【課題】本発明は、ＡＥＳによる断面加工試料の測定において、断面のエッチングによるクリーニング操作から断面の観察、測定操作までにかかる複雑なステージ操作工程や、さらにＣＭＡを搭載したＡＥＳにおける複数試料観察の際の角度微調節といった工程の削減を可能とする試料台の提供を目的とする。
【解決手段】試料台（１）に傾斜角度５０°〜６０°の傾斜面２面からなる傾斜部分（２）を設けることにより、エッチング後、試料ステージの反転操作を行なわずに観察、測定操作を可能とし、また、傾斜部分（２）に並列に試料（５）を固定できる構造により、観察断面の方向をそろえることを可能とすることで位置調整に要する操作を削減することが出来る。 （もっと読む）

【課題】 微小試料を把持するための機構では角度ズレ、先端形状に起因する試料の姿勢変化がある。
【解決手段】 把持体１８をＦＩＢなどの荷電粒子ビームで加工を施すことにより、ビームに対して平行な把持面を形成することができ、また把持面に付着したダストも除去する。荷電粒子ビーム照射される装置内でＴＥＭ試料に代表される微小試料を荷電粒子ビームによるエッチングで切り出すことで作製して運搬するとき、試料は荷電粒子ビーム照射方向にエッチングされるので把持体１８の把持面１９を試料の断面加工と同じ方向で加工することができるので、試料と把持面１９とを平行な面に作製することができ、試料を把持したときの試料の姿勢変化を少なくすることができる。 （もっと読む）

【課題】細管状の分析用試料カラムから活性炭などの充填物を円滑に且つより確実に取り出すことが出来、充填物を分析装置へ供給する場合などに好適な試料カラムからの充填物取出し装置を提供する。
【解決手段】充填物取出し装置は、所定位置にある試料カラム（９）に対して同心状に且つ接近離間可能に配置された取出し装置本体（４）と、当該取出し装置本体の先端に進退自在に取り付けられ且つ試料カラム（９）側に向けて付勢されたカラム位置決めハブ（５）と、取出し装置本体（４）及びカラム位置決めハブ（５）の略中心線に沿ってこれらに挿通され且つカラム位置決めハブ（５）の後退により相対的に突出する押出ピン（６）とを備えている。そして、押出ピン（６）が突出した際に当該押出ピンを振動させる振動発生手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバ内で、イオンビームに対して試料の加工面が非直交の状態で、前記試料の加工面に対して直交する軸を中心に回転されながら、前記加工面にイオンビームが照射される試料作成装置に関し、操作性の良い試料作成装置を提供することを課題とする。
【解決手段】真空チャンバ１に取り付けられ、試料ホルダ７が設けられた筐体９に、試料ホルダ７の試料６が設けられた面７ａと直交するＸ軸（第１の軸）を中心に試料ホルダ７を回転させる回転機構と、Ｘ軸と直交するＺ軸（第２の軸）を中心に試料ホルダ７を傾斜させる傾斜機構とを設け、筐体９の真空チャンバ１の外側に位置する部分に、傾斜機構の操作部を設ける。 （もっと読む）

【課題】ＴＥＭ観察に好適な試料を容易に作製可能な試料作製装置及び試料作製方法を得る。
【解決手段】イオンビームを形成する照射光学系と、試料の観察部位をイオンビームにより切り出してなる微小薄片試料と、この微小薄片試料が載置及び接着される試料ホルダと、微小薄片試料に接着されるプローブを有し、このプローブを介して該微小薄片試料を試料ホルダまで移送する移送手段とを備えた試料作製装置において、移送手段とは別に、三次元方向に駆動可能な、試料ホルダに載置または接着された微小薄片試料の姿勢を調整する姿勢調整ニードルを設けた。 （もっと読む）

【課題】半導体基板を用いた被評価液の品質評価において、一度容器に接触した被評価液が再び半導体基板に接触しない構造を持ち、基板保持容器からの汚染を受けずに被評価液中の不純物を高精度で測定する半導体基板保持容器を得ることを目的とする。
【解決手段】本発明に係る半導体基板保持容器１は、密閉した内部空間である基板保持室３と基板保持室３に半導体基板４を出し入れする基板出入り口とを有する保持容器本体２と、基板保持室３に保持容器本体３の内壁面とは間隔を有して半導体基板４を中空状態で保持する保持体５と、基板保持室３に保持された半導体基板４上に被評価液６を滴下する給水口７と、半導体基板４上から落下した被評価液６を排水する排水口８とを備える。 （もっと読む）

【課題】延伸過程のゴム切片、さらには延伸過程から収縮過程のゴム切片の顕微鏡観察を可能にするメッシュおよび該メッシュを用いたゴム切片の観察方法を提供する。
【解決手段】延伸過程のゴム切片および収縮過程のゴム切片を顕微鏡により観察可能に支持するメッシュであって、中央部上面を前記ゴム切片１０を固定する載置領域とすると共に、該載置領域を挟む左右両側が前記延伸方向に移動される試料ホルダ分離部への固定部とされ、該左右固定部の間で且つ前記ゴム切片の載置位置に向けて前記延伸方向と直交方向あるいは傾斜方向の分断用スリット１２ａ，１２ｂが入れられ、前記試料ホルダ分離部による延伸方向への移動時に前記分断用スリットで左右に分断され、分断された左右両側部に固定される前記ゴム切片を延伸させる構成としている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、チューブを保持する保持板に設けたボールプランジャのボールをチューブの周面に当接させて、各チューブの確実な保持を行うことを目的とする。
【解決手段】本発明によるチューブマウント構造は、各保持孔(4,5)に対応して保持板(2,3)に形成されたねじ穴(20,21)と、前記各ねじ穴(20,21)に螺入されたボールプランジャ(24)と、前記各ボールプランジャ(24)のボール(22)がスプリングにより各チューブ(13,14)の周面に当接する構成である。 （もっと読む）

【課題】顕微鏡観察をする際に試料を固定するための治具に関する。特に断面切削装置にて断面出しをおこなった試料の断面構造を高精度に観察することが可能な観察用治具に関する。
【解決手段】
断面切削装置にて断面出しをおこなった断面切削装置用試料ホルダーに固定された試料を断面切削装置用試料ホルダーから取り外すことなく、顕微鏡で前記試料断面を観察するための顕微鏡観察用治具であって、該顕微鏡観察用固定治具が平板状であり、且つ、前記断面切削用試料ホルダーの断面切削装置への固定部の少なくとも一部を挿入することができ、該断面切削用試料ホルダーを挿入した状態で前記断面切削用試料ホルダーに固定された試料の断面切削面を前記顕微鏡観察用固定治具に対して水平に保ちながら回転可能とするための穴を有していることを特徴とする顕微鏡観察用固定治具である。 （もっと読む）

【課題】レーザ捕獲顕微解剖を行うためのフィルムを提供すること。
【解決手段】組織サンプルは、顕微鏡において可視化される。選択的に活性化された凸状表面が、好ましくはロッドの遠位端に、提供される。この選択的に活性化された凸状表面は、活性化された場合（典型的には、顕微鏡における光学光路を通るレーザを用いて）、接着特性を有する活性化された領域を提供する。摘出されるべき組織サンプルの少なくとも一部が、同定される。この同定された部分は、ロッドの端の選択的に活性化された凸状表面の一部と接触される。凸状表面が活性化された場合、選択的に活性化された凸状表面上の接着性輸送表面が提供され、これは、所望のサンプルのフットプリントにおける所望の細胞に接着する。その後、接着性輸送表面は、所望の細胞との接着を維持しつつ、組織サンプルの残りから切り離される。 （もっと読む）

【課題】細胞のマイクロウェルへの分注率、及び細胞の利用率が高く、浮遊細胞の除去作業が容易なチップホルダを提供すること
【解決手段】一方の主表面にチップを保持するためのチップ保持部と、このチップ保持部の周囲に設けられた周囲壁とを有する基板、及び開口を有する板状物であって、前記開口の周縁から一方の主表面方向に突出する可撓性のスカート部を有する液漏れ防止枠を含むチップホルダ。前記スカート部は、その開口面が前記チップ保持部に保持されるチップの主表面より小さい。前記液漏れ防止枠は、前記基板の周囲壁に脱着自在に装着でき、かつ周囲壁への装着時には、前記スカート部を前記チップ保持部に保持されたチップの主表面に圧接した状態とすることができる。 （もっと読む）

本発明は、生体サンプルをサーマルサイクリングするための装置に関するものであって、ヒートシンクは、そのような装置及び方法において、使用されている。ヒートシンクは、概ね平面状の熱電素子に対して、良好な熱接触で適合するように設計された基板と、基板から突出した複数の熱伝達素子と、を備えている。本発明によるヒートシンクの熱伝達素子は、ヒートシンクの基板の温度を、空間的に均一に維持するために、互いに対して非平行な形態で、配列されている。
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【課題】種々の形状の試料に対応した試料ホルダにより、試料より発生する蛍光Ｘ線の強度が最大になるようにＸ線源からの一次Ｘ線の照射位置を自動調整し、常に短時間で高感度、高精度の分析が行える斜入射蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】環状の側部１１および底部１３を有する本体１８と、試料載置台１４と、試料載置台１４を支持し、その高さを調整する少なくとも３個の高さ調整具１５を有する試料ホルダ１と、試料ホルダの当接面１０４をセラミックスボール４７に押圧する押圧手段４０と、検出器３７が測定する試料Ｓより発生する蛍光Ｘ線３６の強度に基づき、Ｘ線管位置調整手段５５、分光素子位置調整手段５７および分光素子角度調整手段５８を制御する制御手段５６とを備え、試料Ｓより発生する蛍光Ｘ線３６の強度が最大になるようにＸ線源３からの一次Ｘ線３４の試料Ｓへの照射位置を自動調整する斜入射蛍光Ｘ線分析装置。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、液体試料の分析を、より簡便に行うことのできる液体試料測定方法を提供することにある。
【解決手段】細管１０の先端を液体試料１２中に付けて該細管１０内に該液体試料１２を導入する試料導入工程（Ｓ１０）と、前記試料導入工程（Ｓ１０）で液体試料１２の導入された細管１０を水平状態にして、測定装置の中での所定光路１４上に位置するところにセットするセット工程（Ｓ１２）と、前記セット工程（Ｓ１２）でセットされた細管１０内の液体試料１２に測定光１６を照射し、その透過光１６ａ又は拡散反射光１６ｂの検出を前記測定装置により行う検出工程（Ｓ１４）と、を備え、前記検出工程（Ｓ１４）で得られた透過光１６ａ又は拡散反射光１６ｂのスペクトル情報に基づき該液体試料１２の分析を行うことを特徴とする液体試料測定方法。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、試料のマスク面側と搭載面とが非平行の場合に、平行に加工する必要が無く試料作製を容易に行うことができるイオンミリング装置及びその方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、平面を有する試料を真空チャンバ内で試料ホルダユニットに固定してイオンビーム照射しミリング加工するイオンミリング装置において、前記試料ホルダユニットは、前記試料を前記イオンビームから遮蔽するマスクに接する前記平面に対してその裏面側の傾斜に沿って固定できる固定構造を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】試料の高さ方向の位置を容易に調節することが可能なホルダ装置、及びこのホルダ装置を用いた加工観察方法を提供する
【解決手段】ホルダ装置２５は、試料台１０及び試料台ホルダ３０で構成され、試料台ホルダ３０は、本体３１及びバネ３２を備えている。本体３１には、保持部３３が形成され、この保持部３３には、試料台１０を高さ方向に付勢するバネ３２が設けられている。試料台１０は、試料２０が固定される固定面１０ａと、挿入穴１１と、挿入穴１２とを備えている。バネ３２が挿入穴１１，１２のいずれかに挿入されるように、試料台１０を保持部３３に保持させて、ストッパ４１によって試料２０を位置決めした後、試料台１０が固定される。また、アダプタの突起部を挿入穴１１に挿入して固定することにより、試料台１０を研磨機専用の試料ホルダに装着することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体製造プロセスへの金属汚染の拡散を最小限度に抑制し歩留まりを向上させることができる荷電粒子線加工装置を提供する。
【解決手段】真空容器１０に接続され非金属イオン種のイオンビーム１１を試料３５に照射するイオンビームカラム１と、イオンビーム１１により試料３５から切り出されたマイクロサンプル４３を摘出するプローブ１６を有するマイクロサンプリングユニット３と、マイクロサンプル４３とプローブ１６とを接着するガスを流出させるガス銃２と、イオンビームカラム１が接続されたと同一の真空容器１１に接続され汚染計測用ビーム１３をイオンビームカラム１によるイオンビーム照射跡に照射する汚染計測用ビームカラム６Ａと、汚染計測用ビーム１３を照射した際にイオンビームカラム１によるイオンビーム照射跡から放出される特性Ｘ線を検出する検出器７とを備えたことを特徴とする荷電粒子線加工装置。 （もっと読む）

【課題】帯電粒子ビーム操作のためにサンプルを配向させる方法および装置を提供する。
【解決手段】サンプルが、サンプルの主表面がプローブ・シャフトに対して垂直ではない角度にある状態で、プローブに付着され、プローブ・シャフトは、サンプルを再配向させるために回転される。一実施形態では、サンプル・ステージに対して４５度などのある角度に配向されたプローブは、平坦領域がプローブの軸に対して４５度で平行に配向された、すなわち、平坦領域がサンプル・ステージに平行であるプローブの先端を有する。プローブ先端の平坦領域は、サンプルに付着され、プローブが１８０度回転されるとき、サンプルの配向は、水平から垂直に９０度変化する。次いで、サンプルは、ＴＥＭ格子をサンプル・ステージ上で垂直配向ＴＥＭ格子に付着される。サンプル・ステージは、薄くするためにサンプルの背面をイオン・ビームに向けるように回転および傾斜される。 （もっと読む）

【課題】透過型電子顕微鏡を用いた観測により、種々の方向における観測対象物の観測データを取得することが可能な、透過型電子顕微鏡用試料保持体およびその製造方法、透過型電子顕微鏡用試料およびその製造方法、並びに、透過型電子顕微鏡用試料を用いた観測方法および結晶構造解析方法を提供する。
【解決手段】本発明のマイクログリッド１０は、グリッド本体１２と、グリッド本体１２の縁部に形成された触媒層１４と、触媒層１４の表面上に形成されたカーボンナノチューブ１６とから構成される。また本発明の試料２０は、本発明のマイクログリッド１０と、マイクログリッド１０を構成するカーボンナノチューブ１６の側面に被覆した観測対象物（例えば、蛋白質層１８）とから構成される。さらに本発明の観測方法は、本発明の試料２０を試料ホルダーにセットして透過型電子顕微鏡に装着する事により行う。 （もっと読む）

【課題】２０ｍＫ前後の極低温あるいはそれ以上の様々の極低温から室温以上の温度範囲で測定することができ、連続運転可能で、製造コストと維持費が安価であり、クエンチを回避することができ、小型で、試料の装着・交換が短時間で容易に行えるクライオスタット、試料装着装置及び温度制御方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の試料装着装置５は、低温ステージ９に対して真空雰囲気中で外部から着脱自在に装着され、試料装着装置５に設けられたヒータによって試料３１の温度を局部的に上昇させる。本発明のクライオスタットと温度制御方法はこの試料装着装置５を備え、第１の温度制御レベルでは試料ホルダ３０を低温ステージ９に直接接触して熱的に接続し、第２の温度制御レベルで試料ホルダ３０を低温ステージ９に着脱部を介して熱的に接続し、第３の温度制御レベルでは着脱部を低温ステージ９と分離して熱的接続を断つことを特徴とする。 （もっと読む）