【課題】ナノワイヤセンサ装置の製造方法の提供。
【解決手段】シリコンベース層と、該シリコンベース層内に形成された埋め込み酸化層と、該埋め込み酸化層上の上部シリコン層と、前記シリコンベース層内のドープされたウェルとを備えた基板の形成工程と、前記上部シリコン層からシリコンアイランド形成工程と、前記埋め込み酸化層をエッチングし、前記上部シリコンアイランドの裏面側をくり抜く工程と、前記シリコンアイランド、前記埋め込み酸化層、前記ドープされたウェルおよび前記シリコンベース層上に多結晶ＺｎＯシード層の堆積工程と、前記シリコンアイランドの表面から多結晶ＺｎＯの除去工程と、前記ＺｎＯシード層上のＺｎＯナノ構造体成長、形成工程と、ＺｎＯナノ構造体の所望の感度調整工程と、絶縁層の堆積工程と、前記絶縁層のパターニング、エッチング工程と、前記ナノワイヤ構造の硬化工程とを含むナノワイヤセンサ装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 水素原子を含む可燃性ガスが低温であっても、当該可燃性ガスを正しく検出し得るようにした可燃性ガスセンサを提供する。
【解決手段】 センサユニット２００において、検出素子４００は、その下側絶縁層４２０にて、断熱部材２７０を介し、金属製端子台２６０に支持されている。 （もっと読む）

【課題】、特定の添加元素を含むスクラップシリコンを容易に、短時間でかつ確実に選別する方法を提供する。
【解決手段】各スクラップシリコンをエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置（ＥＤＸ）による非破壊分析にかけ、得られたスペクトルデータから前記特定の添加元素を含んでいるか否かを判定し、この判定結果に基づいて特定の添加元素を含むスクラップシリコンを選別する。また、各スクラップシリコンの電気抵抗率を測定し、その測定結果からスクラップシリコンに含まれる添加元素の濃度を推定する。 （もっと読む）

【課題】 電気機器の絶縁物の汚損状態を容易に監視し得る絶縁診断装置を提供する。
【解決手段】 直流電圧を発生する直流電源部２と、前記直流電圧を絶縁物に印加して絶縁抵抗の経時変化を測定する絶縁抵抗測定部３と、前記絶縁抵抗の経時変化から、前記絶縁抵抗が時間経過に伴って変化する割合を算出して、前記絶縁物の汚損状態を判定する汚損状態判定部４とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 デバイスの出力特性のバラツキあるいは経時変化を簡便な方法で補正し、汎用性が高くかつ精度のよい物理現象または化学現象に係るポテンシャル測定装置を提供すること。
【解決手段】 電荷供給部、センシング部、フローティングディフュージョン、を有する少なくとも１つの検出系２１と、前記センシング部が当接する試料導入部に設けて前記検出系の測定電位を規定する基準電位設定部２６と、を有する測定装置であって、該基準電位設定部２６の電位をスキャンして前記検出系２１の出力特性を取得し、前記センシング部に供給する電荷量の制御によって該出力特性の立ち上がりＲＥＦ電圧の調整を行い、前記出力特性を自動的に修正する、制御調整部２２を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】金属酸化物半導体と水素吸蔵性金属との接合を用いたガスセンサにおいて、周囲のガス雰囲気に影響されずに高感度で水素濃度を測定することができる水素ガスセンサを提供する。
【解決手段】金属酸化物半導体とＰｄ系金属等の水素吸蔵性金属との接合により形成されるセンサ素子を有する水素ガスセンサにおいて、前記水素吸蔵性金属表面が、その少なくとも一部において、シリカ膜等の、水素ガスを透過し、かつ、酸素ガスの拡散を抑制する機能を有する膜でコートされている。 （もっと読む）

【課題】 岩盤における不飽和域の生成の有無や、不飽和が生じた場合における分布状況等を正確に把握するために、岩盤の亀裂密度と飽和度とを精度良く推定する。
【解決手段】 岩盤におけるＳ波速度と亀裂密度との関係を表す第１の関係、Ｐ波速度と亀裂密度と飽和度との関係を表す第２の関係、比抵抗値と飽和度との関係を表す第３の関係をそれぞれ予め求めておく。岩盤に対して弾性波トモグラフィおよび比抵抗トモグラフィによる計測と解析を行ってＳ波速度、Ｐ波速度、比抵抗値をそれぞれ測定し、第１の関係に基づいて亀裂密度を算定し、第２の関係に基づいて飽和度の第１算定値を算定し、第３の関係に基づいて飽和度の第２算定値を算定する。第１〜第３の関係を微修正しつつ第１算定値と第２算定値の算定を繰り返してその誤差を一定範囲内に収斂させる。 （もっと読む）

【課題】結晶粒または微粒子セラミックスから構成されるガスセンサでは、粒径縮小による高感度化と、粒成長による経時変化がトレードオフの関係にあるため、高感度化と信頼性耐久性の両立が困難であった。また、高感度かつ高耐久性・高信頼性を有するセラミックスセンサを、Ｓｉ集積回路とモノリシックに集積化するのが困難であった。
【解決手段】熱により粒成長等のセラミックス構造変化が生じない人工的なナノ構造体セラミックス膜によりガスセンサを構成する。ナノメータレベルのパターン状テンプレートに、ゾルゲル法を用いてセラミックス薄膜を形成するとともに、十分に焼成して緻密化する。さらに、上記ガスセンサを、集積回路とモノリシックに集積化する。 （もっと読む）

本発明は、基板上に堆積された金属含有構造物、特に導電性構造物を腐食攻撃、特に電気的腐食攻撃から保護するための方法に関する。前記方法は、構造物に対して、当該の導電性材料の不動態化範囲内の不動態化電圧を、少なくとも一時的に印加することに基づくものであることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、微小流体の電気化学系センサー装置及び複数試薬のアッセイに関する該装置を用いた伝導性分析試験用の方法に関するものである。本発明の装置は、３層以上からなる複層体であり、該第１の層は、外部電気化学系ユニットに接続するための伝導性トラック（１３）及び１つ以上の組込み電極（４）を備えるミクロ構造（５）を含むポリマー層であり、該第２の層は、微小流体の操作を可能にするように該ミクロ構造を被覆するためにはたらく非多孔性材料であり、そして該第３の層は、膜又はガラスフリット等の多孔質層（２）であり、該多孔質層は、該検体の電気化学系検出を可能とするように、試験溶液（７）との接触の際に溶解される１種以上の試薬（３）を含み、該ミクロ構造に沿って輸送される生成物を形成するために、該溶液中に存在する検体（６）と反応する。本発明は、各段階を減らし、複数試薬のアッセイの実施を特に可能にする。
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【課題】高プロトン導電性を維持しつつ、水分雰囲気における減量を抑え、水分雰囲気に対する耐久性を高めるのに有利な高プロトン導電性ガラス、これを製造できる製造方法を提供する。
【解決手段】高プロトン導電性ガラスは、Ｌａ₂Ｏ₃、Ａｌ₂Ｏ₃、Ｐ₂Ｏ₅系を主要成分とする高プロトン導電性ガラスであり、Ｌａ₂Ｏ₃をｂモル％、Ａｌ₂Ｏ₃をｃモル％含み、且つ、ｂは１〜１０モル％、ｃは０．０５〜２モル％に設定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】温度分布を均一化して、高温で且つ長時間駆動可能なヒータを有する雰囲気センサを提供する。
【解決手段】基板１２上に所定の厚さで形成されたダイアフラム２０、このダイアフラム上に形成されたヒータ１８を有しこのヒータが発生する熱が測定される雰囲気によって奪われるもしくは与えられることで生ずるヒータの抵抗値に基づき雰囲気を測定する雰囲気センサであって、ダイアフラム２０に形成されたヒータ１８が互いに略平行且つジグザグ状に配設された複数のパターン部１８Ａからなり、配設された複数のパターン部の各パターン部の間隔ｄを各パターンの線幅ｂ１よりも小さくした。 （もっと読む）

【課題】 センサに付着した結露を払拭し、正確なガス濃度測定が行えるセンサの結露防止装置を提供する。
【解決手段】 ガスが流通する流路に臨んで配置され、その流路内を流れるガスの濃度を検出する熱触媒素子３ａを備えたセンサに付着する凝結水を取り除く結露防止装置において、熱触媒素子３ａを回転軸２ｂを中心として右回り方向と左回り方向に交互に回転させることで、熱触媒素子３ａに付着する凝結水を取り除く。この水素センサ１は、燃料電池システムを構成する水素燃焼器の後方に接続された燃焼後のガスを排出させる排気管に取り付ける。 （もっと読む）

【課題】 ガス検出装置が短時間の停止や瞬断後に再起動された場合にも、早期にガス検知を再開できるガス検出装置などを提供する。
【解決手段】 ガス検出装置１０は、検出回路１１を用いてセンサ出力値S(n)を取得し、これを用いて還元性ガスの濃度昇降を検知する。検出回路１１では、センサ出力値S(n)が、ガスセンサ素子１７のセンサ抵抗値Rsに応じて変化すると共に、入力するパルス信号Scのデューティ比DTを変更しても変化する。ガス検出装置１０では、起動後、ガスセンサ素子１７の活性化を２回判断し、活性化したと判断するとガス濃度の昇降検知を開始する。２回目の判断は、センサ出力値S(n)が所定の値となるようにパルス信号Scのデューティ比DTを変更させた後に行う。 （もっと読む）

【課題】 超高真空中において試料に応力を印加しながらその表面構造の原子レベルの分解能でのその場観察を行うことができる超高真空走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 この出願の発明の超高真空走査型プローブ顕微鏡は、超高真空状態の真空槽内に、板状試料（２）の一端又は両端を支持する試料ホルダー（３）と、垂直方向の変位がナノスケールで制御され、板状試料（２）に対し応力を印加する応力印加機構（６）、（７）、（８）と、応力が印加された板状試料表面の状態を原子レベルの分解能でその場計測するプローブ（１）を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

誘導方式で電力を供給され、音響テレメトリによりデータを送信する、医薬包装内の環境条件を判定するためのリモートセンサ。本発明は、さらに、センサからデータを受信するように構成することもできる電力供給装置を備える。
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ＤＮＡまたはタンパク質を自動分析するために微小通路および／または微小空洞の系を有するカートリッジ（カード）が使用され、微小通路もしくは微小空洞は乾燥試薬を受け入れるための幾何学形状を有する。産業的製造を目的にカートリッジは平らなカード本体から例えば射出成形技術で製造され、開放通路に試薬がスポット注入され、乾燥させられ、引続いて通路はフィルムによって閉鎖される。こうして仕上げられたカートリッジは測定試料を備えることができ、読取装置に挿入することによって完全自動測定経過をスタートさせることができる。
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【課題】製造時に効率よくセンサチップをセンサベースに固定することができるガスセンサを提供することにある。
【解決手段】センサベース５と、センサベース５の主表面に対してその主表面が垂直になっている加熱型センサチップ１を備えたガスセンサであり、別の態様として、センサベース５と、加熱型センサチップ１と、前記センサチップ１に接続された複数のワイヤ２と、前記センサベース５に一列又は二列に立設され、前記ワイヤ２を介してセンサチップ１を保持する複数のピン３とを備えたガスセンサであり、前記ガスセンサにおいて前記加熱型センサチップ１を覆うセンサカバーを備えたこと、又は前記センサベースの主表面が方形であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】スメアリングの作用を排除すること
【解決手段】本発明はバイオポリマの配列を決定し、それを同定するための装置および方法を提供する。本発明は、第一の電極(7)、第二の電極(9)、第一のゲート電極(12)、第二のゲート電極(14)、ゲート電圧源(17)、及び電位手段(11)を提供する。ゲート電極は、電圧源によりランプされ、第一の電極、バイオポリマ、及び第二の電極間で共鳴レベルを探索して決定することができる。第一の電極及び第二の電極と電気接続する電位手段は、固定電位に維持される。バイオポリマの配列を決定して同定する方法も開示される。 （もっと読む）

【課題】 処理液の置換性を損なわずに処理液と光触媒との充分な接触面積が確保でき、効率の良い光酸化を行うことが可能な光酸化器およびこの光酸化器を用いた測定装置を提供する。
【解決手段】 外筒１と、外筒１内に挿通された直線状の第１光源２と、外筒１と第１光源２との間の水密性を保つためのシール材３と、外筒１内に挿入され、第１光源２の外周側に配置された波板状の触媒板４と、外筒１の外周側に配置された螺旋状の第２光源５と、第２光源５の外側を覆うように配置された環状ミラー６とを備える光酸化器。 （もっと読む）