発光モジュール
【課題】ＹＡＧ溶接を用いることなく調芯固定して実装することができる機能を有し、また安価に製造可能なレンズ部品と、その実装構造を備えたキャリア部品からなる発光モジュールを提供する。
【解決手段】サブマウントに搭載された半導体レーザ１４と、該半導体レーザから出射される光を集光するレンズ部品１６とが実装されたキャリア１３を、パッケージ内に収納してなる発光モジュールであって、レンズ部品１６はメタライズ加工部１９を有し、キャリア１３の実装面にメタライズ加工部を半田付け１７して固定される。レンズ部品のメタライズ加工部は、キャリアの実装面に対向する面と、該面に直交し連接するレンズ部に達しない範囲の前面および背面の３面のうち、少なくとも１面に形成される。
【解決手段】サブマウントに搭載された半導体レーザ１４と、該半導体レーザから出射される光を集光するレンズ部品１６とが実装されたキャリア１３を、パッケージ内に収納してなる発光モジュールであって、レンズ部品１６はメタライズ加工部１９を有し、キャリア１３の実装面にメタライズ加工部を半田付け１７して固定される。レンズ部品のメタライズ加工部は、キャリアの実装面に対向する面と、該面に直交し連接するレンズ部に達しない範囲の前面および背面の３面のうち、少なくとも１面に形成される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体レーザと、該半導体レーザから出射される光を集光するレンズを搭載した発光モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
光通信における信号光源や光ファイバ増幅用の励起光源として、半導体レーザからの光を信号源とする発光モジュールが用いられている。この発光モジュールは、半導体レーザから出射される光を、レンズを用いて光ファイバに光学的に結合するもので、レーザ光と光ファイバとの光結合に際しては、通常、最大の光結合効率が得られるようにレンズの位置を調芯して固定される。
【０００３】
例えば、特許文献１には、半導体レーザから出射された光を平行光に変換するレンズの位置を、赤外線カメラ等を用いて調芯した後、保持具を介してキャリア上に固定している。レンズの固定は、ＹＡＧ溶接を用いて行うが、溶接時の位置ズレを抑制するために保持具の溶接部分を薄肉化するなど、溶接部の形状を最適化することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１４２５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
レンズ部品をＹＡＧ溶接で固定する場合、レンズ材料であるガラス自体はＹＡＧで溶接固定することはできないため、レンズ部品の外周部が金属製の筐体（ホルダ）により覆われた構造とする必要がある。このため、レンズの成形後にレンズを金属筺体に嵌め込むなどして固定するか、若しくは、金属筺体上でレンズを成形するなどのレンズ単体と金属製の筐体を組み合わせる工程が必要で、加工プロセスが複雑となり、コストの高いレンズ部品となる。
【０００６】
また、レンズは、半導体レーザに対して３軸方向での調芯が必要であり、実装面に対して垂直方向に対する調芯が必要なため、特許文献１に開示のような断面Ｕ字状のような金属製の保持具が必要となる。このため、キャリアも金属製となり、レンズの保持固定は、レンズ筺体と保持具をＹＡＧ溶接し、さらに保持具のキャリアへの固定もＹＡＧ溶接で行う構造となる。この構造は、溶接する部品間のクリアランスが大きいと位置ズレが生じやすく、高精度の加工が必要となり、コストの高い部品となる。
【０００７】
また、レンズの調芯は、パッケージ内に実装された状態の半導体レーザを基準にして行われる。このため、ＹＡＧ固定に用いるＹＡＧ溶接のレーザ入射角を考慮した十分なパッケージ内空間が必要とされ、パッケージの設計に対して制約が生じる。ＹＡＧ溶接レーザの入射角はキャリア部品の実装面に対して３０度から６０度程度の角度で設計される。ＹＡＧ溶接する箇所を基準として、前述の入射角の範囲はＹＡＧ溶接レーザが干渉されないよう解放された空間が必要となるため、幅の広いパッケージ設計が必要となる。
【０００８】
一方、光トランシーバ等の通信機器では小型化の要求が強く、発光モジュールも小型設計となるため大きな制約となる。また、波長多重の光モジュールを設計するうえで、中心波長が異なる半導体レーザを列状に並べて実装する構造のものにおいては、レンズの大きさ及びＹＡＧ溶接の制約から、ＹＡＧ溶接を用いた組立方式では小型化対応の設計が困難となる。
【０００９】
本発明は、上述した実状に鑑みてなされたもので、ＹＡＧ溶接を用いることなく調芯固定して実装することができる機能を有し、また安価に製造可能なレンズ部品と、その実装構造を備えたキャリア部品からなる発光モジュールの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明による発光モジュールは、サブマウントに搭載された半導体レーザと、該半導体レーザから出射される光を集光するレンズ部品とが実装されたキャリアを、パッケージ内に収納してなる発光モジュールであって、レンズ部品はメタライズ加工部を有し、キャリアの実装面にメタライズ加工部を半田付けして固定されていることを特徴とする。
【００１１】
レンズ部品のメタライズ加工部は、キャリアの実装面に対向する面と、該面に直交し連接するレンズ部に達しない範囲の前面および背面の３面のうち、少なくとも１面に形成されていることが好ましい。また、レンズ部品のメタライズ加工部と反対側の部分に、搬送用の把持部が設けられていることが好ましい。なお、レンズ部品は、例えば、ウエハにマトリックス状に一体形成した後、分割加工された矩形形状で形成される。
【００１２】
また、前記のキャリアが電気絶縁体で形成され、その実装面に前記レンズ部品のメタライズ加工部を半田付けするための金属層が形成され、該金属層の近傍に、半田材を加熱するヒータ機能を搭載するようにしてもよい。
上記のヒータ機能は、キャリアがセラミック材の場合は、セラミック基板からなるキャリアの実装面側に、Ｔｉ，Ｃｒ又はＰｔのいずれかによりヒータ部と配電部とからなる配線層で形成され、ヒータ部の上に電気絶縁層を介して、上記の金属層が形成されている。
【００１３】
また、キャリアが半導体材の場合は、半導体基板からなるキャリアの実装面側に設けられた第１の電気絶縁層上に、Ｔｉ，Ｃｒ又はＰｔのいずれかによりヒータ部と配電部とからなる配線層で形成され、ヒータ部の上に第２の電気絶縁層を介して、上記の金属層が形成されている。
なお、ヒータ部が形成されている領域で、キャリアの実装面側と反対の面側に凹部を有する形状としてもよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、レンズ部品を安価に形成することができ、また、キャリア上に半田付けで固定することができるので、レンズ部品の調芯設備の設計が容易で、且つ位置ズレを抑制することができると共に、発光モジュールの小型化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明による発光モジュールの外観を示す図である。
【図２】本発明によるレンズ部品等の実装例を説明する図である。
【図３】本発明によるレンズ部品の一例とその製造例を説明する図である。
【図４】本発明によるレンズ部品の他の例とその製造例を説明する図である。
【図５】本発明によるレンズ部品のその他の例とその製造例を説明する図である。
【図６】本発明によるレンズ部品のその他の例を示す図である。
【図７】本発明による電気絶縁体からなるキャリアの例を示す図である。
【図８】図７に示すヒータ機能の一例を示す図である。
【図９】図７に示すヒータ機能の他の例を示す図である。
【図１０】図８，９の変形例を示す図である。
【図１１】本発明による波長多重の発光モジュールの例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図により本発明の実施の形態を説明する。図１，２において、１０は発光モジュール、１１はパッケージ、１２はスリーブ、１３はキャリア、１３ａはサブマウントの実装領域、１３ｂはレンズ部品の実装領域、１４は半導体レーザ（ＬＤ）、１５はサブマウント、１６はレンズ部品、１７は半田材、１７ａは半田フィレット、１８はレンズ部、１９はメタライズ加工部を示す。
【００１７】
本発明による発光モジュール１０（半導体レーザモジュールともいう）は、図１に示すように、パッケージ１１にスリーブ１２を結合した形状で形成される。パッケージ１１は、例えば、箱型の矩形状に形成され、内部にサブマウント１５に搭載された半導体レーザ１４（以下、ＬＤという）と、このＬＤ１４から出射される光を集光するレンズ部品１６とが実装されたキャリア１３が収納される。スリーブ１２は、光ファイバを結合保持するためのもので、レンズ部品１６で集光されたＬＤ１４からの信号光が、前記の光ファイバに入射される。
【００１８】
パッケージ１１内には、上記の他に、ＬＤ１４の温度調節をする電子冷却装置等の温調モジュール、サーミスタ、光信号の反射戻り光を阻止するアイソレータ、ＬＤ１４を駆動制御するＩＣ部品等が実装されていてもよい。なお、図１では省略してあるが、パッケージ１１には、外部回路や外部電源への接続のための端子が設けられている。また、パッケージ１１内への部品の実装状態を示すために、上部が解放された状態で示しているが、上部の開口は蓋部材で閉塞され密閉状態とされる。密閉空間は窒素置換された雰囲気となる気密封止された状態となり、ＬＤなどの光デバイスの信頼性を向上させる。
【００１９】
パッケージ内に収納されるキャリア１３上には、図２に示すように、ＬＤ１４とレンズ部品１６が実装される。ＬＤ１４は、セラミック等の電気絶縁材からなるサブマウント１５を介して、金属または電気絶縁体からなるキャリア１３の実装領域１３ａ上に実装される。ＬＤ１４のサブマウント１５上への実装、サブマウント１５のキャリア１３上への実装は、半田材を用いて行われる。この半田材としては、比較的融点の高い半田材料である金ゲルマニウム半田、金錫半田、錫銀銅半田など考えられるが、そのうち金錫半田がよく用いられる。
【００２０】
レンズ部品１６は、光通信に用いる波長帯に対して透明となるレンズ単体からなり、そのレンズの一部には半田などのロウ付け固定可能なように、メタライズ加工部１９を有する。他方、キャリア１３のレンズの実装領域１３ｂ上には、レンズ部品１６を半田などのロウ付け固定できるように金属層を有し、予め成形された板状の半田材１７を用いてレンズ部品１６とキャリア１３は半田付けして固定される。
【００２１】
レンズ部品１６の実装は、ＬＤ１４を実装した後、ＬＤ１４に外部から給電し、その出射光を赤外線カメラ等でモニタするか、光ファイバで受けた光出力をモニタしながら３軸方向に調整しながら所望の性能が得られるよう最適点となる位置に調芯する。この場合、レンズ部品１６をコレット等で把持して半田材１７を溶融しながら上記の調芯を行い、レンズ部品１６を最適位置に保持した後、半田材を冷却・硬化させる。半田材料が酸化の影響を受けにくくするため、窒素雰囲気もしくは酸化を除去する還元雰囲気で半田を加熱できる装置を用いるのがよい。
【００２２】
なお、レンズ部品１６の半田付けに先だって、キャリア１３および半田材を加熱しておき、この後、レンズ部品１６をコレット等で把持して調芯を行い、レンズ部品１６を最適位置に保持して半田材を冷却・硬化させるようにしてもよい。なお、半田材が完全に硬化した後に、コレットによるレンズ保持を解除するのが望ましく、これにより、半田材の硬化収縮による位置ズレの影響を低減することができる。
【００２３】
また、半田材１７の加熱時は、半田材の融点を超える温度に設定されるが、冷却時は半田材の融点より少し低い温度に一旦強制冷却し、半田材が液相から固相に十分変化した後、常温まで自然冷却で冷却するのが好ましい。半田の液相状態から常温に急激に冷却すると、半田材の相変化による収縮と半田の線膨張係数に依存する収縮が同時に生じる。このため、レンズ部品が半田材に引っ張られてレンズ部品の位置ズレが大きくなる虞がある。
【００２４】
レンズ部品１６用の半田材１７は、ＬＤ１４およびサブマウント１５の実装に用いた半田材よりも融点の低い半田材を用いるのが好ましい。これにより、レンズ部品１６の半田付け時に、ＬＤ１４およびサブマウント１５の半田接合部分に影響が及ぶのを抑制することができる。なお、レンズ部品１６用の半田材１７には、金錫半田、錫銀銅半田、錫銅半田、錫アンチモン半田、錫亜鉛半田、錫ビスマス半田などが考えられるが、ＬＤなどの実装に金錫半田を用いている場合は、錫銀半田や錫銀銅半田などの金錫半田の次に融点が低い半田材料を用いるのがよい。
【００２５】
なお、半田材１７は、予めキャリア１３上に形成されていてもよく、また、図に示すように、ペレット状の半田材１７を用いるようにしてもよい。半田材１７は、レンズ部品を３軸調芯するため、キャリアのレンズ部品の実装領域１３ａとレンズ部品１６の下端面に生じる隙間を満たして、かつレンズ部品のメタライズ加工部１９まで半田が濡れ上がる必要がある。半田材１７をキャリア１３上にあらかじめ形成する場合は、半田材料の実装面方向の大きさをレンズ部品の実装領域１３ａと同じ面積として、厚さを上記の隙間に対して１〜３倍と設計し、レンズ部品のメタライズ加工部１９まで濡れ上がるよう十分な体積が得られるようにするのが望ましい。
【００２６】
なお、上記の隙間よりも薄い半田厚さとする場合は、レンズ部品の実装領域１３ａの面積に対して１〜２倍となるように設計し、レンズ部品のメタライズ加工部１９まで濡れ上がるように十分な体積が得られていることが望ましい。
ペレット形状の半田材１７についても同様に、レンズ部品の実装領域１３ａと同じ面積として、厚さを上記の隙間に対して１〜３倍と設計し、レンズ部品のメタライズ加工部１９まで濡れ上がるよう十分な体積が得られるよう設計するか、レンズ部品の実装領域１３ａの面積に対して１〜２倍となるように設計し、レンズ部品のメタライズ加工部１９まで濡れ上がるよう十分な体積が得られるようにするのが望ましい。
【００２７】
図３〜図６は、本発明で使用されるレンズ部品１６の構造例とその製造方法の例を説明する図である。図において、１６ａ〜１６ｆはレンズ部品、２０はレンズ基体、２０ａは前面、２０ｂは背面、２０ｃは下端面、２０ｄは上端面、２１〜２１ｄはメタライズ層、２２は孔、２３ａ〜２３ｃは把持部、２５a〜２５ｃはレンズウエハ、２６ａ，２６ｂはダイシングライン、を示す。
【００２８】
レンズ部品１６ａ〜１６ｆは、図に示すように、外形が矩形状のレンズ基体２０の中央部にレンズ部１８を有し、下部側にメタライズ加工部１９が形成された構造とするのが望ましい。レンズ部品を矩形状とすることにより、レンズ基板となるウエハにマトリックス状に多数のレンズ部１８とメタライズ加工部１９とを一括形成した後、ダイシング加工等によりそれぞれの個片に分割することで、安価で大量のレンズ部品を製造することが可能となる。
【００２９】
レンズ部１８は、ドーム状にレンズ基体２０の前面２０ａ又は背面２０ｂから膨出した形状で、金型による成形、もしくはフォトリソ加工により形成される。成形の場合は、レンズの曲率に応じて金型に凹みを形成し、レンズの材料を金型に投入した後、金型をプレスすることで金型のレンズ曲率を含む形状がレンズ材料に転写されて、レンズが形成される。フォトリソ加工の場合は、レンズ基体にマスク材を加工する。マスク材はレンズ形状に応じてドーム型に形成し、レンズ部以外のレンズ基材を加工した後、マスクを除去することでレンズが形成される。
【００３０】
メタライズ加工部１９は、レンズ基体２０の表面にＰＶＤ（物理的蒸着）やＣＶＤ（化学的蒸着）により形成され、レンズ基体２０の下部側で、キャリアの実装面に対向する下端面２０ｃと、該面に直交し連接するレンズ部１８に達しない範囲の前面２０ａ及び背面２０ｂの３面のうち、少なくとも１面に形成される。
【００３１】
図３（Ａ）に示すレンズ部品１６ａは、レンズ基体２０の下端面２０ｃを除いて、下部側の前面２０ａと背面２０ｂの２つの面に、レンズ部１８に達しない範囲でメタライズ層２１ａと２１ｂを形成し、メタライズ加工部１９とした例である。メタライズ層２１ａと２１ｂは、キャリアの実装面と直交し、レンズ基体２０の下端面２０ｃからはみ出す半田フィレットによりレンズ部品１６ａをキャリア面上に固定する。
【００３２】
上記のレンズ部品１６ａは、例えば、図３（Ｂ）に示すように、マトリックス状に多数個のレンズ部１８を専用の金型により一括成形、若しくはフォトリソ加工により、レンズウエハ２５ａ上に形成して製造される。レンズウエハ２５ａの材料としては、多成分ガラス、石英ガラス、シリコンなどの半導体材料等が用いられる。なお、レンズ部１８には、反射防止膜を形成し、レンズ面での反射損失の少ない光結合を可能とするようにしてもよい。
【００３３】
また、メタライズ加工部１９となるメタライズ層２１を横方向のダイシングライン２６ａに沿って一括形成する。メタライズ層２１は、Ｎｉ／ＡｕやＴｉ／Ｐｔ／Ａｕ等の層構成をもち、レンズウエハ材との接合強度と半田濡れ性を両立できる構成とされる。メタライズ層２１の形成後、レンズウエハ２５ａを、ダイシングライン２６ａ，２６ｂに沿ってそれぞれの個片に分割することで、レンズ部品１６ａが得られる。
【００３４】
図４（Ａ）に示すレンズ部品１６ｂは、メタライズ加工部１９のメタライズ層は、レンズ基体２０の前面２０ａと背面２０ｂのメタライズ層２１ａ，２１ｂに加えて、キャリアの実装面と対向する下端面２０ｃにも、メタライズ層２１ｃを設けた例である。このレンズ部品１６ｂは、半田フィレットによる接続に加えて、下端面２０ｃのメタライズ層２１ｃにより、キャリアの実装面と面接合による半田付けで半田接合面積を増加させることができ、その接着強度を高めレンズ部品の固定を確実なものとすることができる。
【００３５】
このメタライズ層２１ｃを有するレンズ部品１６ｂは、図４（Ｂ）に示すように、一列のレンズ基体２０からなるレンズウエハ２５ｂの実装面側の３面を覆うようにメタライズ層２１を形成し、ダイシングライン２６ｂで切断して形成される。なお、図４（Ｂ）のレンズウエハ２５ｂは、図３（Ｂ）のレンズウエハ２５ａを横方向のダイシングライン２６ａで切断した状態で得ることができる。
【００３６】
図５（Ａ）に示すレンズ部品１６ｃは、メタライズ加工部１９のメタライズ層は、レンズ基体２０の前面２０ａと背面２０ｂのメタライズ層２１ａ，２１ｂに加えて、キャリアの実装面と対向する下端面２０ｃに断面が半円状の凹部を設け、該凹部の壁面にも、メタライズ層２１ｄを設けた例である。このレンズ部品１６ｃは、半田フィレットによる接続に加えて、凹部に設けられたメタライズ層２１ｄとキャリア面との間で半田接続を形成し、その接着強度を高めレンズ部品の固定を確実なものとすることができる。
【００３７】
このメタライズ層２１ｄを有するレンズ部品１６ｃは、図３（Ｂ）に示したのと同様なマトリックス状に多数個のレンズ部２０ａを有するレンズウエハ２５ｃを準備する。そして、図５（Ｂ）に示すように、メタライズ加工部１９を形成する下部側で、１本おきの横方向のダイシングライン２６ａ上にレンズ基体２０毎に、例えば、２つの孔２２を形成する。次いで、孔２２を含むようにダイシングライン２６ａの両側に、図３（Ｂ）で説明したのと同様なメタライズ層２１を一括形成する。この際、孔２２の内壁面にもメタライズ層２１が形成されるよう加工を施すことが重要となる。この後、レンズウエハ２５ｃを、ダイシングライン２６ａ，２６ｂに沿ってそれぞれの個片に分割することで、レンズ部品１６ｃが得られる。
【００３８】
図６（Ａ）〜図６（Ｃ）に示すレンズ部品は、レンズ部品をキャリアの搭載位置に搬送し、且つ搭載位置の調芯を行うために把持する把持部を有する例を示すものである。図６（Ａ）に示すレンズ部品１６ｄは、レンズ基体２０の上端面２０ｄの両側に、傾斜面２３ａを形成した例である。このレンズ部品１６ｄは、一対の傾斜面をコレット両端に有する吸着コレットからなる搬送装置を用いる場合に適した形状で、両側の傾斜面２３ａとコレット側の傾斜面が一致するよう設計されたコレットにより吸着することにより、レンズ部品１６ｄを精度よく保持して正確な搬送と位置決めを行うことができる。
【００３９】
図６（Ｂ）に示すレンズ部品１６ｅは、レンズ基体２０の上端面２０ｄの両側に段部２３ｂを形成した例である。このレンズ部品１６ｅは、ペンチ状のコレットで把持する搬送装置を用いる場合に適した形状で、両側の段部２３ｂを挟むことにより、レンズ部品１６ｅを精度よく保持して正確な搬送と位置決めを行うことができる。
また、図６（Ｃ）に示すレンズ部品１６ｆは、レンズ基体２０の上端面２０ｄ近くの両側面に溝２３ｃで形成した例である。このレンズ部品１６ｆは、ニッパ状のコレットで把持する搬送装置を用いる場合に適した形状で、両側の溝２３ｃを把持することにより、レンズ部品１６ｅを精度よく保持して正確な搬送と位置決めを行うことができる。
【００４０】
図７は、キャリアの他の例を示す図である。この図に示すキャリア３０は、電気絶縁材で形成した例で、ＬＤ１４の放熱性を考慮して熱伝導性のよい窒化アルミニウム、アルミナ等のセラミックス材や、シリコン、窒化ガリウム等の半導体材を用いることができる。キャリア３０上には、図２の例と同様に、ＬＤ１４を搭載するサブマウント１５を実装するための実装領域３０ａと、レンズ部品１６を実装するための実装領域３０ｂが設けられる。
【００４１】
実装領域３０ａ，３０ｂには、Ｎｉ／ＡｕやＴｉ／Ｐｔ／Ａｕ等の層構成をもち、キャリア３０との接合強度と半田濡れ性を両立できる金属層を直接形成することができる。レンズ部品１６用の実装領域３０ｂは、レンズ部品の下端面のサイズに対して、調芯代と半田フィレット形成代を加算したサイズとなるよう設計された金属層３４が形成される。ＬＤから出射される光を光ファイバに結合させる場合、レンズに許容される実装ずれは数μｍ程度となり、ＬＤと光ファイバの部品設計に依存する光軸ずれ量は数十μｍから百μｍ程度であり、調芯代は数百μｍ程度となる。この金属層３４を必要以上に大きくすると、半田材が濡れ広がりすぎて、キャリアとレンズ部品間に半田フィレットが正しく形成されず、十分な実装強度が得られなくなる虞がある。
【００４２】
また、耐熱性を有する電気絶縁体で形成したキャリア３０には、半田材１７を加熱溶融するためのヒータ機能を備えた構成とすることができる。このヒータ機能を備える構成としては、ヒータ部３１ａを、金属層３４に近接して形成しておく。その場合、ヒータ部３１ａにより発生した熱を効率的に半田材１７に伝わるよう、ヒータ部３１ａに対して金属層３４と反対側は熱抵抗が高く設計されていることが望ましい。
ヒータ部３１ａへの給電用の配電部３１ｂ及び端子パッド３２は、キャリア３０上に形成しておき、該端子パッド３２からの給電でヒータ部３１ａにより、金属層３４付近を加熱する。この加熱により、半田材１７を効果的に加熱・溶融してレンズ部品１６を簡単に固定でき、作業性を向上することができる。
【００４３】
図８は、キャリア３０が窒化アルミニウム等のセラミックス材からなる場合の一例を示す図である。キャリア３０がセラミックの電気絶縁体である場合は、図８（Ａ）に示すように、キャリア３０上のレンズ部品の実装領域に、ヒータ部３１ａ及び配電部３１ｂからなる配線層３１、並びに端子パッド部３２を直接形成する。ヒータ部３１ａの電気抵抗Ｒは、ヒータ部３１ａの配線長をＬ（ｍ）、断面積をＡ（ｍ２）、電気抵抗率をρ（Ωｍ）とすると、「Ｒ（Ω）＝ρ（Ｌ／Ａ）」で表すことができる。
【００４４】
ヒータ部３１ａの材料としては、電気抵抗率ρが比較的高い金属材料を用いるのが好ましい。例えば、Ｔｉ（ρ＝４.２７×１０−７Ωｍ）、Ｃｒ（ρ＝１.２９×１０−７Ωｍ）、Ｐｔ（ρ＝１.０４×１０−７Ωｍ）などを用いることができる。
これらの配線層３１及び端子パッド部３２は、マスク等を用いて、蒸着やスパッタリングなどで形成することができる。ヒータ部３１ａは、膜厚が一定であるとすると、線幅を細く、長く（蛇行状）することで抵抗値を高くすることができる。
【００４５】
例えば、ヒータ部３１ａの材料をＴｉとして、ヒータ部の厚さを１μｍ、ヒータ線路の幅を１００μｍ、ヒータ線路の長さを５ｍｍとした場合、ヒータ部の電気抵抗Ｒは２１.４Ωとなる。このヒータ部に１Ａの電流を供給した場合の発熱量Ｑは、Ｑ＝Ｉ２Ｒ（Ｗ）より、２１.３５（Ｗ）となる。
【００４６】
発生した熱量に対して、部品の温度差ΔＴは、ΔＴ＝Ｑ×Ｒｔｈ（℃）で表すことができる。Ｒｔｈは熱抵抗（℃／Ｗ）といい２つの測定点における熱の伝わりにくさを示す。例えば、ヒータ部３１ａの温度とキャリア３０底部の温度差をΔＴ、ヒータ部とキャリア底部の熱抵抗を１０（℃／Ｗ）と設計した場合、キャリア底部に対してヒータ部の温度差は２１３.５℃上昇させることができる。キャリアが室温２５℃の場合、ヒータ部の温度は２３８.５℃となり、錫銀銅半田の融点２１７℃よりも高い温度となり、半田を溶融することが可能となる。
【００４７】
なお、ヒータ部３１ａの電気抵抗率は、十分な発熱をえるために高いことが望ましい。他方、ヒータ部３１ａへの給電用の配電部３１ｂは、抵抗値を低くしてロスを抑制することが望ましい。このため、配電部３１ｂに対しては線幅を太くしたり、電気抵抗率の低いＡｌ、Ｃｕ、Ａｕなどを積層形成することで膜厚を厚くするなどして、抵抗値を低くするのが好ましい。
【００４８】
次いで、図８（Ｂ）に示すように、ヒータ部３１ａとその外周辺を含むように、上記の金属層３４に対して電気絶縁性を確保しつつヒータ部３１ａで生じた熱を効率的に伝えるよう適切な厚さに設計された電気絶縁層３３を形成する。この電気絶縁層３３も、マスク等を用いた蒸着やスパッタリングなどで形成することができる。この電気絶縁層３３は、ヒータ部３１ａの熱を実装領域の金属層３４に伝わりやすくするために、薄く且つ熱伝導率の良い材料（例えば、二酸化ケイ素ＳｉＯ２）で形成するのがよい。
【００４９】
電気絶縁層３３の上には、前述したレンズ部品を実装する金属層３４を形成する。この金属層３４は、上記したように、例えば、Ｎｉ／ＡｕやＴｉ／Ｐｔ／Ａｕ等の層構成をもち、キャリア３０との接合強度とレンズ部品の半田材と半田濡れ性のよい金属層とし、メッキ加工等で形成してもよい。
なお、上記の如く形成したヒータ機能の構成を断面的に示すと、図８（Ｃ）のようになる。
【００５０】
図９は、キャリア３０がシリコン、窒化ガリウムなどの半導体材からなる場合の一例を示す図である。キャリア３０が半導体材である場合は、図９（Ａ）に示すように、第１の電気絶縁層３５（例えば、二酸化ケイ素ＳｉＯ２ 、ポリイミド ）を形成する。次いで、第１の電気絶縁層３５上に、図８（Ａ）で説明したのと同様に、レンズ部品の実装領域に、ヒータ部３１ａ及び配電部３１ｂからなる配線層３１を形成する。
【００５１】
配線層３１を形成した後、図９（Ｂ）に示すように、配線層３１のほぼ全域を覆うように、上記の金属層３４に対して電気絶縁性を確保しつつヒータ部３１ａで生じた熱を効率的に伝えるよう適切な厚さに設計された熱伝導率の良い材料（例えば、二酸化ケイ素ＳｉＯ２）で第２の電気絶縁層３６を形成する。なお、この第２の電気絶縁層３６は、図８（Ｂ）の例と同様に、ヒータ部３１ａとその外周辺を含むように形成する形態であってもよい。
【００５２】
次いで、第２の電気絶縁層３６の上には、レンズ部品を実装する金属層３４を形成する。また、第２の電気絶縁層３６には、配線層３１に給電するための端子パッド３２を形成し、第２の電気絶縁層３６にビアホールを設けて配電部３１ｂの端部に、接続導体３２ａで電気的に接続する。
なお、上記の如く形成したヒータ機能の構成を断面的に示すと、図９（Ｃ）のようになる。
【００５３】
キャリア３０が熱伝導性のよい材料で形成されている場合、キャリアの熱抵抗が低くなり、ヒータ部３１ａで発熱した熱が、キャリア３０の底部側から放熱されて、レンズ部品の半田付加熱に対する効率が低下する可能性がある。
このため、ヒータ部３１ａが形成されている上記の金属層３４の近傍領域では、キャリア３０およびキャリアを実装する部材に対してヒータ部３１ａの熱が拡散しにくくするため、熱抵抗が高くなるようにキャリア３０の実装面側と反対の面側に凹部を有する形状としてもよい。
【００５４】
図１０は、上述したキャリア３０の実装面側と反対の面側に凹部を有する形状の一例で、図８，９の変形例として示した図である。
本例では、例えば、ヒータ部３１ａが設けられた金属層３４のキャリア３０の下部側を部分的に除去して凹部３７を形成し、ヒータ部の下部側には熱が伝導し難いようにしている。凹部３７を設けることで、その部分は熱伝達率の低い空気となり、熱抵抗を上げることが可能となる。
【００５５】
図１０（Ａ）は、図８のキャリアがセラミック材で形成されている場合に対応する例で、凹部３７はセラミック材の成形時に容易に形成することができる。
図１０（Ｂ），（Ｃ）は、図９のキャリアが半導体材で形成されている場合に対応する例で、凹部３７はドライエッチングで矩形に形成するか異方性エッチングを用いて台形状に加工することができる。なお、本例では、キャリア上の第１及び第２の電気絶縁層が３５，３６の膜厚が厚く、強度的に十分な場合は、ヒータ部直下のキャリア材を完全に除去するようにしてもよい。
【００５６】
図１１は、１つのパッケージ内に複数のＬＤを搭載した、波長多重の発光モジュールの例を示す図である。図において、４０は発光モジュール、４１はパッケージ、４２はスリーブ、４３はキャリア、４４は半導体レーザ（ＬＤ）、４５はサブマウント、４６ａ，４６ｂはレンズ部品、４７は半田材、４８は光合波器、４８ａは光導波路を示す。
【００５７】
この発光モジュール４０は、中心波長が異なる半導体レーザ（ＬＤ）４４を複数個搭載し、光合波部品４８を用いて１本の光ファイバに光結合させるもので、波長の異なる複数の信号光を伝搬できるため、伝送速度の高速化を実現することができるものである。
発光モジュール４０は、図１で説明した発光モジュールと同様に、パッケージ４１にスリーブ４２を結合した形状で形成される。
【００５８】
パッケージ４１は、図１１（Ａ）に示すように、例えば、箱型の矩形状に形成され、内部に搭載部品が実装されたキャリア４３が収納される。キャリア４３には、サブマウント４５を介して搭載された複数の半導体レーザ（ＬＤ）４４と、このＬＤ４４から出射される波長の異なる信号光をそれぞれ集光する複数の第１のレンズ部品４６ａと、複数のレンズ部品４６ａからの信号光を光導波路４８ａで導波して合波する光合波器４８と、光合波器４８からの合波された信号光を光ファイバに光結合する第２のレンズ部品４６ｂが実装されている。スリーブ４２は、光ファイバを結合保持するためのもので、第２のレンズ部品４６ｂからの合波された信号光が、前記の光ファイバに入射される。
【００５９】
パッケージ４１内には、図１で説明したのと同様に、上記の他に、ＬＤ４４の温度調節をする電子冷却装置等の温調モジュール、サーミスタ、光信号の反射戻り光を阻止するアイソレータ、ＬＤ４４を駆動制御するＩＣ部品等が実装されていてもよい。また、図１１では省略してあるが、パッケージ４１には、外部回路や外部電源への接続のための端子が設けられている。また、パッケージ４１の実装状態を示すために、上部が解放された状態で示しているが、上部の開口は蓋部材で閉塞され密閉状態とされる。
【００６０】
キャリア４３上に実装されるレンズ部品４６ａ，４６ｂは、図２で説明したのと同様に、半田材４７を用いて固定される。第１のレンズ部品４６ａは、中心波長が異なるＬＤ４４ごとに個別に調芯される。また、レンズ部品４６ａ，４６ｂは、図３〜図６で説明したのと同様な形状で、同様な方法で形成することができる。
また、図７〜１０で説明したのと同様に、キャリア４３に電気絶縁体を用いることができ、キャリア４３に配設したヒータを用いて、レンズ部品４６ａ，４６ｂをそれぞれ効率よく半田付けすることができる。
【００６１】
図１１（Ｂ）で示すように、レンズ部品４６ａが狭い間隔で実装されている場合、それぞれのレンズをＹＡＧ溶接で固定するためのＹＡＧ溶接レーザを導入する空間を確保することができなくなる。
キャリア４３に配設したヒータを用いてレンズ実装面を効率的に加熱することが可能となり、狭い間隔で実装されたレンズ部品４６ａの調芯固定が可能となる。
【符号の説明】
【００６２】
１０，４０…発光モジュール、１１，４１…パッケージ、１２，４２…スリーブ、１３，３０，４３…キャリア、１３ａ，１３ｂ，３０ａ，３０ｂ…実装領域、１４，４４…半導体レーザ（ＬＤ）、１５，４５…サブマウント、１６〜１６ｆ，４６ａ，４６ｂ…レンズ部品、１７，４７…半田材、１７ａ…半田フィレット、１８…レンズ部、１９…メタライズ加工部、２０…レンズ基体、２０ａ…前面、２０ｂ…背面、２０ｃ…下端面、２０ｄ…上端面、２１〜２１ｄ…メタライズ層、２２…孔、２３ａ〜２３ｃ…把持部、２５ａ〜２５ｃ…レンズウエハ、２６ａ，２６ｂ…ダイシングライン、３１…配線層、３１ａ…ヒータ部、３１ｂ…配電部、３２…端子パッド、３２ａ…接続導体、３３…電気絶縁層、３４…金属層、３５…第１の電気絶縁層、３６…第２の電気絶縁層、３７…凹部、４８…光合波器、４８ａ…光導波路。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体レーザと、該半導体レーザから出射される光を集光するレンズを搭載した発光モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
光通信における信号光源や光ファイバ増幅用の励起光源として、半導体レーザからの光を信号源とする発光モジュールが用いられている。この発光モジュールは、半導体レーザから出射される光を、レンズを用いて光ファイバに光学的に結合するもので、レーザ光と光ファイバとの光結合に際しては、通常、最大の光結合効率が得られるようにレンズの位置を調芯して固定される。
【０００３】
例えば、特許文献１には、半導体レーザから出射された光を平行光に変換するレンズの位置を、赤外線カメラ等を用いて調芯した後、保持具を介してキャリア上に固定している。レンズの固定は、ＹＡＧ溶接を用いて行うが、溶接時の位置ズレを抑制するために保持具の溶接部分を薄肉化するなど、溶接部の形状を最適化することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−１４２５７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
レンズ部品をＹＡＧ溶接で固定する場合、レンズ材料であるガラス自体はＹＡＧで溶接固定することはできないため、レンズ部品の外周部が金属製の筐体（ホルダ）により覆われた構造とする必要がある。このため、レンズの成形後にレンズを金属筺体に嵌め込むなどして固定するか、若しくは、金属筺体上でレンズを成形するなどのレンズ単体と金属製の筐体を組み合わせる工程が必要で、加工プロセスが複雑となり、コストの高いレンズ部品となる。
【０００６】
また、レンズは、半導体レーザに対して３軸方向での調芯が必要であり、実装面に対して垂直方向に対する調芯が必要なため、特許文献１に開示のような断面Ｕ字状のような金属製の保持具が必要となる。このため、キャリアも金属製となり、レンズの保持固定は、レンズ筺体と保持具をＹＡＧ溶接し、さらに保持具のキャリアへの固定もＹＡＧ溶接で行う構造となる。この構造は、溶接する部品間のクリアランスが大きいと位置ズレが生じやすく、高精度の加工が必要となり、コストの高い部品となる。
【０００７】
また、レンズの調芯は、パッケージ内に実装された状態の半導体レーザを基準にして行われる。このため、ＹＡＧ固定に用いるＹＡＧ溶接のレーザ入射角を考慮した十分なパッケージ内空間が必要とされ、パッケージの設計に対して制約が生じる。ＹＡＧ溶接レーザの入射角はキャリア部品の実装面に対して３０度から６０度程度の角度で設計される。ＹＡＧ溶接する箇所を基準として、前述の入射角の範囲はＹＡＧ溶接レーザが干渉されないよう解放された空間が必要となるため、幅の広いパッケージ設計が必要となる。
【０００８】
一方、光トランシーバ等の通信機器では小型化の要求が強く、発光モジュールも小型設計となるため大きな制約となる。また、波長多重の光モジュールを設計するうえで、中心波長が異なる半導体レーザを列状に並べて実装する構造のものにおいては、レンズの大きさ及びＹＡＧ溶接の制約から、ＹＡＧ溶接を用いた組立方式では小型化対応の設計が困難となる。
【０００９】
本発明は、上述した実状に鑑みてなされたもので、ＹＡＧ溶接を用いることなく調芯固定して実装することができる機能を有し、また安価に製造可能なレンズ部品と、その実装構造を備えたキャリア部品からなる発光モジュールの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明による発光モジュールは、サブマウントに搭載された半導体レーザと、該半導体レーザから出射される光を集光するレンズ部品とが実装されたキャリアを、パッケージ内に収納してなる発光モジュールであって、レンズ部品はメタライズ加工部を有し、キャリアの実装面にメタライズ加工部を半田付けして固定されていることを特徴とする。
【００１１】
レンズ部品のメタライズ加工部は、キャリアの実装面に対向する面と、該面に直交し連接するレンズ部に達しない範囲の前面および背面の３面のうち、少なくとも１面に形成されていることが好ましい。また、レンズ部品のメタライズ加工部と反対側の部分に、搬送用の把持部が設けられていることが好ましい。なお、レンズ部品は、例えば、ウエハにマトリックス状に一体形成した後、分割加工された矩形形状で形成される。
【００１２】
また、前記のキャリアが電気絶縁体で形成され、その実装面に前記レンズ部品のメタライズ加工部を半田付けするための金属層が形成され、該金属層の近傍に、半田材を加熱するヒータ機能を搭載するようにしてもよい。
上記のヒータ機能は、キャリアがセラミック材の場合は、セラミック基板からなるキャリアの実装面側に、Ｔｉ，Ｃｒ又はＰｔのいずれかによりヒータ部と配電部とからなる配線層で形成され、ヒータ部の上に電気絶縁層を介して、上記の金属層が形成されている。
【００１３】
また、キャリアが半導体材の場合は、半導体基板からなるキャリアの実装面側に設けられた第１の電気絶縁層上に、Ｔｉ，Ｃｒ又はＰｔのいずれかによりヒータ部と配電部とからなる配線層で形成され、ヒータ部の上に第２の電気絶縁層を介して、上記の金属層が形成されている。
なお、ヒータ部が形成されている領域で、キャリアの実装面側と反対の面側に凹部を有する形状としてもよい。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、レンズ部品を安価に形成することができ、また、キャリア上に半田付けで固定することができるので、レンズ部品の調芯設備の設計が容易で、且つ位置ズレを抑制することができると共に、発光モジュールの小型化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明による発光モジュールの外観を示す図である。
【図２】本発明によるレンズ部品等の実装例を説明する図である。
【図３】本発明によるレンズ部品の一例とその製造例を説明する図である。
【図４】本発明によるレンズ部品の他の例とその製造例を説明する図である。
【図５】本発明によるレンズ部品のその他の例とその製造例を説明する図である。
【図６】本発明によるレンズ部品のその他の例を示す図である。
【図７】本発明による電気絶縁体からなるキャリアの例を示す図である。
【図８】図７に示すヒータ機能の一例を示す図である。
【図９】図７に示すヒータ機能の他の例を示す図である。
【図１０】図８，９の変形例を示す図である。
【図１１】本発明による波長多重の発光モジュールの例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
図により本発明の実施の形態を説明する。図１，２において、１０は発光モジュール、１１はパッケージ、１２はスリーブ、１３はキャリア、１３ａはサブマウントの実装領域、１３ｂはレンズ部品の実装領域、１４は半導体レーザ（ＬＤ）、１５はサブマウント、１６はレンズ部品、１７は半田材、１７ａは半田フィレット、１８はレンズ部、１９はメタライズ加工部を示す。
【００１７】
本発明による発光モジュール１０（半導体レーザモジュールともいう）は、図１に示すように、パッケージ１１にスリーブ１２を結合した形状で形成される。パッケージ１１は、例えば、箱型の矩形状に形成され、内部にサブマウント１５に搭載された半導体レーザ１４（以下、ＬＤという）と、このＬＤ１４から出射される光を集光するレンズ部品１６とが実装されたキャリア１３が収納される。スリーブ１２は、光ファイバを結合保持するためのもので、レンズ部品１６で集光されたＬＤ１４からの信号光が、前記の光ファイバに入射される。
【００１８】
パッケージ１１内には、上記の他に、ＬＤ１４の温度調節をする電子冷却装置等の温調モジュール、サーミスタ、光信号の反射戻り光を阻止するアイソレータ、ＬＤ１４を駆動制御するＩＣ部品等が実装されていてもよい。なお、図１では省略してあるが、パッケージ１１には、外部回路や外部電源への接続のための端子が設けられている。また、パッケージ１１内への部品の実装状態を示すために、上部が解放された状態で示しているが、上部の開口は蓋部材で閉塞され密閉状態とされる。密閉空間は窒素置換された雰囲気となる気密封止された状態となり、ＬＤなどの光デバイスの信頼性を向上させる。
【００１９】
パッケージ内に収納されるキャリア１３上には、図２に示すように、ＬＤ１４とレンズ部品１６が実装される。ＬＤ１４は、セラミック等の電気絶縁材からなるサブマウント１５を介して、金属または電気絶縁体からなるキャリア１３の実装領域１３ａ上に実装される。ＬＤ１４のサブマウント１５上への実装、サブマウント１５のキャリア１３上への実装は、半田材を用いて行われる。この半田材としては、比較的融点の高い半田材料である金ゲルマニウム半田、金錫半田、錫銀銅半田など考えられるが、そのうち金錫半田がよく用いられる。
【００２０】
レンズ部品１６は、光通信に用いる波長帯に対して透明となるレンズ単体からなり、そのレンズの一部には半田などのロウ付け固定可能なように、メタライズ加工部１９を有する。他方、キャリア１３のレンズの実装領域１３ｂ上には、レンズ部品１６を半田などのロウ付け固定できるように金属層を有し、予め成形された板状の半田材１７を用いてレンズ部品１６とキャリア１３は半田付けして固定される。
【００２１】
レンズ部品１６の実装は、ＬＤ１４を実装した後、ＬＤ１４に外部から給電し、その出射光を赤外線カメラ等でモニタするか、光ファイバで受けた光出力をモニタしながら３軸方向に調整しながら所望の性能が得られるよう最適点となる位置に調芯する。この場合、レンズ部品１６をコレット等で把持して半田材１７を溶融しながら上記の調芯を行い、レンズ部品１６を最適位置に保持した後、半田材を冷却・硬化させる。半田材料が酸化の影響を受けにくくするため、窒素雰囲気もしくは酸化を除去する還元雰囲気で半田を加熱できる装置を用いるのがよい。
【００２２】
なお、レンズ部品１６の半田付けに先だって、キャリア１３および半田材を加熱しておき、この後、レンズ部品１６をコレット等で把持して調芯を行い、レンズ部品１６を最適位置に保持して半田材を冷却・硬化させるようにしてもよい。なお、半田材が完全に硬化した後に、コレットによるレンズ保持を解除するのが望ましく、これにより、半田材の硬化収縮による位置ズレの影響を低減することができる。
【００２３】
また、半田材１７の加熱時は、半田材の融点を超える温度に設定されるが、冷却時は半田材の融点より少し低い温度に一旦強制冷却し、半田材が液相から固相に十分変化した後、常温まで自然冷却で冷却するのが好ましい。半田の液相状態から常温に急激に冷却すると、半田材の相変化による収縮と半田の線膨張係数に依存する収縮が同時に生じる。このため、レンズ部品が半田材に引っ張られてレンズ部品の位置ズレが大きくなる虞がある。
【００２４】
レンズ部品１６用の半田材１７は、ＬＤ１４およびサブマウント１５の実装に用いた半田材よりも融点の低い半田材を用いるのが好ましい。これにより、レンズ部品１６の半田付け時に、ＬＤ１４およびサブマウント１５の半田接合部分に影響が及ぶのを抑制することができる。なお、レンズ部品１６用の半田材１７には、金錫半田、錫銀銅半田、錫銅半田、錫アンチモン半田、錫亜鉛半田、錫ビスマス半田などが考えられるが、ＬＤなどの実装に金錫半田を用いている場合は、錫銀半田や錫銀銅半田などの金錫半田の次に融点が低い半田材料を用いるのがよい。
【００２５】
なお、半田材１７は、予めキャリア１３上に形成されていてもよく、また、図に示すように、ペレット状の半田材１７を用いるようにしてもよい。半田材１７は、レンズ部品を３軸調芯するため、キャリアのレンズ部品の実装領域１３ａとレンズ部品１６の下端面に生じる隙間を満たして、かつレンズ部品のメタライズ加工部１９まで半田が濡れ上がる必要がある。半田材１７をキャリア１３上にあらかじめ形成する場合は、半田材料の実装面方向の大きさをレンズ部品の実装領域１３ａと同じ面積として、厚さを上記の隙間に対して１〜３倍と設計し、レンズ部品のメタライズ加工部１９まで濡れ上がるよう十分な体積が得られるようにするのが望ましい。
【００２６】
なお、上記の隙間よりも薄い半田厚さとする場合は、レンズ部品の実装領域１３ａの面積に対して１〜２倍となるように設計し、レンズ部品のメタライズ加工部１９まで濡れ上がるように十分な体積が得られていることが望ましい。
ペレット形状の半田材１７についても同様に、レンズ部品の実装領域１３ａと同じ面積として、厚さを上記の隙間に対して１〜３倍と設計し、レンズ部品のメタライズ加工部１９まで濡れ上がるよう十分な体積が得られるよう設計するか、レンズ部品の実装領域１３ａの面積に対して１〜２倍となるように設計し、レンズ部品のメタライズ加工部１９まで濡れ上がるよう十分な体積が得られるようにするのが望ましい。
【００２７】
図３〜図６は、本発明で使用されるレンズ部品１６の構造例とその製造方法の例を説明する図である。図において、１６ａ〜１６ｆはレンズ部品、２０はレンズ基体、２０ａは前面、２０ｂは背面、２０ｃは下端面、２０ｄは上端面、２１〜２１ｄはメタライズ層、２２は孔、２３ａ〜２３ｃは把持部、２５a〜２５ｃはレンズウエハ、２６ａ，２６ｂはダイシングライン、を示す。
【００２８】
レンズ部品１６ａ〜１６ｆは、図に示すように、外形が矩形状のレンズ基体２０の中央部にレンズ部１８を有し、下部側にメタライズ加工部１９が形成された構造とするのが望ましい。レンズ部品を矩形状とすることにより、レンズ基板となるウエハにマトリックス状に多数のレンズ部１８とメタライズ加工部１９とを一括形成した後、ダイシング加工等によりそれぞれの個片に分割することで、安価で大量のレンズ部品を製造することが可能となる。
【００２９】
レンズ部１８は、ドーム状にレンズ基体２０の前面２０ａ又は背面２０ｂから膨出した形状で、金型による成形、もしくはフォトリソ加工により形成される。成形の場合は、レンズの曲率に応じて金型に凹みを形成し、レンズの材料を金型に投入した後、金型をプレスすることで金型のレンズ曲率を含む形状がレンズ材料に転写されて、レンズが形成される。フォトリソ加工の場合は、レンズ基体にマスク材を加工する。マスク材はレンズ形状に応じてドーム型に形成し、レンズ部以外のレンズ基材を加工した後、マスクを除去することでレンズが形成される。
【００３０】
メタライズ加工部１９は、レンズ基体２０の表面にＰＶＤ（物理的蒸着）やＣＶＤ（化学的蒸着）により形成され、レンズ基体２０の下部側で、キャリアの実装面に対向する下端面２０ｃと、該面に直交し連接するレンズ部１８に達しない範囲の前面２０ａ及び背面２０ｂの３面のうち、少なくとも１面に形成される。
【００３１】
図３（Ａ）に示すレンズ部品１６ａは、レンズ基体２０の下端面２０ｃを除いて、下部側の前面２０ａと背面２０ｂの２つの面に、レンズ部１８に達しない範囲でメタライズ層２１ａと２１ｂを形成し、メタライズ加工部１９とした例である。メタライズ層２１ａと２１ｂは、キャリアの実装面と直交し、レンズ基体２０の下端面２０ｃからはみ出す半田フィレットによりレンズ部品１６ａをキャリア面上に固定する。
【００３２】
上記のレンズ部品１６ａは、例えば、図３（Ｂ）に示すように、マトリックス状に多数個のレンズ部１８を専用の金型により一括成形、若しくはフォトリソ加工により、レンズウエハ２５ａ上に形成して製造される。レンズウエハ２５ａの材料としては、多成分ガラス、石英ガラス、シリコンなどの半導体材料等が用いられる。なお、レンズ部１８には、反射防止膜を形成し、レンズ面での反射損失の少ない光結合を可能とするようにしてもよい。
【００３３】
また、メタライズ加工部１９となるメタライズ層２１を横方向のダイシングライン２６ａに沿って一括形成する。メタライズ層２１は、Ｎｉ／ＡｕやＴｉ／Ｐｔ／Ａｕ等の層構成をもち、レンズウエハ材との接合強度と半田濡れ性を両立できる構成とされる。メタライズ層２１の形成後、レンズウエハ２５ａを、ダイシングライン２６ａ，２６ｂに沿ってそれぞれの個片に分割することで、レンズ部品１６ａが得られる。
【００３４】
図４（Ａ）に示すレンズ部品１６ｂは、メタライズ加工部１９のメタライズ層は、レンズ基体２０の前面２０ａと背面２０ｂのメタライズ層２１ａ，２１ｂに加えて、キャリアの実装面と対向する下端面２０ｃにも、メタライズ層２１ｃを設けた例である。このレンズ部品１６ｂは、半田フィレットによる接続に加えて、下端面２０ｃのメタライズ層２１ｃにより、キャリアの実装面と面接合による半田付けで半田接合面積を増加させることができ、その接着強度を高めレンズ部品の固定を確実なものとすることができる。
【００３５】
このメタライズ層２１ｃを有するレンズ部品１６ｂは、図４（Ｂ）に示すように、一列のレンズ基体２０からなるレンズウエハ２５ｂの実装面側の３面を覆うようにメタライズ層２１を形成し、ダイシングライン２６ｂで切断して形成される。なお、図４（Ｂ）のレンズウエハ２５ｂは、図３（Ｂ）のレンズウエハ２５ａを横方向のダイシングライン２６ａで切断した状態で得ることができる。
【００３６】
図５（Ａ）に示すレンズ部品１６ｃは、メタライズ加工部１９のメタライズ層は、レンズ基体２０の前面２０ａと背面２０ｂのメタライズ層２１ａ，２１ｂに加えて、キャリアの実装面と対向する下端面２０ｃに断面が半円状の凹部を設け、該凹部の壁面にも、メタライズ層２１ｄを設けた例である。このレンズ部品１６ｃは、半田フィレットによる接続に加えて、凹部に設けられたメタライズ層２１ｄとキャリア面との間で半田接続を形成し、その接着強度を高めレンズ部品の固定を確実なものとすることができる。
【００３７】
このメタライズ層２１ｄを有するレンズ部品１６ｃは、図３（Ｂ）に示したのと同様なマトリックス状に多数個のレンズ部２０ａを有するレンズウエハ２５ｃを準備する。そして、図５（Ｂ）に示すように、メタライズ加工部１９を形成する下部側で、１本おきの横方向のダイシングライン２６ａ上にレンズ基体２０毎に、例えば、２つの孔２２を形成する。次いで、孔２２を含むようにダイシングライン２６ａの両側に、図３（Ｂ）で説明したのと同様なメタライズ層２１を一括形成する。この際、孔２２の内壁面にもメタライズ層２１が形成されるよう加工を施すことが重要となる。この後、レンズウエハ２５ｃを、ダイシングライン２６ａ，２６ｂに沿ってそれぞれの個片に分割することで、レンズ部品１６ｃが得られる。
【００３８】
図６（Ａ）〜図６（Ｃ）に示すレンズ部品は、レンズ部品をキャリアの搭載位置に搬送し、且つ搭載位置の調芯を行うために把持する把持部を有する例を示すものである。図６（Ａ）に示すレンズ部品１６ｄは、レンズ基体２０の上端面２０ｄの両側に、傾斜面２３ａを形成した例である。このレンズ部品１６ｄは、一対の傾斜面をコレット両端に有する吸着コレットからなる搬送装置を用いる場合に適した形状で、両側の傾斜面２３ａとコレット側の傾斜面が一致するよう設計されたコレットにより吸着することにより、レンズ部品１６ｄを精度よく保持して正確な搬送と位置決めを行うことができる。
【００３９】
図６（Ｂ）に示すレンズ部品１６ｅは、レンズ基体２０の上端面２０ｄの両側に段部２３ｂを形成した例である。このレンズ部品１６ｅは、ペンチ状のコレットで把持する搬送装置を用いる場合に適した形状で、両側の段部２３ｂを挟むことにより、レンズ部品１６ｅを精度よく保持して正確な搬送と位置決めを行うことができる。
また、図６（Ｃ）に示すレンズ部品１６ｆは、レンズ基体２０の上端面２０ｄ近くの両側面に溝２３ｃで形成した例である。このレンズ部品１６ｆは、ニッパ状のコレットで把持する搬送装置を用いる場合に適した形状で、両側の溝２３ｃを把持することにより、レンズ部品１６ｅを精度よく保持して正確な搬送と位置決めを行うことができる。
【００４０】
図７は、キャリアの他の例を示す図である。この図に示すキャリア３０は、電気絶縁材で形成した例で、ＬＤ１４の放熱性を考慮して熱伝導性のよい窒化アルミニウム、アルミナ等のセラミックス材や、シリコン、窒化ガリウム等の半導体材を用いることができる。キャリア３０上には、図２の例と同様に、ＬＤ１４を搭載するサブマウント１５を実装するための実装領域３０ａと、レンズ部品１６を実装するための実装領域３０ｂが設けられる。
【００４１】
実装領域３０ａ，３０ｂには、Ｎｉ／ＡｕやＴｉ／Ｐｔ／Ａｕ等の層構成をもち、キャリア３０との接合強度と半田濡れ性を両立できる金属層を直接形成することができる。レンズ部品１６用の実装領域３０ｂは、レンズ部品の下端面のサイズに対して、調芯代と半田フィレット形成代を加算したサイズとなるよう設計された金属層３４が形成される。ＬＤから出射される光を光ファイバに結合させる場合、レンズに許容される実装ずれは数μｍ程度となり、ＬＤと光ファイバの部品設計に依存する光軸ずれ量は数十μｍから百μｍ程度であり、調芯代は数百μｍ程度となる。この金属層３４を必要以上に大きくすると、半田材が濡れ広がりすぎて、キャリアとレンズ部品間に半田フィレットが正しく形成されず、十分な実装強度が得られなくなる虞がある。
【００４２】
また、耐熱性を有する電気絶縁体で形成したキャリア３０には、半田材１７を加熱溶融するためのヒータ機能を備えた構成とすることができる。このヒータ機能を備える構成としては、ヒータ部３１ａを、金属層３４に近接して形成しておく。その場合、ヒータ部３１ａにより発生した熱を効率的に半田材１７に伝わるよう、ヒータ部３１ａに対して金属層３４と反対側は熱抵抗が高く設計されていることが望ましい。
ヒータ部３１ａへの給電用の配電部３１ｂ及び端子パッド３２は、キャリア３０上に形成しておき、該端子パッド３２からの給電でヒータ部３１ａにより、金属層３４付近を加熱する。この加熱により、半田材１７を効果的に加熱・溶融してレンズ部品１６を簡単に固定でき、作業性を向上することができる。
【００４３】
図８は、キャリア３０が窒化アルミニウム等のセラミックス材からなる場合の一例を示す図である。キャリア３０がセラミックの電気絶縁体である場合は、図８（Ａ）に示すように、キャリア３０上のレンズ部品の実装領域に、ヒータ部３１ａ及び配電部３１ｂからなる配線層３１、並びに端子パッド部３２を直接形成する。ヒータ部３１ａの電気抵抗Ｒは、ヒータ部３１ａの配線長をＬ（ｍ）、断面積をＡ（ｍ２）、電気抵抗率をρ（Ωｍ）とすると、「Ｒ（Ω）＝ρ（Ｌ／Ａ）」で表すことができる。
【００４４】
ヒータ部３１ａの材料としては、電気抵抗率ρが比較的高い金属材料を用いるのが好ましい。例えば、Ｔｉ（ρ＝４.２７×１０−７Ωｍ）、Ｃｒ（ρ＝１.２９×１０−７Ωｍ）、Ｐｔ（ρ＝１.０４×１０−７Ωｍ）などを用いることができる。
これらの配線層３１及び端子パッド部３２は、マスク等を用いて、蒸着やスパッタリングなどで形成することができる。ヒータ部３１ａは、膜厚が一定であるとすると、線幅を細く、長く（蛇行状）することで抵抗値を高くすることができる。
【００４５】
例えば、ヒータ部３１ａの材料をＴｉとして、ヒータ部の厚さを１μｍ、ヒータ線路の幅を１００μｍ、ヒータ線路の長さを５ｍｍとした場合、ヒータ部の電気抵抗Ｒは２１.４Ωとなる。このヒータ部に１Ａの電流を供給した場合の発熱量Ｑは、Ｑ＝Ｉ２Ｒ（Ｗ）より、２１.３５（Ｗ）となる。
【００４６】
発生した熱量に対して、部品の温度差ΔＴは、ΔＴ＝Ｑ×Ｒｔｈ（℃）で表すことができる。Ｒｔｈは熱抵抗（℃／Ｗ）といい２つの測定点における熱の伝わりにくさを示す。例えば、ヒータ部３１ａの温度とキャリア３０底部の温度差をΔＴ、ヒータ部とキャリア底部の熱抵抗を１０（℃／Ｗ）と設計した場合、キャリア底部に対してヒータ部の温度差は２１３.５℃上昇させることができる。キャリアが室温２５℃の場合、ヒータ部の温度は２３８.５℃となり、錫銀銅半田の融点２１７℃よりも高い温度となり、半田を溶融することが可能となる。
【００４７】
なお、ヒータ部３１ａの電気抵抗率は、十分な発熱をえるために高いことが望ましい。他方、ヒータ部３１ａへの給電用の配電部３１ｂは、抵抗値を低くしてロスを抑制することが望ましい。このため、配電部３１ｂに対しては線幅を太くしたり、電気抵抗率の低いＡｌ、Ｃｕ、Ａｕなどを積層形成することで膜厚を厚くするなどして、抵抗値を低くするのが好ましい。
【００４８】
次いで、図８（Ｂ）に示すように、ヒータ部３１ａとその外周辺を含むように、上記の金属層３４に対して電気絶縁性を確保しつつヒータ部３１ａで生じた熱を効率的に伝えるよう適切な厚さに設計された電気絶縁層３３を形成する。この電気絶縁層３３も、マスク等を用いた蒸着やスパッタリングなどで形成することができる。この電気絶縁層３３は、ヒータ部３１ａの熱を実装領域の金属層３４に伝わりやすくするために、薄く且つ熱伝導率の良い材料（例えば、二酸化ケイ素ＳｉＯ２）で形成するのがよい。
【００４９】
電気絶縁層３３の上には、前述したレンズ部品を実装する金属層３４を形成する。この金属層３４は、上記したように、例えば、Ｎｉ／ＡｕやＴｉ／Ｐｔ／Ａｕ等の層構成をもち、キャリア３０との接合強度とレンズ部品の半田材と半田濡れ性のよい金属層とし、メッキ加工等で形成してもよい。
なお、上記の如く形成したヒータ機能の構成を断面的に示すと、図８（Ｃ）のようになる。
【００５０】
図９は、キャリア３０がシリコン、窒化ガリウムなどの半導体材からなる場合の一例を示す図である。キャリア３０が半導体材である場合は、図９（Ａ）に示すように、第１の電気絶縁層３５（例えば、二酸化ケイ素ＳｉＯ２ 、ポリイミド ）を形成する。次いで、第１の電気絶縁層３５上に、図８（Ａ）で説明したのと同様に、レンズ部品の実装領域に、ヒータ部３１ａ及び配電部３１ｂからなる配線層３１を形成する。
【００５１】
配線層３１を形成した後、図９（Ｂ）に示すように、配線層３１のほぼ全域を覆うように、上記の金属層３４に対して電気絶縁性を確保しつつヒータ部３１ａで生じた熱を効率的に伝えるよう適切な厚さに設計された熱伝導率の良い材料（例えば、二酸化ケイ素ＳｉＯ２）で第２の電気絶縁層３６を形成する。なお、この第２の電気絶縁層３６は、図８（Ｂ）の例と同様に、ヒータ部３１ａとその外周辺を含むように形成する形態であってもよい。
【００５２】
次いで、第２の電気絶縁層３６の上には、レンズ部品を実装する金属層３４を形成する。また、第２の電気絶縁層３６には、配線層３１に給電するための端子パッド３２を形成し、第２の電気絶縁層３６にビアホールを設けて配電部３１ｂの端部に、接続導体３２ａで電気的に接続する。
なお、上記の如く形成したヒータ機能の構成を断面的に示すと、図９（Ｃ）のようになる。
【００５３】
キャリア３０が熱伝導性のよい材料で形成されている場合、キャリアの熱抵抗が低くなり、ヒータ部３１ａで発熱した熱が、キャリア３０の底部側から放熱されて、レンズ部品の半田付加熱に対する効率が低下する可能性がある。
このため、ヒータ部３１ａが形成されている上記の金属層３４の近傍領域では、キャリア３０およびキャリアを実装する部材に対してヒータ部３１ａの熱が拡散しにくくするため、熱抵抗が高くなるようにキャリア３０の実装面側と反対の面側に凹部を有する形状としてもよい。
【００５４】
図１０は、上述したキャリア３０の実装面側と反対の面側に凹部を有する形状の一例で、図８，９の変形例として示した図である。
本例では、例えば、ヒータ部３１ａが設けられた金属層３４のキャリア３０の下部側を部分的に除去して凹部３７を形成し、ヒータ部の下部側には熱が伝導し難いようにしている。凹部３７を設けることで、その部分は熱伝達率の低い空気となり、熱抵抗を上げることが可能となる。
【００５５】
図１０（Ａ）は、図８のキャリアがセラミック材で形成されている場合に対応する例で、凹部３７はセラミック材の成形時に容易に形成することができる。
図１０（Ｂ），（Ｃ）は、図９のキャリアが半導体材で形成されている場合に対応する例で、凹部３７はドライエッチングで矩形に形成するか異方性エッチングを用いて台形状に加工することができる。なお、本例では、キャリア上の第１及び第２の電気絶縁層が３５，３６の膜厚が厚く、強度的に十分な場合は、ヒータ部直下のキャリア材を完全に除去するようにしてもよい。
【００５６】
図１１は、１つのパッケージ内に複数のＬＤを搭載した、波長多重の発光モジュールの例を示す図である。図において、４０は発光モジュール、４１はパッケージ、４２はスリーブ、４３はキャリア、４４は半導体レーザ（ＬＤ）、４５はサブマウント、４６ａ，４６ｂはレンズ部品、４７は半田材、４８は光合波器、４８ａは光導波路を示す。
【００５７】
この発光モジュール４０は、中心波長が異なる半導体レーザ（ＬＤ）４４を複数個搭載し、光合波部品４８を用いて１本の光ファイバに光結合させるもので、波長の異なる複数の信号光を伝搬できるため、伝送速度の高速化を実現することができるものである。
発光モジュール４０は、図１で説明した発光モジュールと同様に、パッケージ４１にスリーブ４２を結合した形状で形成される。
【００５８】
パッケージ４１は、図１１（Ａ）に示すように、例えば、箱型の矩形状に形成され、内部に搭載部品が実装されたキャリア４３が収納される。キャリア４３には、サブマウント４５を介して搭載された複数の半導体レーザ（ＬＤ）４４と、このＬＤ４４から出射される波長の異なる信号光をそれぞれ集光する複数の第１のレンズ部品４６ａと、複数のレンズ部品４６ａからの信号光を光導波路４８ａで導波して合波する光合波器４８と、光合波器４８からの合波された信号光を光ファイバに光結合する第２のレンズ部品４６ｂが実装されている。スリーブ４２は、光ファイバを結合保持するためのもので、第２のレンズ部品４６ｂからの合波された信号光が、前記の光ファイバに入射される。
【００５９】
パッケージ４１内には、図１で説明したのと同様に、上記の他に、ＬＤ４４の温度調節をする電子冷却装置等の温調モジュール、サーミスタ、光信号の反射戻り光を阻止するアイソレータ、ＬＤ４４を駆動制御するＩＣ部品等が実装されていてもよい。また、図１１では省略してあるが、パッケージ４１には、外部回路や外部電源への接続のための端子が設けられている。また、パッケージ４１の実装状態を示すために、上部が解放された状態で示しているが、上部の開口は蓋部材で閉塞され密閉状態とされる。
【００６０】
キャリア４３上に実装されるレンズ部品４６ａ，４６ｂは、図２で説明したのと同様に、半田材４７を用いて固定される。第１のレンズ部品４６ａは、中心波長が異なるＬＤ４４ごとに個別に調芯される。また、レンズ部品４６ａ，４６ｂは、図３〜図６で説明したのと同様な形状で、同様な方法で形成することができる。
また、図７〜１０で説明したのと同様に、キャリア４３に電気絶縁体を用いることができ、キャリア４３に配設したヒータを用いて、レンズ部品４６ａ，４６ｂをそれぞれ効率よく半田付けすることができる。
【００６１】
図１１（Ｂ）で示すように、レンズ部品４６ａが狭い間隔で実装されている場合、それぞれのレンズをＹＡＧ溶接で固定するためのＹＡＧ溶接レーザを導入する空間を確保することができなくなる。
キャリア４３に配設したヒータを用いてレンズ実装面を効率的に加熱することが可能となり、狭い間隔で実装されたレンズ部品４６ａの調芯固定が可能となる。
【符号の説明】
【００６２】
１０，４０…発光モジュール、１１，４１…パッケージ、１２，４２…スリーブ、１３，３０，４３…キャリア、１３ａ，１３ｂ，３０ａ，３０ｂ…実装領域、１４，４４…半導体レーザ（ＬＤ）、１５，４５…サブマウント、１６〜１６ｆ，４６ａ，４６ｂ…レンズ部品、１７，４７…半田材、１７ａ…半田フィレット、１８…レンズ部、１９…メタライズ加工部、２０…レンズ基体、２０ａ…前面、２０ｂ…背面、２０ｃ…下端面、２０ｄ…上端面、２１〜２１ｄ…メタライズ層、２２…孔、２３ａ〜２３ｃ…把持部、２５ａ〜２５ｃ…レンズウエハ、２６ａ，２６ｂ…ダイシングライン、３１…配線層、３１ａ…ヒータ部、３１ｂ…配電部、３２…端子パッド、３２ａ…接続導体、３３…電気絶縁層、３４…金属層、３５…第１の電気絶縁層、３６…第２の電気絶縁層、３７…凹部、４８…光合波器、４８ａ…光導波路。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
サブマウントに搭載された半導体レーザと、前記半導体レーザから出射される光を集光するレンズ部品とが実装されたキャリアを、パッケージ内に収納してなる発光モジュールであって、
前記レンズ部品はメタライズ加工部を有し、前記キャリアの実装面に前記メタライズ加工部を半田付けして固定されていることを特徴とする発光モジュール。
【請求項２】
前記レンズ部品のメタライズ加工部は、前記キャリアの実装面に対向する面と、該面に直交し連接するレンズ部に達しない範囲の前面および背面の３面のうち、少なくとも１面に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の発光モジュール。
【請求項３】
前記レンズ部品のメタライズ加工部と反対側の部分に、搬送用の把持部が設けられていることを特徴とする請求項２に記載の発光モジュール。
【請求項４】
前記レンズ部品は、ウエハにマトリックス状に一体形成した後、分割加工された矩形形状であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の発光モジュール。
【請求項５】
前記キャリアが電気絶縁体で形成され、その実装面に前記レンズ部品のメタライズ加工部を半田付けするための金属層が形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の発光モジュール。
【請求項６】
前記金属層の近傍に、半田材を加熱するヒータ機能が搭載されていることを特徴とする請求項５に記載の発光モジュール。
【請求項７】
前記ヒータ機能は、セラミック基板からなるキャリアの実装面側に、Ｔｉ，Ｃｒ又はＰｔのいずれかによりヒータ部と配電部とからなる配線層で形成され、前記ヒータ部の上に電気絶縁層を介して、前記金属層が形成されていることを特徴とする請求項６に記載の発光モジュール。
【請求項８】
前記ヒータ機能は、半導体基板からなるキャリアの実装面側に設けられた第１の電気絶縁層上に、Ｔｉ，Ｃｒ又はＰｔのいずれかによりヒータ部と配電部とからなる配線層で形成され、前記ヒータ部の上に第２の電気絶縁層を介して、前記金属層が形成されていることを特徴とする請求項６に記載の発光モジュール。
【請求項９】
前記ヒータ部が形成されている領域で、前記キャリアの実装面側と反対の面側に凹部を有していることを特徴とする請求項７又は８に記載の発光モジュール。
【請求項１】
サブマウントに搭載された半導体レーザと、前記半導体レーザから出射される光を集光するレンズ部品とが実装されたキャリアを、パッケージ内に収納してなる発光モジュールであって、
前記レンズ部品はメタライズ加工部を有し、前記キャリアの実装面に前記メタライズ加工部を半田付けして固定されていることを特徴とする発光モジュール。
【請求項２】
前記レンズ部品のメタライズ加工部は、前記キャリアの実装面に対向する面と、該面に直交し連接するレンズ部に達しない範囲の前面および背面の３面のうち、少なくとも１面に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の発光モジュール。
【請求項３】
前記レンズ部品のメタライズ加工部と反対側の部分に、搬送用の把持部が設けられていることを特徴とする請求項２に記載の発光モジュール。
【請求項４】
前記レンズ部品は、ウエハにマトリックス状に一体形成した後、分割加工された矩形形状であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の発光モジュール。
【請求項５】
前記キャリアが電気絶縁体で形成され、その実装面に前記レンズ部品のメタライズ加工部を半田付けするための金属層が形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の発光モジュール。
【請求項６】
前記金属層の近傍に、半田材を加熱するヒータ機能が搭載されていることを特徴とする請求項５に記載の発光モジュール。
【請求項７】
前記ヒータ機能は、セラミック基板からなるキャリアの実装面側に、Ｔｉ，Ｃｒ又はＰｔのいずれかによりヒータ部と配電部とからなる配線層で形成され、前記ヒータ部の上に電気絶縁層を介して、前記金属層が形成されていることを特徴とする請求項６に記載の発光モジュール。
【請求項８】
前記ヒータ機能は、半導体基板からなるキャリアの実装面側に設けられた第１の電気絶縁層上に、Ｔｉ，Ｃｒ又はＰｔのいずれかによりヒータ部と配電部とからなる配線層で形成され、前記ヒータ部の上に第２の電気絶縁層を介して、前記金属層が形成されていることを特徴とする請求項６に記載の発光モジュール。
【請求項９】
前記ヒータ部が形成されている領域で、前記キャリアの実装面側と反対の面側に凹部を有していることを特徴とする請求項７又は８に記載の発光モジュール。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２０１３−８０９００（Ｐ２０１３−８０９００Ａ）
【公開日】平成２５年５月２日（２０１３．５．２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１２−１４９１１３（Ｐ２０１２−１４９１１３）
【出願日】平成２４年７月３日（２０１２．７．３）
【出願人】（０００００２１３０）住友電気工業株式会社 (12,747)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月２日（２０１３．５．２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２４年７月３日（２０１２．７．３）
【出願人】（０００００２１３０）住友電気工業株式会社 (12,747)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]