【課題】より長時間ラジカルを液体中に存在させることのできるプラズマ発生装置、当該プラズマ発生装置を用いた洗浄浄化装置および小型電器機器を得る。
【解決手段】プラズマ発生装置１は、気体収容部５に配設された第１電極１２と、少なくとも第１電極１２と対になる側の部分が液体収容部４中の液体１７と接触するように配設した第２電極１３と、気体のプラズマ化により生成されて酸化により消滅するラジカルを再生成する還元部材１９と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】より安全性を高めることのできるプラズマ発生装置、当該プラズマ発生装置を用いた洗浄浄化装置および小型電器機器の提供。
【解決手段】プラズマ発生装置１は、水を含む液体を収容する液体収容部４と、気体を収容する気体収容部５と、気体収容部５中の気体を液体収容部４へ導く気体通路３ａが形成され、液体収容部４と気体収容部５とを隔てる隔壁部３と、気体収容部５に配設された第１電極１２と、少なくとも第１電極１２と対になる側の部分が液体収容部４中の液体と接触するように配設した第２電極１３と、を備えている。そして、第２電極１３を接地した状態で第１電極１２と第２電極１３との間に所定の電圧を印加するようにした。 （もっと読む）

【課題】ラジカルを均一に拡散させることのできるプラズマ発生装置、当該プラズマ発生装置を用いた洗浄浄化装置および小型電器機器を得る。
【解決手段】プラズマ発生装置１は、気体収容部５に配設された第１電極１２と、少なくとも第１電極１２と対向する側の部分が液体収容部４中の液体１７と接触するように配設した第２電極１３と、を備えている。そして、第１電極１２と第２電極１３との間に放電を発生させることで、液体収容部４中の液体１７内における気体の領域においてプラズマを生成し、液体１７に含まれる水および気体に含まれる酸素からヒドロキシラジカルを生成する。気体拡散部７０は、気体通路３ａから圧送された気体を液体１７内において拡散させる。 （もっと読む）

【課題】プラズマ反応方法及びプラズマ反応装置を提供する。
【解決手段】密閉空間内に、少なくとも一対の導電ループを内設させ、密閉空間内には反応流体を充填させて、少なくとも一対の導電ループに対し電場或いは／及び磁場が発生する事で、密閉空間内の導電ループの表面の粒子を磁場或いは電場により高エネルギー電子、高エネルギーイオン及び高エネルギー中性原子等に分離させるプラズマ反応を起こさせて、密閉空間内の電気エネルギーと電気エネルギー間、電気エネルギーと磁気エネルギー間、磁気エネルギーと磁気エネルギー、及び物質間の電子等の相互転換効果を更に効率化させる。 （もっと読む）

【課題】廃液処理現場にあるような大型の処理施設で使用する場合にも、効率よく被処理液中で放電によるプラズマを生起させる液中プラズマ発生電極装置を提供する。
【解決手段】液中プラズマ発生電極装置は、液体中でプラズマを生起させるものであり、主管(10)と、主管(10)に気体を送る給気管(102)と、主管(10)の開口部を閉鎖しており主管(10)の中を通過した気体を液中に微細気泡として排出する多孔質素材で形成された閉鎖体(12)と、先端部(22)が主管(10)と閉鎖体(12)で形成される空間(120)に位置し閉鎖体(12)に近接して設けられている線材電極(20)とを備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする課題は、液体の金属汚染を抑制することができる液中プラズマ発生装置、液中プラズマ処理装置、液中プラズマ発生方法、および液中プラズマ処理方法を提供することである。
【解決手段】実施形態によれば、液体を供給する液体供給部と、マイクロ波を発生させるマイクロ波発生部と、前記液体の流速を上昇させることで前記液体の圧力を減圧させて気泡を発生させるまたは気泡を発生させやすくする減圧部と、前記マイクロ波を共振させ、前記減圧部に前記共振させたマイクロ波を放射する共振部と、を備え、前記減圧部により、前記液体と、前記共振部と、が離隔されたことを特徴とする液中プラズマ発生装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】滑走型電気アーク装置用セラミック電極、その製造方法および滑走型電気アーク装置の提供。
【解決手段】滑走型電気アーク装置用セラミック電極１２２に関し、セラミック電極１２２は、背部２０２とヒール部２０６と先端部２０８とで規定されセラミック羽根２００を有し、セラミック羽根２００の放電端部２０４は、セラミック羽根２００のほぼヒール部２０６から先端部２０８にかけて発散形状で規定され、セラミック羽根２００に接続した台座表面２１０は、滑走型電気アーク装置内にセラミック羽根２００を容易に取付けられるように構成。 （もっと読む）

【課題】付着菌の殺菌と脱臭の両方を水蒸気や微小液滴存在下でも同時に実現する。
【解決手段】一対の電極２１、２２を有し、それら電極２１、２２間に所定電圧が印加されてプラズマ放電するものにおいて、各電極２１、２２の対応する箇所にそれぞれ流体流通孔２１ｂ、２２、を設けてこれらが貫通するように構成するとともに、当該流体流通孔２１ｂ、２２ｂ及びその近傍に生じるプラズマに水蒸気又は微小液滴を作用させる。 （もっと読む）

【課題】 非平衡プラズマ燃焼を用いた難分解性有機廃液の分解処理において、前記有機廃液を高効率で可燃ガスに改質し、加えて、フラーレンや炭素系高機能材料の生成が可能な処理システムを提供する。
【解決手段】 減圧した反応管にマイクロ波を照射し、その反応管内で難分解性廃液と難分解性有機廃液の当量反応に満たない量で供給した酸素を反応させる。これにより通常の燃焼よりも多くのフリーラジカルを発生させ、反応性を向上させる。また、前記有機廃液を投入（噴霧）することにより、反応性を高め、高効率で可燃ガスを生成する。加えて、酸素比の変化、マイクロ波の出力を高めること、又は、触媒の利用によって、フラーレン或いは炭素系高機能材料の生成も可能となる。 （もっと読む）

【課題】プラズマ生成を低電圧で安定して行うことのできるプラズマ生成装置、およびこのプラズマ生成装置を用いた表面処理装置、表示装置、流体改質装置を提供する。
【解決手段】プラズマ生成装置２０は、第１絶縁被覆線１を経糸（縦糸）、第２絶縁被覆線２を緯糸（横糸）として平織（経糸２本、緯糸２本を最小単位として、経糸と緯糸とを交互に上下に交差させる織り方）で織り合せた平織構造（ファブリック構造）からなるプラズマ生成部８を備える。第１絶縁被覆線１と第２絶縁被覆線２間に交流電圧（電源３）を印加することで、第１絶縁被覆線１と第２絶縁被覆線２間に生じる微小な隙間においてプラズマＰを生成する。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理空間からの排気を均一に行う。
【解決手段】プラズマ処理空間を囲う真空チャンバ２と、その壁を貫通する開口２ａに対して外側から吸引口５１ａが連通接続された真空ポンプ５０と、プラズマ処理空間に臨んで基板を乗載可能な基板支持体１２とを備えたプラズマ処理装置において、真空ポンプ５０を介して真空チャンバに基板支持体１２を固設する。また、その支持脚１２ａが、開口２ａの中央を通り、真空ポンプ５０の支軸５２を兼ねるようにする。さらに、その支軸５２を中空の杆体にする。これにより、プラズマ処理空間から開口に至る排気路が基板支持体の周りで同じになるうえ、その開口のところでも同一性が維持されて、排気が均一になる。コンパクトな装置にもなる。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理が効率よく行われるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマ処理装置１０００においては、アノード１０６０及びカソード１０６２が流路１０１８の途中にある。カソード１０６２は、それぞれ、アノード１０６０より流路１０１８の上流側及び下流側にある。アノード１０６０及びカソード１０６２は、流体通過面を横切り、流体通過面の一部のみを占める。アノード１０６０とカソード１０６２とは流路の軸方向に間隔を置いて対向する。アノード１０６０はパルス電源１００４の正極に電気的に接続され、カソード１０６２はパルス電源の負極に電気的に接続される。アノード被覆は、絶縁体からなり、導電体からなるアノード本体を被覆する。凹構造がアノード被覆の表面に形成される。凹構造の群はアノードの表面に分布する。 （もっと読む）

【課題】活性種生成装置を小型化する。
【解決手段】活性種生成装置３０は、放電針３４が設けられた矩形状の第１電極３２と、平面視において第１電極３２の放電針が設けられた部分と交差するように配置された矩形状の第２電極３５と、放電針３４の両側において第１電極３２を支持する２つの第１支持部４４ａ、４４ｂと、第１電極３２との交差部分の両側において第２電極３５を支持する２つの第２支持部４５ａ、４５ｂとを備えている。第１支持部４４ａ、４４ｂは、平面視において、第２支持部４５ａ、４５ｂを結ぶ直線と直交し且つ第２支持部４５ａ、４５ｂをそれぞれ通る２本の直線の間に配置されている。活性種生成装置３０は、第１電極３２と第２電極３５との間に電圧が印加されることで活性種を生成する。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理が効率よく行われ、電極の絶縁が容易になり、内壁に沿う沿面放電が抑制されるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマ処理装置１０００は、流路１０１８を持つチャンバ１０１０が絶縁体からなる。流路１０１８の軸方向に非平行な方向に延在する溝１０３６が流路１０１８を囲む内壁１０３４に刻まれる。第２の電極１０１４及び第３の電極１０１６は、それぞれ、第１の電極１０１２より流路１０１８の上流側及び下流側にある。第１の電極１０１２と第２の電極１０１４とは流路１０１８の軸方向に間隔を置いて対向する。第１の電極１０１２と第３の電極１０１６とは流路１０１８の軸方向に間隔を置いて対向する。第１の電極１０１２はパルス電源１００４の第１の極に電気的に接続され、第２の電極１０１４及び第３の電極１０１６はパルス電源１００４の第２の極に電気的に接続される。 （もっと読む）

【課題】
揮発性有機ガス等の有害ガスを含むガスを、プラズマと触媒とを併用して、低温で浄化する方法および装置を提供する。
【解決手段】
触媒微粒子を担持したシートまたは繊維構造体からなるフィルターをプラズマ反応器に装填することにより、低い印加電圧でプラズマの発生が可能となり、触媒微粒子とプラズマとの相乗作用により、有害ガス等を含むガス中の有害ガス等を効率よく分解することを可能とした。具体的には、浄化方法は、触媒微粒子が担持された、シートまたは繊維構造体からなるフィルターが装填され、電圧の印加によりプラズマを発生する低温プラズマ反応層内に、揮発性有機ガス等の有害ガスを含む空気を通過させて、揮発性有機ガス等の有害ガスを分解することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高温ガスの流量及び温度の制御範囲を拡大できるようにする。
【解決手段】高温ガスを生成するためのプラズマガス生成装置であって、内管２の先端に設けられ中心に陰極開口７を有する陰極３と、陰極３の後方に接触配置されて陰極３に電子を供給する浮遊電極４と、内管２と浮遊電極４との間を介して陰極開口７に陰極ガス５を導く陰極ガス流路６と、陰極３及び内管２の外側に設けられ陰極開口７の下流に陽極開口１１を有する陽極８と、内管２と陽極８との間を介して陽極開口１１に陽極ガス９を供給する陽極ガス流路１０と、陽極８の外側に設けた外側部材１２と、外側部材１２と陽極８との間を介して希釈ガス供給装置１３からの希釈ガス１４を供給する希釈ガス流路１５とを有する。 （もっと読む）

【課題】ナノスケール導電性微粒子を長時間にわたって連続的に製造することができる、ナノスケール導電性微粒子の連続製造装置を提供する。
【解決手段】本装置は、導電性の液体を収容した第１の容器１０と、第１の容器に導電性の液体を供給する送液路２０と、第１の容器内の導電性の液体中に配置された導電性材料からなる陰極３０と、導電性の液体中において陰極から所定の距離を隔てて配置された陽極４０と、陰極の近傍にグロー放電プラズマを生じさせる電圧を陰極と陽極との間に印加する電源５０と、液体を収容した１つ又は複数の第２の容器６０と、第１の容器及び１つ又は複数の第２の容器を連通する液体流路７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】より安定してラジカルを生成することのできるプラズマ発生装置、ラジカル生成方法、それらを用いた洗浄浄化装置および小型電器機器を得る。
【解決手段】プラズマ発生装置１は、気体収容部５に配設された第１電極１２と、少なくとも第１電極１２と対になる側の部分が液体収容部４中の液体１７と接触するように配設した第２電極１３と、を備えている。そして、第１電極１２と第２電極１３との間に放電を発生させることで、液体収容部４中の液体１７内における気体の領域においてプラズマを生成し、液体１７に含まれる水および気体に含まれる酸素からヒドロキシラジカルを生成するようにした。 （もっと読む）

【課題】燃料の改質及び難分解性ガスの化学処理を行うための、反応効率が高いプラズマ反応器を提供する。
【解決手段】被処理気体の流入口６３、流入気体が移動しながら熱を吸収する吸熱路６４、ならびに気体の排出口６２とを有する反応炉６１と、前記反応炉の内部にプラズマを形成させるための電極７０と、熱を吸収した前記被処理気体と液状燃料とを混合させる混合チャンバ６７と、混合チャンバで生成される混合燃料が反応炉内に供給される流入ホール６８、とを含んで構成されるプラズマ反応器であって、前記電極は円錐形状を有し、前記流入ホールは電極基部近傍に設置され、流入した混合燃料が電極の外周面に沿って回転流を形成して進行する、プラズマ反応器。 （もっと読む）

【課題】気体に含まれる物質から活性種を生成する放電反応装置であって、安定した放電を行なうことができる放電反応装置を提供する。
【解決手段】放電反応装置は、放電を行なうための電極を含む放電器と、放電器に流入する空気の湿度を検出する湿度検出器とを備える。放電器に流入する空気の湿度を検出し、検出した湿度に基づいて電極に印加する目標電圧Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃを設定し、目標電圧Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃが大きくなるほど１回の電圧上昇幅Ｖａｘ，Ｖｂｘ，Ｖｃｘを大きく設定し、電圧上昇と定電圧に保つ期間とを繰り返しながら、目標電圧Ｖａ，Ｖｂ，Ｖｃまで電圧を上昇させる。 （もっと読む）