導電接続材料の製造方法、端子間の接続方法、接続端子の形成方法、半導体装置および電子機器
【課題】本発明の目的は、対向する接続端子間において、良好な電気的接続と隣接端子間において高い絶縁信頼性を得ることを可能にする、樹脂成分を含有する樹脂組成物層と金属層の積層構造を有する導電接続材料の製造方法を提供することである。
【解決手段】上記課題は、樹脂成分を含有する樹脂組成物層に、支持基材上に真空スパッタリング法または真空蒸着法により形成した金属層を転写させることにより解決することが可能となる。
【解決手段】上記課題は、樹脂成分を含有する樹脂組成物層に、支持基材上に真空スパッタリング法または真空蒸着法により形成した金属層を転写させることにより解決することが可能となる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電接続材料の製造方法、端子間の接続方法、接続端子の形成方法、半導体装置および電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器の高機能化および小型化の要求に伴い、電子材料における接続端子間の狭ピッチ化がますます進む方向にあり、微細な配線回路における端子間接続も高度化している。
【０００３】
かかる端子間の接続方法として、ＩＣチップが備える端子を、回路基板が備える端子に電気的に接続する場合、例えば、以下に示すような方法が用いられる。
すなわち、まず、回路基板が備える端子の表面に半田層を形成する。そして、接続すべき端子同士を半田層を介して互いに接触させた状態で、半田層を加熱して溶融させた後、再び固化させることにより、半田層を介してこれら端子同士を電気的に接続させることができる。
【０００４】
上記のような端子間の接続方法では、回路基板が備える端子の表面に半田層を形成する必要があるが、この半田層の形成に、めっき法や印刷法が用いられている（例えば、特許文献１、２参照）。これらの方法によれば、複数の端子の表面に、一括して半田層を形成することができる。
【０００５】
しかしながら、めっき法を用いた場合には、半田層を形成するための装置が大掛かりとなったり、薬液の管理にも多くの工数を必要とする。さらに、端子にメッキリードを設ける必要があるため、高密度な端子（配線）に半田層を形成する際には、高いパターニング精度で形成するのが困難であった。また、膜厚の厚い半田層を形成する場合には、長時間を要するため、かかる構成の半田層の形成には不向きであった。
さらに、印刷法を用いた場合には、膜厚の薄い半田層の形成には不向きであったり、端子が高密度なものであると、この端子の表面に優れた精度で半田層を形成することができないという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開昭６３−２５６２６８号公報
【特許文献２】特開平０３−０１８０９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、大掛かりな装置を用いることなく、高密度な端子同士であっても高い精度で端子間を接続、または接続端子を形成することができる導電接続材料の製造方法、かかる導電接続材料の製造方法により製造された導電接続材料を用いた信頼性の高い端子間の接続方法、端子形成方法、信頼性の高い半導体装置、および、電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような目的は下記（１）〜（１６）記載の本発明により達成される。
（１）錫を主成分とする合金または錫の金属層を真空スパッタリング法または真空蒸着法
により支持基材上に形成する金属層形成工程と、樹脂成分を含有する第１の樹脂組成物層を形成する第１の樹脂組成物層形成工程と、前記第１の樹脂組成物層の少なくとも一方の面に前記金属層を前記支持基材から転写させることにより、前記第１の樹脂組成物と前記金属層とを積層する金属層転写工程と、を有することを特徴とする導電接続材料の製造方法、
（２）さらに、前記金属層の第１の樹脂組成物層と接する面と反対側の面に、樹脂成分を含有する第２の樹脂組成物層を形成する、第２の樹脂組成物形成工程を有する（１）に記載の導電接続材料の製造方法、
（３）前記金属層は、錫（Ｓｎ）、鉛（Ｐｂ）、銀（Ａｇ）、ビスマス（Ｂｉ）、インジウム（Ｉｎ）、亜鉛（Ｚｎ）、ニッケル（Ｎｉ）、アンチモン（Ｓｂ）、鉄（Ｆｅ）、アルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）および銅（Ｃｕ）からなる群から選択される少なくとも２種以上の金属の合金、錫またはインジウムの単体である（１）または（２）に記載の導電接続材料の製造方法、
（４）前記金属層は、Ｓｎ−Ｐｂ合金、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ合金またはＳｎ−Ａｇ合金を主材料として構成される（１）ないし（３）のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法、（５）前記金属層は、Ｓｎ−３７Ｐｂ合金またはＳｎ−３．０Ａｇ−０．５Ｃｕ合金を主材料として構成される（１）ないし（４）のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法、（６）前記第１の樹脂組成物層と第２の樹脂組成物層は、前記樹脂成分とフラックス機能を有する化合物とを含有する樹脂組成物で構成される（１）ないし（５）に記載の導電接続材料の製造方法、
（７）前記フラックス機能を有する化合物は、フェノール性水酸基およびカルボキシル基のうちの少なくとも一方を有する化合物を含有する（６）に記載の導電接続材料の製造方法。
（８）前記フラックス機能を有する化合物は、下記一般式（１）で表わされる化合物を含有する（６）に記載の導電接続材料の製造方法、
ＨＯＯＣ−（ＣＨ2）ｎ−ＣＯＯＨ・・・・・（１）
（式（１）中、ｎは、１〜２０の整数である。）
（９）前記フラックス機能を有する化合物は、下記一般式（２）および下記一般式（３）で表わされる化合物のうちの少なくとも一方を含有する（６）または（７）に記載の導電接続材料の製造方法、
【化１】
［式中、Ｒ１〜Ｒ５は、それぞれ独立して、１価の有機基であり、Ｒ１〜Ｒ５の少なくとも一つは水酸基である。］
【化２】
［式中、Ｒ６〜Ｒ２０は、それぞれ独立して、１価の有機基であり、Ｒ６〜Ｒ２０の少なくとも一つは水酸基またはカルボキシル基である。］
（１０）前記樹脂組成物において、前記フラックス機能を有する化合物の含有量は、１〜５０重量％である（６）ないし（９）のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法、
（１１）（１）ないし（１１）のいずれかに記載の導電接続シートの製造方法で製造された導電接続材料を、基材が有する端子と対向基材が有する端子との間に配置する配置工程と、
前記金属材料の融点以上であり、かつ、前記樹脂組成物層の硬化が完了しない温度で前記導電接続シートを加熱する加熱工程と、前記樹脂組成物層を硬化させる硬化工程とを有し、
前記基材が有する端子または前記対向基材が有する端子の少なくとも一方が、前記基材または前記対向基材から突出し、前記配置工程において、突出する端子側に、前記第１の樹脂組成物層が位置するように前記導電接続シートを配置することを特徴とする端子間の接続方法、
（１２）（１）ないし（１１）のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法で製造された導電接続材料を、基材が有する端子と対向基材が有する端子との間に配置する配置工程と、
前記金属材料の融点以上であり、かつ、前記樹脂組成物層が軟化する温度で前記導電接続シートを加熱する加熱工程と、前記樹脂組成物層を固化させる固化工程とを有し、前記基材が有する端子または前記対向基材が有する端子の少なくとも一方が、前記基材または前記対向基材から突出し、前記配置工程において、突出する端子側に、前記第１の樹脂組成物層が位置するように前記導電接続シートを配置することを特徴とする端子間の接続方法、
（１３）（１）ないし（１１）のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法で製造された導電接続材料を、端子を有する基材上に配置する配置工程と、前記金属材料の融点以上であり、かつ、前記樹脂組成物層の硬化が完了しない温度で前記導電接続材料を加熱する加熱工程とを有し、前記基材が有する端子が、前記基材から突出し、前記配置工程において、前記端子側に、前記第１の樹脂組成物層が位置するように前記導電接続材料を配置することを特徴とする特徴とする接続端子の形成方法、
（１４）（１）ないし（１１）のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法で製造された導電接続材料を、端子を有する基材上に配置する配置工程と、前記金属材料の融点以上であり、かつ、前記樹脂組成物層が軟化する温度で前記導電接続材料を加熱する加熱工程とを有し、前記基材が有する端子が、前記基材から突出し、前記配置工程において、前記端子側に、前記第１の樹脂組成物層が位置するように前記導電接続材料を配置することを特徴とする特徴とする接続端子の形成方法、
（１５）対向する端子同士が、（１）ないし（１１）のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法で製造された導電接続材料を用いて形成された接続部を介して電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。
（１６）対向する端子同士が、（１）ないし（１１）のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法で製造された導電接続材料を用いて形成された接続部を介して電気的に接続されていることを特徴とする電子機器。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、大掛かりな装置を用いることなく、高密度な端子同士であっても高い精度で端子間を接続、または接続端子を形成することができる導電接続材料の製造方法、かかる導電接続材料の製造方法により製造された導電接続材料を用いた信頼性の高い端子間の接続方法、端子形成方法、信頼性の高い半導体装置、および、電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明に用いる金属層の形状の一例を示す平面模式図である。
【図２】本発明の端子間の接続方法において、端子間に導電接続材料を配置した後の基板及び導電接続材料の状態の一例を概略的に示す断面図である。
【図３】本発明の端子間の接続方法において、端子間に配置した導電接続材料を加熱、硬化／固化した後の基板、導電性領域及び絶縁性領域の状態の一例を概略的に示す断面図である。
【図４】本発明の端子間の接続方法において、端子間に導電接続材料を配置した後の基板及び導電接続材料の状態の一例を概略的に示す断面図である。
【図５】本発明の接続端子の製造方法において、基板上に設けられた電極上に導電接続材料を配置した後の基板及び導電接続材料の状態の一例を概略的に示す断面図である。
【図６】本発明の接続端子の製造方法において、基板上に設けられた電極上に導電接続材料を配置した後の基板及び導電接続材料の状態の一例を概略的に示す断面図である。
【図７】本発明の接続端子の製造方法において、基板の電極上に配置した導電接続材料を加熱、硬化／固化した後の基板、導電性領域及び絶縁性領域の状態の一例を概略的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の導電接続材料の製造方法、端子間の接続方法、接続端子の形成方法、半導体装置および電子機器についてそれぞれ具体的に説明する。
【００１２】
１．導電接続材料
本発明の導電接続材料の製造方法により得られた導電接続材料は、樹脂組成物層と錫を主成分とする合金または錫の金属層とから構成される。その形態は、樹脂組成物層と金属層とからなる多層構造を有する積層体であり、樹脂組成物層及び金属層は各々一層であっても複数層であってもよい。導電接続材料の金属層は、支持基材上に直接真空スパッタリング法または真空蒸着法により形成された金属層を支持基材から樹脂組成物上に転写させることにより作製され、その積層構造は特に制限されず、樹脂組成物層と金属層との二層構造（樹脂組成物層／金属層）でもよいし、樹脂組成物層あるいは金属層の何れか又は両方を複数含む三層構造又はそれ以上の多層構造でもよい。なお、樹脂組成物層又は金属層を複数用いる場合、各層の組成は同一でもよく、異なっていてもよい。
【００１３】
本発明の一実施形態では、金属層の表面酸化膜を、フラックス機能を有する化合物で還元する観点から、金属層の上下層は樹脂組成物層であることが好ましい。例えば、三層構造（樹脂組成物層／金属層／樹脂組成物層）が好ましい。この場合、金属層の両側にある樹脂組成物層の厚みは、同一でもよく、異なっていてもよい。樹脂組成物層の厚みは、接
続しようとする端子の導体厚みなどによって適宜調整すればよい。例えば、金属層の両側にある樹脂組成物層の厚みが異なる導電接続材料を用いて接続端子を製造する場合、厚みが薄い方を一方の接続端子側（電極側）に配置することが好ましい。このように、金属層と接続端子との距離を短くすることで、接続端子部分への錫を主成分とする合金または錫の凝集を制御しやすくなる。
【００１４】
本発明の他の実施形態において、例えば半導体ウエハ等の電子部材に接続端子を製造する場合、導電接続材料が金属層の片側にのみ樹脂組成物層を有していると、金属層の一部を露出させることができ好ましい。二層構造の導電接続材料を用いて対向する接続端子同士を接続する場合、樹脂組成物層側が接続端子と接するように配置してもよいし、金属層側が接続端子と接するように配置してもよいが、金属層側が接続端子と接するように配置した方が端子へ搭載されやすいため好ましい。二層構造の導電接続材料を用いて対向する電子部材の接続端子同士を接続する場合、対向する電子部材の双方に該導電接続材料を貼り付け、その後、導電接続材料付き電子部材を貼り合わせることが好ましいが、片側の端子側に二層構造の導電接続材料を貼り付け、他方の端子側には樹脂組成物層のみを貼り付けて、その後、電子部材同士を貼り合せてもよい。
【００１５】
次に、本発明で用いる樹脂組成物及び金属層についてそれぞれ説明する。
【００１６】
（１）樹脂組成物層
本発明において、樹脂組成物層は、樹脂成分を含有する樹脂組成物で構成される。樹脂組成物は、常温で液状又は固形状のいずれの形態であってもよい。ここで「常温で液状」とは、常温（２５℃）で一定の形態を持たない状態を意味する。ペースト状も液状に含まれる。
【００１７】
本発明では、樹脂組成物として、硬化性樹脂組成物及び熱可塑性樹脂組成物のいずれを用いてもよい。本発明で用いる硬化性樹脂組成物としては、加熱又は化学線を照射することにより硬化するものなどが挙げられる。硬化後の線膨張率や弾性率等の機械特性に優れるという点では、熱硬化性樹脂組成物が好ましい。本発明で用いる熱可塑性樹脂組成物としては、所定の温度に加熱することにより、成形が可能な程度に柔軟性を有するものであれば、特に制限されない。
【００１８】
（ａ）硬化性樹脂組成物
本発明で用いる硬化性樹脂組成物には、硬化性樹脂及のほか、必要に応じて、フィルム形成性樹脂、硬化剤、硬化促進剤、フラックス機能を有する化合物、シランカップリング剤、充填剤などが含まれる。
【００１９】
（ｉ）硬化性樹脂
本発明で用いる硬化性樹脂は、通常、半導体装置製造用の接着剤成分として使用できるものであれば特に限定されない。例えば、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、シリコーン樹脂、オキセタン樹脂、フェノール樹脂、（メタ）アクリレート樹脂、ポリエステル樹脂（不飽和ポリエステル樹脂）、ジアリルフタレート樹脂、マレイミド樹脂、ポリイミド樹脂（ポリイミド前駆体樹脂）、ビスマレイミド−トリアジン樹脂などが挙げられる。特に、エポキシ樹脂、（メタ）アクリレート樹脂、フェノキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、シリコーン樹脂、マレイミド樹脂、ビスマレイミド−トリアジン樹脂からなる群より選ばれる少なくとも１種を含む熱硬化性樹脂を用いることが好ましい。中でも、硬化性と保存性、硬化物の耐熱性、耐湿性、耐薬品性に優れるという観点からエポキシ樹脂を用いることが好ましい。これらの硬化性樹脂は１種単独で用いても、２種以上を併用してもよい。
【００２０】
硬化性樹脂の含有量は硬化性樹脂組成物の形態に応じて適宜設定することができる。
例えば、硬化性樹脂組成物が液状の場合、硬化性樹脂の含有量は、硬化性樹脂組成物の全重量に対して、１０重量％以上が好ましく、１５重量％以上がより好ましく、２０重量％以上がさらに好ましく、２５重量％以上がさらにより好ましく、３０重量％以上がなお好ましく、３５重量％以上が特に好ましい。また、１００重量％未満が好ましく、９５重量％以下がより好ましく、９０重量％以下がさらに好ましく、７５重量％以下がさらにより好ましく、６５重量％以下がなお好ましく、５５重量％以下が特に好ましい。
硬化性樹脂組成物が固形状の場合は、硬化性樹脂の含有量は、硬化性樹脂組成物の全重量に対して、５重量％以上が好ましく、１０重量％以上がより好ましく、１５重量％以上がさらに好ましく、２０重量％以上が特に好ましい。また、９０重量％以下が好ましく、８５重量％以下がより好ましく、８０重量％以下がさらに好ましく、７５重量％以下がさらにより好ましく、６５重量％以下がなお好ましく、５５重量％以下が特に好ましい。
硬化性樹脂の含有量が前記範囲内にあると端子間の電気的接続強度及び機械的接着強度を十分に確保することができる。
【００２１】
本発明では、室温で液状及び室温で固形状のいずれのエポキシ樹脂を使用してもよい。室温で液状のエポキシ樹脂と室温で固形状のエポキシ樹脂とを併用してもよい。硬化性樹脂組成物が液状の場合には、室温で液状のエポキシ樹脂を用いることが好ましく、硬化性樹脂組成物が固形状の場合には、液状及び固形状のいずれのエポキシ樹脂を使用してもよいが、固形状のエポキシ樹脂を使用する場合はフィルム形成性樹脂を適宜併用することが好ましい。
【００２２】
室温（２５℃）で液状のエポキシ樹脂としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂などが好ましく挙げられる。ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂とビスフェノールＦ型エポキシ樹脂とを併用してもよい。
室温で液状のエポキシ樹脂のエポキシ当量は、１５０〜３００ｇ／ｅｑが好ましく、１６０〜２５０ｇ／ｅｑがより好ましく、１７０〜２２０ｇ／ｅｑが特に好ましい。前記エポキシ当量が上記下限未満になると硬化物の収縮率が大きくなる傾向があり、反りが生じることがある。他方、前記上限を超えると、フィルム形成性樹脂を併用した場合に、フィルム形成性樹脂、特にポリイミド樹脂との反応性が低下する傾向にある。
【００２３】
室温（２５℃）で固形状のエポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、３官能エポキシ樹脂、４官能エポキシ樹脂などが挙げられる。中でも、固形３官能エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂などが好ましい。これらのエポキシ樹脂は１種単独で用いても、２種以上を併用してもよい。
室温で固形状のエポキシ樹脂のエポキシ当量は、１５０〜３０００ｇ／ｅｑが好ましく、１６０〜２５００ｇ／ｅｑがより好ましく、１７０〜２０００ｇ／ｅｑが特に好ましい。
室温で固形状のエポキシ樹脂の軟化点は、４０〜１２０℃が好ましく、５０〜１１０℃がより好ましく、６０〜１００℃が特に好ましい。前記軟化点が前記範囲内にあると、タック性を抑えることができ、容易に取り扱うことが可能となる。
【００２４】
（ｉｉ）フィルム形成性樹脂
固形状の硬化性樹脂組成物を使用する場合、前記硬化性樹脂とフィルム形成性樹脂とを併用することが好ましい。本発明で用いるフィルム形成性樹脂としては、有機溶媒に可溶であり、単独で成膜性を有するものであれば特に制限はない。熱可塑性樹脂又は熱硬化性樹脂のいずれのものも使用することができ、また、これらを併用することもできる。具体的に、フィルム形成性樹脂としては、（メタ）アクリル系樹脂、フェノキシ樹脂、ポリエ
ステル樹脂（飽和ポリエステル樹脂）、ポリウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、シロキサン変性ポリイミド樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリプロピレン樹脂、スチレン−ブタジエン−スチレン共重合体、スチレン−エチレン−ブチレン−スチレン共重合体、ポリアセタール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ブチルゴム、クロロプレンゴム、ポリアミド樹脂、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン−アクリル酸共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体、ポリ酢酸ビニル、ナイロンなどが挙げられる。中でも、（メタ）アクリル系樹脂、フェノキシ樹脂、ポリエステル樹脂及びポリイミド樹脂が好ましい。フィルム形成性樹脂は１種単独で用いても、２種以上を併用してもよい。
【００２５】
なお、本明細書において、「（メタ）アクリル系樹脂」とは、（メタ）アクリル酸及びその誘導体の重合体、又は（メタ）アクリル酸及びその誘導体と他の単量体との共重合体を意味する。「（メタ）アクリル酸」などと表記するときは、「アクリル酸又はメタクリル酸」などを意味する。
【００２６】
本発明で用いる（メタ）アクリル系樹脂としては、例えば、ポリアクリル酸、ポリメタクリル酸、ポリアクリル酸メチル、ポリアクリル酸エチル、ポリアクリル酸ブチル、ポリアクリル酸−２−エチルヘキシルなどのポリアクリル酸エステル、ポリメタクリル酸メチル、ポリメタクリル酸エチル、ポリメタクリル酸ブチルなどのポリメタクリル酸エステル、ポリアクリロニトリル、ポリメタクリロニトリル、ポリアクリルアミド、アクリル酸ブチル−アクリル酸エチル−アクリロニトリル共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン−アクリル酸共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体、アクリロニトリル−スチレン共重合体、メタクリル酸メチル−スチレン共重合体、メタクリル酸メチル−アクリロニトリル共重合体、メタクリル酸メチル−α−メチルスチレン共重合体、アクリル酸ブチル−アクリル酸エチル−アクリロニトリル−２−ヒドロキシエチルメタクリレート−メタクリル酸共重合体、アクリル酸ブチル−アクリル酸エチル−アクリロニトリル−２−ヒドロキシエチルメタクリレート−アクリル酸共重合体、アクリル酸ブチル−アクリロニトリル−２−ヒドロキシエチルメタクリレート共重合体、アクリル酸ブチル−アクリロニトリル−アクリル酸共重合体、アクリル酸ブチル−アクリル酸エチル−アクリロニトリル共重合体、アクリル酸エチル−アクリロニトリル−Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド共重合体などが挙げられる。中でも、アクリル酸ブチル−アクリル酸エチル−アクリロニトリル共重合体、アクリル酸エチル−アクリロニトリル−Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミドが好ましい。これらの（メタ）アクリル系樹脂は１種単独で用いても、２種以上を併用してもよい。
【００２７】
本発明で用いるフェノキシ樹脂の骨格は、特に制限されないが、ビスフェノールＡタイプ、ビスフェノールＦタイプ、ビフェニルタイプなどが好ましく挙げられる。
【００２８】
本発明で用いるポリイミド樹脂としては、繰り返し単位中にイミド結合を持つ樹脂であれば特に制限されない。例えば、ジアミンと酸二無水物を反応させ、得られたポリアミド酸を加熱、脱水閉環することにより得られるものが挙げられる。
【００２９】
前記ジアミンとしては、例えば、３，３’−ジメチル−４，４’ジアミノジフェニル、４，６−ジメチル−ｍ−フェニレンジアミン、２，５−ジメチル−ｐ−フェニレンジアミンなどの芳香族ジアミン、１，３−ビス（３−アミノプロピル）―１，１，３，３―テトラメチルジシロキサンなどのシロキサンジアミンが挙げられる。ジアミンは１種単独で用いても、２種以上を併用してもよい。
【００３０】
また、前記酸二無水物としては、３，３，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸、ピロメリット酸二無水物、４，４’−オキシジフタル酸二無水物などが挙げられる。酸二無
水物は１種単独で用いても、２種以上を併用してもよい。
【００３１】
ポリイミド樹脂は、溶剤に可溶なものでも、不溶なものでもよいが、他の成分と混合する際のワニス化が容易であり、取扱性に優れている点で溶剤可溶性のものが好ましい。特に、様々な有機溶媒に溶解できる点でシロキサン変性ポリイミド樹脂を用いることが好ましい。
【００３２】
本発明で用いるフィルム形成性樹脂の重量平均分子量は８，０００〜１，０００，０００が好ましく、８，５００〜９５０，０００がより好ましく、９，０００〜９００，０００がさらに好ましい。フィルム形成性樹脂の重量平均分子量が上記の範囲であると、成膜性を向上させることが可能で、且つ、硬化前の導電接続材料の流動性を抑制することができる。なお、フィルム形成性樹脂の重量平均分子量は、ＧＰＣ（ゲル浸透クロマトグラフィー）により測定することができる。
【００３３】
本発明においては、このようなフィルム形成性樹脂として市販品を使用することができる。さらに、本発明の効果を損ねない範囲で、フィルム形成性樹脂に、可塑剤、安定剤、帯電防止剤、酸化防止剤、充填剤や顔料などの各種添加剤を配合したものを使用してもよい。
【００３４】
本発明に用いられる導電接続材料において、前記フィルム形成性樹脂の含有量は、使用する硬化性樹脂組成物の形態に応じて適宜設定することができる。
例えば、固形状の硬化性樹脂組成物の場合には、フィルム形成性樹脂の含有量は、硬化性樹脂組成物の全重量に対して、５重量％以上であることが好ましく、１０重量％以上であることがより好ましく、１５重量％以上であることが特に好ましい。また、５０重量％以下であることが好ましく、４５重量％以下であることがより好ましく、４０重量％以下であることが特に好ましい。フィルム形成性樹脂の含有量が前記範囲内にあると溶融前の硬化性樹脂組成物の流動性を抑制することができ、導電接続材料を容易に取り扱うことが可能となる。
【００３５】
（ｉｉｉ）硬化剤
本発明で用いる硬化剤としては、フェノール類、酸無水物及びアミン化合物が好ましく挙げられる。硬化剤は、硬化性樹脂の種類などに応じて適宜選択することができる。例えば、硬化性樹脂としてエポキシ樹脂を使用する場合、エポキシ樹脂との良好な反応性、硬化時の低寸法変化及び硬化後の適切な物性（例えば、耐熱性、耐湿性など）が得られる点で硬化剤としてフェノール類を用いることが好ましく、硬化性樹脂の硬化後の物性が優れている点で２官能以上のフェノール類がより好ましい。また、このような硬化剤は１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００３６】
前記フェノール類としては、例えば、ビスフェノールＡ、テトラメチルビスフェノールＡ、ジアリルビスフェノールＡ、ビフェノール、ビスフェノールＦ、ジアリルビスフェノールＦ、トリスフェノール、テトラキスフェノール、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂などが挙げられる。中でも、エポキシ樹脂との反応性が良好であり、硬化後の物性が優れている点でフェノールノボラック樹脂及びクレゾールノボラック樹脂が好ましい。
【００３７】
硬化剤の含有量は、使用する硬化性樹脂や硬化剤の種類及び後述するフラックス機能を有する化合物が硬化剤として機能する官能基を有する場合、その官能基の種類や使用量によって適宜選択することができる。
例えば、硬化性樹脂としてエポキシ樹脂を用いた場合、硬化剤の含有量は硬化性樹脂組成物の全重量に対して、０．１〜５０重量％が好ましく、０．２〜４０重量％がより好ま
しく、０．５〜３０重量％が特に好ましい。硬化剤の含有量が前記範囲内にあると端子間の電気的接続強度及び機械的接着強度を十分に確保することができる。
【００３８】
（ｉｖ）硬化促進剤
本発明で用いる硬化促進剤としては、イミダゾール、２−メチルイミダゾール、２−ウンデシルイミダゾール、２−ヘプタデシルイミダゾール、１，２−ジメチルイミダゾール、２−エチル−４−メチルイミダゾール、２−フェニルイミダゾール、２−フェニル−４−メチルイミダゾール、１−ベンジル−２−フェニルイミダゾール、１−ベンジル−２−メチルイミダゾール、１−シアノエチル−２−メチルイミダゾール、１−シアノエチル−２−エチル−４−メチルイミダゾール、１−シアノエチル−２−ウンデシルイミダゾール、１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾール、１−シアノエチル−２−ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、２，４−ジアミノ−６−［２’−メチルイミダゾリル（１’）］−エチル−ｓ−トリアジン、２，４−ジアミノ−６−［２’−ウンデシルイミダゾリル（１’）］−エチル−ｓ−トリアジン、２，４−ジアミノ−６−［２’−エチル−４−メチルイミダゾリル（１’）］−エチル−ｓ−トリアジン、２，４−ジアミノ−６−［２’−メチルイミダゾリル（１’）］−エチル−ｓ−トリアジンのイソシアヌル酸付加物、２−フェニルイミダゾールのイソシアヌル酸付加物、２−メチルイミダゾールのイソシアヌル酸付加物、２−フェニル−４，５−ジヒドロキシジメチルイミダゾール、２−フェニル−４−メチル−５−ヒドロキシメチルイミダゾールなどのイミダゾール化合物が挙げられる。
【００３９】
硬化促進剤の含有量は、使用する硬化促進剤の種類に応じて適宜設定することができる。
例えば、イミダゾール化合物を使用する場合には、イミダゾール化合物の含有量は、硬化性樹脂組成物の全重量に対して、０．００１重量％以上が好ましく、０．００３重量％以上がより好ましく、０．００５重量％以上が特に好ましい。また、１．０重量％以下が好ましく、０．７重量％以下がより好ましく、０．５重量％以下が特に好ましい。イミダゾール化合物の含有量が前記下限未満になると硬化促進剤としての作用が十分に発揮されず、硬化性樹脂組成物を十分に硬化できない場合がある。他方、イミダゾール化合物の含有量が前記上限を超えると、硬化性樹脂組成物の硬化が完了する前に錫を主成分とする合金または錫が端子表面に十分に移動せず、絶縁性領域に錫を主成分とする合金または錫が残り絶縁性が十分に確保できない場合がある。また、導電接続材料の保存安定性が低下する場合がある。
【００４０】
（ｖ）フラックス機能を有する化合物
本発明で用いるフラックス機能を有する化合物は、端子及び金属層の表面酸化膜など金属酸化膜を還元する作用を有するものである。例えば、フラックス機能を有する化合物としては、フェノール性水酸基及び／又はカルボキシル基を有する化合物が好ましい。フェノール性水酸基を有する化合物としては、例えば、フェノール、ｏ−クレゾール、２，６−キシレノール、ｐ−クレゾール、ｍ−クレゾール、ｏ−エチルフェノール、２，４−キシレノール、２，５−キシレノール、ｍ−エチルフェノール、２，３−キシレノール、メジトール、３，５−キシレノール、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール、カテコール、ｐ−ｔｅｒｔ−アミルフェノール、レゾルシノール、ｐ−オクチルフェノール、ｐ−フェニルフェノール、ビスフェノールＦ、ビスフェノールＡＦ、ビフェノール、ジアリルビスフェノールＦ、ジアリルビスフェノールＡ、トリスフェノール、テトラキスフェノールなどのフェノール性水酸基を含有するモノマー類、フェノールノボラック樹脂、ｏ−クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールＦノボラック樹脂、ビスフェノールＡノボラック樹脂などのフェノール性水酸基を含有する樹脂が挙げられる。
【００４１】
カルボキシル基を有する化合物としては、例えば、脂肪族酸無水物、脂環式酸無水物、
芳香族酸無水物、脂肪族カルボン酸、芳香族カルボン酸などが挙げられる。前記脂肪族酸無水物としては、無水コハク酸、ポリアジピン酸無水物、ポリアゼライン酸無水物、ポリセバシン酸無水物などが挙げられる。前記脂環式酸無水物としては、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、無水メチルハイミック酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルシクロヘキセンジカルボン酸無水物などが挙げられる。前記芳香族酸無水物としては、無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、エチレングリコールビストリメリテート、グリセロールトリストリメリテートなどが挙げられる。
【００４２】
前記脂肪族カルボン酸としては、蟻酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、カプリル酸、ラウリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、ステアリン酸、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、オレイン酸、フマル酸、マレイン酸、シュウ酸、マロン酸、琥珀酸、グルタル酸、アジピン酸、セバシン酸、ドデカンジオン酸、ピメリン酸などが挙げられる。中でも、下記式（１）：
ＨＯＯＣ−（ＣＨ２）ｎ−ＣＯＯＨ （１）
（式（１）中、ｎは１〜２０の整数である。）
で表される脂肪族カルボン酸が好ましく、アジピン酸、セバシン酸、ドデカンジオン酸がより好ましい。
【００４３】
芳香族カルボン酸の構造は特に制限されないが、下記式（２）又は（３）で表される化合物が好ましい。
【化３】
［式中、Ｒ１〜Ｒ５は、それぞれ独立して、１価の有機基であり、Ｒ１〜Ｒ５の少なくとも一つは水酸基である。］
【化４】
［式中、Ｒ６〜Ｒ２０は、それぞれ独立して、１価の有機基であり、Ｒ６〜Ｒ２０の少なくとも一つは水酸基又はカルボキシル基である。］
【００４４】
芳香族カルボン酸としては、安息香酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ヘミメリット酸、トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、プレートニ酸、ピロメリット酸、メリット酸、キシリル酸、ヘメリト酸、メシチレン酸、プレーニチル酸、トルイル酸、ケイ皮酸、サリチル酸、２，３−ジヒドロキシ安息香酸、２，４−ジヒドロキシ安息香酸、ゲンチジン酸（２，５−ジヒドロキシ安息香酸）、２，６−ジヒドロキシ安息香酸、３，５−ジヒドロキシ安息香酸、浸食子酸（３，４，５−トリヒドロキシ安息香酸）、４−ジヒドロキシ−２−ナフトエ酸、３，５−ジヒドロキシ−２−ナフトエ酸、３，５−２−ジヒドロキシ−２−ナフトエ酸などのナフトエ酸誘導体；フェノールフタリン；ジフェノール酸などが挙げられる。
【００４５】
これらの中でも、本発明では、フラックス機能を有するだけでなく、硬化性樹脂の硬化剤として作用する化合物であることが好ましい。すなわち、本発明で用いるフラックス機能を有する化合物としては、金属層及び端子などの金属の表面酸化膜を還元する作用を示し、且つ、硬化性樹脂と反応可能な官能基を有する化合物を用いることが好ましい。該官能基は、硬化性樹脂の種類によって適宜選択する。例えば、硬化性樹脂としてエポキシ樹脂を用いる場合、該官能基は、カルボキシル基、水酸基及びアミノ基などのエポキシ基と反応可能な官能基が好ましい。フラックス機能を有する化合物が硬化剤としても作用することで、金属層及び端子などの金属の表面酸化膜を還元して金属表面の濡れ性を高め、導電性領域の形成を容易にすると共に、導電性領域を形成した後は、硬化性樹脂に付加して樹脂の弾性率又はＴｇを高めることができる。また、フラックス機能を有する化合物が硬化剤として作用することで、フラックス洗浄が不要となり、フラックス成分が残存することによるイオンマイグレーションの発生を抑制することができるといった利点がある。
【００４６】
このようなフラックス機能を有する化合物としては、カルボキシル基を少なくとも１つ有していることが好ましい。例えば、硬化性樹脂としてエポキシ樹脂を用いる場合、該化合物としては、脂肪族ジカルボン酸又はカルボキシル基とフェノール性水酸基とを有する化合物などが挙げられる。
脂肪族ジカルボン酸としては、脂肪族炭化水素基にカルボキシル基が２個結合した化合物が好ましく挙げられる。脂肪族炭化水素基は、飽和又は不飽和の非環式であってもよいし、飽和又は不飽和の環式であってもよい。また、脂肪族炭化水素基が非環式の場合には直鎖状でも分岐状でもよい。
【００４７】
このような脂肪族ジカルボン酸としては、前記式（１）においてｎが１〜２０の整数である化合物が好ましく挙げられる。前記式（１）中のｎが上記範囲内であると、フラックス活性、接着時のアウトガス、導電接続材料が硬化した後の弾性率及びガラス転移温度のバランスが良好なものとなる。特に、導電接続材料の硬化後の弾性率の増加を抑制し、被接着物との接着性を向上させることができることから、ｎは３以上が好ましい。また、弾性率の低下を抑制し、接続信頼性をさらに向上させることができることから、ｎは１０以下が好ましい。
【００４８】
前記式（１）で示される脂肪族ジカルボン酸としては、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ウンデカン二酸、ドデカン二酸、トリデカン二酸、テトラデカン二酸、ペンタデカン二酸、オクタデカン二酸、ノナデカン二酸、エイコサン二酸などが挙げられる。中でも、アジピン酸、スベリン酸、セバシン酸、ドデンカン二酸が好ましく、セバシン酸が特に好ましい。
【００４９】
前記カルボキシル基とフェノール性水酸基とを有する化合物としては、サリチル酸、２，３−ジヒドロキシ安息香酸、２，４−ジヒドロキシ安息香酸、ゲンチジン酸（２，５−ジヒドロキシ安息香酸）、２，６−ジヒドロキシ安息香酸、３，４−ジヒドロキシ安息香酸、浸食子酸（３，４，５−トリヒドロキシ安息香酸）などの安息香酸誘導体；１，４−ジヒドロキシ−２−ナフトエ酸、３，５−ジヒドロキシ−２−ナフトエ酸などのナフトエ酸誘導体；フェノールフタリン；ジフェノール酸などが挙げられる。中でも、フェノールフタリン、ゲンチジン酸、２，４−ジヒドロキシ安息香酸、２，６−ジヒドロキシ安息香酸が好ましく、フェノールフタリン、ゲンチジン酸が特に好ましい。
【００５０】
フラックス機能を有する化合物は、１種単独で用いても２種以上を併用してもよい。また、いずれの化合物も吸湿しやすく、ボイド発生の原因となるため、フラックス機能を有する化合物を使用前に予め乾燥させておくことが好ましい。
【００５１】
フラックス機能を有する化合物の含有量は、使用する樹脂組成物の形態に応じて適宜設定することができる。
例えば、樹脂組成物が液状の場合、フラックス機能を有する化合物の含有量は、硬化性樹脂組成物の全重量に対して、１重量％以上が好ましく、２重量部％以上がより好ましく、３重量％以上が特に好ましい。また、５０重量％以下が好ましく、４０重量％以下がより好ましく、３０重量％以下がさらに好ましく、２５重量％以下が特に好ましい。
固形状の樹脂組成物の場合には、フラックス機能を有する化合物の含有量は、硬化性樹脂組成物の全重量に対して、１重量％以上が好ましく、２重量％以上がより好ましく、３重量％以上が特に好ましい。また、５０重量％以下が好ましく、４０重量％以下がより好ましく、３０重量％以下がさらに好ましく、２５重量％以下が特に好ましい。
フラックス機能を有する化合物の含有量が上記範囲内であると、金属層及び端子の表面酸化膜を電気的に接合できる程度に除去することができる。さらに、樹脂組成物が硬化性樹脂の場合、硬化時に、樹脂に効率よく付加して樹脂の弾性率又はＴｇを高めることができる。また、未反応のフラックス機能を有する化合物に起因するイオンマイグレーションの発生を抑制することができる。
【００５２】
（ｖｉ）シランカップリング剤
本発明で用いるシランカップリング剤としては、エポキシシランカップリング剤、芳香族含有アミノシランカップリング剤などが挙げられる。シランカップリング剤を添加することにより、接合部材と導電接続材料との密着性を高めることができる。シランカップリング剤は１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００５３】
シランカップリング剤の含有量は、接合部材や硬化性樹脂などの種類に応じて適宜選択することができる。例えば、シランカップリング剤の含有量は、硬化性樹脂組成物の全重量に対して、０．０１重量％以上が好ましく、０．０５重量％以上がより好ましく、０．１重量％以上が特に好ましく、また、２重量％以下が好ましく、１．５重量％以下がより好ましく、１重量％以下が特に好ましい。
【００５４】
本発明で用いる硬化性樹脂組成物には、本発明の効果を損ねない範囲で、可塑剤、安定剤、粘着付与剤、滑剤、充填剤、帯電防止剤、酸化防止剤及び顔料などを配合してもよい。
【００５５】
本発明において、前記硬化性樹脂組成物は、上記各成分を混合・分散させることによって調製することができる。各成分の混合方法や分散方法は特に限定されず、従来公知の方法で混合、分散させることができる。
【００５６】
また、本発明においては、前記各成分を溶媒中で又は無溶媒下で混合して液状の硬化性樹脂組成物を調製してもよい。このとき用いられる溶媒としては、各成分に対して不活性なものであれば特に限定はないが、例えば、アセトン、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）、メチルイソブチルケトン（ＭＩＢＫ）、ジイソブチルケトン（ＤＩＢＫ）、シクロヘキサノン、ジアセトンアルコール（ＤＡＡ）などのケトン類；ベンゼン、キシレン、トルエンなどの芳香族炭化水素類、メチルアルコール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、ｎ−ブチルアルコールなどのアルコール類、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテートなどのセロソルブ類、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）、ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、ニ塩基酸エステル（ＤＢＥ）、３−エトキシプロピオン酸エチル（ＥＥＰ）、ジメチルカーボネート（ＤＭＣ）などが挙げられる。また、溶媒の使用量は、溶媒に混合した成分の固形分濃度が１０〜６０重量％となる量であることが好ましい。
【００５７】
（ｂ）熱可塑性樹脂組成物
本発明においては、樹脂組成物として熱可塑性樹脂組成物を用いることもできる。
本発明で用いる熱可塑性樹脂組成物は、熱可塑性樹脂及び充填材のほか、必要に応じて、フラックス機能を有する化合物、シランカップリング剤などが含まれる。
【００５８】
（ｉ）熱可塑性樹脂
本発明で用いる熱可塑性樹脂としては、例えば、酢酸ビニル系、ポリビニルアルコール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、塩化ビニル樹脂、（メタ）アクリル樹脂、フェノキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、シロキサン変性ポリイミド樹脂、ポリブタジエン樹脂、アクリル樹脂、スチレン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリアミド樹脂、セルロース樹脂、イソブチレン樹脂、ビニルエーテル樹脂、液晶ポリマー樹脂、ポリフェニレンスルフィド樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリエーテルサルフォン樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリウレタン樹脂、スチレン−ブタジエン−スチレン共重合体、スチレン−エチレン−ブチレン−スチレン共重合体、ポリアセタール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ブチルゴム、クロロプレンゴム、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン−アクリル酸共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体、ポリ酢酸ビニル等が挙げられる。熱可塑性樹脂は、単一の重合体でもよく、上記熱可塑樹脂の２種以上の共重合体でもよい。
【００５９】
熱可塑性樹脂の軟化点は、特に制限されないが、導電接続材料を構成する金属層の融点より１０℃以上低いことが好ましく、２０℃以上低いことが特に好ましく、３０℃以上低
いことがより好ましい。
【００６０】
また、熱可塑性樹脂の分解温度は、特に制限されないが、導電接続材料を構成する金属層の融点よりも１０℃以上高いことが好ましく、２０℃以上高いことが特に好ましく、３０℃以上高いことがより好ましい。
【００６１】
熱可塑性樹脂の含有量は使用する熱可塑性樹脂組成物の形態に応じて適宜設定することができる。
例えば、熱可塑性樹脂組成物が液状の場合、熱可塑性樹脂の含有量は、熱可塑性樹脂組成物の全重量に対して、１０重量％以上が好ましく、１５重量％以上がより好ましく、２０重量％以上がさらに好ましく、２５重量％以上がさらにより好ましく、３０重量％以上がなお好ましく、３５重量％以上が特に好ましい。また、１００重量％以下が好ましく、９５重量％以下がより好ましく、９０重量％以下がさらに好ましく、７５重量％以下がさらにより好ましく、６５重量％以下がなお好ましく、５５重量％以下が特に好ましい。
熱可塑性樹脂組成物が固形状の場合は、熱可塑性樹脂の含有量は、熱可塑性樹脂組成物の全重量に対して、５重量％以上が好ましく、１０重量％以上がより好ましく、１５重量％以上がさらに好ましく、２０重量％以上が特に好ましい。また、９０重量％以下が好ましく、８５重量％以下がより好ましく、８０重量％以下がさらに好ましく、７５重量％以下がさらにより好ましく、６５重量％以下がなお好ましく、５５重量％以下が特に好ましい。
熱可塑性樹脂の含有量が上記の範囲内であると端子間の電気的接続強度及び機械的接着強度を十分に確保することができる。
【００６２】
（ｉｉ）その他の添加剤
本発明の熱可塑性樹脂組成物で用いるフラックス機能を有する化合物、シランカップリング剤、その他の添加剤は、前記「（ａ）硬化性樹脂組成物」において説明したものと同じものを用いることができる。各成分の含有量、好ましい化合物及び調製方法も硬化性樹脂組成物で説明したものと同様である。
【００６３】
本発明においては、樹脂組成物として硬化性樹脂組成物を用いることが好ましい。中でも、樹脂組成物の全重量に対して、エポキシ樹脂１０〜９０重量％、硬化剤０．１〜５０重量％、フィルム形成性樹脂５〜５０重量％及びフラックス機能を有する化合物１〜５０重量％を含むものがより好ましい。また、樹脂組成物の全重量に対して、エポキシ樹脂２０〜８０重量％、硬化剤０．２〜４０重量％、フィルム形成性樹脂１０〜４５重量％及びフラックス機能を有する化合物２〜４０重量％を含むものがさらに好ましい。また、樹脂組成物の全重量に対して、エポキシ樹脂３５〜５５重量％、硬化剤０．５〜３０重量％、フィルム形成性樹脂１５〜４０重量％及びフラックス機能を有する化合物３〜２５重量％を含むものが特に好ましい。
【００６４】
本発明の導電接続材料において樹脂組成物層の各々の厚みは、特に制限されないが、１μｍ以上が好ましく、３μｍ以上がより好ましく、５μｍ以上が特に好ましい。また、樹脂組成物層の厚みは、２００μｍ以下が好ましく、１５０μｍ以下がより好ましく、１００μｍ以下が特に好ましい。樹脂組成物層の厚みが前記範囲内にあると、隣接する端子間の間隙に樹脂組成物を十分に充填することができ、樹脂組成物の硬化後、固化後の機械的接着強度及び対向する端子間の電気的接続を十分に確保することができ、接続端子の製造も可能にすることができる。
【００６５】
本発明の導電接続材料が樹脂組成物層を複数含む場合、各樹脂組成物層の組成は同一でもよいし、用いる樹脂成分の種類や配合処方の違いなどにより異なっていてもよい。樹脂組成物層の溶融粘度や軟化温度などの物性も同一でもよいし異なっていてもよい。例えば
液状の樹脂組成物層と固形状の樹脂組成物層とを組み合わせて用いてもよい。
【００６６】
（２）金属層
本発明において金属層は、錫を主成分とする合金または錫の金属層で構成される層である。金属層は平面視で樹脂組成物層の少なくとも一部に形成されていればよく、樹脂組成物層の全面に形成されていてもよい。
【００６７】
金属層の形状は特に制限されなく、一定の形状が繰り返しパターン状に形成されていてもよいし、形状が不規則であってもよい。規則的な形状と不規則な形状とが混在していてもよい。図１は、金属層の形状の一例を示す平面模式図である。樹脂組成物層１２０の上に様々な形状をもつ金属層１１０が形成されている。金属層の形状としては、例えば、図１に示されるような点線の抜き模様状（ａ）、縞模様状（ｂ）、水玉模様状（ｃ）、矩形模様状（ｄ）、チェッカー模様状（ｅ）、額縁状（ｆ）、格子模様状（ｇ）又は多重の額縁状（ｈ）などが挙げられる。これらの形状は一例であり、目的や用途に応じてこれらの形状を組み合わせたり、変形させて用いることができる。
【００６８】
本発明の一実施態様において、接続しようとする電極が被着体の接続面全体に配置されているようなフルグリッド型の被着体を接続する場合、樹脂組成物の全面に金属層を形成することが好ましい。
【００６９】
また、接続しようとする電極が被着体の接続面の周辺部に配置されるようなペリフェラル型の被着体を接続する場合、金属層を有効に利用する観点、及び、隣接する電極間に金属層を残存させないという観点から、樹脂組成物の少なくとも一部に繰り返しパターン状の金属層を形成することが好ましい。このとき、金属層の形状は電極のピッチや形態等によって適宜選択することができる。
【００７０】
本発明に使用する金属層は、特に制限はないが、錫（Ｓｎ）、鉛（Ｐｂ）、銀（Ａｇ）、ビスマス（Ｂｉ）、インジウム（Ｉｎ）、亜鉛（Ｚｎ）、ニッケル（Ｎｉ）、アンチモン（Ｓｂ）、鉄（Ｆｅ）、アルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）及び銅（Ｃｕ）からなる群から選択される少なくとも２種以上の金属の合金、又は錫単体からなることが好ましい。
【００７１】
これらのうち、溶融温度及び機械的物性を考慮すると、金属層は、Ｓｎ−Ｐｂの合金、鉛フリー半田であるＳｎ−Ｂｉの合金、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕの合金、Ｓｎ−Ｉｎの合金、Ｓｎ−Ａｇの合金などのＳｎを主成分とする合金がより好ましい。Ｓｎ−Ｐｂの合金を用いる場合、錫の含有率は、３０重量％以上１００重量％未満が好ましく、３５重量％以上１００重量％未満がより好ましく、４０重量％以上が特に好ましい。また、１００重量％未満が好ましい。また、鉛フリー半田の場合の錫の含有率は、１５重量％以上１００重量％未満が好ましく、２０重量％以上１００重量％未満がより好ましく、２５重量％以上１００重量％未満が特に好ましい。例えば、錫を主成分とする合金としては、Ｓｎ６３−Ｐｂ（融点１８３℃）、Ｓｎ−３．０Ａｇ−０．５Ｃｕ（融点２１７℃）、Ｓｎ−３．５Ａｇ（融点２２１℃）、Ｓｎ−５８Ｂｉ（融点１３９℃）、Ｓｎ−９．０Ｚｎ（融点１９９℃）、Ｓｎ−３．５Ａｇ−０．５Ｂｉ−３．０Ｉｎ（融点１９３℃）、Ａｕ−２０Ｓｎ（融点２８０℃）、等が好ましく挙げられる。
【００７２】
金属層は、接続しようとする電子部材や半導体装置の耐熱性に応じて適宜選択すればよい。例えば、半導体装置における端子間接続においては、半導体装置の部材が熱履歴により損傷するのを防止するため、融点が３３０℃以下（より好ましくは３００℃以下、特に好ましくは２８０℃以下、さらに好ましくは２６０℃以下）である金属層を用いることが好ましい。また、端子間接続後の半導体装置の耐熱性を確保するためには、融点が１００
℃以上（より好ましくは１１０℃以上、特に好ましくは１２０℃以上）である金属層を用いることが好ましい。なお、金属層の融点は、示差走査熱量計（ＤＳＣ）により測定することができる。
【００７３】
金属層の厚みは、対向する端子間のギャップ、隣接する端子間の離隔距離などに応じて適宜選択することができる。例えば、半導体装置における半導体チップ、基板、半導体ウエハなどの各接続端子間の接続の場合、金属層の厚みは、０．５μｍ以上が好ましく、１μｍ以上がより好ましく、５μｍ以上が特に好ましく、また、１００μｍ以下が好ましく、５０μｍ以下がより好ましく、２０μｍ以下が特に好ましい。金属層の厚みが前記下限未満になると錫を主成分とする合金または錫により未接続の端子が増加する傾向にあり、他方、前記上限を超えると錫を主成分とする合金または錫余剰により隣接端子間でブリッジを起こし、ショートしやすくなる傾向にある。
【００７４】
金属層の形成方法としては、支持基材上の全面に真空蒸着法または真空スパッタリング法により形成することができる。また、繰り返しパターン状の金属層の作製方法としては、例えば、支持基材上の全面に真空スパッタリング法または真空蒸着法により金属層を形成した後に、不要な金属層をエッチングすることにより繰り返しパターン状の金属層を形成することができる。さらに、遮蔽板やマスクなどを使用することにより、支持基材の所望の位置に真空蒸着法または真空スパッタリング法により、繰り返しパターン状の金属層を形成することができる。
【００７５】
前記支持基材としては、特に制限されず、銅、アルミニウム、金等の金属基材、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、フッ素樹脂等の樹脂基材等が挙げられるが、金属層の支持基材からの転写性に優れるポリエチレン、ポリプロピレン、フッ素樹脂が好ましい。
また、金属層の支持基材からの転写性を向上させる目的で、支持基材の表面をフッ素系樹脂、シリコン系樹脂等で離型処理を施してもよい。
【００７６】
金属層の含有量は、導電接続材料の全重量に対して、５重量％以上が好ましく、２０重量％以上がより好ましく、３０重量％以上が特に好ましい。また、１００重量％未満が好ましく、８０重量％以下がより好ましく、７０重量％以下が特に好ましい。金属層の含有量が上記下限未満になると錫を主成分とする合金または錫不足により未接続の端子が増加する場合がある。他方、金属層の含有量が上記上限を超えると錫を主成分とする合金または錫余剰により隣接端子間でブリッジを起こしやすくなる。
【００７７】
あるいは、金属層の含有量を導電接続材料に対する体積比率で定義してもよい。例えば、金属層の含有量は、導電接続材料に対して１体積％以上が好ましく、５体積％以上がより好ましく、１０体積％以上が特に好ましい。また、９０体積％以下が好ましく、８０体積％以下がより好ましく、７０体積％以下が特に好ましい。金属層の含有量が上記下限未満になると錫を主成分とする合金または錫不足により未接続の端子が増加する場合がある。他方、金属層の含有量が上記上限を超えると錫を主成分とする合金または錫余剰により隣接端子間でブリッジを起こしやすくなる。
【００７８】
本発明において導電接続材料の形態は、樹脂組成物の形態などに応じて適宜選択することができる。例えば、樹脂組成物が液状の場合は、ポリエステルシート等の剥離基材上に樹脂組成物を塗布し、所定温度で半硬化（Ｂステージ化）等の目的で乾燥、成膜させた後に、真空蒸着装置または真空スパッタリング装置にて支持基材上に成膜した金属層を樹脂組成物に転写させることにより導電接続材料として供することができる。樹脂組成物が固形状の場合は、有機溶剤に溶解した樹脂組成物のワニスをポリエステルシート等の剥離基材上に塗布し、所定の温度で乾燥させた後に、真空蒸着装置または真空スパッタリング装
置にて支持基材上に成膜した金属層を樹脂組成物に転写させることにより導電接続材料として供することができる。
【００７９】
本発明の導電接続材料の厚みは、特に制限されないが、１μｍ以上が好ましく、３μｍ以上がより好ましく、５μｍ以上が特に好ましく、また、２００μｍ以下が好ましく、１５０μｍ以下がより好ましく、１００μｍ以下が特に好ましい。導電接続材料の厚みが前記範囲内にあると隣接する端子間の間隙に樹脂組成物を十分に充填することができる。また、樹脂成分の硬化後又は固化後の機械的接着強度及び対向する端子間の電気的接続を十分に確保することができる。また、目的や用途に応じた接続端子の製造も可能にすることができる。
【００８０】
次に、導電接続材料の製造方法について説明する。
本発明で用いる樹脂組成物が２５℃で液状の場合、例えば、剥離基材上に樹脂組成物を塗布し所定温度で半硬化（Ｂステージ化）等の目的で乾燥、成膜させた後、真空蒸着装置または真空スパッタリング装置にて支持基材上に成膜した金属層を樹脂組成物に転写させることにより、本発明の二層の導電接続材料を製造することができる。
また、金属層の両側に樹脂組成物を形成する場合は、前記二層の導電接続材料の金属層の樹脂組成物層がある反対側の面に、樹脂組成物の半硬化状態のものをラミネートすることにより製造すればよい。樹脂組成物の厚み制御が必要な場合は、剥離基材上に液状の樹脂組成物を塗布させた後、一定の間隙を有するバーコーターを通過させる方法や液状の樹脂組成物をスプレーコーター等により剥離基材上に所定量吹き付ける方法により作製することができる。
【００８１】
また、本発明で用いる樹脂組成物が２５℃で固形状の場合は、例えば、次のようにして導電接続材料を製造することができる。まず、有機溶剤に溶解した樹脂組成物のワニスをポリエステルシート等の剥離基材上に塗布し、所定の温度で乾燥させ成膜させてフィルム状の樹脂組成物を作製する。次に、剥離基材上に成膜させた樹脂組成物に真空蒸着装置または真空スパッタリング装置にて支持基材上に成膜した金属層を転写させ、さらに、金属層の樹脂組成物がある面とは反対側の面に、もう１枚準備したフィルム状の樹脂組成物を熱ロールでラミネートすることで、金属層の上下に樹脂組成物を配置した樹脂組成物／金属層／樹脂組成物からなる３層の導電接続材料を作製することができる。
【００８２】
パターン状の金属層を有する導電接続材料を作製する場合、支持基材上に金属層を形成する部分が開口されたマスクを配置し、真空蒸着または真空スパッタリングすることにより金属層をパターン状に形成することができる。他にマスクを使用せず、支持基材上全面に真空蒸着法または真空スパッタリング法で金属層を形成した後、回路形成時に使用する感光性レジストで被覆し、露光、現像後に、不要な金属層をエッチングし、感光性レジストを剥離することでパターン状の金属層を形成することもできる。パターン状の金属層の両面に樹脂組成物を設ける場合は、剥離基材上に成膜させた樹脂組成物に真空蒸着装置または真空スパッタリング装置にて支持基材上に成膜した金属層を転写させ、さらに、パターン状の金属層の樹脂組成物が形成された面とは反対側の面に、フィルム状の樹脂組成物をさらにラミネートすればよい。
なお、導電接続材料の製造方法は上記方法に制限されない。導電接続材料の製造方法は、目的や用途に応じて当業者が適宜選択することができる。
【００８３】
前記真空スパッタリング法は、市販の真空スパッタリング装置を用いることができ、真空度は１×１０−１〜１×１０−５Ｔｏｒｒが好ましく、１×１０−２〜１×１０−４Ｔｏｒｒが特に好ましい。また、放電電力は１０００〜２０００Ｗ、不活性ガスとしてはアルゴン等を用いることができる。
【００８４】
前記真空蒸着法は、市販の真空蒸着装置を用いることができ、真空度は１×１０−４Ｔｏｒｒ以下が好ましく、１×１０−５Ｔｏｒｒ以下が特に好ましい。また、加速電圧は１〜３０ｋｖが好ましく、２〜２５ｋｖが特に好ましい。
【００８５】
２．端子間の接続方法
次に、本発明の端子間の接続方法について説明する。
本発明の接続方法は前記導電接続材料の製造方法で製造された導電接続材料を用いて端子間を接続する方法にかかるものであり、導電接続材料を対向する端子間に配置する配置工程と、前記導電接続材料を加熱する加熱工程と、前記樹脂組成物を硬化又は固化させる硬化／固化工程とを含む。本発明の接続方法は、例えば、半導体ウエハ、半導体チップ、リジッド基板、フレキシブル基板、その他の電気、電子部品に形成されている端子同士を接続する際などに用いることができる。
【００８６】
本発明の接続方法は、前記導電接続材料の樹脂組成物が硬化性樹脂組成物である場合と、熱可塑性樹脂組成物である場合とで接続方法の工程が若干異なる。以下、前記導電接続材料の樹脂組成物が硬化性樹脂組成物である場合を第１実施態様とし、熱可塑性樹脂組成物である場合を第２実施態様として、それぞれの態様ごとに説明する。
【００８７】
（１）第１実施態様
本発明の第１実施態様の端子間の接続方法は、前記硬化性樹脂組成物と金属層とを含む導電接続材料を対向する端子間に配置する配置工程と、前記金属層の融点以上であり、且つ、前記硬化性樹脂組成物の硬化が完了しない温度で前記導電接続材料を加熱する加熱工程と、前記硬化性樹脂組成物を硬化させる硬化工程と、を含む。
【００８８】
この接続方法では、加熱溶融した錫を主成分とする合金または錫を選択的に端子間で凝集させて導電性領域を形成し、その周囲に硬化性樹脂組成物による絶縁性領域を形成することができる。その結果、隣接する端子間の絶縁性を確保してリーク電流を防ぐことができるので、端子間の接続の接続信頼性を高めることができる。また、微細な配線回路においても多数の端子間の電気的接続を一括で実施することが可能となる。さらに硬化性樹脂組成物を硬化させることによって導電性領域又は絶縁性領域の機械的強度を高めることができる。
【００８９】
以下、図面を参照しながら、本発明の第１実施態様の端子間の接続方法の好適な実施形態について詳細に説明するが、本発明の接続方法はこれらの図面に限定されるものではない。
（ａ）配置工程
先ず、図２に示すように、端子１１が設けられた基板１０と端子２１が設けられた基板２０とを、端子１１と端子２１とが対向するように位置あわせし、これらの端子間に、金属層１１０と金属層１１０の両面に設けられた硬化性樹脂組成物１２０とからなる導電接続材料３０を配置する。この時、導電接続材料３０はロールラミネータ又はプレス等の装置を使用し、図４に示すように、あらかじめ基板１０又は基板２０の片側、あるいは、基板１０及び基板２０の双方に熱圧着されていてもよい。また、前記端子１１及び２１の表面は、電気的な接続を良好にするために、必要により、洗浄、研磨、めっき及び表面活性化などの処理を施してもよい。
【００９０】
（ｂ）加熱工程
加熱工程では、前記配置工程において端子間に配置した導電接続材料を、金属層の融点以上で加熱する。加熱温度は、金属層の融点以上であればよく、例えば加熱時間を短くするなど、加熱時間を調整することによって、錫を主成分とする合金または錫が硬化性樹脂中を移動できる範囲すなわち「硬化性樹脂組成物の硬化が完了しない」範囲であれば、そ
の上限は特に制限されない。加熱温度は、金属層の融点より５℃以上高い温度が好ましく、１０℃以上高い温度がより好ましく、２０℃以上高い温度がさらに好ましく、３０℃以上高い温度が特に好ましい。
【００９１】
加熱温度は、使用する金属層及び硬化性樹脂組成物の組成などによって適宜選択することができるが、１００℃以上が好ましく、１３０℃以上がより好ましく、１４０℃以上が特に好ましく、１５０℃以上が最も好ましい。接続しようとする基板などの熱劣化を防止するためには、加熱温度は２６０℃以下が好ましく、２５０℃以下がより好ましく、２４０℃以下が特に好ましい。
【００９２】
このような温度で前記導電接続材料を加熱すると、金属層１１０が溶融し、溶融した錫を主成分とする合金または錫が硬化性樹脂組成物１２０中を移動できるようになる。硬化性樹脂組成物がフラックス機能を有する化合物を含む場合、硬化性樹脂組成物に含まれるフラックス機能を有する化合物の還元作用により、錫を主成分とする合金または錫の表面酸化膜が除去されるため、錫を主成分とする合金または錫は濡れ性が高められた状態であり、金属結合が促されて対向する端子間に凝集しやすくなる。他方、フラックス機能を有する化合物の還元作用により端子１１及び２１の表面酸化膜も除去されて濡れ性が高められているため、錫を主成分とする合金または錫との金属結合が容易になる。その結果、図３に示すように、前記端子間には導電性領域１３０が形成され、端子１１と端子２１とが電気的に接続される。他方、導電性領域の周囲には硬化性樹脂組成物が充填されて絶縁性領域１４０が形成される。その結果、隣接する端子間の絶縁性が確保され、隣接する端子間のショートを防止することが可能となる。
【００９３】
本発明の接続方法においては、対向する端子間の距離を近づけるように加圧して加熱してもよい。例えば、図２中の基板１０及び２０が対向する方向に公知の熱圧着装置などの手段を用いて加熱及び加圧することにより、対向する各端子間の距離を一定に制御することができ、対向する端子間の電気的な接続信頼性を高めることが可能となる。
さらに、加圧又は加熱する際に超音波や電場などを加えたり、レーザーや電磁誘導などの特殊加熱を適用してもよい。
【００９４】
（ｃ）硬化工程
本発明の接続方法においては、前記加熱工程で導電性領域１３０と絶縁性領域１４０とを形成した後、硬化性樹脂組成物を硬化させて絶縁性領域１４０を固定する。これにより、前記端子間の電気的信頼性及び機械的接続強度を十分に確保することができる。特に本発明の接続方法においては、高絶縁抵抗値を有する硬化性樹脂組成物を使用しているため、絶縁性領域の絶縁性をより十分に確保することができる。
【００９５】
硬化性樹脂組成物の硬化は、導電接続材料を加熱することなどによって実施することができる。導電接続材料の硬化温度は、硬化性樹脂組成物の組成に応じて適宜設定することができるが、前記加熱工程での加熱温度より少なくとも５℃低い温度であることが好ましく、少なくとも１０℃低い温度であることが特に好ましい。具体的には、１００℃以上であることが好ましく、１２０℃以上であることがより好ましく、１３０℃以上であることが特に好ましく、１５０℃以上であることが最も好ましい。また、３００℃以下であることが好ましく、２６０℃以下であることがより好ましく、２５０℃以下であることが特に好ましく、２４０℃以下であることが最も好ましい。硬化温度が前記範囲内にあると、導電接続材料が熱分解せず、硬化性樹脂組成物を十分に硬化させることができる。
【００９６】
（２）第２実施態様
次に、本発明の第２実施態様の端子間の接続方法について説明する。本発明の第２実施態様の端子間の接続方法は、前記熱可塑性樹脂組成物と金属層とを含む導電接続材料を対
向する端子間に配置する配置工程と、前記金属層の融点以上であり、且つ、前記熱可塑性樹脂組成物が軟化する温度で前記導電接続材料を加熱する加熱工程と、前記熱可塑性樹脂組成物を固化させる固化工程と、を含む。以下、各工程について説明する。
【００９７】
（ａ）配置工程
熱可塑性樹脂組成物と金属層とを含む導電接続材料を使用した場合も、前記熱硬化性樹脂組成物と金属層とを含む導電接続材料を使用した場合と同様に導電接続材料を配置することができる。
【００９８】
（ｂ）加熱工程
加熱工程は、特に制限されないが、前記配置工程において端子間に配置した導電接続材料を、金属層の融点以上で加熱する。加熱温度は、金属層の融点より５℃以上高い温度が好ましく、１０℃以上高い温度がより好ましく、２０℃以上高い温度がさらに好ましく、３０℃以上高い温度が特に好ましい。加熱温度は、金属層の融点以上であり、熱可塑性樹脂組成物が軟化して錫を主成分とする合金または錫が熱可塑性樹脂中を移動できる範囲すなわち「熱可塑性樹脂組成物が軟化する」範囲であれば、その上限は特に制限されない。
【００９９】
加熱温度は、使用する金属層及び熱可塑性樹脂組成物の組成などによって適宜選択することができる。例えば、硬化性樹脂組成物と金属層とを含む導電接続材料と同様の加熱温度で加熱することができる。
【０１００】
上記の温度で前記導電接続材料を加熱すると、金属層１１０が溶融し、溶融した錫を主成分とする合金または錫が熱可塑性樹脂組成物１２０中を移動できるようになる。熱可塑性樹脂組成物がフラックス機能を有する化合物を含む場合、熱可塑性樹脂組成物に含まれるフラックス機能を有する化合物の還元作用により、錫を主成分とする合金または錫の表面酸化膜は除去されるため、錫を主成分とする合金または錫は濡れ性が高められた状態であり、金属結合が促されて対向する端子間に凝集しやすくなる。他方、フラックス機能を有する化合物の還元作用により端子１１及び２１の表面酸化膜も除去されて濡れ性が高められているため、錫を主成分とする合金または錫との金属結合が容易になる。その結果、図３に示すように、前記端子間には導電性領域１３０が形成され、端子１１と端子２１とが電気的に接続される。他方、導電性領域の周囲には熱可塑樹脂組成物が充填されて絶縁性領域１４０が形成される。その結果、隣接する端子間の絶縁性が確保され、隣接する端子間のショートを防止することが可能となる。
【０１０１】
（ｃ）固化工程
本発明の接続方法においては、前記加熱工程で導電性領域１３０と絶縁性領域１４０とを形成した後、熱可塑性樹脂組成物を固化させて絶縁性領域１４０領域を固定する。これにより、前記端子間の電気的信頼性及び機械的接続強度を十分に確保することができる。
【０１０２】
熱可塑性樹脂組成物の固化は、前記加熱工程で加熱溶融した導電接続材料を冷却・固化することによって実施することができる。導電接続材料の冷却・固化は、熱可塑性樹脂組成物の組成に応じて適宜設定することができるものであり、特に制限されないが、自然冷却による方法でもよく、また、冷気を吹きつけるなどの方法でもよい。
【０１０３】
前記熱可塑性樹脂組成物の固化温度は、特に制限されないが、金属層の融点より低いことが好ましい。より具体的には、前記熱可塑性樹脂組成物の固化温度は、金属層の融点より１０℃以上低いことが好ましく、２０℃以上低いことが特に好ましい。また、前記熱可塑性樹脂組成物の固化温度は、５０℃以上であることが好ましく、６０℃以上であることが特に好ましく、１００℃以上であることがさらに好ましい。前記熱可塑性樹脂組成物の固化温度が前記範囲内にあると、導電性領域１３０を確実に形成することができ、また、
絶縁性領域１４０が所望の耐熱性を有することができる。このため、隣接する端子間の絶縁性が確保され、隣接する端子間のショートをより確実に防止することができる。
【０１０４】
本発明の好ましい態様によれば、特定の樹脂成分及びフラックス機能を有する化合物を含有する樹脂組成物と金属層とからなる導電接続材料を用いることによって、錫を主成分とする合金または錫を選択的に対向する端子間に凝集させることができ、端子間を電気的に接続するとともに、隣接する端子間の絶縁性を確保することができる。さらに、多数の端子間を一括で導通させることが可能であり、信頼性に優れた端子間接続を実施することができる。
【０１０５】
３．接続端子の製造方法
次に、本発明の接続端子の製造方法について説明する。
本発明の接続端子の製造方法は、前記導電接続材料を用いて電子部材の電極上に接続端子を製造する方法にかかるものであり、導電接続材料を電子部材の電極上に配置する配置工程と、前記導電接続材料を加熱する加熱工程と、前記樹脂組成物を硬化又は固化させる硬化／固化工程とを含む。本発明の接続端子の製造方法は、例えば、半導体ウエハ、半導体チップ、リジッド基板、フレキシブル基板、その他の電気、電子部品の電極上に接続端子を製造する際に用いることができる。
【０１０６】
本発明の接続端子の製造方法は、前記導電接続材料の樹脂組成物が硬化性樹脂組成物である場合と、熱可塑性樹脂組成物である場合とで接続端子の製造工程が若干異なる。以下、前記導電接続材料の樹脂組成物が硬化性樹脂組成物である場合を第３実施態様とし、熱可塑性樹脂組成物である場合を第４実施態様として、それぞれの態様ごとに説明する。
【０１０７】
（１）第１実施態様
本発明の第１実施態様の接続端子の製造方法は、前記硬化性樹脂組成物と金属層とを含む導電接続材料を電子部材の電極上に配置する配置工程と、前記金属層の融点以上であり、且つ、前記硬化性樹脂組成物の硬化が完了しない温度で前記導電接続材料を加熱する加熱工程と、前記硬化性樹脂組成物を硬化させる硬化工程と、を含む。
この接続端子の製造方法では、加熱溶融した錫を主成分とする合金または錫を選択的に基板上の電極に凝集させて接続端子を形成し、その周囲に硬化性樹脂組成物による絶縁性領域を形成することができる。その結果、接続端子の周囲を硬化性樹脂組成物で被覆することができるため、導電性領域が固定される。また、絶縁性領域によって隣接する接続端子間の絶縁性が確保されるので、接続信頼性を高めることができる。この方法によれば、微細な配線回路においても多数の接続端子を一括で製造することが可能となる。
【０１０８】
以下、図面を参照しながら、本発明の第１実施態様の接続端子の製造方法について、さらに詳細に説明する。但し、本発明の接続方法は、これらの図面に限定されるものではない。
【０１０９】
（ａ）配置工程
先ず、図５に示すように、硬化性樹脂組成物１２０と金属層１１０とを有する導電接続材料を、電極４１が設けられた基板４０上に配置する。この時、パターン状の金属層を使用した場合は、導電接続材料５０と基板上の電極４１との位置合わせが必要となる。なお、図５では、硬化性樹脂組成物１２０が金属層１１０の片面に形成されたものを使用しているが、硬化性樹脂組成物１２０は、金属層１１０の両面に形成されていてもよい。また、図５では、硬化性樹脂組成物１２０が接続端子と対向するように配置されているが、金属層１１０が接続端子と対向するように配置されていてもよい。
図６に示すように、導電接続材料５０は、ロールラミネータ、プレス等の装置を使用し、基板４０に熱圧着されていてもよい。なお、図６では、硬化性樹脂組成物１２０が電極
４１を被覆しているが、熱硬化樹脂組成物１２０の厚みは、電極４１の厚みより薄くてもよく、電極４１の厚みより厚くてもよく、目的及び用途等に応じて適宜調整することができる。また、前記電極４１の表面は、電気的な接続を良好にするために、あるいはまた、金属層との接合性を向上させるために、必要により、洗浄、研磨、めっき及び表面活性化などの処理を施してもよい。
【０１１０】
（ｂ）加熱工程
加熱工程では、前記配置工程において基板４０上の電極４１上に配置した導電接続材料５０を、金属層の融点以上であり、且つ、前記硬化性樹脂組成物の硬化が完了しない温度で加熱する。これにより、図７に示すように、電極４１上に接続端子１５０を形成することができる。他方、前記接続端子１５０の周囲には硬化性樹脂組成物が充填されて絶縁性領域１４０が形成される。その結果、隣接する接続端子１５０間の絶縁性が確保され、隣接する接続端子１５０間のショートを防止することができる。
【０１１１】
硬化性樹脂組成物の加熱温度及び加圧条件は、前記硬化性樹脂組成物と金属層とを有する導電接続材料を使用して、端子間接続を行った場合と同様の条件で行うことができる。
【０１１２】
（ｃ）硬化工程
硬化工程では、前記加熱工程で接続端子１５０と絶縁性領域１４０とを形成した後、硬化性樹脂組成物を硬化させて、絶縁性領域１４０を固定する。これにより、基板上の電極４１と接続端子１５０の接合を補強することができる。特に本発明の第１実施態様では、高絶縁抵抗値を有する硬化性樹脂組成物を使用しているため、絶縁性領域の絶縁性をより十分に確保することができる。特に制限されないが、この硬化工程は、接続端子１５０を形成した後、基板６０を、別の電気、電子部品又は基板に搭載し、接続した後に行なうことが好ましい。
硬化工程における導電接続材料の加熱温度は、前記硬化性樹脂組成物と金属層とを有する導電接続材料を使用して、端子間接続を行った場合と同様の条件で行うことができる。
【０１１３】
（２）第２実施態様
次に、本発明の第２実施態様の接続端子の製造方法について説明する。
本発明の第２実施態様の接続端子の製造方法は、前記熱可塑性樹脂組成物と金属層とを含む導電接続材料を電子部材の電極上に配置する配置工程と、前記金属層の融点以上であり、且つ、前記熱可塑性樹脂組成物が軟化する温度で前記導電接続材料を加熱する加熱工程と、さらに必要に応じて前記熱可塑性樹脂組成物を固化させる固化工程と、を含む。
第２実施態様の製造方法では、加熱溶融した錫を主成分とする合金または錫を選択的に基板上の電極に凝集させて接続端子を形成し、その周囲に熱可塑性樹脂組成物による絶縁性領域を形成することができる。その結果、接続端子の周囲を熱可塑性樹脂組成物で被覆することができるため、導電性領域が固定される。また、絶縁性領域によって隣接する接続端子間の絶縁性が確保されるので、接続信頼性を高めることができる。この方法によれば、微細な配線回路においても多数の接続端子を一括で製造することが可能となる。
【０１１４】
（ａ）配置工程
熱可塑性樹脂組成物と金属層とを含む導電接続材料を使用した場合も、前記第１実施態様の熱硬化性樹脂組成物と金属層とを含む導電接続材料を使用した場合と同様に導電接続材料を電極が設けられた基板上に配置することができる。
【０１１５】
（ｂ）加熱工程
加熱工程では、前記配置工程において基板に設けられた電極上に配置した導電接続材料５０を、金属層の融点以上であり、且つ、前記熱可塑性樹脂組成物が軟化する温度で加熱する。これにより、第１実施態様と同様に、電極上に接続端子を製造することができる。
他方、接続端子の周囲には熱可塑性樹脂組成物が充填されて絶縁性領域が形成される。その結果、隣接する接続端子間の絶縁性が確保され、隣接する接続端子間のショートを防止することができる。
【０１１６】
なお、熱可塑性樹脂組成物の加熱温度及び加圧条件は、前記熱可塑性樹脂組成物と金属層とを有する導電接続材料を使用して、端子間接続を行った場合と同様の条件で行うことができる。
【０１１７】
（ｃ）固化工程
固化工程では、前記加熱工程で接続端子と絶縁性領域とを形成した後、熱可塑性樹脂組成物を冷却固化させて、絶縁性領域を固定することにより、電極と接続端子との接合を補強することができる。
なお、熱可塑性樹脂組成物の冷却方法及び好ましい固化温度については、前記熱可塑性樹脂組成物と金属層とを有する導電接続材料を使用して端子間接続を行った場合と同様である。
【０１１８】
上述したように、本発明では、本発明の導電接続材料を用いることにより錫を主成分とする合金または錫を選択的に接続端子形成部位に凝集させることができるため、接続端子を簡便な方法で製造することができる。本発明の接続端子の製造方法によれば、複数の接続端子を一括で製造することができるだけでなく、その周囲に絶縁性領域を形成することができるので、接続端子が固定されるとともに、隣接する接続端子間の絶縁性を確保することができる。これにより、接続信頼性に優れた接続端子を製造することができる。
【０１１９】
４．導電接続材料付き電子部材及び電気、電子部品
本発明は、電子部材の電気的接続面に本発明の導電接続材料が接着してなる導電接続材料付き電子部材をも包含する。本発明の導電接続材料付き電子部材において、導電接続材料の電子部材の電気的接続面との接着面は樹脂組成物層であることが好ましい。該樹脂組成物層は、電子部材の電気的接続面に直接接着されていてもよいし、接着剤層を介して接着されていてもよい。本発明の導電接続材料付き電子部材を互いに貼り合わせ、あるいは、本発明の導電接続材料付き電子部材を他の電子部材の電気的接続面と貼り合わせて熱圧着させることで、電子部材間を電気的に接続することができる。
本発明では、このようにして得られた本発明の導電接続材料を用いて電子部材間が電気的に接続されてなる半導体ウエハ、半導体チップ、リジッド基板及びフレキシブル基板、その他の電気、電子部品をも包含する。
【産業上の利用可能性】
【０１２０】
本発明の製造方法により得られた樹脂組成物層と金属層とが積層された導電接続材料は、電気、電子部品において電子部材間を電気的に接続したり、基板上に接続端子を製造したりする際に好適に用いることができる。本発明に係る導電接続材料を用いることで、電子部材間の良好な電気的接続と高い絶縁信頼性とを両立させることができる。本発明に係る導電接続材料を用いることで微細な配線回路における端子間接続も可能である。本発明に係る導電接続材料を用いることで、電子機器の高機能化及び小型化の要求にも対応することが可能である。
【符号の説明】
【０１２１】
１０、２０ 基板
１１、２１ 端子
３０ 導電接続材料
４０ 基板
４１ 電極
５０ 導電接続材料
６０ 基板
１１０ 金属層
１２０ 樹脂組成物
１３０ 導電性領域
１４０ 絶縁性領域
１５０ 接続端子
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電接続材料の製造方法、端子間の接続方法、接続端子の形成方法、半導体装置および電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器の高機能化および小型化の要求に伴い、電子材料における接続端子間の狭ピッチ化がますます進む方向にあり、微細な配線回路における端子間接続も高度化している。
【０００３】
かかる端子間の接続方法として、ＩＣチップが備える端子を、回路基板が備える端子に電気的に接続する場合、例えば、以下に示すような方法が用いられる。
すなわち、まず、回路基板が備える端子の表面に半田層を形成する。そして、接続すべき端子同士を半田層を介して互いに接触させた状態で、半田層を加熱して溶融させた後、再び固化させることにより、半田層を介してこれら端子同士を電気的に接続させることができる。
【０００４】
上記のような端子間の接続方法では、回路基板が備える端子の表面に半田層を形成する必要があるが、この半田層の形成に、めっき法や印刷法が用いられている（例えば、特許文献１、２参照）。これらの方法によれば、複数の端子の表面に、一括して半田層を形成することができる。
【０００５】
しかしながら、めっき法を用いた場合には、半田層を形成するための装置が大掛かりとなったり、薬液の管理にも多くの工数を必要とする。さらに、端子にメッキリードを設ける必要があるため、高密度な端子（配線）に半田層を形成する際には、高いパターニング精度で形成するのが困難であった。また、膜厚の厚い半田層を形成する場合には、長時間を要するため、かかる構成の半田層の形成には不向きであった。
さらに、印刷法を用いた場合には、膜厚の薄い半田層の形成には不向きであったり、端子が高密度なものであると、この端子の表面に優れた精度で半田層を形成することができないという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開昭６３−２５６２６８号公報
【特許文献２】特開平０３−０１８０９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、大掛かりな装置を用いることなく、高密度な端子同士であっても高い精度で端子間を接続、または接続端子を形成することができる導電接続材料の製造方法、かかる導電接続材料の製造方法により製造された導電接続材料を用いた信頼性の高い端子間の接続方法、端子形成方法、信頼性の高い半導体装置、および、電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような目的は下記（１）〜（１６）記載の本発明により達成される。
（１）錫を主成分とする合金または錫の金属層を真空スパッタリング法または真空蒸着法
により支持基材上に形成する金属層形成工程と、樹脂成分を含有する第１の樹脂組成物層を形成する第１の樹脂組成物層形成工程と、前記第１の樹脂組成物層の少なくとも一方の面に前記金属層を前記支持基材から転写させることにより、前記第１の樹脂組成物と前記金属層とを積層する金属層転写工程と、を有することを特徴とする導電接続材料の製造方法、
（２）さらに、前記金属層の第１の樹脂組成物層と接する面と反対側の面に、樹脂成分を含有する第２の樹脂組成物層を形成する、第２の樹脂組成物形成工程を有する（１）に記載の導電接続材料の製造方法、
（３）前記金属層は、錫（Ｓｎ）、鉛（Ｐｂ）、銀（Ａｇ）、ビスマス（Ｂｉ）、インジウム（Ｉｎ）、亜鉛（Ｚｎ）、ニッケル（Ｎｉ）、アンチモン（Ｓｂ）、鉄（Ｆｅ）、アルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）および銅（Ｃｕ）からなる群から選択される少なくとも２種以上の金属の合金、錫またはインジウムの単体である（１）または（２）に記載の導電接続材料の製造方法、
（４）前記金属層は、Ｓｎ−Ｐｂ合金、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ合金またはＳｎ−Ａｇ合金を主材料として構成される（１）ないし（３）のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法、（５）前記金属層は、Ｓｎ−３７Ｐｂ合金またはＳｎ−３．０Ａｇ−０．５Ｃｕ合金を主材料として構成される（１）ないし（４）のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法、（６）前記第１の樹脂組成物層と第２の樹脂組成物層は、前記樹脂成分とフラックス機能を有する化合物とを含有する樹脂組成物で構成される（１）ないし（５）に記載の導電接続材料の製造方法、
（７）前記フラックス機能を有する化合物は、フェノール性水酸基およびカルボキシル基のうちの少なくとも一方を有する化合物を含有する（６）に記載の導電接続材料の製造方法。
（８）前記フラックス機能を有する化合物は、下記一般式（１）で表わされる化合物を含有する（６）に記載の導電接続材料の製造方法、
ＨＯＯＣ−（ＣＨ2）ｎ−ＣＯＯＨ・・・・・（１）
（式（１）中、ｎは、１〜２０の整数である。）
（９）前記フラックス機能を有する化合物は、下記一般式（２）および下記一般式（３）で表わされる化合物のうちの少なくとも一方を含有する（６）または（７）に記載の導電接続材料の製造方法、
【化１】
［式中、Ｒ１〜Ｒ５は、それぞれ独立して、１価の有機基であり、Ｒ１〜Ｒ５の少なくとも一つは水酸基である。］
【化２】
［式中、Ｒ６〜Ｒ２０は、それぞれ独立して、１価の有機基であり、Ｒ６〜Ｒ２０の少なくとも一つは水酸基またはカルボキシル基である。］
（１０）前記樹脂組成物において、前記フラックス機能を有する化合物の含有量は、１〜５０重量％である（６）ないし（９）のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法、
（１１）（１）ないし（１１）のいずれかに記載の導電接続シートの製造方法で製造された導電接続材料を、基材が有する端子と対向基材が有する端子との間に配置する配置工程と、
前記金属材料の融点以上であり、かつ、前記樹脂組成物層の硬化が完了しない温度で前記導電接続シートを加熱する加熱工程と、前記樹脂組成物層を硬化させる硬化工程とを有し、
前記基材が有する端子または前記対向基材が有する端子の少なくとも一方が、前記基材または前記対向基材から突出し、前記配置工程において、突出する端子側に、前記第１の樹脂組成物層が位置するように前記導電接続シートを配置することを特徴とする端子間の接続方法、
（１２）（１）ないし（１１）のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法で製造された導電接続材料を、基材が有する端子と対向基材が有する端子との間に配置する配置工程と、
前記金属材料の融点以上であり、かつ、前記樹脂組成物層が軟化する温度で前記導電接続シートを加熱する加熱工程と、前記樹脂組成物層を固化させる固化工程とを有し、前記基材が有する端子または前記対向基材が有する端子の少なくとも一方が、前記基材または前記対向基材から突出し、前記配置工程において、突出する端子側に、前記第１の樹脂組成物層が位置するように前記導電接続シートを配置することを特徴とする端子間の接続方法、
（１３）（１）ないし（１１）のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法で製造された導電接続材料を、端子を有する基材上に配置する配置工程と、前記金属材料の融点以上であり、かつ、前記樹脂組成物層の硬化が完了しない温度で前記導電接続材料を加熱する加熱工程とを有し、前記基材が有する端子が、前記基材から突出し、前記配置工程において、前記端子側に、前記第１の樹脂組成物層が位置するように前記導電接続材料を配置することを特徴とする特徴とする接続端子の形成方法、
（１４）（１）ないし（１１）のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法で製造された導電接続材料を、端子を有する基材上に配置する配置工程と、前記金属材料の融点以上であり、かつ、前記樹脂組成物層が軟化する温度で前記導電接続材料を加熱する加熱工程とを有し、前記基材が有する端子が、前記基材から突出し、前記配置工程において、前記端子側に、前記第１の樹脂組成物層が位置するように前記導電接続材料を配置することを特徴とする特徴とする接続端子の形成方法、
（１５）対向する端子同士が、（１）ないし（１１）のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法で製造された導電接続材料を用いて形成された接続部を介して電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。
（１６）対向する端子同士が、（１）ないし（１１）のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法で製造された導電接続材料を用いて形成された接続部を介して電気的に接続されていることを特徴とする電子機器。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、大掛かりな装置を用いることなく、高密度な端子同士であっても高い精度で端子間を接続、または接続端子を形成することができる導電接続材料の製造方法、かかる導電接続材料の製造方法により製造された導電接続材料を用いた信頼性の高い端子間の接続方法、端子形成方法、信頼性の高い半導体装置、および、電子機器を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明に用いる金属層の形状の一例を示す平面模式図である。
【図２】本発明の端子間の接続方法において、端子間に導電接続材料を配置した後の基板及び導電接続材料の状態の一例を概略的に示す断面図である。
【図３】本発明の端子間の接続方法において、端子間に配置した導電接続材料を加熱、硬化／固化した後の基板、導電性領域及び絶縁性領域の状態の一例を概略的に示す断面図である。
【図４】本発明の端子間の接続方法において、端子間に導電接続材料を配置した後の基板及び導電接続材料の状態の一例を概略的に示す断面図である。
【図５】本発明の接続端子の製造方法において、基板上に設けられた電極上に導電接続材料を配置した後の基板及び導電接続材料の状態の一例を概略的に示す断面図である。
【図６】本発明の接続端子の製造方法において、基板上に設けられた電極上に導電接続材料を配置した後の基板及び導電接続材料の状態の一例を概略的に示す断面図である。
【図７】本発明の接続端子の製造方法において、基板の電極上に配置した導電接続材料を加熱、硬化／固化した後の基板、導電性領域及び絶縁性領域の状態の一例を概略的に示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の導電接続材料の製造方法、端子間の接続方法、接続端子の形成方法、半導体装置および電子機器についてそれぞれ具体的に説明する。
【００１２】
１．導電接続材料
本発明の導電接続材料の製造方法により得られた導電接続材料は、樹脂組成物層と錫を主成分とする合金または錫の金属層とから構成される。その形態は、樹脂組成物層と金属層とからなる多層構造を有する積層体であり、樹脂組成物層及び金属層は各々一層であっても複数層であってもよい。導電接続材料の金属層は、支持基材上に直接真空スパッタリング法または真空蒸着法により形成された金属層を支持基材から樹脂組成物上に転写させることにより作製され、その積層構造は特に制限されず、樹脂組成物層と金属層との二層構造（樹脂組成物層／金属層）でもよいし、樹脂組成物層あるいは金属層の何れか又は両方を複数含む三層構造又はそれ以上の多層構造でもよい。なお、樹脂組成物層又は金属層を複数用いる場合、各層の組成は同一でもよく、異なっていてもよい。
【００１３】
本発明の一実施形態では、金属層の表面酸化膜を、フラックス機能を有する化合物で還元する観点から、金属層の上下層は樹脂組成物層であることが好ましい。例えば、三層構造（樹脂組成物層／金属層／樹脂組成物層）が好ましい。この場合、金属層の両側にある樹脂組成物層の厚みは、同一でもよく、異なっていてもよい。樹脂組成物層の厚みは、接
続しようとする端子の導体厚みなどによって適宜調整すればよい。例えば、金属層の両側にある樹脂組成物層の厚みが異なる導電接続材料を用いて接続端子を製造する場合、厚みが薄い方を一方の接続端子側（電極側）に配置することが好ましい。このように、金属層と接続端子との距離を短くすることで、接続端子部分への錫を主成分とする合金または錫の凝集を制御しやすくなる。
【００１４】
本発明の他の実施形態において、例えば半導体ウエハ等の電子部材に接続端子を製造する場合、導電接続材料が金属層の片側にのみ樹脂組成物層を有していると、金属層の一部を露出させることができ好ましい。二層構造の導電接続材料を用いて対向する接続端子同士を接続する場合、樹脂組成物層側が接続端子と接するように配置してもよいし、金属層側が接続端子と接するように配置してもよいが、金属層側が接続端子と接するように配置した方が端子へ搭載されやすいため好ましい。二層構造の導電接続材料を用いて対向する電子部材の接続端子同士を接続する場合、対向する電子部材の双方に該導電接続材料を貼り付け、その後、導電接続材料付き電子部材を貼り合わせることが好ましいが、片側の端子側に二層構造の導電接続材料を貼り付け、他方の端子側には樹脂組成物層のみを貼り付けて、その後、電子部材同士を貼り合せてもよい。
【００１５】
次に、本発明で用いる樹脂組成物及び金属層についてそれぞれ説明する。
【００１６】
（１）樹脂組成物層
本発明において、樹脂組成物層は、樹脂成分を含有する樹脂組成物で構成される。樹脂組成物は、常温で液状又は固形状のいずれの形態であってもよい。ここで「常温で液状」とは、常温（２５℃）で一定の形態を持たない状態を意味する。ペースト状も液状に含まれる。
【００１７】
本発明では、樹脂組成物として、硬化性樹脂組成物及び熱可塑性樹脂組成物のいずれを用いてもよい。本発明で用いる硬化性樹脂組成物としては、加熱又は化学線を照射することにより硬化するものなどが挙げられる。硬化後の線膨張率や弾性率等の機械特性に優れるという点では、熱硬化性樹脂組成物が好ましい。本発明で用いる熱可塑性樹脂組成物としては、所定の温度に加熱することにより、成形が可能な程度に柔軟性を有するものであれば、特に制限されない。
【００１８】
（ａ）硬化性樹脂組成物
本発明で用いる硬化性樹脂組成物には、硬化性樹脂及のほか、必要に応じて、フィルム形成性樹脂、硬化剤、硬化促進剤、フラックス機能を有する化合物、シランカップリング剤、充填剤などが含まれる。
【００１９】
（ｉ）硬化性樹脂
本発明で用いる硬化性樹脂は、通常、半導体装置製造用の接着剤成分として使用できるものであれば特に限定されない。例えば、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、シリコーン樹脂、オキセタン樹脂、フェノール樹脂、（メタ）アクリレート樹脂、ポリエステル樹脂（不飽和ポリエステル樹脂）、ジアリルフタレート樹脂、マレイミド樹脂、ポリイミド樹脂（ポリイミド前駆体樹脂）、ビスマレイミド−トリアジン樹脂などが挙げられる。特に、エポキシ樹脂、（メタ）アクリレート樹脂、フェノキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、シリコーン樹脂、マレイミド樹脂、ビスマレイミド−トリアジン樹脂からなる群より選ばれる少なくとも１種を含む熱硬化性樹脂を用いることが好ましい。中でも、硬化性と保存性、硬化物の耐熱性、耐湿性、耐薬品性に優れるという観点からエポキシ樹脂を用いることが好ましい。これらの硬化性樹脂は１種単独で用いても、２種以上を併用してもよい。
【００２０】
硬化性樹脂の含有量は硬化性樹脂組成物の形態に応じて適宜設定することができる。
例えば、硬化性樹脂組成物が液状の場合、硬化性樹脂の含有量は、硬化性樹脂組成物の全重量に対して、１０重量％以上が好ましく、１５重量％以上がより好ましく、２０重量％以上がさらに好ましく、２５重量％以上がさらにより好ましく、３０重量％以上がなお好ましく、３５重量％以上が特に好ましい。また、１００重量％未満が好ましく、９５重量％以下がより好ましく、９０重量％以下がさらに好ましく、７５重量％以下がさらにより好ましく、６５重量％以下がなお好ましく、５５重量％以下が特に好ましい。
硬化性樹脂組成物が固形状の場合は、硬化性樹脂の含有量は、硬化性樹脂組成物の全重量に対して、５重量％以上が好ましく、１０重量％以上がより好ましく、１５重量％以上がさらに好ましく、２０重量％以上が特に好ましい。また、９０重量％以下が好ましく、８５重量％以下がより好ましく、８０重量％以下がさらに好ましく、７５重量％以下がさらにより好ましく、６５重量％以下がなお好ましく、５５重量％以下が特に好ましい。
硬化性樹脂の含有量が前記範囲内にあると端子間の電気的接続強度及び機械的接着強度を十分に確保することができる。
【００２１】
本発明では、室温で液状及び室温で固形状のいずれのエポキシ樹脂を使用してもよい。室温で液状のエポキシ樹脂と室温で固形状のエポキシ樹脂とを併用してもよい。硬化性樹脂組成物が液状の場合には、室温で液状のエポキシ樹脂を用いることが好ましく、硬化性樹脂組成物が固形状の場合には、液状及び固形状のいずれのエポキシ樹脂を使用してもよいが、固形状のエポキシ樹脂を使用する場合はフィルム形成性樹脂を適宜併用することが好ましい。
【００２２】
室温（２５℃）で液状のエポキシ樹脂としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂などが好ましく挙げられる。ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂とビスフェノールＦ型エポキシ樹脂とを併用してもよい。
室温で液状のエポキシ樹脂のエポキシ当量は、１５０〜３００ｇ／ｅｑが好ましく、１６０〜２５０ｇ／ｅｑがより好ましく、１７０〜２２０ｇ／ｅｑが特に好ましい。前記エポキシ当量が上記下限未満になると硬化物の収縮率が大きくなる傾向があり、反りが生じることがある。他方、前記上限を超えると、フィルム形成性樹脂を併用した場合に、フィルム形成性樹脂、特にポリイミド樹脂との反応性が低下する傾向にある。
【００２３】
室温（２５℃）で固形状のエポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、３官能エポキシ樹脂、４官能エポキシ樹脂などが挙げられる。中でも、固形３官能エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂などが好ましい。これらのエポキシ樹脂は１種単独で用いても、２種以上を併用してもよい。
室温で固形状のエポキシ樹脂のエポキシ当量は、１５０〜３０００ｇ／ｅｑが好ましく、１６０〜２５００ｇ／ｅｑがより好ましく、１７０〜２０００ｇ／ｅｑが特に好ましい。
室温で固形状のエポキシ樹脂の軟化点は、４０〜１２０℃が好ましく、５０〜１１０℃がより好ましく、６０〜１００℃が特に好ましい。前記軟化点が前記範囲内にあると、タック性を抑えることができ、容易に取り扱うことが可能となる。
【００２４】
（ｉｉ）フィルム形成性樹脂
固形状の硬化性樹脂組成物を使用する場合、前記硬化性樹脂とフィルム形成性樹脂とを併用することが好ましい。本発明で用いるフィルム形成性樹脂としては、有機溶媒に可溶であり、単独で成膜性を有するものであれば特に制限はない。熱可塑性樹脂又は熱硬化性樹脂のいずれのものも使用することができ、また、これらを併用することもできる。具体的に、フィルム形成性樹脂としては、（メタ）アクリル系樹脂、フェノキシ樹脂、ポリエ
ステル樹脂（飽和ポリエステル樹脂）、ポリウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、シロキサン変性ポリイミド樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリプロピレン樹脂、スチレン−ブタジエン−スチレン共重合体、スチレン−エチレン−ブチレン−スチレン共重合体、ポリアセタール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ブチルゴム、クロロプレンゴム、ポリアミド樹脂、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン−アクリル酸共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体、ポリ酢酸ビニル、ナイロンなどが挙げられる。中でも、（メタ）アクリル系樹脂、フェノキシ樹脂、ポリエステル樹脂及びポリイミド樹脂が好ましい。フィルム形成性樹脂は１種単独で用いても、２種以上を併用してもよい。
【００２５】
なお、本明細書において、「（メタ）アクリル系樹脂」とは、（メタ）アクリル酸及びその誘導体の重合体、又は（メタ）アクリル酸及びその誘導体と他の単量体との共重合体を意味する。「（メタ）アクリル酸」などと表記するときは、「アクリル酸又はメタクリル酸」などを意味する。
【００２６】
本発明で用いる（メタ）アクリル系樹脂としては、例えば、ポリアクリル酸、ポリメタクリル酸、ポリアクリル酸メチル、ポリアクリル酸エチル、ポリアクリル酸ブチル、ポリアクリル酸−２−エチルヘキシルなどのポリアクリル酸エステル、ポリメタクリル酸メチル、ポリメタクリル酸エチル、ポリメタクリル酸ブチルなどのポリメタクリル酸エステル、ポリアクリロニトリル、ポリメタクリロニトリル、ポリアクリルアミド、アクリル酸ブチル−アクリル酸エチル−アクリロニトリル共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン−アクリル酸共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体、アクリロニトリル−スチレン共重合体、メタクリル酸メチル−スチレン共重合体、メタクリル酸メチル−アクリロニトリル共重合体、メタクリル酸メチル−α−メチルスチレン共重合体、アクリル酸ブチル−アクリル酸エチル−アクリロニトリル−２−ヒドロキシエチルメタクリレート−メタクリル酸共重合体、アクリル酸ブチル−アクリル酸エチル−アクリロニトリル−２−ヒドロキシエチルメタクリレート−アクリル酸共重合体、アクリル酸ブチル−アクリロニトリル−２−ヒドロキシエチルメタクリレート共重合体、アクリル酸ブチル−アクリロニトリル−アクリル酸共重合体、アクリル酸ブチル−アクリル酸エチル−アクリロニトリル共重合体、アクリル酸エチル−アクリロニトリル−Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド共重合体などが挙げられる。中でも、アクリル酸ブチル−アクリル酸エチル−アクリロニトリル共重合体、アクリル酸エチル−アクリロニトリル−Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミドが好ましい。これらの（メタ）アクリル系樹脂は１種単独で用いても、２種以上を併用してもよい。
【００２７】
本発明で用いるフェノキシ樹脂の骨格は、特に制限されないが、ビスフェノールＡタイプ、ビスフェノールＦタイプ、ビフェニルタイプなどが好ましく挙げられる。
【００２８】
本発明で用いるポリイミド樹脂としては、繰り返し単位中にイミド結合を持つ樹脂であれば特に制限されない。例えば、ジアミンと酸二無水物を反応させ、得られたポリアミド酸を加熱、脱水閉環することにより得られるものが挙げられる。
【００２９】
前記ジアミンとしては、例えば、３，３’−ジメチル−４，４’ジアミノジフェニル、４，６−ジメチル−ｍ−フェニレンジアミン、２，５−ジメチル−ｐ−フェニレンジアミンなどの芳香族ジアミン、１，３−ビス（３−アミノプロピル）―１，１，３，３―テトラメチルジシロキサンなどのシロキサンジアミンが挙げられる。ジアミンは１種単独で用いても、２種以上を併用してもよい。
【００３０】
また、前記酸二無水物としては、３，３，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸、ピロメリット酸二無水物、４，４’−オキシジフタル酸二無水物などが挙げられる。酸二無
水物は１種単独で用いても、２種以上を併用してもよい。
【００３１】
ポリイミド樹脂は、溶剤に可溶なものでも、不溶なものでもよいが、他の成分と混合する際のワニス化が容易であり、取扱性に優れている点で溶剤可溶性のものが好ましい。特に、様々な有機溶媒に溶解できる点でシロキサン変性ポリイミド樹脂を用いることが好ましい。
【００３２】
本発明で用いるフィルム形成性樹脂の重量平均分子量は８，０００〜１，０００，０００が好ましく、８，５００〜９５０，０００がより好ましく、９，０００〜９００，０００がさらに好ましい。フィルム形成性樹脂の重量平均分子量が上記の範囲であると、成膜性を向上させることが可能で、且つ、硬化前の導電接続材料の流動性を抑制することができる。なお、フィルム形成性樹脂の重量平均分子量は、ＧＰＣ（ゲル浸透クロマトグラフィー）により測定することができる。
【００３３】
本発明においては、このようなフィルム形成性樹脂として市販品を使用することができる。さらに、本発明の効果を損ねない範囲で、フィルム形成性樹脂に、可塑剤、安定剤、帯電防止剤、酸化防止剤、充填剤や顔料などの各種添加剤を配合したものを使用してもよい。
【００３４】
本発明に用いられる導電接続材料において、前記フィルム形成性樹脂の含有量は、使用する硬化性樹脂組成物の形態に応じて適宜設定することができる。
例えば、固形状の硬化性樹脂組成物の場合には、フィルム形成性樹脂の含有量は、硬化性樹脂組成物の全重量に対して、５重量％以上であることが好ましく、１０重量％以上であることがより好ましく、１５重量％以上であることが特に好ましい。また、５０重量％以下であることが好ましく、４５重量％以下であることがより好ましく、４０重量％以下であることが特に好ましい。フィルム形成性樹脂の含有量が前記範囲内にあると溶融前の硬化性樹脂組成物の流動性を抑制することができ、導電接続材料を容易に取り扱うことが可能となる。
【００３５】
（ｉｉｉ）硬化剤
本発明で用いる硬化剤としては、フェノール類、酸無水物及びアミン化合物が好ましく挙げられる。硬化剤は、硬化性樹脂の種類などに応じて適宜選択することができる。例えば、硬化性樹脂としてエポキシ樹脂を使用する場合、エポキシ樹脂との良好な反応性、硬化時の低寸法変化及び硬化後の適切な物性（例えば、耐熱性、耐湿性など）が得られる点で硬化剤としてフェノール類を用いることが好ましく、硬化性樹脂の硬化後の物性が優れている点で２官能以上のフェノール類がより好ましい。また、このような硬化剤は１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００３６】
前記フェノール類としては、例えば、ビスフェノールＡ、テトラメチルビスフェノールＡ、ジアリルビスフェノールＡ、ビフェノール、ビスフェノールＦ、ジアリルビスフェノールＦ、トリスフェノール、テトラキスフェノール、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂などが挙げられる。中でも、エポキシ樹脂との反応性が良好であり、硬化後の物性が優れている点でフェノールノボラック樹脂及びクレゾールノボラック樹脂が好ましい。
【００３７】
硬化剤の含有量は、使用する硬化性樹脂や硬化剤の種類及び後述するフラックス機能を有する化合物が硬化剤として機能する官能基を有する場合、その官能基の種類や使用量によって適宜選択することができる。
例えば、硬化性樹脂としてエポキシ樹脂を用いた場合、硬化剤の含有量は硬化性樹脂組成物の全重量に対して、０．１〜５０重量％が好ましく、０．２〜４０重量％がより好ま
しく、０．５〜３０重量％が特に好ましい。硬化剤の含有量が前記範囲内にあると端子間の電気的接続強度及び機械的接着強度を十分に確保することができる。
【００３８】
（ｉｖ）硬化促進剤
本発明で用いる硬化促進剤としては、イミダゾール、２−メチルイミダゾール、２−ウンデシルイミダゾール、２−ヘプタデシルイミダゾール、１，２−ジメチルイミダゾール、２−エチル−４−メチルイミダゾール、２−フェニルイミダゾール、２−フェニル−４−メチルイミダゾール、１−ベンジル−２−フェニルイミダゾール、１−ベンジル−２−メチルイミダゾール、１−シアノエチル−２−メチルイミダゾール、１−シアノエチル−２−エチル−４−メチルイミダゾール、１−シアノエチル−２−ウンデシルイミダゾール、１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾール、１−シアノエチル−２−ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、２，４−ジアミノ−６−［２’−メチルイミダゾリル（１’）］−エチル−ｓ−トリアジン、２，４−ジアミノ−６−［２’−ウンデシルイミダゾリル（１’）］−エチル−ｓ−トリアジン、２，４−ジアミノ−６−［２’−エチル−４−メチルイミダゾリル（１’）］−エチル−ｓ−トリアジン、２，４−ジアミノ−６−［２’−メチルイミダゾリル（１’）］−エチル−ｓ−トリアジンのイソシアヌル酸付加物、２−フェニルイミダゾールのイソシアヌル酸付加物、２−メチルイミダゾールのイソシアヌル酸付加物、２−フェニル−４，５−ジヒドロキシジメチルイミダゾール、２−フェニル−４−メチル−５−ヒドロキシメチルイミダゾールなどのイミダゾール化合物が挙げられる。
【００３９】
硬化促進剤の含有量は、使用する硬化促進剤の種類に応じて適宜設定することができる。
例えば、イミダゾール化合物を使用する場合には、イミダゾール化合物の含有量は、硬化性樹脂組成物の全重量に対して、０．００１重量％以上が好ましく、０．００３重量％以上がより好ましく、０．００５重量％以上が特に好ましい。また、１．０重量％以下が好ましく、０．７重量％以下がより好ましく、０．５重量％以下が特に好ましい。イミダゾール化合物の含有量が前記下限未満になると硬化促進剤としての作用が十分に発揮されず、硬化性樹脂組成物を十分に硬化できない場合がある。他方、イミダゾール化合物の含有量が前記上限を超えると、硬化性樹脂組成物の硬化が完了する前に錫を主成分とする合金または錫が端子表面に十分に移動せず、絶縁性領域に錫を主成分とする合金または錫が残り絶縁性が十分に確保できない場合がある。また、導電接続材料の保存安定性が低下する場合がある。
【００４０】
（ｖ）フラックス機能を有する化合物
本発明で用いるフラックス機能を有する化合物は、端子及び金属層の表面酸化膜など金属酸化膜を還元する作用を有するものである。例えば、フラックス機能を有する化合物としては、フェノール性水酸基及び／又はカルボキシル基を有する化合物が好ましい。フェノール性水酸基を有する化合物としては、例えば、フェノール、ｏ−クレゾール、２，６−キシレノール、ｐ−クレゾール、ｍ−クレゾール、ｏ−エチルフェノール、２，４−キシレノール、２，５−キシレノール、ｍ−エチルフェノール、２，３−キシレノール、メジトール、３，５−キシレノール、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール、カテコール、ｐ−ｔｅｒｔ−アミルフェノール、レゾルシノール、ｐ−オクチルフェノール、ｐ−フェニルフェノール、ビスフェノールＦ、ビスフェノールＡＦ、ビフェノール、ジアリルビスフェノールＦ、ジアリルビスフェノールＡ、トリスフェノール、テトラキスフェノールなどのフェノール性水酸基を含有するモノマー類、フェノールノボラック樹脂、ｏ−クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールＦノボラック樹脂、ビスフェノールＡノボラック樹脂などのフェノール性水酸基を含有する樹脂が挙げられる。
【００４１】
カルボキシル基を有する化合物としては、例えば、脂肪族酸無水物、脂環式酸無水物、
芳香族酸無水物、脂肪族カルボン酸、芳香族カルボン酸などが挙げられる。前記脂肪族酸無水物としては、無水コハク酸、ポリアジピン酸無水物、ポリアゼライン酸無水物、ポリセバシン酸無水物などが挙げられる。前記脂環式酸無水物としては、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、無水メチルハイミック酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルシクロヘキセンジカルボン酸無水物などが挙げられる。前記芳香族酸無水物としては、無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、エチレングリコールビストリメリテート、グリセロールトリストリメリテートなどが挙げられる。
【００４２】
前記脂肪族カルボン酸としては、蟻酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、カプリル酸、ラウリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、ステアリン酸、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、オレイン酸、フマル酸、マレイン酸、シュウ酸、マロン酸、琥珀酸、グルタル酸、アジピン酸、セバシン酸、ドデカンジオン酸、ピメリン酸などが挙げられる。中でも、下記式（１）：
ＨＯＯＣ−（ＣＨ２）ｎ−ＣＯＯＨ （１）
（式（１）中、ｎは１〜２０の整数である。）
で表される脂肪族カルボン酸が好ましく、アジピン酸、セバシン酸、ドデカンジオン酸がより好ましい。
【００４３】
芳香族カルボン酸の構造は特に制限されないが、下記式（２）又は（３）で表される化合物が好ましい。
【化３】
［式中、Ｒ１〜Ｒ５は、それぞれ独立して、１価の有機基であり、Ｒ１〜Ｒ５の少なくとも一つは水酸基である。］
【化４】
［式中、Ｒ６〜Ｒ２０は、それぞれ独立して、１価の有機基であり、Ｒ６〜Ｒ２０の少なくとも一つは水酸基又はカルボキシル基である。］
【００４４】
芳香族カルボン酸としては、安息香酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ヘミメリット酸、トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、プレートニ酸、ピロメリット酸、メリット酸、キシリル酸、ヘメリト酸、メシチレン酸、プレーニチル酸、トルイル酸、ケイ皮酸、サリチル酸、２，３−ジヒドロキシ安息香酸、２，４−ジヒドロキシ安息香酸、ゲンチジン酸（２，５−ジヒドロキシ安息香酸）、２，６−ジヒドロキシ安息香酸、３，５−ジヒドロキシ安息香酸、浸食子酸（３，４，５−トリヒドロキシ安息香酸）、４−ジヒドロキシ−２−ナフトエ酸、３，５−ジヒドロキシ−２−ナフトエ酸、３，５−２−ジヒドロキシ−２−ナフトエ酸などのナフトエ酸誘導体；フェノールフタリン；ジフェノール酸などが挙げられる。
【００４５】
これらの中でも、本発明では、フラックス機能を有するだけでなく、硬化性樹脂の硬化剤として作用する化合物であることが好ましい。すなわち、本発明で用いるフラックス機能を有する化合物としては、金属層及び端子などの金属の表面酸化膜を還元する作用を示し、且つ、硬化性樹脂と反応可能な官能基を有する化合物を用いることが好ましい。該官能基は、硬化性樹脂の種類によって適宜選択する。例えば、硬化性樹脂としてエポキシ樹脂を用いる場合、該官能基は、カルボキシル基、水酸基及びアミノ基などのエポキシ基と反応可能な官能基が好ましい。フラックス機能を有する化合物が硬化剤としても作用することで、金属層及び端子などの金属の表面酸化膜を還元して金属表面の濡れ性を高め、導電性領域の形成を容易にすると共に、導電性領域を形成した後は、硬化性樹脂に付加して樹脂の弾性率又はＴｇを高めることができる。また、フラックス機能を有する化合物が硬化剤として作用することで、フラックス洗浄が不要となり、フラックス成分が残存することによるイオンマイグレーションの発生を抑制することができるといった利点がある。
【００４６】
このようなフラックス機能を有する化合物としては、カルボキシル基を少なくとも１つ有していることが好ましい。例えば、硬化性樹脂としてエポキシ樹脂を用いる場合、該化合物としては、脂肪族ジカルボン酸又はカルボキシル基とフェノール性水酸基とを有する化合物などが挙げられる。
脂肪族ジカルボン酸としては、脂肪族炭化水素基にカルボキシル基が２個結合した化合物が好ましく挙げられる。脂肪族炭化水素基は、飽和又は不飽和の非環式であってもよいし、飽和又は不飽和の環式であってもよい。また、脂肪族炭化水素基が非環式の場合には直鎖状でも分岐状でもよい。
【００４７】
このような脂肪族ジカルボン酸としては、前記式（１）においてｎが１〜２０の整数である化合物が好ましく挙げられる。前記式（１）中のｎが上記範囲内であると、フラックス活性、接着時のアウトガス、導電接続材料が硬化した後の弾性率及びガラス転移温度のバランスが良好なものとなる。特に、導電接続材料の硬化後の弾性率の増加を抑制し、被接着物との接着性を向上させることができることから、ｎは３以上が好ましい。また、弾性率の低下を抑制し、接続信頼性をさらに向上させることができることから、ｎは１０以下が好ましい。
【００４８】
前記式（１）で示される脂肪族ジカルボン酸としては、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ウンデカン二酸、ドデカン二酸、トリデカン二酸、テトラデカン二酸、ペンタデカン二酸、オクタデカン二酸、ノナデカン二酸、エイコサン二酸などが挙げられる。中でも、アジピン酸、スベリン酸、セバシン酸、ドデンカン二酸が好ましく、セバシン酸が特に好ましい。
【００４９】
前記カルボキシル基とフェノール性水酸基とを有する化合物としては、サリチル酸、２，３−ジヒドロキシ安息香酸、２，４−ジヒドロキシ安息香酸、ゲンチジン酸（２，５−ジヒドロキシ安息香酸）、２，６−ジヒドロキシ安息香酸、３，４−ジヒドロキシ安息香酸、浸食子酸（３，４，５−トリヒドロキシ安息香酸）などの安息香酸誘導体；１，４−ジヒドロキシ−２−ナフトエ酸、３，５−ジヒドロキシ−２−ナフトエ酸などのナフトエ酸誘導体；フェノールフタリン；ジフェノール酸などが挙げられる。中でも、フェノールフタリン、ゲンチジン酸、２，４−ジヒドロキシ安息香酸、２，６−ジヒドロキシ安息香酸が好ましく、フェノールフタリン、ゲンチジン酸が特に好ましい。
【００５０】
フラックス機能を有する化合物は、１種単独で用いても２種以上を併用してもよい。また、いずれの化合物も吸湿しやすく、ボイド発生の原因となるため、フラックス機能を有する化合物を使用前に予め乾燥させておくことが好ましい。
【００５１】
フラックス機能を有する化合物の含有量は、使用する樹脂組成物の形態に応じて適宜設定することができる。
例えば、樹脂組成物が液状の場合、フラックス機能を有する化合物の含有量は、硬化性樹脂組成物の全重量に対して、１重量％以上が好ましく、２重量部％以上がより好ましく、３重量％以上が特に好ましい。また、５０重量％以下が好ましく、４０重量％以下がより好ましく、３０重量％以下がさらに好ましく、２５重量％以下が特に好ましい。
固形状の樹脂組成物の場合には、フラックス機能を有する化合物の含有量は、硬化性樹脂組成物の全重量に対して、１重量％以上が好ましく、２重量％以上がより好ましく、３重量％以上が特に好ましい。また、５０重量％以下が好ましく、４０重量％以下がより好ましく、３０重量％以下がさらに好ましく、２５重量％以下が特に好ましい。
フラックス機能を有する化合物の含有量が上記範囲内であると、金属層及び端子の表面酸化膜を電気的に接合できる程度に除去することができる。さらに、樹脂組成物が硬化性樹脂の場合、硬化時に、樹脂に効率よく付加して樹脂の弾性率又はＴｇを高めることができる。また、未反応のフラックス機能を有する化合物に起因するイオンマイグレーションの発生を抑制することができる。
【００５２】
（ｖｉ）シランカップリング剤
本発明で用いるシランカップリング剤としては、エポキシシランカップリング剤、芳香族含有アミノシランカップリング剤などが挙げられる。シランカップリング剤を添加することにより、接合部材と導電接続材料との密着性を高めることができる。シランカップリング剤は１種単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
【００５３】
シランカップリング剤の含有量は、接合部材や硬化性樹脂などの種類に応じて適宜選択することができる。例えば、シランカップリング剤の含有量は、硬化性樹脂組成物の全重量に対して、０．０１重量％以上が好ましく、０．０５重量％以上がより好ましく、０．１重量％以上が特に好ましく、また、２重量％以下が好ましく、１．５重量％以下がより好ましく、１重量％以下が特に好ましい。
【００５４】
本発明で用いる硬化性樹脂組成物には、本発明の効果を損ねない範囲で、可塑剤、安定剤、粘着付与剤、滑剤、充填剤、帯電防止剤、酸化防止剤及び顔料などを配合してもよい。
【００５５】
本発明において、前記硬化性樹脂組成物は、上記各成分を混合・分散させることによって調製することができる。各成分の混合方法や分散方法は特に限定されず、従来公知の方法で混合、分散させることができる。
【００５６】
また、本発明においては、前記各成分を溶媒中で又は無溶媒下で混合して液状の硬化性樹脂組成物を調製してもよい。このとき用いられる溶媒としては、各成分に対して不活性なものであれば特に限定はないが、例えば、アセトン、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）、メチルイソブチルケトン（ＭＩＢＫ）、ジイソブチルケトン（ＤＩＢＫ）、シクロヘキサノン、ジアセトンアルコール（ＤＡＡ）などのケトン類；ベンゼン、キシレン、トルエンなどの芳香族炭化水素類、メチルアルコール、エチルアルコール、イソプロピルアルコール、ｎ−ブチルアルコールなどのアルコール類、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテートなどのセロソルブ類、Ｎ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）、ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、ニ塩基酸エステル（ＤＢＥ）、３−エトキシプロピオン酸エチル（ＥＥＰ）、ジメチルカーボネート（ＤＭＣ）などが挙げられる。また、溶媒の使用量は、溶媒に混合した成分の固形分濃度が１０〜６０重量％となる量であることが好ましい。
【００５７】
（ｂ）熱可塑性樹脂組成物
本発明においては、樹脂組成物として熱可塑性樹脂組成物を用いることもできる。
本発明で用いる熱可塑性樹脂組成物は、熱可塑性樹脂及び充填材のほか、必要に応じて、フラックス機能を有する化合物、シランカップリング剤などが含まれる。
【００５８】
（ｉ）熱可塑性樹脂
本発明で用いる熱可塑性樹脂としては、例えば、酢酸ビニル系、ポリビニルアルコール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、塩化ビニル樹脂、（メタ）アクリル樹脂、フェノキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、シロキサン変性ポリイミド樹脂、ポリブタジエン樹脂、アクリル樹脂、スチレン樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリアミド樹脂、セルロース樹脂、イソブチレン樹脂、ビニルエーテル樹脂、液晶ポリマー樹脂、ポリフェニレンスルフィド樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリエーテルサルフォン樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリウレタン樹脂、スチレン−ブタジエン−スチレン共重合体、スチレン−エチレン−ブチレン−スチレン共重合体、ポリアセタール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ブチルゴム、クロロプレンゴム、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン−アクリル酸共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体、ポリ酢酸ビニル等が挙げられる。熱可塑性樹脂は、単一の重合体でもよく、上記熱可塑樹脂の２種以上の共重合体でもよい。
【００５９】
熱可塑性樹脂の軟化点は、特に制限されないが、導電接続材料を構成する金属層の融点より１０℃以上低いことが好ましく、２０℃以上低いことが特に好ましく、３０℃以上低
いことがより好ましい。
【００６０】
また、熱可塑性樹脂の分解温度は、特に制限されないが、導電接続材料を構成する金属層の融点よりも１０℃以上高いことが好ましく、２０℃以上高いことが特に好ましく、３０℃以上高いことがより好ましい。
【００６１】
熱可塑性樹脂の含有量は使用する熱可塑性樹脂組成物の形態に応じて適宜設定することができる。
例えば、熱可塑性樹脂組成物が液状の場合、熱可塑性樹脂の含有量は、熱可塑性樹脂組成物の全重量に対して、１０重量％以上が好ましく、１５重量％以上がより好ましく、２０重量％以上がさらに好ましく、２５重量％以上がさらにより好ましく、３０重量％以上がなお好ましく、３５重量％以上が特に好ましい。また、１００重量％以下が好ましく、９５重量％以下がより好ましく、９０重量％以下がさらに好ましく、７５重量％以下がさらにより好ましく、６５重量％以下がなお好ましく、５５重量％以下が特に好ましい。
熱可塑性樹脂組成物が固形状の場合は、熱可塑性樹脂の含有量は、熱可塑性樹脂組成物の全重量に対して、５重量％以上が好ましく、１０重量％以上がより好ましく、１５重量％以上がさらに好ましく、２０重量％以上が特に好ましい。また、９０重量％以下が好ましく、８５重量％以下がより好ましく、８０重量％以下がさらに好ましく、７５重量％以下がさらにより好ましく、６５重量％以下がなお好ましく、５５重量％以下が特に好ましい。
熱可塑性樹脂の含有量が上記の範囲内であると端子間の電気的接続強度及び機械的接着強度を十分に確保することができる。
【００６２】
（ｉｉ）その他の添加剤
本発明の熱可塑性樹脂組成物で用いるフラックス機能を有する化合物、シランカップリング剤、その他の添加剤は、前記「（ａ）硬化性樹脂組成物」において説明したものと同じものを用いることができる。各成分の含有量、好ましい化合物及び調製方法も硬化性樹脂組成物で説明したものと同様である。
【００６３】
本発明においては、樹脂組成物として硬化性樹脂組成物を用いることが好ましい。中でも、樹脂組成物の全重量に対して、エポキシ樹脂１０〜９０重量％、硬化剤０．１〜５０重量％、フィルム形成性樹脂５〜５０重量％及びフラックス機能を有する化合物１〜５０重量％を含むものがより好ましい。また、樹脂組成物の全重量に対して、エポキシ樹脂２０〜８０重量％、硬化剤０．２〜４０重量％、フィルム形成性樹脂１０〜４５重量％及びフラックス機能を有する化合物２〜４０重量％を含むものがさらに好ましい。また、樹脂組成物の全重量に対して、エポキシ樹脂３５〜５５重量％、硬化剤０．５〜３０重量％、フィルム形成性樹脂１５〜４０重量％及びフラックス機能を有する化合物３〜２５重量％を含むものが特に好ましい。
【００６４】
本発明の導電接続材料において樹脂組成物層の各々の厚みは、特に制限されないが、１μｍ以上が好ましく、３μｍ以上がより好ましく、５μｍ以上が特に好ましい。また、樹脂組成物層の厚みは、２００μｍ以下が好ましく、１５０μｍ以下がより好ましく、１００μｍ以下が特に好ましい。樹脂組成物層の厚みが前記範囲内にあると、隣接する端子間の間隙に樹脂組成物を十分に充填することができ、樹脂組成物の硬化後、固化後の機械的接着強度及び対向する端子間の電気的接続を十分に確保することができ、接続端子の製造も可能にすることができる。
【００６５】
本発明の導電接続材料が樹脂組成物層を複数含む場合、各樹脂組成物層の組成は同一でもよいし、用いる樹脂成分の種類や配合処方の違いなどにより異なっていてもよい。樹脂組成物層の溶融粘度や軟化温度などの物性も同一でもよいし異なっていてもよい。例えば
液状の樹脂組成物層と固形状の樹脂組成物層とを組み合わせて用いてもよい。
【００６６】
（２）金属層
本発明において金属層は、錫を主成分とする合金または錫の金属層で構成される層である。金属層は平面視で樹脂組成物層の少なくとも一部に形成されていればよく、樹脂組成物層の全面に形成されていてもよい。
【００６７】
金属層の形状は特に制限されなく、一定の形状が繰り返しパターン状に形成されていてもよいし、形状が不規則であってもよい。規則的な形状と不規則な形状とが混在していてもよい。図１は、金属層の形状の一例を示す平面模式図である。樹脂組成物層１２０の上に様々な形状をもつ金属層１１０が形成されている。金属層の形状としては、例えば、図１に示されるような点線の抜き模様状（ａ）、縞模様状（ｂ）、水玉模様状（ｃ）、矩形模様状（ｄ）、チェッカー模様状（ｅ）、額縁状（ｆ）、格子模様状（ｇ）又は多重の額縁状（ｈ）などが挙げられる。これらの形状は一例であり、目的や用途に応じてこれらの形状を組み合わせたり、変形させて用いることができる。
【００６８】
本発明の一実施態様において、接続しようとする電極が被着体の接続面全体に配置されているようなフルグリッド型の被着体を接続する場合、樹脂組成物の全面に金属層を形成することが好ましい。
【００６９】
また、接続しようとする電極が被着体の接続面の周辺部に配置されるようなペリフェラル型の被着体を接続する場合、金属層を有効に利用する観点、及び、隣接する電極間に金属層を残存させないという観点から、樹脂組成物の少なくとも一部に繰り返しパターン状の金属層を形成することが好ましい。このとき、金属層の形状は電極のピッチや形態等によって適宜選択することができる。
【００７０】
本発明に使用する金属層は、特に制限はないが、錫（Ｓｎ）、鉛（Ｐｂ）、銀（Ａｇ）、ビスマス（Ｂｉ）、インジウム（Ｉｎ）、亜鉛（Ｚｎ）、ニッケル（Ｎｉ）、アンチモン（Ｓｂ）、鉄（Ｆｅ）、アルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）及び銅（Ｃｕ）からなる群から選択される少なくとも２種以上の金属の合金、又は錫単体からなることが好ましい。
【００７１】
これらのうち、溶融温度及び機械的物性を考慮すると、金属層は、Ｓｎ−Ｐｂの合金、鉛フリー半田であるＳｎ−Ｂｉの合金、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕの合金、Ｓｎ−Ｉｎの合金、Ｓｎ−Ａｇの合金などのＳｎを主成分とする合金がより好ましい。Ｓｎ−Ｐｂの合金を用いる場合、錫の含有率は、３０重量％以上１００重量％未満が好ましく、３５重量％以上１００重量％未満がより好ましく、４０重量％以上が特に好ましい。また、１００重量％未満が好ましい。また、鉛フリー半田の場合の錫の含有率は、１５重量％以上１００重量％未満が好ましく、２０重量％以上１００重量％未満がより好ましく、２５重量％以上１００重量％未満が特に好ましい。例えば、錫を主成分とする合金としては、Ｓｎ６３−Ｐｂ（融点１８３℃）、Ｓｎ−３．０Ａｇ−０．５Ｃｕ（融点２１７℃）、Ｓｎ−３．５Ａｇ（融点２２１℃）、Ｓｎ−５８Ｂｉ（融点１３９℃）、Ｓｎ−９．０Ｚｎ（融点１９９℃）、Ｓｎ−３．５Ａｇ−０．５Ｂｉ−３．０Ｉｎ（融点１９３℃）、Ａｕ−２０Ｓｎ（融点２８０℃）、等が好ましく挙げられる。
【００７２】
金属層は、接続しようとする電子部材や半導体装置の耐熱性に応じて適宜選択すればよい。例えば、半導体装置における端子間接続においては、半導体装置の部材が熱履歴により損傷するのを防止するため、融点が３３０℃以下（より好ましくは３００℃以下、特に好ましくは２８０℃以下、さらに好ましくは２６０℃以下）である金属層を用いることが好ましい。また、端子間接続後の半導体装置の耐熱性を確保するためには、融点が１００
℃以上（より好ましくは１１０℃以上、特に好ましくは１２０℃以上）である金属層を用いることが好ましい。なお、金属層の融点は、示差走査熱量計（ＤＳＣ）により測定することができる。
【００７３】
金属層の厚みは、対向する端子間のギャップ、隣接する端子間の離隔距離などに応じて適宜選択することができる。例えば、半導体装置における半導体チップ、基板、半導体ウエハなどの各接続端子間の接続の場合、金属層の厚みは、０．５μｍ以上が好ましく、１μｍ以上がより好ましく、５μｍ以上が特に好ましく、また、１００μｍ以下が好ましく、５０μｍ以下がより好ましく、２０μｍ以下が特に好ましい。金属層の厚みが前記下限未満になると錫を主成分とする合金または錫により未接続の端子が増加する傾向にあり、他方、前記上限を超えると錫を主成分とする合金または錫余剰により隣接端子間でブリッジを起こし、ショートしやすくなる傾向にある。
【００７４】
金属層の形成方法としては、支持基材上の全面に真空蒸着法または真空スパッタリング法により形成することができる。また、繰り返しパターン状の金属層の作製方法としては、例えば、支持基材上の全面に真空スパッタリング法または真空蒸着法により金属層を形成した後に、不要な金属層をエッチングすることにより繰り返しパターン状の金属層を形成することができる。さらに、遮蔽板やマスクなどを使用することにより、支持基材の所望の位置に真空蒸着法または真空スパッタリング法により、繰り返しパターン状の金属層を形成することができる。
【００７５】
前記支持基材としては、特に制限されず、銅、アルミニウム、金等の金属基材、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、フッ素樹脂等の樹脂基材等が挙げられるが、金属層の支持基材からの転写性に優れるポリエチレン、ポリプロピレン、フッ素樹脂が好ましい。
また、金属層の支持基材からの転写性を向上させる目的で、支持基材の表面をフッ素系樹脂、シリコン系樹脂等で離型処理を施してもよい。
【００７６】
金属層の含有量は、導電接続材料の全重量に対して、５重量％以上が好ましく、２０重量％以上がより好ましく、３０重量％以上が特に好ましい。また、１００重量％未満が好ましく、８０重量％以下がより好ましく、７０重量％以下が特に好ましい。金属層の含有量が上記下限未満になると錫を主成分とする合金または錫不足により未接続の端子が増加する場合がある。他方、金属層の含有量が上記上限を超えると錫を主成分とする合金または錫余剰により隣接端子間でブリッジを起こしやすくなる。
【００７７】
あるいは、金属層の含有量を導電接続材料に対する体積比率で定義してもよい。例えば、金属層の含有量は、導電接続材料に対して１体積％以上が好ましく、５体積％以上がより好ましく、１０体積％以上が特に好ましい。また、９０体積％以下が好ましく、８０体積％以下がより好ましく、７０体積％以下が特に好ましい。金属層の含有量が上記下限未満になると錫を主成分とする合金または錫不足により未接続の端子が増加する場合がある。他方、金属層の含有量が上記上限を超えると錫を主成分とする合金または錫余剰により隣接端子間でブリッジを起こしやすくなる。
【００７８】
本発明において導電接続材料の形態は、樹脂組成物の形態などに応じて適宜選択することができる。例えば、樹脂組成物が液状の場合は、ポリエステルシート等の剥離基材上に樹脂組成物を塗布し、所定温度で半硬化（Ｂステージ化）等の目的で乾燥、成膜させた後に、真空蒸着装置または真空スパッタリング装置にて支持基材上に成膜した金属層を樹脂組成物に転写させることにより導電接続材料として供することができる。樹脂組成物が固形状の場合は、有機溶剤に溶解した樹脂組成物のワニスをポリエステルシート等の剥離基材上に塗布し、所定の温度で乾燥させた後に、真空蒸着装置または真空スパッタリング装
置にて支持基材上に成膜した金属層を樹脂組成物に転写させることにより導電接続材料として供することができる。
【００７９】
本発明の導電接続材料の厚みは、特に制限されないが、１μｍ以上が好ましく、３μｍ以上がより好ましく、５μｍ以上が特に好ましく、また、２００μｍ以下が好ましく、１５０μｍ以下がより好ましく、１００μｍ以下が特に好ましい。導電接続材料の厚みが前記範囲内にあると隣接する端子間の間隙に樹脂組成物を十分に充填することができる。また、樹脂成分の硬化後又は固化後の機械的接着強度及び対向する端子間の電気的接続を十分に確保することができる。また、目的や用途に応じた接続端子の製造も可能にすることができる。
【００８０】
次に、導電接続材料の製造方法について説明する。
本発明で用いる樹脂組成物が２５℃で液状の場合、例えば、剥離基材上に樹脂組成物を塗布し所定温度で半硬化（Ｂステージ化）等の目的で乾燥、成膜させた後、真空蒸着装置または真空スパッタリング装置にて支持基材上に成膜した金属層を樹脂組成物に転写させることにより、本発明の二層の導電接続材料を製造することができる。
また、金属層の両側に樹脂組成物を形成する場合は、前記二層の導電接続材料の金属層の樹脂組成物層がある反対側の面に、樹脂組成物の半硬化状態のものをラミネートすることにより製造すればよい。樹脂組成物の厚み制御が必要な場合は、剥離基材上に液状の樹脂組成物を塗布させた後、一定の間隙を有するバーコーターを通過させる方法や液状の樹脂組成物をスプレーコーター等により剥離基材上に所定量吹き付ける方法により作製することができる。
【００８１】
また、本発明で用いる樹脂組成物が２５℃で固形状の場合は、例えば、次のようにして導電接続材料を製造することができる。まず、有機溶剤に溶解した樹脂組成物のワニスをポリエステルシート等の剥離基材上に塗布し、所定の温度で乾燥させ成膜させてフィルム状の樹脂組成物を作製する。次に、剥離基材上に成膜させた樹脂組成物に真空蒸着装置または真空スパッタリング装置にて支持基材上に成膜した金属層を転写させ、さらに、金属層の樹脂組成物がある面とは反対側の面に、もう１枚準備したフィルム状の樹脂組成物を熱ロールでラミネートすることで、金属層の上下に樹脂組成物を配置した樹脂組成物／金属層／樹脂組成物からなる３層の導電接続材料を作製することができる。
【００８２】
パターン状の金属層を有する導電接続材料を作製する場合、支持基材上に金属層を形成する部分が開口されたマスクを配置し、真空蒸着または真空スパッタリングすることにより金属層をパターン状に形成することができる。他にマスクを使用せず、支持基材上全面に真空蒸着法または真空スパッタリング法で金属層を形成した後、回路形成時に使用する感光性レジストで被覆し、露光、現像後に、不要な金属層をエッチングし、感光性レジストを剥離することでパターン状の金属層を形成することもできる。パターン状の金属層の両面に樹脂組成物を設ける場合は、剥離基材上に成膜させた樹脂組成物に真空蒸着装置または真空スパッタリング装置にて支持基材上に成膜した金属層を転写させ、さらに、パターン状の金属層の樹脂組成物が形成された面とは反対側の面に、フィルム状の樹脂組成物をさらにラミネートすればよい。
なお、導電接続材料の製造方法は上記方法に制限されない。導電接続材料の製造方法は、目的や用途に応じて当業者が適宜選択することができる。
【００８３】
前記真空スパッタリング法は、市販の真空スパッタリング装置を用いることができ、真空度は１×１０−１〜１×１０−５Ｔｏｒｒが好ましく、１×１０−２〜１×１０−４Ｔｏｒｒが特に好ましい。また、放電電力は１０００〜２０００Ｗ、不活性ガスとしてはアルゴン等を用いることができる。
【００８４】
前記真空蒸着法は、市販の真空蒸着装置を用いることができ、真空度は１×１０−４Ｔｏｒｒ以下が好ましく、１×１０−５Ｔｏｒｒ以下が特に好ましい。また、加速電圧は１〜３０ｋｖが好ましく、２〜２５ｋｖが特に好ましい。
【００８５】
２．端子間の接続方法
次に、本発明の端子間の接続方法について説明する。
本発明の接続方法は前記導電接続材料の製造方法で製造された導電接続材料を用いて端子間を接続する方法にかかるものであり、導電接続材料を対向する端子間に配置する配置工程と、前記導電接続材料を加熱する加熱工程と、前記樹脂組成物を硬化又は固化させる硬化／固化工程とを含む。本発明の接続方法は、例えば、半導体ウエハ、半導体チップ、リジッド基板、フレキシブル基板、その他の電気、電子部品に形成されている端子同士を接続する際などに用いることができる。
【００８６】
本発明の接続方法は、前記導電接続材料の樹脂組成物が硬化性樹脂組成物である場合と、熱可塑性樹脂組成物である場合とで接続方法の工程が若干異なる。以下、前記導電接続材料の樹脂組成物が硬化性樹脂組成物である場合を第１実施態様とし、熱可塑性樹脂組成物である場合を第２実施態様として、それぞれの態様ごとに説明する。
【００８７】
（１）第１実施態様
本発明の第１実施態様の端子間の接続方法は、前記硬化性樹脂組成物と金属層とを含む導電接続材料を対向する端子間に配置する配置工程と、前記金属層の融点以上であり、且つ、前記硬化性樹脂組成物の硬化が完了しない温度で前記導電接続材料を加熱する加熱工程と、前記硬化性樹脂組成物を硬化させる硬化工程と、を含む。
【００８８】
この接続方法では、加熱溶融した錫を主成分とする合金または錫を選択的に端子間で凝集させて導電性領域を形成し、その周囲に硬化性樹脂組成物による絶縁性領域を形成することができる。その結果、隣接する端子間の絶縁性を確保してリーク電流を防ぐことができるので、端子間の接続の接続信頼性を高めることができる。また、微細な配線回路においても多数の端子間の電気的接続を一括で実施することが可能となる。さらに硬化性樹脂組成物を硬化させることによって導電性領域又は絶縁性領域の機械的強度を高めることができる。
【００８９】
以下、図面を参照しながら、本発明の第１実施態様の端子間の接続方法の好適な実施形態について詳細に説明するが、本発明の接続方法はこれらの図面に限定されるものではない。
（ａ）配置工程
先ず、図２に示すように、端子１１が設けられた基板１０と端子２１が設けられた基板２０とを、端子１１と端子２１とが対向するように位置あわせし、これらの端子間に、金属層１１０と金属層１１０の両面に設けられた硬化性樹脂組成物１２０とからなる導電接続材料３０を配置する。この時、導電接続材料３０はロールラミネータ又はプレス等の装置を使用し、図４に示すように、あらかじめ基板１０又は基板２０の片側、あるいは、基板１０及び基板２０の双方に熱圧着されていてもよい。また、前記端子１１及び２１の表面は、電気的な接続を良好にするために、必要により、洗浄、研磨、めっき及び表面活性化などの処理を施してもよい。
【００９０】
（ｂ）加熱工程
加熱工程では、前記配置工程において端子間に配置した導電接続材料を、金属層の融点以上で加熱する。加熱温度は、金属層の融点以上であればよく、例えば加熱時間を短くするなど、加熱時間を調整することによって、錫を主成分とする合金または錫が硬化性樹脂中を移動できる範囲すなわち「硬化性樹脂組成物の硬化が完了しない」範囲であれば、そ
の上限は特に制限されない。加熱温度は、金属層の融点より５℃以上高い温度が好ましく、１０℃以上高い温度がより好ましく、２０℃以上高い温度がさらに好ましく、３０℃以上高い温度が特に好ましい。
【００９１】
加熱温度は、使用する金属層及び硬化性樹脂組成物の組成などによって適宜選択することができるが、１００℃以上が好ましく、１３０℃以上がより好ましく、１４０℃以上が特に好ましく、１５０℃以上が最も好ましい。接続しようとする基板などの熱劣化を防止するためには、加熱温度は２６０℃以下が好ましく、２５０℃以下がより好ましく、２４０℃以下が特に好ましい。
【００９２】
このような温度で前記導電接続材料を加熱すると、金属層１１０が溶融し、溶融した錫を主成分とする合金または錫が硬化性樹脂組成物１２０中を移動できるようになる。硬化性樹脂組成物がフラックス機能を有する化合物を含む場合、硬化性樹脂組成物に含まれるフラックス機能を有する化合物の還元作用により、錫を主成分とする合金または錫の表面酸化膜が除去されるため、錫を主成分とする合金または錫は濡れ性が高められた状態であり、金属結合が促されて対向する端子間に凝集しやすくなる。他方、フラックス機能を有する化合物の還元作用により端子１１及び２１の表面酸化膜も除去されて濡れ性が高められているため、錫を主成分とする合金または錫との金属結合が容易になる。その結果、図３に示すように、前記端子間には導電性領域１３０が形成され、端子１１と端子２１とが電気的に接続される。他方、導電性領域の周囲には硬化性樹脂組成物が充填されて絶縁性領域１４０が形成される。その結果、隣接する端子間の絶縁性が確保され、隣接する端子間のショートを防止することが可能となる。
【００９３】
本発明の接続方法においては、対向する端子間の距離を近づけるように加圧して加熱してもよい。例えば、図２中の基板１０及び２０が対向する方向に公知の熱圧着装置などの手段を用いて加熱及び加圧することにより、対向する各端子間の距離を一定に制御することができ、対向する端子間の電気的な接続信頼性を高めることが可能となる。
さらに、加圧又は加熱する際に超音波や電場などを加えたり、レーザーや電磁誘導などの特殊加熱を適用してもよい。
【００９４】
（ｃ）硬化工程
本発明の接続方法においては、前記加熱工程で導電性領域１３０と絶縁性領域１４０とを形成した後、硬化性樹脂組成物を硬化させて絶縁性領域１４０を固定する。これにより、前記端子間の電気的信頼性及び機械的接続強度を十分に確保することができる。特に本発明の接続方法においては、高絶縁抵抗値を有する硬化性樹脂組成物を使用しているため、絶縁性領域の絶縁性をより十分に確保することができる。
【００９５】
硬化性樹脂組成物の硬化は、導電接続材料を加熱することなどによって実施することができる。導電接続材料の硬化温度は、硬化性樹脂組成物の組成に応じて適宜設定することができるが、前記加熱工程での加熱温度より少なくとも５℃低い温度であることが好ましく、少なくとも１０℃低い温度であることが特に好ましい。具体的には、１００℃以上であることが好ましく、１２０℃以上であることがより好ましく、１３０℃以上であることが特に好ましく、１５０℃以上であることが最も好ましい。また、３００℃以下であることが好ましく、２６０℃以下であることがより好ましく、２５０℃以下であることが特に好ましく、２４０℃以下であることが最も好ましい。硬化温度が前記範囲内にあると、導電接続材料が熱分解せず、硬化性樹脂組成物を十分に硬化させることができる。
【００９６】
（２）第２実施態様
次に、本発明の第２実施態様の端子間の接続方法について説明する。本発明の第２実施態様の端子間の接続方法は、前記熱可塑性樹脂組成物と金属層とを含む導電接続材料を対
向する端子間に配置する配置工程と、前記金属層の融点以上であり、且つ、前記熱可塑性樹脂組成物が軟化する温度で前記導電接続材料を加熱する加熱工程と、前記熱可塑性樹脂組成物を固化させる固化工程と、を含む。以下、各工程について説明する。
【００９７】
（ａ）配置工程
熱可塑性樹脂組成物と金属層とを含む導電接続材料を使用した場合も、前記熱硬化性樹脂組成物と金属層とを含む導電接続材料を使用した場合と同様に導電接続材料を配置することができる。
【００９８】
（ｂ）加熱工程
加熱工程は、特に制限されないが、前記配置工程において端子間に配置した導電接続材料を、金属層の融点以上で加熱する。加熱温度は、金属層の融点より５℃以上高い温度が好ましく、１０℃以上高い温度がより好ましく、２０℃以上高い温度がさらに好ましく、３０℃以上高い温度が特に好ましい。加熱温度は、金属層の融点以上であり、熱可塑性樹脂組成物が軟化して錫を主成分とする合金または錫が熱可塑性樹脂中を移動できる範囲すなわち「熱可塑性樹脂組成物が軟化する」範囲であれば、その上限は特に制限されない。
【００９９】
加熱温度は、使用する金属層及び熱可塑性樹脂組成物の組成などによって適宜選択することができる。例えば、硬化性樹脂組成物と金属層とを含む導電接続材料と同様の加熱温度で加熱することができる。
【０１００】
上記の温度で前記導電接続材料を加熱すると、金属層１１０が溶融し、溶融した錫を主成分とする合金または錫が熱可塑性樹脂組成物１２０中を移動できるようになる。熱可塑性樹脂組成物がフラックス機能を有する化合物を含む場合、熱可塑性樹脂組成物に含まれるフラックス機能を有する化合物の還元作用により、錫を主成分とする合金または錫の表面酸化膜は除去されるため、錫を主成分とする合金または錫は濡れ性が高められた状態であり、金属結合が促されて対向する端子間に凝集しやすくなる。他方、フラックス機能を有する化合物の還元作用により端子１１及び２１の表面酸化膜も除去されて濡れ性が高められているため、錫を主成分とする合金または錫との金属結合が容易になる。その結果、図３に示すように、前記端子間には導電性領域１３０が形成され、端子１１と端子２１とが電気的に接続される。他方、導電性領域の周囲には熱可塑樹脂組成物が充填されて絶縁性領域１４０が形成される。その結果、隣接する端子間の絶縁性が確保され、隣接する端子間のショートを防止することが可能となる。
【０１０１】
（ｃ）固化工程
本発明の接続方法においては、前記加熱工程で導電性領域１３０と絶縁性領域１４０とを形成した後、熱可塑性樹脂組成物を固化させて絶縁性領域１４０領域を固定する。これにより、前記端子間の電気的信頼性及び機械的接続強度を十分に確保することができる。
【０１０２】
熱可塑性樹脂組成物の固化は、前記加熱工程で加熱溶融した導電接続材料を冷却・固化することによって実施することができる。導電接続材料の冷却・固化は、熱可塑性樹脂組成物の組成に応じて適宜設定することができるものであり、特に制限されないが、自然冷却による方法でもよく、また、冷気を吹きつけるなどの方法でもよい。
【０１０３】
前記熱可塑性樹脂組成物の固化温度は、特に制限されないが、金属層の融点より低いことが好ましい。より具体的には、前記熱可塑性樹脂組成物の固化温度は、金属層の融点より１０℃以上低いことが好ましく、２０℃以上低いことが特に好ましい。また、前記熱可塑性樹脂組成物の固化温度は、５０℃以上であることが好ましく、６０℃以上であることが特に好ましく、１００℃以上であることがさらに好ましい。前記熱可塑性樹脂組成物の固化温度が前記範囲内にあると、導電性領域１３０を確実に形成することができ、また、
絶縁性領域１４０が所望の耐熱性を有することができる。このため、隣接する端子間の絶縁性が確保され、隣接する端子間のショートをより確実に防止することができる。
【０１０４】
本発明の好ましい態様によれば、特定の樹脂成分及びフラックス機能を有する化合物を含有する樹脂組成物と金属層とからなる導電接続材料を用いることによって、錫を主成分とする合金または錫を選択的に対向する端子間に凝集させることができ、端子間を電気的に接続するとともに、隣接する端子間の絶縁性を確保することができる。さらに、多数の端子間を一括で導通させることが可能であり、信頼性に優れた端子間接続を実施することができる。
【０１０５】
３．接続端子の製造方法
次に、本発明の接続端子の製造方法について説明する。
本発明の接続端子の製造方法は、前記導電接続材料を用いて電子部材の電極上に接続端子を製造する方法にかかるものであり、導電接続材料を電子部材の電極上に配置する配置工程と、前記導電接続材料を加熱する加熱工程と、前記樹脂組成物を硬化又は固化させる硬化／固化工程とを含む。本発明の接続端子の製造方法は、例えば、半導体ウエハ、半導体チップ、リジッド基板、フレキシブル基板、その他の電気、電子部品の電極上に接続端子を製造する際に用いることができる。
【０１０６】
本発明の接続端子の製造方法は、前記導電接続材料の樹脂組成物が硬化性樹脂組成物である場合と、熱可塑性樹脂組成物である場合とで接続端子の製造工程が若干異なる。以下、前記導電接続材料の樹脂組成物が硬化性樹脂組成物である場合を第３実施態様とし、熱可塑性樹脂組成物である場合を第４実施態様として、それぞれの態様ごとに説明する。
【０１０７】
（１）第１実施態様
本発明の第１実施態様の接続端子の製造方法は、前記硬化性樹脂組成物と金属層とを含む導電接続材料を電子部材の電極上に配置する配置工程と、前記金属層の融点以上であり、且つ、前記硬化性樹脂組成物の硬化が完了しない温度で前記導電接続材料を加熱する加熱工程と、前記硬化性樹脂組成物を硬化させる硬化工程と、を含む。
この接続端子の製造方法では、加熱溶融した錫を主成分とする合金または錫を選択的に基板上の電極に凝集させて接続端子を形成し、その周囲に硬化性樹脂組成物による絶縁性領域を形成することができる。その結果、接続端子の周囲を硬化性樹脂組成物で被覆することができるため、導電性領域が固定される。また、絶縁性領域によって隣接する接続端子間の絶縁性が確保されるので、接続信頼性を高めることができる。この方法によれば、微細な配線回路においても多数の接続端子を一括で製造することが可能となる。
【０１０８】
以下、図面を参照しながら、本発明の第１実施態様の接続端子の製造方法について、さらに詳細に説明する。但し、本発明の接続方法は、これらの図面に限定されるものではない。
【０１０９】
（ａ）配置工程
先ず、図５に示すように、硬化性樹脂組成物１２０と金属層１１０とを有する導電接続材料を、電極４１が設けられた基板４０上に配置する。この時、パターン状の金属層を使用した場合は、導電接続材料５０と基板上の電極４１との位置合わせが必要となる。なお、図５では、硬化性樹脂組成物１２０が金属層１１０の片面に形成されたものを使用しているが、硬化性樹脂組成物１２０は、金属層１１０の両面に形成されていてもよい。また、図５では、硬化性樹脂組成物１２０が接続端子と対向するように配置されているが、金属層１１０が接続端子と対向するように配置されていてもよい。
図６に示すように、導電接続材料５０は、ロールラミネータ、プレス等の装置を使用し、基板４０に熱圧着されていてもよい。なお、図６では、硬化性樹脂組成物１２０が電極
４１を被覆しているが、熱硬化樹脂組成物１２０の厚みは、電極４１の厚みより薄くてもよく、電極４１の厚みより厚くてもよく、目的及び用途等に応じて適宜調整することができる。また、前記電極４１の表面は、電気的な接続を良好にするために、あるいはまた、金属層との接合性を向上させるために、必要により、洗浄、研磨、めっき及び表面活性化などの処理を施してもよい。
【０１１０】
（ｂ）加熱工程
加熱工程では、前記配置工程において基板４０上の電極４１上に配置した導電接続材料５０を、金属層の融点以上であり、且つ、前記硬化性樹脂組成物の硬化が完了しない温度で加熱する。これにより、図７に示すように、電極４１上に接続端子１５０を形成することができる。他方、前記接続端子１５０の周囲には硬化性樹脂組成物が充填されて絶縁性領域１４０が形成される。その結果、隣接する接続端子１５０間の絶縁性が確保され、隣接する接続端子１５０間のショートを防止することができる。
【０１１１】
硬化性樹脂組成物の加熱温度及び加圧条件は、前記硬化性樹脂組成物と金属層とを有する導電接続材料を使用して、端子間接続を行った場合と同様の条件で行うことができる。
【０１１２】
（ｃ）硬化工程
硬化工程では、前記加熱工程で接続端子１５０と絶縁性領域１４０とを形成した後、硬化性樹脂組成物を硬化させて、絶縁性領域１４０を固定する。これにより、基板上の電極４１と接続端子１５０の接合を補強することができる。特に本発明の第１実施態様では、高絶縁抵抗値を有する硬化性樹脂組成物を使用しているため、絶縁性領域の絶縁性をより十分に確保することができる。特に制限されないが、この硬化工程は、接続端子１５０を形成した後、基板６０を、別の電気、電子部品又は基板に搭載し、接続した後に行なうことが好ましい。
硬化工程における導電接続材料の加熱温度は、前記硬化性樹脂組成物と金属層とを有する導電接続材料を使用して、端子間接続を行った場合と同様の条件で行うことができる。
【０１１３】
（２）第２実施態様
次に、本発明の第２実施態様の接続端子の製造方法について説明する。
本発明の第２実施態様の接続端子の製造方法は、前記熱可塑性樹脂組成物と金属層とを含む導電接続材料を電子部材の電極上に配置する配置工程と、前記金属層の融点以上であり、且つ、前記熱可塑性樹脂組成物が軟化する温度で前記導電接続材料を加熱する加熱工程と、さらに必要に応じて前記熱可塑性樹脂組成物を固化させる固化工程と、を含む。
第２実施態様の製造方法では、加熱溶融した錫を主成分とする合金または錫を選択的に基板上の電極に凝集させて接続端子を形成し、その周囲に熱可塑性樹脂組成物による絶縁性領域を形成することができる。その結果、接続端子の周囲を熱可塑性樹脂組成物で被覆することができるため、導電性領域が固定される。また、絶縁性領域によって隣接する接続端子間の絶縁性が確保されるので、接続信頼性を高めることができる。この方法によれば、微細な配線回路においても多数の接続端子を一括で製造することが可能となる。
【０１１４】
（ａ）配置工程
熱可塑性樹脂組成物と金属層とを含む導電接続材料を使用した場合も、前記第１実施態様の熱硬化性樹脂組成物と金属層とを含む導電接続材料を使用した場合と同様に導電接続材料を電極が設けられた基板上に配置することができる。
【０１１５】
（ｂ）加熱工程
加熱工程では、前記配置工程において基板に設けられた電極上に配置した導電接続材料５０を、金属層の融点以上であり、且つ、前記熱可塑性樹脂組成物が軟化する温度で加熱する。これにより、第１実施態様と同様に、電極上に接続端子を製造することができる。
他方、接続端子の周囲には熱可塑性樹脂組成物が充填されて絶縁性領域が形成される。その結果、隣接する接続端子間の絶縁性が確保され、隣接する接続端子間のショートを防止することができる。
【０１１６】
なお、熱可塑性樹脂組成物の加熱温度及び加圧条件は、前記熱可塑性樹脂組成物と金属層とを有する導電接続材料を使用して、端子間接続を行った場合と同様の条件で行うことができる。
【０１１７】
（ｃ）固化工程
固化工程では、前記加熱工程で接続端子と絶縁性領域とを形成した後、熱可塑性樹脂組成物を冷却固化させて、絶縁性領域を固定することにより、電極と接続端子との接合を補強することができる。
なお、熱可塑性樹脂組成物の冷却方法及び好ましい固化温度については、前記熱可塑性樹脂組成物と金属層とを有する導電接続材料を使用して端子間接続を行った場合と同様である。
【０１１８】
上述したように、本発明では、本発明の導電接続材料を用いることにより錫を主成分とする合金または錫を選択的に接続端子形成部位に凝集させることができるため、接続端子を簡便な方法で製造することができる。本発明の接続端子の製造方法によれば、複数の接続端子を一括で製造することができるだけでなく、その周囲に絶縁性領域を形成することができるので、接続端子が固定されるとともに、隣接する接続端子間の絶縁性を確保することができる。これにより、接続信頼性に優れた接続端子を製造することができる。
【０１１９】
４．導電接続材料付き電子部材及び電気、電子部品
本発明は、電子部材の電気的接続面に本発明の導電接続材料が接着してなる導電接続材料付き電子部材をも包含する。本発明の導電接続材料付き電子部材において、導電接続材料の電子部材の電気的接続面との接着面は樹脂組成物層であることが好ましい。該樹脂組成物層は、電子部材の電気的接続面に直接接着されていてもよいし、接着剤層を介して接着されていてもよい。本発明の導電接続材料付き電子部材を互いに貼り合わせ、あるいは、本発明の導電接続材料付き電子部材を他の電子部材の電気的接続面と貼り合わせて熱圧着させることで、電子部材間を電気的に接続することができる。
本発明では、このようにして得られた本発明の導電接続材料を用いて電子部材間が電気的に接続されてなる半導体ウエハ、半導体チップ、リジッド基板及びフレキシブル基板、その他の電気、電子部品をも包含する。
【産業上の利用可能性】
【０１２０】
本発明の製造方法により得られた樹脂組成物層と金属層とが積層された導電接続材料は、電気、電子部品において電子部材間を電気的に接続したり、基板上に接続端子を製造したりする際に好適に用いることができる。本発明に係る導電接続材料を用いることで、電子部材間の良好な電気的接続と高い絶縁信頼性とを両立させることができる。本発明に係る導電接続材料を用いることで微細な配線回路における端子間接続も可能である。本発明に係る導電接続材料を用いることで、電子機器の高機能化及び小型化の要求にも対応することが可能である。
【符号の説明】
【０１２１】
１０、２０ 基板
１１、２１ 端子
３０ 導電接続材料
４０ 基板
４１ 電極
５０ 導電接続材料
６０ 基板
１１０ 金属層
１２０ 樹脂組成物
１３０ 導電性領域
１４０ 絶縁性領域
１５０ 接続端子
【特許請求の範囲】
【請求項１】
錫を主成分とする合金または錫の金属層を真空スパッタリング法または真空蒸着法により支持基材上に形成する金属層形成工程と、
樹脂成分を含有する第１の樹脂組成物層を形成する第１の樹脂組成物層形成工程と、
前記第１の樹脂組成物層の少なくとも一方の面に前記金属層を前記支持基材から転写させることにより、前記第１の樹脂組成物と前記金属層とを積層する金属層転写工程と、
を有することを特徴とする導電接続材料の製造方法。
【請求項２】
さらに、前記金属層の第１の樹脂組成物層と接する面と反対側の面に、樹脂成分を含有する第２の樹脂組成物層を形成する、第２の樹脂組成物形成工程を有する請求項１に記載の導電接続材料の製造方法。
【請求項３】
前記金属層は、錫（Ｓｎ）、鉛（Ｐｂ）、銀（Ａｇ）、ビスマス（Ｂｉ）、インジウム（Ｉｎ）、亜鉛（Ｚｎ）、ニッケル（Ｎｉ）、アンチモン（Ｓｂ）、鉄（Ｆｅ）、アルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）および銅（Ｃｕ）からなる群から選択される少なくとも２種以上の金属の合金、錫またはインジウムの単体である請求項１または２に記載の導電接続材料の製造方法。
【請求項４】
前記金属層は、Ｓｎ−Ｐｂ合金、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ合金またはＳｎ−Ａｇ合金を主材料として構成される請求項１ないし３のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法。
【請求項５】
前記金属層は、Ｓｎ−３７Ｐｂ合金またはＳｎ−３．０Ａｇ−０．５Ｃｕ合金を主材料として構成される請求項１ないし４のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法。
【請求項６】
前記第１の樹脂組成物層と第２の樹脂組成物層は、前記樹脂成分とフラックス機能を有する化合物とを含有する樹脂組成物で構成される請求項１ないし５に記載の導電接続材料の製造方法。
【請求項７】
前記フラックス機能を有する化合物は、フェノール性水酸基およびカルボキシル基のうちの少なくとも一方を有する化合物を含有する請求項６に記載の導電接続材料の製造方法。
【請求項８】
前記フラックス機能を有する化合物は、下記一般式（１）で表わされる化合物を含有する請求項６に記載の導電接続材料の製造方法。
ＨＯＯＣ−（ＣＨ2）ｎ−ＣＯＯＨ・・・・・（１）
（式（１）中、ｎは、１〜２０の整数である。）
【請求項９】
前記フラックス機能を有する化合物は、下記一般式（２）および下記一般式（３）で表わされる化合物のうちの少なくとも一方を含有する請求項６または７に記載の導電接続材料の製造方法。
【化１】
［式中、Ｒ1〜Ｒ5は、それぞれ独立して、１価の有機基であり、Ｒ1〜Ｒ5の少なくとも一つは水酸基である。］
【化２】
［式中、Ｒ6〜Ｒ20は、それぞれ独立して、１価の有機基であり、Ｒ6〜Ｒ20の少なくとも一つは水酸基またはカルボキシル基である。］
【請求項１０】
前記樹脂組成物において、前記フラックス機能を有する化合物の含有量は、１〜５０重量％である請求項６ないし９のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法。
【請求項１１】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の導電接続シートの製造方法で製造された導電接続材料を、基材が有する端子と対向基材が有する端子との間に配置する配置工程と、
前記金属材料の融点以上であり、かつ、前記樹脂組成物層の硬化が完了しない温度で前記導電接続シートを加熱する加熱工程と、
前記樹脂組成物層を硬化させる硬化工程とを有し、
前記基材が有する端子または前記対向基材が有する端子の少なくとも一方が、前記基材または前記対向基材から突出し、前記配置工程において、突出する端子側に、前記第１の樹脂組成物層が位置するように前記導電接続シートを配置することを特徴とする端子間の接続方法。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法で製造された導電接続材料を、基材が有する端子と対向基材が有する端子との間に配置する配置工程と、
前記金属材料の融点以上であり、かつ、前記樹脂組成物層が軟化する温度で前記導電接続シートを加熱する加熱工程と、
前記樹脂組成物層を固化させる固化工程とを有し、
前記基材が有する端子または前記対向基材が有する端子の少なくとも一方が、前記基材
または前記対向基材から突出し、前記配置工程において、突出する端子側に、前記第１の樹脂組成物層が位置するように前記導電接続シートを配置することを特徴とする端子間の接続方法。
【請求項１３】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法で製造された導電接続材料を、端子を有する基材上に配置する配置工程と、
前記金属材料の融点以上であり、かつ、前記樹脂組成物層の硬化が完了しない温度で前記導電接続材料を加熱する加熱工程とを有し、
前記基材が有する端子が、前記基材から突出し、前記配置工程において、前記端子側に、前記第１の樹脂組成物層が位置するように前記導電接続材料を配置することを特徴とする特徴とする接続端子の形成方法。
【請求項１４】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法で製造された導電接続材料を、端子を有する基材上に配置する配置工程と、前記金属材料の融点以上であり、かつ、前記樹脂組成物層が軟化する温度で前記導電接続材料を加熱する加熱工程とを有し、
前記基材が有する端子が、前記基材から突出し、前記配置工程において、前記端子側に、前記第１の樹脂組成物層が位置するように前記導電接続材料を配置することを特徴とする特徴とする接続端子の形成方法。
【請求項１５】
対向する端子同士が、請求項１ないし１１のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法で製造された導電接続材料を用いて形成された接続部を介して電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項１６】
対向する端子同士が、請求項１ないし１１のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法で製造された導電接続材料を用いて形成された接続部を介して電気的に接続されていることを特徴とする電子機器。
【請求項１】
錫を主成分とする合金または錫の金属層を真空スパッタリング法または真空蒸着法により支持基材上に形成する金属層形成工程と、
樹脂成分を含有する第１の樹脂組成物層を形成する第１の樹脂組成物層形成工程と、
前記第１の樹脂組成物層の少なくとも一方の面に前記金属層を前記支持基材から転写させることにより、前記第１の樹脂組成物と前記金属層とを積層する金属層転写工程と、
を有することを特徴とする導電接続材料の製造方法。
【請求項２】
さらに、前記金属層の第１の樹脂組成物層と接する面と反対側の面に、樹脂成分を含有する第２の樹脂組成物層を形成する、第２の樹脂組成物形成工程を有する請求項１に記載の導電接続材料の製造方法。
【請求項３】
前記金属層は、錫（Ｓｎ）、鉛（Ｐｂ）、銀（Ａｇ）、ビスマス（Ｂｉ）、インジウム（Ｉｎ）、亜鉛（Ｚｎ）、ニッケル（Ｎｉ）、アンチモン（Ｓｂ）、鉄（Ｆｅ）、アルミニウム（Ａｌ）、金（Ａｕ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）および銅（Ｃｕ）からなる群から選択される少なくとも２種以上の金属の合金、錫またはインジウムの単体である請求項１または２に記載の導電接続材料の製造方法。
【請求項４】
前記金属層は、Ｓｎ−Ｐｂ合金、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ合金またはＳｎ−Ａｇ合金を主材料として構成される請求項１ないし３のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法。
【請求項５】
前記金属層は、Ｓｎ−３７Ｐｂ合金またはＳｎ−３．０Ａｇ−０．５Ｃｕ合金を主材料として構成される請求項１ないし４のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法。
【請求項６】
前記第１の樹脂組成物層と第２の樹脂組成物層は、前記樹脂成分とフラックス機能を有する化合物とを含有する樹脂組成物で構成される請求項１ないし５に記載の導電接続材料の製造方法。
【請求項７】
前記フラックス機能を有する化合物は、フェノール性水酸基およびカルボキシル基のうちの少なくとも一方を有する化合物を含有する請求項６に記載の導電接続材料の製造方法。
【請求項８】
前記フラックス機能を有する化合物は、下記一般式（１）で表わされる化合物を含有する請求項６に記載の導電接続材料の製造方法。
ＨＯＯＣ−（ＣＨ2）ｎ−ＣＯＯＨ・・・・・（１）
（式（１）中、ｎは、１〜２０の整数である。）
【請求項９】
前記フラックス機能を有する化合物は、下記一般式（２）および下記一般式（３）で表わされる化合物のうちの少なくとも一方を含有する請求項６または７に記載の導電接続材料の製造方法。
【化１】
［式中、Ｒ1〜Ｒ5は、それぞれ独立して、１価の有機基であり、Ｒ1〜Ｒ5の少なくとも一つは水酸基である。］
【化２】
［式中、Ｒ6〜Ｒ20は、それぞれ独立して、１価の有機基であり、Ｒ6〜Ｒ20の少なくとも一つは水酸基またはカルボキシル基である。］
【請求項１０】
前記樹脂組成物において、前記フラックス機能を有する化合物の含有量は、１〜５０重量％である請求項６ないし９のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法。
【請求項１１】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の導電接続シートの製造方法で製造された導電接続材料を、基材が有する端子と対向基材が有する端子との間に配置する配置工程と、
前記金属材料の融点以上であり、かつ、前記樹脂組成物層の硬化が完了しない温度で前記導電接続シートを加熱する加熱工程と、
前記樹脂組成物層を硬化させる硬化工程とを有し、
前記基材が有する端子または前記対向基材が有する端子の少なくとも一方が、前記基材または前記対向基材から突出し、前記配置工程において、突出する端子側に、前記第１の樹脂組成物層が位置するように前記導電接続シートを配置することを特徴とする端子間の接続方法。
【請求項１２】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法で製造された導電接続材料を、基材が有する端子と対向基材が有する端子との間に配置する配置工程と、
前記金属材料の融点以上であり、かつ、前記樹脂組成物層が軟化する温度で前記導電接続シートを加熱する加熱工程と、
前記樹脂組成物層を固化させる固化工程とを有し、
前記基材が有する端子または前記対向基材が有する端子の少なくとも一方が、前記基材
または前記対向基材から突出し、前記配置工程において、突出する端子側に、前記第１の樹脂組成物層が位置するように前記導電接続シートを配置することを特徴とする端子間の接続方法。
【請求項１３】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法で製造された導電接続材料を、端子を有する基材上に配置する配置工程と、
前記金属材料の融点以上であり、かつ、前記樹脂組成物層の硬化が完了しない温度で前記導電接続材料を加熱する加熱工程とを有し、
前記基材が有する端子が、前記基材から突出し、前記配置工程において、前記端子側に、前記第１の樹脂組成物層が位置するように前記導電接続材料を配置することを特徴とする特徴とする接続端子の形成方法。
【請求項１４】
請求項１ないし１１のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法で製造された導電接続材料を、端子を有する基材上に配置する配置工程と、前記金属材料の融点以上であり、かつ、前記樹脂組成物層が軟化する温度で前記導電接続材料を加熱する加熱工程とを有し、
前記基材が有する端子が、前記基材から突出し、前記配置工程において、前記端子側に、前記第１の樹脂組成物層が位置するように前記導電接続材料を配置することを特徴とする特徴とする接続端子の形成方法。
【請求項１５】
対向する端子同士が、請求項１ないし１１のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法で製造された導電接続材料を用いて形成された接続部を介して電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。
【請求項１６】
対向する端子同士が、請求項１ないし１１のいずれかに記載の導電接続材料の製造方法で製造された導電接続材料を用いて形成された接続部を介して電気的に接続されていることを特徴とする電子機器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１１−１８７４８８（Ｐ２０１１−１８７４８８Ａ）
【公開日】平成２３年９月２２日（２０１１．９．２２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−４８０９３（Ｐ２０１０−４８０９３）
【出願日】平成２２年３月４日（２０１０．３．４）
【出願人】（０００００２１４１）住友ベークライト株式会社 (2,927)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年９月２２日（２０１１．９．２２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年３月４日（２０１０．３．４）
【出願人】（０００００２１４１）住友ベークライト株式会社 (2,927)
【Ｆターム（参考）】
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