【課題】負極性負スプレッドコロナ放電極の構造などを改善してコロナ放電空間を大幅に広大化して大流量のガスを高効率で処理する負極性スプレッドコロナ放電プラズマ化学処理装置を提供する。
【解決手段】負極性スプレッドコロナ放電プラズマ化学処理装置において、接地電極の中間に位置し処理ガスの流動方向に平行または直交して長尺平板の負放電極本体を配置し、前記負放電極本体の横断面の外周面形状を扁平、放物、円形等の曲面形状としその長軸方向又は短軸方向又は径方向の両側に突出する複数の直線型放電極を平行配列した(串型の放電極)。前記各直線型放電極は先端を尖頭型、半球型、横断面型等又は輪郭の中空パイプにし、また負放電極本体と直線型放電極はガス供給噴射可能な連通中空にし、場合によっては、直線型放電極の先端の近傍周囲に網目型接地電極を配置した。 （もっと読む）

【課題】レシピ毎に空洞共振部の高さを適切なものとすることができるようにし、レシピ条件が変更された場合にも、均一に試料を処理することを可能とする。
【解決手段】処理室200内に配置され処理対象の試料が載せられる試料台210と、処理室200の上方に配置され前記処理室内にプラズマを形成するために供給される電界が透過する誘電体製の円板状部材204と、この円板状部材204の上方に配置され、前記電界を共振させるための円筒形状を有する空洞共振室203と、該空洞共振室203を囲んで、その天井面を構成する天面部材の中央の上部と連結され、その内部を前記電界が導かれる導波管202と、空洞共振室の高さを可変に調節する駆動機構208と、空洞共振室203の下方外縁に配置された前記空洞共振室内からの前記電界の漏れを抑制する手段213とを備えて構成される。 （もっと読む）

プラズマ発生装置は、電力を供給される第１の電極と、第１の電極の前に位置付けされた第２の電極構造を備える。絶縁層が、第１の電極と第２の電極構造の間にはさまれている。第２の電極構造は、ギャップ部分をその間に画定する複数の第２の電極部分を有する。ギャップ部分の幅はｗである。第２の電極部分各々は前表面を有し、さらにギャップ部分各々は前表面を有し、各第２の電極部分の前表面と隣接するギャップ部分の前表面との間の高差はｈであり、さらに、ｈは最大でも１ｍｍで、比ｗ／ｈは少なくとも１である。したがって、第２の電極部分の前表面とギャップ部分の前表面は一緒に滑らかなトポグラフィを形成する。本装置によって発生されたプラズマ（空気または他の酸素含有気体中の）は、オゾンを形成し、そのオゾンは、例えば食品を処理するために使用可能である。滑らかなトポグラフィによって、全てのプラズマが実質的に包装容器の内部に発生するようになり、その包装容器の壁は第２の電極構造の方へ押されている。
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【課題】発明は、ディスプレイ又は半導体の製造工程中に低圧工程チャンバで発生する汚染物質を除去するプラズマ反応器を提供する。
【解決手段】本発明に係る汚染物質除去用プラズマ反応器２１０は、互いに距離をおいて位置する第１接地電極２１及び第２接地電極２２と、第１接地電極２１と第２接地電極２２との間に固定される誘電体３０と、第１接地電極２１及び第２接地電極２２と距離をおいて誘電体３０の外面に位置して交流電源部４０と連結し、これから駆動電圧の印加を受ける少なくとも１つの駆動電極５０とを備える。 （もっと読む）

本発明は、ガス混合物におけるガス成分の量を増大させる、特に空気を酸素で富化させる分野に関する。本発明によれば、ガス濃縮装置は、入力側及び出力側を含んでいる放電チャンバ１、前記放電チャンバ１の出力側及び/又は入力側に圧力勾配を発生させるために、前記補電チャンバの内部にガス放電を発生させるためのガス放電装置２、並びに前記チャンバ１の入力側及び/又は出力側に配されると共に、前記圧力勾配により生じたガス流にさらすことができるガス選択装置を有する。
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【課題】ＮＯ_ｘの処理効率が高い高電圧プラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】大気圧中、ガス流として供給されるガスに対して１０^２〜１０^５Ｖの高電圧を与えてプラズマを発生させる高電圧プラズマ発生装置であって、プラズマを生成するための電力が給電される第１の電極と、第１の電極の周りを覆う金属製の筐体と、第１の電極との間でプラズマを生成するために、第１の電極から離間して設けられ、アースされた第２の電極と、第１の電極が電磁波を放射する際の共振周波数と同じ周波数の交流信号を間欠的に、第１の電極に給電する電力供給装置と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 装置の低コスト化及び小型化を実現するとともに、不純物の混入がない高品質の金属ナノ粒子及び金属担持物を生成でき、かつ、この生成を、高速で、短時間に、十分な量で得ることができる。
【解決手段】 溶液に所定の処理を行って金属ナノ粒子又は金属担持物を生成する液中プラズマ処理装置１であって、溶液が収められた容器３０と、マイクロ波を出力するマイクロ波発振器１０と、マイクロ波を溶液に与えて該溶液内にプラズマを励起させる電極４２とを備え、この電極４２が、プラズマの励起によりナノ粒子となる金属で形成された。 （もっと読む）

【課題】 低コストで小型の装置により、不純物の混入がない高品質の金属担持物を、高速で、短時間に、十分な量で得ることができる。
【解決手段】 溶液に所定の処理を行って金属担持物を生成する金属担持物製造装置１であって、溶液が収められた容器３０と、マイクロ波を出力するマイクロ波発振器１０と、マイクロ波を溶液に与えて該溶液内にプラズマを励起させる電極４２とを備え、溶液は、担体が分散されているとともに、金属イオンが投与された溶液である。 （もっと読む）

【課題】薬液を用いることなくかつ２次廃棄物を生じることなく、プラズマ法により液体中の有機フッ素化合物を高速で分解することを課題とする。
【解決手段】難分解性有機物を含む液体中にガスをバブリングする気液２相流装置において、バブリングした気体内に放電プラズマを発生する高電圧電源１２を備えていることを特徴とする気液２相流プラズマ処理装置。 （もっと読む）

【課題】低コストかつ短時間でガスの分解及び処理を実現可能とする新規な構成のガス浄化装置及びガス浄化方法、並びにこれに使用するプラズマ電極を提供する。
【解決手段】相対向する一対の第１の放電電極間に配置されてなる、ヒータ機能を有するとともに放電面上に触媒が形成されてなる第２の放電電極を、前記ヒータ機能を駆動させることによって所定の温度にまで加熱し、前記触媒を活性化させ、次いで、少なくとも前記一対の第１の放電電極間に電圧印加を行い、前記一対の第１の放電電極間及び前記一対の第１の放電電極と前記第２の放電電極との間に大気圧プラズマを生成する。次いで、前記一対の第１の放電電極間及び前記一対の第１の放電電極と前記第２の放電電極との間にガスを流し、前記ガスを前記大気圧プラズマ及び前記触媒によって分解し、浄化する。 （もっと読む）

【課題】電界集中を抑制し、安定して均一な気流を発生することができる気流発生装置、およびこの気流発生装置を備えた移動体を提供する
【解決手段】気流発生装置１０は、固体からなる第１の誘電体２０と、第１の誘電体２０の一方の表面に設けられた第１の電極３０と、第１の誘電体２０の他方の表面に、第１の電極３０に対設された第２の電極３１とを備えている。また、気流発生装置１０には、第１の電極３０の第２の電極３１側の端縁で、かつ第１の誘電体２０の一方の表面側に位置する第１の電極３０の端縁３０ａを覆うように、第１の電極３０の端縁３０ａに沿って、固体からなる第２の誘電体４０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】排ガス中の炭素を主成分とする微粒子を捕捉し、捕捉した微粒子を酸化または酸化分解により酸素と結合した無害の低分子ガスにして、浄化対象ガスを浄化することができるガス浄化装置およびガス浄化方法を提供する。
【解決手段】ガス浄化装置１０は、炭素を主成分とする微粒子である粒子状物質（以下、ＰＭという）含む浄化対象ガスＥＧが導入されるガス流路２０を備えている。このガス流路２０には、ＰＭを帯電させるためのプラズマを発生する機構を備えたプラズマ発生部３０と、ＰＭを酸化反応させて分解する機構を備えた酸化分解処理部４０とを備えている。すなわち、ガス流路２０の一部は、プラズマ発生部３０および酸化分解処理部４０で構成されている。 （もっと読む）

【課題】高濃度の有効成分を保持する機能ミストを生成することのできる機能ミスト生成装置を提供する。
【解決手段】本発明の機能ミスト生成装置を、液体中に気体を加圧注入することで該液体にナノメータサイズの気泡が混合した気液混合液を生成する加圧部１１と、加圧部１１内にて加圧された状態にある気体に放電を生じさせる放電部３と、放電部３に高電圧を印加させる電圧印加部４と、放電により有効成分が生じた気体を加圧注入することで生成された気液混合液から成る機能液をさらにミスト化するミスト発生部９とを具備したものとする。 （もっと読む）

【課題】 高い洗浄処理能力を得ることができ、しかも、結合エネルギーが高い化学結合を有する有機化合物についても確実に除去することができる照射装置を提供する。
【解決手段】 放電容器および一対の電極を有するエキシマランプと、エキシマランプにおける一方の電極に誘電体を介して対向するよう配置されたプラズマ放電用電極とを備え、エキシマランプにおける一方の電極およびプラズマ放電用電極を介してプラズマ発生回路が形成されてなり、エキシマランプにおける一対の電極間に印加される高周波電界によって放電容器内にエキシマ放電が発生されると共に、エキシマランプとプラズマ放電用電極との間にプラズマ発生用反応性ガスが流過された状態で、エキシマランプにおける一方の電極とプラズマ放電用電極との間に印加された高周波電界によってプラズマ放電が発生されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高濃度の有効成分を含む微細気泡を液中において安定的に長期間存在させることができ、しかも、このような高濃度の有効成分を発生させるためのエネルギを低減することのできる機能液生成装置を提供する。
【解決手段】本発明の機能液生成装置を、液体中に気体を加圧注入することで該液体にナノメータサイズの気泡が混合した気液混合液を生成する加圧部１１と、加圧部１１内にて加圧された気体中に放電を生じさせる放電部３と、放電部３に高電圧を印加させる電圧印加部４とを具備したものとする。 （もっと読む）

【課題】プラズマ放電に伴う電気的ノイズの発生、改質効率の低下及びハニカム電極の劣化を抑制することができるプラズマリアクタを提供する。
【解決手段】被改質ガス２の導入口４及び改質ガス６の排出口８が形成された反応容器１０と、反応容器１０の内部空間に相対向するように配置された、プラズマを発生させる一対の電極１２と、一対の電極１２に対して電圧を印加するパルス電源１４と、被改質ガス２の改質反応を促進する触媒とを備え、一対の電極１２の一方は導電性セラミックスからなり、ガスの流路となる複数のセルが区画形成されたハニカム電極１２ｂであり、一対の電極の他方はハニカム電極１２ｂの端面と対向するように配置された対向電極１２ａであり、触媒がハニカム電極１２ｂの隔壁に担持されているとともに、ハニカム電極１２ｂが対向電極１２ａに対向する端面の中央部に凹曲面３０Ａが形成されたものであるプラズマリアクタ１Ａ。 （もっと読む）

【課題】液中プラズマを用いて液体のみならず固体をも原料とした皮膜を基材の表面に成膜する方法において、成膜条件の大幅な変更を伴うことなく、所望の割合で固体の原料を含有する皮膜を成膜できる成膜方法を提供する。
【解決手段】本発明の液中プラズマを用いた成膜方法は、第一の原料を含む固体からなるターゲットＴ_１と基材Ｓ_１とを互いに対向させて、第二の原料を含むまたは含まない液体Ｌ_１中に配設する配設工程と、液体Ｌ_１中にスパッタガスＧ_１を供給して少なくともターゲットＴ_１と基材Ｓ_１との間に気相空間Ｖ_１を形成する気相空間形成工程と、気相空間Ｖ_１に少なくともスパッタガスＧ_１のプラズマを発生させるプラズマ発生工程と、を経て、プラズマによりターゲットＴ_１をスパッタリングさせて基材Ｓ_１の表面に少なくとも第一の原料を堆積させる。 （もっと読む）

【課題】種々の分野で利用可能とするべく、大気圧条件下で、新たなガスの供給を行うことなく、低温で、安定的にプラズマを発生させることが可能なプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】被処理物をプラズマで処理するプラズマ処理装置１００であって、電源に接続された第１電極１０と、被処理物を設置可能なように、第１電極１０から離間させた状態で対向配置された第２電極２０と、第１電極１０と第２電極２０との間に設けられた第３電極３０と、を備え、第１電極１０と第３電極３０との間にプラズマを発生させるための、パルス発生手段８０を設け、発生した前記プラズマを引き出す引出電圧が、第２電極２０と第３電極３０との間に印加されている。 （もっと読む）

【課題】エネルギの消費量を著しく増大させたり、処理の絶対量を低下させることなく、簡易な方法及び構造で、プラズマによって行う排ガスの処理効率を向上することができるようにした排ガス処理装置における磁場によるプラズマの制御方法及びそれを用いた排ガス処理装置を提供すること。
【解決手段】反応管１内に導入した排ガスを、反応管１内に発生させたプラズマにより分解し処理する排ガス処理装置において、反応管１内に磁場を発生させることにより、反応管１内に発生したプラズマの状態を制御する。 （もっと読む）

粒子捕集装置が開示される。該装置は、入口ポート、捕集ポート、前記入口ポートおよび前記捕集ポート間に構成されたバグハウス、および前記バグハウスに連結された真空ポートを備えるバグハウスハウジングを含む。前記装置はまた、前記捕集ポートに連結された捕集機構と、前記バグハウスに連結された圧縮機構と、を含む。
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