２０３とを含み、質量分析用コロニー片を液出口から流出する脱離用液によって脱離可能とし、質量分析用釣菌部２０１にコロニーの高さを検知するためのセンサを設けた釣菌ツールを用いる。また、質量分析用釣菌部２０１による質量分析用コロニー片の採取を行った後で薬剤感受性検査用釣菌部２０２による薬剤感受性検査用コロニー片の採取を行う。 （もっと読む）

【課題】パルス数とステージの傾き量とを精度良く対応付けながらステージを傾斜させることが可能で、且つ固有の誤差に影響されずにステージの実際の傾斜角度を外部に出力すること。
【解決手段】ステージ３０と、２軸回りに回転可能にステージを支持する軸受部３１と、上下動可能な可動ロッド３２、３３と、可動ロッドを上下動させてステージを２軸回りに回転傾斜させるロッド可動手段３５、３６と、を備え、ロッド可動手段が、パルスモータ４８、６２の回転軸に連結されたカム体４９、６３と、可動ロッドを支持すると共にカム体の回転に伴って周期的に上下動させられる従動体４６、６０と、パルスモータを制御する制御部５１と、を備え、制御部が、ステージが２軸回りに回転傾斜させられた際、その傾斜角度に対応したパルス数を補正変換式で補正しながら再度傾斜角度に変換した後、該傾斜角度を出力指令値として出力するチルトステージ１０、２０を提供する。 （もっと読む）

【課題】わずかな隙間にも設置可能で取り扱いが容易、かつ測定箇所の増加にも安価に対応出来る塵埃の捕集用キットと、それを用いた評価方法を提供する。
【解決手段】塵埃のモニター用キットは、基材１と、多層低粘着シート３と、保護シート４とを備えている。基材１は上面１０２を有している。多層粘着シート３は、微小塵埃を保持するに十分な粘着力を備えつつ再剥離も容易な極めて弱い粘着性を有する粘着面３０２を有し、粘着面３０２の反対側に位置する面３０４が基材１の上面１０２に重ね合わせた状態で固定される。多層粘着シート３は、積層された複数の粘着シート１０によって構成される。保護シート４は、粘着面３０２の全域を覆い粘着面３０２に対して剥離可能である。保護シート４から保護シート４側に位置する１枚または複数枚の粘着シート１０にわたり、平面視枠状を呈する切り込み３ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】 イオンビームを試料に照射してミリングを行う際、試料におけるイオンビームの照射面を直接冷却することができるイオンミリング装置とイオンミリング方法とを提供する。
【解決手段】試料Sが設置される試料台1と、試料Sに照射するイオンビームを発生させるイオン源2と、試料台1の収納空間を所定の真空に保持する試料チャンバ3と、試料Sを冷却するための気体冷媒を試料チャンバ3内に供給する冷媒供給手段5とを備えるイオンミリング装置である。気体冷媒を試料チャンバ内に供給することで、試料Sにおけるイオンビームの照射面を直接気体冷媒で冷却することができる。 （もっと読む）

【課題】生体組織の検査や分析に用いられる新たな組織アレイブロック作製方法および組織アレイシートを提供する。
【解決手段】組織アレイブロック作製方法は、組織ブロックよりスライス（薄切り）した組織片ｔ１から中空針を用いて必要とする一部分をくり抜き採取する採取工程Ｐ２と、中空針内で採取された組織を積層する積層工程Ｐ３と、該積層物を融合させる融合工程Ｐ４と、融合物を基本ブロックに配列する空孔に軸方向で挿入する挿入工程を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＴＥＭによる観察を正確に行うことが可能な電子顕微鏡観察用試料の作製方法を提供する。
【解決手段】支持部材１０の面上に試料片２０を固定した電子顕微鏡観察用試料の作製方法であって、支持部材１０の面上を深さ方向に切り欠く溝部３０を形成する工程と、試料片２０の加工面Ｓが溝部３０と交差するように当該試料片２０を支持部材１０の面上に固定する工程と、溝部３０の深さ方向に沿って試料片２０の加工面Ｓを薄膜状に加工する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】冷媒用配管及び電気配線が邪魔にならないようにして確実に清掃及びその他の作業を行えるようにしたミクロトームを提供する。
【解決手段】試料を保持するヘッド３２と、ヘッド３２を配向させる配向機構５０と、配向機構５０の背面側に設けられた本体部４２と、本体部４２とヘッド３２とを連結する筒状の連結部４１と、ヘッド３２内の温度調整装置３４と、温度調整装置３４の冷媒用配管４０及び電気配線４６とを具備し、配向機構５０は、ヘッド背面側と連結して外周部が球面状の球状部材６８と、球状部材６８の外周部を球面に沿って摺動可能に保持する保持部７０，７１とを有し、球状部材６８には、連結部４１の中空部４３と連通する貫通穴７４が形成され、冷媒用配管４０及び電気配線４６は、球状部材６８の貫通穴７４と連結部４１の中空部４３を通ってヘッド３２内部の温度調整装置３４に接続されている。 （もっと読む）

【課題】透水試験、透気試験、補修材の評価試験などに好適に用いることのできる、バラツキがなくほぼ均一な貫通ひび割れ幅を有するコンクリート試験体及びその作製方法を提供する。
【解決手段】コンクリート円柱の側面が可撓性パイプで覆われてなるコンクリート試験体であって、前記コンクリート円柱が、その回転軸と略平行な面で２分割される貫通ひび割れを有することを特徴とするコンクリート試験体である。 （もっと読む）