【課題】ロールツーロール法を用いて長尺状の基材に透明導電膜が形成されてなる被処理体の特性評価を効率よく行うことが可能な被処理体の検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の被処理体の検査装置は、ロールツーロール法を用いて、長尺状の基材に透明導電膜が前もって形成されてなる被処理体の検査装置であって、前記透明導電膜のシート抵抗を求める第一手段と、前記透明導電膜のヘイズおよび透過率を求める第二手段と、を少なくとも備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光学的手法を用いて被処理基板の構造をより高精度に評価することができるプロセスモニター装置を提供する。
【解決手段】プロセスモニター装置１１は、光を出射する光源部と、光の強度を検知可能な光検知部と、光源部から出射された光をウェハＷまで導き、ウェハＷから反射した反射波を光検知部まで導く第一光経路２１と、第一光経路２１と同等の光伝搬特性を有するように構成され、光源部から出射された光を、ウェハＷを経由することなく光検知部まで導く第二光経路と、第二光経路を通して光検知部により検知された光の強度情報に基づいて、第一光経路２１を通して光検知部により検知された光の強度情報を補正し、ウェハＷの構造を解析するコントローラ１７とを備える。 （もっと読む）

【課題】流路構造の工夫により試料の位置分布拡がりを低減しつつ、感度を向上させたフローセルを提供する。
【解決手段】測定光が通過する第一の筒状流路１０４と第二の筒状流路１０５を備える。第一の筒状流路及び第二の筒状流路は入射光軸に垂直な断面積が一定又は入射光の進行方向へ連続的に増加している形状であり、第一の筒状流路の光出射端における断面積が第二の筒状流路の光入射端における断面積以下である。第一の筒状流路には流体導入部１０６から試料が導入され、第二の筒状流路を通った試料は流体排出部１０７から排出される。好ましくは、流体排出部の流路断面積が流体導入部の流路断面積より大きく、フローセル本体１０１が紫外から赤外の波長域の光の反射を防止する材質で作製されている。 （もっと読む）

【課題】 観察対象物を構成する各材料を視覚的に区別できる光学顕微鏡観察用試料の製造方法を提供することを課題としている。
【解決手段】 光学顕微鏡によって観察対象物を観察するための観察用試料を製造する光学顕微鏡観察用試料の製造方法であって、複数種の構成材料を含む前記観察対象物の少なくとも１種の材料が変質する温度で前記観察対象物を加熱する加熱工程を実施することにより、前記観察用試料を製造する光学顕微鏡観察用試料の製造方法等を提供する。 （もっと読む）

【課題】分析試料を担持して分析試料中の標的物質の分光分析及び質量分析を行うための複合分析用基板を提供する。
【解決手段】、第一の水溶性分子で表面処理された導電性透明基板と、前記第一の水溶性分子と互いに結合するために必要な相互作用を有する第二の水溶性分子で被覆され、かつ、前記第一の水溶性分子と第二の水溶性分子との相互作用により前記導電性透明基板上に固定された金属ナノロッド複合体と、この金属ナノロッド複合体に保持され、標的物質のイオン化を促進する表面修飾剤とを備えている複合分析用基板及びその製造方法、並びにこの複合分析用基板を用いた分析方法である。 （もっと読む）

【課題】機体ごとの器差の解消を図った分光光学計及びその校正方法を提供する。
【解決手段】サンプルガスに光を射出する光源２と、前記サンプルガスを透過した光を検出する光検出器５１、５２と、前記光源と前記光検出器との間に配置された光学フィルタ４と、前記光検出器５１、５２により得られた検出信号値に基づいて前記サンプルガス中の測定対象とする実ガスの濃度を算出する演算装置６と、を備えた分光光学計１であって、基準となる一の機体である基準機において得られた、代替ガス濃度と実ガス濃度とを関係付ける関数αと、前記基準機における前記実ガスと前記代替ガスとの光吸収率の関係と、校正対象となる一の機体である校正機における前記実ガスと前記代替ガスとの光吸収率の関係とを関係付ける関数βと、前記校正機における前記代替ガスの濃度と前記検出信号値との関係をあらわす関数と、に基づいて前記実ガスの濃度を算出するようにした。 （もっと読む）

【課題】部品不良、または、取付けミスや組立ミスなどの人為的な不具合があった場合であっても、簡単に不具合の原因を特定することができる自動測定装置を提供する。
【解決手段】ｐＨ計（自動測定装置）１が、試料水中に浸漬されたガラス電極と比較電極との電位差の計測信号を出力する電位差信号出力部（信号出力部）１１と、その計測信号から周波数と強度を分析する信号分析部１２と、前記測定信号から試料水のｐＨを演算するｐＨ演算部（指標成分量演算部）１３と、少なくとも部品不良、または、取付けミスや組立ミスという不具合がある場合の信号の周波数と強度を予め記憶しておく異常信号記憶部１４と、信号分析部１２と異常信号記憶部１４に記憶された周波数及び強度に基づいて、不具合の原因を特定する異常原因特定部１５を備えることにより、設置現場において簡単に不具合の原因を特定することができ、非常に手間と時間がかかっていた作業を大幅に削減することができる。 （もっと読む）

【課題】メト化率の低い領域であっても、高感度、高精度かつ簡易に、メト化率を測定できる、畜肉または魚肉のメト化率測定方法の提供。
【解決手段】測定対象の畜肉または魚肉について、波長３５０〜４５０ｎｍにおいて測定された吸光スペクトルの吸収ピークをとる波長ｘ（ｎｍ）と、波長５００〜７６０ｎｍの間の所定の複数の波長における吸光度を測定して、所定の関係式に算入して得られた、メト化率ｙ（％）との関係から、予め一次相関式を導出しておき、このとき、測定した肉に赤身肉と血合い肉とが混在したものと判定される測定値（ｘおよびｙ）がある場合には、その測定値を除いて、前記一次相関式を導出し、被検肉について、波長３５０〜４５０ｎｍの吸光スペクトルを測定して、その中で吸収ピークをとる波長の値と、前記相関式とからメト化率を算出することを含む、畜肉または魚肉のメト化率測定方法。 （もっと読む）

【課題】表面に凹凸を有する検査対象物の光沢を検査することができる外観検査方法を提供する。
【解決手段】傾斜面１２を有する凹凸が表面に形成された検査対象物Ｂの光沢を検査する外観検査方法である。前記検査対象物Ｂの表面から離間した位置に、光源３と受光器２とを前記検査対象物Ｂの表面からこの順で配置し、前記受光器２から前記検査対象物Ｂの表面に前記光源３を投影した位置を基準として前記検査対象物Ｂの表面の対称な位置を二つの検査領域Ｂ１、Ｂ２とし、前記光源３から前記検査対象物Ｂの表面に光Ｌ１、Ｌ２を照射し、前記二つの検査領域Ｂ１、Ｂ２からの反射光Ｌ３、Ｌ４を前記受光器２で受光し、前記受光器２で受光した反射光Ｌ３，Ｌ４から得られる前記各検査領域Ｂ１、Ｂ２の測定値を比較して前記測定値の差が所定の閾値以下か否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】ワイドバンドギャップ半導体などの光応答性の低い試料においても、精度の高いＣＰＭ測定が可能となる測定方法を提供する。
【解決手段】ＣＰＭ測定の際、ワイドバンドギャップ半導体などの光応答性の低い試料に光を照射することで生成される光励起キャリアを、試料に設けられた測定用の２電極に加えて設けられた第３の電極に正のバイアス電圧を印加することにより瞬時に追い出す。光励起キャリアが追い出されることにより、光電流値の制御性が高まり、光応答性の低い試料においても精度よくＣＰＭ測定を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】過硫酸アンモニウム水溶液が自己分解が進んだ状態になり分解した生成物により吸光度が変化した状態でも正確に測定できる過硫酸アンモニウム水溶液の濃度測定方法を提供する。
【解決手段】自己分解が進んだ状態での過硫酸アンモニウムの濃度を、ポンプ等で循環供給するラインで、フローセルを利用して、紫外線領域における３００〜３５０ｎｍの吸光度により濃度測定を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】発光素子用の材料が、ホスト材料若しくはゲスト材料として有効か否かについて評価する。
【解決手段】発光素子用材料の吸収強度を測定する第１のステップと、発光素子用材料に対し、所定の時間、光を照射する第２のステップと、繰り返す。光を照射した時間に対して、吸収強度の変化について評価することで、発光素子用材料がホストまたはゲストとして適当であるかを判断することができる。発光素子用材料に照射する光は、発光素子用材料において励起に係る骨格に因って吸収される波長成分を含む光であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】正確な日射反射率を予測計算できること。
【解決手段】ＫＳ計算部は、３５０ｎｍから１６００ｎｍの全ての波長の光について反射率９０％以上となる下地の反射率を用いて、前記下地上の塗膜の吸収係数及び散乱係数を計算する。日射反射率計算部は、塗膜の塗料の混合比率と、ＫＳ計算部が計算した吸収係数及び前記散乱係数と、に基づいて、塗料が混合された塗料の日射反射率を計算する。 （もっと読む）

【課題】過硫酸や過硫酸塩、過酸化水素などの多成分を含有する評価液であっても、簡便な操作で、一度の測定で総濃度を得ることができる酸化性物質の総濃度測定方法、簡易かつ安価な酸化性物質の総濃度測定用濃度計およびそれを用いた硫酸電解装置を提供する。
【解決手段】酸化性物質を少なくとも一種含有する評価液中の酸化性物質の総濃度を測定する方法である。評価液を５０〜１３５℃で熱処理する熱処理工程と、熱処理された該評価液中の過酸化水素を検出する過酸化水素検出工程と、を少なくとも含む。 （もっと読む）

【課題】回折構造体の測定パラメータモデルを利用する分光散乱システムおよび方法を提供する。
【解決手段】モデルの固有値を事前計算し、記憶し、ある共通の特性をもつ他の構造体に対して後に再利用する。１つ以上のパラメータの値を求めるために用いられる散乱データは、下敷フィルム特性に対して感度が低くなる波長におけるデータだけに制限することが可能である。代表的な構造体をスラブ２００’（ｉ）のスタックにスライスし、各スラブの近似を行うため四角形ブロック２１０，２１２，２１４，２１６，２１８のアレイを作成することによって三次元グレーティングに対するモデルを構築することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】投光ユニットを回転移動させることなく、ＳＰＲ装置やＳＰＦＳ装置のＡＴＲ条件を測定することができ、振動ノイズなどの影響がなく高精度の測定ができるとともに、迅速に測定を行うことができる光学式検体検出装置を提供する。
【解決手段】誘電体部材上に形成された金属薄膜を有するセンサチップが装填され、励起光を照射することで検体の検出を行う光学式検体検出装置であって、誘電体部材に入射させる励起光を集光する集光レンズと、集光レンズの前側焦点距離に位置する投光位置から、集光レンズ及び誘電体部材を介して金属薄膜に励起光を照射する点光源とを備え、金属薄膜に対する励起光の入射角を変更する際に、点光源が、集光レンズの光軸に垂直な平面内で直線移動するように構成する。 （もっと読む）

【課題】測定対象領域の透過率を内部反射光による誤差を抑えて精度良く測定するのに好適な透過率測定装置を提供すること。
【解決手段】透過率測定装置を、被検光を射出する光源装置と、該被検光を集光して測定対象上にスポットを形成する第一光学系と、測定対象を透過した被検光を集光してスポットの共役像を形成する第二光学系と、共役像の形成位置近傍に配置された絞りと、絞りを透過した被検光を検出する光検出手段と、から構成する。 （もっと読む）

【課題】測定セルを通過する試料ガスが長い透過距離を移動すると透過中にオゾンが何度も紫外線に照射され、正しいオゾン濃度測定ができない。このため、窒化物系深紫外線半導体素子を使用した、正しい測定値が得られ、装置へのダメージを排除するオゾン濃度測定装置を提供する。
【解決手段】波長２００ｎｍ〜３２０ｎｍを含む紫外線を発光する固体発光素子を利用して、試料ガスが吹き出るガス注入部と対抗する位置にこの試料ガスを吸い込むガス排出部で構成された試料ガス計測部を備え、試料ガスが瞬時に通過する機構を設け、ガスの乱れを無くし、透過時間を短くする事によって再オゾン化を抑える効果があり正しいオゾン濃度測定が可能になる。 （もっと読む）

【課題】水処理工程の被処理水の亜硝酸性窒素濃度を監視することが可能な亜硝酸性窒素濃度監視方法及び亜硝酸性窒素濃度監視装置を提供する。
【解決手段】
亜硝酸性窒素濃度監視装置１は、処理槽５に流入する被処理水の波長３５３ｎｍの光に対する吸光度を測定する吸光度測定手段ａ２と、処理槽５から排出される処理水の波長３５３ｎｍの光に対する吸光度を測定する吸光度測定手段ｂ３とを備える。さらに、吸光度測定手段ａ２で測定された吸光度ａと吸光度測定手段ｂ３により測定された吸光度ｂの差に基づいて、演算手段４が処理槽５で処理されて低下した被処理水の亜硝酸性窒素濃度若しくは処理槽５に流入する被処理水の亜硝酸性窒素濃度を監視する。 （もっと読む）

【課題】オーバーレイ測定、非対称性測定、およびインダイオーバーレイターゲットの再構築を可能にする。
【解決手段】四分くさび光デバイス（ＱＷ）は、基板から散乱した放射の回折次数を別々に再誘導し、第１方向および第２方向の各々に沿って照明から回折次数を分離する。例えば、０次（０、０’）および１次（−１、＋１’）を、各入射方向について分離する。マルチモードファイバ（ＭＦ）での捕捉の後、スペクトロメータ（Ｓ１−Ｓ４）を使用して波長（Ｉ_０’（λ）、Ｉ_０（λ）、Ｉ_＋１’（λ）、およびＩ_−１（λ））の関数としての空間的に再誘導された回折次数の強度を測定する。そして、これをオーバーレイエラーの計算、または単一格子の非対称パラメータの再構築に用いる。 （もっと読む）