基板処理装置のためのティーチング方法
【課題】ティーチング作業を軽減することができるとともに、より正確なティーチングを実現することができる基板処理装置のためのティーチング方法を提供すること。
【解決手段】透明シート３０がノズル３に取り付けられる。このとき、透明シートの基準線上にノズル３が位置する。スピンベース６の上面には、模様シート５０が貼着される。スピンベース６が鉛直軸線まわりに回転される。スピンベース６の上面１６に、回転中心ＢＣを中心とする同心円パターン５２が表れる。回転中のスピンベース６の上面１６の上方を、ノズル３および透明シート３０が軌道に沿って移動する。透明シート３０の縞パターンが同心円パターン５２に重なると、線対称のモアレパターンが表れる。カメラによって撮像された画像に含まれるモアレパターンの対称軸が基準線に一致した時、ステッピングモータの回転量が取得される。
【解決手段】透明シート３０がノズル３に取り付けられる。このとき、透明シートの基準線上にノズル３が位置する。スピンベース６の上面には、模様シート５０が貼着される。スピンベース６が鉛直軸線まわりに回転される。スピンベース６の上面１６に、回転中心ＢＣを中心とする同心円パターン５２が表れる。回転中のスピンベース６の上面１６の上方を、ノズル３および透明シート３０が軌道に沿って移動する。透明シート３０の縞パターンが同心円パターン５２に重なると、線対称のモアレパターンが表れる。カメラによって撮像された画像に含まれるモアレパターンの対称軸が基準線に一致した時、ステッピングモータの回転量が取得される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板処理装置を制御するための制御情報を教示情報として基板処理装置に登録するためのティーチング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置や液晶表示装置の製造工程では、半導体ウエハや液晶表示パネル用ガラス基板などの基板の表面に処理流体による処理を施すために、基板を１枚ずつ処理する枚葉式の基板処理装置が用いられることがある。
枚葉式の基板処理装置は、たとえば、基板をほぼ水平姿勢に保持しつつ回転させるためのスピンチャックと、スピンチャックに保持されている基板の主面に向けて処理液を吐出するためのノズルと、基板の回転中心を通る所定の軌道に沿ってノズルを移動させるノズル移動機構とを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−８８３８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
処理液を用いた処理では、たとえば、ノズル移動機構によってノズルが基板の上方まで移動された後、停止状態にあるノズルから基板の表面の所定位置（たとえば回転中心）に向けて処理液を吐出させる。この場合、ノズルが所定位置からずれていると、基板の表面に処理液が均一に行き渡らず、その基板に処理むら（処理液の供給むら）を生じるおそれがある。
【０００５】
また、処理液を用いた処理では、軌道に沿ってノズルを予め定める範囲内で移動（スキャン）させながら、ノズルから基板に向けて処理液を吐出させる場合がある。このとき、ノズルが予め定めるスキャン範囲から逸脱して移動すると、基板の表面に処理液が均一に行き渡らず、その基板に対する処理むら（処理液の供給むら）を生じるおそれがある。
そのため、ノズルが収容される処理室内にノズルを組み付けた後は、ノズルの動作を制御する制御装置に対して、ノズル（またはノズルを保持する部材）の原点位置から軌道上の所定の基準位置までの移動量を教示するためのティーチングが行われる。所定の基準位置は、たとえば、基板の回転中心に対向するノズルの位置（以下、「中心対向位置」という）を含む。
【０００６】
このようなティーチングは、通常、作業者の手作業によって行われる。具体的には、ティーチングの際には、作業者は、上面に中心対向位置が記された治具基板を基板保持機構に保持させる。そして、作業者は、リモコン操作により、基板の上方に設定された軌道に沿って少しずつノズルを動かす。作業者は、ノズルと中心対向位置とを目視で合わせ込む。その後、作業者は、ノズルが中心対向位置に合致するときのノズルの移動量（原点位置からの移動量）を制御装置に登録する。
【０００７】
ところが、手作業によるティーチングは、非常に面倒で手間のかかる作業である。また、中心対向位置は基板から離れた位置にあるので、治具基板を用いた場合であっても作業者による調整ばらつきが避けられない。そのため、作業者の経験や技術力によってノズルの位置精度に差が生じるおそれがある。
そこで、この発明の目的は、ティーチング作業を軽減することができるとともに、より正確なティーチングを実現することができる、基板処理装置のためのティーチング方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記の課題を解決するため、請求項１記載の発明は、基板処理装置（１；７０）の制御のための教示情報を登録するためのティーチング方法を提供する。前記基板処理装置は、主面に直交する所定の回転軸線まわりに回転されるベース（６）を有する基板保持手段（２）と、前記ベースの主面（１６）に沿う所定の軌道（１４）に沿ってノズル（３）を移動させるノズル移動手段（１２）と、前記ノズル移動手段を制御する動作制御手段（２１）とを含む。前記ティーチング方法は、一定のコントラストを有する明部と暗部とを含み、前記回転軸線まわりに回転したときに同心円パターンが表れる連続模様パターン（５１；８１１；８２１；８３１；８４１；８５１；８６１；８７１；８８１；８９１；９０１）を、前記ベースの主面に形成する連続模様パターン形成工程と、前記ベースを、前記回転軸線まわりに回転させるベース回転工程（Ｓ１；Ｓ１１）と、前記同心円パターンに重ね合わせられることによりモアレパターンが発生する縞パターン（３４；３１１；３２１；３３１）と、基準位置情報（３１，３２）とを担持した透明シート（３０；３１０；３２０；３３０）を、前記基準位置情報と前記ノズルとが予め定める位置関係となるように前記ノズルに固定するシート取付工程と、前記ベース回転工程と並行して実行され、前記ノズル移動手段を駆動して、前記透明シートが取り付けられた前記ノズルを前記軌道に沿って移動させるノズル移動工程（Ｓ２；Ｓ１２）と、撮像手段（４０；７１）によって、前記透明シートおよび前記ベースの主面を、当該主面に交差する方向から撮像する撮像工程（Ｓ３；Ｓ１４，Ｓ１７）と、前記撮像工程で撮像される画像に含まれる前記モアレパターンおよび前記基準位置情報に基づいて、前記ベースの主面の回転中心に前記ノズルが対向しているときの前記ノズル移動手段の駆動情報を取得する駆動情報取得工程（Ｓ８；Ｓ１９）と、前記取得された駆動情報に基づいて、前記ノズル移動手段を制御するための教示情報を前記動作制御手段に登録する登録工程（Ｓ９；Ｓ２０）とを含む、基板処理装置のためのティーチング方法である。
【０００９】
なお、括弧内の英数字は、後述の実施形態における対応構成要素等を表すが、特許請求の範囲を実施形態に限定する趣旨ではない。以下、この項において同じ。
この発明の方法によれば、ベースが回転軸線まわりに回転されると、ベースの主面に、ベースの回転中心を中心とする同心円パターンが表れる。回転中のベースの主面の上方を、ノズルおよび透明シートを所定の軌道に沿って移動させると、透明シートの縞パターンが同心円パターンに重なり、ベースの主面に交差する方向から透明シートを見たときに、同心円パターンの中心を対称中心とするモアレパターンが発生する。そして、撮像手段によって、透明シートおよびベースの主面を当該主面に交差する方向から見たときの画像が撮像される。この画像に含まれるモアレパターンおよび基準位置情報に基づいて、ベースの主面の回転中心にノズルが対向するときのノズル移動手段の駆動情報が取得される。そして、この駆動情報に基づいて教示情報が求められ、その教示情報が動作制御手段に登録される。したがって、教示情報の取得を自動的に行うことができ、これにより、ティーチングのための作業者による作業を大幅に軽減することができる。
【００１０】
また、ベースの主面に交差する方向から透明シートを見たときに、同心円パターンの中心を対称中心とするモアレパターンが発生しているので、ベースの回転中心の特定が容易である。そのため、ベースの主面の回転中心にノズルが対向しているときのノズル移動手段の駆動情報を正確に取得することができる。したがって、正確なティーチングを実現することができる。
【００１１】
請求項２に記載のように、前記連続模様パターンは、水玉模様パターン（５１；８７１；８８１；８９１；９０１）を含むものであってもよい。また、前記連続模様パターンは、市松模様パターン（８１１；８２１；８３１；８４１）または格子模様パターン（８６１）を含むものであってもよい。
一方、縞パターンは、多数の平行線からなる平行パターン（３２１；３３１）を含むものあってもよい。この場合、平行線の間隔は、等間隔であってもよい。また、平行線間の間隔は、同心円パターンの同心円の間隔と同程度であってもよい。
【００１２】
また、縞パターンは、ノズルの移動時にノズルが沿う軌道に直交していてもよい。また、縞パターンが、ノズルの移動時にノズルが沿う軌道に直交する方向に対して、所定角度傾斜していてもよい。
請求項３記載の発明は、前記基準位置情報は、前記所定の軌道に直交する基準線（３２）を含み、前記シート取付工程は、前記基準線上に前記ノズルが位置するように、前記透明シートを前記ノズルに取り付ける工程を含み、前記駆動情報取得工程は、前記撮像工程で撮像される前記モアレパターンの対称軸（６１）が前記基準線に一致するときの前記ノズル移動手段の駆動情報を取得する工程（Ｓ８；Ｓ１９）を含む、請求項１または２記載の基板処理装置のためのティーチング方法である。
【００１３】
この発明の方法によれば、基準線上にノズルが位置している。ベースの主面に交差する方向から見たときのモアレパターンは、同心円パターンの中心を通る対称軸に対して線対称となるパターンである。そのため、モアレパターンの対称軸が基準線に一致するとき、ベースの主面の回転中心にノズルが対向している。したがって、モアレパターンの対称軸が基準線に一致するときのノズル移動手段の駆動情報を取得することにより、ベースの主面の回転中心にノズルが対向するときの駆動情報を正確に取得することができる。
【００１４】
請求項４記載の発明は、前記基準位置情報は、前記所定の軌道に直交する一対の辺（３１ｂ）を有する矩形の基準枠（３１）を含み、前記シート取付工程は、前記基準枠の重心位置（３３）に前記ノズルが位置するように、前記透明シートを前記ノズルに取り付ける工程を含み、前記駆動情報取得工程は、前記撮像工程で撮像される前記モアレパターンの対称中心が前記基準枠の重心位置に一致するときの前記ノズル移動手段の駆動情報を取得する工程を含む、請求項１または２記載の基板処理装置のためのティーチング方法である。
【００１５】
この発明の方法によれば、基準枠の重心位置にノズルが位置している。ベースの主面に交差する方向から見たときのモアレパターンは、同心円パターンの中心を対称中心とする点対称のパターンである。そのため、モアレパターンの対称中心が基準枠の重心位置に一致するとき、ベースの主面の回転中心にノズルが対向している。したがって、モアレパターンの対称中心が基準枠の重心位置に一致するときのノズル移動手段の駆動情報を取得することにより、ベースの主面の回転中心にノズルが対向するときの駆動情報を正確に取得することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１実施形態に係るティーチング方法が適用される基板処理装置の構成を図解的に示す図である。
【図２】図１に示す基板処理装置におけるティーチングのための構成を説明するための図である。
【図３】図２に示すスピンベースの平面図である。
【図４】図３に示すスピンベースの回転時における平面図である。
【図５】ノズルへの透明シートの取付け状態を示す図である。
【図６】図１に示す基板処理装置のティーチング時における制御部による制御を説明するためのフローチャートである。
【図７】ティーチング時におけるノズルおよび透明シートの動きを説明するための平面図である。
【図８】ティーチング時における透明シートに発生するモアレパターンの変化を示す平面図である。
【図９】本発明の第２実施形態に係るティーチング方法が適用される基板処理装置の構成を図解的に示す図である。
【図１０】図９に示す基板処理装置のティーチング時における制御部による制御を説明するためのフローチャートである。
【図１１】透明シートの他の構成例を示す図である。
【図１２】透明シートの他の構成例を示す図である。
【図１３】透明シートの他の構成例を示す図である。
【図１４】模様シートの他の構成例を示す図である。
【図１５】模様シートの他の構成例を示す図である。
【図１６】模様シートの他の構成例を示す図である。
【図１７】模様シートの他の構成例を示す図である。
【図１８】模様シートの他の構成例を示す図である。
【図１９】模様シートの他の構成例を示す図である。
【図２０】模様シートの他の構成例を示す図である。
【図２１】模様シートの他の構成例を示す図である。
【図２２】模様シートの他の構成例を示す図である。
【図２３】模様シートの他の構成例を示す図である。
【図２４】ノズルへの透明シートの取付け状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。図１は、本発明の一実施形態（第１実施形態）に係るティーチング方法が適用される基板処理装置１の構成を図解的に示す図である。この基板処理装置１は、基板の一例である半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という。）Ｗの表面（一方の主面）に対して処理液（処理流体）による処理を施すための枝葉型の装置である。
【００１８】
この基板処理装置１は、隔壁（図示せず）によって区画された処理室１７を備えている。処理室１７内には、ウエハＷをほぼ水平に保持して回転するスピンチャック（基板保持手段）２と、このスピンチャック２に保持されたウエハＷの表面（上面）に処理液を吐出するためのノズル３とが収容されている。
スピンチャック２は、チャック回転駆動機構４によって回転される回転軸５の上端に固定されたほぼ円板状のスピンベース（ベース）６を備えている。スピンペース６の上面１６（ベースの主面。図２参照）は、水平な平坦面をなしている。スピンペース６の上面１６の周縁部の複数箇所には、それぞれウエハＷをほぼ水平な姿勢で挟持するための挟持部材７が配設されている。ウエハＷは複数個の挟持部材７により挟持された状態で、その中心がスピンベース６の回転中心ＢＣ（図１では、ウエハＷの回転中心Ｃの直下位置。図３参照）の直上に位置する。スピンチャック２は、複数個の挟持部材７によってウエハＷを挟持した状態で、チャック回転駆動機構４によって回転軸５を回転させることにより、そのウエハＷを、ほぼ水平な姿勢を保った状態で、スピンベース６とともに回転軸５の中心軸線まわりに回転させることができる。
【００１９】
ノズル３には、処理液供給源からの処理液が供給される処理液供給管８が接続されている。処理液供給管８の途中部には、ノズル３からの処理液の吐出／吐出停止を切り換えるためのバルブ９が介装されている。なお、処理液としては、ウエハＷの表面に対する処理の内容に応じたものが用いられる。たとえば、ウエハＷの表面からパーティクルを除去するための洗浄処理を行うときは、ＳＣ１（ammonia-hydrogen peroxide mixture：アンモニア過酸化水素水）などの薬液を含む洗浄液が用いられる。また、ウエハＷの表面から酸化膜等をエッチングするための洗浄処理を行うときは、フッ酸やBHF（Bufferd HF）などの薬液を含む洗浄液が用いられ、ウエハＷの表面に形成されたレジスト膜を剥離するレジスト剥離処理や、レジスト剥離後のウエハＷの表面にポリマーとなって残留しているレジスト残渣を除去するためのポリマー除去処理を行うときは、ＳＰＭ（sulfuric acid/hydrogen peroxide mixture：硫酸過酸化水素水）やＳＣ１（ammonia-hydrogen peroxide mixture：アンモニア過酸化水素水）などのレジスト剥離液やポリマー除去液が用いられ、金属汚染物を除去する洗浄処理には、フッ酸やＳＣ２（hydrochloric acid/hydrogen peroxide mixture：塩酸過酸化水素水）やＳＰＭ（sulfuric acid/hydrogen peroxide mixture：硫酸過酸化水素水）などの薬液が用いられる。
【００２０】
ノズル３は、ウエハＷの表面における処理液の供給位置を変更できるスキャンノズルとしての基本形態を有している。
ノズル３は、スピンチャック２の上方でほぼ水平に延びたアーム１０の先端部に支持されている。具体的には、アーム１０は水平な平坦面からなる下面を有しており、そのアーム１０の下面の先端部にノズル３が配設されている。ノズル３の下端部には、処理液を下向きに吐出する吐出口（図示せず）が形成されている。アーム１０の下面の基端部は、アーム支持軸１１の上端に固定されている。アーム支持軸１１は、スピンチャック２の側方でほぼ鉛直に延びている。このアーム支持軸１１には、アーム１０を揺動させるアーム揺動駆動機構としてのステッピングモータ（ノズル移動手段）１２が結合されている。ステッピングモータ１２には、このステッピングモータ１２を駆動するためのドライバ回路１３が接続されている。
【００２１】
ステッピングモータ１２からアーム支持軸１１に回転駆動力を入力して、アーム支持軸１１を所定の角度範囲内で回動させることにより、スピンチャック２に保持されたウエハＷの上方で、ウエハＷの主面に沿ってアーム１０を揺動させることができ、このアーム１０の揺動により、ノズル３をスピンチャック２の側方（すなわち、ウエハＷ外に相当）のホームポジション（図示せず）と、スピンチャック２に保持されたウエハＷの表面上（図１参照）との間を揺動させることができる。このとき、ノズル３は、アーム支持軸１１上に中心を有する円弧形状をなし、水平方向（ウエハＷの主面に平行な方向）に沿う軌道１４（図２参照）に沿って移動する。したがって、ウエハＷの表面上では、ノズル３からの処理液の着液位置を、軌道１４に対応した円弧軌道（図１参照）に沿ってスキャン（移動）させることができる。この実施形態では、軌道１４とは、ノズル３の吐出口の軌道のことをいう。
【００２２】
この基板処理装置１は、ＣＰＵ、ＲＡＭおよびＲＯＭを含む構成の制御部２０を備えている。制御部２０には、チャック回転駆動機構４およびバルブ９などが制御対象として接続されている。
また、制御部２０は、ステッピングモータ１２を制御するためのモータ制御部（動作制御手段）２１を備えている。モータ制御部２１は、ドライバ回路１３に対して、ノズル３の移動量（移動角度）に応じたパルス信号を出力する。ドライバ回路１３は、モータ制御部２１から出力されたパルス数に応じた励磁信号をステッピングモータ１２に付与する。このモータ制御部２１には、次に述べる教示情報が予め登録される。モータ制御部２１は、ステッピングモータ１２の回転量（駆動情報）を管理している。
【００２３】
教示情報とは、中心対向位置にノズル３を配置させるためにアーム１０を揺動させるのに必要なステッピングモータ１２の回転量（ステップ数）である。中心対向位置とは、軌道１４に沿って移動するノズル３が、スピンチャック２に保持されたウエハＷの回転中心Ｃに対向する位置である。前記回転量は、アーム１０の機械上の原点位置（絶対的な原点位置）を基準とした値である。モータ制御部２１は、アーム１０が機械上の原点位置にある状態から、この回転量（ステップ数）に応じた数のパルスをドライバ回路１３に出力することにより、ノズル３を中心対向位置に配置させることができる。
【００２４】
モータ制御部２１は、教示情報（ステッピングモータ１２の回転量）を参照することにより、ノズル３を軌道１４上の所望の位置に配置するためにアーム１０を揺動させるのに必要なステッピングモータ１２の回転量を、演算に基づいて得ることができる。
次いで、処理液を用いた処理について説明する。ノズル３を、中心対向位置と、ウエハＷ表面の周縁位置に対向する周縁対向位置との間で一方向スキャンさせる場合を例に挙げて説明する。
【００２５】
まず、ノズル３が、スピンチャック２の上方から退避したホームポジションに配置された状態で、搬送ロボット（図示しない）によって、未処理のウエハＷがスピンチャック２に渡される。そして、ウエハＷがスピンチャック２へ渡された後、チャック回転駆動機構４が駆動されて、スピンチャック２が所定の液処理回転速度で等速回転する。また、モータ制御部２１は、ステッピングモータ１２を駆動してアーム１０を揺動させ、回転状態にあるウエハＷの回転中心Ｃの上方へとノズル３を導く。その後、制御部２０は、バルブ９を開いて、ノズル３から処理液を吐出する。ノズル３からは、鉛直下方に向けて吐出口（図示せず）が吐出される。したがって、ノズル３がウエハＷの回転中心に対向するときは、ノズル３から吐出された処理液は、ウエハＷの回転中心に着液する。
【００２６】
一方で、モータ制御部２１は、ステッピングモータ１２を制御し、アーム１０を等速で揺動させて、ノズル３をウエハＷの周縁部に向けて移動させる。このため、ノズル３から吐出された処理液のウエハＷ表面上における着液位置が、等速回転中のウエハＷの回転中心ＣからウエハＷの周縁位置に至る範囲を、円弧軌道（図１参照）に沿って等速で移動する。また、処理液の着液位置がウエハＷの周縁位置まで到達すると、制御部２０は、バルブ９を閉じるとともに、ステッピングモータ１２を駆動してアーム１０を揺動させ、ノズル３をウエハＷの回転中心Ｃの直上へと導く。このような一方向スキャン動作が、繰り返し行われる。
【００２７】
図２は、基板処理装置１におけるノズル３のティーチングのための構成を説明するための図である。図２では、ノズル３の吐出口の軌道である軌道１４を、スピンベース６の上面１６に投影したものを図示している。ティーチングに際しては、スピンベース６はウエハＷを保持していない状態とされる。また、ティーチングに際しては、ノズル３には、透明シート３０が取り付けられる。さらに、アーム１０には、その先端部の上方に、取付部材（図示せず）を介してカメラ４０が一体移動可能に取り付けられている。
【００２８】
スピンベース６の上面１６には、所定のパターンを担持した模様シート５０が貼着される。
図３は、スピンベース６の平面図である。図４は、スピンベース６の回転時における平面図である。
模様シート５０はたとえば正方形（矩形）のシートであり、回転中心ＢＣを含む領域を覆うようにスピンベース６の上面１６に貼着される。模様シート５０を充分に大きく作製しておけば、模様シート５０の全体がスピンベース６の上面１６に収まるように配置すると、模様シート５０の４つの角部が、それぞれ、スピンベース６の上面１６における周縁付近に位置する。したがって、模様シート５０は、回転中心ＢＣを含む領域を覆う。模様シート５０は、水玉模様パターン（以下、この図３に示す水玉模様パターンを「第１水玉模様パターン」という。）を含んでいる。
【００２９】
第１水玉模様パターン５１は、白い背景（明部）に黒い多数個の水玉（暗部）を有する模様である。水玉は、円形をなしている。ある水玉の周囲を取り囲むように当該水玉を中心とする円周上を、６つの水玉が等角度間隔で配置されている。各水玉の直径はたとえば１．０（ｍｍ）である。この第１水玉模様パターン５１全体の白黒の面積比（白い部分（明部）と黒い部分（暗部）との面積比）は、５：５である。このような第１水玉模様パターン５１の連続模様が、模様シート５０の表面内で全方向に連続しており、模様シート５０の全体に渡っている。
【００３０】
チャック回転駆動機構４が回転駆動されて、スピンベース６が鉛直軸線まわりに回転されると、スピンベース６の上面１６に、スピンベース６の回転中心ＢＣを中心とする同心円パターン５２が表れる（図４参照）。
図５は、ノズル３への透明シート３０の取付け状態を示す図である。図５（ａ）は、ノズル３および透明シート３０の平面図であり、図５（ｂ）は、ノズル３および透明シート３０の底面図である。
【００３１】
透明シート３０は、矩形の板状をなしている。具体的には、透明シート３０はアーム１０の下面の先端部に取り付けられている。そして、透明シート３０の長手方向がアーム１０の延びる方向に直交するように、透明シート３０がアーム１０に取り付けられる。つまり、透明シート３０の長手方向は、円弧形状の軌道１４のノズル３の位置における接線方向に平行である。アーム１０の下面は水平な平坦面であるので、透明シート３０の取付け状態では、透明シート３０は水平姿勢に保たれる。透明シート３０の材料および大きさは、透明シート３０がノズル３への取付け状態において撓まないように、それぞれ選択および設定されている。
【００３２】
透明シート３０の表面には、基準枠（基準位置情報）３１および基準線（基準位置情報）３２が担持されている。基準枠３１は、透明シート３０の端縁の全域に沿う黒い太枠である。そのため、基準枠３１は矩形をなしている。基準線３２は、透明シート３０の幅方向に沿って延びる直線であり、基準枠３１の各線分と同じ幅の黒い太線からなる。基準線３２は、基準枠３１の一対の長辺３１ａの中点同士を結ぶ直線である。そのため、基準枠３１の重心位置３３が、基準線３２上に位置している。透明シート３０は、基準枠３１の重心位置３３にノズル３が位置するように、ノズル３に取り付けられる。
【００３３】
透明シート３０のノズル３への取付け状態では、基準線３２および基準枠３１の各短辺３１ｂが、アーム１０の延びる方向に沿って、すなわち軌道１４のノズル３の位置における接線に直交する方向に沿って延びている。また、この状態において、基準枠３１の各長辺３１ａはアーム１０の延びる方向に直交する方向に沿って、すなわち軌道１４のノズル３の位置における接線に沿って延びている。
【００３４】
透明シート３０の基準枠３１内の全域には、縞パターン３４が形成されている。縞パターン３４は、多数本の細い平行線からなる平行パターンであり、基準線３２（すなわち、基準枠３１の短辺３１ｂ）に沿って延びている。縞パターン３４の平行線間は等間隔である。各直線間の間隔は、スピンベース６を回転させたときにスピンベース６の上面１６に表れる同心円パターン５２（図４参照）と同程度の間隔に設定されている。透明シート３０のノズル３への取付け状態では、縞パターン３４がアーム１０の延びる方向、すなわち軌道１４のノズル３の位置における接線に直交する方向に沿って延びている。
【００３５】
ティーチングにおいては、回転状態にあるスピンベース６の上方を、ノズル３がスキャン（移動）される。このとき、ノズル３のスキャンに伴って、透明シート３０もスピンベース６の上方を移動する。スピンベース６の回転状態では、スピンベース６の上面１６に同心円パターン５２が表れる。そのため、透明シート３０の縞パターン３４が同心円パターン５２に重なることになる。縞パターン３４が同心円パターン５２に重なることにより、透明シート３０を上方から見たときに、モアレパターン６０（図８参照）が観測される。この実施形態に係るティーチングでは、このモアレパターン６０を用いて、ノズル３と、スピンベース６の上面１６の回転中心ＢＣとの位置関係が求められる。
【００３６】
再び、図２を参照して、カメラ４０は、アーム１０の先端部の上方に、取付部材（図示せず）を介して取り付けられている。カメラ４０は、透明シート３０を、その上方から撮像するものである。カメラ４０は、透明シート３０全体の画像を撮像することのできる位置に、その撮像視野を下方に向けた状態で設置されている。カメラ４０がアーム１０に取り付けられているので、アーム１０の揺動、すなわちノズル３のスキャンに伴ってカメラ４０も移動する。そのため、軌道１４上におけるノズル３の位置に関係なく、カメラ４０は透明シート３０全体の画像を撮像することができる。
【００３７】
カメラ４０は、たとえばＣＣＤイメージセンサを内蔵しており、ＣＣＤイメージセンサの撮像面に入射する光像を電気信号に変換して出力する。カメラ４０（ＣＣＤイメージセンサ）からの電気信号を取り出す配線は、制御部２０に接続されている。
制御部２０は、カメラ４０からの電気信号に基づいて、カメラ４０によって撮影された画像を取得する画像取得部２２と、カメラ４０によって撮影された画像を画像処理し、その画像からモアレパターン６０、基準線３２および基準枠３１を抽出する画像処理部２３と、画像処理部２３によって抽出されたモアレパターン６０の対称軸６１が画像処理部２３によって抽出された基準線３２に一致する時にモータ制御部２１からステッピングモータ１２の回転量（駆動情報）を取得する回転量取得部２４と、回転量取得部２４によって取得された回転量に基づいて教示情報を演算するための教示情報演算部２５と、この教示情報をモータ制御部２１に登録するための教示情報登録部２６とを含む。これらの機能処理部は、たとえば、制御部２０が所定のプログラム処理を実行することによってソフトウエア的に実現される。
【００３８】
図６は、ティーチング時における制御部２０による制御を説明するためのフローチャートである。図７は、ティーチング時におけるノズル３および透明シート３０の動きを説明するための平面図である。
教示情報を取得するティーチングの際には、制御部２０がチャック回転駆動機構４を制御して、スピンベース６を鉛直軸線まわりに回転させる（ステップＳ１）。これにより、スピンベース６の上面１６に、スピンベース６の回転中心ＢＣを中心とする同心円パターン５２が形成される。
【００３９】
また、モータ制御部２１は、ステッピングモータ１２を駆動する。これにより、アーム１０が揺動を開始する（ステップＳ２）。アーム１０の揺動開始後は、カメラ４０が、透明シート３０の上方から透明シート３０を含む視野範囲の画像を所定の時間間隔で繰り返し撮像する（ステップＳ３）。
アーム１０の揺動開始後は、ノズル３が軌道１４上を移動し、スピンベース６の上方領域に進入する。また、ノズル３の移動に伴って、透明シート３０もスピンベース６の上方領域に進入する。これにより、透明シート３０の縞パターン３４が同心円パターン５２に表れる。そのため、透明シート３０の縞パターン３４が同心円パターン５２に重なることになる。この状態では、透明シート３０を上方から見たときに、透明シート３０にモアレパターン６０が観測される。このモアレパターン６０は、所定の対称軸６１に対して線対称となるパターンである。この対称軸６１は、スピンベース６の回転中心ＢＣを通り、かつ縞パターン３４の延びる方向と同じ方向に延びる直線、すなわち、基準線３２と同方向に延びる直線である。別の言い方をすれば、モアレパターン６０は、同心円パターン５２の中心（スピンベース６の回転中心ＢＣ）を対称中心とする点対称のパターンである。
【００４０】
アーム１０の揺動が進むに従って、透明シート３０のスピンベース６に対する位置および姿勢が変化する。たとえば、透明シート３０は、図７に示す実線の状態、二点鎖線の状態および破線の状態の順に、位置および姿勢が変化する。
図８は、ティーチング時における透明シート３０に発生するモアレパターン６０の変化を示す平面図である。図８（ａ）は、図７の実線の状態に対応し、図８（ｂ）は、図７の二点鎖線の状態に対応している。また、図８（ｃ）は、図７の破線の状態に対応している。
【００４１】
前述のように、モアレパターン６０の対称軸６１は、スピンベース６の回転中心ＢＣを通り、かつ基準線３２と同方向に延びる直線である。そして、ノズル３が基準線３２上に位置しているので、ノズル３がスピンベース６の上面１６の回転中心ＢＣに対向しているとき（ノズル３が中心対向位置に位置しているとき）は、透明シート３０を上方から見たときに、モアレパターン６０の対称軸６１が基準線３２に一致している（図８（ｂ）参照）。また、ノズル３が未だ中心対向位置に到達していないときは、透明シート３０を上方から見たときに、モアレパターン６０の対称軸６１が基準線３２に対してノズル３のスキャン方向（透明シート３０の移動方向）下流側に位置している（図８（ａ）参照）。一方、ノズル３が中心対向位置を既に通過しているときは、透明シート３０を上方から見たときに、モアレパターン６０の対称軸６１が基準線３２に対してスキャン方向の上流側に位置している（図８（ｃ）参照）。
【００４２】
別の観点から見れば、モアレパターン６０の対称中心がスピンベース６の回転中心ＢＣ上にある。ノズル３が基準枠３１の重心位置３３に位置しているので、ノズル３がスピンベース６の上面１６の回転中心ＢＣに対向しているときは、透明シート３０を上方から見たときに、モアレパターン６０の対称中心が基準枠３１の重心位置３３に一致している（図８（ｂ）参照）。
【００４３】
再び、図６を参照して、カメラ４０によって撮像された画像を表す電気信号は、画像取得部２２に入力された後、画像処理部２３によって処理される。画像処理部２３は、画像を二値化し、画像全体から、モアレパターン６０、基準線３２および基準枠３１を抽出する。
画像処理部２３による画像処理結果は、回転量取得部２４に入力される。回転量取得部２４は、画像から抽出されたモアレパターン６０の対称軸６１が、画像から抽出された基準線３２に一致するか否かを、繰り返し調べる（ステップＳ４）。
【００４４】
モアレパターン６０の対称軸６１が基準線３２に一致した時は（ステップＳ４でＹＥＳ）、そのタイミングで、回転量取得部２４はモータ制御部２１からステッピングモータ１２の回転量を取得するとともに（ステップＳ５）、モータ制御部２１が、ステッピングモータ１２を制御して、アーム１０の揺動を停止させ、ノズル３の移動を停止させる（ステップＳ６）。また、制御部２０は、チャック回転駆動機構４を制御して、スピンベース６の回転を停止させる（ステップＳ７）。
【００４５】
そして、教示情報演算部２５は、ステップＳ５で取得された回転量に基づいて、教示情報を演算する（ステップＳ８）。具体的には、ノズル３を、ウエハＷの回転中心Ｃに対向する位置に配置するためにアーム１０を揺動させるのに必要なステッピングモータ１２の回転量が、教示情報として得られる。
この教示情報演算部２５によって得られた教示情報は、教示情報登録部２６に与えられる。その教示情報は、教示情報登録部２６によってモータ制御部２１に自動的に登録される（ステップＳ９）。これにより、モータ制御部２１に対するティーチングが完了する。その後、ステッピングモータ１２がそれまでと逆向きに回転駆動されて、ノズル３がホームポジション（図示せず）まで戻される。
【００４６】
ウエハＷを実際に処理する基板処理時においては、モータ制御部２１は、モータ制御部２１に登録されている教示情報を参照し、この教示情報に対応する数のパルスをステッピングモータ１２（ドライバ回路１３）に対して出力する。これにより、ノズル３のスキャン範囲を正確に制御できるから、処理液を用いたウエハＷの処理をむらなく行うことができる。
【００４７】
以上により、この実施形態によれば、スピンベース６の上面に模様シート５０を貼着し、ノズル３に透明シート３０を取り付け、その状態でスピンベース６が回転させられ、ノズル３が軌道１４に沿って移動させられる。このとき、ノズル３の上方から透明シート３０を含む範囲の画像が撮像され、その画像に対する処理によって、ノズル３がスピンベース６の回転中心Ｃに一致するときのノズル３の位置が特定される。こうして、ノズル３が回転中心Ｃに対向するときのステッピングモータ１２の駆動量が教示情報として自動的に登録される。したがって、ティーチングのための作業者による作業を大幅に軽減することができ、かつ、作業者による調整ばらつきの問題を回避できる。
【００４８】
また、図３に示す模様シート５０を、スピンベース６の回転中心ＢＣを含む領域を覆うようにスピンベース６の上面１６に貼着し、スピンベース６を回転させることにより、スピンベース６の上面１６に、回転中心ＢＣを中心とする同心円パターン５２が表れる（図４参照）。模様シート５０が上面１６に無造作に配置されても、回転中心ＢＣを含む領域を覆ってさえいれば、同心円パターン５２は表れる。そのため、模様シート５０のスピンベース６の上面１６への正確な位置合わせが不要である。これにより、作業者による調整ばらつきの問題をより一層回避できる。
【００４９】
図９は、本発明の第２実施形態に係るティーチング方法が適用される基板処理装置７０の構成を図解的に示す図である。
この第２実施形態において、図１〜図８に示す実施形態（第１実施形態）に示された各部に対応する部分には、第１実施形態と同一の参照符号を付して示し、説明を省略する。そして、この図９に示す基板処理装置７０が、第１実施形態に係る基板処理装置１と相違する点は、撮像手段として、処理室１７の天面をなす隔壁１７Ａの下面に取り付けられたカメラ７１を用いた点である。図９では、カメラ７１が隔壁１７Ａに直接取り付けられた状態を示すが、取付部材などを介して取り付けていてもよい。
【００５０】
カメラ７１は、アーム１０の先端部の上方に、取付部材（図示せず）を介して取り付けられている。カメラ７１は、スピンベース６の上面１６全体の画像を撮像することのできる位置に、その撮像視野を下方に向けた姿勢で取付部材に支持されており、透明シート３０およびスピンベース６の上面１６を、その上方から撮像する。
また、基板処理装置７０が、基板処理装置１と相違する他の点は、カメラ７１による撮像のタイミングで、回転量取得部７２がモータ制御部２１からステッピングモータ１２の回転量を取得する点である。そして、教示情報演算部２５には、撮像時における回転量、ならびにそのとき撮像された画像から抽出されたモアレパターン６０、基準線３２および基準枠３１が与えられる。
【００５１】
図１０は、基板処理装置７０のティーチング時における制御部２０による制御を説明するためのフローチャートである。この実施形態では、カメラ７１によって透明シート３０およびスピンベース６の上面１６が、次に述べる第１タイミングおよび第２タイミングの合計２回撮像される。第１タイミングは、アーム１０の駆動開始から第１時間が経過しているが、ノズル３が未だ中心対向位置に到達していないタイミングである。第２タイミングは、アーム１０の駆動開始から第２時間が経過し、ノズル３が中心対向位置を既に通過したタイミングである。
【００５２】
教示情報を取得するティーチングの際には、制御部２０がチャック回転駆動機構４を制御して、スピンベース６を鉛直軸線まわりに回転させる（ステップＳ１１）。これにより、スピンベース６の上面１６に、スピンベース６の回転中心ＢＣを中心とする同心円パターン５２（図４参照）が表れる（形成される）。また、モータ制御部２１は、ステッピングモータ１２を駆動する。これにより、アーム１０が揺動を開始する（ステップＳ１２）。
【００５３】
アーム１０の揺動開始後は、ノズル３が軌道１４上を移動し、スピンベース６の上方領域に進入する。また、ノズル３の移動に伴って、透明シート３０もスピンベース６の上方領域に進入する。これにより、透明シート３０の縞パターン３４が同心円パターン５２に表れる。そのため、透明シート３０の縞パターン３４が同心円パターン５２に重なることになる。この状態では、透明シート３０を上方から見たときに、透明シート３０にモアレパターン６０が観測される。
【００５４】
そして、ステッピングモータ１２の駆動開始から予め第１時間が経過して第１タイミングになると（ステップＳ１３でＹＥＳ）、カメラ７１が、透明シート３０の上方から透明シート３０およびスピンベース６の上面１６を含む視野範囲の画像を撮像する（ステップＳ１４）。撮像された画像は、画像取得部２２に入力された後、画像処理部２３に与えられる。カメラ７１によって撮像された画像を表す電気信号は、画像取得部２２に入力された後、画像処理部２３によって処理される。画像処理部２３は、画像を二値化し、画像全体から、モアレパターン６０、基準線３２および基準枠３１を抽出する。また、この第１タイミングにおいて、回転量取得部７２はモータ制御部２１からステッピングモータ１２の回転量を取得する（ステップＳ１５）。第１タイミングにおいて取得された回転量は、教示情報演算部２５に与えられる。
【００５５】
ステッピングモータ１２の駆動開始から予め第２時間が経過して第２タイミングになると（ステップＳ１６でＹＥＳ）、カメラ７１が、透明シート３０の上方から透明シート３０およびスピンベース６の上面１６を含む視野範囲の画像を撮像する（ステップＳ１７）。撮像された画像は、画像取得部２２に入力された後、画像処理部２３に与えられる。カメラ７１によって撮像された画像を表す電気信号は、画像取得部２２に入力された後、画像処理部２３によって処理される。画像処理部２３は、画像を二値化し、画像全体から、モアレパターン６０、基準線３２および基準枠３１を抽出する。また、この第２タイミングにおいて、回転量取得部７２はモータ制御部２１からステッピングモータ１２の回転量を取得する（ステップＳ１８）。第２タイミングにおいて取得された回転量は、教示情報演算部２５に与えられる。
【００５６】
そして、教示情報演算部２５は、第１タイミングにおいて撮像された画像（ステップＳ１４において撮像された画像）から抽出された基準線３２に対するモアレパターン６０の対称軸６１のずれ量を算出する。また、教示情報演算部２５は、第２タイミングにおいて撮像された画像（ステップＳ１７において撮像された画像）から抽出された基準線３２に対するモアレパターン６０の対称軸６１のずれ量を算出する。そして、教示情報演算部２５は、これらのずれ量と第１および第２タイミングで取得された回転量とに基づいて教示情報を演算により求める（ステップＳ１９）。具体的には、ノズル３を、ウエハＷの回転中心に対向する位置に配置するためにアーム１０を揺動させるのに必要なステッピングモータ１２の回転量が、教示情報として得られる。
【００５７】
この教示情報演算部２５によって得られた教示情報は、教示情報登録部２６に与えられる。そして、教示情報登録部２６によってモータ制御部２１に自動的に登録される（ステップＳ２０）。
その後、モータ制御部２１が、ステッピングモータ１２を制御して、アーム１０の揺動を停止させ、ノズル３の移動を停止させる（ステップＳ２１）。その後、ステッピングモータ１２がそれまでと逆向きに回転駆動されて、ノズル３がホームポジション（図示せず）まで戻される。これにより、モータ制御部２１に対するティーチングが完了する。
【００５８】
以上、この発明の２つの実施形態について説明したが、この発明は、さらに他の形態でも実施できる。
前述の第１実施形態では、ステップＳ４において、回転量取得部２４は、画像から抽出されたモアレパターン６０の対称軸６１が、画像から抽出された基準線３２に一致するか否かを繰り返し調べているが、基準枠３１内の画像が基準線３２に関して線対称な画像であるか否かを繰り返し調べるようにしてもよい。すなわち、基準枠３１内には、モアレパターン６０とアーム１０の輪郭が重ねられた画像が形成されるが、モアレパターン６０の対称軸６１が基準線３２に一致した場合（図８（ｂ）参照）、基準枠３１内の画像は、基準線３２に関して線対称な画像となる。このように、モアレパターン６０の対称軸６１と基準線３１とが一致するか否かを調べるのではなく、基準枠３１内の基準線３２を挟んだ両側の画像が線対称な画像であるか否かを繰り返し調べるようにしてもよい。この場合は、モアレパターン６０の対称軸６１や基準線３２がアーム１０の下に隠れて画像として認識しにくい場合であっても、ノズル３がスピンベース６の回転中心ＢＣに一致するときのノズル３の位置を特定することができる。
【００５９】
また、たとえば、基準位置情報として、基準線３２および基準枠３１の一方のみを透明シート３０に担持することもできる。
基準位置情報として基準枠３１のみを用いる場合、カメラ４０，７１によって撮像された画像に含まれるモアレパターン６０の対称軸６１と基準枠３１の重心位置３３とに基づいて、スピンベース６の上面１６の回転中心ＢＣとノズル３との位置関係を求めることができる。
【００６０】
すなわち、図６のステップＳ４において、回転量取得部２４は、画像から抽出されたモアレパターン６０の対称中心が、画像から抽出された基準枠３１の重心位置３３に一致するか否かを、繰り返し調べる。そして、モアレパターン６０の対称中心が基準枠３１の重心位置３３に一致した時、図６のステップＳ５において回転量取得部２４が、モータ制御部２１からステッピングモータ１２の回転量を取得する。
【００６１】
また、図１０のステップＳ１９において、教示情報演算部２５は、図１０のステップＳ１４において撮像された画像から抽出された基準枠３１の重心位置３３に対するモアレパターン６０の対称中心のずれ量を算出する。そして、教示情報演算部２５は、ステップＳ１７において撮像された画像から抽出された基準枠３１の重心位置３３に対するモアレパターン６０の対称中心のずれ量を算出する。そして、教示情報演算部２５は、これらのずれ量と、図１０のステップＳ１５およびステップＳ１８において取得された回転量とに基づいて教示情報を演算により求める。
【００６２】
図１１は、透明シートの他の構成例を示す図である。図１１（ａ）に示す透明シート３１０には、格子縞パターン３１１が担持されている。この格子縞パターン３１１は、軌道１４に沿う方向に延びる多数本の細い平行線と、軌道１４と直交する方向に延びる多数本の細い平行線とを組み合わせて構成されている。図１１（ｂ）に示すように、格子縞パターン３１１が同心円パターン５２（図４参照）に重ね合わされたときは、透明シート３２０を上方から見たときに、対称軸６１に対して線対称となるモアレパターン３１６が発生する。対称軸６１は、同心円パターン５２の中心（すなわちスピンベース６の回転中心ＢＣ）を通過しかつ軌道１４に直交する方向に延びる直線である。この透明シート３１０は、図１１（ａ）に示すように基準線３２（図１１（ａ）のみ図示。図１１（ｂ）には不図示）および基準枠３１（図１１（ａ）のみ図示。図１１（ｂ）には不図示）の両方を担持していてもよいし、基準線３２および基準枠３１の一方のみを担持するものであってもよい。
【００６３】
図１２は、透明シートのさらに他の構成例を示す図である。図１２（ａ）の透明シート３２０には、軌道１４に沿って延びる多数本の細い平行線からなる縞パターン３２１が形成されている。図１２（ｂ）に示すように、縞パターン３２１が同心円パターン５２に重ね合わされたときは、透明シート３２０を上方から見たときに、対称軸６１に直交する軸に対して線対称となるモアレパターン３２４が発生している。この透明シート３２０は、基準枠３１（図１２（ａ）のみ図示。図１２（ｂ）には不図示）を担持している。
【００６４】
図１３は、透明シートのさらに他の構成例を示す図である。図１３（ａ）に示す透明シート３３０は、軌道１４に直交する方向に対して所定角度傾斜した多数本の細い平行線からなる縞パターン３３１が形成されている。図１３（ｂ）に示すように、この縞パターン３３１が同心円パターン５２に重ね合わされたときは、透明シート３３０を上方から見たときに、同心円パターン５２の中心、すなわちスピンベース６の回転中心ＢＣを対称中心とする点対称のモアレパターン３３４が発生する。この透明シート３３０は、基準枠３１（図１３（ａ）のみ図示。図１３（ｂ）には不図示）を担持している。
【００６５】
また、透明シート３１，３１０，３２０，３３０の形状は、長方形に限られず、正方形など他の形態であってもよい。
さらに、基準枠３１は、透明シート３１，３１０，３２０，３３０の端縁上ではなく、透明シート３１，３１０，３２０，３３０の端縁から内寄りに離隔した位置に設けられていてもよい。
【００６６】
また、第１および第２実施形態において、教示情報であるステッピングモータ１２の回転量は、アーム１０の相対的な原点位置を基準とするものであってもよい。このとき、たとえば、ノズルが軌道１４上の所定位置（たとえば、ホームポジションに対向する位置）にあるときのアーム１０の位置を、この相対的な原点位置に設定することができる。
たとえば、第１実施形態において、アーム１０の揺動開始直後から、カメラ４０による撮像が繰り返し行われるものとして説明したが、ノズル３が中心対向位置に近づいた場合にだけ、カメラ４０による撮像が繰り返し行われてもよい。
【００６７】
また、第１実施形態において、ノズル３が中心対向位置に比較的近づいている場合、ノズル３が中心対向位置から比較的離れている場合と比べて、カメラ４０の撮像頻度が増加していてもよい。この場合、ステッピングモータ１２が１または数パルス分駆動される毎に、カメラ４０による撮像を行う構成であってよい。この場合、教示情報をより精度良く求めることができる。
【００６８】
また、第１実施形態において、カメラ４０が処理室１７の隔壁に取り付けられた構成であってもよい。
また、第２実施形態において、カメラ７１による撮像回数を合計２回として説明したが、カメラ７１による撮像回数は３回以上であってもよい。この場合、教示情報をさらに精度良く求めることができる。さらに、第２実施形態において、カメラ７１が、アーム１０に取り付けられた構成であってもよい。
【００６９】
図１４〜図２３は、模様シートの他の構成例を示す図である。図１４に示す模様シート８１は、市松模様パターン（以下、この図１４に示す市松模様パターンを「第１市松模様パターン」という。）８１１を担持している。第１市松模様パターン８１１は、黒色と白色とで構成されている。各正方形の一辺の長さはたとえば０．７（ｍｍ）である。この第１市松模様パターン８１１全体の白黒の面積比（白い部分と黒い部分との面積比）は、５：５である。このような第１市松模様パターン８１１の連続模様が、模様シート８１の表面内で全方向に連続しており、模様シート８１の全体に渡っている。
【００７０】
図１５に示す模様シート８２は、市松模様パターン（以下、この図１５に示す市松模様パターンを「第２市松模様パターン」という。）８２１を担持している。第２市松模様パターン８２１は、黒色と白色とで構成されている。この第２市松模様パターン８２１では、第１市松模様パターン８１１とは異なり、各正方形の辺が、模様シート８２の各辺に対して４５°傾斜している。このような第２市松模様パターン８２１の連続模様が、模様シート８２の表面内で全方向に連続しており、模様シート８２の全体に渡っている。
【００７１】
図１６に示す模様シート８３は、市松模様パターン（以下、この図１６に示す市松模様パターンを「第３市松模様パターン」という。）８３１を担持している。第３市松模様パターン８３１は、黒色と白色とで構成されている。各正方形の一辺の長さはたとえば０．８（ｍｍ）である。このような第３市松模様パターン８３１の連続模様が、模様シート８３の表面内で全方向に連続しており、模様シート８３の全体に渡っている。
【００７２】
図１７に示す模様シート８４は、市松模様パターン（以下、この図１７に示す市松模様パターンを「第４市松模様パターン」という。）８４１を担持している。第４市松模様パターン８４１は、黒色と白色とで構成されている。各黒画像の中に白の点像が含まれている。黒白の境界部分には多数の凹凸が形成されている。このような第４市松模様パターン８４１の連続模様が、模様シート８４の表面内で全方向に連続しており、模様シート８４の全体に渡っている。
【００７３】
図１８に示す模様シート８５は、点模様パターン８５１を担持している。点模様パターン８５１は、白い背景に黒い多数個の矩形の点像を有する模様である。各点像は、無秩序に並べられている。各点像の一辺の長さはたとえば１．０（ｍｍ）である。この点模様パターン８５１全体の白黒の面積比（白い部分と黒い部分との面積比）は、６：４である。このような点模様パターン８５１の連続模様が、模様シート８５の表面内で全方向に連続しており、模様シート８５の全体に渡っている。
【００７４】
図１９に示す模様シート８６は、格子縞パターン８６１を担持している。格子縞パターン８６１は、白い背景に、黒い直線からなる第１平行パターンと、第１平行パターンに直交するグレーの直線からなる第２平行パターンとを組み合わせたパターンである。このような格子縞パターン８６１の連続模様が、模様シート８６の表面内で全方向に連続しており、模様シート８６の全体に渡っている。
【００７５】
図２０に示す模様シート８７は、水玉模様パターン（以下、この図２０に示す水玉模様パターンを「第２水玉模様パターン」という。）８７１を担持している。第２水玉模様パターン８７１は、白い背景に黒い多数個の水玉を有する模様である。水玉は、矩形をなしている。ある水玉の周囲を取り囲むように当該水玉を中心とする円周上を、４つの水玉が配置されている。各水玉の直径はたとえば０．５（ｍｍ）である。この第２水玉模様パターン８７１全体の白黒の面積比（白い部分と黒い部分との面積比）は、７：３である。このような第２水玉模様パターン８７１の連続模様が、模様シート８７の表面内で全方向に連続しており、模様シート８７の全体に渡っている。
【００７６】
図２１に示す模様シート８８は、水玉模様パターン（以下、この図２１に示す水玉模様パターンを「第３水玉模様パターン」という。）８８１を担持している。第３水玉模様パターン８８１は、白い背景に黒い多数個の水玉を有する模様である。水玉は、円形をなしている。ある水玉の周囲を取り囲むように当該水玉を中心とする円周上を、４つの水玉が配置されている。各水玉の直径はたとえば１（ｍｍ）である。この第３水玉模様パターン８８１全体の白黒の面積比（白い部分と黒い部分との面積比）は、６：４である。このような第３水玉模様パターン８８１の連続模様が、模様シート８８の表面内で全方向に連続しており、模様シート８８の全体に渡っている。
【００７７】
図２２に示す模様シート８９は、水玉模様パターン（以下、この図２２に示す水玉模様パターンを「第４水玉模様パターン」という。）８９１を担持している。第４水玉模様パターン８９１は、白い背景に黒い多数個の水玉を有する模様である。水玉は、円形をなしている。ある水玉の周囲を取り囲むように当該水玉を中心とする円周上を、４つの水玉が配置されている。各水玉の直径はたとえば１．２（ｍｍ）である。この第４水玉模様パターン８９１全体の白黒の面積比（白い部分と黒い部分との面積比）は、７：３である。このような第４水玉模様パターン８９１の連続模様が、模様シート８９の表面内で全方向に連続しており、模様シート８９の全体に渡っている。
【００７８】
図２３に示す模様シート９０は、水玉模様パターン（以下、この図２３に示す水玉模様パターンを「第５水玉模様パターン」という。）９０１を担持している。第５水玉模様パターン９０１は、白い背景に黒い多数個の水玉を有する模様である。水玉は、円形をなしている。ある水玉の周囲を取り囲むように当該水玉を中心とする円周上を、６つの水玉が等角度間隔で配置されている。各水玉の直径はたとえば１．５（ｍｍ）である。この第５水玉模様パターン９０１全体の白黒の面積比（白い部分と黒い部分との面積比）は、５：５である。このような第５水玉模様パターン９０１の連続模様が、模様シート９０の表面内で全方向に連続しており、模様シート９０の全体に渡っている。
【００７９】
これら図１４〜図２３に示す模様シート８１，８２，８３，８４，８５，８６，８７，８８，８９，９０が、模様シート５０に代えて、スピンベース６の上面１６に貼られている場合、スピンベース６の回転に伴って、スピンベース６の上面に図４に示すような同心円パターン５２が形成される。ただし、模様シート５０が最も明確な同心円パターン５２が形成されるので、より正確なティーチングを行うことができる。
【００８０】
各模様パターン５１，８１１，８２１，８３１，８４１，８５１，８６１，８７１，８８１，８９１，９０１は、色相の無い白黒模様を例に挙げて説明したが、模様の明部および／または暗部に所定の色相を有する色が用いられていてもよい。
また、模様パターン５１，８１１，８２１，８３１，８４１，８５１，８６１，８７１，８８１，８９１，９０１が、印字や刻印などにより、スピンベース６の上面１６に直接形成されていてもよい。
【００８１】
また、前述の第１実施形態では、図５に示すように透明シート３０はその長手方向がアーム１０の延びる方向に直交するように、アーム１０に取り付けられているが、透明シート３０の取り付け方向は必ずしもこの方向に限定されず、透明シート３０の長手方向がアーム１０の延びる方向から傾斜した状態で取り付けられてもよい。この場合であっても、ノズル３がスピンベース６の回転中心ＢＣに一致したときは、基準枠３１内の画像は基準線３２に関して線対称となるため（図２４参照）、基準枠３１内の画像が線対称であるか否かを調べることによってノズル３がスピンベース６の回転中心ＢＣに一致したか否かを調べることができる。
【００８２】
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
【符号の説明】
【００８３】
１ 基板処理装置
２ スピンチャック（基板保持手段）
３ ノズル
６ スピンベース（ベース）
１２ ステッピングモータ（ノズル移動手段）
１４ 軌道
１６ 上面（ベースの主面）
２１ モータ制御部（動作制御手段）
３０ 透明シート
３１ 基準枠（基準位置情報）
３２ 基準線（基準位置情報）
３３ 重心位置（基準枠の重心位置）
３４ 縞パターン
４０ カメラ（撮像手段）
５１ 第１水玉模様パターン（連続模様パターン）
７０ 基板処理装置
７１ カメラ（撮像手段）
３１０ 透明シート
３１１ 格子縞パターン（縞パターン）
３２０ 透明シート
３２１ 縞パターン
３３０ 透明シート
３３１ 縞パターン
８１１ 第１市松模様パターン（連続模様パターン）
８２１ 第２市松模様パターン（連続模様パターン）
８３１ 第３市松模様パターン（連続模様パターン）
８４１ 第４市松模様パターン（連続模様パターン）
８５１ 点模様パターン（連続模様パターン）
８６１ 格子縞パターン（格子模様パターン、連続模様パターン）
８７１ 第２水玉模様パターン（連続模様パターン）
８８１ 第３水玉模様パターン（連続模様パターン）
８９１ 第４水玉模様パターン（連続模様パターン）
９０１ 第５水玉模様パターン（連続模様パターン）
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基板処理装置を制御するための制御情報を教示情報として基板処理装置に登録するためのティーチング方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置や液晶表示装置の製造工程では、半導体ウエハや液晶表示パネル用ガラス基板などの基板の表面に処理流体による処理を施すために、基板を１枚ずつ処理する枚葉式の基板処理装置が用いられることがある。
枚葉式の基板処理装置は、たとえば、基板をほぼ水平姿勢に保持しつつ回転させるためのスピンチャックと、スピンチャックに保持されている基板の主面に向けて処理液を吐出するためのノズルと、基板の回転中心を通る所定の軌道に沿ってノズルを移動させるノズル移動機構とを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−８８３８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
処理液を用いた処理では、たとえば、ノズル移動機構によってノズルが基板の上方まで移動された後、停止状態にあるノズルから基板の表面の所定位置（たとえば回転中心）に向けて処理液を吐出させる。この場合、ノズルが所定位置からずれていると、基板の表面に処理液が均一に行き渡らず、その基板に処理むら（処理液の供給むら）を生じるおそれがある。
【０００５】
また、処理液を用いた処理では、軌道に沿ってノズルを予め定める範囲内で移動（スキャン）させながら、ノズルから基板に向けて処理液を吐出させる場合がある。このとき、ノズルが予め定めるスキャン範囲から逸脱して移動すると、基板の表面に処理液が均一に行き渡らず、その基板に対する処理むら（処理液の供給むら）を生じるおそれがある。
そのため、ノズルが収容される処理室内にノズルを組み付けた後は、ノズルの動作を制御する制御装置に対して、ノズル（またはノズルを保持する部材）の原点位置から軌道上の所定の基準位置までの移動量を教示するためのティーチングが行われる。所定の基準位置は、たとえば、基板の回転中心に対向するノズルの位置（以下、「中心対向位置」という）を含む。
【０００６】
このようなティーチングは、通常、作業者の手作業によって行われる。具体的には、ティーチングの際には、作業者は、上面に中心対向位置が記された治具基板を基板保持機構に保持させる。そして、作業者は、リモコン操作により、基板の上方に設定された軌道に沿って少しずつノズルを動かす。作業者は、ノズルと中心対向位置とを目視で合わせ込む。その後、作業者は、ノズルが中心対向位置に合致するときのノズルの移動量（原点位置からの移動量）を制御装置に登録する。
【０００７】
ところが、手作業によるティーチングは、非常に面倒で手間のかかる作業である。また、中心対向位置は基板から離れた位置にあるので、治具基板を用いた場合であっても作業者による調整ばらつきが避けられない。そのため、作業者の経験や技術力によってノズルの位置精度に差が生じるおそれがある。
そこで、この発明の目的は、ティーチング作業を軽減することができるとともに、より正確なティーチングを実現することができる、基板処理装置のためのティーチング方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記の課題を解決するため、請求項１記載の発明は、基板処理装置（１；７０）の制御のための教示情報を登録するためのティーチング方法を提供する。前記基板処理装置は、主面に直交する所定の回転軸線まわりに回転されるベース（６）を有する基板保持手段（２）と、前記ベースの主面（１６）に沿う所定の軌道（１４）に沿ってノズル（３）を移動させるノズル移動手段（１２）と、前記ノズル移動手段を制御する動作制御手段（２１）とを含む。前記ティーチング方法は、一定のコントラストを有する明部と暗部とを含み、前記回転軸線まわりに回転したときに同心円パターンが表れる連続模様パターン（５１；８１１；８２１；８３１；８４１；８５１；８６１；８７１；８８１；８９１；９０１）を、前記ベースの主面に形成する連続模様パターン形成工程と、前記ベースを、前記回転軸線まわりに回転させるベース回転工程（Ｓ１；Ｓ１１）と、前記同心円パターンに重ね合わせられることによりモアレパターンが発生する縞パターン（３４；３１１；３２１；３３１）と、基準位置情報（３１，３２）とを担持した透明シート（３０；３１０；３２０；３３０）を、前記基準位置情報と前記ノズルとが予め定める位置関係となるように前記ノズルに固定するシート取付工程と、前記ベース回転工程と並行して実行され、前記ノズル移動手段を駆動して、前記透明シートが取り付けられた前記ノズルを前記軌道に沿って移動させるノズル移動工程（Ｓ２；Ｓ１２）と、撮像手段（４０；７１）によって、前記透明シートおよび前記ベースの主面を、当該主面に交差する方向から撮像する撮像工程（Ｓ３；Ｓ１４，Ｓ１７）と、前記撮像工程で撮像される画像に含まれる前記モアレパターンおよび前記基準位置情報に基づいて、前記ベースの主面の回転中心に前記ノズルが対向しているときの前記ノズル移動手段の駆動情報を取得する駆動情報取得工程（Ｓ８；Ｓ１９）と、前記取得された駆動情報に基づいて、前記ノズル移動手段を制御するための教示情報を前記動作制御手段に登録する登録工程（Ｓ９；Ｓ２０）とを含む、基板処理装置のためのティーチング方法である。
【０００９】
なお、括弧内の英数字は、後述の実施形態における対応構成要素等を表すが、特許請求の範囲を実施形態に限定する趣旨ではない。以下、この項において同じ。
この発明の方法によれば、ベースが回転軸線まわりに回転されると、ベースの主面に、ベースの回転中心を中心とする同心円パターンが表れる。回転中のベースの主面の上方を、ノズルおよび透明シートを所定の軌道に沿って移動させると、透明シートの縞パターンが同心円パターンに重なり、ベースの主面に交差する方向から透明シートを見たときに、同心円パターンの中心を対称中心とするモアレパターンが発生する。そして、撮像手段によって、透明シートおよびベースの主面を当該主面に交差する方向から見たときの画像が撮像される。この画像に含まれるモアレパターンおよび基準位置情報に基づいて、ベースの主面の回転中心にノズルが対向するときのノズル移動手段の駆動情報が取得される。そして、この駆動情報に基づいて教示情報が求められ、その教示情報が動作制御手段に登録される。したがって、教示情報の取得を自動的に行うことができ、これにより、ティーチングのための作業者による作業を大幅に軽減することができる。
【００１０】
また、ベースの主面に交差する方向から透明シートを見たときに、同心円パターンの中心を対称中心とするモアレパターンが発生しているので、ベースの回転中心の特定が容易である。そのため、ベースの主面の回転中心にノズルが対向しているときのノズル移動手段の駆動情報を正確に取得することができる。したがって、正確なティーチングを実現することができる。
【００１１】
請求項２に記載のように、前記連続模様パターンは、水玉模様パターン（５１；８７１；８８１；８９１；９０１）を含むものであってもよい。また、前記連続模様パターンは、市松模様パターン（８１１；８２１；８３１；８４１）または格子模様パターン（８６１）を含むものであってもよい。
一方、縞パターンは、多数の平行線からなる平行パターン（３２１；３３１）を含むものあってもよい。この場合、平行線の間隔は、等間隔であってもよい。また、平行線間の間隔は、同心円パターンの同心円の間隔と同程度であってもよい。
【００１２】
また、縞パターンは、ノズルの移動時にノズルが沿う軌道に直交していてもよい。また、縞パターンが、ノズルの移動時にノズルが沿う軌道に直交する方向に対して、所定角度傾斜していてもよい。
請求項３記載の発明は、前記基準位置情報は、前記所定の軌道に直交する基準線（３２）を含み、前記シート取付工程は、前記基準線上に前記ノズルが位置するように、前記透明シートを前記ノズルに取り付ける工程を含み、前記駆動情報取得工程は、前記撮像工程で撮像される前記モアレパターンの対称軸（６１）が前記基準線に一致するときの前記ノズル移動手段の駆動情報を取得する工程（Ｓ８；Ｓ１９）を含む、請求項１または２記載の基板処理装置のためのティーチング方法である。
【００１３】
この発明の方法によれば、基準線上にノズルが位置している。ベースの主面に交差する方向から見たときのモアレパターンは、同心円パターンの中心を通る対称軸に対して線対称となるパターンである。そのため、モアレパターンの対称軸が基準線に一致するとき、ベースの主面の回転中心にノズルが対向している。したがって、モアレパターンの対称軸が基準線に一致するときのノズル移動手段の駆動情報を取得することにより、ベースの主面の回転中心にノズルが対向するときの駆動情報を正確に取得することができる。
【００１４】
請求項４記載の発明は、前記基準位置情報は、前記所定の軌道に直交する一対の辺（３１ｂ）を有する矩形の基準枠（３１）を含み、前記シート取付工程は、前記基準枠の重心位置（３３）に前記ノズルが位置するように、前記透明シートを前記ノズルに取り付ける工程を含み、前記駆動情報取得工程は、前記撮像工程で撮像される前記モアレパターンの対称中心が前記基準枠の重心位置に一致するときの前記ノズル移動手段の駆動情報を取得する工程を含む、請求項１または２記載の基板処理装置のためのティーチング方法である。
【００１５】
この発明の方法によれば、基準枠の重心位置にノズルが位置している。ベースの主面に交差する方向から見たときのモアレパターンは、同心円パターンの中心を対称中心とする点対称のパターンである。そのため、モアレパターンの対称中心が基準枠の重心位置に一致するとき、ベースの主面の回転中心にノズルが対向している。したがって、モアレパターンの対称中心が基準枠の重心位置に一致するときのノズル移動手段の駆動情報を取得することにより、ベースの主面の回転中心にノズルが対向するときの駆動情報を正確に取得することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の第１実施形態に係るティーチング方法が適用される基板処理装置の構成を図解的に示す図である。
【図２】図１に示す基板処理装置におけるティーチングのための構成を説明するための図である。
【図３】図２に示すスピンベースの平面図である。
【図４】図３に示すスピンベースの回転時における平面図である。
【図５】ノズルへの透明シートの取付け状態を示す図である。
【図６】図１に示す基板処理装置のティーチング時における制御部による制御を説明するためのフローチャートである。
【図７】ティーチング時におけるノズルおよび透明シートの動きを説明するための平面図である。
【図８】ティーチング時における透明シートに発生するモアレパターンの変化を示す平面図である。
【図９】本発明の第２実施形態に係るティーチング方法が適用される基板処理装置の構成を図解的に示す図である。
【図１０】図９に示す基板処理装置のティーチング時における制御部による制御を説明するためのフローチャートである。
【図１１】透明シートの他の構成例を示す図である。
【図１２】透明シートの他の構成例を示す図である。
【図１３】透明シートの他の構成例を示す図である。
【図１４】模様シートの他の構成例を示す図である。
【図１５】模様シートの他の構成例を示す図である。
【図１６】模様シートの他の構成例を示す図である。
【図１７】模様シートの他の構成例を示す図である。
【図１８】模様シートの他の構成例を示す図である。
【図１９】模様シートの他の構成例を示す図である。
【図２０】模様シートの他の構成例を示す図である。
【図２１】模様シートの他の構成例を示す図である。
【図２２】模様シートの他の構成例を示す図である。
【図２３】模様シートの他の構成例を示す図である。
【図２４】ノズルへの透明シートの取付け状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。図１は、本発明の一実施形態（第１実施形態）に係るティーチング方法が適用される基板処理装置１の構成を図解的に示す図である。この基板処理装置１は、基板の一例である半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という。）Ｗの表面（一方の主面）に対して処理液（処理流体）による処理を施すための枝葉型の装置である。
【００１８】
この基板処理装置１は、隔壁（図示せず）によって区画された処理室１７を備えている。処理室１７内には、ウエハＷをほぼ水平に保持して回転するスピンチャック（基板保持手段）２と、このスピンチャック２に保持されたウエハＷの表面（上面）に処理液を吐出するためのノズル３とが収容されている。
スピンチャック２は、チャック回転駆動機構４によって回転される回転軸５の上端に固定されたほぼ円板状のスピンベース（ベース）６を備えている。スピンペース６の上面１６（ベースの主面。図２参照）は、水平な平坦面をなしている。スピンペース６の上面１６の周縁部の複数箇所には、それぞれウエハＷをほぼ水平な姿勢で挟持するための挟持部材７が配設されている。ウエハＷは複数個の挟持部材７により挟持された状態で、その中心がスピンベース６の回転中心ＢＣ（図１では、ウエハＷの回転中心Ｃの直下位置。図３参照）の直上に位置する。スピンチャック２は、複数個の挟持部材７によってウエハＷを挟持した状態で、チャック回転駆動機構４によって回転軸５を回転させることにより、そのウエハＷを、ほぼ水平な姿勢を保った状態で、スピンベース６とともに回転軸５の中心軸線まわりに回転させることができる。
【００１９】
ノズル３には、処理液供給源からの処理液が供給される処理液供給管８が接続されている。処理液供給管８の途中部には、ノズル３からの処理液の吐出／吐出停止を切り換えるためのバルブ９が介装されている。なお、処理液としては、ウエハＷの表面に対する処理の内容に応じたものが用いられる。たとえば、ウエハＷの表面からパーティクルを除去するための洗浄処理を行うときは、ＳＣ１（ammonia-hydrogen peroxide mixture：アンモニア過酸化水素水）などの薬液を含む洗浄液が用いられる。また、ウエハＷの表面から酸化膜等をエッチングするための洗浄処理を行うときは、フッ酸やBHF（Bufferd HF）などの薬液を含む洗浄液が用いられ、ウエハＷの表面に形成されたレジスト膜を剥離するレジスト剥離処理や、レジスト剥離後のウエハＷの表面にポリマーとなって残留しているレジスト残渣を除去するためのポリマー除去処理を行うときは、ＳＰＭ（sulfuric acid/hydrogen peroxide mixture：硫酸過酸化水素水）やＳＣ１（ammonia-hydrogen peroxide mixture：アンモニア過酸化水素水）などのレジスト剥離液やポリマー除去液が用いられ、金属汚染物を除去する洗浄処理には、フッ酸やＳＣ２（hydrochloric acid/hydrogen peroxide mixture：塩酸過酸化水素水）やＳＰＭ（sulfuric acid/hydrogen peroxide mixture：硫酸過酸化水素水）などの薬液が用いられる。
【００２０】
ノズル３は、ウエハＷの表面における処理液の供給位置を変更できるスキャンノズルとしての基本形態を有している。
ノズル３は、スピンチャック２の上方でほぼ水平に延びたアーム１０の先端部に支持されている。具体的には、アーム１０は水平な平坦面からなる下面を有しており、そのアーム１０の下面の先端部にノズル３が配設されている。ノズル３の下端部には、処理液を下向きに吐出する吐出口（図示せず）が形成されている。アーム１０の下面の基端部は、アーム支持軸１１の上端に固定されている。アーム支持軸１１は、スピンチャック２の側方でほぼ鉛直に延びている。このアーム支持軸１１には、アーム１０を揺動させるアーム揺動駆動機構としてのステッピングモータ（ノズル移動手段）１２が結合されている。ステッピングモータ１２には、このステッピングモータ１２を駆動するためのドライバ回路１３が接続されている。
【００２１】
ステッピングモータ１２からアーム支持軸１１に回転駆動力を入力して、アーム支持軸１１を所定の角度範囲内で回動させることにより、スピンチャック２に保持されたウエハＷの上方で、ウエハＷの主面に沿ってアーム１０を揺動させることができ、このアーム１０の揺動により、ノズル３をスピンチャック２の側方（すなわち、ウエハＷ外に相当）のホームポジション（図示せず）と、スピンチャック２に保持されたウエハＷの表面上（図１参照）との間を揺動させることができる。このとき、ノズル３は、アーム支持軸１１上に中心を有する円弧形状をなし、水平方向（ウエハＷの主面に平行な方向）に沿う軌道１４（図２参照）に沿って移動する。したがって、ウエハＷの表面上では、ノズル３からの処理液の着液位置を、軌道１４に対応した円弧軌道（図１参照）に沿ってスキャン（移動）させることができる。この実施形態では、軌道１４とは、ノズル３の吐出口の軌道のことをいう。
【００２２】
この基板処理装置１は、ＣＰＵ、ＲＡＭおよびＲＯＭを含む構成の制御部２０を備えている。制御部２０には、チャック回転駆動機構４およびバルブ９などが制御対象として接続されている。
また、制御部２０は、ステッピングモータ１２を制御するためのモータ制御部（動作制御手段）２１を備えている。モータ制御部２１は、ドライバ回路１３に対して、ノズル３の移動量（移動角度）に応じたパルス信号を出力する。ドライバ回路１３は、モータ制御部２１から出力されたパルス数に応じた励磁信号をステッピングモータ１２に付与する。このモータ制御部２１には、次に述べる教示情報が予め登録される。モータ制御部２１は、ステッピングモータ１２の回転量（駆動情報）を管理している。
【００２３】
教示情報とは、中心対向位置にノズル３を配置させるためにアーム１０を揺動させるのに必要なステッピングモータ１２の回転量（ステップ数）である。中心対向位置とは、軌道１４に沿って移動するノズル３が、スピンチャック２に保持されたウエハＷの回転中心Ｃに対向する位置である。前記回転量は、アーム１０の機械上の原点位置（絶対的な原点位置）を基準とした値である。モータ制御部２１は、アーム１０が機械上の原点位置にある状態から、この回転量（ステップ数）に応じた数のパルスをドライバ回路１３に出力することにより、ノズル３を中心対向位置に配置させることができる。
【００２４】
モータ制御部２１は、教示情報（ステッピングモータ１２の回転量）を参照することにより、ノズル３を軌道１４上の所望の位置に配置するためにアーム１０を揺動させるのに必要なステッピングモータ１２の回転量を、演算に基づいて得ることができる。
次いで、処理液を用いた処理について説明する。ノズル３を、中心対向位置と、ウエハＷ表面の周縁位置に対向する周縁対向位置との間で一方向スキャンさせる場合を例に挙げて説明する。
【００２５】
まず、ノズル３が、スピンチャック２の上方から退避したホームポジションに配置された状態で、搬送ロボット（図示しない）によって、未処理のウエハＷがスピンチャック２に渡される。そして、ウエハＷがスピンチャック２へ渡された後、チャック回転駆動機構４が駆動されて、スピンチャック２が所定の液処理回転速度で等速回転する。また、モータ制御部２１は、ステッピングモータ１２を駆動してアーム１０を揺動させ、回転状態にあるウエハＷの回転中心Ｃの上方へとノズル３を導く。その後、制御部２０は、バルブ９を開いて、ノズル３から処理液を吐出する。ノズル３からは、鉛直下方に向けて吐出口（図示せず）が吐出される。したがって、ノズル３がウエハＷの回転中心に対向するときは、ノズル３から吐出された処理液は、ウエハＷの回転中心に着液する。
【００２６】
一方で、モータ制御部２１は、ステッピングモータ１２を制御し、アーム１０を等速で揺動させて、ノズル３をウエハＷの周縁部に向けて移動させる。このため、ノズル３から吐出された処理液のウエハＷ表面上における着液位置が、等速回転中のウエハＷの回転中心ＣからウエハＷの周縁位置に至る範囲を、円弧軌道（図１参照）に沿って等速で移動する。また、処理液の着液位置がウエハＷの周縁位置まで到達すると、制御部２０は、バルブ９を閉じるとともに、ステッピングモータ１２を駆動してアーム１０を揺動させ、ノズル３をウエハＷの回転中心Ｃの直上へと導く。このような一方向スキャン動作が、繰り返し行われる。
【００２７】
図２は、基板処理装置１におけるノズル３のティーチングのための構成を説明するための図である。図２では、ノズル３の吐出口の軌道である軌道１４を、スピンベース６の上面１６に投影したものを図示している。ティーチングに際しては、スピンベース６はウエハＷを保持していない状態とされる。また、ティーチングに際しては、ノズル３には、透明シート３０が取り付けられる。さらに、アーム１０には、その先端部の上方に、取付部材（図示せず）を介してカメラ４０が一体移動可能に取り付けられている。
【００２８】
スピンベース６の上面１６には、所定のパターンを担持した模様シート５０が貼着される。
図３は、スピンベース６の平面図である。図４は、スピンベース６の回転時における平面図である。
模様シート５０はたとえば正方形（矩形）のシートであり、回転中心ＢＣを含む領域を覆うようにスピンベース６の上面１６に貼着される。模様シート５０を充分に大きく作製しておけば、模様シート５０の全体がスピンベース６の上面１６に収まるように配置すると、模様シート５０の４つの角部が、それぞれ、スピンベース６の上面１６における周縁付近に位置する。したがって、模様シート５０は、回転中心ＢＣを含む領域を覆う。模様シート５０は、水玉模様パターン（以下、この図３に示す水玉模様パターンを「第１水玉模様パターン」という。）を含んでいる。
【００２９】
第１水玉模様パターン５１は、白い背景（明部）に黒い多数個の水玉（暗部）を有する模様である。水玉は、円形をなしている。ある水玉の周囲を取り囲むように当該水玉を中心とする円周上を、６つの水玉が等角度間隔で配置されている。各水玉の直径はたとえば１．０（ｍｍ）である。この第１水玉模様パターン５１全体の白黒の面積比（白い部分（明部）と黒い部分（暗部）との面積比）は、５：５である。このような第１水玉模様パターン５１の連続模様が、模様シート５０の表面内で全方向に連続しており、模様シート５０の全体に渡っている。
【００３０】
チャック回転駆動機構４が回転駆動されて、スピンベース６が鉛直軸線まわりに回転されると、スピンベース６の上面１６に、スピンベース６の回転中心ＢＣを中心とする同心円パターン５２が表れる（図４参照）。
図５は、ノズル３への透明シート３０の取付け状態を示す図である。図５（ａ）は、ノズル３および透明シート３０の平面図であり、図５（ｂ）は、ノズル３および透明シート３０の底面図である。
【００３１】
透明シート３０は、矩形の板状をなしている。具体的には、透明シート３０はアーム１０の下面の先端部に取り付けられている。そして、透明シート３０の長手方向がアーム１０の延びる方向に直交するように、透明シート３０がアーム１０に取り付けられる。つまり、透明シート３０の長手方向は、円弧形状の軌道１４のノズル３の位置における接線方向に平行である。アーム１０の下面は水平な平坦面であるので、透明シート３０の取付け状態では、透明シート３０は水平姿勢に保たれる。透明シート３０の材料および大きさは、透明シート３０がノズル３への取付け状態において撓まないように、それぞれ選択および設定されている。
【００３２】
透明シート３０の表面には、基準枠（基準位置情報）３１および基準線（基準位置情報）３２が担持されている。基準枠３１は、透明シート３０の端縁の全域に沿う黒い太枠である。そのため、基準枠３１は矩形をなしている。基準線３２は、透明シート３０の幅方向に沿って延びる直線であり、基準枠３１の各線分と同じ幅の黒い太線からなる。基準線３２は、基準枠３１の一対の長辺３１ａの中点同士を結ぶ直線である。そのため、基準枠３１の重心位置３３が、基準線３２上に位置している。透明シート３０は、基準枠３１の重心位置３３にノズル３が位置するように、ノズル３に取り付けられる。
【００３３】
透明シート３０のノズル３への取付け状態では、基準線３２および基準枠３１の各短辺３１ｂが、アーム１０の延びる方向に沿って、すなわち軌道１４のノズル３の位置における接線に直交する方向に沿って延びている。また、この状態において、基準枠３１の各長辺３１ａはアーム１０の延びる方向に直交する方向に沿って、すなわち軌道１４のノズル３の位置における接線に沿って延びている。
【００３４】
透明シート３０の基準枠３１内の全域には、縞パターン３４が形成されている。縞パターン３４は、多数本の細い平行線からなる平行パターンであり、基準線３２（すなわち、基準枠３１の短辺３１ｂ）に沿って延びている。縞パターン３４の平行線間は等間隔である。各直線間の間隔は、スピンベース６を回転させたときにスピンベース６の上面１６に表れる同心円パターン５２（図４参照）と同程度の間隔に設定されている。透明シート３０のノズル３への取付け状態では、縞パターン３４がアーム１０の延びる方向、すなわち軌道１４のノズル３の位置における接線に直交する方向に沿って延びている。
【００３５】
ティーチングにおいては、回転状態にあるスピンベース６の上方を、ノズル３がスキャン（移動）される。このとき、ノズル３のスキャンに伴って、透明シート３０もスピンベース６の上方を移動する。スピンベース６の回転状態では、スピンベース６の上面１６に同心円パターン５２が表れる。そのため、透明シート３０の縞パターン３４が同心円パターン５２に重なることになる。縞パターン３４が同心円パターン５２に重なることにより、透明シート３０を上方から見たときに、モアレパターン６０（図８参照）が観測される。この実施形態に係るティーチングでは、このモアレパターン６０を用いて、ノズル３と、スピンベース６の上面１６の回転中心ＢＣとの位置関係が求められる。
【００３６】
再び、図２を参照して、カメラ４０は、アーム１０の先端部の上方に、取付部材（図示せず）を介して取り付けられている。カメラ４０は、透明シート３０を、その上方から撮像するものである。カメラ４０は、透明シート３０全体の画像を撮像することのできる位置に、その撮像視野を下方に向けた状態で設置されている。カメラ４０がアーム１０に取り付けられているので、アーム１０の揺動、すなわちノズル３のスキャンに伴ってカメラ４０も移動する。そのため、軌道１４上におけるノズル３の位置に関係なく、カメラ４０は透明シート３０全体の画像を撮像することができる。
【００３７】
カメラ４０は、たとえばＣＣＤイメージセンサを内蔵しており、ＣＣＤイメージセンサの撮像面に入射する光像を電気信号に変換して出力する。カメラ４０（ＣＣＤイメージセンサ）からの電気信号を取り出す配線は、制御部２０に接続されている。
制御部２０は、カメラ４０からの電気信号に基づいて、カメラ４０によって撮影された画像を取得する画像取得部２２と、カメラ４０によって撮影された画像を画像処理し、その画像からモアレパターン６０、基準線３２および基準枠３１を抽出する画像処理部２３と、画像処理部２３によって抽出されたモアレパターン６０の対称軸６１が画像処理部２３によって抽出された基準線３２に一致する時にモータ制御部２１からステッピングモータ１２の回転量（駆動情報）を取得する回転量取得部２４と、回転量取得部２４によって取得された回転量に基づいて教示情報を演算するための教示情報演算部２５と、この教示情報をモータ制御部２１に登録するための教示情報登録部２６とを含む。これらの機能処理部は、たとえば、制御部２０が所定のプログラム処理を実行することによってソフトウエア的に実現される。
【００３８】
図６は、ティーチング時における制御部２０による制御を説明するためのフローチャートである。図７は、ティーチング時におけるノズル３および透明シート３０の動きを説明するための平面図である。
教示情報を取得するティーチングの際には、制御部２０がチャック回転駆動機構４を制御して、スピンベース６を鉛直軸線まわりに回転させる（ステップＳ１）。これにより、スピンベース６の上面１６に、スピンベース６の回転中心ＢＣを中心とする同心円パターン５２が形成される。
【００３９】
また、モータ制御部２１は、ステッピングモータ１２を駆動する。これにより、アーム１０が揺動を開始する（ステップＳ２）。アーム１０の揺動開始後は、カメラ４０が、透明シート３０の上方から透明シート３０を含む視野範囲の画像を所定の時間間隔で繰り返し撮像する（ステップＳ３）。
アーム１０の揺動開始後は、ノズル３が軌道１４上を移動し、スピンベース６の上方領域に進入する。また、ノズル３の移動に伴って、透明シート３０もスピンベース６の上方領域に進入する。これにより、透明シート３０の縞パターン３４が同心円パターン５２に表れる。そのため、透明シート３０の縞パターン３４が同心円パターン５２に重なることになる。この状態では、透明シート３０を上方から見たときに、透明シート３０にモアレパターン６０が観測される。このモアレパターン６０は、所定の対称軸６１に対して線対称となるパターンである。この対称軸６１は、スピンベース６の回転中心ＢＣを通り、かつ縞パターン３４の延びる方向と同じ方向に延びる直線、すなわち、基準線３２と同方向に延びる直線である。別の言い方をすれば、モアレパターン６０は、同心円パターン５２の中心（スピンベース６の回転中心ＢＣ）を対称中心とする点対称のパターンである。
【００４０】
アーム１０の揺動が進むに従って、透明シート３０のスピンベース６に対する位置および姿勢が変化する。たとえば、透明シート３０は、図７に示す実線の状態、二点鎖線の状態および破線の状態の順に、位置および姿勢が変化する。
図８は、ティーチング時における透明シート３０に発生するモアレパターン６０の変化を示す平面図である。図８（ａ）は、図７の実線の状態に対応し、図８（ｂ）は、図７の二点鎖線の状態に対応している。また、図８（ｃ）は、図７の破線の状態に対応している。
【００４１】
前述のように、モアレパターン６０の対称軸６１は、スピンベース６の回転中心ＢＣを通り、かつ基準線３２と同方向に延びる直線である。そして、ノズル３が基準線３２上に位置しているので、ノズル３がスピンベース６の上面１６の回転中心ＢＣに対向しているとき（ノズル３が中心対向位置に位置しているとき）は、透明シート３０を上方から見たときに、モアレパターン６０の対称軸６１が基準線３２に一致している（図８（ｂ）参照）。また、ノズル３が未だ中心対向位置に到達していないときは、透明シート３０を上方から見たときに、モアレパターン６０の対称軸６１が基準線３２に対してノズル３のスキャン方向（透明シート３０の移動方向）下流側に位置している（図８（ａ）参照）。一方、ノズル３が中心対向位置を既に通過しているときは、透明シート３０を上方から見たときに、モアレパターン６０の対称軸６１が基準線３２に対してスキャン方向の上流側に位置している（図８（ｃ）参照）。
【００４２】
別の観点から見れば、モアレパターン６０の対称中心がスピンベース６の回転中心ＢＣ上にある。ノズル３が基準枠３１の重心位置３３に位置しているので、ノズル３がスピンベース６の上面１６の回転中心ＢＣに対向しているときは、透明シート３０を上方から見たときに、モアレパターン６０の対称中心が基準枠３１の重心位置３３に一致している（図８（ｂ）参照）。
【００４３】
再び、図６を参照して、カメラ４０によって撮像された画像を表す電気信号は、画像取得部２２に入力された後、画像処理部２３によって処理される。画像処理部２３は、画像を二値化し、画像全体から、モアレパターン６０、基準線３２および基準枠３１を抽出する。
画像処理部２３による画像処理結果は、回転量取得部２４に入力される。回転量取得部２４は、画像から抽出されたモアレパターン６０の対称軸６１が、画像から抽出された基準線３２に一致するか否かを、繰り返し調べる（ステップＳ４）。
【００４４】
モアレパターン６０の対称軸６１が基準線３２に一致した時は（ステップＳ４でＹＥＳ）、そのタイミングで、回転量取得部２４はモータ制御部２１からステッピングモータ１２の回転量を取得するとともに（ステップＳ５）、モータ制御部２１が、ステッピングモータ１２を制御して、アーム１０の揺動を停止させ、ノズル３の移動を停止させる（ステップＳ６）。また、制御部２０は、チャック回転駆動機構４を制御して、スピンベース６の回転を停止させる（ステップＳ７）。
【００４５】
そして、教示情報演算部２５は、ステップＳ５で取得された回転量に基づいて、教示情報を演算する（ステップＳ８）。具体的には、ノズル３を、ウエハＷの回転中心Ｃに対向する位置に配置するためにアーム１０を揺動させるのに必要なステッピングモータ１２の回転量が、教示情報として得られる。
この教示情報演算部２５によって得られた教示情報は、教示情報登録部２６に与えられる。その教示情報は、教示情報登録部２６によってモータ制御部２１に自動的に登録される（ステップＳ９）。これにより、モータ制御部２１に対するティーチングが完了する。その後、ステッピングモータ１２がそれまでと逆向きに回転駆動されて、ノズル３がホームポジション（図示せず）まで戻される。
【００４６】
ウエハＷを実際に処理する基板処理時においては、モータ制御部２１は、モータ制御部２１に登録されている教示情報を参照し、この教示情報に対応する数のパルスをステッピングモータ１２（ドライバ回路１３）に対して出力する。これにより、ノズル３のスキャン範囲を正確に制御できるから、処理液を用いたウエハＷの処理をむらなく行うことができる。
【００４７】
以上により、この実施形態によれば、スピンベース６の上面に模様シート５０を貼着し、ノズル３に透明シート３０を取り付け、その状態でスピンベース６が回転させられ、ノズル３が軌道１４に沿って移動させられる。このとき、ノズル３の上方から透明シート３０を含む範囲の画像が撮像され、その画像に対する処理によって、ノズル３がスピンベース６の回転中心Ｃに一致するときのノズル３の位置が特定される。こうして、ノズル３が回転中心Ｃに対向するときのステッピングモータ１２の駆動量が教示情報として自動的に登録される。したがって、ティーチングのための作業者による作業を大幅に軽減することができ、かつ、作業者による調整ばらつきの問題を回避できる。
【００４８】
また、図３に示す模様シート５０を、スピンベース６の回転中心ＢＣを含む領域を覆うようにスピンベース６の上面１６に貼着し、スピンベース６を回転させることにより、スピンベース６の上面１６に、回転中心ＢＣを中心とする同心円パターン５２が表れる（図４参照）。模様シート５０が上面１６に無造作に配置されても、回転中心ＢＣを含む領域を覆ってさえいれば、同心円パターン５２は表れる。そのため、模様シート５０のスピンベース６の上面１６への正確な位置合わせが不要である。これにより、作業者による調整ばらつきの問題をより一層回避できる。
【００４９】
図９は、本発明の第２実施形態に係るティーチング方法が適用される基板処理装置７０の構成を図解的に示す図である。
この第２実施形態において、図１〜図８に示す実施形態（第１実施形態）に示された各部に対応する部分には、第１実施形態と同一の参照符号を付して示し、説明を省略する。そして、この図９に示す基板処理装置７０が、第１実施形態に係る基板処理装置１と相違する点は、撮像手段として、処理室１７の天面をなす隔壁１７Ａの下面に取り付けられたカメラ７１を用いた点である。図９では、カメラ７１が隔壁１７Ａに直接取り付けられた状態を示すが、取付部材などを介して取り付けていてもよい。
【００５０】
カメラ７１は、アーム１０の先端部の上方に、取付部材（図示せず）を介して取り付けられている。カメラ７１は、スピンベース６の上面１６全体の画像を撮像することのできる位置に、その撮像視野を下方に向けた姿勢で取付部材に支持されており、透明シート３０およびスピンベース６の上面１６を、その上方から撮像する。
また、基板処理装置７０が、基板処理装置１と相違する他の点は、カメラ７１による撮像のタイミングで、回転量取得部７２がモータ制御部２１からステッピングモータ１２の回転量を取得する点である。そして、教示情報演算部２５には、撮像時における回転量、ならびにそのとき撮像された画像から抽出されたモアレパターン６０、基準線３２および基準枠３１が与えられる。
【００５１】
図１０は、基板処理装置７０のティーチング時における制御部２０による制御を説明するためのフローチャートである。この実施形態では、カメラ７１によって透明シート３０およびスピンベース６の上面１６が、次に述べる第１タイミングおよび第２タイミングの合計２回撮像される。第１タイミングは、アーム１０の駆動開始から第１時間が経過しているが、ノズル３が未だ中心対向位置に到達していないタイミングである。第２タイミングは、アーム１０の駆動開始から第２時間が経過し、ノズル３が中心対向位置を既に通過したタイミングである。
【００５２】
教示情報を取得するティーチングの際には、制御部２０がチャック回転駆動機構４を制御して、スピンベース６を鉛直軸線まわりに回転させる（ステップＳ１１）。これにより、スピンベース６の上面１６に、スピンベース６の回転中心ＢＣを中心とする同心円パターン５２（図４参照）が表れる（形成される）。また、モータ制御部２１は、ステッピングモータ１２を駆動する。これにより、アーム１０が揺動を開始する（ステップＳ１２）。
【００５３】
アーム１０の揺動開始後は、ノズル３が軌道１４上を移動し、スピンベース６の上方領域に進入する。また、ノズル３の移動に伴って、透明シート３０もスピンベース６の上方領域に進入する。これにより、透明シート３０の縞パターン３４が同心円パターン５２に表れる。そのため、透明シート３０の縞パターン３４が同心円パターン５２に重なることになる。この状態では、透明シート３０を上方から見たときに、透明シート３０にモアレパターン６０が観測される。
【００５４】
そして、ステッピングモータ１２の駆動開始から予め第１時間が経過して第１タイミングになると（ステップＳ１３でＹＥＳ）、カメラ７１が、透明シート３０の上方から透明シート３０およびスピンベース６の上面１６を含む視野範囲の画像を撮像する（ステップＳ１４）。撮像された画像は、画像取得部２２に入力された後、画像処理部２３に与えられる。カメラ７１によって撮像された画像を表す電気信号は、画像取得部２２に入力された後、画像処理部２３によって処理される。画像処理部２３は、画像を二値化し、画像全体から、モアレパターン６０、基準線３２および基準枠３１を抽出する。また、この第１タイミングにおいて、回転量取得部７２はモータ制御部２１からステッピングモータ１２の回転量を取得する（ステップＳ１５）。第１タイミングにおいて取得された回転量は、教示情報演算部２５に与えられる。
【００５５】
ステッピングモータ１２の駆動開始から予め第２時間が経過して第２タイミングになると（ステップＳ１６でＹＥＳ）、カメラ７１が、透明シート３０の上方から透明シート３０およびスピンベース６の上面１６を含む視野範囲の画像を撮像する（ステップＳ１７）。撮像された画像は、画像取得部２２に入力された後、画像処理部２３に与えられる。カメラ７１によって撮像された画像を表す電気信号は、画像取得部２２に入力された後、画像処理部２３によって処理される。画像処理部２３は、画像を二値化し、画像全体から、モアレパターン６０、基準線３２および基準枠３１を抽出する。また、この第２タイミングにおいて、回転量取得部７２はモータ制御部２１からステッピングモータ１２の回転量を取得する（ステップＳ１８）。第２タイミングにおいて取得された回転量は、教示情報演算部２５に与えられる。
【００５６】
そして、教示情報演算部２５は、第１タイミングにおいて撮像された画像（ステップＳ１４において撮像された画像）から抽出された基準線３２に対するモアレパターン６０の対称軸６１のずれ量を算出する。また、教示情報演算部２５は、第２タイミングにおいて撮像された画像（ステップＳ１７において撮像された画像）から抽出された基準線３２に対するモアレパターン６０の対称軸６１のずれ量を算出する。そして、教示情報演算部２５は、これらのずれ量と第１および第２タイミングで取得された回転量とに基づいて教示情報を演算により求める（ステップＳ１９）。具体的には、ノズル３を、ウエハＷの回転中心に対向する位置に配置するためにアーム１０を揺動させるのに必要なステッピングモータ１２の回転量が、教示情報として得られる。
【００５７】
この教示情報演算部２５によって得られた教示情報は、教示情報登録部２６に与えられる。そして、教示情報登録部２６によってモータ制御部２１に自動的に登録される（ステップＳ２０）。
その後、モータ制御部２１が、ステッピングモータ１２を制御して、アーム１０の揺動を停止させ、ノズル３の移動を停止させる（ステップＳ２１）。その後、ステッピングモータ１２がそれまでと逆向きに回転駆動されて、ノズル３がホームポジション（図示せず）まで戻される。これにより、モータ制御部２１に対するティーチングが完了する。
【００５８】
以上、この発明の２つの実施形態について説明したが、この発明は、さらに他の形態でも実施できる。
前述の第１実施形態では、ステップＳ４において、回転量取得部２４は、画像から抽出されたモアレパターン６０の対称軸６１が、画像から抽出された基準線３２に一致するか否かを繰り返し調べているが、基準枠３１内の画像が基準線３２に関して線対称な画像であるか否かを繰り返し調べるようにしてもよい。すなわち、基準枠３１内には、モアレパターン６０とアーム１０の輪郭が重ねられた画像が形成されるが、モアレパターン６０の対称軸６１が基準線３２に一致した場合（図８（ｂ）参照）、基準枠３１内の画像は、基準線３２に関して線対称な画像となる。このように、モアレパターン６０の対称軸６１と基準線３１とが一致するか否かを調べるのではなく、基準枠３１内の基準線３２を挟んだ両側の画像が線対称な画像であるか否かを繰り返し調べるようにしてもよい。この場合は、モアレパターン６０の対称軸６１や基準線３２がアーム１０の下に隠れて画像として認識しにくい場合であっても、ノズル３がスピンベース６の回転中心ＢＣに一致するときのノズル３の位置を特定することができる。
【００５９】
また、たとえば、基準位置情報として、基準線３２および基準枠３１の一方のみを透明シート３０に担持することもできる。
基準位置情報として基準枠３１のみを用いる場合、カメラ４０，７１によって撮像された画像に含まれるモアレパターン６０の対称軸６１と基準枠３１の重心位置３３とに基づいて、スピンベース６の上面１６の回転中心ＢＣとノズル３との位置関係を求めることができる。
【００６０】
すなわち、図６のステップＳ４において、回転量取得部２４は、画像から抽出されたモアレパターン６０の対称中心が、画像から抽出された基準枠３１の重心位置３３に一致するか否かを、繰り返し調べる。そして、モアレパターン６０の対称中心が基準枠３１の重心位置３３に一致した時、図６のステップＳ５において回転量取得部２４が、モータ制御部２１からステッピングモータ１２の回転量を取得する。
【００６１】
また、図１０のステップＳ１９において、教示情報演算部２５は、図１０のステップＳ１４において撮像された画像から抽出された基準枠３１の重心位置３３に対するモアレパターン６０の対称中心のずれ量を算出する。そして、教示情報演算部２５は、ステップＳ１７において撮像された画像から抽出された基準枠３１の重心位置３３に対するモアレパターン６０の対称中心のずれ量を算出する。そして、教示情報演算部２５は、これらのずれ量と、図１０のステップＳ１５およびステップＳ１８において取得された回転量とに基づいて教示情報を演算により求める。
【００６２】
図１１は、透明シートの他の構成例を示す図である。図１１（ａ）に示す透明シート３１０には、格子縞パターン３１１が担持されている。この格子縞パターン３１１は、軌道１４に沿う方向に延びる多数本の細い平行線と、軌道１４と直交する方向に延びる多数本の細い平行線とを組み合わせて構成されている。図１１（ｂ）に示すように、格子縞パターン３１１が同心円パターン５２（図４参照）に重ね合わされたときは、透明シート３２０を上方から見たときに、対称軸６１に対して線対称となるモアレパターン３１６が発生する。対称軸６１は、同心円パターン５２の中心（すなわちスピンベース６の回転中心ＢＣ）を通過しかつ軌道１４に直交する方向に延びる直線である。この透明シート３１０は、図１１（ａ）に示すように基準線３２（図１１（ａ）のみ図示。図１１（ｂ）には不図示）および基準枠３１（図１１（ａ）のみ図示。図１１（ｂ）には不図示）の両方を担持していてもよいし、基準線３２および基準枠３１の一方のみを担持するものであってもよい。
【００６３】
図１２は、透明シートのさらに他の構成例を示す図である。図１２（ａ）の透明シート３２０には、軌道１４に沿って延びる多数本の細い平行線からなる縞パターン３２１が形成されている。図１２（ｂ）に示すように、縞パターン３２１が同心円パターン５２に重ね合わされたときは、透明シート３２０を上方から見たときに、対称軸６１に直交する軸に対して線対称となるモアレパターン３２４が発生している。この透明シート３２０は、基準枠３１（図１２（ａ）のみ図示。図１２（ｂ）には不図示）を担持している。
【００６４】
図１３は、透明シートのさらに他の構成例を示す図である。図１３（ａ）に示す透明シート３３０は、軌道１４に直交する方向に対して所定角度傾斜した多数本の細い平行線からなる縞パターン３３１が形成されている。図１３（ｂ）に示すように、この縞パターン３３１が同心円パターン５２に重ね合わされたときは、透明シート３３０を上方から見たときに、同心円パターン５２の中心、すなわちスピンベース６の回転中心ＢＣを対称中心とする点対称のモアレパターン３３４が発生する。この透明シート３３０は、基準枠３１（図１３（ａ）のみ図示。図１３（ｂ）には不図示）を担持している。
【００６５】
また、透明シート３１，３１０，３２０，３３０の形状は、長方形に限られず、正方形など他の形態であってもよい。
さらに、基準枠３１は、透明シート３１，３１０，３２０，３３０の端縁上ではなく、透明シート３１，３１０，３２０，３３０の端縁から内寄りに離隔した位置に設けられていてもよい。
【００６６】
また、第１および第２実施形態において、教示情報であるステッピングモータ１２の回転量は、アーム１０の相対的な原点位置を基準とするものであってもよい。このとき、たとえば、ノズルが軌道１４上の所定位置（たとえば、ホームポジションに対向する位置）にあるときのアーム１０の位置を、この相対的な原点位置に設定することができる。
たとえば、第１実施形態において、アーム１０の揺動開始直後から、カメラ４０による撮像が繰り返し行われるものとして説明したが、ノズル３が中心対向位置に近づいた場合にだけ、カメラ４０による撮像が繰り返し行われてもよい。
【００６７】
また、第１実施形態において、ノズル３が中心対向位置に比較的近づいている場合、ノズル３が中心対向位置から比較的離れている場合と比べて、カメラ４０の撮像頻度が増加していてもよい。この場合、ステッピングモータ１２が１または数パルス分駆動される毎に、カメラ４０による撮像を行う構成であってよい。この場合、教示情報をより精度良く求めることができる。
【００６８】
また、第１実施形態において、カメラ４０が処理室１７の隔壁に取り付けられた構成であってもよい。
また、第２実施形態において、カメラ７１による撮像回数を合計２回として説明したが、カメラ７１による撮像回数は３回以上であってもよい。この場合、教示情報をさらに精度良く求めることができる。さらに、第２実施形態において、カメラ７１が、アーム１０に取り付けられた構成であってもよい。
【００６９】
図１４〜図２３は、模様シートの他の構成例を示す図である。図１４に示す模様シート８１は、市松模様パターン（以下、この図１４に示す市松模様パターンを「第１市松模様パターン」という。）８１１を担持している。第１市松模様パターン８１１は、黒色と白色とで構成されている。各正方形の一辺の長さはたとえば０．７（ｍｍ）である。この第１市松模様パターン８１１全体の白黒の面積比（白い部分と黒い部分との面積比）は、５：５である。このような第１市松模様パターン８１１の連続模様が、模様シート８１の表面内で全方向に連続しており、模様シート８１の全体に渡っている。
【００７０】
図１５に示す模様シート８２は、市松模様パターン（以下、この図１５に示す市松模様パターンを「第２市松模様パターン」という。）８２１を担持している。第２市松模様パターン８２１は、黒色と白色とで構成されている。この第２市松模様パターン８２１では、第１市松模様パターン８１１とは異なり、各正方形の辺が、模様シート８２の各辺に対して４５°傾斜している。このような第２市松模様パターン８２１の連続模様が、模様シート８２の表面内で全方向に連続しており、模様シート８２の全体に渡っている。
【００７１】
図１６に示す模様シート８３は、市松模様パターン（以下、この図１６に示す市松模様パターンを「第３市松模様パターン」という。）８３１を担持している。第３市松模様パターン８３１は、黒色と白色とで構成されている。各正方形の一辺の長さはたとえば０．８（ｍｍ）である。このような第３市松模様パターン８３１の連続模様が、模様シート８３の表面内で全方向に連続しており、模様シート８３の全体に渡っている。
【００７２】
図１７に示す模様シート８４は、市松模様パターン（以下、この図１７に示す市松模様パターンを「第４市松模様パターン」という。）８４１を担持している。第４市松模様パターン８４１は、黒色と白色とで構成されている。各黒画像の中に白の点像が含まれている。黒白の境界部分には多数の凹凸が形成されている。このような第４市松模様パターン８４１の連続模様が、模様シート８４の表面内で全方向に連続しており、模様シート８４の全体に渡っている。
【００７３】
図１８に示す模様シート８５は、点模様パターン８５１を担持している。点模様パターン８５１は、白い背景に黒い多数個の矩形の点像を有する模様である。各点像は、無秩序に並べられている。各点像の一辺の長さはたとえば１．０（ｍｍ）である。この点模様パターン８５１全体の白黒の面積比（白い部分と黒い部分との面積比）は、６：４である。このような点模様パターン８５１の連続模様が、模様シート８５の表面内で全方向に連続しており、模様シート８５の全体に渡っている。
【００７４】
図１９に示す模様シート８６は、格子縞パターン８６１を担持している。格子縞パターン８６１は、白い背景に、黒い直線からなる第１平行パターンと、第１平行パターンに直交するグレーの直線からなる第２平行パターンとを組み合わせたパターンである。このような格子縞パターン８６１の連続模様が、模様シート８６の表面内で全方向に連続しており、模様シート８６の全体に渡っている。
【００７５】
図２０に示す模様シート８７は、水玉模様パターン（以下、この図２０に示す水玉模様パターンを「第２水玉模様パターン」という。）８７１を担持している。第２水玉模様パターン８７１は、白い背景に黒い多数個の水玉を有する模様である。水玉は、矩形をなしている。ある水玉の周囲を取り囲むように当該水玉を中心とする円周上を、４つの水玉が配置されている。各水玉の直径はたとえば０．５（ｍｍ）である。この第２水玉模様パターン８７１全体の白黒の面積比（白い部分と黒い部分との面積比）は、７：３である。このような第２水玉模様パターン８７１の連続模様が、模様シート８７の表面内で全方向に連続しており、模様シート８７の全体に渡っている。
【００７６】
図２１に示す模様シート８８は、水玉模様パターン（以下、この図２１に示す水玉模様パターンを「第３水玉模様パターン」という。）８８１を担持している。第３水玉模様パターン８８１は、白い背景に黒い多数個の水玉を有する模様である。水玉は、円形をなしている。ある水玉の周囲を取り囲むように当該水玉を中心とする円周上を、４つの水玉が配置されている。各水玉の直径はたとえば１（ｍｍ）である。この第３水玉模様パターン８８１全体の白黒の面積比（白い部分と黒い部分との面積比）は、６：４である。このような第３水玉模様パターン８８１の連続模様が、模様シート８８の表面内で全方向に連続しており、模様シート８８の全体に渡っている。
【００７７】
図２２に示す模様シート８９は、水玉模様パターン（以下、この図２２に示す水玉模様パターンを「第４水玉模様パターン」という。）８９１を担持している。第４水玉模様パターン８９１は、白い背景に黒い多数個の水玉を有する模様である。水玉は、円形をなしている。ある水玉の周囲を取り囲むように当該水玉を中心とする円周上を、４つの水玉が配置されている。各水玉の直径はたとえば１．２（ｍｍ）である。この第４水玉模様パターン８９１全体の白黒の面積比（白い部分と黒い部分との面積比）は、７：３である。このような第４水玉模様パターン８９１の連続模様が、模様シート８９の表面内で全方向に連続しており、模様シート８９の全体に渡っている。
【００７８】
図２３に示す模様シート９０は、水玉模様パターン（以下、この図２３に示す水玉模様パターンを「第５水玉模様パターン」という。）９０１を担持している。第５水玉模様パターン９０１は、白い背景に黒い多数個の水玉を有する模様である。水玉は、円形をなしている。ある水玉の周囲を取り囲むように当該水玉を中心とする円周上を、６つの水玉が等角度間隔で配置されている。各水玉の直径はたとえば１．５（ｍｍ）である。この第５水玉模様パターン９０１全体の白黒の面積比（白い部分と黒い部分との面積比）は、５：５である。このような第５水玉模様パターン９０１の連続模様が、模様シート９０の表面内で全方向に連続しており、模様シート９０の全体に渡っている。
【００７９】
これら図１４〜図２３に示す模様シート８１，８２，８３，８４，８５，８６，８７，８８，８９，９０が、模様シート５０に代えて、スピンベース６の上面１６に貼られている場合、スピンベース６の回転に伴って、スピンベース６の上面に図４に示すような同心円パターン５２が形成される。ただし、模様シート５０が最も明確な同心円パターン５２が形成されるので、より正確なティーチングを行うことができる。
【００８０】
各模様パターン５１，８１１，８２１，８３１，８４１，８５１，８６１，８７１，８８１，８９１，９０１は、色相の無い白黒模様を例に挙げて説明したが、模様の明部および／または暗部に所定の色相を有する色が用いられていてもよい。
また、模様パターン５１，８１１，８２１，８３１，８４１，８５１，８６１，８７１，８８１，８９１，９０１が、印字や刻印などにより、スピンベース６の上面１６に直接形成されていてもよい。
【００８１】
また、前述の第１実施形態では、図５に示すように透明シート３０はその長手方向がアーム１０の延びる方向に直交するように、アーム１０に取り付けられているが、透明シート３０の取り付け方向は必ずしもこの方向に限定されず、透明シート３０の長手方向がアーム１０の延びる方向から傾斜した状態で取り付けられてもよい。この場合であっても、ノズル３がスピンベース６の回転中心ＢＣに一致したときは、基準枠３１内の画像は基準線３２に関して線対称となるため（図２４参照）、基準枠３１内の画像が線対称であるか否かを調べることによってノズル３がスピンベース６の回転中心ＢＣに一致したか否かを調べることができる。
【００８２】
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
【符号の説明】
【００８３】
１ 基板処理装置
２ スピンチャック（基板保持手段）
３ ノズル
６ スピンベース（ベース）
１２ ステッピングモータ（ノズル移動手段）
１４ 軌道
１６ 上面（ベースの主面）
２１ モータ制御部（動作制御手段）
３０ 透明シート
３１ 基準枠（基準位置情報）
３２ 基準線（基準位置情報）
３３ 重心位置（基準枠の重心位置）
３４ 縞パターン
４０ カメラ（撮像手段）
５１ 第１水玉模様パターン（連続模様パターン）
７０ 基板処理装置
７１ カメラ（撮像手段）
３１０ 透明シート
３１１ 格子縞パターン（縞パターン）
３２０ 透明シート
３２１ 縞パターン
３３０ 透明シート
３３１ 縞パターン
８１１ 第１市松模様パターン（連続模様パターン）
８２１ 第２市松模様パターン（連続模様パターン）
８３１ 第３市松模様パターン（連続模様パターン）
８４１ 第４市松模様パターン（連続模様パターン）
８５１ 点模様パターン（連続模様パターン）
８６１ 格子縞パターン（格子模様パターン、連続模様パターン）
８７１ 第２水玉模様パターン（連続模様パターン）
８８１ 第３水玉模様パターン（連続模様パターン）
８９１ 第４水玉模様パターン（連続模様パターン）
９０１ 第５水玉模様パターン（連続模様パターン）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板処理装置の制御のための教示情報を登録するためのティーチング方法であって、
前記基板処理装置は、主面に直交する所定の回転軸線まわりに回転されるベースを有する基板保持手段と、前記ベースの主面に沿う所定の軌道に沿ってノズルを移動させるノズル移動手段と、前記ノズル移動手段を制御する動作制御手段とを含み、
前記ティーチング方法は、
一定のコントラストを有する明部と暗部とを含み、前記回転軸線まわりに回転したときに同心円パターンが表れる連続模様パターンを、前記ベースの主面に形成する連続模様パターン形成工程と、
前記ベースを、前記回転軸線まわりに回転させるベース回転工程と、
前記同心円パターンに重ね合わせられることによりモアレパターンが発生する縞パターンと、基準位置情報とを担持した透明シートを、前記基準位置情報と前記ノズルとが予め定める位置関係となるように前記ノズルに固定するシート取付工程と、
前記ベース回転工程と並行して実行され、前記ノズル移動手段を駆動して、前記透明シートが取り付けられた前記ノズルを前記軌道に沿って移動させるノズル移動工程と、
撮像手段によって、前記透明シートおよび前記ベースの主面を、当該主面に交差する方向から撮像する撮像工程と、
前記撮像工程で撮像される画像に含まれる前記モアレパターンおよび前記基準位置情報に基づいて、前記ベースの主面の回転中心に前記ノズルが対向しているときの前記ノズル移動手段の駆動情報を取得する駆動情報取得工程と、
前記取得された駆動情報に基づいて、前記ノズル移動手段を制御するための教示情報を前記動作制御手段に登録する登録工程とを含む、基板処理装置のためのティーチング方法。
【請求項２】
前記連続模様パターンは、水玉模様パターンを含む、請求項１記載の基板処理装置のためのティーチング方法。
【請求項３】
前記基準位置情報は、前記所定の軌道に直交する基準線を含み、
前記シート取付工程は、前記基準線上に前記ノズルが位置するように、前記透明シートを前記ノズルに取り付ける工程を含み、
前記駆動情報取得工程は、前記撮像工程で撮像される前記モアレパターンの対称軸が前記基準線に一致するときの前記ノズル移動手段の駆動情報を取得する工程を含む、請求項１または２記載の基板処理装置のためのティーチング方法。
【請求項４】
前記基準位置情報は、前記所定の軌道に直交する一対の辺を有する矩形の基準枠を含み、
前記シート取付工程は、前記基準枠の重心位置に前記ノズルが位置するように、前記透明シートを前記ノズルに取り付ける工程を含み、
前記駆動情報取得工程は、前記撮像工程で撮像される前記モアレパターンの対称中心が前記基準枠の重心位置に一致するときの前記ノズル移動手段の駆動情報を取得する工程を含む、請求項１または２記載の基板処理装置のためのティーチング方法。
【請求項１】
基板処理装置の制御のための教示情報を登録するためのティーチング方法であって、
前記基板処理装置は、主面に直交する所定の回転軸線まわりに回転されるベースを有する基板保持手段と、前記ベースの主面に沿う所定の軌道に沿ってノズルを移動させるノズル移動手段と、前記ノズル移動手段を制御する動作制御手段とを含み、
前記ティーチング方法は、
一定のコントラストを有する明部と暗部とを含み、前記回転軸線まわりに回転したときに同心円パターンが表れる連続模様パターンを、前記ベースの主面に形成する連続模様パターン形成工程と、
前記ベースを、前記回転軸線まわりに回転させるベース回転工程と、
前記同心円パターンに重ね合わせられることによりモアレパターンが発生する縞パターンと、基準位置情報とを担持した透明シートを、前記基準位置情報と前記ノズルとが予め定める位置関係となるように前記ノズルに固定するシート取付工程と、
前記ベース回転工程と並行して実行され、前記ノズル移動手段を駆動して、前記透明シートが取り付けられた前記ノズルを前記軌道に沿って移動させるノズル移動工程と、
撮像手段によって、前記透明シートおよび前記ベースの主面を、当該主面に交差する方向から撮像する撮像工程と、
前記撮像工程で撮像される画像に含まれる前記モアレパターンおよび前記基準位置情報に基づいて、前記ベースの主面の回転中心に前記ノズルが対向しているときの前記ノズル移動手段の駆動情報を取得する駆動情報取得工程と、
前記取得された駆動情報に基づいて、前記ノズル移動手段を制御するための教示情報を前記動作制御手段に登録する登録工程とを含む、基板処理装置のためのティーチング方法。
【請求項２】
前記連続模様パターンは、水玉模様パターンを含む、請求項１記載の基板処理装置のためのティーチング方法。
【請求項３】
前記基準位置情報は、前記所定の軌道に直交する基準線を含み、
前記シート取付工程は、前記基準線上に前記ノズルが位置するように、前記透明シートを前記ノズルに取り付ける工程を含み、
前記駆動情報取得工程は、前記撮像工程で撮像される前記モアレパターンの対称軸が前記基準線に一致するときの前記ノズル移動手段の駆動情報を取得する工程を含む、請求項１または２記載の基板処理装置のためのティーチング方法。
【請求項４】
前記基準位置情報は、前記所定の軌道に直交する一対の辺を有する矩形の基準枠を含み、
前記シート取付工程は、前記基準枠の重心位置に前記ノズルが位置するように、前記透明シートを前記ノズルに取り付ける工程を含み、
前記駆動情報取得工程は、前記撮像工程で撮像される前記モアレパターンの対称中心が前記基準枠の重心位置に一致するときの前記ノズル移動手段の駆動情報を取得する工程を含む、請求項１または２記載の基板処理装置のためのティーチング方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図１６】
【図１７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図１６】
【図１７】
【公開番号】特開２０１１−２１１０９３（Ｐ２０１１−２１１０９３Ａ）
【公開日】平成２３年１０月２０日（２０１１．１０．２０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−７９５２６（Ｐ２０１０−７９５２６）
【出願日】平成２２年３月３０日（２０１０．３．３０）
【出願人】（０００２０７５５１）大日本スクリーン製造株式会社 (2,640)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１０月２０日（２０１１．１０．２０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年３月３０日（２０１０．３．３０）
【出願人】（０００２０７５５１）大日本スクリーン製造株式会社 (2,640)
【Ｆターム（参考）】
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