半導体装置の製造方法
【課題】装置を小型化してもリードの脱落を防ぐことができる半導体装置の製造方法を得る。
【解決手段】リード11の上面にハーフエッチにより凹部17´が形成されたリードフレーム18を準備する。ダイパッド13上に半導体チップ14を搭載する。樹脂16で一括封止する。樹脂16で封止したリードフレーム18をブロック19ごとに分離する。樹脂封止工程において、凹部17´を樹脂16で上方から充填し、リード11の下面を樹脂16から露出させる。ダイシング工程において、リード11の切断面が凹部17´にくるようにして、リード11の上面と切断面との間に切り欠き17を形成する。この切り欠き17には樹脂が充填されるためリードの脱落が防止される。
【解決手段】リード11の上面にハーフエッチにより凹部17´が形成されたリードフレーム18を準備する。ダイパッド13上に半導体チップ14を搭載する。樹脂16で一括封止する。樹脂16で封止したリードフレーム18をブロック19ごとに分離する。樹脂封止工程において、凹部17´を樹脂16で上方から充填し、リード11の下面を樹脂16から露出させる。ダイシング工程において、リード11の切断面が凹部17´にくるようにして、リード11の上面と切断面との間に切り欠き17を形成する。この切り欠き17には樹脂が充填されるためリードの脱落が防止される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、QFN(Quad Flat Non-leaded)パッケージに関し、特に装置を小型化してもリードの脱落を防ぐことができる半導体装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
QFNパッケージにおいては、パッケージ裏面に外部端子となるリードを露出させる構成上、リードがパッケージから脱落しやすいという問題となる。そのためリードに特殊な形状を施してリード脱落を防止する。図35は、従来の半導体装置を示す断面図である。ダイパッド13上に半導体チップ14が搭載され、半導体チップ14と複数のリード11が複数のワイヤ15によりそれぞれ接続されている。これらの半導体チップ14、複数のワイヤ15及び複数のリード11は樹脂16により封止され、パッケージ10が構成されている。そして、パッケージ10の内部においてリード11の上面に凹部25が形成されている。この凹部25が樹脂16に引っかかるため、リード11が樹脂16からその側面方向に抜け落ちるのを防ぐことができる。側面方向に以外にもそのパッケージの裏面にリードが抜け落ちるのを防ぐために、リードの側面にテーパー形成を施されたものがある。具体的には特許文献1に開示されている。
【0003】
QFNパッケージにおいては、1枚のリードフレームに形成された複数のパッケージ形成領域を一括モールドした後、ダイシングにより各パッケージに個片化する製造方法がある。例えば図36(b)に示すように、ダイパッド13とダイパッド13の周りに配置された複数のリード11を一つのブロック19として、複数のブロック19を配列したリードフレーム18を形成する。そして、互いに隣接するブロック19間においてリードフレーム18の下面に凹部26を設ける。
【0004】
このようなリードフレーム18を用意し、ダイパット13上にチップをダイボンドし、チップとリード11とをワイヤボンディングした後、リードフレーム18の複数のブロック19を一括して樹脂16でモールドする。そしてダイシングブレード23がリードフレームの凹部26を貫くようにして樹脂16及びリードフレーム18を切断する。従って図36(b)のごとく、個片化されたQFNパッケージにおいては、リード11の下面と外側面との間に切り欠き部27が形成され、その切り欠き部27には樹脂が充填されている。
【0005】
【特許文献1】特開2001−15668号公報
【特許文献2】特開2004−23007号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
図36に示すQFNパッケージの構造およびその製造方法によれば、切り欠き部27が樹脂16に引っかかるため図35の構造と同様、樹脂側面方向からのリードの抜け防止できる。加えて、互いに隣接するブロック19間において堅い金属のリードフレーム18が薄くなるため、互いに隣接するブロック19間をダイシングする際にダイシングブレード23の磨耗を低減することができる。そしてリードフレーム18の凹部26がリードの抜け防止とダイシングブレード23の磨耗防止とを同時に実現するため、図35に示す凹部25が不要となり、リード11の長さ(断面図の左右方向の長さ)を短かくすることができ、装置の小型化が期待できる。しかしながらリード11に形成された切り欠き部27に充填された樹脂16は、他の大部分の樹脂16との繋がりが弱いため、欠け易いという問題がある。また切り欠き部27に充填される樹脂16の存在によりリード11の樹脂下面での露出が小さいためQFNパッケージのリードと実装基板との実装面積が小さいという問題もある。
【0007】
また半導体チップとリードをワイヤにより接続するワイヤボンディング工程において、リードフレームを押え部材で押える必要がある。しかし、上記のようにリードの上面と外側面との間に切り欠きを形成する場合に、リードフレームを押え部材でどのように押えるかは検討されていなかった。従って、リードフレームを押える力を高精度に制御することはできなかった。
【0008】
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は、装置を小型化してもリードの脱落を防ぐことができ、かつワイヤボンディング工程においてリードフレームを押える力を高精度に制御することができる半導体装置の製造方法を得るものである。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本発明の一実施例による半導体装置の製造方法においては、まず、ダイパットと、そのダイパット周辺に配置された複数のリードとを含んだ部分を一つのブロックとして、そのブロックを複数個配列したリードフレームであって、リード各々の上面には凹部が形成され、隣り合うブロックの互いに対向するリードの凹部どうしを連結する連結部とを有したリードフレームを準備する。ブロック各々のダイパッド上に半導体チップを搭載し、半導体チップと複数のリードの上面の凹部が形成されていない部分とをワイヤで接続し、複数のブロックに搭載された半導体チップ、ワイヤ及び複数のリードを一括して樹脂で一括に封止する。そして切断面が複数のリードの凹部を通るようにして、リードフレームのブロックごとに分離する。
【発明の効果】
【0010】
この実施例によれば、複数のリードの上面と切断面との間に切り欠きが形成されるので、装置を小型化してもリードの脱落を防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0011】
実施の形態1.
図1は本発明の実施の形態1に係る半導体装置を示す斜視図であり、図2はその下面図である。この半導体装置はQFN(Quad Flat Non-leaded package)である。そして、パッケージ10の側面からリード11及び吊りリード12の一部が露出し、パッケージ10の下面からリード11及びダイパッド13の下面が露出している。なお、パッケージ10の外形は4mm×4mmである。
【0012】
図3は本発明の実施の形態1に係る半導体装置から樹脂を取り除いた状態の上面図であり、図4は図3において封止樹脂で上面を封止した状態のX−X’断面図である。吊りリード12に支持されたダイパッド13の周りに複数のリード11が配置され、ダイパッド13上に半導体チップ14が搭載されている。半導体チップ14と複数のリード11が、複数のワイヤ15によりそれぞれ接続されている。これらの半導体チップ14、複数のワイヤ15及び複数のリード11は樹脂16により封止され、パッケージ10を構成している。複数のリード11の外側面及び下面は樹脂16から露出している。
【0013】
図5はリードを内側面側から見た図である。リード11の厚みは0.125mm、上面の横幅は0.26mm、下面の横幅は0.20mmである。このように下方に向けて細くなるテーパー形状であるため、リード11のパッケージ下面からの脱落を防ぐことができる。
【0014】
図6はリードの側面図である。複数のリード11の上面と外側面との間に切り欠き17が形成されている。ワイヤボンディング部の縦幅が0.26mm、切り欠き17の縦幅が0.05mm、切り欠き17の高さが0.04mmである。また、リード11の内側面はテーパー状になっており、リード11の下面の縦幅が0.25mmであるのに対し、テーパー部分の縦幅は0.06mmである。
【0015】
切り欠き17には樹脂16が上方から充填されている。この切り欠き17が樹脂16に引っかかるため、リード11のパッケージ側面からの脱落を防ぐことができる。また、装置のサイズを維持したまま外部端子となるリードの数を増やしたいとき、装置の一辺あたりのリードの数を増やさざるを得ない。しかし吊りリード12に最も近いリードが吊りリードに接触しないように、リードの長さ(パッケージの内側から外側への方向の長さ)を短かくすればよい。その長さは、例えば典型的には外部に露出している部分で0.40mm以下、さらに短くなると0.30mm以下、本実施の形態では0.25mmである。そこでこのようにリード11が短くなっても、リード11の上面と外側面との間であれば切り欠き17を形成することができる。従って、装置を小型化してもリードの脱落を防ぐことができる。
【0016】
また、リード11の上面と外側面との間に切り欠き17を形成し、下面を平坦にすることで、リード11下面全体が樹脂16から露出する。このため、リード下面に凹部や切り欠きを形成するのに比べてリード実装面積を大きくすることができる。そして、リード11の切り欠き17内に充填された樹脂16は、他の大部分の樹脂16と十分に繋がっているため、欠け難い。
【0017】
次に、本発明の実施の形態1に係る半導体装置の製造方法について図面を参照しながら説明する。
【0018】
まず、リードフレームを準備する。図7は本発明の実施の形態1に係るリードフレームを示す平面図であり、図8は図7の一部を拡大した平面図である。リードフレーム18は、吊りリード12に支持されたダイパッド13とダイパッド13の周りに配置された複数のリード11を一つのブロック19として、複数のブロック19を配列したものである。ここでは、リードフレーム18上に、ブロック19を縦横12個ずつ配列したものを3組形成する。
【0019】
図9は、図8の一部を更に拡大した平面図である。互いに隣接するブロックの対向するリード11がそれぞれ第1の連結部20aにより連結されている。そして、互いに隣接する第1の連結部20aがそれぞれ第2の連結部20bにより連結されている。第2の連結部20bの横幅は0.20mmである。
【0020】
次に、リードフレーム18の上面(半導体チップがダイボンドされる面)と下面(上面に対して反対側の面)をそれぞれ化学薬品を使って貫通させない程度にエッチングした、いわゆるハーフエッチを行う(ハーフエッチ工程)。図10はハーフエッチしたリードフレームの上面を示す平面図であり、図11は図10の一部を拡大した平面図である。図中で、白抜きの部分がハーフエッチされていない部分であり、斜線模様を付した部分がハーフエッチした部分である。複数のリード11の上面にハーフエッチにより凹部17´が形成されている。互いに隣接するブロック19の対向するリード11の凹部17´が繋がるように第1の連結部20aの上面がハーフエッチされている。第2の連結部20bはハーフエッチされていない。
【0021】
図12はハーフエッチしたリードフレームの下面を示す平面図であり、図13は図12の一部を拡大した平面図である。図中で、白抜きの部分がハーフエッチされていない部分であり、斜線模様を付した部分がハーフエッチした部分であり、格子模様を付した部分はテーパー部分である。第2の連結部20bの下面及び吊りリード12の下面がハーフエッチされている。リード11の下面の横幅は0.20mmであり、リード11の上面の横幅は0.26mmである。なお、図中の白抜きの部分が樹脂封止後の半導体パッケージ下面から露出する部分となる。
【0022】
図14は図10のA−A´における断面図であり、図15は図14の一部を拡大した断面図である。リード11のハーフエッチされていない部分(ワイヤボンディング部)の縦幅が0.26mmである。そして、互いに隣接するブロック19の対向するリード11の凹部17´の縦幅と、その間に存在しハーフエッチされている第1の連結部20aの縦幅の合計は0.40mmである。
【0023】
図16は図10のB−B´における断面図であり、図17は図16の一部を拡大した断面図である。リード11の上面は、B−B´断面に沿って凹凸が繰りかえされた形状になっている。一方、リード11の下面は、上面とは逆の凹凸が繰りかえされた形状になっている。リードフレーム18の元の厚みが1.25mmで、上面からハーフエッチされた部分の深さは0.40mm、下面からハーフエッチされた部分の深さは0.40mmである。
【0024】
次に、図18に示すように、各ブロック19のダイパッド13上に半導体チップ14を搭載する。次に、ワイヤボンディングを行う。図19はワイヤボンディングを行う様子を示す平面図であり、図20は図19のC−C´における断面図であり、図21は図19のD−D´における断面図である。
【0025】
リードフレーム18の下面をシート21上に貼り付け、ボンディング装置のプラテン30上に載置する。そしてボンディング装置によりワイヤボンディングする際、少なくとも第2の連結部20bを押え部材22で押えた状態で、各ブロック19の半導体チップ14と複数のリード11を複数のワイヤ15によりそれぞれ接続する。ここで図19に示すように、押え部材22は格子形状をなし、各ブロック19の外枠にほぼ一致しており、配列する第2の連結部20bに沿って押え部材22が配置される。押え部材22は、リード11の凹部17’の底面には接触しない。なお、シート21として、紫外線を当てるとリードフレーム18から容易に剥がすことができるUVシートや、後段のダイシング工程で使用されるダイシングシートなどを用いることができる。
【0026】
次に、図22に示すように、リードフレーム18上に縦横12個ずつ配列したブロック19の半導体チップ14、複数のワイヤ15及び複数のリード11を樹脂16で一括封止する(樹脂封止工程)。この際に凹部17´を樹脂16で上方から充填する。モールド装置のキャビティを構成する上金型及び下金型は図示していないが、図23に示すように、リードフレーム18をシート21上に貼り付けた状態で樹脂封止を行うことで、リードフレーム18の下面に樹脂16が潜り込むのを防ぐことができる。これにより、複数のリード11の下面を樹脂16から露出させる。
【0027】
次に、樹脂封止した後、シート21にUVを照射してシート21を剥がす。そして樹脂封止面側にシート24を貼り付け、ダイシング装置内のダイシングステージにシート24側を上にして載置する。図24に示すように、リードフレーム18をシート24に貼り付けた状態で、ダイシングブレード23を用いて、樹脂16で封止したリードフレーム18をブロック19ごとに分離する(ダイシング工程)。この際に、複数のリード11の切断面が凹部17´を通るようにして、図6に示すように複数のリード11の上面と外側面(切断面)との間に切り欠き17を形成する。なお、ダイシングブレード23の幅は0.30mmである。以上の工程により、本実施の形態に係る半導体装置が製造される。
【0028】
凹部17は化学薬品を使うエッチングにより行われるため、図7に示すリードフレーム18全体からみて、ハーフエッチした部分の厚みにばらつきが生じる可能性がある。例えば最端のブロック内のハーフエッチ部分の厚みと、それとは遠く離れた最端の反対側のブロック内のハーフエッチ部分の厚みとの間にずれが生じる可能性がある。他方、ハーフエッチ前の元々のリードフレーム18の厚みはリードフレーム全体で高精度に均一性が保たれているように形成されている。従って、上記のようにワイヤボンディング工程においてハーフエッチしていない第2の連結部20bを押え部材22で押えることで、リードフレーム18を押える力をフレーム全体で均一に保てるため高精度なワイヤボンドが実現される。
【0029】
また、硬いリードフレーム18の一部である第1の連結部20aの上面がハーフエッチされているため、ダイシングブレード23の磨耗を低減することができる。同様に、第2の連結部20bの下面がハーフエッチされているため、ダイシングブレード23の磨耗を低減することができる。この第2の連結部20bの下面のハーフエッチは、本来必要とされている吊りリード12の下面のハーフエッチと同じ工程で形成できるため、リードフレームの製造コストは増えない。
【0030】
実施の形態2.
図25は本発明の実施の形態2に係るハーフエッチしたリードフレームの上面を示す平面図であり、図26は図25の一部を拡大した平面図であり、図27は図25のE−E´における断面図である。図示のように、第1の連結部20aにハーフエッチされていない部分が有る。そして、図28に示すように、ワイヤボンディング工程において、第1の連結部20aのハーフエッチされていない部分を押え部材22で押えた状態で、各ブロック19の半導体チップ14と複数のリード11を複数のワイヤ15によりそれぞれ接続する。リードフレーム下面のハーフエッチパターン構成を含めてその他の構成及び工程は実施の形態1と同様である。
【0031】
第1の連結部20aのハーフエッチされていない部分の下面もハーフエッチされていないため、この部分は元々のリードフレーム18の厚みとなる。従って、この部分を押え部材22で押えることで、押え部材22によるリードフレーム18の押圧強度を増すことができ、実施の形態1に比してさらに高精度なワイヤボンディングが実現される。
【0032】
なお、第1の連結部20aのハーフエッチされていない部分の幅aは、第2の連結部20bの幅bよりも小さい(a<b)。しかし、これに限らず、幅aがダイシングのブレード23の厚みより小さければ、幅aと幅bが同じ(a=b)或いは幅aを幅bより大きくしてもよい。ただし幅aが大きくなるほどダイシング時のブレード23の負荷が増えることに留意して幅aが決定される。
【0033】
また、図29に示すように、ダイシング工程において、互いに隣接するブロック19間を2箇所ダイシングするようにしてもよい。これにより、第1の連結部20aのハーフエッチされていない部分の幅を広く確保することができる。従って、ワイヤボンディング工程において押え部材22で押える部分を広くすることができる。さらに、2以上のブロック19ごとに、互いに隣接するブロック19間を2箇所ダイシングするようにすれば、リードフレーム18全体をあまり大きくすることなく、押え部材22で押える部分を広くすることができる。
【0034】
実施の形態3.
図30は本発明の実施の形態3に係るハーフエッチしたリードフレームの上面を示す平面図であり、図31は図30の一部を拡大した平面図である。図32は本発明の実施の形態3に係るハーフエッチしたリードフレームの下面を示す平面図である。図33は図30のF−F´における断面図である。図中で、白抜きの部分がハーフエッチされていない部分であり、斜線模様を付した部分がハーフエッチした部分である。
【0035】
図示のように、第1,第2の連結部20a,20bの上面がハーフエッチされている。複数のリード11の凹部17´の下面及び第1,第2の連結部20a,20bの下面はハーフエッチされていない。そして、図34に示すように、ワイヤボンディング工程において、第1,第2の連結部20a,20b及びリード11の凹部17´の底面を押え部材22で押えた状態で、各ブロック19の半導体チップ14と複数のリード11を複数のワイヤ15によりそれぞれ接続する。その他の構成及び工程は実施の形態1と同様である。
【0036】
これにより、第2の連結部20bを押え部材22で押える実施の形態1に比べて、押え部材22で押える領域の面積が大きくなる。また、硬いリードフレーム18の一部である第1,第2の連結部20a,20bの上面をハーフエッチしたことで、ダイシングブレード23の磨耗を低減することができる。
【0037】
また、リード11の下面には凹部を形成していないため、リード11の下面全体がシート21に貼り付く。従って、リードの下面に凹部を形成する従来技術に比べてシート21との貼り付き面積が増大し、リードフレーム18を強く固定することができるため、ワイヤボンディング時、ワイヤが接合されるときの衝撃によるリードのずれを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【0038】
【図1】本発明の実施の形態1に係る半導体装置を示す斜視図である。
【図2】本発明の実施の形態1に係る半導体装置を示す下面図である。
【図3】本発明の実施の形態1に係る半導体装置を示す断面図である。
【図4】本発明の実施の形態1に係る半導体装置の内部を示す上面図である。
【図5】リードを内側面側から見た図である。
【図6】リードの側面図である。
【図7】本発明の実施の形態1に係るリードフレームを示す平面図である。
【図8】図7の一部を拡大した平面図である。
【図9】図9は、図8の一部を更に拡大した平面図である。
【図10】本発明の実施の形態1に係るハーフエッチしたリードフレームの上面を示す平面図である。
【図11】図10の一部を拡大した平面図である。
【図12】本発明の実施の形態1に係るハーフエッチしたリードフレームの下面を示す平面図である。
【図13】図12の一部を拡大した平面図である。
【図14】図10のA−A´における断面図である。
【図15】図14の一部を拡大した断面図である。
【図16】図10のB−B´における断面図である。
【図17】図16の一部を拡大した断面図である。
【図18】本発明の実施の形態1に係る半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図19】ワイヤボンディングを行う様子を示す平面図である。
【図20】図19のC−C´における断面図である。
【図21】図19のD−D´における断面図である。
【図22】本発明の実施の形態1に係る半導体装置の製造方法を説明するための平面図である。
【図23】本発明の実施の形態1に係る半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図24】本発明の実施の形態1に係る半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図25】本発明の実施の形態2に係るハーフエッチしたリードフレームの上面を示す平面図である。
【図26】図25の一部を拡大した平面図である。
【図27】図25のE−E´における断面図である。
【図28】本発明の実施の形態2に係る半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図29】本発明の実施の形態2に係る半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図30】本発明の実施の形態3に係るハーフエッチしたリードフレームの上面を示す平面図である。
【図31】図30の一部を拡大した平面図である。
【図32】図30のF−F´における断面図である。
【図33】本発明の実施の形態3に係るハーフエッチしたリードフレームの下面を示す平面図である。
【図34】本発明の実施の形態3に係る半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図35】従来の半導体装置を示す断面図である。
【図36】従来の別の半導体装置及びその製造方法を説明するための断面図である。
【符号の説明】
【0039】
10 パッケージ
11 リード
13 ダイパッド
14 半導体チップ
15 ワイヤ
16 樹脂
17 切り欠き
17´ 凹部
18 リードフレーム
19 ブロック
20a 第1の連結部
20b 第2の連結部
21 シート
22 押え部材
【技術分野】
【0001】
本発明は、QFN(Quad Flat Non-leaded)パッケージに関し、特に装置を小型化してもリードの脱落を防ぐことができる半導体装置の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
QFNパッケージにおいては、パッケージ裏面に外部端子となるリードを露出させる構成上、リードがパッケージから脱落しやすいという問題となる。そのためリードに特殊な形状を施してリード脱落を防止する。図35は、従来の半導体装置を示す断面図である。ダイパッド13上に半導体チップ14が搭載され、半導体チップ14と複数のリード11が複数のワイヤ15によりそれぞれ接続されている。これらの半導体チップ14、複数のワイヤ15及び複数のリード11は樹脂16により封止され、パッケージ10が構成されている。そして、パッケージ10の内部においてリード11の上面に凹部25が形成されている。この凹部25が樹脂16に引っかかるため、リード11が樹脂16からその側面方向に抜け落ちるのを防ぐことができる。側面方向に以外にもそのパッケージの裏面にリードが抜け落ちるのを防ぐために、リードの側面にテーパー形成を施されたものがある。具体的には特許文献1に開示されている。
【0003】
QFNパッケージにおいては、1枚のリードフレームに形成された複数のパッケージ形成領域を一括モールドした後、ダイシングにより各パッケージに個片化する製造方法がある。例えば図36(b)に示すように、ダイパッド13とダイパッド13の周りに配置された複数のリード11を一つのブロック19として、複数のブロック19を配列したリードフレーム18を形成する。そして、互いに隣接するブロック19間においてリードフレーム18の下面に凹部26を設ける。
【0004】
このようなリードフレーム18を用意し、ダイパット13上にチップをダイボンドし、チップとリード11とをワイヤボンディングした後、リードフレーム18の複数のブロック19を一括して樹脂16でモールドする。そしてダイシングブレード23がリードフレームの凹部26を貫くようにして樹脂16及びリードフレーム18を切断する。従って図36(b)のごとく、個片化されたQFNパッケージにおいては、リード11の下面と外側面との間に切り欠き部27が形成され、その切り欠き部27には樹脂が充填されている。
【0005】
【特許文献1】特開2001−15668号公報
【特許文献2】特開2004−23007号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
図36に示すQFNパッケージの構造およびその製造方法によれば、切り欠き部27が樹脂16に引っかかるため図35の構造と同様、樹脂側面方向からのリードの抜け防止できる。加えて、互いに隣接するブロック19間において堅い金属のリードフレーム18が薄くなるため、互いに隣接するブロック19間をダイシングする際にダイシングブレード23の磨耗を低減することができる。そしてリードフレーム18の凹部26がリードの抜け防止とダイシングブレード23の磨耗防止とを同時に実現するため、図35に示す凹部25が不要となり、リード11の長さ(断面図の左右方向の長さ)を短かくすることができ、装置の小型化が期待できる。しかしながらリード11に形成された切り欠き部27に充填された樹脂16は、他の大部分の樹脂16との繋がりが弱いため、欠け易いという問題がある。また切り欠き部27に充填される樹脂16の存在によりリード11の樹脂下面での露出が小さいためQFNパッケージのリードと実装基板との実装面積が小さいという問題もある。
【0007】
また半導体チップとリードをワイヤにより接続するワイヤボンディング工程において、リードフレームを押え部材で押える必要がある。しかし、上記のようにリードの上面と外側面との間に切り欠きを形成する場合に、リードフレームを押え部材でどのように押えるかは検討されていなかった。従って、リードフレームを押える力を高精度に制御することはできなかった。
【0008】
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、その目的は、装置を小型化してもリードの脱落を防ぐことができ、かつワイヤボンディング工程においてリードフレームを押える力を高精度に制御することができる半導体装置の製造方法を得るものである。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本発明の一実施例による半導体装置の製造方法においては、まず、ダイパットと、そのダイパット周辺に配置された複数のリードとを含んだ部分を一つのブロックとして、そのブロックを複数個配列したリードフレームであって、リード各々の上面には凹部が形成され、隣り合うブロックの互いに対向するリードの凹部どうしを連結する連結部とを有したリードフレームを準備する。ブロック各々のダイパッド上に半導体チップを搭載し、半導体チップと複数のリードの上面の凹部が形成されていない部分とをワイヤで接続し、複数のブロックに搭載された半導体チップ、ワイヤ及び複数のリードを一括して樹脂で一括に封止する。そして切断面が複数のリードの凹部を通るようにして、リードフレームのブロックごとに分離する。
【発明の効果】
【0010】
この実施例によれば、複数のリードの上面と切断面との間に切り欠きが形成されるので、装置を小型化してもリードの脱落を防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0011】
実施の形態1.
図1は本発明の実施の形態1に係る半導体装置を示す斜視図であり、図2はその下面図である。この半導体装置はQFN(Quad Flat Non-leaded package)である。そして、パッケージ10の側面からリード11及び吊りリード12の一部が露出し、パッケージ10の下面からリード11及びダイパッド13の下面が露出している。なお、パッケージ10の外形は4mm×4mmである。
【0012】
図3は本発明の実施の形態1に係る半導体装置から樹脂を取り除いた状態の上面図であり、図4は図3において封止樹脂で上面を封止した状態のX−X’断面図である。吊りリード12に支持されたダイパッド13の周りに複数のリード11が配置され、ダイパッド13上に半導体チップ14が搭載されている。半導体チップ14と複数のリード11が、複数のワイヤ15によりそれぞれ接続されている。これらの半導体チップ14、複数のワイヤ15及び複数のリード11は樹脂16により封止され、パッケージ10を構成している。複数のリード11の外側面及び下面は樹脂16から露出している。
【0013】
図5はリードを内側面側から見た図である。リード11の厚みは0.125mm、上面の横幅は0.26mm、下面の横幅は0.20mmである。このように下方に向けて細くなるテーパー形状であるため、リード11のパッケージ下面からの脱落を防ぐことができる。
【0014】
図6はリードの側面図である。複数のリード11の上面と外側面との間に切り欠き17が形成されている。ワイヤボンディング部の縦幅が0.26mm、切り欠き17の縦幅が0.05mm、切り欠き17の高さが0.04mmである。また、リード11の内側面はテーパー状になっており、リード11の下面の縦幅が0.25mmであるのに対し、テーパー部分の縦幅は0.06mmである。
【0015】
切り欠き17には樹脂16が上方から充填されている。この切り欠き17が樹脂16に引っかかるため、リード11のパッケージ側面からの脱落を防ぐことができる。また、装置のサイズを維持したまま外部端子となるリードの数を増やしたいとき、装置の一辺あたりのリードの数を増やさざるを得ない。しかし吊りリード12に最も近いリードが吊りリードに接触しないように、リードの長さ(パッケージの内側から外側への方向の長さ)を短かくすればよい。その長さは、例えば典型的には外部に露出している部分で0.40mm以下、さらに短くなると0.30mm以下、本実施の形態では0.25mmである。そこでこのようにリード11が短くなっても、リード11の上面と外側面との間であれば切り欠き17を形成することができる。従って、装置を小型化してもリードの脱落を防ぐことができる。
【0016】
また、リード11の上面と外側面との間に切り欠き17を形成し、下面を平坦にすることで、リード11下面全体が樹脂16から露出する。このため、リード下面に凹部や切り欠きを形成するのに比べてリード実装面積を大きくすることができる。そして、リード11の切り欠き17内に充填された樹脂16は、他の大部分の樹脂16と十分に繋がっているため、欠け難い。
【0017】
次に、本発明の実施の形態1に係る半導体装置の製造方法について図面を参照しながら説明する。
【0018】
まず、リードフレームを準備する。図7は本発明の実施の形態1に係るリードフレームを示す平面図であり、図8は図7の一部を拡大した平面図である。リードフレーム18は、吊りリード12に支持されたダイパッド13とダイパッド13の周りに配置された複数のリード11を一つのブロック19として、複数のブロック19を配列したものである。ここでは、リードフレーム18上に、ブロック19を縦横12個ずつ配列したものを3組形成する。
【0019】
図9は、図8の一部を更に拡大した平面図である。互いに隣接するブロックの対向するリード11がそれぞれ第1の連結部20aにより連結されている。そして、互いに隣接する第1の連結部20aがそれぞれ第2の連結部20bにより連結されている。第2の連結部20bの横幅は0.20mmである。
【0020】
次に、リードフレーム18の上面(半導体チップがダイボンドされる面)と下面(上面に対して反対側の面)をそれぞれ化学薬品を使って貫通させない程度にエッチングした、いわゆるハーフエッチを行う(ハーフエッチ工程)。図10はハーフエッチしたリードフレームの上面を示す平面図であり、図11は図10の一部を拡大した平面図である。図中で、白抜きの部分がハーフエッチされていない部分であり、斜線模様を付した部分がハーフエッチした部分である。複数のリード11の上面にハーフエッチにより凹部17´が形成されている。互いに隣接するブロック19の対向するリード11の凹部17´が繋がるように第1の連結部20aの上面がハーフエッチされている。第2の連結部20bはハーフエッチされていない。
【0021】
図12はハーフエッチしたリードフレームの下面を示す平面図であり、図13は図12の一部を拡大した平面図である。図中で、白抜きの部分がハーフエッチされていない部分であり、斜線模様を付した部分がハーフエッチした部分であり、格子模様を付した部分はテーパー部分である。第2の連結部20bの下面及び吊りリード12の下面がハーフエッチされている。リード11の下面の横幅は0.20mmであり、リード11の上面の横幅は0.26mmである。なお、図中の白抜きの部分が樹脂封止後の半導体パッケージ下面から露出する部分となる。
【0022】
図14は図10のA−A´における断面図であり、図15は図14の一部を拡大した断面図である。リード11のハーフエッチされていない部分(ワイヤボンディング部)の縦幅が0.26mmである。そして、互いに隣接するブロック19の対向するリード11の凹部17´の縦幅と、その間に存在しハーフエッチされている第1の連結部20aの縦幅の合計は0.40mmである。
【0023】
図16は図10のB−B´における断面図であり、図17は図16の一部を拡大した断面図である。リード11の上面は、B−B´断面に沿って凹凸が繰りかえされた形状になっている。一方、リード11の下面は、上面とは逆の凹凸が繰りかえされた形状になっている。リードフレーム18の元の厚みが1.25mmで、上面からハーフエッチされた部分の深さは0.40mm、下面からハーフエッチされた部分の深さは0.40mmである。
【0024】
次に、図18に示すように、各ブロック19のダイパッド13上に半導体チップ14を搭載する。次に、ワイヤボンディングを行う。図19はワイヤボンディングを行う様子を示す平面図であり、図20は図19のC−C´における断面図であり、図21は図19のD−D´における断面図である。
【0025】
リードフレーム18の下面をシート21上に貼り付け、ボンディング装置のプラテン30上に載置する。そしてボンディング装置によりワイヤボンディングする際、少なくとも第2の連結部20bを押え部材22で押えた状態で、各ブロック19の半導体チップ14と複数のリード11を複数のワイヤ15によりそれぞれ接続する。ここで図19に示すように、押え部材22は格子形状をなし、各ブロック19の外枠にほぼ一致しており、配列する第2の連結部20bに沿って押え部材22が配置される。押え部材22は、リード11の凹部17’の底面には接触しない。なお、シート21として、紫外線を当てるとリードフレーム18から容易に剥がすことができるUVシートや、後段のダイシング工程で使用されるダイシングシートなどを用いることができる。
【0026】
次に、図22に示すように、リードフレーム18上に縦横12個ずつ配列したブロック19の半導体チップ14、複数のワイヤ15及び複数のリード11を樹脂16で一括封止する(樹脂封止工程)。この際に凹部17´を樹脂16で上方から充填する。モールド装置のキャビティを構成する上金型及び下金型は図示していないが、図23に示すように、リードフレーム18をシート21上に貼り付けた状態で樹脂封止を行うことで、リードフレーム18の下面に樹脂16が潜り込むのを防ぐことができる。これにより、複数のリード11の下面を樹脂16から露出させる。
【0027】
次に、樹脂封止した後、シート21にUVを照射してシート21を剥がす。そして樹脂封止面側にシート24を貼り付け、ダイシング装置内のダイシングステージにシート24側を上にして載置する。図24に示すように、リードフレーム18をシート24に貼り付けた状態で、ダイシングブレード23を用いて、樹脂16で封止したリードフレーム18をブロック19ごとに分離する(ダイシング工程)。この際に、複数のリード11の切断面が凹部17´を通るようにして、図6に示すように複数のリード11の上面と外側面(切断面)との間に切り欠き17を形成する。なお、ダイシングブレード23の幅は0.30mmである。以上の工程により、本実施の形態に係る半導体装置が製造される。
【0028】
凹部17は化学薬品を使うエッチングにより行われるため、図7に示すリードフレーム18全体からみて、ハーフエッチした部分の厚みにばらつきが生じる可能性がある。例えば最端のブロック内のハーフエッチ部分の厚みと、それとは遠く離れた最端の反対側のブロック内のハーフエッチ部分の厚みとの間にずれが生じる可能性がある。他方、ハーフエッチ前の元々のリードフレーム18の厚みはリードフレーム全体で高精度に均一性が保たれているように形成されている。従って、上記のようにワイヤボンディング工程においてハーフエッチしていない第2の連結部20bを押え部材22で押えることで、リードフレーム18を押える力をフレーム全体で均一に保てるため高精度なワイヤボンドが実現される。
【0029】
また、硬いリードフレーム18の一部である第1の連結部20aの上面がハーフエッチされているため、ダイシングブレード23の磨耗を低減することができる。同様に、第2の連結部20bの下面がハーフエッチされているため、ダイシングブレード23の磨耗を低減することができる。この第2の連結部20bの下面のハーフエッチは、本来必要とされている吊りリード12の下面のハーフエッチと同じ工程で形成できるため、リードフレームの製造コストは増えない。
【0030】
実施の形態2.
図25は本発明の実施の形態2に係るハーフエッチしたリードフレームの上面を示す平面図であり、図26は図25の一部を拡大した平面図であり、図27は図25のE−E´における断面図である。図示のように、第1の連結部20aにハーフエッチされていない部分が有る。そして、図28に示すように、ワイヤボンディング工程において、第1の連結部20aのハーフエッチされていない部分を押え部材22で押えた状態で、各ブロック19の半導体チップ14と複数のリード11を複数のワイヤ15によりそれぞれ接続する。リードフレーム下面のハーフエッチパターン構成を含めてその他の構成及び工程は実施の形態1と同様である。
【0031】
第1の連結部20aのハーフエッチされていない部分の下面もハーフエッチされていないため、この部分は元々のリードフレーム18の厚みとなる。従って、この部分を押え部材22で押えることで、押え部材22によるリードフレーム18の押圧強度を増すことができ、実施の形態1に比してさらに高精度なワイヤボンディングが実現される。
【0032】
なお、第1の連結部20aのハーフエッチされていない部分の幅aは、第2の連結部20bの幅bよりも小さい(a<b)。しかし、これに限らず、幅aがダイシングのブレード23の厚みより小さければ、幅aと幅bが同じ(a=b)或いは幅aを幅bより大きくしてもよい。ただし幅aが大きくなるほどダイシング時のブレード23の負荷が増えることに留意して幅aが決定される。
【0033】
また、図29に示すように、ダイシング工程において、互いに隣接するブロック19間を2箇所ダイシングするようにしてもよい。これにより、第1の連結部20aのハーフエッチされていない部分の幅を広く確保することができる。従って、ワイヤボンディング工程において押え部材22で押える部分を広くすることができる。さらに、2以上のブロック19ごとに、互いに隣接するブロック19間を2箇所ダイシングするようにすれば、リードフレーム18全体をあまり大きくすることなく、押え部材22で押える部分を広くすることができる。
【0034】
実施の形態3.
図30は本発明の実施の形態3に係るハーフエッチしたリードフレームの上面を示す平面図であり、図31は図30の一部を拡大した平面図である。図32は本発明の実施の形態3に係るハーフエッチしたリードフレームの下面を示す平面図である。図33は図30のF−F´における断面図である。図中で、白抜きの部分がハーフエッチされていない部分であり、斜線模様を付した部分がハーフエッチした部分である。
【0035】
図示のように、第1,第2の連結部20a,20bの上面がハーフエッチされている。複数のリード11の凹部17´の下面及び第1,第2の連結部20a,20bの下面はハーフエッチされていない。そして、図34に示すように、ワイヤボンディング工程において、第1,第2の連結部20a,20b及びリード11の凹部17´の底面を押え部材22で押えた状態で、各ブロック19の半導体チップ14と複数のリード11を複数のワイヤ15によりそれぞれ接続する。その他の構成及び工程は実施の形態1と同様である。
【0036】
これにより、第2の連結部20bを押え部材22で押える実施の形態1に比べて、押え部材22で押える領域の面積が大きくなる。また、硬いリードフレーム18の一部である第1,第2の連結部20a,20bの上面をハーフエッチしたことで、ダイシングブレード23の磨耗を低減することができる。
【0037】
また、リード11の下面には凹部を形成していないため、リード11の下面全体がシート21に貼り付く。従って、リードの下面に凹部を形成する従来技術に比べてシート21との貼り付き面積が増大し、リードフレーム18を強く固定することができるため、ワイヤボンディング時、ワイヤが接合されるときの衝撃によるリードのずれを防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【0038】
【図1】本発明の実施の形態1に係る半導体装置を示す斜視図である。
【図2】本発明の実施の形態1に係る半導体装置を示す下面図である。
【図3】本発明の実施の形態1に係る半導体装置を示す断面図である。
【図4】本発明の実施の形態1に係る半導体装置の内部を示す上面図である。
【図5】リードを内側面側から見た図である。
【図6】リードの側面図である。
【図7】本発明の実施の形態1に係るリードフレームを示す平面図である。
【図8】図7の一部を拡大した平面図である。
【図9】図9は、図8の一部を更に拡大した平面図である。
【図10】本発明の実施の形態1に係るハーフエッチしたリードフレームの上面を示す平面図である。
【図11】図10の一部を拡大した平面図である。
【図12】本発明の実施の形態1に係るハーフエッチしたリードフレームの下面を示す平面図である。
【図13】図12の一部を拡大した平面図である。
【図14】図10のA−A´における断面図である。
【図15】図14の一部を拡大した断面図である。
【図16】図10のB−B´における断面図である。
【図17】図16の一部を拡大した断面図である。
【図18】本発明の実施の形態1に係る半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図19】ワイヤボンディングを行う様子を示す平面図である。
【図20】図19のC−C´における断面図である。
【図21】図19のD−D´における断面図である。
【図22】本発明の実施の形態1に係る半導体装置の製造方法を説明するための平面図である。
【図23】本発明の実施の形態1に係る半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図24】本発明の実施の形態1に係る半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図25】本発明の実施の形態2に係るハーフエッチしたリードフレームの上面を示す平面図である。
【図26】図25の一部を拡大した平面図である。
【図27】図25のE−E´における断面図である。
【図28】本発明の実施の形態2に係る半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図29】本発明の実施の形態2に係る半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図30】本発明の実施の形態3に係るハーフエッチしたリードフレームの上面を示す平面図である。
【図31】図30の一部を拡大した平面図である。
【図32】図30のF−F´における断面図である。
【図33】本発明の実施の形態3に係るハーフエッチしたリードフレームの下面を示す平面図である。
【図34】本発明の実施の形態3に係る半導体装置の製造方法を説明するための断面図である。
【図35】従来の半導体装置を示す断面図である。
【図36】従来の別の半導体装置及びその製造方法を説明するための断面図である。
【符号の説明】
【0039】
10 パッケージ
11 リード
13 ダイパッド
14 半導体チップ
15 ワイヤ
16 樹脂
17 切り欠き
17´ 凹部
18 リードフレーム
19 ブロック
20a 第1の連結部
20b 第2の連結部
21 シート
22 押え部材
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ダイパットと、そのダイパット周辺に配置された複数のリードとを含んだ部分を一つのブロックとして、そのブロックを複数個配列したリードフレームであって、前記複数のリード各々の上面には凹部が形成され、隣り合うブロックの互いに対向するリードの凹部どうしを連結する連結部とを有したリードフレームを準備する工程と、
前記ブロック各々のダイパッド上に半導体チップを搭載する工程と、
前記ブロック各々に搭載された半導体チップと前記複数のリードの上面の前記凹部が形成されていない部分とをワイヤで接続するワイヤボンディング工程と、
前記複数のブロックに搭載された半導体チップ、前記ワイヤ及び前記複数のリードを一括して樹脂で一括に封止する樹脂封止工程と、
その切断面が前記複数のリードの凹部を通るようにして、前記リードフレームのブロックごとに分離するダイシング工程とを備えた半導体装置の製造方法。
【請求項2】
ダイパッドと前記ダイパッドの周りに配置された複数のリードを一つのブロックとして複数のブロックが配列され、互いに隣接するブロックの対向するリードがそれぞれ第1の連結部により連結され、互いに隣接する前記第1の連結部がそれぞれ第2の連結部により連結されたリードフレームであって、このリードフレームの同じ面側において、前記複数のリードの上面にハーフエッチにより凹部が形成され前記第2の連結部がハーフエッチされていないリードフレームを準備する工程と、
各ブロックの前記ダイパッド上に半導体チップを搭載する工程と、
少なくとも前記第2の連結部を押え部材で押えた状態で、各ブロックの前記半導体チップと前記複数のリードの上面を複数のワイヤによりそれぞれ接続するワイヤボンディング工程と、
複数のブロックの前記半導体チップ、前記複数のワイヤ及び前記複数のリードを樹脂で一括封止する樹脂封止工程と、
前記樹脂で封止した前記リードフレームをブロックごとに分離するダイシング工程とを備え、
前記樹脂封止工程において、前記凹部を前記樹脂で上方から充填し、前記複数のリードの下面を前記樹脂から露出させ、
前記ダイシング工程において、前記複数のリードの切断面が前記凹部にくるようにして、前記複数のリードの上面と切断面との間に切り欠きを形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項3】
前記リードフレームとして、互いに隣接するブロックの対向するリードの凹部が繋がるように前記第1の連結部の上面がハーフエッチされているものを準備することを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項4】
前記リードフレームとして、前記第1の連結部にハーフエッチされていない部分が有るものを準備し、
前記ワイヤボンディング工程において、前記第1の連結部のハーフエッチされていない部分を前記押え部材で押えることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項5】
前記ダイシング工程において、互いに隣接するブロック間を2箇所ダイシングすることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項6】
前記リードフレームとして、前記第2の連結部の下面がハーフエッチされているものを準備することを特徴とする請求項2〜5の何れか1項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項7】
ダイパッドと前記ダイパッドの周りに配置された複数のリードを一つのブロックとして複数のブロックが配列され、互いに隣接するブロックの対向するリードがそれぞれ第1の連結部により連結され、互いに隣接する前記第1の連結部がそれぞれ第2の連結部により連結されたリードフレームであって、このリードフレームの同じ面側において、前記複数のリードの上面にハーフエッチにより凹部が形成され、前記第1,第2の連結部の上面がハーフエッチされているリードフレームを準備する工程と、
各ブロックの前記ダイパッド上に半導体チップを搭載する工程と、
前記第1,第2の連結部及び前記リードの凹部の底面を押え部材で押えた状態で、各ブロックの前記半導体チップと前記複数のリードの上面を複数のワイヤによりそれぞれ接続するワイヤボンディング工程と、
複数のブロックの前記半導体チップ、前記複数のワイヤ及び前記複数のリードを樹脂で一括封止する樹脂封止工程と、
前記樹脂で封止した前記リードフレームをブロックごとに分離するダイシング工程とを備え、
前記樹脂封止工程において、前記凹部を前記樹脂で上方から充填し、前記複数のリードの下面を前記樹脂から露出させ、
前記ダイシング工程において、前記複数のリードの切断面が前記凹部にくるようにして、前記複数のリードの上面と切断面との間に切り欠きを形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項8】
前記リードフレームとして、前記複数のリードの凹部の下面及び前記第1,第2の連結部の下面がハーフエッチされていないものを準備することを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項9】
前記リードフレームをシート上に貼り付けた状態で、前記ワイヤボンディング工程を行うことを特徴とする請求項1〜8の何れか1項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項1】
ダイパットと、そのダイパット周辺に配置された複数のリードとを含んだ部分を一つのブロックとして、そのブロックを複数個配列したリードフレームであって、前記複数のリード各々の上面には凹部が形成され、隣り合うブロックの互いに対向するリードの凹部どうしを連結する連結部とを有したリードフレームを準備する工程と、
前記ブロック各々のダイパッド上に半導体チップを搭載する工程と、
前記ブロック各々に搭載された半導体チップと前記複数のリードの上面の前記凹部が形成されていない部分とをワイヤで接続するワイヤボンディング工程と、
前記複数のブロックに搭載された半導体チップ、前記ワイヤ及び前記複数のリードを一括して樹脂で一括に封止する樹脂封止工程と、
その切断面が前記複数のリードの凹部を通るようにして、前記リードフレームのブロックごとに分離するダイシング工程とを備えた半導体装置の製造方法。
【請求項2】
ダイパッドと前記ダイパッドの周りに配置された複数のリードを一つのブロックとして複数のブロックが配列され、互いに隣接するブロックの対向するリードがそれぞれ第1の連結部により連結され、互いに隣接する前記第1の連結部がそれぞれ第2の連結部により連結されたリードフレームであって、このリードフレームの同じ面側において、前記複数のリードの上面にハーフエッチにより凹部が形成され前記第2の連結部がハーフエッチされていないリードフレームを準備する工程と、
各ブロックの前記ダイパッド上に半導体チップを搭載する工程と、
少なくとも前記第2の連結部を押え部材で押えた状態で、各ブロックの前記半導体チップと前記複数のリードの上面を複数のワイヤによりそれぞれ接続するワイヤボンディング工程と、
複数のブロックの前記半導体チップ、前記複数のワイヤ及び前記複数のリードを樹脂で一括封止する樹脂封止工程と、
前記樹脂で封止した前記リードフレームをブロックごとに分離するダイシング工程とを備え、
前記樹脂封止工程において、前記凹部を前記樹脂で上方から充填し、前記複数のリードの下面を前記樹脂から露出させ、
前記ダイシング工程において、前記複数のリードの切断面が前記凹部にくるようにして、前記複数のリードの上面と切断面との間に切り欠きを形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項3】
前記リードフレームとして、互いに隣接するブロックの対向するリードの凹部が繋がるように前記第1の連結部の上面がハーフエッチされているものを準備することを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項4】
前記リードフレームとして、前記第1の連結部にハーフエッチされていない部分が有るものを準備し、
前記ワイヤボンディング工程において、前記第1の連結部のハーフエッチされていない部分を前記押え部材で押えることを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項5】
前記ダイシング工程において、互いに隣接するブロック間を2箇所ダイシングすることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項6】
前記リードフレームとして、前記第2の連結部の下面がハーフエッチされているものを準備することを特徴とする請求項2〜5の何れか1項に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項7】
ダイパッドと前記ダイパッドの周りに配置された複数のリードを一つのブロックとして複数のブロックが配列され、互いに隣接するブロックの対向するリードがそれぞれ第1の連結部により連結され、互いに隣接する前記第1の連結部がそれぞれ第2の連結部により連結されたリードフレームであって、このリードフレームの同じ面側において、前記複数のリードの上面にハーフエッチにより凹部が形成され、前記第1,第2の連結部の上面がハーフエッチされているリードフレームを準備する工程と、
各ブロックの前記ダイパッド上に半導体チップを搭載する工程と、
前記第1,第2の連結部及び前記リードの凹部の底面を押え部材で押えた状態で、各ブロックの前記半導体チップと前記複数のリードの上面を複数のワイヤによりそれぞれ接続するワイヤボンディング工程と、
複数のブロックの前記半導体チップ、前記複数のワイヤ及び前記複数のリードを樹脂で一括封止する樹脂封止工程と、
前記樹脂で封止した前記リードフレームをブロックごとに分離するダイシング工程とを備え、
前記樹脂封止工程において、前記凹部を前記樹脂で上方から充填し、前記複数のリードの下面を前記樹脂から露出させ、
前記ダイシング工程において、前記複数のリードの切断面が前記凹部にくるようにして、前記複数のリードの上面と切断面との間に切り欠きを形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項8】
前記リードフレームとして、前記複数のリードの凹部の下面及び前記第1,第2の連結部の下面がハーフエッチされていないものを準備することを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
【請求項9】
前記リードフレームをシート上に貼り付けた状態で、前記ワイヤボンディング工程を行うことを特徴とする請求項1〜8の何れか1項に記載の半導体装置の製造方法。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】
【図32】
【図33】
【図34】
【図35】
【図36】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】
【図26】
【図27】
【図28】
【図29】
【図30】
【図31】
【図32】
【図33】
【図34】
【図35】
【図36】
【公開番号】特開2009−88412(P2009−88412A)
【公開日】平成21年4月23日(2009.4.23)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2007−259129(P2007−259129)
【出願日】平成19年10月2日(2007.10.2)
【出願人】(503121103)株式会社ルネサステクノロジ (4,790)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成21年4月23日(2009.4.23)
【国際特許分類】
【出願日】平成19年10月2日(2007.10.2)
【出願人】(503121103)株式会社ルネサステクノロジ (4,790)
【Fターム(参考)】
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