圧縮成形装置及び圧縮成形方法
【課題】圧縮成形装置の占有面積の増大を最小限にすると共に複雑にすることなく、生産性の向上が可能となる。
【解決手段】相対的に接近・離反可能な第１上型１３０Ａ、第２上型１３０Ｂと第１下型１４４Ａ、第２下型１４４Ｂとを有し、対をなした第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａ、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂ、それぞれの間に形成される２つのキャビティに配置される第１被成形品１０２Ａ、第２被成形品１０２Ｂを第１樹脂１０４Ａ、第２樹脂１０４Ｂ、それぞれにて圧縮封止する圧縮成形装置１００において、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａ、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂが、接近・離反可能な方向に配置されることで、キャビティが接近・離反可能な方向において直列に２つ設けられ、第１上方１３０Ａ、第２下型１４４Ｂに、サーボモータ１１２Ａ、１１２Ｂがそれぞれ連結されている。
【解決手段】相対的に接近・離反可能な第１上型１３０Ａ、第２上型１３０Ｂと第１下型１４４Ａ、第２下型１４４Ｂとを有し、対をなした第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａ、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂ、それぞれの間に形成される２つのキャビティに配置される第１被成形品１０２Ａ、第２被成形品１０２Ｂを第１樹脂１０４Ａ、第２樹脂１０４Ｂ、それぞれにて圧縮封止する圧縮成形装置１００において、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａ、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂが、接近・離反可能な方向に配置されることで、キャビティが接近・離反可能な方向において直列に２つ設けられ、第１上方１３０Ａ、第２下型１４４Ｂに、サーボモータ１１２Ａ、１１２Ｂがそれぞれ連結されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧縮成形装置及び圧縮成形方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１、２には、２つのキャビティを用いて圧縮封止を行う圧縮成形装置が記載されている（特許文献１が図８（Ａ）、（Ｂ）、特許文献２が図８（Ｃ）にそれぞれ対応）。いずれの圧縮成形装置も２つのキャビティが下型４４、９４に平面的に並べて設けられている。このため、１つのキャビティで１つの基板を圧縮封止する場合には、複数の基板をほぼ同時に圧縮封止することが可能となる。すなわち、特許文献１、２では、１つのキャビティを備える圧縮成形装置に比べて、高い生産性を実現することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−３０７７６６号公報
【特許文献２】特開２００９−１２４０１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１、２においては、複数のキャビティが平面的、即ち横並びに配置されている。このため、キャビティを形成している下型４４、９４を移動させるための可動プラテン寸法も大きくなってしまい、圧縮成形装置の占有面積が大きくなってしまう。
【０００５】
また、基板厚み誤差や樹脂量誤差により、（各キャビティ毎に基板が異なる場合では）２基板同時成形すると、各基板で封止圧誤差が生じて、圧縮封止後のパッケージ厚みや品質（ワイヤー変形）などに影響を与え、圧縮封止不良を引き起こす可能性が出てくる。このような現象を解消するために等圧機構が必要となるが、その場合には圧縮成形装置が複雑化してしまう。
【０００６】
そこで、本発明は、前記問題点を解決するべくなされたもので、圧縮成形装置の占有面積の増大を最小限にすると共に複雑にすることなく、生産性の向上可能な圧縮成形装置及び圧縮成形方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、相対的に接近・離反可能な上型と下型とを有し、対をなした該上型と下型との間に形成されるキャビティに配置される被成形品を樹脂にて圧縮封止する圧縮成形装置において、前記上型と下型とが前記接近・離反可能な方向に複数対配置されることで、前記キャビティが該接近・離反可能な方向において直列に複数設けられ、多くとも該キャビティ毎の前記上型と下型のうちのいずれか一方のみに、該一方を前記接近・離反可能な方向に移動させる駆動源が連結されていることにより、上記課題を解決したものである。
【０００８】
本発明においては、上型と下型とを前記接近・離反可能な方向に複数対配置することで、キャビティを該接近・離反可能な方向において直列に複数設けている。即ち、複数のキャビティが横並び（並列）ではなく、該接近・離反可能な方向に直列に重なる態様となる。このため、上型と下型の大きさを大きくすることなく、各キャビティで圧縮封止をすることができる。同時に、キャビティを並列としないので、等圧機構を不要としながら封止品質を保つことができる。更に、多くとも該キャビティ毎の上型と下型のうちのいずれか一方のみに、駆動源が連結されている。即ち、例え１つのキャビティで上方と下型の両方が接近・離反可能な方向に移動可能とされているような場合でも、１つの駆動源のみが使用されることとなる。このため、２つの駆動源を用いる場合に比べて大型化や特に制御の複雑化を回避して、低コスト化を実現することができる。即ち、占有面積を増大させずに装置を複雑にすることなく、生産性を向上させることができる。
【０００９】
また、各キャビティにおける圧縮封止は、接近・離反可能な方向のいわば１軸上で独立に行われる。このため、１つのキャビティにおいて樹脂量変動に伴う圧縮封止不良が生じても、該圧縮封止不良が他のキャビティの圧縮封止に悪影響を及ぼすことを回避することができる。
【００１０】
なお、前記キャビティを夫々構成している２以上の前記上型または下型が、１個の前記駆動源によって駆動される場合には、キャビティ毎に駆動源が用いられるよりも、構成部品の点数の低減により、小型化と低コスト化を実現することができる。
【００１１】
なお、前記上型として第１上型と第２上型、前記下型として第１下型と第２下型をそれぞれ有すると共に、該第１上型と第１下型との対、及び、該第１下型の下側に隣接して配置された前記第２上型と第２下型との対によって２つの前記キャビティを形成し、該第１上型と第２下型のうちの一方が固定され、且つ、該第１上型と第２下型のうちの他方に前記駆動源が連結され、該他方が前記第１下型または第２上型を直接的に押圧することにより該第１下型と第２上型とが一体で前記接近・離反可能な方向において移動可能とされている場合には、駆動源が１つでありながら圧縮封止のためのプレス力を、１つのキャビティの場合と同一とすることができ、且つ、２つのキャビティに均等にかけることができる。即ち、生産性を向上させながら、プレス力を増大させることがないので、プレス力増大のための圧縮成形装置の大型化を回避することができる。
【００１２】
なお、前記上型として第１上型と第２上型、前記下型として第１下型と第２下型をそれぞれ有すると共に、該第１上型と第１下型との対、及び、該第１下型の下側に隣接して配置された前記第２上型と第２下型との対によって２つの前記キャビティを形成し、該第１上型と第２下型とが固定され、且つ、該第１下型と第２上型とが前記接近・離反可能な方向において互いと反対方向に移動可能とされている場合には、キャビティとキャビティとの間に配置される第１下型と第２上型の移動に互いの反力を使うことができる。このため、生産性を向上させながら、プレス力を増大させないようにすることができる。即ち、プレス力を小さくできるので、プレス力増大のための圧縮成形装置の大型化を回避することができる。同時に、２つのキャビティでは可動部に関る誤差を互いに加算しないので、寸法精度の高い圧縮封止をすることもできる。
【００１３】
なお、前記接近・離反可能な方向において前記第１上型と第１下型と第２上型と第２下型のうちの２以上を移動可能に支持するタイバーが全て兼用とされている場合には、別々にタイバーを設けるよりも装置の大型化を回避できる。また、タイバーの大径化を図ることでタイバーの高剛性化がなされ、第１上型と第１下型と第２上型と第２下型を高精度に移動させることが可能となる。
【００１４】
なお、前記上型として第１上型と第２上型、前記下型として第１下型と第２下型をそれぞれ有すると共に、該第１上型と第１下型との対、及び、該第１下型の下側に隣接して配置された前記第２上型と第２下型との対によって２つの前記キャビティを形成し、該第１上型と第２下型とが前記接近・離反可能な方向において移動可能とされ、且つ、該第１下型と第２上型とが固定されている場合には、第1下型と第２上型とを、被成形品の圧縮封止のための基準とすることができる。このため、２つのキャビティでは、可動部に関る誤差を互いに加算しないので、寸法精度の高い圧縮封止をすることができる。同時に、第１下型と第２上型とを固定している部分（固定プラテン）では、２つのキャビティで圧縮封止の際にかけられる圧力が互いに反対方向で相殺される関係となる。このため、固定プラテンには、１つのキャビティのみを備える圧縮成形装置の固定プラテンほどの剛性を必要としない。即ち、生産性を向上させながら、圧縮成形装置の軽量化・簡易化若しくは長寿命化させることができる。
【００１５】
なお、前記下型が、前記上型に保持される前記被成形品の圧縮封止される領域の外側を該上型と把持すると共に貫通孔を備えた下枠型と、該貫通孔に嵌合して配置される下圧縮型と、を備え、該下枠型が該下圧縮型に対して相対的に変位しても前記上型との密封が保たれる場合には、被成形品が圧縮封止される前に被成形品の位置が把持（クランプ）により固定可能となる。このため、被成形品の圧縮封止される領域の位置ずれに伴う圧縮封止不良を回避できる。そして、圧縮封止する際に下圧縮型の位置が調整可能となることでたとえ特定のキャビティにおいて樹脂量変動が生じていてもそのキャビティでの圧縮封止不良の発生を低減することができる。同時に、密封が保たれることで、樹脂のキャビティからの漏れを防止することができる。
【００１６】
なお、前記上型が、貫通孔を備えて前記下枠型に対向する上枠型と、該貫通孔に嵌合して配置され前記被成形品を保持する上圧縮型と、を備え、該上枠型が該上圧縮型に対して相対的に変位しても前記下型との間で減圧可能とされている場合には、下枠型と上枠型とが接触した段階で密封状態を作ることができ、早い段階で上型と下型との間で減圧状態とすることができる。このため、圧縮封止する際に、樹脂の被成形品への充填を速く且つ十分に行うことができる。即ち、圧縮封止工程を短縮して、更に圧縮封止不良を低減することができる。
【００１７】
なお、更に、前記下枠型の下圧縮型に対する変位量を制御する下枠駆動機構を備え、該変位量を制御しながら前記複数設けられるキャビティで同時に圧縮封止される場合には、キャビティ毎の圧縮封止品質のばらつきを低減できるので、圧縮封止品質の向上を図ることができる。
【００１８】
なお、前記キャビティに配置される樹脂は、所定の形状と重量で予備成形されている場合には、圧縮封止に用いる樹脂量の変動を少なくできる。同時に、樹脂の扱いが容易で、且つその管理も容易となる。
【００１９】
なお、前記樹脂は、連続した離型フィルムで前記キャビティに配置される場合には、樹脂をキャビティに搬送するのが容易となり、且つ使用した離型フィルムの回収も容易となる。
【００２０】
なお、前記樹脂は、短冊状に分離された離型フィルムで前記キャビティに配置される場合には、樹脂の搬送手段の配置を自在とすることができる。また、離型フィルムの余分な部分を極力低減できるので、離型フィルムを有効活用することができる。
【００２１】
なお、本発明は、相対的に接近・離反可能な上型と下型とを有し、対をなした該上型と下型との間に形成されるキャビティに配置される被成形品を樹脂にて圧縮封止する圧縮成形方法において、前記上型と下型とが前記接近・離反可能な方向に複数対配置されることで、該接近・離反可能な方向において直列に設けられている複数の前記キャビティに対し、多くとも該キャビティ毎の前記上型と下型のうちのいずれか一方のみに駆動源を連結させて１軸方向（接近・離反可能な方向）から圧縮封止する工程を含むことを特徴とする圧縮成形方法とも捉えることができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、圧縮成形装置の占有面積の増大を最小限にすると共に複雑にすることなく、生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の第１実施形態の一例が適用された圧縮成形装置の模式図
【図２】図１の圧縮成形装置の一連の動作を示す模式図
【図３】本発明の第２実施形態の一例が適用された圧縮成形装置の模式図
【図４】本発明の第３実施形態の一例が適用された圧縮成形装置の模式図
【図５】図４の上面図を示す模式図
【図６】図４の圧縮成形装置の一連の動作を示す模式図
【図７】本発明の第４実施形態の一例が適用された圧縮成形装置の模式図
【図８】従来の圧縮成形装置の例を示す模式図
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の実施形態の例を図面に基づいて説明する。
【００２５】
図１は、本発明の第１実施形態の一例が適用された圧縮成形装置の模式図である。概略的な特徴について以下説明する。
【００２６】
圧縮成形装置１００は、図１に示す如く、相対的に接近・離反可能な上型（第１上型１３０Ａ、第２上型１３０Ｂ）と下型（第１下型１４４Ａ、第２下型１４４Ｂ）とを有している。そのため、対をなした第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａ、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂ、それぞれの間に形成される２つのキャビティに配置される第１被成形品１０２Ａ、第２被成形品１０２Ｂを、第１樹脂１０４Ａ、第２樹脂１０４Ｂ、それぞれにて圧縮封止することができる。そして、圧縮成形装置１００では、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａ、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂが、接近・離反可能な方向に配置されることで、キャビティが接近・離反可能な方向において直列に２つ設けられている。そして、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａのうちの第１上型１３０Ａのみに第１可動プラテン１２４Ａを介して駆動源であるサーボモータ１１２Ａが連結されている。同様に第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂのうちの第２下型１４４Ｂのみに第２可動プラテン１２４Ｂを介して駆動源であるサーボモータ１１２Ｂが連結されている。ここで、接近・離反可能な方向は、図１では上下方向であり、１軸方向に制限されている。
【００２７】
なお、第１被成形品１０２Ａ、第２被成形品１０２Ｂはそれぞれ、例えば、半導体チップが搭載された基板（リードフレームを含む）などである。その圧縮封止される領域には半導体チップが搭載されており、圧縮封止される領域の外側には基板のみが存在する構成とされている。第１樹脂１０４Ａ、第２樹脂１０４Ｂは、当該圧縮封止される領域を圧縮封止で充填するように所定の形状と重量で予備成形されている。第１離型フィルム１０６Ａ、第２離型フィルム１０６Ｂは、短冊状に分離されており、伸縮可能である。第１離型フィルム１０６Ａ、第２離型フィルム１０６Ｂにより、第１樹脂１０４Ａ、第２樹脂１０４Ｂは、キャビティに配置される。そして、第１離型フィルム１０６Ａ、第２離型フィルム１０６Ｂは、圧縮封止した際のキャビティからの剥離性向上とキャビティ汚れの防止とをすることができる。本実施形態では、第１被成形品１０２Ａと第２被成形品１０２Ｂが同一とされていることから、第１樹脂１０４Ａと第２樹脂１０４Ｂとを同一としている。しかし、これに限られるものはなく、第１被成形品と第２被成形品とが同一でなくてもよい。
【００２８】
以下、詳細に構成を説明する。
【００２９】
圧縮成形装置１００は、図１に示す如く、本体フレーム１１０に２つの金型を設けている。２つの金型は、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａ、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂ、の対で構成されている。
【００３０】
第１上型１３０Ａと第２下型１４４Ｂとは、本体フレーム１１０に設けられたリニアガイド機構１２２Ａ、１２２Ｂに取付られた第１可動プラテン１２４Ａ、第２可動プラテン１２４Ｂにそれぞれ、保持され移動可能とされている。第１可動プラテン１２４Ａ、第２可動プラテン１２４Ｂはそれぞれ、ボールねじ１２０Ａ、１２０Ｂで移動量が制御されている。そのボールねじ１２０Ａ、１２０Ｂはそれぞれ、プーリ１１８Ａ、１１８Ｂ−タイミングベルト１１６Ａ、１１６Ｂ−プーリ１１４Ａ、１１４Ｂを介して、本体フレーム１１０に固定されたサーボモータ１１２Ａ、１１２Ｂで駆動される（上下直動型駆動）。
【００３１】
一方、第１下型１４４Ａと、第１下型１４４Ａと隣接する第２上型１３０Ｂと、は、本体フレーム１１０に取付られた固定プラテン１２６に背合わせに取付られ固定されている。このため、固定プラテン１２６に取付られた第１下型１４４Ａと第２上型１３０Ｂとに対して、第１上型１３０Ａと第２下型１４４Ｂとがそれぞれ移動して同時に行われる型締めの際には固定プラテン１２６にかかる力が相殺されることとなる。
【００３２】
次に、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａの構成を説明する。なお、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂの構成は、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａの構成と同じなので、その説明は省略する。
【００３３】
第１上型１３０Ａは、図１に示す如く、断熱板１３２Ａとヒータ１３４Ａと第１上枠型１３６Ａと上ばね１３８Ａと第１上圧縮型１４０Ａとを有する。断熱板１３２Ａは、第１可動プラテン１２４Ａに当接して配置され、第１上型１３０Ａの温度が第１可動プラテン１２４Ａに拡散することを防止している。ヒータ１３４Ａは、第１上型１３０Ａ全体を加熱し、所定の温度とするようにされている。第１上枠型１３６Ａは、貫通孔を備えて第１下型１４４Ａに対向している。第１上圧縮型１４０Ａは、当該貫通孔に嵌合して配置され第１被成形品１０２Ａを保持する。第１上枠型１３６Ａは、上ばね１３８Ａを介して第１上圧縮型１４０Ａに取付られている。第１上枠型１３６Ａは、第１上圧縮型１４０Ａに第１被成形品１０２Ａが保持された状態においても、第１被成形品１０２Ａで制限されることなく、第１上圧縮型１４０Ａに対して移動可能とされている。第１上枠型１３６Ａと第１上圧縮型１４０Ａとの嵌合する部分には図示せぬＯリングなどの密閉部材が設けられている。また、第１上圧縮型１４０Ａには図示せぬ、第１被成形品１０２Ａを保持するための吸着機構や、減圧機構が設けられている。このため、第１上枠型１３６Ａが第１下型１４４Ａと第１離型フィルム１０６Ａを介して当接した状態で、第１上枠型１３６Ａが第１上圧縮型１４０Ａに対して相対的に変位したとする。その際であっても、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａとの間で密閉状態が構成され減圧可能とされている。
【００３４】
第１下型１４４Ａは、図１に示す如く、第１下枠型１５０Ａと下ばね１５２Ａと第１下圧縮型１５４Ａと図示せぬヒータと図示せぬ断熱板とを有する。第１下枠型１５０Ａは、第１上型１３０Ａの第１上圧縮型１４０Ａに保持される第１被成形品１０２Ａの圧縮封止される領域の外側を第１上型１３０Ａの第１上圧縮型１４０Ａと把持（クランプ）する。また、第１下枠型１５０Ａは貫通孔を備えている。第１下圧縮型１５４Ａは、当該貫通孔に嵌合して配置されている。第１下枠型１５０Ａは、下ばね１５２Ａを介して第１下圧縮型１５４Ａに取付られている。そのため、第１下枠型１５０Ａは、第１下圧縮型１５４Ａに対して移動可能とされている。第１下枠型１５０Ａと第１下圧縮型１５４Ａとの嵌合する部分には図示せぬＯリングなどの密閉部材が設けられている。なお、第１下枠型１５０Ａは、第１上枠型１３６Ａにも対向している。このため、第１下枠型１５０Ａが第１上枠型１３６Ａと当接した状態で、第１下枠型１５０Ａが第１下圧縮型１５４Ａに対して相対的に変位しても第１下型１４４Ａと第１上型１３０Ａとの密閉が保たれている。ヒータは、第１下型１４４Ａ全体を加熱し、所定の温度とするようにされている。断熱板１３２Ａは、固定プラテン１２６に当接して配置され、第１下型１４４Ａの温度が固定プラテン１２６に拡散することを防止している。なお、第１下型１４４Ａには、第１離型フィルム１０６Ａを吸着するための図示せぬ減圧機構が設けられている。
【００３５】
固定プラテン１２６には、第１下枠駆動機構１５６Ａが設けられている。第１下枠駆動機構１５６Ａは、本体フレーム１１０に取付られたサーボモータ１５８Ａにより駆動される。なお、上ばね１３８Ａよりも下ばね１５２Ａの力が大とされている。このため、第１下枠駆動機構１５６Ａは、第１上枠型１３６Ａと第１下枠型１５０Ａとが当接した状態であっても、第１下枠型１５０Ａの第１下圧縮型１５４Ａに対する変位量を制御することができる。なお、第２下枠駆動機構１５６Ｂは、そのサーボモータ１５８Ｂと共に、第２可動プラテン１２４Ｂに取付られているが、その構成は第１下枠駆動機構１５６Ａと同一であるので、その説明は省略する。
【００３６】
次に、圧縮成形装置１００の動作について、図２を用いて説明する。
【００３７】
第１上型１３０Ａ、第２上型１３０Ｂと第１下型１４４Ａ、第２下型１４４Ｂとがそれぞれ離反された型開き状態において、第１離型フィルム１０６Ａ、第２離型フィルム１０６Ｂが第１下型１４４Ａ、第２下型１４４Ｂ上にそれぞれ配置されて吸着される。このとき、第１下枠駆動機構１５６Ａ、第２下枠駆動機構１５６Ｂにより、第１下枠型１５０Ａ、第２下枠型１５０Ｂの上面と第１下圧縮型１５４Ａ、第２下圧縮型１５４Ｂの上面の位置がそれぞれ同一とされている。また、この状態では、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａ、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂはそれぞれ圧縮封止する際の一定の温度（例えば１７５度）とされている（図２（Ａ））。
【００３８】
次に、図示せぬ搬送機構により、第１上圧縮型１４０Ａ、第２上圧縮型１４０Ｂにそれぞれ第１被成形品１０２Ａ、第２被成形品１０２Ｂを保持させる（図２（Ｂ））。なお、第１被成形品１０２Ａ、第２被成形品１０２Ｂの吸着による保持は同時でなくてもよい。
【００３９】
次に、図示せぬ樹脂搬送機構により、第１離型フィルム１０６Ａ、第２離型フィルム１０６Ｂ上に、第１樹脂１０４Ａ、第２樹脂１０４Ｂをそれぞれ搭載する（図２（Ｃ））。この第１樹脂１０４Ａ、第２樹脂１０４Ｂの搭載は、樹脂が硬化するまでの時間を合わせるために、可能な限り同時に行う。
【００４０】
次に、第１下枠駆動機構１５６Ａにより、第１下枠型１５０Ａを上昇させる。そして、第１可動プラテン１２４Ａを下方に移動させて、第１上型１３０Ａを第１下型１４４Ａに接近させていく。すると、第１上枠型１３６Ａと第１下枠型１５０Ａとが第１離型フィルム１０６Ａを介して当接して、第１離型フィルム１０６Ａが固定される。同時に、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａとで密閉状態が構成される。更に、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａとを接近させ、第１上圧縮型１４０Ａと第１下枠型１５０Ａとで第１被成形品１０２Ａを把持（クランプ）する。このため、第１被成形品１０２Ａがしっかり固定される。なお、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａとの間において減圧が行われる。
【００４１】
同時に、第２下枠駆動機構１５６Ｂにより、第２下枠型１５０Ｂを上昇させる。そして、第２可動プラテン１２４Ｂを第１可動プラテン１２４Ａと同期させて、上方に移動させて第２下型１４４Ｂを第２上型１３０Ｂに接近させていく。すると、第２上枠型１３６Ｂと第２下枠型１５０Ｂとが第２離型フィルム１０６Ｂを介して当接して、第２離型フィルム１０６Ｂが固定される。同時に、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂとで密閉状態が構成される。更に、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂとを接近させ、第２上圧縮型１４０Ｂと第２下枠型１５０Ｂとで第２被成形品１０２Ｂを把持（クランプ）する。このため、第２被成形品１０２Ｂがしっかり固定される。なお、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂとの間において減圧が行われる（図２（Ｄ））。
【００４２】
次に、第１可動プラテン１２４Ａを更に下方に移動させて第１上型１３０Ａを第１下型１４４Ａに接近させていく。又、第２可動プラテン１２４Ｂを第１可動プラテン１２４Ａと同期させ、更に上方に移動させて第２下型１４４Ｂを第２下型１３０Ｂに接近させていく。このとき、第１下枠駆動機構１５６Ａ、第２下枠駆動機構１５６Ｂそれぞれで第１下枠型１５０Ａ、第２下枠型１５０Ｂの変位量を制御する。そして、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａとの間にかかる圧力と、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂとの間にかかる圧力とを、同一に保ちながら上下方向（１軸方向）から圧縮封止し、型締めを完了させる（図２（Ｅ））。即ち、当該変位量を制御しながら、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａとの間に形成されたキャビティと第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂとの間に形成されたキャビティとで、同時に圧縮封止がなされる。ここで、第１可動プラテン１２４Ａの移動方向と第２可動プラテン１２４Ｂの移動方向は互いに逆であり、圧力が等しい。このため、圧縮封止工程において、固定プラテン１２６にかかる力が相殺される。
【００４３】
次に、第１可動プラテン１２４Ａ、第２可動プラテン１２４Ｂを固定プラテン１２６から離反させる（図２（Ｆ））。そして、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａ、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂ、それぞれの型開きをし、圧縮封止された第１被成形品１０２Ａ、第２被成形品１０２Ｂ（単に成形品と称する）が、図示せぬ搬送装置にて取り出される。このとき、第１下枠駆動機構１５６Ａにより、第１下枠型１５０Ａの表面を第１下圧縮型１５４Ａの表面と同じ高さにする。このため、成形品が取り出しやすくなり、かつ次の圧縮封止が容易となる。第２下枠駆動機構１５６Ｂも同じ動作を行う。
【００４４】
このように、本実施形態においては、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａ、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂを、接近・離反可能な方向（上下方向）に配置することで、キャビティを接近・離反可能な方向（上下方向）において直列に複数設けている。即ち、複数のキャビティが横並び（並列）ではなく、接近・離反可能な方向（上下方向）に直列に重なる態様となる。このため、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａ、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂ、それぞれの大きさを大きくすることなく、各キャビティで圧縮封止をすることができる。同時に、キャビティを並列としないので、等圧機構を不要としながら封止品質を保つことができる。即ち、占有面積を増大させずに装置を複雑にすることなく、生産性を向上させることができる。
【００４５】
また、２つのキャビティにおける圧縮封止は、接近・離反可能な方向（上下方向）のいわば１軸上で独立に行われる。このため、１つのキャビティにおいて樹脂量変動に伴う圧縮封止不良が生じても、該圧縮封止不良が他のキャビティの圧縮封止に悪影響を及ぼすことを回避することができる。
【００４６】
また、上型として第１上型１３０Ａと第２上型１３０Ｂ、下型として第１下型１４４Ａと第２下型１４４Ｂをそれぞれ有すると共に、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａとの対、及び、第１下型１４４Ａの下側に隣接して配置された前記第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂとの対によって２つのキャビティを形成し、第１上型１３０Ａと第２下型１４４Ｂとが接近・離反可能な方向（上下方向）において移動可能とされ、且つ、第１下型１４４Ａと第２上型１３０Ｂとが固定されている。このため、第１下型１４４Ａと第２上型１３０Ｂとを、第１被成形品１０２Ａ、第２被成形品１０２Ｂの圧縮封止のための基準とすることができる。即ち、２つのキャビティでは、可動部に関る誤差を互いに加算しないので、寸法精度の高い圧縮封止をすることができる。同時に、第１下型１４４Ａと第２上型１３０Ｂとを固定している固定プラテン１２６では、２つのキャビティで圧縮封止の際にかけられる圧力が互いに反対方向で相殺される関係となる。このため、固定プラテン１２６には、１つのキャビティのみを備える圧縮成形装置の固定プラテンほどの剛性を必要としない。更には、キャビティを構成する第１上型１３０Ａ（第２下型１４４Ｂ）のみが制御対象である。即ち、その制御は固定された第１下型（第２上型）を同時に動かす場合に比べて、容易に行うことができる。即ち、生産性を向上させながら、圧縮成形装置１００の軽量化・簡易化若しくは長寿命化させることができる。
【００４７】
また、第１下型１４４Ａが、第１上型１３０Ａに保持される第１被成形品１０２Ａの圧縮封止される領域の外側を第１上型１３０Ａと把持（クランプ）すると共に貫通孔を備えた第１下枠型１５０Ａと、該貫通孔に嵌合して配置される第１下圧縮型１５４Ａと、を備えている。そして、第１下枠型１５０Ａが第１下圧縮型１５４Ａに対して相対的に変位しても第１上型１３０Ａとの密封が保たれている。このため、第１被成形品１０２Ａが圧縮封止される前に第１被成形品１０２Ａの位置が把持（クランプ）により固定可能となる。即ち、第１被成形品１０２Ａの圧縮封止される領域の位置ずれに伴う圧縮封止不良を回避できる。そして、圧縮封止する際に第１下圧縮型１５４Ａの位置が調整可能となることで、たとえ特定のキャビティにおいて樹脂量変動が生じていてもそのキャビティでの圧縮封止不良の発生を低減することができる。同時に、密封が保たれることで、第１樹脂１０４Ａのキャビティからの漏れを防止することができる。なお、これらの効果は本実施形態の第２下型１４４Ｂについても同様である。
【００４８】
また、第１上型１３０Ａが、貫通孔を備えて第１下枠型１５０Ａに対向する第１上枠型１３６Ａと、該貫通孔に嵌合して配置され第１被成形品１０２Ａを保持する第１上圧縮型１４０Ａと、を備えている。そして、第１上枠型１３６Ａが、第１上圧縮型１４０Ａに対して相対的に変位しても、第１下型１４４Ａとの間で減圧可能とされている。このため、第１下枠型１５０Ａと第１上枠型１３６Ａとが接触した段階で密封状態を作ることができ、早い段階で第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａとの間で減圧状態とすることができる。つまり、圧縮封止する際に、第１樹脂１０４Ａの第１被成形品１０２Ａへの充填を速く且つ十分に行うことができる。即ち、圧縮封止工程を短縮して、更に圧縮封止不良を低減することができる。なお、これらの効果は本実施形態の第２上型１３０Ｂについても同様である。
【００４９】
また、更に、第１下枠型１５０Ａの第１下圧縮型１５４Ａに対する変位量を制御する第１下枠駆動機構１５６Ａと、第２下枠型１５０Ｂの第２下圧縮型１５４Ｂに対する変位量を制御する第２下枠駆動機構１５６Ｂと、を備え、２つの変位量を制御しながら２つのキャビティで同時に圧縮封止される。このため、キャビティ毎の圧縮封止品質のばらつきを低減できるので、圧縮封止品質の向上を図ることができる。
【００５０】
また、キャビティに配置される第１樹脂１０４Ａ、第２樹脂１０４Ｂはそれぞれ、所定の形状と重量で予備成形されているので、圧縮封止に用いる樹脂量の変動を少なくできる。同時に、樹脂の扱いが容易で、且つその管理も容易となる。
【００５１】
また、第１樹脂１０４Ａ、第２樹脂１０４Ｂは、短冊状に分離された第１離型フィルム１０６Ａ、第２離型フィルム１０６Ｂでキャビティにそれぞれ配置される。このため、第１樹脂１０４Ａ、第２樹脂１０４Ｂの搬送手段の配置を自在とすることができる。また、第１離型フィルム１０６Ａ、第２離型フィルム１０６Ｂそれぞれの余分な部分を極力低減できるので、第１離型フィルム１０６Ａ、第２離型フィルム１０６Ｂを有効活用することができる。
【００５２】
即ち、圧縮成形装置１００の占有面積の増大を最小限にすると共に複雑にすることなく、生産性を向上させることができる。
【００５３】
なお、本実施形態においては、必ずしも２つのキャビティを使用する必要はなく、適宜いずれかのキャビティのみを使用することもできる。
【００５４】
本実施形態においては、第１可動プラテン１２４Ａ、第２可動プラテン１２４Ｂそれぞれをリニアガイド機構１２２Ａで支持し、ボールねじ１２０Ａ、１２０Ｂとサーボモータ１１２Ａ、１１２Ｂとの組み合わせで移動させていた（上下直動型駆動）。このため、本実施形態では、第１可動プラテン１２４Ａ、第２可動プラテン１２４Ｂの高精度な移動が実現でき、高い成形品の形状再現性を実現している。しかし、本発明はこれに限定されない。そして、本実施形態においては、第１下枠駆動機構１５６Ａ、第２下枠駆動機構１５６Ｂがそれぞれ設けられていたが、本発明はこれに限定されない。ボールねじとリニアガイド機構とを用いずに、例えば図３に示す第２実施形態の如く、トグルリンク機構２２２Ａ、２２２Ｂを用いてもよい（上下トグルリンク型駆動）。その際、第１可動プラテン２２４Ａ、第２可動プラテン２２４Ｂは、そのガイド部２２５Ａ、２２５Ｂでタイバー２１０にそれぞれ移動可能に支持されている。この場合には、第１可動プラテン２２４Ａ、第２可動プラテン２２４Ｂの移動を速くでき、且つその距離も大きく取れるので、圧縮封止工程にかかる時間を短縮することができる。また、下枠駆動機構を用いていないので、第１実施形態に比べて、構成を簡略化でき、低コスト化することができる。なお、図３において、その他の構成は第１実施形態と同じなので、符号の下３桁を同一にして、説明を省略する。
【００５５】
また、第１実施形態においては、上型として第１上型１３０Ａと第２上型１３０Ｂ、下型として第１下型１４４Ａと第２下型１４４Ｂをそれぞれ有すると共に、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａとの対、及び、第１下型１４４Ａの下側に隣接して配置された第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂとの対によって２つのキャビティを形成し、第１上型１３０Ａと第２下型１４４Ｂとが接近・離反可能な方向（上下方向）において移動可能とされ、且つ、第１下型１４４Ａと第２上型１３０Ｂとが固定されていた。しかし、本発明はこれに限定されない。例えば、第１上型が固定され、且つ、第２下型に可動プラテンを介して駆動源が連結され、第２下型が第２上型を直接的に押圧することにより第２上型と第１下型とが一体で第１下型と第２上型と第２下型が接近・離反可能な方向において移動可能とされていてもよい。図４に示す第３実施形態により、具体的に説明する。
【００５６】
本実施形態に係る圧縮成形装置３００では、図４に示す如く、第１上型３３０Ａが固定プラテン３２６に取付られ固定されている。そして、第１下型３４４Ａと第２上型３３０Ｂとが第１可動プラテン３２４Ａに一体で取付られ、第２下型３４４Ｂが第２可動プラテン３２４Ｂに取付られている。ここで、第１可動プラテン３２４Ａ周辺の構成は上記実施形態と異なるので以下に説明し、それ以外の構成については、符号の下３桁を同一にして説明を省略する。なお、図５に、第２下型３４４Ｂ部分の上面図を示す。
【００５７】
第１可動プラテン３２４Ａは、そのガイド部３２５Ａを介して、タイバー３２０によって移動可能に支持されている。第１可動プラテン３２４Ａには駆動源が連結されていないものの、所定の位置より第１可動プラテン３２４Ａが下方へ移動しないようにするためのストッパ３２８が設けられている。ストッパ３２８により、第２上型３３０Ａと第２下型３４４Ｂとにおける型開きが可能とされている。
【００５８】
第１可動プラテン３２４Ａの第１上型側には、第１下型３４４Ａが設けられている。第１下型３４４Ａは、上圧縮型３４０Ａに保持される第１被成形品３０２Ａの圧縮封止される領域の外側を第１上型３３０Ａと把持（クランプ）すると共に貫通孔を備えた第１下枠型３５０Ａと、該貫通孔に嵌合して配置される第１下圧縮型３５４Ａと、を備えている。そのうちの第１下圧縮型３５２Ａが第１可動プラテン３２４Ａに取付られている。
【００５９】
一方、第１可動プラテン３２４Ａの第２下型側には、第２上型３３０Ｂが設けられている。第２上型３３０Ｂは、貫通孔を備えて第２下枠型３５０Ｂに対向する第２上枠型３３６Ｂと、該貫通孔に嵌合して配置され第２被成形品３０２Ｂを保持する第２上圧縮型３４０Ｂと、を備えている。そのうちの第２上圧縮型３４０Ｂが第１可動プラテン３２４Ａに取付られている。第２上型３３０Ｂの中には中ヒータ３４８Ａが設けられ、第１下型３４４Ａと第２上型３３０Ｂとが同時に同じ温度（例えば１７５度）に保たれている。第１下枠型３５０Ａと第２上枠型３３６Ｂとは直接的に中ばね３５２Ａで連結されている。そして、第１下枠型３５０Ａは、所定の範囲で第１下圧縮型３５４Ａに対して移動可能とされている（第２上枠型３３６Ｂも第２上圧縮型３４０Ｂに対して同様）。なお、第１可動プラテン３２４Ａには、下枠駆動機構は設けられていない。また、上ばね３３８Ａの力＜中ばね３５２Ａの力≦下ばね３５２Ｂの力の関係である。このため、上ばね３３８Ａ、中ばね３５２Ａ、下ばね３５２Ｂがいずれも縮んだ状態となっても、第２下枠駆動機構３５６Ｂで第２下枠型３５０Ｂの第２下圧縮型３５４Ｂに対する変位量は制御されることとなる。
【００６０】
次に、圧縮成形装置３００の動作について、図６を用いて説明する。
【００６１】
第１上型３３０Ａ、第２上型３３０Ｂと第１下型３４４Ａ、第２下型３４４Ｂとがそれぞれ離反された型開き状態において、第１離型フィルム３０６Ａ、第２離型フィルム３０６Ｂが第１下型３４４Ａ、第２下型３４４Ｂ上にそれぞれ配置・吸着されている。なお、このとき、第２下枠型３５０Ｂの上面は第２下圧縮型３５４Ｂの上面の上方に位置されている。また、この状態では、第１上型３３０Ａ、第１下型３４４Ａと第２上型３３０Ｂ、第２下型３４４Ｂはそれぞれ圧縮封止する際の一定の温度（例えば１７５度）とされている。
【００６２】
次に、図示せぬ搬送機構により、第１上圧縮型３４０Ａ、第２上圧縮型３４０Ｂに第１被成形品３０２Ａ、第２被成形品３０２Ｂをそれぞれ保持させる。なお、第１被成形品３０２Ａ、第２被成形品３０２Ｂの吸着による保持は同時でなくてもよい。
【００６３】
次に、図示せぬ樹脂搬送機構により、第１離型フィルム３０６Ａ、第２離型フィルム３０６Ｂ上に、第１樹脂３０４Ａ、第２樹脂３０４Ｂを搭載する（図６（Ａ））。この第１樹脂３０４Ａ、第２樹脂３０４Ｂの搭載は、樹脂が硬化するまでの時間を合わせるために、可能な限り同時に行う。
【００６４】
次に、図示せぬ駆動源に連結された第２可動プラテン３２４Ｂを該駆動源により上方に移動させて、第２下型３４４Ｂを第２上型３３０Ｂに接近させていく。すると、第２上枠型３３６Ｂと第２下枠型３５０Ｂとが第２離型フィルム３０６Ｂを介して当接して、第２離型フィルム３０６Ｂが固定される。そして、第２上型３３０Ｂと第２下型３４４Ｂとで密閉状態が構成される。同時に、中ばね３５２Ａを介して、第２下枠型３５０Ｂが第１下枠型３５０Ａを押し上げる。その後、第２下枠型３５０Ｂが、第２被成形品３０２Ｂと当接して、第２上圧縮型３４０Ｂと第２被成形品３０２Ｂを把持（クランプ）する。このため、第２被成形品３０２Ｂがしっかり固定される。同時に、第１可動プラテン３２４Ａを上方に移動開始させる（図６（Ｂ）；直接的な押圧）。
【００６５】
次に、第２可動プラテン３２４Ｂ、第１可動プラテン３２４Ａの移動に伴い、第１下枠型３５０Ａが第１離型フィルム３０６Ａを介して、第１上枠型３３６Ａと当接する（図６（Ｃ））。すると、第１離型フィルム３０６Ａが固定されて、第１上型３３０Ａと第１下型３４４Ａとで密閉状態が構成される。
【００６６】
次に、第１下枠型３５０Ａが、第１被成形品３０２Ａと当接して、第１上圧縮型３４０Ａと第１被成形品３０２Ａを把持（クランプ）する（図６（Ｄ））。そのため、第１被成形品３０２Ａがしっかり固定される。なお、第１上型３３０Ａと第１下型３４４Ａ、第２上型３３０Ｂと第２下型３４４Ｂの間において減圧が行われる。
【００６７】
次に、第２下枠駆動機構３５６Ｂにより、第１下枠型３５０Ａと第２下枠型３５０Ｂの変位量を制御する。即ち、第１被成形品３０２Ａと第１樹脂３０４Ａとの距離と第２被成形品３０２Ｂと第２樹脂３０４Ｂとの距離が同じになるようにする。そして、第２可動プラテン３２４Ｂの移動を続けて、２つのキャビティの型締めを同時に完了させる（図６（Ｅ））。即ち、当該変位量を制御しながら第１上型３３０Ａと第１下型３４４Ａとの間に形成されたキャビティと第２上型３３０Ｂと第２下型３４４Ｂとの間に形成されたキャビティとで、同時に上下方向（１軸方向）から圧縮封止がなされる。
【００６８】
次に、第２可動プラテン３２４Ｂを固定プラテン３２６から離反させる。すると、第１可動プラテン３２４Ａも固定プラテン３２６から離反するが、ストッパ３２８で、その移動が停止される。そして、第２上型３３０Ｂと第２下型３４４Ｂとが離反する（図６（Ｆ））。そして、圧縮封止された第１被成形品３０２Ａ、第２被成形品３０２Ｂ（単に成形品と称する）は、図示せぬ搬送装置にて取り出される。
【００６９】
このように、本実施形態では、第１可動プラテン３２４Ａは、駆動源を持たず、ヒータ、ばね、下枠駆動機構はそれぞれ、中ヒータ３４８Ａ、中ばね３５２Ｂ、第２下枠駆動機構３５６Ｂ、のみを有する。即ち、上記実施形態よりも部品点数が少なく、低コスト化が可能である。加えて、駆動源が１つでありながら圧縮封止のためのプレス力を、１つのキャビティの場合と同一とすることができ、且つ、２つのキャビティに均等にかけることができる。そして、仮に第１可動プラテンに駆動源を連結した場合と比べれば、駆動源が少ない分、構成部品の点数を低減できるので小型とすることができる。同時に、特にその制御の複雑化を回避できるので、低コスト化を実現することができる。即ち、生産性を向上させながら、プレス力を増大させることがない（上記実施形態よりもプレス力が小さい）ので、プレス力増大のための圧縮成形装置３００の大型化を回避することができる。
【００７０】
また、本実施形態では、第１可動プラテン３２４Ａが固定プラテン３２６を支える４つのタイバー３２０で、ガイド部３２５Ａを介して支持されている。即ち、第１上型３３０Ａと第１下型３４４Ａとの平行度、及び第２上型３３０Ｂと第２下型３４４Ｂとの平行度が機械的に維持されている。このため、前記２つの平行度を計測・調整するための位置センサなどが不要である。そして、タイバー３２０が、第１下型３４４Ａと第２上型３３０Ｂと第２下型３４４Ｂとに（接近・離反可能な方向において移動可能とされている全ての金型部に）兼用されているので、別々にタイバーを設けるよりも装置の大型化を回避することができる。また、タイバー３２０の大径化を図ることでタイバー３２０の高剛性化がなされ、第１下型３４４Ａと第２上型３３０Ｂと第２下型３４４Ｂを更に高精度に移動させることが可能となる。
【００７１】
本実施形態においては、第１上型３３０Ａが固定プラテン３２６に取付られ固定されていたが、本発明はこれに限定されず、第２下型が固定プラテンに取付られ固定されて、第１上型が接近・離反可能な方向において移動可能とされていてもよい。
【００７２】
本発明について上記実施形態を挙げて説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の要旨を逸脱しない範囲においての改良並びに設計の変更が可能なことは言うまでもない。
【００７３】
例えば、上記実施形態においては、第１下型と第２上型とが一体とされていたが、本発明はこれに限定されない。例えば、図７に示す第４実施形態の如くであってもよい。それは、第１上型４３０Ａと第２下型４４４Ｂとがそれぞれ別の固定プラテン４２６Ａ、４２６Ｂに取付られ固定されている。同時に、第１下型４４４Ａと第２上型４３０Ｂとがそれぞれ第１可動プラテン４２４Ａ、第２可動プラテン４２４Ｂに取付られ接近・離反可能な方向において互いと反対方向に移動可能とされている。その際に、例えばトグルリンク機構４２２を使うことで、キャビティとキャビティとの間に配置される第１下型４４４Ａと第２上型４３０Ｂの移動に互いの反力を使うことができる。このため、第３実施形態で示したように、生産性を向上させながら、プレス力を増大させないようにすることができる。即ち、第１実施形態、第２実施形態とプレス力は同じであるが、駆動源を１つにできるので、プレス力増大のための圧縮成形装置４００の大型化を回避することができる。同時に、第１実施形態で示したように、２つのキャビティでは可動部に関る誤差を互いに加算しないので、寸法精度の高い圧縮封止をすることもできる。
【００７４】
また、上記実施形態では、２つの金型による２つのキャビティで、圧縮封止が行われていたが、本発明はこれに限定されずに、３つ以上の金型を用いてもよい。その際には、固定プラテンを複数設けてもよく、その組み合わせに特に制限はない。
【００７５】
また、上記実施形態においては、第１下型、第２下型がそれぞれ、第１上型、第２上型に保持される第１被成形品、第２被成形品の圧縮封止される領域の外側を第１上型、第２上型と把持すると共に貫通孔を備えた第１下枠型、第２下枠型と、該貫通孔に嵌合して配置される第１下圧縮型、第２下圧縮型と、を備えていた。そして、第１下枠型、第２下枠型が第１下圧縮型、第２下圧縮型に対して相対的に変位しても第１上型、第２上型との密封がそれぞれ保たれていたが、本発明はこの構成に限定されない。
【００７６】
また、上記実施形態においては、第１上型、第２上型がそれぞれ、貫通孔を備えて第１下枠型、第２下枠型に対向する第１上枠型、第２上枠型と、該貫通孔に嵌合して配置され第１被成形品、第２被成形品を保持する第１上圧縮型、第２上圧縮型と、を備えていた。そして、第１上枠型、第２上枠型がそれぞれ第１上圧縮型、第２上圧縮型に対して相対的に変位しても第１下型、第２下型との間で減圧可能とされていたが、本発明はこの構成に限定されない。
【００７７】
また、上記実施形態においては、キャビティに配置される第１樹脂、第２樹脂はそれぞれ、所定の形状と重量で予備成形されていたが、本発明はこれに限定されずに、粉状、粒状の樹脂でもよいし、液状の樹脂であってもよい。
【００７８】
また、上記実施形態においては、第１樹脂、第２樹脂はそれぞれ、短冊状に分離された第１離型フィルム、第２離型フィルムでキャビティに配置されていたが、本発明はこれに限定されない。例えば、第１樹脂、第２樹脂はそれぞれ、連続した第１離型フィルム、第２離型フィルムでキャビティに配置されてもよい。その場合には、第１樹脂、第２樹脂をキャビティに搬送するのが容易となり、且つ使用した第１離型フィルム、第２離型フィルムの回収も容易となる。或いは、一方が短冊状に分離された状態、もう一方が連続した状態でもよいし、第１樹脂、第２樹脂の予備成形の際に用いた第１離型フィルム、第２離型フィルムを、短冊状若しくは連続した状態で、そのまま用いてもよい（即ち、第１樹脂、第２樹脂が第１離型フィルム、第２離型フィルムに貼り付いた状態で用いることとなる）。或いは、第１下型、第２下型が吸着機構を持たず、第１離型フィルム、第２離型フィルムそれぞれを用いなくてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００７９】
本発明の圧縮成形装置は、例えば半導体チップが搭載された基板（リードフレームを含む）等の被成形品を樹脂にて圧縮封止する用途などに用いることができる。
【符号の説明】
【００８０】
１００、２００、３００、４００…圧縮成形装置
１０２Ａ、２０２Ａ、３０２Ａ…第１被成形品
１０２Ｂ、２０２Ｂ、３０２Ｂ…第２被成形品
１０４Ａ、２０４Ａ、３０４Ａ…第１樹脂
１０４Ｂ、２０４Ｂ、３０４Ｂ…第２樹脂
１０６Ａ、２０６Ａ、３０６Ａ…第１離型フィルム
１０６Ｂ、２０６Ｂ、３０６Ｂ…第２離型フィルム
１１０…本体フレーム
１１２Ａ、１１２Ｂ、１５８Ａ、１５８Ｂ、２１２Ａ、２１２Ｂ…サーボモータ
１１４Ａ、１１４Ｂ、１１８Ａ、１１８Ｂ、２１４Ａ、２１４Ｂ、２１８Ａ、２１８Ｂ…プーリ
１１６Ａ、１１６Ｂ、２１６Ａ、２１６Ｂ…タイミングベルト
１２０Ａ、１２０Ｂ…ボールねじ
１２２Ａ、１２２Ｂ…リニアガイド機構
１２４Ａ、２２４Ａ、３２４Ａ、４２４Ａ…第１可動プラテン
１２４Ｂ、２２４Ｂ、３２４Ｂ、４２４Ｂ…第２可動プラテン
１２６、２２６、３２６、４２６Ａ、４２６Ｂ…固定プラテン
１３０Ａ、２３０Ａ、３３０Ａ、４３０Ａ…第１上型
１３０Ｂ、２３０Ｂ、３３０Ｂ、４３０Ｂ…第２上型
１３２Ａ、１３２Ｂ、３３２Ａ、３４６Ｂ…断熱板
１３４Ａ、１３４Ｂ、３３４Ａ、３４８Ａ、３４８Ｂ…ヒータ
１３６Ａ、３３６Ａ、４４４Ａ…第１上枠型
１３６Ｂ、３３６Ｂ、４４４Ｂ…第２上枠型
１３８Ａ、１３８Ｂ、３３８Ａ、３３８Ｂ…上ばね
１４０Ａ、３４０Ａ…第１上圧縮型
１４０Ｂ、３４０Ｂ…第２上圧縮型
１４４Ａ、２４４Ａ、３４４Ａ、４４４Ａ…第１下型
１４４Ｂ、２４４Ｂ、３４４Ｂ、４４４Ｂ…第２下型
１５０Ａ、３５０Ａ…第１下枠型
１５０Ｂ、３５０Ｂ…第２下枠型
１５２Ａ、１５２Ｂ、３５２Ｂ…下ばね
１５４Ａ、３５４Ａ…第１下圧縮型
１５４Ｂ、３５４Ｂ…第２下圧縮型
１５６Ａ…第１下枠駆動機構
１５６Ｂ、３５６Ｂ…第２下枠駆動機構
２１０、３２０、４１０…タイバー
２２２Ａ、２２２Ｂ、４２２…トグルリンク機構
２２５Ａ、３２５Ａ…ガイド部
３５２Ａ…中間ばね
３２８…ストッパ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧縮成形装置及び圧縮成形方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１、２には、２つのキャビティを用いて圧縮封止を行う圧縮成形装置が記載されている（特許文献１が図８（Ａ）、（Ｂ）、特許文献２が図８（Ｃ）にそれぞれ対応）。いずれの圧縮成形装置も２つのキャビティが下型４４、９４に平面的に並べて設けられている。このため、１つのキャビティで１つの基板を圧縮封止する場合には、複数の基板をほぼ同時に圧縮封止することが可能となる。すなわち、特許文献１、２では、１つのキャビティを備える圧縮成形装置に比べて、高い生産性を実現することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−３０７７６６号公報
【特許文献２】特開２００９−１２４０１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１、２においては、複数のキャビティが平面的、即ち横並びに配置されている。このため、キャビティを形成している下型４４、９４を移動させるための可動プラテン寸法も大きくなってしまい、圧縮成形装置の占有面積が大きくなってしまう。
【０００５】
また、基板厚み誤差や樹脂量誤差により、（各キャビティ毎に基板が異なる場合では）２基板同時成形すると、各基板で封止圧誤差が生じて、圧縮封止後のパッケージ厚みや品質（ワイヤー変形）などに影響を与え、圧縮封止不良を引き起こす可能性が出てくる。このような現象を解消するために等圧機構が必要となるが、その場合には圧縮成形装置が複雑化してしまう。
【０００６】
そこで、本発明は、前記問題点を解決するべくなされたもので、圧縮成形装置の占有面積の増大を最小限にすると共に複雑にすることなく、生産性の向上可能な圧縮成形装置及び圧縮成形方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、相対的に接近・離反可能な上型と下型とを有し、対をなした該上型と下型との間に形成されるキャビティに配置される被成形品を樹脂にて圧縮封止する圧縮成形装置において、前記上型と下型とが前記接近・離反可能な方向に複数対配置されることで、前記キャビティが該接近・離反可能な方向において直列に複数設けられ、多くとも該キャビティ毎の前記上型と下型のうちのいずれか一方のみに、該一方を前記接近・離反可能な方向に移動させる駆動源が連結されていることにより、上記課題を解決したものである。
【０００８】
本発明においては、上型と下型とを前記接近・離反可能な方向に複数対配置することで、キャビティを該接近・離反可能な方向において直列に複数設けている。即ち、複数のキャビティが横並び（並列）ではなく、該接近・離反可能な方向に直列に重なる態様となる。このため、上型と下型の大きさを大きくすることなく、各キャビティで圧縮封止をすることができる。同時に、キャビティを並列としないので、等圧機構を不要としながら封止品質を保つことができる。更に、多くとも該キャビティ毎の上型と下型のうちのいずれか一方のみに、駆動源が連結されている。即ち、例え１つのキャビティで上方と下型の両方が接近・離反可能な方向に移動可能とされているような場合でも、１つの駆動源のみが使用されることとなる。このため、２つの駆動源を用いる場合に比べて大型化や特に制御の複雑化を回避して、低コスト化を実現することができる。即ち、占有面積を増大させずに装置を複雑にすることなく、生産性を向上させることができる。
【０００９】
また、各キャビティにおける圧縮封止は、接近・離反可能な方向のいわば１軸上で独立に行われる。このため、１つのキャビティにおいて樹脂量変動に伴う圧縮封止不良が生じても、該圧縮封止不良が他のキャビティの圧縮封止に悪影響を及ぼすことを回避することができる。
【００１０】
なお、前記キャビティを夫々構成している２以上の前記上型または下型が、１個の前記駆動源によって駆動される場合には、キャビティ毎に駆動源が用いられるよりも、構成部品の点数の低減により、小型化と低コスト化を実現することができる。
【００１１】
なお、前記上型として第１上型と第２上型、前記下型として第１下型と第２下型をそれぞれ有すると共に、該第１上型と第１下型との対、及び、該第１下型の下側に隣接して配置された前記第２上型と第２下型との対によって２つの前記キャビティを形成し、該第１上型と第２下型のうちの一方が固定され、且つ、該第１上型と第２下型のうちの他方に前記駆動源が連結され、該他方が前記第１下型または第２上型を直接的に押圧することにより該第１下型と第２上型とが一体で前記接近・離反可能な方向において移動可能とされている場合には、駆動源が１つでありながら圧縮封止のためのプレス力を、１つのキャビティの場合と同一とすることができ、且つ、２つのキャビティに均等にかけることができる。即ち、生産性を向上させながら、プレス力を増大させることがないので、プレス力増大のための圧縮成形装置の大型化を回避することができる。
【００１２】
なお、前記上型として第１上型と第２上型、前記下型として第１下型と第２下型をそれぞれ有すると共に、該第１上型と第１下型との対、及び、該第１下型の下側に隣接して配置された前記第２上型と第２下型との対によって２つの前記キャビティを形成し、該第１上型と第２下型とが固定され、且つ、該第１下型と第２上型とが前記接近・離反可能な方向において互いと反対方向に移動可能とされている場合には、キャビティとキャビティとの間に配置される第１下型と第２上型の移動に互いの反力を使うことができる。このため、生産性を向上させながら、プレス力を増大させないようにすることができる。即ち、プレス力を小さくできるので、プレス力増大のための圧縮成形装置の大型化を回避することができる。同時に、２つのキャビティでは可動部に関る誤差を互いに加算しないので、寸法精度の高い圧縮封止をすることもできる。
【００１３】
なお、前記接近・離反可能な方向において前記第１上型と第１下型と第２上型と第２下型のうちの２以上を移動可能に支持するタイバーが全て兼用とされている場合には、別々にタイバーを設けるよりも装置の大型化を回避できる。また、タイバーの大径化を図ることでタイバーの高剛性化がなされ、第１上型と第１下型と第２上型と第２下型を高精度に移動させることが可能となる。
【００１４】
なお、前記上型として第１上型と第２上型、前記下型として第１下型と第２下型をそれぞれ有すると共に、該第１上型と第１下型との対、及び、該第１下型の下側に隣接して配置された前記第２上型と第２下型との対によって２つの前記キャビティを形成し、該第１上型と第２下型とが前記接近・離反可能な方向において移動可能とされ、且つ、該第１下型と第２上型とが固定されている場合には、第1下型と第２上型とを、被成形品の圧縮封止のための基準とすることができる。このため、２つのキャビティでは、可動部に関る誤差を互いに加算しないので、寸法精度の高い圧縮封止をすることができる。同時に、第１下型と第２上型とを固定している部分（固定プラテン）では、２つのキャビティで圧縮封止の際にかけられる圧力が互いに反対方向で相殺される関係となる。このため、固定プラテンには、１つのキャビティのみを備える圧縮成形装置の固定プラテンほどの剛性を必要としない。即ち、生産性を向上させながら、圧縮成形装置の軽量化・簡易化若しくは長寿命化させることができる。
【００１５】
なお、前記下型が、前記上型に保持される前記被成形品の圧縮封止される領域の外側を該上型と把持すると共に貫通孔を備えた下枠型と、該貫通孔に嵌合して配置される下圧縮型と、を備え、該下枠型が該下圧縮型に対して相対的に変位しても前記上型との密封が保たれる場合には、被成形品が圧縮封止される前に被成形品の位置が把持（クランプ）により固定可能となる。このため、被成形品の圧縮封止される領域の位置ずれに伴う圧縮封止不良を回避できる。そして、圧縮封止する際に下圧縮型の位置が調整可能となることでたとえ特定のキャビティにおいて樹脂量変動が生じていてもそのキャビティでの圧縮封止不良の発生を低減することができる。同時に、密封が保たれることで、樹脂のキャビティからの漏れを防止することができる。
【００１６】
なお、前記上型が、貫通孔を備えて前記下枠型に対向する上枠型と、該貫通孔に嵌合して配置され前記被成形品を保持する上圧縮型と、を備え、該上枠型が該上圧縮型に対して相対的に変位しても前記下型との間で減圧可能とされている場合には、下枠型と上枠型とが接触した段階で密封状態を作ることができ、早い段階で上型と下型との間で減圧状態とすることができる。このため、圧縮封止する際に、樹脂の被成形品への充填を速く且つ十分に行うことができる。即ち、圧縮封止工程を短縮して、更に圧縮封止不良を低減することができる。
【００１７】
なお、更に、前記下枠型の下圧縮型に対する変位量を制御する下枠駆動機構を備え、該変位量を制御しながら前記複数設けられるキャビティで同時に圧縮封止される場合には、キャビティ毎の圧縮封止品質のばらつきを低減できるので、圧縮封止品質の向上を図ることができる。
【００１８】
なお、前記キャビティに配置される樹脂は、所定の形状と重量で予備成形されている場合には、圧縮封止に用いる樹脂量の変動を少なくできる。同時に、樹脂の扱いが容易で、且つその管理も容易となる。
【００１９】
なお、前記樹脂は、連続した離型フィルムで前記キャビティに配置される場合には、樹脂をキャビティに搬送するのが容易となり、且つ使用した離型フィルムの回収も容易となる。
【００２０】
なお、前記樹脂は、短冊状に分離された離型フィルムで前記キャビティに配置される場合には、樹脂の搬送手段の配置を自在とすることができる。また、離型フィルムの余分な部分を極力低減できるので、離型フィルムを有効活用することができる。
【００２１】
なお、本発明は、相対的に接近・離反可能な上型と下型とを有し、対をなした該上型と下型との間に形成されるキャビティに配置される被成形品を樹脂にて圧縮封止する圧縮成形方法において、前記上型と下型とが前記接近・離反可能な方向に複数対配置されることで、該接近・離反可能な方向において直列に設けられている複数の前記キャビティに対し、多くとも該キャビティ毎の前記上型と下型のうちのいずれか一方のみに駆動源を連結させて１軸方向（接近・離反可能な方向）から圧縮封止する工程を含むことを特徴とする圧縮成形方法とも捉えることができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、圧縮成形装置の占有面積の増大を最小限にすると共に複雑にすることなく、生産性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の第１実施形態の一例が適用された圧縮成形装置の模式図
【図２】図１の圧縮成形装置の一連の動作を示す模式図
【図３】本発明の第２実施形態の一例が適用された圧縮成形装置の模式図
【図４】本発明の第３実施形態の一例が適用された圧縮成形装置の模式図
【図５】図４の上面図を示す模式図
【図６】図４の圧縮成形装置の一連の動作を示す模式図
【図７】本発明の第４実施形態の一例が適用された圧縮成形装置の模式図
【図８】従来の圧縮成形装置の例を示す模式図
【発明を実施するための形態】
【００２４】
以下、本発明の実施形態の例を図面に基づいて説明する。
【００２５】
図１は、本発明の第１実施形態の一例が適用された圧縮成形装置の模式図である。概略的な特徴について以下説明する。
【００２６】
圧縮成形装置１００は、図１に示す如く、相対的に接近・離反可能な上型（第１上型１３０Ａ、第２上型１３０Ｂ）と下型（第１下型１４４Ａ、第２下型１４４Ｂ）とを有している。そのため、対をなした第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａ、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂ、それぞれの間に形成される２つのキャビティに配置される第１被成形品１０２Ａ、第２被成形品１０２Ｂを、第１樹脂１０４Ａ、第２樹脂１０４Ｂ、それぞれにて圧縮封止することができる。そして、圧縮成形装置１００では、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａ、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂが、接近・離反可能な方向に配置されることで、キャビティが接近・離反可能な方向において直列に２つ設けられている。そして、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａのうちの第１上型１３０Ａのみに第１可動プラテン１２４Ａを介して駆動源であるサーボモータ１１２Ａが連結されている。同様に第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂのうちの第２下型１４４Ｂのみに第２可動プラテン１２４Ｂを介して駆動源であるサーボモータ１１２Ｂが連結されている。ここで、接近・離反可能な方向は、図１では上下方向であり、１軸方向に制限されている。
【００２７】
なお、第１被成形品１０２Ａ、第２被成形品１０２Ｂはそれぞれ、例えば、半導体チップが搭載された基板（リードフレームを含む）などである。その圧縮封止される領域には半導体チップが搭載されており、圧縮封止される領域の外側には基板のみが存在する構成とされている。第１樹脂１０４Ａ、第２樹脂１０４Ｂは、当該圧縮封止される領域を圧縮封止で充填するように所定の形状と重量で予備成形されている。第１離型フィルム１０６Ａ、第２離型フィルム１０６Ｂは、短冊状に分離されており、伸縮可能である。第１離型フィルム１０６Ａ、第２離型フィルム１０６Ｂにより、第１樹脂１０４Ａ、第２樹脂１０４Ｂは、キャビティに配置される。そして、第１離型フィルム１０６Ａ、第２離型フィルム１０６Ｂは、圧縮封止した際のキャビティからの剥離性向上とキャビティ汚れの防止とをすることができる。本実施形態では、第１被成形品１０２Ａと第２被成形品１０２Ｂが同一とされていることから、第１樹脂１０４Ａと第２樹脂１０４Ｂとを同一としている。しかし、これに限られるものはなく、第１被成形品と第２被成形品とが同一でなくてもよい。
【００２８】
以下、詳細に構成を説明する。
【００２９】
圧縮成形装置１００は、図１に示す如く、本体フレーム１１０に２つの金型を設けている。２つの金型は、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａ、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂ、の対で構成されている。
【００３０】
第１上型１３０Ａと第２下型１４４Ｂとは、本体フレーム１１０に設けられたリニアガイド機構１２２Ａ、１２２Ｂに取付られた第１可動プラテン１２４Ａ、第２可動プラテン１２４Ｂにそれぞれ、保持され移動可能とされている。第１可動プラテン１２４Ａ、第２可動プラテン１２４Ｂはそれぞれ、ボールねじ１２０Ａ、１２０Ｂで移動量が制御されている。そのボールねじ１２０Ａ、１２０Ｂはそれぞれ、プーリ１１８Ａ、１１８Ｂ−タイミングベルト１１６Ａ、１１６Ｂ−プーリ１１４Ａ、１１４Ｂを介して、本体フレーム１１０に固定されたサーボモータ１１２Ａ、１１２Ｂで駆動される（上下直動型駆動）。
【００３１】
一方、第１下型１４４Ａと、第１下型１４４Ａと隣接する第２上型１３０Ｂと、は、本体フレーム１１０に取付られた固定プラテン１２６に背合わせに取付られ固定されている。このため、固定プラテン１２６に取付られた第１下型１４４Ａと第２上型１３０Ｂとに対して、第１上型１３０Ａと第２下型１４４Ｂとがそれぞれ移動して同時に行われる型締めの際には固定プラテン１２６にかかる力が相殺されることとなる。
【００３２】
次に、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａの構成を説明する。なお、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂの構成は、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａの構成と同じなので、その説明は省略する。
【００３３】
第１上型１３０Ａは、図１に示す如く、断熱板１３２Ａとヒータ１３４Ａと第１上枠型１３６Ａと上ばね１３８Ａと第１上圧縮型１４０Ａとを有する。断熱板１３２Ａは、第１可動プラテン１２４Ａに当接して配置され、第１上型１３０Ａの温度が第１可動プラテン１２４Ａに拡散することを防止している。ヒータ１３４Ａは、第１上型１３０Ａ全体を加熱し、所定の温度とするようにされている。第１上枠型１３６Ａは、貫通孔を備えて第１下型１４４Ａに対向している。第１上圧縮型１４０Ａは、当該貫通孔に嵌合して配置され第１被成形品１０２Ａを保持する。第１上枠型１３６Ａは、上ばね１３８Ａを介して第１上圧縮型１４０Ａに取付られている。第１上枠型１３６Ａは、第１上圧縮型１４０Ａに第１被成形品１０２Ａが保持された状態においても、第１被成形品１０２Ａで制限されることなく、第１上圧縮型１４０Ａに対して移動可能とされている。第１上枠型１３６Ａと第１上圧縮型１４０Ａとの嵌合する部分には図示せぬＯリングなどの密閉部材が設けられている。また、第１上圧縮型１４０Ａには図示せぬ、第１被成形品１０２Ａを保持するための吸着機構や、減圧機構が設けられている。このため、第１上枠型１３６Ａが第１下型１４４Ａと第１離型フィルム１０６Ａを介して当接した状態で、第１上枠型１３６Ａが第１上圧縮型１４０Ａに対して相対的に変位したとする。その際であっても、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａとの間で密閉状態が構成され減圧可能とされている。
【００３４】
第１下型１４４Ａは、図１に示す如く、第１下枠型１５０Ａと下ばね１５２Ａと第１下圧縮型１５４Ａと図示せぬヒータと図示せぬ断熱板とを有する。第１下枠型１５０Ａは、第１上型１３０Ａの第１上圧縮型１４０Ａに保持される第１被成形品１０２Ａの圧縮封止される領域の外側を第１上型１３０Ａの第１上圧縮型１４０Ａと把持（クランプ）する。また、第１下枠型１５０Ａは貫通孔を備えている。第１下圧縮型１５４Ａは、当該貫通孔に嵌合して配置されている。第１下枠型１５０Ａは、下ばね１５２Ａを介して第１下圧縮型１５４Ａに取付られている。そのため、第１下枠型１５０Ａは、第１下圧縮型１５４Ａに対して移動可能とされている。第１下枠型１５０Ａと第１下圧縮型１５４Ａとの嵌合する部分には図示せぬＯリングなどの密閉部材が設けられている。なお、第１下枠型１５０Ａは、第１上枠型１３６Ａにも対向している。このため、第１下枠型１５０Ａが第１上枠型１３６Ａと当接した状態で、第１下枠型１５０Ａが第１下圧縮型１５４Ａに対して相対的に変位しても第１下型１４４Ａと第１上型１３０Ａとの密閉が保たれている。ヒータは、第１下型１４４Ａ全体を加熱し、所定の温度とするようにされている。断熱板１３２Ａは、固定プラテン１２６に当接して配置され、第１下型１４４Ａの温度が固定プラテン１２６に拡散することを防止している。なお、第１下型１４４Ａには、第１離型フィルム１０６Ａを吸着するための図示せぬ減圧機構が設けられている。
【００３５】
固定プラテン１２６には、第１下枠駆動機構１５６Ａが設けられている。第１下枠駆動機構１５６Ａは、本体フレーム１１０に取付られたサーボモータ１５８Ａにより駆動される。なお、上ばね１３８Ａよりも下ばね１５２Ａの力が大とされている。このため、第１下枠駆動機構１５６Ａは、第１上枠型１３６Ａと第１下枠型１５０Ａとが当接した状態であっても、第１下枠型１５０Ａの第１下圧縮型１５４Ａに対する変位量を制御することができる。なお、第２下枠駆動機構１５６Ｂは、そのサーボモータ１５８Ｂと共に、第２可動プラテン１２４Ｂに取付られているが、その構成は第１下枠駆動機構１５６Ａと同一であるので、その説明は省略する。
【００３６】
次に、圧縮成形装置１００の動作について、図２を用いて説明する。
【００３７】
第１上型１３０Ａ、第２上型１３０Ｂと第１下型１４４Ａ、第２下型１４４Ｂとがそれぞれ離反された型開き状態において、第１離型フィルム１０６Ａ、第２離型フィルム１０６Ｂが第１下型１４４Ａ、第２下型１４４Ｂ上にそれぞれ配置されて吸着される。このとき、第１下枠駆動機構１５６Ａ、第２下枠駆動機構１５６Ｂにより、第１下枠型１５０Ａ、第２下枠型１５０Ｂの上面と第１下圧縮型１５４Ａ、第２下圧縮型１５４Ｂの上面の位置がそれぞれ同一とされている。また、この状態では、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａ、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂはそれぞれ圧縮封止する際の一定の温度（例えば１７５度）とされている（図２（Ａ））。
【００３８】
次に、図示せぬ搬送機構により、第１上圧縮型１４０Ａ、第２上圧縮型１４０Ｂにそれぞれ第１被成形品１０２Ａ、第２被成形品１０２Ｂを保持させる（図２（Ｂ））。なお、第１被成形品１０２Ａ、第２被成形品１０２Ｂの吸着による保持は同時でなくてもよい。
【００３９】
次に、図示せぬ樹脂搬送機構により、第１離型フィルム１０６Ａ、第２離型フィルム１０６Ｂ上に、第１樹脂１０４Ａ、第２樹脂１０４Ｂをそれぞれ搭載する（図２（Ｃ））。この第１樹脂１０４Ａ、第２樹脂１０４Ｂの搭載は、樹脂が硬化するまでの時間を合わせるために、可能な限り同時に行う。
【００４０】
次に、第１下枠駆動機構１５６Ａにより、第１下枠型１５０Ａを上昇させる。そして、第１可動プラテン１２４Ａを下方に移動させて、第１上型１３０Ａを第１下型１４４Ａに接近させていく。すると、第１上枠型１３６Ａと第１下枠型１５０Ａとが第１離型フィルム１０６Ａを介して当接して、第１離型フィルム１０６Ａが固定される。同時に、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａとで密閉状態が構成される。更に、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａとを接近させ、第１上圧縮型１４０Ａと第１下枠型１５０Ａとで第１被成形品１０２Ａを把持（クランプ）する。このため、第１被成形品１０２Ａがしっかり固定される。なお、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａとの間において減圧が行われる。
【００４１】
同時に、第２下枠駆動機構１５６Ｂにより、第２下枠型１５０Ｂを上昇させる。そして、第２可動プラテン１２４Ｂを第１可動プラテン１２４Ａと同期させて、上方に移動させて第２下型１４４Ｂを第２上型１３０Ｂに接近させていく。すると、第２上枠型１３６Ｂと第２下枠型１５０Ｂとが第２離型フィルム１０６Ｂを介して当接して、第２離型フィルム１０６Ｂが固定される。同時に、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂとで密閉状態が構成される。更に、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂとを接近させ、第２上圧縮型１４０Ｂと第２下枠型１５０Ｂとで第２被成形品１０２Ｂを把持（クランプ）する。このため、第２被成形品１０２Ｂがしっかり固定される。なお、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂとの間において減圧が行われる（図２（Ｄ））。
【００４２】
次に、第１可動プラテン１２４Ａを更に下方に移動させて第１上型１３０Ａを第１下型１４４Ａに接近させていく。又、第２可動プラテン１２４Ｂを第１可動プラテン１２４Ａと同期させ、更に上方に移動させて第２下型１４４Ｂを第２下型１３０Ｂに接近させていく。このとき、第１下枠駆動機構１５６Ａ、第２下枠駆動機構１５６Ｂそれぞれで第１下枠型１５０Ａ、第２下枠型１５０Ｂの変位量を制御する。そして、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａとの間にかかる圧力と、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂとの間にかかる圧力とを、同一に保ちながら上下方向（１軸方向）から圧縮封止し、型締めを完了させる（図２（Ｅ））。即ち、当該変位量を制御しながら、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａとの間に形成されたキャビティと第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂとの間に形成されたキャビティとで、同時に圧縮封止がなされる。ここで、第１可動プラテン１２４Ａの移動方向と第２可動プラテン１２４Ｂの移動方向は互いに逆であり、圧力が等しい。このため、圧縮封止工程において、固定プラテン１２６にかかる力が相殺される。
【００４３】
次に、第１可動プラテン１２４Ａ、第２可動プラテン１２４Ｂを固定プラテン１２６から離反させる（図２（Ｆ））。そして、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａ、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂ、それぞれの型開きをし、圧縮封止された第１被成形品１０２Ａ、第２被成形品１０２Ｂ（単に成形品と称する）が、図示せぬ搬送装置にて取り出される。このとき、第１下枠駆動機構１５６Ａにより、第１下枠型１５０Ａの表面を第１下圧縮型１５４Ａの表面と同じ高さにする。このため、成形品が取り出しやすくなり、かつ次の圧縮封止が容易となる。第２下枠駆動機構１５６Ｂも同じ動作を行う。
【００４４】
このように、本実施形態においては、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａ、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂを、接近・離反可能な方向（上下方向）に配置することで、キャビティを接近・離反可能な方向（上下方向）において直列に複数設けている。即ち、複数のキャビティが横並び（並列）ではなく、接近・離反可能な方向（上下方向）に直列に重なる態様となる。このため、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａ、第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂ、それぞれの大きさを大きくすることなく、各キャビティで圧縮封止をすることができる。同時に、キャビティを並列としないので、等圧機構を不要としながら封止品質を保つことができる。即ち、占有面積を増大させずに装置を複雑にすることなく、生産性を向上させることができる。
【００４５】
また、２つのキャビティにおける圧縮封止は、接近・離反可能な方向（上下方向）のいわば１軸上で独立に行われる。このため、１つのキャビティにおいて樹脂量変動に伴う圧縮封止不良が生じても、該圧縮封止不良が他のキャビティの圧縮封止に悪影響を及ぼすことを回避することができる。
【００４６】
また、上型として第１上型１３０Ａと第２上型１３０Ｂ、下型として第１下型１４４Ａと第２下型１４４Ｂをそれぞれ有すると共に、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａとの対、及び、第１下型１４４Ａの下側に隣接して配置された前記第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂとの対によって２つのキャビティを形成し、第１上型１３０Ａと第２下型１４４Ｂとが接近・離反可能な方向（上下方向）において移動可能とされ、且つ、第１下型１４４Ａと第２上型１３０Ｂとが固定されている。このため、第１下型１４４Ａと第２上型１３０Ｂとを、第１被成形品１０２Ａ、第２被成形品１０２Ｂの圧縮封止のための基準とすることができる。即ち、２つのキャビティでは、可動部に関る誤差を互いに加算しないので、寸法精度の高い圧縮封止をすることができる。同時に、第１下型１４４Ａと第２上型１３０Ｂとを固定している固定プラテン１２６では、２つのキャビティで圧縮封止の際にかけられる圧力が互いに反対方向で相殺される関係となる。このため、固定プラテン１２６には、１つのキャビティのみを備える圧縮成形装置の固定プラテンほどの剛性を必要としない。更には、キャビティを構成する第１上型１３０Ａ（第２下型１４４Ｂ）のみが制御対象である。即ち、その制御は固定された第１下型（第２上型）を同時に動かす場合に比べて、容易に行うことができる。即ち、生産性を向上させながら、圧縮成形装置１００の軽量化・簡易化若しくは長寿命化させることができる。
【００４７】
また、第１下型１４４Ａが、第１上型１３０Ａに保持される第１被成形品１０２Ａの圧縮封止される領域の外側を第１上型１３０Ａと把持（クランプ）すると共に貫通孔を備えた第１下枠型１５０Ａと、該貫通孔に嵌合して配置される第１下圧縮型１５４Ａと、を備えている。そして、第１下枠型１５０Ａが第１下圧縮型１５４Ａに対して相対的に変位しても第１上型１３０Ａとの密封が保たれている。このため、第１被成形品１０２Ａが圧縮封止される前に第１被成形品１０２Ａの位置が把持（クランプ）により固定可能となる。即ち、第１被成形品１０２Ａの圧縮封止される領域の位置ずれに伴う圧縮封止不良を回避できる。そして、圧縮封止する際に第１下圧縮型１５４Ａの位置が調整可能となることで、たとえ特定のキャビティにおいて樹脂量変動が生じていてもそのキャビティでの圧縮封止不良の発生を低減することができる。同時に、密封が保たれることで、第１樹脂１０４Ａのキャビティからの漏れを防止することができる。なお、これらの効果は本実施形態の第２下型１４４Ｂについても同様である。
【００４８】
また、第１上型１３０Ａが、貫通孔を備えて第１下枠型１５０Ａに対向する第１上枠型１３６Ａと、該貫通孔に嵌合して配置され第１被成形品１０２Ａを保持する第１上圧縮型１４０Ａと、を備えている。そして、第１上枠型１３６Ａが、第１上圧縮型１４０Ａに対して相対的に変位しても、第１下型１４４Ａとの間で減圧可能とされている。このため、第１下枠型１５０Ａと第１上枠型１３６Ａとが接触した段階で密封状態を作ることができ、早い段階で第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａとの間で減圧状態とすることができる。つまり、圧縮封止する際に、第１樹脂１０４Ａの第１被成形品１０２Ａへの充填を速く且つ十分に行うことができる。即ち、圧縮封止工程を短縮して、更に圧縮封止不良を低減することができる。なお、これらの効果は本実施形態の第２上型１３０Ｂについても同様である。
【００４９】
また、更に、第１下枠型１５０Ａの第１下圧縮型１５４Ａに対する変位量を制御する第１下枠駆動機構１５６Ａと、第２下枠型１５０Ｂの第２下圧縮型１５４Ｂに対する変位量を制御する第２下枠駆動機構１５６Ｂと、を備え、２つの変位量を制御しながら２つのキャビティで同時に圧縮封止される。このため、キャビティ毎の圧縮封止品質のばらつきを低減できるので、圧縮封止品質の向上を図ることができる。
【００５０】
また、キャビティに配置される第１樹脂１０４Ａ、第２樹脂１０４Ｂはそれぞれ、所定の形状と重量で予備成形されているので、圧縮封止に用いる樹脂量の変動を少なくできる。同時に、樹脂の扱いが容易で、且つその管理も容易となる。
【００５１】
また、第１樹脂１０４Ａ、第２樹脂１０４Ｂは、短冊状に分離された第１離型フィルム１０６Ａ、第２離型フィルム１０６Ｂでキャビティにそれぞれ配置される。このため、第１樹脂１０４Ａ、第２樹脂１０４Ｂの搬送手段の配置を自在とすることができる。また、第１離型フィルム１０６Ａ、第２離型フィルム１０６Ｂそれぞれの余分な部分を極力低減できるので、第１離型フィルム１０６Ａ、第２離型フィルム１０６Ｂを有効活用することができる。
【００５２】
即ち、圧縮成形装置１００の占有面積の増大を最小限にすると共に複雑にすることなく、生産性を向上させることができる。
【００５３】
なお、本実施形態においては、必ずしも２つのキャビティを使用する必要はなく、適宜いずれかのキャビティのみを使用することもできる。
【００５４】
本実施形態においては、第１可動プラテン１２４Ａ、第２可動プラテン１２４Ｂそれぞれをリニアガイド機構１２２Ａで支持し、ボールねじ１２０Ａ、１２０Ｂとサーボモータ１１２Ａ、１１２Ｂとの組み合わせで移動させていた（上下直動型駆動）。このため、本実施形態では、第１可動プラテン１２４Ａ、第２可動プラテン１２４Ｂの高精度な移動が実現でき、高い成形品の形状再現性を実現している。しかし、本発明はこれに限定されない。そして、本実施形態においては、第１下枠駆動機構１５６Ａ、第２下枠駆動機構１５６Ｂがそれぞれ設けられていたが、本発明はこれに限定されない。ボールねじとリニアガイド機構とを用いずに、例えば図３に示す第２実施形態の如く、トグルリンク機構２２２Ａ、２２２Ｂを用いてもよい（上下トグルリンク型駆動）。その際、第１可動プラテン２２４Ａ、第２可動プラテン２２４Ｂは、そのガイド部２２５Ａ、２２５Ｂでタイバー２１０にそれぞれ移動可能に支持されている。この場合には、第１可動プラテン２２４Ａ、第２可動プラテン２２４Ｂの移動を速くでき、且つその距離も大きく取れるので、圧縮封止工程にかかる時間を短縮することができる。また、下枠駆動機構を用いていないので、第１実施形態に比べて、構成を簡略化でき、低コスト化することができる。なお、図３において、その他の構成は第１実施形態と同じなので、符号の下３桁を同一にして、説明を省略する。
【００５５】
また、第１実施形態においては、上型として第１上型１３０Ａと第２上型１３０Ｂ、下型として第１下型１４４Ａと第２下型１４４Ｂをそれぞれ有すると共に、第１上型１３０Ａと第１下型１４４Ａとの対、及び、第１下型１４４Ａの下側に隣接して配置された第２上型１３０Ｂと第２下型１４４Ｂとの対によって２つのキャビティを形成し、第１上型１３０Ａと第２下型１４４Ｂとが接近・離反可能な方向（上下方向）において移動可能とされ、且つ、第１下型１４４Ａと第２上型１３０Ｂとが固定されていた。しかし、本発明はこれに限定されない。例えば、第１上型が固定され、且つ、第２下型に可動プラテンを介して駆動源が連結され、第２下型が第２上型を直接的に押圧することにより第２上型と第１下型とが一体で第１下型と第２上型と第２下型が接近・離反可能な方向において移動可能とされていてもよい。図４に示す第３実施形態により、具体的に説明する。
【００５６】
本実施形態に係る圧縮成形装置３００では、図４に示す如く、第１上型３３０Ａが固定プラテン３２６に取付られ固定されている。そして、第１下型３４４Ａと第２上型３３０Ｂとが第１可動プラテン３２４Ａに一体で取付られ、第２下型３４４Ｂが第２可動プラテン３２４Ｂに取付られている。ここで、第１可動プラテン３２４Ａ周辺の構成は上記実施形態と異なるので以下に説明し、それ以外の構成については、符号の下３桁を同一にして説明を省略する。なお、図５に、第２下型３４４Ｂ部分の上面図を示す。
【００５７】
第１可動プラテン３２４Ａは、そのガイド部３２５Ａを介して、タイバー３２０によって移動可能に支持されている。第１可動プラテン３２４Ａには駆動源が連結されていないものの、所定の位置より第１可動プラテン３２４Ａが下方へ移動しないようにするためのストッパ３２８が設けられている。ストッパ３２８により、第２上型３３０Ａと第２下型３４４Ｂとにおける型開きが可能とされている。
【００５８】
第１可動プラテン３２４Ａの第１上型側には、第１下型３４４Ａが設けられている。第１下型３４４Ａは、上圧縮型３４０Ａに保持される第１被成形品３０２Ａの圧縮封止される領域の外側を第１上型３３０Ａと把持（クランプ）すると共に貫通孔を備えた第１下枠型３５０Ａと、該貫通孔に嵌合して配置される第１下圧縮型３５４Ａと、を備えている。そのうちの第１下圧縮型３５２Ａが第１可動プラテン３２４Ａに取付られている。
【００５９】
一方、第１可動プラテン３２４Ａの第２下型側には、第２上型３３０Ｂが設けられている。第２上型３３０Ｂは、貫通孔を備えて第２下枠型３５０Ｂに対向する第２上枠型３３６Ｂと、該貫通孔に嵌合して配置され第２被成形品３０２Ｂを保持する第２上圧縮型３４０Ｂと、を備えている。そのうちの第２上圧縮型３４０Ｂが第１可動プラテン３２４Ａに取付られている。第２上型３３０Ｂの中には中ヒータ３４８Ａが設けられ、第１下型３４４Ａと第２上型３３０Ｂとが同時に同じ温度（例えば１７５度）に保たれている。第１下枠型３５０Ａと第２上枠型３３６Ｂとは直接的に中ばね３５２Ａで連結されている。そして、第１下枠型３５０Ａは、所定の範囲で第１下圧縮型３５４Ａに対して移動可能とされている（第２上枠型３３６Ｂも第２上圧縮型３４０Ｂに対して同様）。なお、第１可動プラテン３２４Ａには、下枠駆動機構は設けられていない。また、上ばね３３８Ａの力＜中ばね３５２Ａの力≦下ばね３５２Ｂの力の関係である。このため、上ばね３３８Ａ、中ばね３５２Ａ、下ばね３５２Ｂがいずれも縮んだ状態となっても、第２下枠駆動機構３５６Ｂで第２下枠型３５０Ｂの第２下圧縮型３５４Ｂに対する変位量は制御されることとなる。
【００６０】
次に、圧縮成形装置３００の動作について、図６を用いて説明する。
【００６１】
第１上型３３０Ａ、第２上型３３０Ｂと第１下型３４４Ａ、第２下型３４４Ｂとがそれぞれ離反された型開き状態において、第１離型フィルム３０６Ａ、第２離型フィルム３０６Ｂが第１下型３４４Ａ、第２下型３４４Ｂ上にそれぞれ配置・吸着されている。なお、このとき、第２下枠型３５０Ｂの上面は第２下圧縮型３５４Ｂの上面の上方に位置されている。また、この状態では、第１上型３３０Ａ、第１下型３４４Ａと第２上型３３０Ｂ、第２下型３４４Ｂはそれぞれ圧縮封止する際の一定の温度（例えば１７５度）とされている。
【００６２】
次に、図示せぬ搬送機構により、第１上圧縮型３４０Ａ、第２上圧縮型３４０Ｂに第１被成形品３０２Ａ、第２被成形品３０２Ｂをそれぞれ保持させる。なお、第１被成形品３０２Ａ、第２被成形品３０２Ｂの吸着による保持は同時でなくてもよい。
【００６３】
次に、図示せぬ樹脂搬送機構により、第１離型フィルム３０６Ａ、第２離型フィルム３０６Ｂ上に、第１樹脂３０４Ａ、第２樹脂３０４Ｂを搭載する（図６（Ａ））。この第１樹脂３０４Ａ、第２樹脂３０４Ｂの搭載は、樹脂が硬化するまでの時間を合わせるために、可能な限り同時に行う。
【００６４】
次に、図示せぬ駆動源に連結された第２可動プラテン３２４Ｂを該駆動源により上方に移動させて、第２下型３４４Ｂを第２上型３３０Ｂに接近させていく。すると、第２上枠型３３６Ｂと第２下枠型３５０Ｂとが第２離型フィルム３０６Ｂを介して当接して、第２離型フィルム３０６Ｂが固定される。そして、第２上型３３０Ｂと第２下型３４４Ｂとで密閉状態が構成される。同時に、中ばね３５２Ａを介して、第２下枠型３５０Ｂが第１下枠型３５０Ａを押し上げる。その後、第２下枠型３５０Ｂが、第２被成形品３０２Ｂと当接して、第２上圧縮型３４０Ｂと第２被成形品３０２Ｂを把持（クランプ）する。このため、第２被成形品３０２Ｂがしっかり固定される。同時に、第１可動プラテン３２４Ａを上方に移動開始させる（図６（Ｂ）；直接的な押圧）。
【００６５】
次に、第２可動プラテン３２４Ｂ、第１可動プラテン３２４Ａの移動に伴い、第１下枠型３５０Ａが第１離型フィルム３０６Ａを介して、第１上枠型３３６Ａと当接する（図６（Ｃ））。すると、第１離型フィルム３０６Ａが固定されて、第１上型３３０Ａと第１下型３４４Ａとで密閉状態が構成される。
【００６６】
次に、第１下枠型３５０Ａが、第１被成形品３０２Ａと当接して、第１上圧縮型３４０Ａと第１被成形品３０２Ａを把持（クランプ）する（図６（Ｄ））。そのため、第１被成形品３０２Ａがしっかり固定される。なお、第１上型３３０Ａと第１下型３４４Ａ、第２上型３３０Ｂと第２下型３４４Ｂの間において減圧が行われる。
【００６７】
次に、第２下枠駆動機構３５６Ｂにより、第１下枠型３５０Ａと第２下枠型３５０Ｂの変位量を制御する。即ち、第１被成形品３０２Ａと第１樹脂３０４Ａとの距離と第２被成形品３０２Ｂと第２樹脂３０４Ｂとの距離が同じになるようにする。そして、第２可動プラテン３２４Ｂの移動を続けて、２つのキャビティの型締めを同時に完了させる（図６（Ｅ））。即ち、当該変位量を制御しながら第１上型３３０Ａと第１下型３４４Ａとの間に形成されたキャビティと第２上型３３０Ｂと第２下型３４４Ｂとの間に形成されたキャビティとで、同時に上下方向（１軸方向）から圧縮封止がなされる。
【００６８】
次に、第２可動プラテン３２４Ｂを固定プラテン３２６から離反させる。すると、第１可動プラテン３２４Ａも固定プラテン３２６から離反するが、ストッパ３２８で、その移動が停止される。そして、第２上型３３０Ｂと第２下型３４４Ｂとが離反する（図６（Ｆ））。そして、圧縮封止された第１被成形品３０２Ａ、第２被成形品３０２Ｂ（単に成形品と称する）は、図示せぬ搬送装置にて取り出される。
【００６９】
このように、本実施形態では、第１可動プラテン３２４Ａは、駆動源を持たず、ヒータ、ばね、下枠駆動機構はそれぞれ、中ヒータ３４８Ａ、中ばね３５２Ｂ、第２下枠駆動機構３５６Ｂ、のみを有する。即ち、上記実施形態よりも部品点数が少なく、低コスト化が可能である。加えて、駆動源が１つでありながら圧縮封止のためのプレス力を、１つのキャビティの場合と同一とすることができ、且つ、２つのキャビティに均等にかけることができる。そして、仮に第１可動プラテンに駆動源を連結した場合と比べれば、駆動源が少ない分、構成部品の点数を低減できるので小型とすることができる。同時に、特にその制御の複雑化を回避できるので、低コスト化を実現することができる。即ち、生産性を向上させながら、プレス力を増大させることがない（上記実施形態よりもプレス力が小さい）ので、プレス力増大のための圧縮成形装置３００の大型化を回避することができる。
【００７０】
また、本実施形態では、第１可動プラテン３２４Ａが固定プラテン３２６を支える４つのタイバー３２０で、ガイド部３２５Ａを介して支持されている。即ち、第１上型３３０Ａと第１下型３４４Ａとの平行度、及び第２上型３３０Ｂと第２下型３４４Ｂとの平行度が機械的に維持されている。このため、前記２つの平行度を計測・調整するための位置センサなどが不要である。そして、タイバー３２０が、第１下型３４４Ａと第２上型３３０Ｂと第２下型３４４Ｂとに（接近・離反可能な方向において移動可能とされている全ての金型部に）兼用されているので、別々にタイバーを設けるよりも装置の大型化を回避することができる。また、タイバー３２０の大径化を図ることでタイバー３２０の高剛性化がなされ、第１下型３４４Ａと第２上型３３０Ｂと第２下型３４４Ｂを更に高精度に移動させることが可能となる。
【００７１】
本実施形態においては、第１上型３３０Ａが固定プラテン３２６に取付られ固定されていたが、本発明はこれに限定されず、第２下型が固定プラテンに取付られ固定されて、第１上型が接近・離反可能な方向において移動可能とされていてもよい。
【００７２】
本発明について上記実施形態を挙げて説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の要旨を逸脱しない範囲においての改良並びに設計の変更が可能なことは言うまでもない。
【００７３】
例えば、上記実施形態においては、第１下型と第２上型とが一体とされていたが、本発明はこれに限定されない。例えば、図７に示す第４実施形態の如くであってもよい。それは、第１上型４３０Ａと第２下型４４４Ｂとがそれぞれ別の固定プラテン４２６Ａ、４２６Ｂに取付られ固定されている。同時に、第１下型４４４Ａと第２上型４３０Ｂとがそれぞれ第１可動プラテン４２４Ａ、第２可動プラテン４２４Ｂに取付られ接近・離反可能な方向において互いと反対方向に移動可能とされている。その際に、例えばトグルリンク機構４２２を使うことで、キャビティとキャビティとの間に配置される第１下型４４４Ａと第２上型４３０Ｂの移動に互いの反力を使うことができる。このため、第３実施形態で示したように、生産性を向上させながら、プレス力を増大させないようにすることができる。即ち、第１実施形態、第２実施形態とプレス力は同じであるが、駆動源を１つにできるので、プレス力増大のための圧縮成形装置４００の大型化を回避することができる。同時に、第１実施形態で示したように、２つのキャビティでは可動部に関る誤差を互いに加算しないので、寸法精度の高い圧縮封止をすることもできる。
【００７４】
また、上記実施形態では、２つの金型による２つのキャビティで、圧縮封止が行われていたが、本発明はこれに限定されずに、３つ以上の金型を用いてもよい。その際には、固定プラテンを複数設けてもよく、その組み合わせに特に制限はない。
【００７５】
また、上記実施形態においては、第１下型、第２下型がそれぞれ、第１上型、第２上型に保持される第１被成形品、第２被成形品の圧縮封止される領域の外側を第１上型、第２上型と把持すると共に貫通孔を備えた第１下枠型、第２下枠型と、該貫通孔に嵌合して配置される第１下圧縮型、第２下圧縮型と、を備えていた。そして、第１下枠型、第２下枠型が第１下圧縮型、第２下圧縮型に対して相対的に変位しても第１上型、第２上型との密封がそれぞれ保たれていたが、本発明はこの構成に限定されない。
【００７６】
また、上記実施形態においては、第１上型、第２上型がそれぞれ、貫通孔を備えて第１下枠型、第２下枠型に対向する第１上枠型、第２上枠型と、該貫通孔に嵌合して配置され第１被成形品、第２被成形品を保持する第１上圧縮型、第２上圧縮型と、を備えていた。そして、第１上枠型、第２上枠型がそれぞれ第１上圧縮型、第２上圧縮型に対して相対的に変位しても第１下型、第２下型との間で減圧可能とされていたが、本発明はこの構成に限定されない。
【００７７】
また、上記実施形態においては、キャビティに配置される第１樹脂、第２樹脂はそれぞれ、所定の形状と重量で予備成形されていたが、本発明はこれに限定されずに、粉状、粒状の樹脂でもよいし、液状の樹脂であってもよい。
【００７８】
また、上記実施形態においては、第１樹脂、第２樹脂はそれぞれ、短冊状に分離された第１離型フィルム、第２離型フィルムでキャビティに配置されていたが、本発明はこれに限定されない。例えば、第１樹脂、第２樹脂はそれぞれ、連続した第１離型フィルム、第２離型フィルムでキャビティに配置されてもよい。その場合には、第１樹脂、第２樹脂をキャビティに搬送するのが容易となり、且つ使用した第１離型フィルム、第２離型フィルムの回収も容易となる。或いは、一方が短冊状に分離された状態、もう一方が連続した状態でもよいし、第１樹脂、第２樹脂の予備成形の際に用いた第１離型フィルム、第２離型フィルムを、短冊状若しくは連続した状態で、そのまま用いてもよい（即ち、第１樹脂、第２樹脂が第１離型フィルム、第２離型フィルムに貼り付いた状態で用いることとなる）。或いは、第１下型、第２下型が吸着機構を持たず、第１離型フィルム、第２離型フィルムそれぞれを用いなくてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００７９】
本発明の圧縮成形装置は、例えば半導体チップが搭載された基板（リードフレームを含む）等の被成形品を樹脂にて圧縮封止する用途などに用いることができる。
【符号の説明】
【００８０】
１００、２００、３００、４００…圧縮成形装置
１０２Ａ、２０２Ａ、３０２Ａ…第１被成形品
１０２Ｂ、２０２Ｂ、３０２Ｂ…第２被成形品
１０４Ａ、２０４Ａ、３０４Ａ…第１樹脂
１０４Ｂ、２０４Ｂ、３０４Ｂ…第２樹脂
１０６Ａ、２０６Ａ、３０６Ａ…第１離型フィルム
１０６Ｂ、２０６Ｂ、３０６Ｂ…第２離型フィルム
１１０…本体フレーム
１１２Ａ、１１２Ｂ、１５８Ａ、１５８Ｂ、２１２Ａ、２１２Ｂ…サーボモータ
１１４Ａ、１１４Ｂ、１１８Ａ、１１８Ｂ、２１４Ａ、２１４Ｂ、２１８Ａ、２１８Ｂ…プーリ
１１６Ａ、１１６Ｂ、２１６Ａ、２１６Ｂ…タイミングベルト
１２０Ａ、１２０Ｂ…ボールねじ
１２２Ａ、１２２Ｂ…リニアガイド機構
１２４Ａ、２２４Ａ、３２４Ａ、４２４Ａ…第１可動プラテン
１２４Ｂ、２２４Ｂ、３２４Ｂ、４２４Ｂ…第２可動プラテン
１２６、２２６、３２６、４２６Ａ、４２６Ｂ…固定プラテン
１３０Ａ、２３０Ａ、３３０Ａ、４３０Ａ…第１上型
１３０Ｂ、２３０Ｂ、３３０Ｂ、４３０Ｂ…第２上型
１３２Ａ、１３２Ｂ、３３２Ａ、３４６Ｂ…断熱板
１３４Ａ、１３４Ｂ、３３４Ａ、３４８Ａ、３４８Ｂ…ヒータ
１３６Ａ、３３６Ａ、４４４Ａ…第１上枠型
１３６Ｂ、３３６Ｂ、４４４Ｂ…第２上枠型
１３８Ａ、１３８Ｂ、３３８Ａ、３３８Ｂ…上ばね
１４０Ａ、３４０Ａ…第１上圧縮型
１４０Ｂ、３４０Ｂ…第２上圧縮型
１４４Ａ、２４４Ａ、３４４Ａ、４４４Ａ…第１下型
１４４Ｂ、２４４Ｂ、３４４Ｂ、４４４Ｂ…第２下型
１５０Ａ、３５０Ａ…第１下枠型
１５０Ｂ、３５０Ｂ…第２下枠型
１５２Ａ、１５２Ｂ、３５２Ｂ…下ばね
１５４Ａ、３５４Ａ…第１下圧縮型
１５４Ｂ、３５４Ｂ…第２下圧縮型
１５６Ａ…第１下枠駆動機構
１５６Ｂ、３５６Ｂ…第２下枠駆動機構
２１０、３２０、４１０…タイバー
２２２Ａ、２２２Ｂ、４２２…トグルリンク機構
２２５Ａ、３２５Ａ…ガイド部
３５２Ａ…中間ばね
３２８…ストッパ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
相対的に接近・離反可能な上型と下型とを有し、対をなした該上型と下型との間に形成されるキャビティに配置される被成形品を樹脂にて圧縮封止する圧縮成形装置において、
前記上型と下型とが前記接近・離反可能な方向に複数対配置されることで、前記キャビティが該接近・離反可能な方向において直列に複数設けられ、
多くとも該キャビティ毎の前記上型と下型のうちのいずれか一方のみに、該一方を前記接近・離反可能な方向に移動させる駆動源が連結されている
ことを特徴とする圧縮成形装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記キャビティを夫々構成している２以上の前記上型または下型が、１個の前記駆動源によって駆動される
ことを特徴とする圧縮成形装置。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記上型として第１上型と第２上型、前記下型として第１下型と第２下型をそれぞれ有すると共に、該第１上型と第１下型との対、及び、該第１下型の下側に隣接して配置された前記第２上型と第２下型との対によって２つの前記キャビティを形成し、
該第１上型と第２下型のうちの一方が固定され、且つ、該第１上型と第２下型のうちの他方に前記駆動源が連結され、該他方が前記第１下型または前記第２上型を直接的に押圧することにより該第１下型と第２上型とが一体で前記接近・離反可能な方向において移動可能とされている
ことを特徴とする圧縮成形装置。
【請求項４】
請求項１または２において、
前記上型として第１上型と第２上型、前記下型として第１下型と第２下型をそれぞれ有すると共に、該第１上型と第１下型との対、及び、該第１下型の下側に隣接して配置された前記第２上型と第２下型との対によって２つの前記キャビティを形成し、
該第１上型と第２下型とが固定され、且つ、該第１下型と第２上型とが前記接近・離反可能な方向において互いと反対方向に移動可能とされている
ことを特徴とする圧縮成形装置。
【請求項５】
請求項３または４において、
前記接近・離反可能な方向において前記第１上型と第１下型と第２上型と第２下型のうちの２以上を移動可能に支持するタイバーは全て兼用とされている
ことを特徴とする圧縮成形装置。
【請求項６】
請求項１において、
前記上型として第１上型と第２上型、前記下型として第１下型と第２下型をそれぞれ有すると共に、該第１上型と第１下型との対、及び、該第１下型の下側に隣接して配置された前記第２上型と第２下型との対によって２つの前記キャビティを形成し、
該第１上型と第２下型とが前記接近・離反可能な方向において移動可能とされ、且つ、該第１下型と第２上型とが固定されている
ことを特徴とする圧縮成形装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかにおいて、
前記下型が、前記上型に保持される前記被成形品の圧縮封止される領域の外側を該上型と把持すると共に貫通孔を備えた下枠型と、該貫通孔に嵌合して配置される下圧縮型と、を備え、
該下枠型が該下圧縮型に対して相対的に変位しても前記上型との密封が保たれる
ことを特徴とする圧縮成形装置。
【請求項８】
請求項７において、
前記上型が、貫通孔を備えて前記下枠型に対向する上枠型と、該貫通孔に嵌合して配置され前記被成形品を保持する上圧縮型と、を備え、
該上枠型が該上圧縮型に対して相対的に変位しても前記下型との間で減圧可能とされている
ことを特徴とする圧縮成形装置。
【請求項９】
請求項７又は８において、更に、
前記下枠型の下圧縮型に対する変位量を制御する下枠駆動機構を備え、
該変位量を制御しながら前記複数設けられるキャビティで同時に圧縮封止される
ことを特徴とする圧縮成形装置。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれかにおいて、
前記キャビティに配置される樹脂は、所定の形状と重量で予備成形されている
ことを特徴とする圧縮成形装置。
【請求項１１】
請求項１乃至１０のいずれかにおいて、
前記樹脂は、連続した離型フィルムで前記キャビティに配置される
ことを特徴とする圧縮成形装置。
【請求項１２】
請求項１乃至１０のいずれかにおいて、
前記樹脂は、短冊状に分離された離型フィルムで前記キャビティに配置される
ことを特徴とする圧縮成形装置。
【請求項１３】
相対的に接近・離反可能な上型と下型とを有し、対をなした該上型と下型との間に形成されるキャビティに配置される被成形品を樹脂にて圧縮封止する圧縮成形方法において、
前記上型と下型とが前記接近・離反可能な方向に複数対配置されることで、該接近・離反可能な方向において直列に設けられている複数の前記キャビティに対し、多くとも該キャビティ毎の前記上型と下型のうちのいずれか一方のみに駆動源を連結させて１軸方向から圧縮封止する工程を含む
ことを特徴とする圧縮成形方法。
【請求項１】
相対的に接近・離反可能な上型と下型とを有し、対をなした該上型と下型との間に形成されるキャビティに配置される被成形品を樹脂にて圧縮封止する圧縮成形装置において、
前記上型と下型とが前記接近・離反可能な方向に複数対配置されることで、前記キャビティが該接近・離反可能な方向において直列に複数設けられ、
多くとも該キャビティ毎の前記上型と下型のうちのいずれか一方のみに、該一方を前記接近・離反可能な方向に移動させる駆動源が連結されている
ことを特徴とする圧縮成形装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記キャビティを夫々構成している２以上の前記上型または下型が、１個の前記駆動源によって駆動される
ことを特徴とする圧縮成形装置。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記上型として第１上型と第２上型、前記下型として第１下型と第２下型をそれぞれ有すると共に、該第１上型と第１下型との対、及び、該第１下型の下側に隣接して配置された前記第２上型と第２下型との対によって２つの前記キャビティを形成し、
該第１上型と第２下型のうちの一方が固定され、且つ、該第１上型と第２下型のうちの他方に前記駆動源が連結され、該他方が前記第１下型または前記第２上型を直接的に押圧することにより該第１下型と第２上型とが一体で前記接近・離反可能な方向において移動可能とされている
ことを特徴とする圧縮成形装置。
【請求項４】
請求項１または２において、
前記上型として第１上型と第２上型、前記下型として第１下型と第２下型をそれぞれ有すると共に、該第１上型と第１下型との対、及び、該第１下型の下側に隣接して配置された前記第２上型と第２下型との対によって２つの前記キャビティを形成し、
該第１上型と第２下型とが固定され、且つ、該第１下型と第２上型とが前記接近・離反可能な方向において互いと反対方向に移動可能とされている
ことを特徴とする圧縮成形装置。
【請求項５】
請求項３または４において、
前記接近・離反可能な方向において前記第１上型と第１下型と第２上型と第２下型のうちの２以上を移動可能に支持するタイバーは全て兼用とされている
ことを特徴とする圧縮成形装置。
【請求項６】
請求項１において、
前記上型として第１上型と第２上型、前記下型として第１下型と第２下型をそれぞれ有すると共に、該第１上型と第１下型との対、及び、該第１下型の下側に隣接して配置された前記第２上型と第２下型との対によって２つの前記キャビティを形成し、
該第１上型と第２下型とが前記接近・離反可能な方向において移動可能とされ、且つ、該第１下型と第２上型とが固定されている
ことを特徴とする圧縮成形装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかにおいて、
前記下型が、前記上型に保持される前記被成形品の圧縮封止される領域の外側を該上型と把持すると共に貫通孔を備えた下枠型と、該貫通孔に嵌合して配置される下圧縮型と、を備え、
該下枠型が該下圧縮型に対して相対的に変位しても前記上型との密封が保たれる
ことを特徴とする圧縮成形装置。
【請求項８】
請求項７において、
前記上型が、貫通孔を備えて前記下枠型に対向する上枠型と、該貫通孔に嵌合して配置され前記被成形品を保持する上圧縮型と、を備え、
該上枠型が該上圧縮型に対して相対的に変位しても前記下型との間で減圧可能とされている
ことを特徴とする圧縮成形装置。
【請求項９】
請求項７又は８において、更に、
前記下枠型の下圧縮型に対する変位量を制御する下枠駆動機構を備え、
該変位量を制御しながら前記複数設けられるキャビティで同時に圧縮封止される
ことを特徴とする圧縮成形装置。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれかにおいて、
前記キャビティに配置される樹脂は、所定の形状と重量で予備成形されている
ことを特徴とする圧縮成形装置。
【請求項１１】
請求項１乃至１０のいずれかにおいて、
前記樹脂は、連続した離型フィルムで前記キャビティに配置される
ことを特徴とする圧縮成形装置。
【請求項１２】
請求項１乃至１０のいずれかにおいて、
前記樹脂は、短冊状に分離された離型フィルムで前記キャビティに配置される
ことを特徴とする圧縮成形装置。
【請求項１３】
相対的に接近・離反可能な上型と下型とを有し、対をなした該上型と下型との間に形成されるキャビティに配置される被成形品を樹脂にて圧縮封止する圧縮成形方法において、
前記上型と下型とが前記接近・離反可能な方向に複数対配置されることで、該接近・離反可能な方向において直列に設けられている複数の前記キャビティに対し、多くとも該キャビティ毎の前記上型と下型のうちのいずれか一方のみに駆動源を連結させて１軸方向から圧縮封止する工程を含む
ことを特徴とする圧縮成形方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１１−２２４９１１（Ｐ２０１１−２２４９１１Ａ）
【公開日】平成２３年１１月１０日（２０１１．１１．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−９８３１５（Ｐ２０１０−９８３１５）
【出願日】平成２２年４月２１日（２０１０．４．２１）
【出願人】（０００００２１０７）住友重機械工業株式会社 (2,241)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１１月１０日（２０１１．１１．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年４月２１日（２０１０．４．２１）
【出願人】（０００００２１０７）住友重機械工業株式会社 (2,241)
【Ｆターム（参考）】
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