【課題】被処理物を均一にプラズマ処理することのできる表面処理装置を提供する。
【解決手段】表面処理装置１００は、内筒１０、外筒２０、電極３０、被処理物供給部４０、ガス導入部５０および回転駆動機構６０を有している。外筒２０は内筒１０に対して軸回転可能に設けられ内筒１０を収容する。被処理物供給部４０は外筒２０と内筒１０との間の反応空間Ｖに被処理物を供給する。ガス導入部５０は、反応空間Ｖにガスを供給する。電極３０は内筒１０および外筒２０の周面に互いに対向してそれぞれ設けられたプラズマ発生用の電極であり印加電極３２および接地電極３４を含む。そして、回転駆動機構６０は内筒１０と外筒２０とを相対的に軸回転させる。 （もっと読む）

【課題】 非平衡プラズマを用いた難分解性有機廃液の分解処理において、前記有機廃液を高効率で可燃ガスに改質し、加えて、人工グラファイトや炭素系高機能材料の生成が可能な処理システムを提供する。
【解決手段】 難分解性有機廃液の当量反応に満たない量で供給した酸素をプラズマ化させることにより反応性を向上させる。この状態で前記有機廃液を投入（噴霧）することにより、高効率で可燃ガスを生成する。また、マイクロ波の出力を高めること、又は、触媒の利用によって、人工グラファイト或いは炭素系高機能材料の生成も可能となる。 （もっと読む）

【課題】ＴＣＰ窓を過度に腐食させることなく導電性の反応生成物の堆積を防止する。
【解決手段】誘電結合型プラズマエッチング装置は、チャンバと、チャンバ頂部の開口部を封止するための窓とを備える。窓は、チャンバの内部領域に露出した内面を有する。ファラデーシールドとして機能する金属板は、窓の上方に窓から離れて設置される。コイルは、窓の内面がスパッタリングされるのを最適に低減し、それと実質同時に、窓の内面上にエッチング副産物が堆積されるの防ぐような、ピークトゥピーク電圧を生成するように構成された接続位置において、金属板に導電結合される。別の実施形態において、この装置は、金属板に外部からピークトゥピーク電圧を印加するためのコントローラを備える。コントローラは、発振回路と、整合回路と、ＲＦ電源と、印加されたピークピーク電圧をモニタリングするためのフィードバック制御とを備える。 （もっと読む）

【課題】 抗菌処理が必要な時にダイヤモンドライクカーボン膜を衛生装身材にコーティングすることができる。
【解決手段】 インナ電極１３の表面に立体マスク３５を装着支持し、導入管２３及び導入ガイド２１を介して処理ガスを供給すると共に、電源装置２６により治具１１を介してインナ電極１３に負電圧を印加し、アウタ電極２２との対向部位に炭素を含むプラズマ雰囲気を形成し、立体マスク３５にダイヤモンドライクカーボンを成膜し、抗菌処理が必要な時に容易に抗菌処理を施す。 （もっと読む）

【課題】高周波や超音波をより効率的に供給でき、生体内や配管内など狭い場所でも使用することができる液中プラズマ発生装置や清掃装置、補修装置、清掃方法、補修方法を提供する。
【解決手段】液中プラズマ発生装置は、延在する同軸ケーブルと、同軸ケーブルの第１端部側の先端にて同軸ケーブルの内導体１２に接続された液中プラズマ用電極３と、第１端部とは反対の第２端部側に接続された高周波供給装置を有し、同軸ケーブルを介して高周波を液中プラズマ用電極３に供給し、液中プラズマ用電極３より液中に電磁波を照射して液中プラズマを発生させる。 （もっと読む）

【課題】隣接するガス処理ユニット間の空間でもプラズマを発生させ、全体のガス処理能力を更に高める。部品点数を削減して製造・組立のコスト・時間を削減する
【解決手段】ガス処理ユニットＧＵ１，ＧＵ２のグランド電極９−１，９−２を一体化し共通電極９とする。ガス処理ユニットＧＵ１，ＧＵ２の高圧電極８−１の印加極性を正、高圧電極８−２の印加極性を負、高圧電極１０−１の印加極性を正、高圧電極１０−２の印加極性を負とする。これにより、対向する高圧電極間に大きな電位差が生じ、隣接するガス処理ユニット間の空間でもプラズマが発生し、ガス処理が行われるようになる。また、ガス処理ユニット間で、グランド電極が一体化（共通化）され、部品点数が削減される。 （もっと読む）

【課題】隣接するガス処理ユニットのうち、下流側のガス処理ユニットでのガス処理能力を高め、全体のガス処理能力を更に高める。
【解決手段】上流側のガス処理ユニットＧＵ１のハニカム構造体４間の間隔（間隙）Ｇに対して下流側のガス処理ユニットＧＵ２のハニカム構造体４を対向させる。これにより、間隙Ｇを通ってきた処理対象ガスＧＳに含まれる水分が下流側のガス処理ユニットＧＵ１のハニカム構造体４に吸着され易くなる。また、間隙Ｇを通過した処理対象ガスＧＳは、下流側のガス処理ユニットＧＵ２のハニカム構造体４の上流側の面に当たって流速が弱められるとともに、流れ方向も変えられ、下流側のガス処理ユニットＧＵ２内を通過する時間が長くなる。 （もっと読む）

【課題】放電電極間のプラズマ発生領域を、簡単に拡げることのできるソリューションプラズマ放電装置を提供する。
【解決手段】本発明のソリューションプラズマ放電装置は、線電極からなる放電電極１ａと針電極からなる放電電極１ｂを備えており、放電電極１ｂは、放電電極１ａの長手方向に対して傾斜して配置されている。これにより、放電電極１ａ・１ｂ間の距離を長くしても、放電電極１ａ・１ｂ間の印加電圧を上げずに、電圧を印加するだけでプラズマ１３を発生することができ、プラズマ発生領域１４を拡げることができる。 （もっと読む）

【課題】プラズマを内包する気泡（１次気泡）を安定に維持することのできるプラズマ診断装置およびソリューションプラズマ放電装置を提供する。
【解決手段】本発明のプラズマ診断装置は、貯留部２が、ソリューションプラズマ放電装置に設けられた１対の放電電極１・１と離間して上部に設けられ、かつ、貯留部２の下方に形成される２次気泡７の表面が、１次気泡６の表面に接触する位置に配置されている。これにより、２次気泡７が、１次気泡６の振動を抑制するので、不安定な１次気泡６を、２次気泡７によって、安定に維持することができる。 （もっと読む）

本発明は、プラズマ粒子を発生させ、液体にプラズマ粒子を当てるための方法及び装置を提供する。液体供給原料（例えば、バイオマスで混合される水及び／または炭化水素）は、パイプラインを通り、吸い上げられる。単一相水流は、その後、二相の液体及び気体水流にチャンバ内で変換される。変換は、高圧域から低圧域まで水流を遷移することにより成し遂げられる。液体の噴霧のために水流がさらに装置を通過する際に、圧力低下が発生する。チャンバ内では、電界が、プラズマ状態の発生を導く二相媒体の分解電圧の閾値を超える強度レベルで発生する。さらに、本発明は、エネルギーの効率の適応性が高く、多目的に使用できる、水を汚染する生物学的因子を不活性化するためにプラズマ粒子を用いて、水を衛生化する方法及び装置を提供する。
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非熱的な繰り返しパルス化滑り放電リアクタは、パルス化高電圧電位を供給するように構成される高電圧電源と、ガスの流入口と、液体吸収剤の流入口と、生成物の流出口と、高電圧電源に接続される複数の第１電極と、接地される複数の第２電極と、トラフと、を含み、複数の第１電極は複数の第２電極から放電領域によって分離される。 （もっと読む）

【課題】処理対象の排気ガスを効果的に分解処理でき、装置全体を経済的に製作できる複合型排気ガス処理装置を提供する。
【解決手段】処理対象の排気ガス３のガス流入部１とガス排出部２間に、少なくとも排気ガス３に極性を持たせる高電圧パルス形ガス処理部１０を前段に設置し、この後段に排気ガス３を吸着して酸化分解する触媒形ガス処理部２０を設置して複合型排気ガス処理装置を構成し、排気ガス３を別工程で処理している。高電圧パルス形ガス処理部１０は、線電極１１及び外部電極１２を有し、線電極１１は高電圧パルス電源１３と接続すると共に外部電極１２は接地し、の二つの電極間で高電圧パルス放電を発生させ、排気ガスに極性を持たせる。触媒形ガス処理部２０は、排気ガス流路の部分に複数枚の光触媒部２２を配置し、光触媒部２２に接続して直流を印加する直流電源２４と、光触媒を活性化させる紫外線灯２５を有している。 （もっと読む）

細くて長い管腔、可撓性もしくは剛性を有する誘電性の管、筒体、または別の中空体（以下では管と呼ぶ）内で、減圧、常圧、または過圧範囲内で物理的にプラズマを発生させる装置及び方法であって、これらの管の内壁またはプロセス媒体自体の洗浄、活性化、コーティング、修飾、及び生物学的浄化（殺菌、消毒、滅菌）のために、ガスもしくはガス混合物、１つもしくは複数の流体、気泡を含む流体、流体とガスの混合物、エアロゾル、及び／または泡（以下ではプロセス媒体と呼ぶ）で部分的にまたは完全に管を満たすか、またはそれらを管に流すことを特徴とする。この装置は、高圧供給機構と、プロセス媒体供給機構と、少なくとも１つの導電性接地電極と、少なくとも１つの導電性高圧電極とを含み、どちらの電極も管の壁内に埋め込まれている。 （もっと読む）

【課題】誘導プラズマを安定化させ、有機ハロゲン化合物の安定した分解が可能な有機ハロゲン化合物の分解装置を提供する。
【解決手段】放電管１３内に供給した有機ハロゲン化合物を誘導プラズマを用いて分解する分解装置１０は、有機ハロゲン化合物と水蒸気の混合ガスを内周面に沿って旋回流にして噴出する第１の噴出孔１８が内周面に形成された第１のガス吹込みリング１９と、第１のガス吹込みリング１９の上方に配置され、有機ハロゲン化合物と水蒸気の混合ガスを内周面に沿って旋回流にして噴出する第２の噴出孔２０が内周面に形成された第２のガス吹込みリング２１と、第２のガス吹込みリング２１の上方に配置され第２のガス吹込みリング２１の上端をシールすると共に、第２のガス吹込みリング２１内を貫通し、先端部が第１のガス吹込みリング１９の内孔の上部位置まで達する断面円形の円柱部２２を備えたシール部材２３とを有する。 （もっと読む）

【課題】少ないエネルギーで溶液中に溶解している媒質を改質することのできる改質装置を提供する。
【解決手段】光起電力を用いて溶液を電気分解し、溶液中に気泡を発生させる気泡生成部１０と、気泡内にプラズマを生成するプラズマ生成部２０とを備え、プラズマ生成後の上記気泡内の構成粒子によって媒質を改質させる。 （もっと読む）

【課題】プラズマ成膜を行う際、成膜用原材料を効率よく使用して材料コストの低廉化及び省資源化を図る。
【解決手段】プラズマ用ノズル１６と、基材１０の成膜部位１２との間に、整流用治具１４を配置する。この整流用治具１４には、プラズマ供給路２０と、原材料供給路２２と、これらプラズマ供給路２０と原材料供給路２２が合流した成膜用合流路２４と、成膜部位１２を通過したプラズマ放電ガス及び未反応の原材料を排出するための排出路２６と、排出路２６中の未反応の原材料をプラズマ供給路２０に戻すための回収路２８とが形成される。プラズマ放電ガスとともに排出路２６の立ち上がり通路３４に流通した未反応の原材料は、冷却管３８を流通する冷却媒体によって冷却されることで凝縮し、液相となって回収路２８から成膜用合流路２４の鉛直通路３０に導入される。その後、プラズマ放電ガスによって揮発・再活性化された原材料は、成膜部位１２に再供給される。 （もっと読む）

【課題】電極を製造するために高価な製造技術を必要とせず、従来のシステムの効率を改善させる動電空気搬送調節装置を提供する。好ましくは、そのような調節装置は電極の第３アレイを必要とすることなく有効に機能する。さらに、そのような調節装置は、例えば、周囲の環境からにおいを除去し、発生する安全な量のオゾンのユーザの選択を可能にする。
【解決手段】動電静電空気調節装置は、イオンと安全な量のオゾンとで空気を動電学的に動かす自給式イオン発生器を含んでいる。イオン発生器は高電圧パルス発生器を含み、その出力パルスは第１と第２電極アレイの間で結合されている。好ましくは、第１アレイは、中空のＵ形状の電極を備えた第２アレイからかなり離れて間隔を空けた１以上のワイヤ電極を備えている。好ましくは、第１アレイの電極の有効領域に対する第２アレイの電極の有効領域の割合は、約１５：１、好ましくは、約２０：１である。 （もっと読む）

【課題】耐久性を向上させた排気浄化装置を提供する。
【解決手段】平板状の第１の導電体（３１ａ）と、第１の誘電体（３２ａ）及び第２の誘電体（３２ｂ）に挟持された平板状の第２の導電体（３１ｂ）と、が交互に積層されると共に、第１の導電体（３１ａ）と第１の誘電体（３２ａ）及び第２の誘電体（３２ｂ）と、の間に排気通路（３６）が形成され、第１の誘電体（３２ａ）及び第２の誘電体（３２ｂ）は、第１の導電体（３１ａ）と向かう面に、第１の導電体（３１ａ）との所定の距離を保って支持する半球形状の突起部（３４）を分散して配置し、第１の導電体（３１ａ）と第２の導電体（３１ｂ）との間に電流を印可することによって、前記排気通路にプラズマ場を生成する。 （もっと読む）

【課題】 非平衡プラズマによる有機廃液の分解処理に係り、二酸化炭素を排出することのない環境保全に好適な有機廃液の処理装置および処理方法を提供する
【解決手段】 マイクロ波をプラズマ反応管５内に照射し、反応ガスとして供給される窒素またはアルゴンをプラズマ化させる。マイクロ波の導波管２には反射部材１８ａが具備されており、マイクロ波をこの反射部材１８ａに照射することによりマイクロ波を反射させて、導波管２と一定距離離れた位置にマイクロ波を照射して有機廃液を分解処理するように構成した。 （もっと読む）

【課題】 非平衡プラズマを用いた有機物質の分解処理方法であって、有機物質を高効率で可燃ガスに改質することのできる有機物質の処理方法を提供する
【解決手段】 マイクロ波をプラズマ反応管内に照射し、反応ガスとして供給される酸素をプラズマ化させた状態で、バイオマスまたは有機廃液を投入して、当該バイオマスまたは有機廃液を分解処理する方法において、前記反応ガスとして供給する酸素の量をバイオマスまたは有機廃液が当量反応に満たない供給量とすることにより、分解後の生成物の大半を可燃ガスとする。 （もっと読む）