ノズルおよび基板処理装置
【課題】吐出むらを防止し易く、しかも組立性やメンテナンス性に優れたノズルを提供する。
【解決手段】スリットノズル２０は、第１，第２の一対のパーツ３２ａ，３２ｂを、これらの対向面３４ａ，３４ｂの間に隙間を形成した状態で重ね合わせ、この隙間によりスリット状の吐出口Ｄとこれに通じる扁平は流路Ｆを形成した構成となっている。このノズル２０の前記隙間は、第２パーツ３２ｂの対向面３４ｂに複数の突起３３が設けられ、当該突起３３が第１パーツ３２ａの対向面３４ａに当接する状態で両パーツ３２ａ，３２ｂが締結されることにより形成されている。
【解決手段】スリットノズル２０は、第１，第２の一対のパーツ３２ａ，３２ｂを、これらの対向面３４ａ，３４ｂの間に隙間を形成した状態で重ね合わせ、この隙間によりスリット状の吐出口Ｄとこれに通じる扁平は流路Ｆを形成した構成となっている。このノズル２０の前記隙間は、第２パーツ３２ｂの対向面３４ｂに複数の突起３３が設けられ、当該突起３３が第１パーツ３２ａの対向面３４ａに当接する状態で両パーツ３２ａ，３２ｂが締結されることにより形成されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＬＣＤ（液晶表示装置）やＰＤＰ（プラズマディスプレイ）等のＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、プリント基板、半導体基板等の基板に処理液やガス等の流体を供給するノズル、およびこのノズルを備えた基板処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
処理液を基板に供給するノズルとして、従来からスリット状の液吐出口をもつ液ナイフ（スリットノズル）が知られている（例えば特許文献１）。この液ナイフは、細長い一対の板状部材（ノズル構成部材）を重ね合わせ、その間に微小隙間を設けることにより当該隙間により扁平な液流路を形成するとともにその先端にスリット状の前記液吐出口を形成する構成となっている。より詳しくは、シム又はワッシャをスペーサとして両板状部材の間に挟み込み、このスペーサを貫通するように板状部材の重ね合わせ方向にボルトを挿入して両板状部材を締結することにより前記微小隙間を形成する構成となっている。そして、このようなスペーサを挟み込んだボルト締結部が液ナイフの長手方向に一定間隔で設けられることにより、長手方向に一定隙間をもつ前記液流路および液吐出口が形成されている。
【特許文献１】特開２０００−５１７６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記のような従来の液ナイフの構造では、隙間管理を行うためのスペーサが障害物となって処理液に吐出むらが発生し易く、従来では、これを改善するためにスペーサを小さく、つまりシムやワッシャを小径化することによって吐出むらの改善を図っていた。
【０００４】
ところが、スペーサを小さくすると、それに伴いボルトを小径化する必要があるため、両板状部材の締結強度を確保してノズルの耐久性を維持する観点から、スペーサの小径化にも自ずと限界がある。また、液ナイフの組立は、通常、一方の板状部材のねじ穴に合わせてスペーサを並べ、これに他方の板状部材を上から重ね合わせて当該板状部材の上側からボルトを螺合挿入することにより行われるが、組立中にねじ穴からスペーサがずれることも多々あり、その場合には逐次、スペーサの位置を修正するという煩雑な作業が必要となっている。そのため、ボルト締結部分の多い長寸の液ナイフでは、このような煩雑な作業が増大するため、液ナイフの組立性やメンテナンス性が極めて悪いという問題があった。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、吐出むらを防止し易く、しかも、組立性やメンテナンス性に優れたノズルを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記の事情に鑑み、それぞれ平坦な対向面をもつ一対のノズル構成部材を、前記対向面の間に隙間を形成した状態で重ね合わせることにより当該隙間によりスリット状の流体吐出口とこれに通じる扁平な流路を形成したノズルにおいて、前記ノズル構成部材のうち少なくとも一方側の対向面に突起が設けられ、当該突起が相手側ノズル構成部材の対向面に当接する状態で両ノズル構成部材が重ね合わされることにより前記隙間が形成されているものである。
【０００７】
この構成によると、ノズル構成部材の対向面に設けられる突起により前記隙間が形成されるため、組立時にいちいちスペーサを挟み込む手間が無くなる。そして、このように突起により隙間を設ける構成によれば、突起の大きさや形状の自由度が高いため、適切な形状等の突起を設けることにより吐出むらを有効に防止することができる。また、両ノズル構成部材をその重ね合わせ方向に挿入してボルトで締結する場合でも、従来のようにスペーサのサイズに左右されることなくボルトサイズを選定できるため、吐出むらを誘発しない範囲で大きいサイズのボルトを使用することにより、板状部材の締結強度を余裕をもって確保することができるようになる。
【０００８】
なお、上記のようにノズル構成部材同士を複数のボルトにより締結する場合には、これらボルトによる締結部と前記突起とが前記吐出口の長手方向に一列に直線状に並んでいるのが好適である。
【０００９】
このようにボルトの締結部と突起とが一列に直線状に並んだ構成によると、ボルト毎の締付け度合いの差による隙間寸法の変動を有効に防止することができる。
【００１０】
また、上記の突起は、板状部材に一体形成されているものでもよいが、例えば前記対向面に穴部が形成され、この穴部に突起形成用部材が挿入されることにより設けられているものであってもよい。
【００１１】
この構成によれば、より微小隙間（より細い吐出口）が求められる場合に有効となる。すなわち、ノズル構成部材の対向面に突起を一体形成する場合、突起が小さくなるに伴い正確な突起を形成することが技術的に難しくなるが、上記のような構成によれば、対向面には、穴部を形成するだけで済むため突起を一体形成する場合に比べて加工が容易になる。
【００１２】
この場合、例えばノズル構成部材に、前記穴部として前記重ね合わせ方向に貫通するねじ穴が形成され、このねじ穴に、ねじ軸が螺合挿入されてその先端が相手ノズル構成部材の対向面に突き当てられることにより、当該ねじ軸の先端により前記突起が形成されているものが好適である。
【００１３】
この構成によると、ねじ軸を操作して当該ねじ軸をその軸方向に進退させることによって前記隙間の寸法を微調整することが可能となる。
【００１４】
なお、突起の具体的な形状は種々考えられるが、例えば、前記突起は、流体の流動方向に細長に形成されているのが好適である。
【００１５】
この構成によると、対向面との接触面積が増大して突起の圧縮応力が増大するため強度的に有利になる。また、突起が整流板として機能することにより吐出むらの発生がより効果的に防止されるようになる。
【００１６】
一方、本発明に係る基板処理装置は、基板を搬送する搬送手段と、スリット状の流体吐出口をもち、前記搬送手段により搬送される基板に対して流体を供給することにより当該基板に所定の処理を施すノズルとを備えた基板処理装置において、前記ノズルとして上記のようなノズルを備えているものである。
【００１７】
このような基板処理装置によると、スリット状の吐出口をもつノズルとして上記のようなノズルを備えているので、生産性およびメンテナンス性が向上する。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１に係るノズルによると、一対のノズル構成部材の対向面に突起を設け、この突起により両部材間に隙間を形成して流体吐出口および流路を設けているので、従来のように一対のノズル構成部材の間にいちいちスペーサを挟み込みながらノズルを組み立てるといった手間が要らず、また、突起形状の自由度が高いため、適切な突起を設けることにより吐出むらも有効に防止できる。従って、吐出むらを有効に防止する一方で、組立性やメンテナンス性を向上させることができる。
【００１９】
請求項２に係るノズルによると、各ボルトの締付け度合いの差による隙間寸法の変動を有効に防止することができる。そのため、ボルトの締め付け調整等を要することなく一定隙間の流路および吐出口を設けることができる。
【００２０】
請求項３に係るノズルによると、流体吐出口や流路として微細な隙間寸法をもつものを容易に製作できるようになる。
【００２１】
請求項４に係るノズルによると、組立後、ねじ軸の回転操作によって吐出口等の隙間寸法を微調整することが可能となるため、吐出口等に対するメンテナンス性が向上する。
【００２２】
請求項５に係るノズルによると、吐出口や流路の隙間寸法を確実に、かつ長期的に適切に保つことができ、また、吐出むらの発生をより有効に防止することができる。
【００２３】
請求項６に係る基板処理装置によると、処理用の流体を基板に供給するノズルとして、上記のようなノズルを備えているので、吐出むらを伴うことなく基板に流体を供給することができ、しかも、組立性およびメンテナンス性の良い基板処理装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明の好ましい実施の形態について図面を用いて説明する。
【００２５】
図１は、本発明に係る基板処理装置の一実施形態を概略的に示す断面図である。この図に示す基板処理装置１０は、前工程で薬液処理（例えばエッチング処理）が施された基板Ｓを図中の矢印方向に搬送しながら当該基板Ｓに対して洗浄処理を施すものである。
【００２６】
同図に示すように、この基板処理装置１０は略密閉された処理用チャンバ１２（以下、チャンバ１２と略す）を有している。チャンバ１２の内部には、複数の搬送ローラ１８が所定間隔で配備されており、基板Ｓがこれら搬送ローラ１８により水平姿勢で搬送されるようになっている。なお、図中符号１４は、チャンバ１２に形成される基板Ｓの搬入口を示し、また、符号１６は、同搬出口を示している。
【００２７】
チャンバ１２の内部において、搬送ローラ１８の上方には、基板Ｓに対してリンス液、当例では純水を供給するための２種類の液供給手段が配備されている。具体的には、搬入口１４の直ぐ近傍に、基板Ｓの幅方向（基板Ｓの搬送方向と直交する方向；同図では紙面に直交する方向）に延びるスリット状の吐出口をもつスリットノズル２０が配備され、さらにその下流側に（同図では左側）にスプレイノズル２４が配備されている。
【００２８】
スリットノズル２０（本発明に係るノズル）は、同図に示すように、上流側から下流側に向かって斜め下向きの姿勢でチャンバ内壁に固定されており、前記吐出口からカーテン状に純水を吐出して基板Ｓに供給するようになっている。
【００２９】
一方、スプレイノズル２４は、詳しく図示していないが、搬送ローラ１８の上方に複数設けられ、例えばマトリクス状に配備されている。そして、各スプレイノズル２４からそれぞれ液滴状に純水を吐出して基板Ｓに供給するようになっている。
【００３０】
純水２は、同図に示すようにタンク２６に貯溜されており、ポンプ２８の作動により導出管３０を通じてタンク２６から導出され、この導出管３０から分岐する供給管３２，３４を通じてそれぞれスリットノズル２０およびスプレイノズル２４に供給されるようになっている。供給管３２，３４には開閉バルブＶ１，Ｖ２がそれぞれ介設されており、各ノズル２０，２４に供給される純水の流量がこれら開閉バルブＶ１，Ｖ２の操作により個別に制御されるようになっている。
【００３１】
また、前記チャンバ１２には、その内底部に漏斗状の回収パン（図示省略）が設けられており、使用済みの純水がこの回収パンにより収集されながら回収管３６を通じて前記タンク２６に戻されるようになっている。つまり、この基板処理装置１０では、純水を循環させながら繰り返し使用するように構成されている。
【００３２】
回収管３６には、開閉バブルＶ４が介設され、さらにこの開閉バルブＶ４よりも上流側で分岐する分岐管３８が設けられている。そして、この分岐管３８に介設される開閉バルブＶ５および前記開閉バルブＶ４が適宜操作されることにより、循環使用される純水の一部が分岐管３８を介して廃棄されるようになっている。なお、図中符号２７は、タンク２６に新たな純水を供給する新液供給管で、純水の残量に応じて適宜この新液供給管２７を通じて新たな純水が供給されるようになっている。
【００３３】
図２〜図４は、本発明に係る上記スリットノズル２０の概略を断面図でそれぞれ示しており、図２，図３は縦断面で、図４は平断面（図２のＩＶ−ＩＶ線断面図）でそれぞれスリットノズル２０を示している。なお、図２，図３はそれぞれ、図４のＩＩ―ＩＩ線、ＩＩＩ−ＩＩＩ線に相当する部分のスリットノズル２０の縦断面を示している。
【００３４】
これらの図に示すように、スリットノズル２０は、共に細長い板状の部材である第１パーツ３２ａと第２パーツ３２ｂとを重ね合わせ、両パーツ３２ａ，３２ｂ（本発明に係るノズル構成部材に相当する）を複数本のボルト４０により互いに締結することにより構成されている。具体的には、図３に示すように、第１パーツ３２ａに形成される貫通穴３５ａに同パーツ３２ａの上側からボルト４０が挿入され、このボルト４０が第２パーツ３２ｂに形成されるねじ穴３５ｂに螺合挿入されることにより両パーツ３２ａ，３２ｂが互いに締結されている。
【００３５】
これらのパーツ３２ａ，３２ｂは、ＰＶＣ、あるいはＳＵＳからなり、互いの対向面３４ａ，３４ｂは、後記凹部３６ａ，３６ｂおよび突起３３が形成される以外は、全体が平坦に形成されている。
【００３６】
スリットノズル２０の内部には、その長手方向に延びる中空のバッファ部Ｂと、このバッファ部Ｂに連通する扁平な流路Ｆとが形成されており、この流路Ｆがノズル先端（図２では右端）に開口することによりこの開口によりスリット状の吐出口Ｄが形成されている。
【００３７】
前記バッファ部Ｂは、両パーツ３２ａ，３２ｂの対向面３４ａ，３４ｂにそれぞれ形成される凹部３６ａ，３６ｂにより構成されており、前記流路Ｆおよび吐出口Ｄは、前記対向面３４ａ，３４ｂの間に設けられる隙間により構成されている。
【００３８】
この隙間（流路Ｆおよび吐出口Ｄ）は、図２および図３に示すように、第２パーツ３２ｂの前記対向面３４ｂに設けられる複数の突起３３が第１パーツ３２ａの対向面３４ａに当接することにより形成されている。
【００３９】
これらの突起３３は、先端が半球状の突起で、第２パーツ３２ｂに一体形成されている。各突起３３と前記ボルト４０の締結部（すなわち貫通穴３５ａ，ねじ穴３５ｂ）とは、図２および図４に示すように、共に流路Ｆの前後方向（図２では左右方向）略中央に位置し、かつスリットノズル２０の長手方向に略一定間隔で交互に一列に並んでいる。このように突起３３とボルト４０の締結部とが並ぶことにより、ボルト４０の締め付け度合の差による隙間の変動が防止され、流路Ｆおよび吐出口Ｄの隙間寸法がスリットノズル２０の長手方向に一定に保たれるようになっている。
【００４０】
なお、図２および図３中符号３７は、バッファ部Ｂに連通する純水の導入孔で第１パーツ３２ａに形成されている。また、符号３９は、バッファ部Ｂの後側で両パーツ３２ａ，３２ｂ（対向面３４ａ，３４ｂ）の間に挟み込まれる帯状のシール部材であり、ゴムや樹脂等により構成されている。
【００４１】
上記のようなスリットノズル２０は、例えば次のような手順で組み立てられる。
【００４２】
まず、予め加工された第２パーツ３２ｂを、前記対向面３４ｂが上向きになる状態で載置し、前記シール部材３９を対向面３４ｂの後端縁部に沿って貼付ける。その後、この第２パーツ３２ｂの上に、第１パーツ３２ａを重ね合わせ、各貫通穴３５ａにボルト４０を挿入した後、これらボルト４０を締め付ける。この締め付けにより、第２パーツ３２ｂの各突起３３が第１パーツ３２ａの対向面３４ａに当接して一定隙間の前記流路Ｆおよび吐出口Ｄが設けられた上記スリットノズル２０が完成する。
【００４３】
このようなスリットノズル２０によると、第２パーツ３２ｂの対向面３４ｂに設けられる突起３３により流路Ｆおよび吐出口Ｄが形成されるため、従来のように、シムやワッシャ等の多数のスペーサをいちいちボルト締結部に合わせて両パーツの間に挟み込むといった手間が要らず、スリットノズル２０の組立性およびメンテナンス性が改善される。しかも、流路Ｆの隙間寸法や純水の流量を考慮して突起３３の大きさや形状を自由に選定できるため、ボルト４０と共に突起３３を細径化することにより、吐出むらの発生を有効に防止することが可能となる。従って、純水の吐出むらの発生を有効に防止する一方で、スリットノズル２０の組立性およびメンテナンス性を向上させることができる。
【００４４】
また、従来のようにスペーサのサイズに左右されることなくボルト４０のサイズを選定できるため、ボルトサイズの自由度が向上する。従って、例えば吐出むらを誘発しない範囲で可及的に大きいサイズのボルト４０を使用すれば、両パーツ３２ａ，３２ｂの締結強度を余裕を持って確保することができ、その結果、スリットノズル２０の耐久性を向上させるこができるという利点もある。
【００４５】
そして、このようなスリットノズル２０をもつ上記の基板処理装置１０によると、チャンバ１２に搬入されてくる基板Ｓに対し、吐出むらを伴うことのないカーテン状の純水を供給することができ、また、上述したスリットノズル２０の利点を生かした組立性、メンテナンス性、および耐久性に優れた基板処理装置１０を提供することができる。
【００４６】
なお、上述したスリットノズル２０および基板処理装置１０は、本発明に係るノズルおよび基板処理装置の好ましい実施形態の一例であって、その具体的な構成は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、次の構成を採用することもできる。
【００４７】
（１）突起３３の形状は、実施形態のような半球状のものに限られず、図５に示すような円柱状、角柱状等の柱状のものでもよい。なお、突起３３は、第２パーツ３２ｂに限らず、第１パーツ３２ａに設けてもよく、また、両パーツ３２ａ，３２ｂに設けてもよい。
【００４８】
（２）突起３３は、第２パーツ３２ｂの対向面３４ｂに一体形成する以外に、図６に示すようにして設けてもよい。すなわち、第２パーツ３２ｂの対向面３４ｂに穴部４２を形成し、この穴部４２に、突起形成用部材４４を嵌め込むことにより前記突起３３を設けるようにしてもよい。
【００４９】
このような構成は、より隙間寸法の小さい流路Ｆおよび吐出口Ｄを設ける場合に有効となる。すなわち、平坦な対向面３４ｂに突起３３を一体形成する場合、突起３３が小さくなるに伴い正確な突起３３を形成することが技術的に難しくなるが、上記のような構成によれば、対向面３４ｂには、穴部４２を形成するだけで済むため突起３３を一体形成する場合に比べて加工が容易になる。そのため、より隙間寸法の小さい流路Ｆ等を設ける場合、つまり小さな突起３３が必要な場合に有効な構成となる。
【００５０】
（３）上記（２）の変形として、図７に示すような構成で突起３３を設けるようにしてもよい。すなわち、両パーツ３２ａ，３２ｂの重ね合わせ方向に貫通するねじ穴４６を第２パーツ３２ｂに形成し、このねじ穴４６に、第１パーツ３２ａとは反対側（同図では下側）からボルト４８を螺合挿入し、そのねじ軸先端を第１パーツ３２ａの対向面３４ａに突き当てることによりそのねじ軸により前記突起３３を形成してもよい。この構成によると、ボルト４８を操作してねじ軸先端の突出量を調整することによって、ノズル組立後等に、流路Ｆおよび吐出口Ｄの隙間寸法を微調整することが可能となる。そのため、流路Ｆおよび吐出口Ｄの隙間寸法をスリットノズル２０の長手方向に亘ってより均一に設けることが可能になる。なお、同図中符号４７は、緩み防止のためにボルト４８に挿入されるスプリングワッシャを示している。
【００５１】
（４）突起３３の形状として、図８に示すように前後方向（純水の流動方向）に細長い突起３３を設けるようにしてもよい。この突起３３によると、突起３３と対向面３４ａとの接触面積を増やして突起３３の圧縮応力を高めることができる。そのため、突起３３の強度を高めることができ、また、突起３３が整流板として機能することも期待できるため吐出むらをより防止する上で有効となる。
【００５２】
（５）突起３３とボルト４０の締結部（貫通穴３５ａ，ねじ穴３５ｂ）との配列は、実施形態のようにスリットノズル２０の長手方向に一列に直線状に配列されるものに限らず、例えば図９に示すように、ボルト４０の締結部に対して突起３３が前後方向にオフセットされるものであってもよい。要は、流路Ｆおよび吐出口Ｄの隙間寸法を一定に保つことができ、かつ純水の吐出むらを防止できる配列であればよい。但し、実施形態のような配列によれば、上述した通り、ボルト４０の締め付け度合の差による隙間の変動を有効に防止することができるため、流路Ｆおよび吐出口Ｄの隙間寸法を一定保ち得るようにしながらも、組立性を向上させることができるという利点がある。
【００５３】
（６）実施形態では、吐出口Ｄが１つの単孔タイプのスリットノズル２０について説明したが、勿論、吐出口Ｄが２つ、あるいは３つ以上平行に並ぶ多孔タイプのスリットノズルにいても本発明は適用可能である。例えば、図１０は、２つの吐出口Ｄ１，Ｄ２が上下二列に並ぶスリットノズル２０′を示している。このスリットノズル２０′は、第１パーツ５２ａ〜第３パーツ５２ｃを重ね合わせ、各パーツ５２ａ〜５２ｃをボルト６０により互いに締結することにより構成されている。第１パーツ５２ａおよび第３パーツ５２ｃの対向面５４ａ，５４ｃにはそれぞれ突起５３が形成されており、これら突起５３が、第２パーツ５２ｂの対向面５４ｂ，５４ｂ′にそれぞれ当接することにより、第２パーツ５２ｂ（対向面５４ｂ，５４ｂ′）と第１，第３パーツ５２ａ，５２ｃ（対向面５４ａ，５４ｃ）との間にそれぞれ隙間が形成され、これらの隙間により上下二列に並ぶ流路Ｆ１，Ｆ２および吐出口Ｄ１，Ｄ２が設けられた構成となっている。なお、図中符号Ｂ１，Ｂ２は、バッファ部を示しており、各対向面５４ａ〜５４ｃに形成される凹部により形成されている。
【００５４】
（７）なお、実施形態では、本発明に係るスリットノズル２０を、洗浄処理を行う基板処理装置１０に適用した例について説明したが、勿論、本発明に係るノズルは、洗浄処理に限らず薬液処理を行う基板処理装置についても適用可能である。また、本発明に係るノズルは、液体以外に、窒素ガスやエア等の気体を基板に供給するものとしても適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明に係る基板処理装置（本発明に係るノズルが使用される基板処理装置）の概略を示す断面図である。
【図２】スリットノズル（本発明に係るノズル）の概略を示す縦断面図（突起がある部分の断面図）である。
【図３】スリットノズルの概略を示す縦断面図（ボルトがある部分の断面図）である。
【図４】スリットノズルの概略を示す平断面図（図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図）である。
【図５】スリットノズルの別の構成を示す縦断面図（突起がある部分の断面図）である。
【図６】スリットノズルの別の構成を示す縦断面図（突起がある部分の断面図）である。
【図７】スリットノズルの別の構成を示す縦断面図（突起がある部分の断面図）である。
【図８】スリットノズルの別の構成を示す平断面図（図４に対応する断面図）である。
【図９】スリットノズルの別の構成を示す平断面図（図４に対応する断面図）である。
【図１０】スリットノズルの別の構成を示す縦断面図（突起がある部分の断面図）である。
【符号の説明】
【００５６】
１０ 基板処理装置
２０ スリットノズル
３２ａ 第１パーツ（ノズル構成部材）
３２ｂ 第２パーツ（ノズル構成部材）
３４ａ，３４ｂ 対向面
３３ 突起
４０ ボルト
Ｂ バッファ部
Ｄ 吐出口
Ｆ 流路
Ｓ 基板
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＬＣＤ（液晶表示装置）やＰＤＰ（プラズマディスプレイ）等のＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、プリント基板、半導体基板等の基板に処理液やガス等の流体を供給するノズル、およびこのノズルを備えた基板処理装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
処理液を基板に供給するノズルとして、従来からスリット状の液吐出口をもつ液ナイフ（スリットノズル）が知られている（例えば特許文献１）。この液ナイフは、細長い一対の板状部材（ノズル構成部材）を重ね合わせ、その間に微小隙間を設けることにより当該隙間により扁平な液流路を形成するとともにその先端にスリット状の前記液吐出口を形成する構成となっている。より詳しくは、シム又はワッシャをスペーサとして両板状部材の間に挟み込み、このスペーサを貫通するように板状部材の重ね合わせ方向にボルトを挿入して両板状部材を締結することにより前記微小隙間を形成する構成となっている。そして、このようなスペーサを挟み込んだボルト締結部が液ナイフの長手方向に一定間隔で設けられることにより、長手方向に一定隙間をもつ前記液流路および液吐出口が形成されている。
【特許文献１】特開２０００−５１７６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記のような従来の液ナイフの構造では、隙間管理を行うためのスペーサが障害物となって処理液に吐出むらが発生し易く、従来では、これを改善するためにスペーサを小さく、つまりシムやワッシャを小径化することによって吐出むらの改善を図っていた。
【０００４】
ところが、スペーサを小さくすると、それに伴いボルトを小径化する必要があるため、両板状部材の締結強度を確保してノズルの耐久性を維持する観点から、スペーサの小径化にも自ずと限界がある。また、液ナイフの組立は、通常、一方の板状部材のねじ穴に合わせてスペーサを並べ、これに他方の板状部材を上から重ね合わせて当該板状部材の上側からボルトを螺合挿入することにより行われるが、組立中にねじ穴からスペーサがずれることも多々あり、その場合には逐次、スペーサの位置を修正するという煩雑な作業が必要となっている。そのため、ボルト締結部分の多い長寸の液ナイフでは、このような煩雑な作業が増大するため、液ナイフの組立性やメンテナンス性が極めて悪いという問題があった。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、吐出むらを防止し易く、しかも、組立性やメンテナンス性に優れたノズルを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記の事情に鑑み、それぞれ平坦な対向面をもつ一対のノズル構成部材を、前記対向面の間に隙間を形成した状態で重ね合わせることにより当該隙間によりスリット状の流体吐出口とこれに通じる扁平な流路を形成したノズルにおいて、前記ノズル構成部材のうち少なくとも一方側の対向面に突起が設けられ、当該突起が相手側ノズル構成部材の対向面に当接する状態で両ノズル構成部材が重ね合わされることにより前記隙間が形成されているものである。
【０００７】
この構成によると、ノズル構成部材の対向面に設けられる突起により前記隙間が形成されるため、組立時にいちいちスペーサを挟み込む手間が無くなる。そして、このように突起により隙間を設ける構成によれば、突起の大きさや形状の自由度が高いため、適切な形状等の突起を設けることにより吐出むらを有効に防止することができる。また、両ノズル構成部材をその重ね合わせ方向に挿入してボルトで締結する場合でも、従来のようにスペーサのサイズに左右されることなくボルトサイズを選定できるため、吐出むらを誘発しない範囲で大きいサイズのボルトを使用することにより、板状部材の締結強度を余裕をもって確保することができるようになる。
【０００８】
なお、上記のようにノズル構成部材同士を複数のボルトにより締結する場合には、これらボルトによる締結部と前記突起とが前記吐出口の長手方向に一列に直線状に並んでいるのが好適である。
【０００９】
このようにボルトの締結部と突起とが一列に直線状に並んだ構成によると、ボルト毎の締付け度合いの差による隙間寸法の変動を有効に防止することができる。
【００１０】
また、上記の突起は、板状部材に一体形成されているものでもよいが、例えば前記対向面に穴部が形成され、この穴部に突起形成用部材が挿入されることにより設けられているものであってもよい。
【００１１】
この構成によれば、より微小隙間（より細い吐出口）が求められる場合に有効となる。すなわち、ノズル構成部材の対向面に突起を一体形成する場合、突起が小さくなるに伴い正確な突起を形成することが技術的に難しくなるが、上記のような構成によれば、対向面には、穴部を形成するだけで済むため突起を一体形成する場合に比べて加工が容易になる。
【００１２】
この場合、例えばノズル構成部材に、前記穴部として前記重ね合わせ方向に貫通するねじ穴が形成され、このねじ穴に、ねじ軸が螺合挿入されてその先端が相手ノズル構成部材の対向面に突き当てられることにより、当該ねじ軸の先端により前記突起が形成されているものが好適である。
【００１３】
この構成によると、ねじ軸を操作して当該ねじ軸をその軸方向に進退させることによって前記隙間の寸法を微調整することが可能となる。
【００１４】
なお、突起の具体的な形状は種々考えられるが、例えば、前記突起は、流体の流動方向に細長に形成されているのが好適である。
【００１５】
この構成によると、対向面との接触面積が増大して突起の圧縮応力が増大するため強度的に有利になる。また、突起が整流板として機能することにより吐出むらの発生がより効果的に防止されるようになる。
【００１６】
一方、本発明に係る基板処理装置は、基板を搬送する搬送手段と、スリット状の流体吐出口をもち、前記搬送手段により搬送される基板に対して流体を供給することにより当該基板に所定の処理を施すノズルとを備えた基板処理装置において、前記ノズルとして上記のようなノズルを備えているものである。
【００１７】
このような基板処理装置によると、スリット状の吐出口をもつノズルとして上記のようなノズルを備えているので、生産性およびメンテナンス性が向上する。
【発明の効果】
【００１８】
請求項１に係るノズルによると、一対のノズル構成部材の対向面に突起を設け、この突起により両部材間に隙間を形成して流体吐出口および流路を設けているので、従来のように一対のノズル構成部材の間にいちいちスペーサを挟み込みながらノズルを組み立てるといった手間が要らず、また、突起形状の自由度が高いため、適切な突起を設けることにより吐出むらも有効に防止できる。従って、吐出むらを有効に防止する一方で、組立性やメンテナンス性を向上させることができる。
【００１９】
請求項２に係るノズルによると、各ボルトの締付け度合いの差による隙間寸法の変動を有効に防止することができる。そのため、ボルトの締め付け調整等を要することなく一定隙間の流路および吐出口を設けることができる。
【００２０】
請求項３に係るノズルによると、流体吐出口や流路として微細な隙間寸法をもつものを容易に製作できるようになる。
【００２１】
請求項４に係るノズルによると、組立後、ねじ軸の回転操作によって吐出口等の隙間寸法を微調整することが可能となるため、吐出口等に対するメンテナンス性が向上する。
【００２２】
請求項５に係るノズルによると、吐出口や流路の隙間寸法を確実に、かつ長期的に適切に保つことができ、また、吐出むらの発生をより有効に防止することができる。
【００２３】
請求項６に係る基板処理装置によると、処理用の流体を基板に供給するノズルとして、上記のようなノズルを備えているので、吐出むらを伴うことなく基板に流体を供給することができ、しかも、組立性およびメンテナンス性の良い基板処理装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明の好ましい実施の形態について図面を用いて説明する。
【００２５】
図１は、本発明に係る基板処理装置の一実施形態を概略的に示す断面図である。この図に示す基板処理装置１０は、前工程で薬液処理（例えばエッチング処理）が施された基板Ｓを図中の矢印方向に搬送しながら当該基板Ｓに対して洗浄処理を施すものである。
【００２６】
同図に示すように、この基板処理装置１０は略密閉された処理用チャンバ１２（以下、チャンバ１２と略す）を有している。チャンバ１２の内部には、複数の搬送ローラ１８が所定間隔で配備されており、基板Ｓがこれら搬送ローラ１８により水平姿勢で搬送されるようになっている。なお、図中符号１４は、チャンバ１２に形成される基板Ｓの搬入口を示し、また、符号１６は、同搬出口を示している。
【００２７】
チャンバ１２の内部において、搬送ローラ１８の上方には、基板Ｓに対してリンス液、当例では純水を供給するための２種類の液供給手段が配備されている。具体的には、搬入口１４の直ぐ近傍に、基板Ｓの幅方向（基板Ｓの搬送方向と直交する方向；同図では紙面に直交する方向）に延びるスリット状の吐出口をもつスリットノズル２０が配備され、さらにその下流側に（同図では左側）にスプレイノズル２４が配備されている。
【００２８】
スリットノズル２０（本発明に係るノズル）は、同図に示すように、上流側から下流側に向かって斜め下向きの姿勢でチャンバ内壁に固定されており、前記吐出口からカーテン状に純水を吐出して基板Ｓに供給するようになっている。
【００２９】
一方、スプレイノズル２４は、詳しく図示していないが、搬送ローラ１８の上方に複数設けられ、例えばマトリクス状に配備されている。そして、各スプレイノズル２４からそれぞれ液滴状に純水を吐出して基板Ｓに供給するようになっている。
【００３０】
純水２は、同図に示すようにタンク２６に貯溜されており、ポンプ２８の作動により導出管３０を通じてタンク２６から導出され、この導出管３０から分岐する供給管３２，３４を通じてそれぞれスリットノズル２０およびスプレイノズル２４に供給されるようになっている。供給管３２，３４には開閉バルブＶ１，Ｖ２がそれぞれ介設されており、各ノズル２０，２４に供給される純水の流量がこれら開閉バルブＶ１，Ｖ２の操作により個別に制御されるようになっている。
【００３１】
また、前記チャンバ１２には、その内底部に漏斗状の回収パン（図示省略）が設けられており、使用済みの純水がこの回収パンにより収集されながら回収管３６を通じて前記タンク２６に戻されるようになっている。つまり、この基板処理装置１０では、純水を循環させながら繰り返し使用するように構成されている。
【００３２】
回収管３６には、開閉バブルＶ４が介設され、さらにこの開閉バルブＶ４よりも上流側で分岐する分岐管３８が設けられている。そして、この分岐管３８に介設される開閉バルブＶ５および前記開閉バルブＶ４が適宜操作されることにより、循環使用される純水の一部が分岐管３８を介して廃棄されるようになっている。なお、図中符号２７は、タンク２６に新たな純水を供給する新液供給管で、純水の残量に応じて適宜この新液供給管２７を通じて新たな純水が供給されるようになっている。
【００３３】
図２〜図４は、本発明に係る上記スリットノズル２０の概略を断面図でそれぞれ示しており、図２，図３は縦断面で、図４は平断面（図２のＩＶ−ＩＶ線断面図）でそれぞれスリットノズル２０を示している。なお、図２，図３はそれぞれ、図４のＩＩ―ＩＩ線、ＩＩＩ−ＩＩＩ線に相当する部分のスリットノズル２０の縦断面を示している。
【００３４】
これらの図に示すように、スリットノズル２０は、共に細長い板状の部材である第１パーツ３２ａと第２パーツ３２ｂとを重ね合わせ、両パーツ３２ａ，３２ｂ（本発明に係るノズル構成部材に相当する）を複数本のボルト４０により互いに締結することにより構成されている。具体的には、図３に示すように、第１パーツ３２ａに形成される貫通穴３５ａに同パーツ３２ａの上側からボルト４０が挿入され、このボルト４０が第２パーツ３２ｂに形成されるねじ穴３５ｂに螺合挿入されることにより両パーツ３２ａ，３２ｂが互いに締結されている。
【００３５】
これらのパーツ３２ａ，３２ｂは、ＰＶＣ、あるいはＳＵＳからなり、互いの対向面３４ａ，３４ｂは、後記凹部３６ａ，３６ｂおよび突起３３が形成される以外は、全体が平坦に形成されている。
【００３６】
スリットノズル２０の内部には、その長手方向に延びる中空のバッファ部Ｂと、このバッファ部Ｂに連通する扁平な流路Ｆとが形成されており、この流路Ｆがノズル先端（図２では右端）に開口することによりこの開口によりスリット状の吐出口Ｄが形成されている。
【００３７】
前記バッファ部Ｂは、両パーツ３２ａ，３２ｂの対向面３４ａ，３４ｂにそれぞれ形成される凹部３６ａ，３６ｂにより構成されており、前記流路Ｆおよび吐出口Ｄは、前記対向面３４ａ，３４ｂの間に設けられる隙間により構成されている。
【００３８】
この隙間（流路Ｆおよび吐出口Ｄ）は、図２および図３に示すように、第２パーツ３２ｂの前記対向面３４ｂに設けられる複数の突起３３が第１パーツ３２ａの対向面３４ａに当接することにより形成されている。
【００３９】
これらの突起３３は、先端が半球状の突起で、第２パーツ３２ｂに一体形成されている。各突起３３と前記ボルト４０の締結部（すなわち貫通穴３５ａ，ねじ穴３５ｂ）とは、図２および図４に示すように、共に流路Ｆの前後方向（図２では左右方向）略中央に位置し、かつスリットノズル２０の長手方向に略一定間隔で交互に一列に並んでいる。このように突起３３とボルト４０の締結部とが並ぶことにより、ボルト４０の締め付け度合の差による隙間の変動が防止され、流路Ｆおよび吐出口Ｄの隙間寸法がスリットノズル２０の長手方向に一定に保たれるようになっている。
【００４０】
なお、図２および図３中符号３７は、バッファ部Ｂに連通する純水の導入孔で第１パーツ３２ａに形成されている。また、符号３９は、バッファ部Ｂの後側で両パーツ３２ａ，３２ｂ（対向面３４ａ，３４ｂ）の間に挟み込まれる帯状のシール部材であり、ゴムや樹脂等により構成されている。
【００４１】
上記のようなスリットノズル２０は、例えば次のような手順で組み立てられる。
【００４２】
まず、予め加工された第２パーツ３２ｂを、前記対向面３４ｂが上向きになる状態で載置し、前記シール部材３９を対向面３４ｂの後端縁部に沿って貼付ける。その後、この第２パーツ３２ｂの上に、第１パーツ３２ａを重ね合わせ、各貫通穴３５ａにボルト４０を挿入した後、これらボルト４０を締め付ける。この締め付けにより、第２パーツ３２ｂの各突起３３が第１パーツ３２ａの対向面３４ａに当接して一定隙間の前記流路Ｆおよび吐出口Ｄが設けられた上記スリットノズル２０が完成する。
【００４３】
このようなスリットノズル２０によると、第２パーツ３２ｂの対向面３４ｂに設けられる突起３３により流路Ｆおよび吐出口Ｄが形成されるため、従来のように、シムやワッシャ等の多数のスペーサをいちいちボルト締結部に合わせて両パーツの間に挟み込むといった手間が要らず、スリットノズル２０の組立性およびメンテナンス性が改善される。しかも、流路Ｆの隙間寸法や純水の流量を考慮して突起３３の大きさや形状を自由に選定できるため、ボルト４０と共に突起３３を細径化することにより、吐出むらの発生を有効に防止することが可能となる。従って、純水の吐出むらの発生を有効に防止する一方で、スリットノズル２０の組立性およびメンテナンス性を向上させることができる。
【００４４】
また、従来のようにスペーサのサイズに左右されることなくボルト４０のサイズを選定できるため、ボルトサイズの自由度が向上する。従って、例えば吐出むらを誘発しない範囲で可及的に大きいサイズのボルト４０を使用すれば、両パーツ３２ａ，３２ｂの締結強度を余裕を持って確保することができ、その結果、スリットノズル２０の耐久性を向上させるこができるという利点もある。
【００４５】
そして、このようなスリットノズル２０をもつ上記の基板処理装置１０によると、チャンバ１２に搬入されてくる基板Ｓに対し、吐出むらを伴うことのないカーテン状の純水を供給することができ、また、上述したスリットノズル２０の利点を生かした組立性、メンテナンス性、および耐久性に優れた基板処理装置１０を提供することができる。
【００４６】
なお、上述したスリットノズル２０および基板処理装置１０は、本発明に係るノズルおよび基板処理装置の好ましい実施形態の一例であって、その具体的な構成は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、次の構成を採用することもできる。
【００４７】
（１）突起３３の形状は、実施形態のような半球状のものに限られず、図５に示すような円柱状、角柱状等の柱状のものでもよい。なお、突起３３は、第２パーツ３２ｂに限らず、第１パーツ３２ａに設けてもよく、また、両パーツ３２ａ，３２ｂに設けてもよい。
【００４８】
（２）突起３３は、第２パーツ３２ｂの対向面３４ｂに一体形成する以外に、図６に示すようにして設けてもよい。すなわち、第２パーツ３２ｂの対向面３４ｂに穴部４２を形成し、この穴部４２に、突起形成用部材４４を嵌め込むことにより前記突起３３を設けるようにしてもよい。
【００４９】
このような構成は、より隙間寸法の小さい流路Ｆおよび吐出口Ｄを設ける場合に有効となる。すなわち、平坦な対向面３４ｂに突起３３を一体形成する場合、突起３３が小さくなるに伴い正確な突起３３を形成することが技術的に難しくなるが、上記のような構成によれば、対向面３４ｂには、穴部４２を形成するだけで済むため突起３３を一体形成する場合に比べて加工が容易になる。そのため、より隙間寸法の小さい流路Ｆ等を設ける場合、つまり小さな突起３３が必要な場合に有効な構成となる。
【００５０】
（３）上記（２）の変形として、図７に示すような構成で突起３３を設けるようにしてもよい。すなわち、両パーツ３２ａ，３２ｂの重ね合わせ方向に貫通するねじ穴４６を第２パーツ３２ｂに形成し、このねじ穴４６に、第１パーツ３２ａとは反対側（同図では下側）からボルト４８を螺合挿入し、そのねじ軸先端を第１パーツ３２ａの対向面３４ａに突き当てることによりそのねじ軸により前記突起３３を形成してもよい。この構成によると、ボルト４８を操作してねじ軸先端の突出量を調整することによって、ノズル組立後等に、流路Ｆおよび吐出口Ｄの隙間寸法を微調整することが可能となる。そのため、流路Ｆおよび吐出口Ｄの隙間寸法をスリットノズル２０の長手方向に亘ってより均一に設けることが可能になる。なお、同図中符号４７は、緩み防止のためにボルト４８に挿入されるスプリングワッシャを示している。
【００５１】
（４）突起３３の形状として、図８に示すように前後方向（純水の流動方向）に細長い突起３３を設けるようにしてもよい。この突起３３によると、突起３３と対向面３４ａとの接触面積を増やして突起３３の圧縮応力を高めることができる。そのため、突起３３の強度を高めることができ、また、突起３３が整流板として機能することも期待できるため吐出むらをより防止する上で有効となる。
【００５２】
（５）突起３３とボルト４０の締結部（貫通穴３５ａ，ねじ穴３５ｂ）との配列は、実施形態のようにスリットノズル２０の長手方向に一列に直線状に配列されるものに限らず、例えば図９に示すように、ボルト４０の締結部に対して突起３３が前後方向にオフセットされるものであってもよい。要は、流路Ｆおよび吐出口Ｄの隙間寸法を一定に保つことができ、かつ純水の吐出むらを防止できる配列であればよい。但し、実施形態のような配列によれば、上述した通り、ボルト４０の締め付け度合の差による隙間の変動を有効に防止することができるため、流路Ｆおよび吐出口Ｄの隙間寸法を一定保ち得るようにしながらも、組立性を向上させることができるという利点がある。
【００５３】
（６）実施形態では、吐出口Ｄが１つの単孔タイプのスリットノズル２０について説明したが、勿論、吐出口Ｄが２つ、あるいは３つ以上平行に並ぶ多孔タイプのスリットノズルにいても本発明は適用可能である。例えば、図１０は、２つの吐出口Ｄ１，Ｄ２が上下二列に並ぶスリットノズル２０′を示している。このスリットノズル２０′は、第１パーツ５２ａ〜第３パーツ５２ｃを重ね合わせ、各パーツ５２ａ〜５２ｃをボルト６０により互いに締結することにより構成されている。第１パーツ５２ａおよび第３パーツ５２ｃの対向面５４ａ，５４ｃにはそれぞれ突起５３が形成されており、これら突起５３が、第２パーツ５２ｂの対向面５４ｂ，５４ｂ′にそれぞれ当接することにより、第２パーツ５２ｂ（対向面５４ｂ，５４ｂ′）と第１，第３パーツ５２ａ，５２ｃ（対向面５４ａ，５４ｃ）との間にそれぞれ隙間が形成され、これらの隙間により上下二列に並ぶ流路Ｆ１，Ｆ２および吐出口Ｄ１，Ｄ２が設けられた構成となっている。なお、図中符号Ｂ１，Ｂ２は、バッファ部を示しており、各対向面５４ａ〜５４ｃに形成される凹部により形成されている。
【００５４】
（７）なお、実施形態では、本発明に係るスリットノズル２０を、洗浄処理を行う基板処理装置１０に適用した例について説明したが、勿論、本発明に係るノズルは、洗浄処理に限らず薬液処理を行う基板処理装置についても適用可能である。また、本発明に係るノズルは、液体以外に、窒素ガスやエア等の気体を基板に供給するものとしても適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明に係る基板処理装置（本発明に係るノズルが使用される基板処理装置）の概略を示す断面図である。
【図２】スリットノズル（本発明に係るノズル）の概略を示す縦断面図（突起がある部分の断面図）である。
【図３】スリットノズルの概略を示す縦断面図（ボルトがある部分の断面図）である。
【図４】スリットノズルの概略を示す平断面図（図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図）である。
【図５】スリットノズルの別の構成を示す縦断面図（突起がある部分の断面図）である。
【図６】スリットノズルの別の構成を示す縦断面図（突起がある部分の断面図）である。
【図７】スリットノズルの別の構成を示す縦断面図（突起がある部分の断面図）である。
【図８】スリットノズルの別の構成を示す平断面図（図４に対応する断面図）である。
【図９】スリットノズルの別の構成を示す平断面図（図４に対応する断面図）である。
【図１０】スリットノズルの別の構成を示す縦断面図（突起がある部分の断面図）である。
【符号の説明】
【００５６】
１０ 基板処理装置
２０ スリットノズル
３２ａ 第１パーツ（ノズル構成部材）
３２ｂ 第２パーツ（ノズル構成部材）
３４ａ，３４ｂ 対向面
３３ 突起
４０ ボルト
Ｂ バッファ部
Ｄ 吐出口
Ｆ 流路
Ｓ 基板
【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれ平坦な対向面をもつ一対のノズル構成部材を、前記対向面の間に隙間を形成した状態で重ね合わせることにより当該隙間によりスリット状の流体吐出口とこれに通じる扁平な流路を形成したノズルにおいて、
前記ノズル構成部材のうち少なくとも一方側の対向面に突起が設けられ、当該突起が相手側ノズル構成部材の対向面に当接する状態で両ノズル構成部材が重ね合わされることにより前記隙間が形成されていることを特徴とするノズル。
【請求項２】
請求項１に記載のノズルにおいて、
両ノズル構成部材は、その重ね合わせ方向に挿入される複数のボルトにより互いに締結されるものであって、これらボルトによる締結部と前記突起とが前記吐出口の長手方向に一列に直線状に並んでいることを特徴とするノズル。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のノズルにおいて、
前記対向面に穴部が形成され、この穴部に突起形成用部材が挿入されることにより前記突起が設けられていることを特徴とするノズル。
【請求項４】
請求項３に記載のノズルにおいて、
前記ノズル構成部材に、前記穴部として前記重ね合わせ方向に貫通するねじ穴が形成され、このねじ穴に、ねじ軸が螺合挿入されてその先端が相手ノズル構成部材の対向面に突き当てられることにより、当該ねじ軸の先端により前記突起が形成されていることを特徴とするノズル。
【請求項５】
請求項１乃至３の何れかに記載のノズルにおいて、
前記突起は、流体の流動方向に細長に形成されていることを特徴とするノズル。
【請求項６】
基板を搬送する搬送手段と、スリット状の流体吐出口をもち、前記搬送手段により搬送される基板に対して流体を供給することにより当該基板に所定の処理を施すノズルとを備えた基板処理装置において、
前記ノズルとして、請求項１乃至５の何れかに記載のノズルを備えていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項１】
それぞれ平坦な対向面をもつ一対のノズル構成部材を、前記対向面の間に隙間を形成した状態で重ね合わせることにより当該隙間によりスリット状の流体吐出口とこれに通じる扁平な流路を形成したノズルにおいて、
前記ノズル構成部材のうち少なくとも一方側の対向面に突起が設けられ、当該突起が相手側ノズル構成部材の対向面に当接する状態で両ノズル構成部材が重ね合わされることにより前記隙間が形成されていることを特徴とするノズル。
【請求項２】
請求項１に記載のノズルにおいて、
両ノズル構成部材は、その重ね合わせ方向に挿入される複数のボルトにより互いに締結されるものであって、これらボルトによる締結部と前記突起とが前記吐出口の長手方向に一列に直線状に並んでいることを特徴とするノズル。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のノズルにおいて、
前記対向面に穴部が形成され、この穴部に突起形成用部材が挿入されることにより前記突起が設けられていることを特徴とするノズル。
【請求項４】
請求項３に記載のノズルにおいて、
前記ノズル構成部材に、前記穴部として前記重ね合わせ方向に貫通するねじ穴が形成され、このねじ穴に、ねじ軸が螺合挿入されてその先端が相手ノズル構成部材の対向面に突き当てられることにより、当該ねじ軸の先端により前記突起が形成されていることを特徴とするノズル。
【請求項５】
請求項１乃至３の何れかに記載のノズルにおいて、
前記突起は、流体の流動方向に細長に形成されていることを特徴とするノズル。
【請求項６】
基板を搬送する搬送手段と、スリット状の流体吐出口をもち、前記搬送手段により搬送される基板に対して流体を供給することにより当該基板に所定の処理を施すノズルとを備えた基板処理装置において、
前記ノズルとして、請求項１乃至５の何れかに記載のノズルを備えていることを特徴とする基板処理装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２００８−１００１４３（Ｐ２００８−１００１４３Ａ）
【公開日】平成２０年５月１日（２００８．５．１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−２８３２８４（Ｐ２００６−２８３２８４）
【出願日】平成１８年１０月１８日（２００６．１０．１８）
【出願人】（０００２０７５５１）大日本スクリーン製造株式会社 (2,640)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年５月１日（２００８．５．１）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年１０月１８日（２００６．１０．１８）
【出願人】（０００２０７５５１）大日本スクリーン製造株式会社 (2,640)
【Ｆターム（参考）】
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