セラミック配線基板の製造方法および印刷装置ならびに発光体
【課題】セラミックグリーンシートとスクリーンマスクとの位置合わせが正確に行え、スクリーン印刷が適正でき且つ該位置合わせに用いる光源が汚れないセラミック配線基板の製造方法を提供する。
【解決手段】テーブル１の上面に、シート状で通し孔を有する発光体１０を載置する第１ステップと、発光体１０の上方に、グリーンシート２０を載置し、且つ位置合わせを行う第２ステップと、グリーンシート２０の上面に、スクリーンマスクを載置する第３ステップと、スクリーンマスクとグリーンシート２０の位置合わせを行う第４ステップと、を含むセラミック配線基板の製造方法。
【解決手段】テーブル１の上面に、シート状で通し孔を有する発光体１０を載置する第１ステップと、発光体１０の上方に、グリーンシート２０を載置し、且つ位置合わせを行う第２ステップと、グリーンシート２０の上面に、スクリーンマスクを載置する第３ステップと、スクリーンマスクとグリーンシート２０の位置合わせを行う第４ステップと、を含むセラミック配線基板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、セラミック配線基板の製造方法、および該方法に用いる印刷装置、ならびに該装置と上記方法とに用いる発光体に関する。
【背景技術】
【０００２】
セラミック配線基板を製造する場合、セラミックグリーンシートの表面に所望パターンの導体層を形成するためのスクリーン印刷による印刷工程が行われる。
上記スクリーン印刷工程において、上面に上記グリーンシートを配置する印刷ステージと、前記グリーンシートの上方に配置されるスクリーンマスクとの位置合わせ（調整）を、短時間で正確に行うため、以下のような提案が成されている。
全体が箱形状を呈する印刷ステージの内側の底面に光源を配置し、該印刷ステージの開口部に半透明の樹脂板と、表面に導体用パターンが形成されたガラス製の基板とを配置し、且つこれらの上方にスクリーンマスクを配設すると共に、上記光源から上向きに照射された光が、上記基板の導体用パターンと上記スクリーンマスクのスクリーンとによって、該スクリーンマスクの上方に漏れない位置で、該スクリーンマスクと上記印刷ステージとの位置を固定する、印刷マスク位置合わせ方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
前記印刷マスク位置合わせ方法を用いる場合、前記スクリーンマスクと印刷ステージとを位置固定した後、前記樹脂板および基板を除去し且つそれらの跡に、貫通孔を有する治具(ペイント板)と、印刷すべきセラミックグリーンシートとを配置して、上記スクリーンマスクの上方から導電性ペーストを上記グリーンシートの表面に対してスクリーン印刷することになる。しかし、上記グリーンシートを貫通するスルーホールが形成され且つ該スルーホール内にも導電性ペーストを充填するため、前記印刷ステージの内側を減圧状態にすると、上記導電性ペーストの一部が当該印刷ステージの内側に落下し、該内側の底面に位置している前記光源に付着する。そのため、かかる汚れた光源から照射される光が部分的に遮られるので、これ以降におけるスクリーンマスクと印刷ステージとの位置合わせが不正確になる、という問題があった。しかも、汚れた光源を清掃ないし洗浄するメンテナンスが必要となるため、生産性の低下を招く、という問題もあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平８−１１８５９２号公報 （第１〜３頁、図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、背景技術で説明した問題点を解決し、セラミックグリーンシートの表面に所要パターンの導電性ペーストを印刷し且つ該グリーンシートのスルーホールに上記ペーストを充填する印刷工程を含み、上記グリーンシートとスクリーンマスクとの位置合わせが正確に行え、上記印刷が適正でき且つ該位置合わせに用いる光源が汚れないセラミック配線基板の製造方法、これに用いる印刷装置、および上記光源に用いる耐久性に優れた発光体を提供する、ことを課題とする。
【課題を解決するための手段および発明の効果】
【０００６】
本発明は、前記課題を解決するため、内部が減圧可能なテーブルの上に取り外し可能なシート状の発光体を配置し、その上方に上記テーブルと位置合わせすべきセラミックグリーンシートおよびスクリーンマスクを配置する、ことに着想して成されたものである。
即ち、本発明によるセラミック配線基板の製造方法（請求項１）は、セラミックグリーンシートの表面に所要パターンにて導電性ペーストを印刷し、且つ上記グリーンシートを貫通するスルーホールに導電性ペーストを充填する印刷工程を含むセラミック配線基板の製造方法であって、上記印刷工程は、減圧用空間と該減圧用空間に連通する通気孔とを有するテーブルの上面に、シート状で且つ通し孔を有する発光体を載置する第１ステップと、該発光体の上方に、予め所定位置にスルーホールおよび位置決め孔が形成された上記グリーンシートを載置し、且つ該グリーンシートと上記テーブルとの平面視におけるＸ−Ｙ方向と回転（θ）方向と少なくとも一方の位置合わせを行って、上記グリーンシートをテーブルの上方における所定の位置に配置する第２ステップと、上記減圧用空間を減圧状態として、上記発光体および上記グリーンシートをテーブル上に固定した後、該グリーンシートの上面に、マスク部とスクリーン部と位置決め孔とを有するスクリーンマスクを載置する第３ステップと、上記減圧用空間を減圧状態として、上記発光体を発光させながら、上記スクリーンマスクの位置決め孔と上記グリーンシートの位置決め孔とが一致するまで、スクリーンマスクの平面視におけるＸ−Ｙ（縦横）方向および回転（θ）方向の少なくとも一方向の位置合わせを行う第４ステップと、上記減圧用空間が大気圧の状態で、上記テーブルと上記グリーンシートとの間から上記発光体を除去する第５ステップと、上記減圧用空間を減圧状態として、上記位置合わせされたスクリーンマスクのスクリーン上に導電性ペーストを供給して、上記グリーンシートのスルーホール内に導電性ペーストを充填し、且つ該グリーンシートの表面に導電性ペーストを印刷する第６ステップと、を含む、ことを特徴とする。
【０００７】
これによれば、前記第２ステップにおいて、テーブルとグリーンシートとの位置合わせが成され、前記第４ステップにおいて、発光体を発光させつつ、上記グリーンシートとスクリーンマスクとの位置合わせが成されると共に、第５ステップにおいて、上記発光体をテーブル上から除去した後、第６ステップにおいて、上記グリーンシートの表面とスルーホールとに導電性ペーストが印刷ないし充填される。そのため、上記２つの位置合わせがそれぞれ正確に行え、且つ上記印刷や充填が適正できると共に、上記グリーンシートとスクリーンマスクとの位置合わせに用いた発光体が汚れない。従って、第１〜第６ステップを正確且つ迅速に行え、前記グリーンシートに導電性ペーストを適正に印刷ないし充填できると共に、発光体を長期間にわたり繰り返し使用でき、そのメンテナンスも低減できる。
【０００８】
尚、前記セラミックグリーンシートは、アルミナ、窒化アルミニウム、ムライトなどのセラミック成分からなるか、あるいは、当該セラミックを主成分するグリーンシート、あるいは、セラミック成分とガラス成分とを含むものである。
また、前記導電性ペースト（導電性インク）は、Ｗ、Ｍｏ、Ａｇ、あるいはＣｕなどの金属粉末、バインダ樹脂、および溶剤などを含む。
更に、前記第２ステップにおける前記グリーンシートとテーブルとの位置合わせにおいて、該テーブルの上方における所定の位置とは、例えば、該テーブルの上面の中心と上記グリーンシートの中心とが一致し、且つ該上面の各辺とこれに隣接するグリーンシートの各辺とが平行となる位置が挙げられる。
また、前記第２ステップにおける前記グリーンシートとテーブルとの位置合わせは、該テーブルに対し、平面視で上記グリーンシートをＸ−Ｙ（横・縦）方向に移動させる方法か、あるいは、当該グリーンシートのある位置を中心として右回りまたは左回りに回転（θ）方向に回転させる方法の何れか一方、更には、上記Ｘ−Ｙ方向および回転（θ）方向の双方を併用する形態も含まれる。
【０００９】
更に、前記第４ステップにおいて、前記グリーンシートの位置決め孔とスクリーンマスクの位置決め孔とが一致するとは、内径が共通する２つの位置決め孔の周縁が平面視で重複ないしほぼ重複するか、あるいは、内径が大小と相違する２つの位置決め孔の中心同士が一致、ないしほぼ一致することを指している。
また、前記第５ステップにおいて、前記テーブルとグリーンシートとの間から発光体を除去する場合、例えば、一旦該グリーンシートを後述する印刷装置中の搬送手段により若干持ち上げ、上記発光体が除去された後、前記搬送手段を下降させて、上記グリーンシートをテーブルの上面に固定することで行っても良い。
加えて、前記第６ステップにおいて、前記グリーンシートのスルーホールに導電性ペーストを充填した場合、前記テーブルの減圧空間側に面する上記グリーンシートの裏面で且つ上記スルーホールの周囲にも、上記空間が減圧状態になることよって、導電性ペーストの一部がほぼ円盤状に突出して形成される。
【００１０】
また、本発明には、前記第２ステップにおける前記グリーンシートとテーブルとの位置合わせは、該テーブルの上面から昇降するか、あるいは、該テーブルの上面に立設され、上記グリーンシートの位置決め孔ごとに進入する複数のピンにより行われる、セラミック配線基板の製造方法（請求項２）も含まれる。
これによれば、上記テーブルの上面から上昇した複数のピン、あるいは該上面に立設された複数のピンが、上記グリーンシートにおける複数の位置決め孔に個別に進入することで、当該テーブルとグリーンシートとの位置合わせを、正確且つ確実に行うことができる。
【００１１】
更に、本発明には、前記第２ステップにおける前記グリーンシートとテーブルとの位置合わせは、該テーブルの上面側から昇降するか、あるいは、該テーブルの上面に立設され、且つ上記グリーンシートを平面視が矩形の上面に貼り付けた金属枠における四辺の外側面に対し、接触ないし当接する複数のピンにより行われる、セラミック配線基板の製造方法（請求項３）も含まれる。
これによれば、上記テーブルの上面から上昇した複数のピン、あるいは該上面に立設された複数のピンが、上記グリーンシートを上面に貼り付けた金属枠の各辺の外側面に個別に接触ないし当接することで、テーブルとグリーンシートとの位置合わせを、正確且つ迅速に行うことができる。しかも、第２ステップにおいて、グリーンシートが不用意に損傷する事態を防ぐことができる。
尚、前記テーブルの上面から昇降するピンあるいは立設するピンと、前記グリーンシートの位置決め孔との位置合わせにおいて、更に画像処理を用いても良い。
【００１２】
加えて、本発明には、前記第２ステップにおける前記グリーンシートとテーブルとの位置合わせは、該グリーンシートとテーブルとの平面視による画像処理によって行われる、セラミック配線基板の製造方法（請求項４）も含まれる。
これによれば、上記グリーンシートとテーブルとの位置合わせを、これらと非接触の画像処理によって正確且つ迅速に行えると共に、グリーンシートの不用意な損傷も防止できる。
尚、上記画像処理は、例えば、前記グリーンシートとテーブルとの隣接する各辺の付近をＣＣＤカメラで撮像し、かかる各辺相互間における幅寸法および平行度を、所定のしきい値で区分することで、前記グリーンシートとテーブルとの位置合わせの是非を検出する方式が挙げられる。
【００１３】
また、前記第４ステップにおける前記グリーンシートとスクリーンマスクとの位置合わせにおいても、該グリーンシートとスクリーンマスクとの画像処理を用いても良い。
更に、前記第６ステップの後に、前記スクリーンマスクを印刷された前記グリーンシートから除去し、且つ該グリーンシートを前記テーブルの上面から取り出す第７ステップを有する、セラミック配線基板の製造方法も本発明に含まれ得る。
これによる場合、適正の印刷された未焼成の配線層が表面に形成され、且つ各スルーホール内に未焼成のビア導体が形成されたグリーンシートが得られる。
また、上記第７ステップの後に、上記グリーンシートを含む複数のグリーンシートを積層する積層工程と、得られたグリーンシート積層体を焼成する焼成工程とを有するセラミック配線基板の製造方法も本発明に含まれ得る。
加えて、前記グリーンシートが多数個取りの形態の場合には、上記焼成工程の後において、個々の配線基板に分割する工程が更に行われる。
【００１４】
一方、本発明の印刷装置（請求項５）は、セラミックグリーンシートの表面に所要パターンにて導電性ペーストを印刷し、且つ上記グリーンシートを貫通するスルーホールに導電性ペーストを充填する印刷工程に用いる印刷装置であって、減圧用空間と該減圧用空間と連通する通気孔とを有するテーブルと、該テーブルの上面にシート状で且つ通し孔を有する発光体を載置し、且つ該発光体を上記テーブルの上面から除去する移載手段と、前記発光体の上方に、所定位置にスルーホールと位置決め孔とが形成された上記グリーンシートを配置し、且つ印刷後の該グリーンシートを上記発光体の上方から取り出す搬送手段と、上記テーブルと上記グリーンシートとの平面視のＸ−Ｙ方向および回転（θ）方向の少なくとも一方向の位置決めを行う位置決め手段と、上記グリーンシートの上面に、所定パターンのマスク部とスクリーン部と位置決め孔とを有するスクリーンマスクを載置し、且つ該スクリーンマスクを印刷後のグリーンシートの上面から取り外す搬送手段と、上記グリーンシートの上面に載置された上記スクリーンマスクの位置決め孔と、該グリーンシートの位置決め孔との平面視おける位置が重なり、上記発光体の光が透過する位置となるまで、上記スクリーンマスクの平面視のＸ−Ｙ方向および回転（θ）方向の少なくとも一方向の位置を調整する位置決め手段と、を含む、ことを特徴とする。
【００１５】
これによれば、前記製造方法の印刷工程における第１〜第５ステップを、自動的にして正確且つ迅速に行うことができる。しかも、発光体が導電性ペーストにより汚れないので、前記第１〜第６ステップを繰り返し連続して行うこともできるので、セラミック配線基板の生産性を高めことに寄与し得る。
尚、前記移載手段、搬送手段、および位置調整手段は、同じ装置あるいは治具を兼用するにようにしても良い。
また、前記印刷装置の上方には、前記グリーンシートの位置合わせ孔とスクリーンマスクの位置合わせ孔との一致を検出する画像処理手段を配設しても良い。
【００１６】
更に、本発明には、前記テーブルには、該テーブルと前記グリーンシートとの平面視におけるＸ−Ｙ方向および回転（θ）方向の少なくとも一方向の位置合わせを行うべく、上記テーブルの上面から昇降し、あるいは該上面に立設された複数のピンが配設されている、印刷装置（請求項６）も含まれる。
これによれば、前記第２ステップにおけるテーブルとグリーンシートとの位置合わせを、正確且つ容易に行える。
尚、上記ピンには、上記グリーンシートの位置合わせ孔に最初に進入する上端側を先細状のほぼ円錐形とした形態が推奨される。
また、前記テーブルの減圧用空間の底部には、余剰分の前記導電性ペーストを受ける溜まり部が配設されている。
これによる場合、前記第５ステップで発光体がテーブル上から除去された後、前記第６ステップにおいて、導電性ペーストの一部が前記グリーンシートのスルーホールから上記テーブルの減圧用空間側への吸引されても、上記発光体を汚すことなく、当該減圧用空間の底部に捕集することができる。
【００１７】
更に、本発明の発光体（請求項７）は、印刷すべきセラミックグリーンシートと、マスク部およびスクリーン部を有するスクリーンマスクとの位置合わせを行うための発光体であって、側面視が薄肉のシート状であり、平面視で印刷すべき上記グリーンシートの形状に近似した外形と、かかる外形の内側に通し孔とを有し、内部に面状発光素子が封入されている、ことを特徴とする。
これによれば、前記第２，３ステップにおいて、前記テーブルとグリーンシートとの狭い空間に容易に配置でき、且つ前記第４ステップでの位置合わせを正確に行えると共に、前記第５ステップでテーブル上から容易に除去できる。従って、前記製造方法を正確且つ確実に実行することができる。しかも、第６ステップの印刷で用いる導電性ペーストによる汚れを受けないので、長期間に渉り安定して使用でき、且つメンテナンスもほぼ皆無にし得る。
【００１８】
加えて、本発明には、前記発光体は、前記グリーンシートと該グリーンシートが上面に配置されるテーブルとの位置合わせに用いる昇降可能なピンが通過する透孔または切り欠きを有している、発光装置（請求項８）も含まれる。
これによれば、前記第２ステップにおけるテーブルとグリーンシートとの位置合わせ時に、テーブル側から上昇する複数のピンが、隙間を置いた複数の透孔または切り欠きをルーズに通過するので、上記位置合わせに支障を生じることを防止できる。
尚、前記面状発光素子は、エレクトロルミネッセンス（以下、有機ＥＬという）が好適に用いられる。上記発光素子は、発光層が有機化合物からなり、該有機化合物中に注入された電子と正孔との再結合によって生じた励起子（エキシオン）により発光する。但し、上記面状発光素子として、液晶を用いても良い。
また、上記面状発光素子は、平面視の外形が矩形（正方形または長方形）である発光体の四辺に沿った平面視が四角枠形状、上記外形の三辺に沿った平面視がコ字形形状、あるいは、四辺ごとにおけるグリーンシートやスクリーンマスクの各位置合わせ孔と同じ位置ごとに複数の斑点状に配置した形態としても良い。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の製造方法などに用いるテーブルを示す垂直断面図。
【図２】本発明の製造方法などに用いる発光体を示す斜視図。
【図３】本発明の製造方法の印刷工程における第１ステップを示す概略図。
【図４】上記製造方法に用いるセラミックグリーンシートを示す斜視図。
【図５】上記製造方法の印刷工程における第２ステップを示す概略図。
【図６】図５中の一点鎖線部分Ｘ１，Ｘ２の拡大図。
【図７】上記製造方法の印刷工程における第３ステップを示す概略図。
【図８】上記製造方法の印刷工程における第４ステップを示す概略図。
【図９】上記製造方法の印刷工程における第５ステップを示す概略図。
【図１０】上記製造方法の印刷工程における第６ステップを示す概略図。
【図１１】上記第６ステップを示す部分拡大図。
【図１２】上記第６ステップ後の上記グリーンシートの状態を示す概略図。
【図１３】前記グリーンシートを金属枠に貼り付けた状態を示す斜視図。
【図１４】上記金属枠付きグリーンシートを用いた第２ステップの部分拡大図。
【図１５】上記金属枠付きグリーンシートを用いた第４ステップの部分拡大図。
【図１６】異なる形態のテーブルを用いた第２ステップを示す部分拡大図。
【図１７】更に異なる形態のテーブルを用いた第２ステップを示す部分拡大図。
【図１８】上記テーブルを用いた第４ステップを示す概略図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下において、本発明を実施するための形態について説明する。
図１は、本発明の製造方法などに用いるテーブル１を示す垂直断面図である。
該テーブル１は、図１に示すように、金属板を切断・加工し、且つ組み立てたもので、四辺の側壁２と、該側壁２の底面に位置し且つ平面視が長方形（矩形）の底壁３と、該底壁３および上記四辺の側壁２に囲まれた減圧用空間４とを備えている。図１で右側に位置する側壁２の底壁３側には、上記空間４と図示しない真空ポンプとの間を接続し、該空間４を大気圧と減圧状態とにするための通気管５が貫通している。また、四辺の側壁２の囲まれた上記減圧用空間４の開口部には、平面視で複数の通気孔７を格子状に有し、且つ該テーブル１の上面２ａの一部を構成する格子枠６が配設されている。複数の通気孔７は、上記減圧用空間４と連通している。
更に、上記テーブル１の上面２ａでもある四辺の側壁２の上端面には、一対ずつの垂直な縦穴８が開口し、該縦穴８ごとには、上端側を円錐形状としたピン９が昇降可能に収納され、該ピン９は、図示しない駆動手段によって縦穴８からテーブル１の上面２ａ側へ出没する。
【００２１】
図２は、本発明の製造方法などに用いる発光体１０を示す斜視図である。
発光体１０は、図２に示すように、側面視の厚みが約０．５ｍｍの薄肉のシート状であり、表面と裏面とを形成する上下一対の樹脂（絶縁）フイルム１１，１１間に、面上発光素子（有機ＥＬ）１２を封入したものである。更に、該発光体１０は、平面視の外形が前記テーブル１の上面２ａと相似形の長方形（矩形）を呈し、内側に一対の細長い長方形の通気孔１３を有している。そのため、上記発光素子１２は、平面視でほぼ日の字形状を呈し、且つ一対の通気孔１３に挟まれた橋形接続部１４を含んでいる。更に、発光体１０の外形に沿った上記発光素子１２の各辺には、前記ピン９の通過を許容する一対ずつの透孔１５が開設されている。
図２に示すように、発光体１０のコーナ付近には、上記発光素子１２に接続する一対の電極を内蔵したプラグ１６が設けられ、該プラグ１６からは、図示しないスイッチを介して、外部電源に接続するコード（導線）１７が延びている。そして、上記スイッチを投入すると、上記発光素子１２の発光層を構成する有機化合物中に注入されている電子と正孔とが再結合することにより、生じる励起子によって、図２で上方の表面側に向かって、光（Ｌ）が上記発光素子１２の全面から上向きに均一に発光される。尚、前記透孔１５は、切り欠きとしても良い。
【００２２】
図３は、本発明の製造方法の印刷工程における第１ステップＳ１の概略を示す。
図３に示すように、吸気管を兼ねる支柱１９の下端ごとに取り付けた複数の吸盤（移載手段）１８に、前記発光体１０の表面を吸着して、該発光体１０をテーブル１の格子枠６を含む上面２ａに載置した（第１ステップＳ１）。この際、発光体１０の各透孔１５の真下付近に、テーブル１側のピン９を収納した縦穴８が個別に位置するように、上記操作を行った。その後で、複数の上記吸盤１８を発光体１０の表面から除去した。
【００２３】
図４は、上記発光体１０の表面上に配置すべきセラミックグリーンシート（以下、単にグリーンシートという）２０の斜視図である。該グリーンシート２０は、アルミナを主成分とし、図４に示すように、厚みが約８０〜７５０μｍで且つ平面視の外形が長方形を呈し、平面視で縦横に複数のスルーホール（ビアホール）２１を有する製品単位の複数組の製品エリア２２と、これらの周囲を囲む矩形枠状の耳部（捨て代部）２５とを備えている。耳部２５には、当該グリーンシート２０の外形に沿って各辺ごとに３個の位置決め孔２４が貫通している。
尚、上記スルーホール２１の内径は、約５０〜６００μｍである。また、複数組の製品エリア２２同士の間、および該エリア２２と耳部２５との間は、図４中において、破線で示す架空の切断面２３によって区画されている。
【００２４】
次に、前記グリーンシート２０を、前記テーブル１の上面２ａに載置された発光体１０の上方に載置し且つ位置合わせを行う第２ステップＳ２を行った。
先ず、図４中で示すように、グリーンシート２０の表面における左右一対の短辺付近に、複数の吸気管を兼ねる支柱２８の下端に取り付けた細長い２つの吸盤（搬送手段）２６を吸着して、当該グリーンシート２０を吸着して持ち上げ、水平方向に沿って搬送した後、図５に示すように、発光体１０の上方に載置した。
【００２５】
引き続いて、図５中の一点鎖線部分Ｘ１，Ｘ２の部分拡大図である図６に示すように、発光体１０の上に載置されたグリーンシート２０の表面における中心付近の位置に、前記同様で且つ回転可能な支柱３１の下端に取り付けた吸盤（位置決め手段）３０を吸着し、平面視で当該位置を中心として右回りまたは左回りに回転（θ）方向に回転させることで、該グリーンシート２０をテーブル１の上面２ａにおける所定の位置に位置合わせをした（第２ステップＳ２）。
あるいは、前記テーブル１の周辺に沿って配置され、且つ水平方向に沿って進退する複数のロッド３３の先端に個別に取り付けた断面Ｌ形のプッシャ（位置決め手段）３４の縦片を、上記グリーンシート２０の側面に当接して、該グリーンシート２０を平面視でＸ−Ｙ方向に沿って移動させることで、該グリーンシート２０をテーブル１の上面２ａにおける所定の位置に位置合わせをした（第２ステップＳ２）。
尚、第２ステップＳ２では、少なくとも上記２つの位置合わせの一方を行った。
また、図６以降の図面では、作図上の制約から、テーブル１側の１つの通気孔７に、グリーンシート２０の１つのスルーホール２１が位置することとした。
【００２６】
その結果、図６に示すように、発光体１０の各透孔１５の上方に、グリーンシート２０の各位置決め孔２４が連通し、且つ該位置決め孔２４をテーブル１側のピン９の真上の位置に配置できた。かかる状態で、各ピン９を上昇させ、発光体１０の透孔１５を通過させ、更にグリーンシート２０の位置決め孔２４内に進入させて、発光体１０とグリーンシート２０とを、テーブル１上に位置固定した。
尚、発光体１０における透孔１５のない位置の上方にも、グリーンシート２０の各辺に１個〜数個の位置決め孔２４が位置していた。
また、図６に示すように、格子枠６は、側壁２の段部２ｂに取り付けられた別体の格子枠板６ａとしても良い。
更に、図６の上方に示すように、テーブル１の前記縦穴８あるいはピン９と、グリーンシート２０の位置決め孔２４との付近を、これらの上方に配置したＣＣＤカメラ（画像処理手段）Ｃによって撮像し、例えば、得られた画像における縦穴８と位置決め孔２４との重複度によって、テーブル１に対するグリーンシート２０の前記位置合わせ（第２ステップＳ２）を行うようにしても良い。
【００２７】
次いで、図７中に示すように、通気管５からテーブル１の減圧用空間４内のエアを排出し、当該空間４を減圧状態（約０．３気圧）として、上記グリーンシート２０の上に、前記同様の複数の吸盤（搬送手段）３０によって吸着され且つ搬送されたスクリーンマスク３６を載置した（第３ステップＳ３）。該スクリーンマスク３６は、所要パターンのスクリーン部３８と、これらの間に位置するマスク部３７と、四辺の外側面に沿って設けた複数の位置決め孔３９とを有している。
次に、図８に示すように、減圧用空間４を減圧状態に保ち、且つ発光体１０から光Ｌを上向き発光させながら、スクリーンマスク３６の中心付近に、支柱が回転可能な吸盤（位置決め手段）３０を吸着し、平面視で当該位置を中心として右回りまたは左回りに回転（θ）方向に回転させて、前記ピン９が下方にない位置合わせ孔２４，３９が一致するまでグリーンシート２０とスクリーンマスク３６との位置合わせを行った（第４ステップＳ４）。
あるいは、上記スクリーンマスク３６の周囲に沿って配置され、且つ水平方向に沿って進退する複数のロッド３３の先端に個別に取り付けた断面Ｌ形のプッシャ（位置決め手段）３４の縦片を、上記スクリーンマスク３６の側面に当接して、該スクリーンマスク３６を平面視でＸ−Ｙ方向に沿って移動させて、前記ピン９が下方にない位置合わせ孔２４，３９が一致するまでグリーンシート２０とスクリーンマスク３６との位置合わせを行った（第４ステップＳ４）。
尚、第４ステップＳ４は、少なくとも上記２つの位置合わせの一方を行った。
また、第４ステップＳ４を、前記ＣＣＤカメラＣを用いる画像処理による位置合わせによって行っても良い。
更に、前記ピン９を上昇させた後、テーブル１の前記空間４を大気圧に戻した。
【００２８】
その結果、図９に示すように、グリーンシート２０の各辺における位置決め孔２４の上に、スクリーンマスク３６の各位置決め孔３９が同軸心で連通すると共に、テーブル１側から上記位置決め孔２４内まで既に上昇していた各ピン９が、スクリーンマスク３６の各位置決め孔３９に個別に進入して、当該スクリーンマスク３６を、グリーンシート２０とテーブル１とに対して位置合わせできた。
次に、図１０に示すように、各ピン９をテーブル１の縦穴８内に下降させ、且つスクリーンマスク３６を直下のグリーンシート２０と共に前記吸盤３０に吸着した状態で若干持ち上げた状態として、発光体１０を上記グリーンシート２０とテーブル１の上面２ａとの間から外側に除去した（第５ステップＳ５）。
具体的には、図１０内の一点鎖線部分Ｙで示すように、上下一対の薄い摘み片を含むマニプレータ（搬送手段）ｍにより発光体１０の一辺を摘み、そのまま水平方向に沿って、該発光体１０をテーブル１の上面２ａから外側に取り出した。
【００２９】
引き続き、前記吸盤３０を下降させて、スクリーンマスク３６およびグリーンシート２０をテーブル１の上面に配置した後、再度各ピン９を上昇させ、スクリーンマスク３６およびグリーンシート２０の位置決め孔２４，３９に貫通させて、テーブル１に対し、グリーンシート２０とスクリーンマスク３６とを固定した。
次いで、図１１中の矢印で示すように、再度通気管５からテーブル１の減圧用空間４内のエアを排出して、当該空間４を前記同様の減圧状態とし、スクリーンマスク３６の表面に沿って移動するスキージｓにより、導電性ペーストＰを押圧しつつ各スクリーン部３８に供給して、グリーンシート２０の表面に対し該スクリーン部３８に相似形のパターンで印刷した。同時に、導電性ペーストＰの一部を、グリーンシート２０のスルーホール２１内に充填した（第６ステップＳ６）。
【００３０】
具体的には、図１２右中の一点鎖線部分Ｚで例示すように、スクリーンマスク３６のスクリーン部３８の直下で、且つグリーンシート２０のスルーホール２１が位置する部分において、導電性ペーストＰは、該スクリーンマスク３６の表面に沿って移動するスキージｓにより下向きに押圧された。
そのため、導電性ペーストＰは、図示のように、グリーンシート２０の表面にスクリーン部３８と相似形のパターンで印刷された未焼成の配線層４０と、スルーホール２１内に充填された円柱形で未焼成のビア導体４２と、その下端からグリーンシート２０の裏面にほぼ円盤状に突出した未焼成の接続部４３となった。
【００３１】
その結果、前記第６ステップＳ６が施された後では、図１２に示すように、グリーンシート２０の表面には、スクリーンマスク３６の各スクリーン部３８に倣ったパターンの前記配線層４０が形成され、各スルーホール２１内には、前記ビア導体４２が形成されていた。尚、テーブル１の底壁３上には、前記減圧用空間４の減圧状態により、グリーンシート２０のスルーホール２１を通過して、当該空間４中に落下した導電性ペーストＰの一部が堆積していた。
そして、図１２に示すように、各ピン９を下降させて縦穴８内に収納し、更に吸引力を調整した前記吸盤３０によってスクリーンマスク３６のみを除去した後、前記配線層４０とビア導体４２とが形成されたグリーンシート２０を、別の吸盤（搬送手段）３０によって吸着して、テーブル１の上面から外部に取り出した（第７ステップ）。
【００３２】
以上のような本発明によるセラミック配線基板の製造方法における印刷工程によれば、第２ステップＳ２でテーブル１とグリーンシート２０との位置合わせがされ、第４ステップＳ４で発光体１０を発光させつつ、グリーンシート２０とスクリーンマスク３６との位置合わせがされると共に、第５ステップＳ５で発光体１０がテーブル１上から除去された後、第６ステップＳ６でグリーンシート２０の表面とスルーホール２１とに導電性ペーストＰが印刷・充填された。そのため、上記２つの位置合わせがそれぞれ正確に行え、且つ上記印刷や充填を適正に行えると共に、グリーンシート２０とスクリーンマスク３６との位置合わせに用いた発光体１０が全く汚れなかった。
従って、第１〜第６ステップＳ１〜Ｓ６を正確且つ迅速に行え、グリーンシート２０に対し導電性ペーストＰを適正に印刷・充填できると共に、発光体１０を長期間にわたり繰り返し使用でき、そのメンテナンスも低減できる
【００３３】
また、前記テーブル１、吸盤（搬送手段）１８，２６，吸盤（搬送手段／位置決め手段）３０、ブッシャ（位置決め手段）３４、およびマニプレータ（搬送手段／位置決め手段）ｍを備えた本発明の印刷装置によれば、印刷工程中の第１〜第５ステップＳ１〜Ｓ５を、自動的にして正確且つ迅速に行えた。しかも、発光体１０が汚れないので、前記第１〜第６ステップＳ１〜Ｓ６を繰り返し連続して行えるので、セラミック配線基板の生産性を向上させることが可能となる。
更に、前記発光体１０によれば、前記テーブル１とグリーンシート２０との狭い空間に容易に配置でき、前記第４ステップＳ４での位置合わせを正確に行えると共に、前記第５ステップＳ５でテーブル上から容易に除去できる。従って、前記製造方法の印刷工程を正確且つ確実に実行し得る。しかも、第６ステップＳ６の印刷に用いる導電性ペーストＰにより汚れないので、長期間に渉り安定して使用でき、且つメンテナンスも皆無し得る。
尚、記第７ステップの後に、前記グリーンシート２０を含む複数のグリーンシート２０を積層する積層工程と、得られたグリーンシート積層体を焼成する焼成工程とが行われる。更に、前記グリーンシート２０のような多数個取りの形態の場合には、上記焼成工程の後に、個別の配線基板ごとに分割する工程が行われる。
【００３４】
以下において、前記製造方法の応用形態について説明する。
図１３は、金属枠４５の上面に前記グリーンシート２０を貼り付けた状態の斜視図である。上記金属枠４５は、例えば、厚さが約０．２〜０．６ｍｍのステンレス鋼板からなり、平面視の外形が上記グリーンシート２０の外形とほぼ相似形の長方形（矩形）で、且つ四辺の側片４７の内側に上記外形とほぼ相似形の角孔４６を有している。上記グリーンシート２０は、四辺の耳部２５が金属枠４５の各側片４７の角孔４６側に密着し、且つ該角孔４６の内側に各辺の耳部２５に形成された複数の位置合わせ孔２４が位置していた。
尚、グリーンシート２０は、含有する溶剤成分を多めにすることで、金属枠４５に容易に貼り付け（接着）られた。その際、グリーンシート２０は、その各辺と金属枠４５の各外側面４８とが平行となるように調整して、該金属枠４５に接着された。
【００３５】
予め、テーブル１の上面２ａに載置された発光体１０の上に、例えば、複数の前記マニプレータｍを用いて、グリーンシート２０を貼り付けた金属枠４５を載置した（第１ステップ）。次いで、図１４に示すように、テーブル１における四辺の側壁２から複数のピン９を上昇させ、該ピン９の周面が金属枠４５の各側片４７の外側面４８に接触ないし当接させることにより、当該テーブル１と上記グリーンシート２０との位置合わせを行った（第２ステップ）。この際、上記ピン９を省略し、例えば、テーブル１の縦穴８あるいは上面２ａの所定位置と、金属枠４５の外側面４８とを、前記ＣＣＤカメラＣにより撮像して画像処理による位置合わせをしても良い。
更に、図１５中の太い矢印で示すように、テーブル１の減圧用空間４を減圧状態として、金属枠４５上に貼り付けられた上記グリーンシート２０の上に、前記同様にスクリーンマスク３６を載置した（第３ステップ）。
【００３６】
次に、テーブル１の減圧用空間４を減圧状態に保ち、図１５に示すように、発光体１０から光Ｌを発光させて、上記グリーンシート２０の位置合わせ孔２４とスクリーンマスク３６の位置合わせ孔３９とが平面視で一致するまで、同図中の細い水平な矢印で示すように、前記吸盤３０およびブッシャ３４を用いた回転方向およびＸ−Ｙ方向の少なくとも一方の位置合わせを行った（第４ステップ）。
これ以降は、前記同様の第５，第６ステップＳ５，Ｓ６を行うことによって、前記図１２に示したように、前記グリーンシート２０の表面に導電性ペーストＰの配線層４０が形成され、該グリーンシート２０の各スルーホール２１に導電性ペーストＰのビア導体４２が充填された。
【００３７】
そして、第７ステップＳ７は、前記グリーンシート２０が貼り付けられた前記金属枠４５の一側片４７の外縁を前記マニプレータｍで掴むことにより行った。
以上のような金属枠４５を用いた応用形態のセラミック配線基板の製造方法によれば、前記製造方法による効果に加え、前記グリーンシート２０を不用意に損傷することなく、印刷工程の各ステップＳ１〜Ｓ６を確実に行うことができる。
尚、前記グリーンシート２０を貼り付けた金属枠４５を、テーブル１と位置合わせする場合、複数のピンの水平断面を楕円形または平板形とし、且つ該ピンの金属枠４５側に上向きに離れるテーパ面を付けた形態とし、かかる複数のピンのテーパ面が金属枠４５の各外側面４８に当接させてから摺動することにより、位置合わせを行うようにしても良い。
【００３８】
図１６は、異なる形態のテーブル１ａを用いた第２ステップＳ２を示す前記同様の部分拡大図である。テーブル１ａは、図示のように、四辺の側壁２ごとの上面２ａに垂直にピン９が立設し、該ピン９は、浅い縦穴８ａに下部を挿入している。前記同様に、発光体１０の各透孔１５に上記ピン９を挿入し、該発光体１０をテーブル１ａの上面２ａに載置した（第１ステップＳ１）後、図１６に示すように、発光体１０の上に載せたグリーンシート２０の位置決め孔２４ごとに上記ピン９が挿入されるまで、前記同様にグリーンシート２０を吸着した吸盤３０を回転させるか、あるいはグリーンシート２０の各辺に対して複数のプッシャ３４を進退させる位置合わせを行って、第２ステップＳを行うことができる。
尚、前記スクリーンマスク３６を上記テーブル１ａとグリーンシート２０と位置合わせを行う第４ステップＳ４も、上記同様にして行うことができる。
【００３９】
図１７は、更に異なる形態のテーブル１ｂを用いた第２ステップＳ２を示す前記同様の部分拡大図である。テーブル１ｂには、図示のように、前記縦穴８やピン９がなく、且つ四辺の側壁２ごとの上面２ａにおける所定の位置に下向きに凹んだ逆円錐形の窪み２ｃが形成されている。
前記同様に、発光体１０の各透孔１５に上記ピン９を挿入し、該発光体１０をテーブル１ａの上面２ａに載置した（第１ステップＳ１）。次いで、図１６に示すように、発光体１０の上に載せたグリーンシート２０の各位置決め孔２４と、テーブル１ｂの上記窪み２ｃとが平面視で互いに同心になるまで、これらの上方に配置したＣＣＤカメラＣにより撮像を検査しながら、前記同様に吸盤３０を回転させるか、あるいは複数のプッシャ３４を進退させる位置合わせを行うことで、前記同様の第２ステップＳ２を行うことができる。尚、上記窪み２ｃに替えて、例えば、平面視が○、◎、△、□、あるいは×などのマークを用いても良い。
【００４０】
図１８は、前記テーブル１ｂを用いた第４ステップＳ４を示す部分拡大図である。前記同様に、スクリーンマスク３６を前記グリーンシート２０の上に載置した（第３ステップＳ３）後、図１８に示すように、減圧用空間４を減圧状態とし、且つ発光体１０を発光させて、グリーンシート２０の各位置決め孔２４と、スクリーンマスク３６の各位置決め孔３９とが平面視で互いに同心になるまで、これらの上方に配置したＣＣＤカメラＣにより撮像を検査しながら、前記同様にスクリーンマスク３６を吸着した吸盤３０を回転させるか、あるいはスクリーンマスク３６の各辺に複数のプッシャ３４を進退させる位置合わせを行うことで、前記同様の第４ステップＳ４を行うことができる。
以上のようなテーブル１ｂおよびＣＣＤカメラＣを用いることで、前記第２，第４ステップＳ２，Ｓ４を非接触によって正確に行えると共に、グリーンシート２０やスクリーンマスク３６の不用意な損傷や劣化を防ぐこともできる。
【００４１】
本発明は、以上において説明した各形態に限定されるものではない。
例えば、本発明に用いるセラミックグリーンシートは、単一のセラミック配線基板を製造するための形態であっても良い。
また、前記テーブル１の底壁３上には、減圧用空間４に開口し、且つ該空間４に落下した導電性ペーストＰを回収するためのトレイをセットしても良い。
更に、前記発光体は、平面視が矩形で且つ表・裏一対の絶縁樹脂シート間において、該シートの外形に沿った複数の位置で、且つ前記グリーンシートの位置合わせ孔とスクリーンマスクの位置合わせ孔とが接近または重なり合う位置に、平面視が円形、楕円形、長円形、四角形（正方形）以上の正多角形を呈する面上発光素子（有機ＥＬまたは液晶）を散点状ないし斑点状に配置したものでも良い。
加えて、前記グリーンシートおよび金属枠は、平面視が正方形で且つ互いに相似形の形状であっても良い。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明によれば、セラミックグリーンシートとスクリーンマスクとの位置合わせが正確に行え、上記グリーンシートへの印刷が適正でき且つ該位置合わせに用いる光源が汚れないセラミック配線基板の製造方法、これに用いる印刷装置、および上記光源に用いる耐久性に優れた発光体を提供することができる。
【符号の説明】
【００４３】
１,１ａ,１ｂ…テーブル
２ａ……………上面
４………………減圧用空間
７………………通気孔
９………………ピン
１０……………発光体
１２……………有機ＥＬ（面状発光素子）
１３……………通し孔
１５……………透孔
１８……………吸盤（移載手段）
２０……………グリーンシート
２１……………スルーホール
２４……………位置決め孔
２６……………吸盤（搬送手段）
３０……………吸盤（位置決め手段／搬送手段）
３４……………プッシャ（位置決め手段）
３６……………スクリーンマスク
３７……………マスク部
３８……………スクリーン部
３９……………位置決め孔
４０……………配線層（導電性ペースト）
４２……………ビア導体（導電性ペースト）
４５……………金属枠
４８……………外側面
Ｓ１〜Ｓ６……第１〜第６ステップ
Ｌ………………光（発光）
ｍ………………マニプレータ（搬送手段／移載手段）
Ｐ………………導電性ペースト
Ｃ………………ＣＣＤカメラ（画像処理手段）
【技術分野】
【０００１】
本発明は、セラミック配線基板の製造方法、および該方法に用いる印刷装置、ならびに該装置と上記方法とに用いる発光体に関する。
【背景技術】
【０００２】
セラミック配線基板を製造する場合、セラミックグリーンシートの表面に所望パターンの導体層を形成するためのスクリーン印刷による印刷工程が行われる。
上記スクリーン印刷工程において、上面に上記グリーンシートを配置する印刷ステージと、前記グリーンシートの上方に配置されるスクリーンマスクとの位置合わせ（調整）を、短時間で正確に行うため、以下のような提案が成されている。
全体が箱形状を呈する印刷ステージの内側の底面に光源を配置し、該印刷ステージの開口部に半透明の樹脂板と、表面に導体用パターンが形成されたガラス製の基板とを配置し、且つこれらの上方にスクリーンマスクを配設すると共に、上記光源から上向きに照射された光が、上記基板の導体用パターンと上記スクリーンマスクのスクリーンとによって、該スクリーンマスクの上方に漏れない位置で、該スクリーンマスクと上記印刷ステージとの位置を固定する、印刷マスク位置合わせ方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
前記印刷マスク位置合わせ方法を用いる場合、前記スクリーンマスクと印刷ステージとを位置固定した後、前記樹脂板および基板を除去し且つそれらの跡に、貫通孔を有する治具(ペイント板)と、印刷すべきセラミックグリーンシートとを配置して、上記スクリーンマスクの上方から導電性ペーストを上記グリーンシートの表面に対してスクリーン印刷することになる。しかし、上記グリーンシートを貫通するスルーホールが形成され且つ該スルーホール内にも導電性ペーストを充填するため、前記印刷ステージの内側を減圧状態にすると、上記導電性ペーストの一部が当該印刷ステージの内側に落下し、該内側の底面に位置している前記光源に付着する。そのため、かかる汚れた光源から照射される光が部分的に遮られるので、これ以降におけるスクリーンマスクと印刷ステージとの位置合わせが不正確になる、という問題があった。しかも、汚れた光源を清掃ないし洗浄するメンテナンスが必要となるため、生産性の低下を招く、という問題もあった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開平８−１１８５９２号公報 （第１〜３頁、図１）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、背景技術で説明した問題点を解決し、セラミックグリーンシートの表面に所要パターンの導電性ペーストを印刷し且つ該グリーンシートのスルーホールに上記ペーストを充填する印刷工程を含み、上記グリーンシートとスクリーンマスクとの位置合わせが正確に行え、上記印刷が適正でき且つ該位置合わせに用いる光源が汚れないセラミック配線基板の製造方法、これに用いる印刷装置、および上記光源に用いる耐久性に優れた発光体を提供する、ことを課題とする。
【課題を解決するための手段および発明の効果】
【０００６】
本発明は、前記課題を解決するため、内部が減圧可能なテーブルの上に取り外し可能なシート状の発光体を配置し、その上方に上記テーブルと位置合わせすべきセラミックグリーンシートおよびスクリーンマスクを配置する、ことに着想して成されたものである。
即ち、本発明によるセラミック配線基板の製造方法（請求項１）は、セラミックグリーンシートの表面に所要パターンにて導電性ペーストを印刷し、且つ上記グリーンシートを貫通するスルーホールに導電性ペーストを充填する印刷工程を含むセラミック配線基板の製造方法であって、上記印刷工程は、減圧用空間と該減圧用空間に連通する通気孔とを有するテーブルの上面に、シート状で且つ通し孔を有する発光体を載置する第１ステップと、該発光体の上方に、予め所定位置にスルーホールおよび位置決め孔が形成された上記グリーンシートを載置し、且つ該グリーンシートと上記テーブルとの平面視におけるＸ−Ｙ方向と回転（θ）方向と少なくとも一方の位置合わせを行って、上記グリーンシートをテーブルの上方における所定の位置に配置する第２ステップと、上記減圧用空間を減圧状態として、上記発光体および上記グリーンシートをテーブル上に固定した後、該グリーンシートの上面に、マスク部とスクリーン部と位置決め孔とを有するスクリーンマスクを載置する第３ステップと、上記減圧用空間を減圧状態として、上記発光体を発光させながら、上記スクリーンマスクの位置決め孔と上記グリーンシートの位置決め孔とが一致するまで、スクリーンマスクの平面視におけるＸ−Ｙ（縦横）方向および回転（θ）方向の少なくとも一方向の位置合わせを行う第４ステップと、上記減圧用空間が大気圧の状態で、上記テーブルと上記グリーンシートとの間から上記発光体を除去する第５ステップと、上記減圧用空間を減圧状態として、上記位置合わせされたスクリーンマスクのスクリーン上に導電性ペーストを供給して、上記グリーンシートのスルーホール内に導電性ペーストを充填し、且つ該グリーンシートの表面に導電性ペーストを印刷する第６ステップと、を含む、ことを特徴とする。
【０００７】
これによれば、前記第２ステップにおいて、テーブルとグリーンシートとの位置合わせが成され、前記第４ステップにおいて、発光体を発光させつつ、上記グリーンシートとスクリーンマスクとの位置合わせが成されると共に、第５ステップにおいて、上記発光体をテーブル上から除去した後、第６ステップにおいて、上記グリーンシートの表面とスルーホールとに導電性ペーストが印刷ないし充填される。そのため、上記２つの位置合わせがそれぞれ正確に行え、且つ上記印刷や充填が適正できると共に、上記グリーンシートとスクリーンマスクとの位置合わせに用いた発光体が汚れない。従って、第１〜第６ステップを正確且つ迅速に行え、前記グリーンシートに導電性ペーストを適正に印刷ないし充填できると共に、発光体を長期間にわたり繰り返し使用でき、そのメンテナンスも低減できる。
【０００８】
尚、前記セラミックグリーンシートは、アルミナ、窒化アルミニウム、ムライトなどのセラミック成分からなるか、あるいは、当該セラミックを主成分するグリーンシート、あるいは、セラミック成分とガラス成分とを含むものである。
また、前記導電性ペースト（導電性インク）は、Ｗ、Ｍｏ、Ａｇ、あるいはＣｕなどの金属粉末、バインダ樹脂、および溶剤などを含む。
更に、前記第２ステップにおける前記グリーンシートとテーブルとの位置合わせにおいて、該テーブルの上方における所定の位置とは、例えば、該テーブルの上面の中心と上記グリーンシートの中心とが一致し、且つ該上面の各辺とこれに隣接するグリーンシートの各辺とが平行となる位置が挙げられる。
また、前記第２ステップにおける前記グリーンシートとテーブルとの位置合わせは、該テーブルに対し、平面視で上記グリーンシートをＸ−Ｙ（横・縦）方向に移動させる方法か、あるいは、当該グリーンシートのある位置を中心として右回りまたは左回りに回転（θ）方向に回転させる方法の何れか一方、更には、上記Ｘ−Ｙ方向および回転（θ）方向の双方を併用する形態も含まれる。
【０００９】
更に、前記第４ステップにおいて、前記グリーンシートの位置決め孔とスクリーンマスクの位置決め孔とが一致するとは、内径が共通する２つの位置決め孔の周縁が平面視で重複ないしほぼ重複するか、あるいは、内径が大小と相違する２つの位置決め孔の中心同士が一致、ないしほぼ一致することを指している。
また、前記第５ステップにおいて、前記テーブルとグリーンシートとの間から発光体を除去する場合、例えば、一旦該グリーンシートを後述する印刷装置中の搬送手段により若干持ち上げ、上記発光体が除去された後、前記搬送手段を下降させて、上記グリーンシートをテーブルの上面に固定することで行っても良い。
加えて、前記第６ステップにおいて、前記グリーンシートのスルーホールに導電性ペーストを充填した場合、前記テーブルの減圧空間側に面する上記グリーンシートの裏面で且つ上記スルーホールの周囲にも、上記空間が減圧状態になることよって、導電性ペーストの一部がほぼ円盤状に突出して形成される。
【００１０】
また、本発明には、前記第２ステップにおける前記グリーンシートとテーブルとの位置合わせは、該テーブルの上面から昇降するか、あるいは、該テーブルの上面に立設され、上記グリーンシートの位置決め孔ごとに進入する複数のピンにより行われる、セラミック配線基板の製造方法（請求項２）も含まれる。
これによれば、上記テーブルの上面から上昇した複数のピン、あるいは該上面に立設された複数のピンが、上記グリーンシートにおける複数の位置決め孔に個別に進入することで、当該テーブルとグリーンシートとの位置合わせを、正確且つ確実に行うことができる。
【００１１】
更に、本発明には、前記第２ステップにおける前記グリーンシートとテーブルとの位置合わせは、該テーブルの上面側から昇降するか、あるいは、該テーブルの上面に立設され、且つ上記グリーンシートを平面視が矩形の上面に貼り付けた金属枠における四辺の外側面に対し、接触ないし当接する複数のピンにより行われる、セラミック配線基板の製造方法（請求項３）も含まれる。
これによれば、上記テーブルの上面から上昇した複数のピン、あるいは該上面に立設された複数のピンが、上記グリーンシートを上面に貼り付けた金属枠の各辺の外側面に個別に接触ないし当接することで、テーブルとグリーンシートとの位置合わせを、正確且つ迅速に行うことができる。しかも、第２ステップにおいて、グリーンシートが不用意に損傷する事態を防ぐことができる。
尚、前記テーブルの上面から昇降するピンあるいは立設するピンと、前記グリーンシートの位置決め孔との位置合わせにおいて、更に画像処理を用いても良い。
【００１２】
加えて、本発明には、前記第２ステップにおける前記グリーンシートとテーブルとの位置合わせは、該グリーンシートとテーブルとの平面視による画像処理によって行われる、セラミック配線基板の製造方法（請求項４）も含まれる。
これによれば、上記グリーンシートとテーブルとの位置合わせを、これらと非接触の画像処理によって正確且つ迅速に行えると共に、グリーンシートの不用意な損傷も防止できる。
尚、上記画像処理は、例えば、前記グリーンシートとテーブルとの隣接する各辺の付近をＣＣＤカメラで撮像し、かかる各辺相互間における幅寸法および平行度を、所定のしきい値で区分することで、前記グリーンシートとテーブルとの位置合わせの是非を検出する方式が挙げられる。
【００１３】
また、前記第４ステップにおける前記グリーンシートとスクリーンマスクとの位置合わせにおいても、該グリーンシートとスクリーンマスクとの画像処理を用いても良い。
更に、前記第６ステップの後に、前記スクリーンマスクを印刷された前記グリーンシートから除去し、且つ該グリーンシートを前記テーブルの上面から取り出す第７ステップを有する、セラミック配線基板の製造方法も本発明に含まれ得る。
これによる場合、適正の印刷された未焼成の配線層が表面に形成され、且つ各スルーホール内に未焼成のビア導体が形成されたグリーンシートが得られる。
また、上記第７ステップの後に、上記グリーンシートを含む複数のグリーンシートを積層する積層工程と、得られたグリーンシート積層体を焼成する焼成工程とを有するセラミック配線基板の製造方法も本発明に含まれ得る。
加えて、前記グリーンシートが多数個取りの形態の場合には、上記焼成工程の後において、個々の配線基板に分割する工程が更に行われる。
【００１４】
一方、本発明の印刷装置（請求項５）は、セラミックグリーンシートの表面に所要パターンにて導電性ペーストを印刷し、且つ上記グリーンシートを貫通するスルーホールに導電性ペーストを充填する印刷工程に用いる印刷装置であって、減圧用空間と該減圧用空間と連通する通気孔とを有するテーブルと、該テーブルの上面にシート状で且つ通し孔を有する発光体を載置し、且つ該発光体を上記テーブルの上面から除去する移載手段と、前記発光体の上方に、所定位置にスルーホールと位置決め孔とが形成された上記グリーンシートを配置し、且つ印刷後の該グリーンシートを上記発光体の上方から取り出す搬送手段と、上記テーブルと上記グリーンシートとの平面視のＸ−Ｙ方向および回転（θ）方向の少なくとも一方向の位置決めを行う位置決め手段と、上記グリーンシートの上面に、所定パターンのマスク部とスクリーン部と位置決め孔とを有するスクリーンマスクを載置し、且つ該スクリーンマスクを印刷後のグリーンシートの上面から取り外す搬送手段と、上記グリーンシートの上面に載置された上記スクリーンマスクの位置決め孔と、該グリーンシートの位置決め孔との平面視おける位置が重なり、上記発光体の光が透過する位置となるまで、上記スクリーンマスクの平面視のＸ−Ｙ方向および回転（θ）方向の少なくとも一方向の位置を調整する位置決め手段と、を含む、ことを特徴とする。
【００１５】
これによれば、前記製造方法の印刷工程における第１〜第５ステップを、自動的にして正確且つ迅速に行うことができる。しかも、発光体が導電性ペーストにより汚れないので、前記第１〜第６ステップを繰り返し連続して行うこともできるので、セラミック配線基板の生産性を高めことに寄与し得る。
尚、前記移載手段、搬送手段、および位置調整手段は、同じ装置あるいは治具を兼用するにようにしても良い。
また、前記印刷装置の上方には、前記グリーンシートの位置合わせ孔とスクリーンマスクの位置合わせ孔との一致を検出する画像処理手段を配設しても良い。
【００１６】
更に、本発明には、前記テーブルには、該テーブルと前記グリーンシートとの平面視におけるＸ−Ｙ方向および回転（θ）方向の少なくとも一方向の位置合わせを行うべく、上記テーブルの上面から昇降し、あるいは該上面に立設された複数のピンが配設されている、印刷装置（請求項６）も含まれる。
これによれば、前記第２ステップにおけるテーブルとグリーンシートとの位置合わせを、正確且つ容易に行える。
尚、上記ピンには、上記グリーンシートの位置合わせ孔に最初に進入する上端側を先細状のほぼ円錐形とした形態が推奨される。
また、前記テーブルの減圧用空間の底部には、余剰分の前記導電性ペーストを受ける溜まり部が配設されている。
これによる場合、前記第５ステップで発光体がテーブル上から除去された後、前記第６ステップにおいて、導電性ペーストの一部が前記グリーンシートのスルーホールから上記テーブルの減圧用空間側への吸引されても、上記発光体を汚すことなく、当該減圧用空間の底部に捕集することができる。
【００１７】
更に、本発明の発光体（請求項７）は、印刷すべきセラミックグリーンシートと、マスク部およびスクリーン部を有するスクリーンマスクとの位置合わせを行うための発光体であって、側面視が薄肉のシート状であり、平面視で印刷すべき上記グリーンシートの形状に近似した外形と、かかる外形の内側に通し孔とを有し、内部に面状発光素子が封入されている、ことを特徴とする。
これによれば、前記第２，３ステップにおいて、前記テーブルとグリーンシートとの狭い空間に容易に配置でき、且つ前記第４ステップでの位置合わせを正確に行えると共に、前記第５ステップでテーブル上から容易に除去できる。従って、前記製造方法を正確且つ確実に実行することができる。しかも、第６ステップの印刷で用いる導電性ペーストによる汚れを受けないので、長期間に渉り安定して使用でき、且つメンテナンスもほぼ皆無にし得る。
【００１８】
加えて、本発明には、前記発光体は、前記グリーンシートと該グリーンシートが上面に配置されるテーブルとの位置合わせに用いる昇降可能なピンが通過する透孔または切り欠きを有している、発光装置（請求項８）も含まれる。
これによれば、前記第２ステップにおけるテーブルとグリーンシートとの位置合わせ時に、テーブル側から上昇する複数のピンが、隙間を置いた複数の透孔または切り欠きをルーズに通過するので、上記位置合わせに支障を生じることを防止できる。
尚、前記面状発光素子は、エレクトロルミネッセンス（以下、有機ＥＬという）が好適に用いられる。上記発光素子は、発光層が有機化合物からなり、該有機化合物中に注入された電子と正孔との再結合によって生じた励起子（エキシオン）により発光する。但し、上記面状発光素子として、液晶を用いても良い。
また、上記面状発光素子は、平面視の外形が矩形（正方形または長方形）である発光体の四辺に沿った平面視が四角枠形状、上記外形の三辺に沿った平面視がコ字形形状、あるいは、四辺ごとにおけるグリーンシートやスクリーンマスクの各位置合わせ孔と同じ位置ごとに複数の斑点状に配置した形態としても良い。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の製造方法などに用いるテーブルを示す垂直断面図。
【図２】本発明の製造方法などに用いる発光体を示す斜視図。
【図３】本発明の製造方法の印刷工程における第１ステップを示す概略図。
【図４】上記製造方法に用いるセラミックグリーンシートを示す斜視図。
【図５】上記製造方法の印刷工程における第２ステップを示す概略図。
【図６】図５中の一点鎖線部分Ｘ１，Ｘ２の拡大図。
【図７】上記製造方法の印刷工程における第３ステップを示す概略図。
【図８】上記製造方法の印刷工程における第４ステップを示す概略図。
【図９】上記製造方法の印刷工程における第５ステップを示す概略図。
【図１０】上記製造方法の印刷工程における第６ステップを示す概略図。
【図１１】上記第６ステップを示す部分拡大図。
【図１２】上記第６ステップ後の上記グリーンシートの状態を示す概略図。
【図１３】前記グリーンシートを金属枠に貼り付けた状態を示す斜視図。
【図１４】上記金属枠付きグリーンシートを用いた第２ステップの部分拡大図。
【図１５】上記金属枠付きグリーンシートを用いた第４ステップの部分拡大図。
【図１６】異なる形態のテーブルを用いた第２ステップを示す部分拡大図。
【図１７】更に異なる形態のテーブルを用いた第２ステップを示す部分拡大図。
【図１８】上記テーブルを用いた第４ステップを示す概略図。
【発明を実施するための形態】
【００２０】
以下において、本発明を実施するための形態について説明する。
図１は、本発明の製造方法などに用いるテーブル１を示す垂直断面図である。
該テーブル１は、図１に示すように、金属板を切断・加工し、且つ組み立てたもので、四辺の側壁２と、該側壁２の底面に位置し且つ平面視が長方形（矩形）の底壁３と、該底壁３および上記四辺の側壁２に囲まれた減圧用空間４とを備えている。図１で右側に位置する側壁２の底壁３側には、上記空間４と図示しない真空ポンプとの間を接続し、該空間４を大気圧と減圧状態とにするための通気管５が貫通している。また、四辺の側壁２の囲まれた上記減圧用空間４の開口部には、平面視で複数の通気孔７を格子状に有し、且つ該テーブル１の上面２ａの一部を構成する格子枠６が配設されている。複数の通気孔７は、上記減圧用空間４と連通している。
更に、上記テーブル１の上面２ａでもある四辺の側壁２の上端面には、一対ずつの垂直な縦穴８が開口し、該縦穴８ごとには、上端側を円錐形状としたピン９が昇降可能に収納され、該ピン９は、図示しない駆動手段によって縦穴８からテーブル１の上面２ａ側へ出没する。
【００２１】
図２は、本発明の製造方法などに用いる発光体１０を示す斜視図である。
発光体１０は、図２に示すように、側面視の厚みが約０．５ｍｍの薄肉のシート状であり、表面と裏面とを形成する上下一対の樹脂（絶縁）フイルム１１，１１間に、面上発光素子（有機ＥＬ）１２を封入したものである。更に、該発光体１０は、平面視の外形が前記テーブル１の上面２ａと相似形の長方形（矩形）を呈し、内側に一対の細長い長方形の通気孔１３を有している。そのため、上記発光素子１２は、平面視でほぼ日の字形状を呈し、且つ一対の通気孔１３に挟まれた橋形接続部１４を含んでいる。更に、発光体１０の外形に沿った上記発光素子１２の各辺には、前記ピン９の通過を許容する一対ずつの透孔１５が開設されている。
図２に示すように、発光体１０のコーナ付近には、上記発光素子１２に接続する一対の電極を内蔵したプラグ１６が設けられ、該プラグ１６からは、図示しないスイッチを介して、外部電源に接続するコード（導線）１７が延びている。そして、上記スイッチを投入すると、上記発光素子１２の発光層を構成する有機化合物中に注入されている電子と正孔とが再結合することにより、生じる励起子によって、図２で上方の表面側に向かって、光（Ｌ）が上記発光素子１２の全面から上向きに均一に発光される。尚、前記透孔１５は、切り欠きとしても良い。
【００２２】
図３は、本発明の製造方法の印刷工程における第１ステップＳ１の概略を示す。
図３に示すように、吸気管を兼ねる支柱１９の下端ごとに取り付けた複数の吸盤（移載手段）１８に、前記発光体１０の表面を吸着して、該発光体１０をテーブル１の格子枠６を含む上面２ａに載置した（第１ステップＳ１）。この際、発光体１０の各透孔１５の真下付近に、テーブル１側のピン９を収納した縦穴８が個別に位置するように、上記操作を行った。その後で、複数の上記吸盤１８を発光体１０の表面から除去した。
【００２３】
図４は、上記発光体１０の表面上に配置すべきセラミックグリーンシート（以下、単にグリーンシートという）２０の斜視図である。該グリーンシート２０は、アルミナを主成分とし、図４に示すように、厚みが約８０〜７５０μｍで且つ平面視の外形が長方形を呈し、平面視で縦横に複数のスルーホール（ビアホール）２１を有する製品単位の複数組の製品エリア２２と、これらの周囲を囲む矩形枠状の耳部（捨て代部）２５とを備えている。耳部２５には、当該グリーンシート２０の外形に沿って各辺ごとに３個の位置決め孔２４が貫通している。
尚、上記スルーホール２１の内径は、約５０〜６００μｍである。また、複数組の製品エリア２２同士の間、および該エリア２２と耳部２５との間は、図４中において、破線で示す架空の切断面２３によって区画されている。
【００２４】
次に、前記グリーンシート２０を、前記テーブル１の上面２ａに載置された発光体１０の上方に載置し且つ位置合わせを行う第２ステップＳ２を行った。
先ず、図４中で示すように、グリーンシート２０の表面における左右一対の短辺付近に、複数の吸気管を兼ねる支柱２８の下端に取り付けた細長い２つの吸盤（搬送手段）２６を吸着して、当該グリーンシート２０を吸着して持ち上げ、水平方向に沿って搬送した後、図５に示すように、発光体１０の上方に載置した。
【００２５】
引き続いて、図５中の一点鎖線部分Ｘ１，Ｘ２の部分拡大図である図６に示すように、発光体１０の上に載置されたグリーンシート２０の表面における中心付近の位置に、前記同様で且つ回転可能な支柱３１の下端に取り付けた吸盤（位置決め手段）３０を吸着し、平面視で当該位置を中心として右回りまたは左回りに回転（θ）方向に回転させることで、該グリーンシート２０をテーブル１の上面２ａにおける所定の位置に位置合わせをした（第２ステップＳ２）。
あるいは、前記テーブル１の周辺に沿って配置され、且つ水平方向に沿って進退する複数のロッド３３の先端に個別に取り付けた断面Ｌ形のプッシャ（位置決め手段）３４の縦片を、上記グリーンシート２０の側面に当接して、該グリーンシート２０を平面視でＸ−Ｙ方向に沿って移動させることで、該グリーンシート２０をテーブル１の上面２ａにおける所定の位置に位置合わせをした（第２ステップＳ２）。
尚、第２ステップＳ２では、少なくとも上記２つの位置合わせの一方を行った。
また、図６以降の図面では、作図上の制約から、テーブル１側の１つの通気孔７に、グリーンシート２０の１つのスルーホール２１が位置することとした。
【００２６】
その結果、図６に示すように、発光体１０の各透孔１５の上方に、グリーンシート２０の各位置決め孔２４が連通し、且つ該位置決め孔２４をテーブル１側のピン９の真上の位置に配置できた。かかる状態で、各ピン９を上昇させ、発光体１０の透孔１５を通過させ、更にグリーンシート２０の位置決め孔２４内に進入させて、発光体１０とグリーンシート２０とを、テーブル１上に位置固定した。
尚、発光体１０における透孔１５のない位置の上方にも、グリーンシート２０の各辺に１個〜数個の位置決め孔２４が位置していた。
また、図６に示すように、格子枠６は、側壁２の段部２ｂに取り付けられた別体の格子枠板６ａとしても良い。
更に、図６の上方に示すように、テーブル１の前記縦穴８あるいはピン９と、グリーンシート２０の位置決め孔２４との付近を、これらの上方に配置したＣＣＤカメラ（画像処理手段）Ｃによって撮像し、例えば、得られた画像における縦穴８と位置決め孔２４との重複度によって、テーブル１に対するグリーンシート２０の前記位置合わせ（第２ステップＳ２）を行うようにしても良い。
【００２７】
次いで、図７中に示すように、通気管５からテーブル１の減圧用空間４内のエアを排出し、当該空間４を減圧状態（約０．３気圧）として、上記グリーンシート２０の上に、前記同様の複数の吸盤（搬送手段）３０によって吸着され且つ搬送されたスクリーンマスク３６を載置した（第３ステップＳ３）。該スクリーンマスク３６は、所要パターンのスクリーン部３８と、これらの間に位置するマスク部３７と、四辺の外側面に沿って設けた複数の位置決め孔３９とを有している。
次に、図８に示すように、減圧用空間４を減圧状態に保ち、且つ発光体１０から光Ｌを上向き発光させながら、スクリーンマスク３６の中心付近に、支柱が回転可能な吸盤（位置決め手段）３０を吸着し、平面視で当該位置を中心として右回りまたは左回りに回転（θ）方向に回転させて、前記ピン９が下方にない位置合わせ孔２４，３９が一致するまでグリーンシート２０とスクリーンマスク３６との位置合わせを行った（第４ステップＳ４）。
あるいは、上記スクリーンマスク３６の周囲に沿って配置され、且つ水平方向に沿って進退する複数のロッド３３の先端に個別に取り付けた断面Ｌ形のプッシャ（位置決め手段）３４の縦片を、上記スクリーンマスク３６の側面に当接して、該スクリーンマスク３６を平面視でＸ−Ｙ方向に沿って移動させて、前記ピン９が下方にない位置合わせ孔２４，３９が一致するまでグリーンシート２０とスクリーンマスク３６との位置合わせを行った（第４ステップＳ４）。
尚、第４ステップＳ４は、少なくとも上記２つの位置合わせの一方を行った。
また、第４ステップＳ４を、前記ＣＣＤカメラＣを用いる画像処理による位置合わせによって行っても良い。
更に、前記ピン９を上昇させた後、テーブル１の前記空間４を大気圧に戻した。
【００２８】
その結果、図９に示すように、グリーンシート２０の各辺における位置決め孔２４の上に、スクリーンマスク３６の各位置決め孔３９が同軸心で連通すると共に、テーブル１側から上記位置決め孔２４内まで既に上昇していた各ピン９が、スクリーンマスク３６の各位置決め孔３９に個別に進入して、当該スクリーンマスク３６を、グリーンシート２０とテーブル１とに対して位置合わせできた。
次に、図１０に示すように、各ピン９をテーブル１の縦穴８内に下降させ、且つスクリーンマスク３６を直下のグリーンシート２０と共に前記吸盤３０に吸着した状態で若干持ち上げた状態として、発光体１０を上記グリーンシート２０とテーブル１の上面２ａとの間から外側に除去した（第５ステップＳ５）。
具体的には、図１０内の一点鎖線部分Ｙで示すように、上下一対の薄い摘み片を含むマニプレータ（搬送手段）ｍにより発光体１０の一辺を摘み、そのまま水平方向に沿って、該発光体１０をテーブル１の上面２ａから外側に取り出した。
【００２９】
引き続き、前記吸盤３０を下降させて、スクリーンマスク３６およびグリーンシート２０をテーブル１の上面に配置した後、再度各ピン９を上昇させ、スクリーンマスク３６およびグリーンシート２０の位置決め孔２４，３９に貫通させて、テーブル１に対し、グリーンシート２０とスクリーンマスク３６とを固定した。
次いで、図１１中の矢印で示すように、再度通気管５からテーブル１の減圧用空間４内のエアを排出して、当該空間４を前記同様の減圧状態とし、スクリーンマスク３６の表面に沿って移動するスキージｓにより、導電性ペーストＰを押圧しつつ各スクリーン部３８に供給して、グリーンシート２０の表面に対し該スクリーン部３８に相似形のパターンで印刷した。同時に、導電性ペーストＰの一部を、グリーンシート２０のスルーホール２１内に充填した（第６ステップＳ６）。
【００３０】
具体的には、図１２右中の一点鎖線部分Ｚで例示すように、スクリーンマスク３６のスクリーン部３８の直下で、且つグリーンシート２０のスルーホール２１が位置する部分において、導電性ペーストＰは、該スクリーンマスク３６の表面に沿って移動するスキージｓにより下向きに押圧された。
そのため、導電性ペーストＰは、図示のように、グリーンシート２０の表面にスクリーン部３８と相似形のパターンで印刷された未焼成の配線層４０と、スルーホール２１内に充填された円柱形で未焼成のビア導体４２と、その下端からグリーンシート２０の裏面にほぼ円盤状に突出した未焼成の接続部４３となった。
【００３１】
その結果、前記第６ステップＳ６が施された後では、図１２に示すように、グリーンシート２０の表面には、スクリーンマスク３６の各スクリーン部３８に倣ったパターンの前記配線層４０が形成され、各スルーホール２１内には、前記ビア導体４２が形成されていた。尚、テーブル１の底壁３上には、前記減圧用空間４の減圧状態により、グリーンシート２０のスルーホール２１を通過して、当該空間４中に落下した導電性ペーストＰの一部が堆積していた。
そして、図１２に示すように、各ピン９を下降させて縦穴８内に収納し、更に吸引力を調整した前記吸盤３０によってスクリーンマスク３６のみを除去した後、前記配線層４０とビア導体４２とが形成されたグリーンシート２０を、別の吸盤（搬送手段）３０によって吸着して、テーブル１の上面から外部に取り出した（第７ステップ）。
【００３２】
以上のような本発明によるセラミック配線基板の製造方法における印刷工程によれば、第２ステップＳ２でテーブル１とグリーンシート２０との位置合わせがされ、第４ステップＳ４で発光体１０を発光させつつ、グリーンシート２０とスクリーンマスク３６との位置合わせがされると共に、第５ステップＳ５で発光体１０がテーブル１上から除去された後、第６ステップＳ６でグリーンシート２０の表面とスルーホール２１とに導電性ペーストＰが印刷・充填された。そのため、上記２つの位置合わせがそれぞれ正確に行え、且つ上記印刷や充填を適正に行えると共に、グリーンシート２０とスクリーンマスク３６との位置合わせに用いた発光体１０が全く汚れなかった。
従って、第１〜第６ステップＳ１〜Ｓ６を正確且つ迅速に行え、グリーンシート２０に対し導電性ペーストＰを適正に印刷・充填できると共に、発光体１０を長期間にわたり繰り返し使用でき、そのメンテナンスも低減できる
【００３３】
また、前記テーブル１、吸盤（搬送手段）１８，２６，吸盤（搬送手段／位置決め手段）３０、ブッシャ（位置決め手段）３４、およびマニプレータ（搬送手段／位置決め手段）ｍを備えた本発明の印刷装置によれば、印刷工程中の第１〜第５ステップＳ１〜Ｓ５を、自動的にして正確且つ迅速に行えた。しかも、発光体１０が汚れないので、前記第１〜第６ステップＳ１〜Ｓ６を繰り返し連続して行えるので、セラミック配線基板の生産性を向上させることが可能となる。
更に、前記発光体１０によれば、前記テーブル１とグリーンシート２０との狭い空間に容易に配置でき、前記第４ステップＳ４での位置合わせを正確に行えると共に、前記第５ステップＳ５でテーブル上から容易に除去できる。従って、前記製造方法の印刷工程を正確且つ確実に実行し得る。しかも、第６ステップＳ６の印刷に用いる導電性ペーストＰにより汚れないので、長期間に渉り安定して使用でき、且つメンテナンスも皆無し得る。
尚、記第７ステップの後に、前記グリーンシート２０を含む複数のグリーンシート２０を積層する積層工程と、得られたグリーンシート積層体を焼成する焼成工程とが行われる。更に、前記グリーンシート２０のような多数個取りの形態の場合には、上記焼成工程の後に、個別の配線基板ごとに分割する工程が行われる。
【００３４】
以下において、前記製造方法の応用形態について説明する。
図１３は、金属枠４５の上面に前記グリーンシート２０を貼り付けた状態の斜視図である。上記金属枠４５は、例えば、厚さが約０．２〜０．６ｍｍのステンレス鋼板からなり、平面視の外形が上記グリーンシート２０の外形とほぼ相似形の長方形（矩形）で、且つ四辺の側片４７の内側に上記外形とほぼ相似形の角孔４６を有している。上記グリーンシート２０は、四辺の耳部２５が金属枠４５の各側片４７の角孔４６側に密着し、且つ該角孔４６の内側に各辺の耳部２５に形成された複数の位置合わせ孔２４が位置していた。
尚、グリーンシート２０は、含有する溶剤成分を多めにすることで、金属枠４５に容易に貼り付け（接着）られた。その際、グリーンシート２０は、その各辺と金属枠４５の各外側面４８とが平行となるように調整して、該金属枠４５に接着された。
【００３５】
予め、テーブル１の上面２ａに載置された発光体１０の上に、例えば、複数の前記マニプレータｍを用いて、グリーンシート２０を貼り付けた金属枠４５を載置した（第１ステップ）。次いで、図１４に示すように、テーブル１における四辺の側壁２から複数のピン９を上昇させ、該ピン９の周面が金属枠４５の各側片４７の外側面４８に接触ないし当接させることにより、当該テーブル１と上記グリーンシート２０との位置合わせを行った（第２ステップ）。この際、上記ピン９を省略し、例えば、テーブル１の縦穴８あるいは上面２ａの所定位置と、金属枠４５の外側面４８とを、前記ＣＣＤカメラＣにより撮像して画像処理による位置合わせをしても良い。
更に、図１５中の太い矢印で示すように、テーブル１の減圧用空間４を減圧状態として、金属枠４５上に貼り付けられた上記グリーンシート２０の上に、前記同様にスクリーンマスク３６を載置した（第３ステップ）。
【００３６】
次に、テーブル１の減圧用空間４を減圧状態に保ち、図１５に示すように、発光体１０から光Ｌを発光させて、上記グリーンシート２０の位置合わせ孔２４とスクリーンマスク３６の位置合わせ孔３９とが平面視で一致するまで、同図中の細い水平な矢印で示すように、前記吸盤３０およびブッシャ３４を用いた回転方向およびＸ−Ｙ方向の少なくとも一方の位置合わせを行った（第４ステップ）。
これ以降は、前記同様の第５，第６ステップＳ５，Ｓ６を行うことによって、前記図１２に示したように、前記グリーンシート２０の表面に導電性ペーストＰの配線層４０が形成され、該グリーンシート２０の各スルーホール２１に導電性ペーストＰのビア導体４２が充填された。
【００３７】
そして、第７ステップＳ７は、前記グリーンシート２０が貼り付けられた前記金属枠４５の一側片４７の外縁を前記マニプレータｍで掴むことにより行った。
以上のような金属枠４５を用いた応用形態のセラミック配線基板の製造方法によれば、前記製造方法による効果に加え、前記グリーンシート２０を不用意に損傷することなく、印刷工程の各ステップＳ１〜Ｓ６を確実に行うことができる。
尚、前記グリーンシート２０を貼り付けた金属枠４５を、テーブル１と位置合わせする場合、複数のピンの水平断面を楕円形または平板形とし、且つ該ピンの金属枠４５側に上向きに離れるテーパ面を付けた形態とし、かかる複数のピンのテーパ面が金属枠４５の各外側面４８に当接させてから摺動することにより、位置合わせを行うようにしても良い。
【００３８】
図１６は、異なる形態のテーブル１ａを用いた第２ステップＳ２を示す前記同様の部分拡大図である。テーブル１ａは、図示のように、四辺の側壁２ごとの上面２ａに垂直にピン９が立設し、該ピン９は、浅い縦穴８ａに下部を挿入している。前記同様に、発光体１０の各透孔１５に上記ピン９を挿入し、該発光体１０をテーブル１ａの上面２ａに載置した（第１ステップＳ１）後、図１６に示すように、発光体１０の上に載せたグリーンシート２０の位置決め孔２４ごとに上記ピン９が挿入されるまで、前記同様にグリーンシート２０を吸着した吸盤３０を回転させるか、あるいはグリーンシート２０の各辺に対して複数のプッシャ３４を進退させる位置合わせを行って、第２ステップＳを行うことができる。
尚、前記スクリーンマスク３６を上記テーブル１ａとグリーンシート２０と位置合わせを行う第４ステップＳ４も、上記同様にして行うことができる。
【００３９】
図１７は、更に異なる形態のテーブル１ｂを用いた第２ステップＳ２を示す前記同様の部分拡大図である。テーブル１ｂには、図示のように、前記縦穴８やピン９がなく、且つ四辺の側壁２ごとの上面２ａにおける所定の位置に下向きに凹んだ逆円錐形の窪み２ｃが形成されている。
前記同様に、発光体１０の各透孔１５に上記ピン９を挿入し、該発光体１０をテーブル１ａの上面２ａに載置した（第１ステップＳ１）。次いで、図１６に示すように、発光体１０の上に載せたグリーンシート２０の各位置決め孔２４と、テーブル１ｂの上記窪み２ｃとが平面視で互いに同心になるまで、これらの上方に配置したＣＣＤカメラＣにより撮像を検査しながら、前記同様に吸盤３０を回転させるか、あるいは複数のプッシャ３４を進退させる位置合わせを行うことで、前記同様の第２ステップＳ２を行うことができる。尚、上記窪み２ｃに替えて、例えば、平面視が○、◎、△、□、あるいは×などのマークを用いても良い。
【００４０】
図１８は、前記テーブル１ｂを用いた第４ステップＳ４を示す部分拡大図である。前記同様に、スクリーンマスク３６を前記グリーンシート２０の上に載置した（第３ステップＳ３）後、図１８に示すように、減圧用空間４を減圧状態とし、且つ発光体１０を発光させて、グリーンシート２０の各位置決め孔２４と、スクリーンマスク３６の各位置決め孔３９とが平面視で互いに同心になるまで、これらの上方に配置したＣＣＤカメラＣにより撮像を検査しながら、前記同様にスクリーンマスク３６を吸着した吸盤３０を回転させるか、あるいはスクリーンマスク３６の各辺に複数のプッシャ３４を進退させる位置合わせを行うことで、前記同様の第４ステップＳ４を行うことができる。
以上のようなテーブル１ｂおよびＣＣＤカメラＣを用いることで、前記第２，第４ステップＳ２，Ｓ４を非接触によって正確に行えると共に、グリーンシート２０やスクリーンマスク３６の不用意な損傷や劣化を防ぐこともできる。
【００４１】
本発明は、以上において説明した各形態に限定されるものではない。
例えば、本発明に用いるセラミックグリーンシートは、単一のセラミック配線基板を製造するための形態であっても良い。
また、前記テーブル１の底壁３上には、減圧用空間４に開口し、且つ該空間４に落下した導電性ペーストＰを回収するためのトレイをセットしても良い。
更に、前記発光体は、平面視が矩形で且つ表・裏一対の絶縁樹脂シート間において、該シートの外形に沿った複数の位置で、且つ前記グリーンシートの位置合わせ孔とスクリーンマスクの位置合わせ孔とが接近または重なり合う位置に、平面視が円形、楕円形、長円形、四角形（正方形）以上の正多角形を呈する面上発光素子（有機ＥＬまたは液晶）を散点状ないし斑点状に配置したものでも良い。
加えて、前記グリーンシートおよび金属枠は、平面視が正方形で且つ互いに相似形の形状であっても良い。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明によれば、セラミックグリーンシートとスクリーンマスクとの位置合わせが正確に行え、上記グリーンシートへの印刷が適正でき且つ該位置合わせに用いる光源が汚れないセラミック配線基板の製造方法、これに用いる印刷装置、および上記光源に用いる耐久性に優れた発光体を提供することができる。
【符号の説明】
【００４３】
１,１ａ,１ｂ…テーブル
２ａ……………上面
４………………減圧用空間
７………………通気孔
９………………ピン
１０……………発光体
１２……………有機ＥＬ（面状発光素子）
１３……………通し孔
１５……………透孔
１８……………吸盤（移載手段）
２０……………グリーンシート
２１……………スルーホール
２４……………位置決め孔
２６……………吸盤（搬送手段）
３０……………吸盤（位置決め手段／搬送手段）
３４……………プッシャ（位置決め手段）
３６……………スクリーンマスク
３７……………マスク部
３８……………スクリーン部
３９……………位置決め孔
４０……………配線層（導電性ペースト）
４２……………ビア導体（導電性ペースト）
４５……………金属枠
４８……………外側面
Ｓ１〜Ｓ６……第１〜第６ステップ
Ｌ………………光（発光）
ｍ………………マニプレータ（搬送手段／移載手段）
Ｐ………………導電性ペースト
Ｃ………………ＣＣＤカメラ（画像処理手段）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミックグリーンシートの表面に所要パターンにて導電性ペーストを印刷し、且つ上記グリーンシートを貫通するスルーホールに導電性ペーストを充填する印刷工程を含むセラミック配線基板の製造方法であって、
上記印刷工程は、減圧用空間と該減圧用空間に連通する通気孔とを有するテーブルの上面に、シート状で且つ通し孔を有する発光体を載置する第１ステップと、
上記発光体の上方に、予め所定位置にスルーホールおよび位置決め孔が形成された上記グリーンシートを載置し、且つ該グリーンシートと上記テーブルとの平面視におけるＸ−Ｙ方向と回転（θ）方向と少なくとも一方の位置合わせを行って、上記グリーンシートをテーブルの上方における所定の位置に配置する第２ステップと、
上記減圧用空間を減圧状態として、上記発光体および上記グリーンシートをテーブル上に固定した後、該グリーンシートの上面に、マスク部とスクリーン部と位置決め孔とを有するスクリーンマスクを載置する第３ステップと、
上記減圧用空間を減圧状態として、上記発光体を発光させながら、上記スクリーンマスクの位置決め孔と上記グリーンシートの位置決め孔とが一致するまで、スクリーンマスクの平面視におけるＸ−Ｙ方向および回転（θ）方向の少なくとも一方向の位置合わせを行う第４ステップと、
上記減圧用空間が大気圧の状態で、上記テーブルと上記グリーンシートとの間から上記発光体を除去する第５ステップと、
上記減圧用空間を減圧状態として、上記位置合わせされたスクリーンマスクのスクリーン上に導電性ペーストを供給して、上記グリーンシートのスルーホール内に導電性ペーストを充填し、且つ該グリーンシートの表面に導電性ペーストを印刷する第６ステップと、を含む、
ことを特徴とするセラミック配線基板の製造方法。
【請求項２】
前記第２ステップにおける前記グリーンシートとテーブルとの位置合わせは、該テーブルの上面から昇降するか、あるいは、該テーブルの上面に立設され、且つ上記グリーンシートの位置決め孔ごとに進入する複数のピンにより行われる、
ことを特徴とする請求項１に記載のセラミック配線基板の製造方法。
【請求項３】
前記第２ステップにおける前記グリーンシートとテーブルとの位置合わせは、該テーブルの上面側から昇降するか、あるいは、該テーブルの上面に立設され、且つ上記グリーンシートを平面視が矩形の上面に貼り付けた金属枠における四辺の外側面に対し、接触ないし当接する複数のピンにより行われる、
ことを特徴とする請求項１に記載のセラミック配線基板の製造方法。
【請求項４】
前記第２ステップにおける前記グリーンシートとテーブルとの位置合わせは、該グリーンシートとテーブルとの平面視による画像処理によって行われる、
ことを特徴とする請求項１に記載のセラミック配線基板の製造方法。
【請求項５】
セラミックグリーンシートの表面に所要パターンにて導電性ペーストを印刷し、且つ上記グリーンシートを貫通するスルーホールに導電性ペーストを充填する印刷工程に用いる印刷装置であって、
減圧用空間と該減圧用空間と連通する通気孔とを有するテーブルと、
上記テーブルの上面にシート状で且つ通し孔を有する発光体を載置し、且つ該発光体を上記テーブルの上面から除去する移載手段と、
上記発光体の上方に、所定位置にスルーホールと位置決め孔とが形成された上記グリーンシートを配置し、且つ印刷後の該グリーンシートを上記発光体の上方から取り出す搬送手段と、
上記テーブルと上記グリーンシートとの平面視のＸ−Ｙ方向および回転（θ）方向の少なくとも一方向の位置決めを行う位置決め手段と、
上記グリーンシートの上面に、所定パターンのマスクとスクリーンと位置決め孔とを有するスクリーンマスクを載置し、且つ該スクリーンマスクを印刷後のグリーンシートの上面から取り外す搬送手段と、
上記グリーンシートの上面に載置された上記スクリーンマスクの位置決め孔と、該グリーンシートの位置決め孔との平面視おける位置が重なり、上記発光体の光が透過する位置となるまで、上記スクリーンマスクの平面視のＸ−Ｙ方向および回転（θ）方向の少なくとも一方向の位置を調整する位置決め手段と、を含む、
ことを特徴とする印刷装置。
【請求項６】
前記テーブルには、該テーブルと前記グリーンシートとの平面視におけるＸ−Ｙ方向および回転（θ）方向の少なくとも一方向の位置合わせを行うべく、上記テーブルの上面から昇降し、あるいは該上面に立設された複数のピンが配設されている、
ことを特徴とする請求項５に記載の印刷装置。
【請求項７】
印刷すべきセラミックグリーンシートと、マスク部およびスクリーン部を有するスクリーンマスクとの位置合わせを行うための発光体であって、
側面視が薄肉のシート状であり、平面視で印刷すべき上記グリーンシートの形状に近似した外形と、かかる外形の内側に通し孔とを有し、内部に面状発光素子が封入されている、
ことを特徴とする発光体。
【請求項８】
前記発光体は、前記グリーンシートと該グリーンシートが上面に配置されるテーブルとの位置合わせに用いる昇降可能なピンが通過する透孔または切り欠きを有している、
ことを特徴とする請求項７に記載の発光体。
【請求項１】
セラミックグリーンシートの表面に所要パターンにて導電性ペーストを印刷し、且つ上記グリーンシートを貫通するスルーホールに導電性ペーストを充填する印刷工程を含むセラミック配線基板の製造方法であって、
上記印刷工程は、減圧用空間と該減圧用空間に連通する通気孔とを有するテーブルの上面に、シート状で且つ通し孔を有する発光体を載置する第１ステップと、
上記発光体の上方に、予め所定位置にスルーホールおよび位置決め孔が形成された上記グリーンシートを載置し、且つ該グリーンシートと上記テーブルとの平面視におけるＸ−Ｙ方向と回転（θ）方向と少なくとも一方の位置合わせを行って、上記グリーンシートをテーブルの上方における所定の位置に配置する第２ステップと、
上記減圧用空間を減圧状態として、上記発光体および上記グリーンシートをテーブル上に固定した後、該グリーンシートの上面に、マスク部とスクリーン部と位置決め孔とを有するスクリーンマスクを載置する第３ステップと、
上記減圧用空間を減圧状態として、上記発光体を発光させながら、上記スクリーンマスクの位置決め孔と上記グリーンシートの位置決め孔とが一致するまで、スクリーンマスクの平面視におけるＸ−Ｙ方向および回転（θ）方向の少なくとも一方向の位置合わせを行う第４ステップと、
上記減圧用空間が大気圧の状態で、上記テーブルと上記グリーンシートとの間から上記発光体を除去する第５ステップと、
上記減圧用空間を減圧状態として、上記位置合わせされたスクリーンマスクのスクリーン上に導電性ペーストを供給して、上記グリーンシートのスルーホール内に導電性ペーストを充填し、且つ該グリーンシートの表面に導電性ペーストを印刷する第６ステップと、を含む、
ことを特徴とするセラミック配線基板の製造方法。
【請求項２】
前記第２ステップにおける前記グリーンシートとテーブルとの位置合わせは、該テーブルの上面から昇降するか、あるいは、該テーブルの上面に立設され、且つ上記グリーンシートの位置決め孔ごとに進入する複数のピンにより行われる、
ことを特徴とする請求項１に記載のセラミック配線基板の製造方法。
【請求項３】
前記第２ステップにおける前記グリーンシートとテーブルとの位置合わせは、該テーブルの上面側から昇降するか、あるいは、該テーブルの上面に立設され、且つ上記グリーンシートを平面視が矩形の上面に貼り付けた金属枠における四辺の外側面に対し、接触ないし当接する複数のピンにより行われる、
ことを特徴とする請求項１に記載のセラミック配線基板の製造方法。
【請求項４】
前記第２ステップにおける前記グリーンシートとテーブルとの位置合わせは、該グリーンシートとテーブルとの平面視による画像処理によって行われる、
ことを特徴とする請求項１に記載のセラミック配線基板の製造方法。
【請求項５】
セラミックグリーンシートの表面に所要パターンにて導電性ペーストを印刷し、且つ上記グリーンシートを貫通するスルーホールに導電性ペーストを充填する印刷工程に用いる印刷装置であって、
減圧用空間と該減圧用空間と連通する通気孔とを有するテーブルと、
上記テーブルの上面にシート状で且つ通し孔を有する発光体を載置し、且つ該発光体を上記テーブルの上面から除去する移載手段と、
上記発光体の上方に、所定位置にスルーホールと位置決め孔とが形成された上記グリーンシートを配置し、且つ印刷後の該グリーンシートを上記発光体の上方から取り出す搬送手段と、
上記テーブルと上記グリーンシートとの平面視のＸ−Ｙ方向および回転（θ）方向の少なくとも一方向の位置決めを行う位置決め手段と、
上記グリーンシートの上面に、所定パターンのマスクとスクリーンと位置決め孔とを有するスクリーンマスクを載置し、且つ該スクリーンマスクを印刷後のグリーンシートの上面から取り外す搬送手段と、
上記グリーンシートの上面に載置された上記スクリーンマスクの位置決め孔と、該グリーンシートの位置決め孔との平面視おける位置が重なり、上記発光体の光が透過する位置となるまで、上記スクリーンマスクの平面視のＸ−Ｙ方向および回転（θ）方向の少なくとも一方向の位置を調整する位置決め手段と、を含む、
ことを特徴とする印刷装置。
【請求項６】
前記テーブルには、該テーブルと前記グリーンシートとの平面視におけるＸ−Ｙ方向および回転（θ）方向の少なくとも一方向の位置合わせを行うべく、上記テーブルの上面から昇降し、あるいは該上面に立設された複数のピンが配設されている、
ことを特徴とする請求項５に記載の印刷装置。
【請求項７】
印刷すべきセラミックグリーンシートと、マスク部およびスクリーン部を有するスクリーンマスクとの位置合わせを行うための発光体であって、
側面視が薄肉のシート状であり、平面視で印刷すべき上記グリーンシートの形状に近似した外形と、かかる外形の内側に通し孔とを有し、内部に面状発光素子が封入されている、
ことを特徴とする発光体。
【請求項８】
前記発光体は、前記グリーンシートと該グリーンシートが上面に配置されるテーブルとの位置合わせに用いる昇降可能なピンが通過する透孔または切り欠きを有している、
ことを特徴とする請求項７に記載の発光体。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【公開番号】特開２０１１−２５８８６８（Ｐ２０１１−２５８８６８Ａ）
【公開日】平成２３年１２月２２日（２０１１．１２．２２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１３３８７５（Ｐ２０１０−１３３８７５）
【出願日】平成２２年６月１１日（２０１０．６．１１）
【出願人】（０００００４５４７）日本特殊陶業株式会社 (2,912)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１２月２２日（２０１１．１２．２２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年６月１１日（２０１０．６．１１）
【出願人】（０００００４５４７）日本特殊陶業株式会社 (2,912)
【Ｆターム（参考）】
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