端縁部を研磨テープにより研磨仕上げした板ガラス並びに板ガラス端縁部の研磨方法及び研磨装置
【課題】端縁部が高精度に面取り加工され、高い強度を付与された板ガラス並びにその製造方法、研磨方法及び研磨装置を提供することを課題とする。
【解決手段】上面、下面及びその両面の間に端面を有する矩形の板ガラスであって、前記上面又は前記下面と前記端面との境界にある稜部のうち少なくとも１辺の稜部又は少なくともひとつの端面が研磨テープで研磨され仕上がり面に形成された板ガラスであって、該仕上がり面の平均表面粗さＲａが２０ｎｍ以下であり且つ最大谷深さＲｖが２００ｎｍ以下である板ガラス。
【解決手段】上面、下面及びその両面の間に端面を有する矩形の板ガラスであって、前記上面又は前記下面と前記端面との境界にある稜部のうち少なくとも１辺の稜部又は少なくともひとつの端面が研磨テープで研磨され仕上がり面に形成された板ガラスであって、該仕上がり面の平均表面粗さＲａが２０ｎｍ以下であり且つ最大谷深さＲｖが２００ｎｍ以下である板ガラス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、携帯電話表示窓、液晶パネル、有機ＥＬパネル、プラズマパネル、太陽電池パネルなどのフラットディスプレイや電子部品用のカバーガラス、光学フィルター等に使用される板ガラスであって、少なくとも一辺の稜部又はひとつの端面を研磨テープで研磨することにより強度が向上した板ガラス並びにその製造方法、研磨方法及び研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
板ガラスの割れは、板ガラスの端縁部（稜部又は端面）に始めから存在する微細な傷を起点に生ずることが多く、板ガラスの端縁部に傷があると、それが微細なものであっても、製品の製造中や製品の操作中、機械的応力や熱応力が加わったときに、傷が伸長して板ガラスの破損につながることがある。
【０００３】
また、端縁部に角を有する板ガラスはガラス屑を生じ易く、このガラス屑が板ガラスの主表面（上面又は下面）に汚染や傷を発生させる原因となる。特に、板ガラスの用途が電子部品用のカバーガラス（例えば、撮像装置用のカバーガラス）や光学フィルター（例えば、撮像装置の近赤外補正フィルター）等であった場合、ガラス屑による汚染や傷が大きな問題になることがある。
【０００４】
このため、従来から、各種フラットディスプレイやカバーガラス等に使用される板ガラスは、ガラス屑による傷や端縁部の微細な傷、チッピング（欠け）による破損、又はそれに伴う作業時の危険を防止するために、端縁部がいわゆるＣ面取り加工やＲ面取り加工を施され面取りされていた。面取りによって、端縁部の微細な傷を減少させることができ、板ガラスの強度を向上させることができる。
【０００５】
従来、板ガラスの端縁部を面取りするため、略円盤状の研削砥石が使用されていた。すなわち、略円盤状の研削砥石を回転させ、研削砥石の円盤面又は端面を板ガラスの端縁部に押し当てることにより面取り加工が行われていた。
【０００６】
例えば、略円盤状の研削砥石の円盤面を傾けて板ガラスの稜部に押し当てることにより稜部のみを除去するＣ面取り加工が行われていた（特開２０００−２３３３５１公報：特許文献１）。また、研削砥石の端面に傾斜面を設け、該傾斜面を板ガラスの稜部に押し当てて稜部のみを除去するＣ面取り加工が行われていた（特開２００３−２３１０４６公報：特許文献２、特開２０１１−５１０６８公報：特許文献３）。
【０００７】
さらに、研削砥石の端面に円弧状の凹部又は所望の形状の凹部を形成して、板ガラスの端面を研削砥石の端面形状に倣って除去する、Ｒ面取り加工又は総形加工が行われていた（特開２００２−５９３４６公報：特許文献４、特開２００１−８５７１０公報：特許文献５）。
【０００８】
上記のような従来の面取り加工では、研削砥石として、金属の粉末を固めて焼結しダイヤモンド砥粒を固定したメタルボンドのダイヤモンドホイール等が使用され、砥粒のサイズが異なるホイール（砥石）を使用して、一次加工と二次加工が行われた。一次加工には、メッシュサイズで＃３２５〜＃６００のダイヤモンド粒子を用いたホイールが使用され、加工した板ガラス端縁部の平均表面粗さＲａは、概して、０．５μｍ〜１．０μｍの範囲にあった。この表面粗さを小さくするために、二次加工には、一次加工用のホイールと同じ断面形状に成形された、メッシュサイズで＃１０００〜＃２０００のダイヤモンド粒子を用いた仕上げ加工用のホイールが使用された。
【０００９】
また、上記のようなメタルボンドのダイヤモンドホイールに代えて、繊維間が樹脂で充填された繊維構成体の面取りホイール、又はメッシュサイズで＃５００〜＃２０００の炭化ケイ素、アルミナ等の研磨砥粒が配された樹脂構成体の面取りホイールが提案された（特開２００２−１６０１４７公報：特許文献６）。この面取りホイール（砥石）を回転させながら、断面凹状に形成されたホイールの周縁部を液晶ディスプレイ用板ガラス等の端面に押し当てることにより、加工が行われた。加工むらをなくし均一な研磨を行うために、面取りホイールは、回転軸を板ガラスの表面に立てた垂線に対して所定の角度傾けて使用された。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２０００−２３３３５１公報
【特許文献２】特開２００３−２３１０４６公報
【特許文献３】特開２０１１−５１０６８公報
【特許文献４】特開２００２−５９３４６公報
【特許文献５】特開２００１−８５７１０公報
【特許文献６】特開２００２−１６０１４７公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上記のような砥石（ホイール）を板ガラスの端縁部に押し当てて回転させながら面取りを行うと、砥石の目詰まりや砥石の磨耗が徐々に進行するという問題があった。目詰まりや摩耗により砥石の加工部の形状等が悪くなると、板ガラスの端縁部に研削傷が発生するようになり、砥石が板ガラスの端縁部の一部に接触しないことにより未加工部（加工むら）を生じ、また、加工圧力の不均一により焼け等を生ずることがあった。
【００１２】
砥石の加工部の形状等が悪くなった場合、ドレッシングやツルーイングが行われるが、ダイヤモンドホイールには、高度な成形精度が不可欠とされ、ドレッシング等や砥石の位置調整に時間を要するため、作業効率が低下した。また、砥石の未使用領域が多く残ったまま加工部のドレッシング等を行ったり、寿命として砥石の交換を行ったりする必要があるため、コストが増大するという問題があった。
【００１３】
また、砥石を使用して板ガラスの端縁部の面取りを行うと、砥石を加工物に当接するときに機械的衝撃が加わり、その衝撃で板ガラスが破損し、加工歩留りが悪くなるという問題があった。
【００１４】
メタルボンドのダイヤモンドホイールと比べて剛性が低い樹脂構成体等の面取りホイール（特許文献６）では、板ガラスの端縁部への衝撃が減少し、欠けや傷の発生は減少した。しかし、砥石の磨耗が激しくなって加工部の形状変化が速く、目詰まりも起こるため、砥石のドレッシング（又はツルーイング）の頻度が高いという問題があった。
【００１５】
さらに近年、液晶ディスプレイ用の板ガラスや厚みの薄い（１ｍｍ以下）電子部品用の板ガラス等では、より高精度に端縁部（稜部や端面）が面取り加工されることが要求されるようになった。しかし、従来の研削砥石を使用して板ガラスの端縁部を面取りした場合、得られる加工面の精度が不十分で、板ガラス端縁部に微細な傷又はチッピングが残ってしまい、十分な割れ防止にならなかった。
【００１６】
上記の問題に鑑みて、本発明は、端縁部が高精度に加工され、高い強度を付与された板ガラス並びにその製造方法、研磨方法及び研磨装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記課題を解決する本発明に係る板ガラスは、上面、下面及びその両面の間に端面を有する矩形の板ガラスの上面又は下面と端面との境界にある稜部のうち少なくとも１辺の稜部、又は、少なくともひとつの端面が、研磨テープで研磨され仕上がり面に形成された板ガラスであって、該仕上がり面の平均表面粗さＲａが２０ｎｍ以下であり且つ最大谷深さＲｖが２００ｎｍ以下であることを特徴とする。
【００１８】
研磨テープを使用する方法で板ガラスの稜部又は端面を研磨することより、板ガラスの稜部又は端面に高精度な表面性状を有する仕上がり面が形成される。稜部又は端面が上記の表面粗さＲａ及び最大谷深さＲｖの仕上がり面に形成されることにより、板ガラスの強度が著しく向上する。本発明に係る板ガラスは、周縁部の微細な傷や欠けを起点にした割れの発生を防ぎ、機械的応力や熱ショックによる破損を防止することができるものである。また、後工程の加工歩留まりを改善し、板ガラスが組み込まれた製品の信頼性を向上させることができる。
【００１９】
本発明に係る、稜部が所定の表面性状を有する仕上がり面に形成された板ガラスを製造するための製造方法は、研磨テープの裏面に弾性のあるパッド部材の表面を配置し板ガラスの少なくとも１辺の稜部をＣ面取りするために研磨テープの表面と板ガラスの１辺の稜部を対向させて配置する工程と、パッド部材を介して研磨テープに所定の押圧力を加えることにより研磨テープの表面を１辺の稜部に当接・押圧する工程と、板ガラスを直線的な移動軸線に沿って移動させることにより１辺の稜部を研磨する工程と、を含んで成る。ここで、研磨テープの表面は砥粒を含む研磨層から成り、砥粒の平均粒径は０．２μｍ以上３．０μｍ以下の範囲にある。研磨する工程において、研磨テープは走行せず停止していてもよく、走行していてもよい。
【００２０】
このように、板ガラスの上面又は下面の１辺の稜部を研磨テープ表面に対向して配置し、当接、押圧して研磨（Ｃ面研磨）することにより、破損の原因に最もなりやすい稜部の割れや欠けを除去することができる。
【００２１】
微細な砥粒を表面に含む、柔軟性のある研磨テープと弾性のあるパッド部材とを使用することによって、稜部がＣ面取りされた面（仕上がり面）の端部（エッジ部）が鋭角にならず、また、板ガラスの端縁部に傷や欠けを新たに生ずることなく高精度に研磨仕上げされた仕上がり面を形成することができる。このような仕上がり面が形成された板ガラスは強度が著しく向上し、亀裂や破損が生じにくい。
【００２２】
研磨する工程において、板ガラスと研磨テープの表面は相対移動し、好適に板ガラスが、直線的な移動軸線に沿って往復移動する。研磨テープ、パッド部材の柔軟性、弾力性及び板ガラスの強度により、研磨体（研磨テープの表面）に対して被研磨体（板ガラス）を移動して研磨を行っても、研磨中に被研磨体が破損することはない。
【００２３】
好適に、板ガラスが移動軸線に沿って移動するとき、１辺の稜部は移動軸線に関して所定の角度（θ）だけ傾斜している。稜部が移動軸線に対して傾斜していることにより、研磨テープ表面の微細な砥粒を効率的に稜部に作用させることができる。また、研磨テープの幅（面積）を有効に利用して、短時間で効率よく研磨することができる。
【００２４】
上記所定の角度（θ）は、５度〜６０度の範囲にあることが好ましい。この範囲で研磨テープの幅によって角度（θ）を調整することが、コスト面から好ましい。
【００２５】
さらに、移動軸線は、研磨テープの長手方向に平行であってもよく、研磨テープの長手方向に対し所定の角度（β）だけ傾斜していてもよい。研磨テープの幅や走行の状態によって、移動軸線が研磨テープの長手方向に対し傾斜していることが効率的である。
【００２６】
また、本発明に係る、端面が所定の表面性状を有する仕上がり面に形成された板ガラスを製造するための製造方法は、研磨テープの裏面に弾性のあるパッド部材の表面を配置し研磨テープの表面と板ガラスのひとつの端面を対向させて配置する工程と、パッド部材を介して研磨テープに所定の押圧力を加えることにより研磨テープの表面をひとつの端面に当接・押圧する工程と、板ガラスを直線的な移動軸線に沿って移動させることによりひとつの端面を研磨する工程と、を含んで成る。ここで、研磨テープの表面は砥粒を含む研磨層から成り、砥粒の平均粒径は０．２μｍ以上３．０μｍ以下の範囲にある。研磨する工程において、研磨テープは走行せず停止していてもよく、走行していてもよい。
【００２７】
上記の製造方法により、端面全体が仕上がり面に形成された板ガラスを製造することができる。稜部を仕上がり面に形成したのちに、端面の残部を上記の方法により仕上がり面に形成してもよい。端面全体を研磨することにより、研磨残りがなく、汚れや研磨屑の除去が十分行われるため、板ガラス主表面に汚染や傷が発生することを防止することができる。
【００２８】
上記のパッド部材の表面は、平坦面であってよい。パッドの表面が平坦面であることにより、１辺の稜部全体をパッドの表面に配置された研磨テープの表面に当接し、研磨することができる。
【００２９】
また、パッド部材の表面は、平坦ではない凸状の曲面であってもよい。板ガラスの角部（ひとつの端面と他の端面との間に形成される部分）の研磨テープ表面への接触を制限し、研磨テープを保護しながら研磨することができるからである。
【００３０】
パッド部材としては、ショアＡ硬さが２０ないし５０の範囲にある第１のパッド部材を使用することが好ましい。弾性のあるパッド部材により、研磨テープと板ガラス端縁部の接触による機械的衝撃を緩和することができ、研磨とともに端縁部の形状が変化しても追従して加工することができる。
【００３１】
さらに本発明に係る製造方法において、研磨テープと第１のパッド部材との間にショアＡ硬さが９０以下である第２のパッド部材が配置されてもよい。板ガラスの材質、厚さ等の仕様に応じて適切なパッド部材とするためである。
【００３２】
本発明に係る板ガラスは、柔軟性のある研磨テープと弾性のあるパッド部材を使用して稜部又は端面が研磨され仕上がり面に形成されたものであるため、稜部がＣ面取りされた仕上がり面も、断面がＲ形状の曲面を有する。稜部の仕上がり面が上記の最大谷深さ等の表面性状を満たし、断面形状が曲面を有するように形成されることにより、欠けや割れの発生要因が極めて少ない板ガラスとすることができる。
【００３３】
研磨中、研磨テープは停止していてもよく、連続的又は断続的に走行してもよい。短時間で研磨仕上げする場合は、研磨テープを停止した状態で研磨することによって、研磨テープの使用量が少なくなるため、経済的である。研磨時間が比較的長い場合は、新しい研磨テープを順次送ることによって研磨効率を高めることができる。
【００３４】
研磨テープの表面を板ガラスの稜部又は端面に押圧するための押圧力は、板ガラスの状態によって、研磨初期は小さく、研磨の進行とともに次第に大きくしてよい。例えば、板ガラスによっては、角部や稜部に鋭角な部分があり、この場合、研磨初期から強い押圧力を加えると、鋭角な部分によって研磨テープに傷がついたり、研磨テープが破損したりする場合がある。押圧力を調節することにより、研磨テープ表面を保護しながら研磨を行うことができる。
【００３５】
研磨は、乾式又は湿式いずれでも行うことができる。湿式の場合は、研磨テープの表面に水又は界面活性剤を加えた水溶液を供給しながら研磨が行われる。
【００３６】
また、本発明は、板ガラスの稜部又は端面を高精度な仕上がり面に形成するための研磨装置に係る。本発明に係る研磨装置は、上面、下面及びその両面の間に端面を有する矩形の板ガラスの上面又は下面と端面との境界にある稜部のうち少なくとも１辺の稜部又は少なくともひとつの端面を研磨テープで研磨し仕上がり面に形成するための研磨装置であって、ベースと、板ガラスを配置するためのワークユニットであって、板ガラスをベースに平行な移動軸線に沿って移動可能に前記ベース上に設けられたワークユニットと、研磨テープを配置するための研磨テープユニットであって、前記ワークユニットと対向して前記ベース上に設けられた研磨テープユニットとから成る。ワークユニットは、板ガラスのひとつの端面が移動軸線に平行になり且つ板ガラスの上面又は下面がベースと平行になるよう板ガラスを保持するための保持台と、保持台を、移動軸線を中心に枢動させることにより板ガラスの上面又は下面をベースに対して所定の角度（α）だけ傾斜させるための第１の傾斜手段と、保持台を移動軸線と垂直且つ前記ベースと平行な回動軸線を中心に回動させることにより板ガラスの上面又は下面をベースに対して所定の角度（θ）だけ傾斜させるための第２の傾斜手段と、を有して成る。研磨テープユニットは、研磨テープの砥粒を含む表面が板ガラスの１辺の稜部又は前記ひとつの端面と対向するよう研磨テープを配置するためのパッドと、パッドを取り付けるためのベースに垂直な研磨プレートと、研磨テープの表面が１辺の稜部又はひとつの端面に当接・押圧されるよう研磨プレートをベースと平行且つ移動軸線と垂直な方向に移動させるための押圧手段と、研磨テープを走行させるための研磨テープ走行手段と、を有して成る。
【００３７】
本発明において、研磨テープが上記のパッドに配置されると、好適に、研磨テープの長手方向が移動軸線と平行になる。
【００３８】
また、研磨テープの幅や走行の状態等によって、パッドに配置された研磨テープの長手方向（走行方向）が移動軸線に対して所定の角度（β）だけ傾斜してもよい。研磨テープの長手方向を移動軸線に対して傾けるために、研磨テープユニットは、好適に、研磨プレートを傾斜するための研磨プレート傾斜手段を含む。
【００３９】
さらに、本発明は、上面、下面及びその両面の間に端面を有する矩形の板ガラスを水平な移動軸線に沿って移動させ、該板ガラスの上面又は下面と端面との境界にある稜部のうち少なくとも１辺の稜部を研磨テープの砥粒を有する表面で研磨し仕上がり面に形成するための研磨方法に係る。本発明に係る研磨方法は、板ガラスのひとつの端面が移動軸線に平行になるよう且つ板ガラスの上面又は下面が水平になるよう板ガラスを配置する工程と、板ガラスを、移動軸線を中心に枢動させることにより板ガラスの上面又は下面を水平に対して所定の角度（α）だけ傾斜させる第１の傾斜工程と、板ガラスを、水平且つ移動軸線と垂直な回動軸線を中心に回動させることにより板ガラスの上面又は下面を水平に対して所定の角度（θ）だけ傾斜させる第２の傾斜工程と、研磨テープの表面が板ガラスの１辺の稜部に対向するよう研磨テープをパッド部材の表面に配置する工程と、パッド部材を介して研磨テープに所定の押圧力を加え研磨テープの表面を１辺の稜部に当接・押圧する工程と、板ガラスを移動軸線に沿って移動させることにより１辺の稜部を研磨する工程と、を含んで成る。
【００４０】
上記の研磨方法においても、パッド部材に配置された研磨テープの長手方向は移動軸線と平行であってもよく、移動軸線に対し所定の角度（β）だけ傾斜していてもよい。
【発明の効果】
【００４１】
本発明によれば、携帯電話表示窓、液晶パネル、有機ＥＬパネル、プラズマパネル、太陽電池パネルなどのフラットディスプレイや電子部品用のカバーガラス、光学フィルター等の製造に使用される、稜部又は端面が高精度に加工されて強度が向上した板ガラスを得ることができる。板ガラスの稜部又は端面の研磨を、研磨テープを使用して行うことにより、破損の原因となる端縁部の傷や欠けを十分に除去することができ、高精度な仕上がり面を形成することができる。本発明に係る板ガラスを実施することにより、各種フラットディスプレイ等製品の製造歩留まりを改善し、該板ガラスが組み込まれた商品の品質及び精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】図１は板ガラスを模式的に示す図である。
【図２】図２（Ａ）及び（Ｂ）は板ガラスの端縁部に仕上がり面が形成されるプロセスと形成された仕上がり面の側面形状を模式的に示す図である。図２（Ｃ）は図２（Ａ）の仕上がり面を形成するプロセスにおける板ガラスと研磨テープの表面の角度等を示す図である。
【図３】図３は本発明に係るひとつの態様の研磨装置を示す平面図である。
【図４】図４は本発明に係る研磨装置を模式的に示す図である。
【図５】図５は本発明に係るひとつの態様の研磨装置を示す側面図である。
【図５Ａ】図５Ａは本発明に係る研磨装置の可動プレートの模式図である。
【図５Ｂ】図５Ｂは本発明に係る研磨装置の傾斜プレート３５の中央横断面の模式図である。
【図６】図６は本発明に係るひとつの態様の研磨装置を示す正面図である。
【図７Ａ】図７Ａは本発明に係るひとつの態様の研磨テープユニットを示す正面図である。
【図７Ｂ】図７Ｂは本発明に係るひとつの態様の研磨テープユニットが傾斜した状態を示す正面図である。
【図８】図８（ａ）及び図８（ｂ）は本発明に係るひとつの態様の板ガラスの製造方法、研磨方法、研磨装置における板ガラス、研磨テープ表面及び移動軸線を模式的に示す図である。
【図９】図９は本発明に係る他の態様の板ガラスの製造方法、研磨方法、研磨装置における板ガラス、研磨テープ表面及び移動軸線等を模式的に示す図である。
【図１０】図１０（ａ）及び（ｂ）は本発明に係るもうひとつの他の態様の板ガラスの製造方法、研磨方法、研磨装置における板ガラス、研磨テープ表面及びその移動方向を模式的に示す図である。
【図１１】図１１（Ａ）ないし（Ｄ）は本発明に係る実施例の板ガラス及び比較例の板ガラスの各々の仕上がり面の拡大写真である。
【図１２】図１２は、砥石を使用した比較例４に係る板ガラスの仕上がり面の拡大写真である。
【図１３】図１３は板ガラスのエッジ強度を測定するための４点曲げ試験方法を模式的に示す図である。
【図１４】図１４は比較例４に係る砥石を使用した板ガラスの稜部の研磨方法を示す模式図である。
【図１５】図１５（ａ）及び（ｂ）は各々板ガラスの角部の形状とパッドの形状を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００４３】
以下図面を参照しながら、本発明のさまざまな特徴が、本発明の限定を意図するものではない好適な実施例とともに説明される。図面は説明の目的で単純化され、尺度も必ずしも一致しない。
【００４４】
図１に、板ガラスＷが模式的に示されている。板ガラスＷは概して、上面又は下面（主表面）と端面との境界に稜部を有し、また、ひとつの端面と他の端面との境界に角部を有する。本発明に係る板ガラスは、この稜部や端面が研磨テープにより研磨され、高精度な仕上がり面に形成されたものである。
【００４５】
図２に、板ガラスＷを面取りするプロセスと形成された仕上がり面の側面の形状が模式的に示されている。図２（Ａ）は、いわゆるＣ面取りにより、稜部が仕上がり面３０ａに形成されたものである。図２（Ｂ）は、いわゆるＲ面取りにより、稜部から端面にかけて全体が仕上がり面３０ｂに形成されたものである。
【００４６】
板ガラスＷの強度を向上させるためには、端縁部を研磨して傷やチッピングを稜部を取り除き、稜部を取り除くことにより形成される仕上がり面３０ａ又は３０ｂの表面粗さや最大谷深さを小さくすることが重要である。板ガラスＷに十分な機械的強度を付与するためには、仕上がり面３０ａ又は３０ｂの平均表面粗さＲａを２０ｎｍ以下、粗さ曲線の最大谷深さＲｖを２００ｎｍ以下とすることが有効である。
【００４７】
このような高精度な仕上がり面を得るために、本発明では、板ガラスＷの稜部又は端面（端縁部）を、表面に微細な砥粒を含む研磨層を有する研磨テープで研磨仕上げすることを特徴とする。高精度な仕上がり面３０ａ又は３０ｂを得るため、研磨を、粗研磨、中研磨及び鏡面仕上げの工程に分けて行うことができる。また、予め、加工歪みの少ない樹脂ボンドの砥石を使用して角部（図１）の面取り加工を行った後、研磨テープによる研磨を行うことで、効率の良い研磨を行うことができる。
【００４８】
研磨テープの表面に含まれる砥粒の平均粒径は、好適に、０．２μｍ以上（＃２００００）、３μｍ以下（＃４０００）の範囲にある。平均粒径が３μｍを超えると、研磨前の比較的大きな傷や欠けは除去できるが、仕上がり面に新たに微細な傷や欠けが発生し、板ガラスＷに十分な強度を与えることができないため好ましくない。平均粒径が０．２μｍ未満であると、研磨効率が極端に下がり生産性が悪くなるため、工業上、実用的ではない。
【００４９】
以下、図面を参照し、板ガラスＷの稜部（又は端面）を研磨テープで研磨して
所定の表面性状を有する仕上がり面とするための本発明に係る研磨装置のひとつの態様を説明する。
【００５０】
図３は研磨装置１の平面図であり、図５は研磨装置１の側面図である。本発明に係る研磨装置１は、ベース２上に対向して設けられたワークユニット３及び研磨テープユニット４とから成る。
【００５１】
ワークユニット３はベース２上に設けられた往復移動機構に取り付けられている。図３を参照して、往復移動機構は、ベース２に平行なレール３２を有するＬＭガイド６、及びレール３２と平行なレール（ボックス）３１を有する単軸ロボット５を含む。図５によく示されているように、ＬＭガイド６及び単軸ロボット５上に、ベース２に平行な走行体７が連結されている。ワークユニット３は走行体７に取り付けられており、これにより、ワークユニット３はＬＭガイド６のレール３２に沿って移動が可能である。レール３２によりワークユニット３の移動軸線１３が画成される。
【００５２】
単軸ロボット５は、レール３１内のボールネジをモータで回転させることにより、ナット（可動部）が、所定の間隔（ストローク）でボールネジに沿って直線的に往復移動するものである。走行体７が単軸ロボット５の可動部と連結されていることにより、走行体７が駆動され、往復運動することができる。なお、単軸ロボット５は、モータがナット（可動部）と同軸上に配置されて連結されることにより、固定されたボールネジに対しナットが回転し直線的に往復移動するものであってもよく、他の構成により走行体７に直線的な駆動を与えるものであってもよい。
【００５３】
走行体７が正確に移動軸線１３（図３）に沿って往復運動をするために、単軸ロボット５とＬＭガイド６を併用することが好ましいが、走行体７は、単軸ロボット５又はアクチュエータとして機能するＬＭガイドにより往復運動されてもよい。
【００５４】
図５を参照し、ワークユニット３は、走行体７に垂直に取り付けられた正面プレート１４、正面プレート１４に平行に取り付けられた傾斜プレート３７、傾斜プレート３７に垂直に取り付けられた傾斜プレート３５及び傾斜プレート３５の可動プレート３５’により保持される保持台１２から成る。保持台１２は、傾斜プレート（３５又は３７）により傾斜されていない状態では、正面プレート１４に対し垂直でありベース２に平行である。
【００５５】
図３によく示されているように、保持台１２の上面に板ガラスＷが研磨テープによる仕上げ研磨のために配置される。板ガラスＷは、そのひとつの端面が移動軸線１３に平行になるよう保持台１２に配置され、固定される。板ガラスＷは固定板３３及び固定レバー３４により固定される。板ガラスＷが配置される保持台１２の表面及び固定板３３の裏面には、板ガラス面に傷が発生しないように布類やゴム等の弾性シートが貼り付けられる。その他、板ガラスＷは、真空吸着法、バンド固定等により保持台１２に固定されてもよい。
【００５６】
図６にワークユニット３の正面図が、研磨テープユニット４に一部重ねて示されている。上向きに開口部を持つ略Ｕ字形の正面プレート１４が、ベース２に平行な走行体７に垂直且つ移動軸線１３に平行に伸張している。この正面プレート１４に、略Ｕ字形の傾斜プレート３７が平行に取り付けられている。図では、傾斜プレート３７と重なっている正面プレート１４の開口部は点線で示されている。傾斜プレート３７の開口部の内側に、左右に対面するように一対の傾斜プレート３５、３５が傾斜プレート３７に対して垂直に設けられている。
【００５７】
傾斜プレート３７は左右に円弧状のネジ溝と下部に円弧状のガイド溝３９を有する。ネジ溝及びガイド溝３９は各々、中心をＣとする円の円周の一部を画成するように形成されている。左右のネジ溝には、傾斜プレート３７を正面プレート１４に所定の角度で固定するための固定ネジ３８が貫通している。ワッシャー等（図示せず）を介して固定ネジ３８を締付けることにより、傾斜プレート３７が正面プレート１４に固定される。ガイド溝３９には正面プレート１４に固定されたロッド（ガイドローラー）３９ａが通っており、固定ネジ３８を緩めた状態で、傾斜プレート３７はガイド溝３９及びロッド３９ａに沿って、ベース２に垂直な面内で回動可能である。言い換えると、傾斜プレート３７は、移動軸線１３に垂直且つベース２に平行な、中心Ｃを通る軸を中心にして、回動可能である。
【００５８】
傾斜プレート３７の回動に従って傾斜プレート３７と一体的に設けられた傾斜プレート３５も回動し、左右に位置する可動プレート３５’の間に保持された保持台１２が一点鎖線で示されたように回動してベース２に平行な移動軸線１３に対し傾斜する。保持台１２が移動軸線１３に対して所望の角度だけ傾斜したところで、傾斜プレート３７は、固定ネジ３８により正面プレート１４に対して固定される。
【００５９】
傾斜プレート３７に垂直に一体的に設けられた傾斜プレート３５は、左右対称の構成を有する。左右一対の傾斜プレート３５、３５の内側に、傾斜プレート３５と平行な左右一対の可動プレート３５’、３５’が設けられている。可動プレート３５’は保持台１２を保持している。
【００６０】
図５を参照して、傾斜プレート３５は、円弧状のネジ溝３５ａ（実線部分）を有する。該ネジ溝３５ａは、固定ネジ３６を外側から可動プレート３５’に差し込んで締付けるために、傾斜プレート３５を貫通している。固定ネジ３６は、効率よく締め付けができるように、クランプレバー等ハンドルやノブを有するものが好ましい。
【００６１】
傾斜プレート３５の内側には、上記のネジ溝３５ａに沿って、ネジ溝とほぼ同形状の円弧状のガイド溝３５ｂ（点線部分）が形成されている。図５Ｂに、傾斜プレート３５の中央の横断面が模式的に示されている。内側のガイド溝３５ｂはネジ溝３５ａよりも幅が広く、傾斜プレート３５を貫通しないように形成されている。
【００６２】
図５によく示されているように、ネジ溝３５ａ及びガイド溝３５ｂは各々、中心をＣ’とする円の円周の一部を画成するように形成されている。可動プレート３５’のロッド（ガイドローラー）３５’ａ（図１５Ａ）がガイド溝３５ｂに従って摺動する。すなわち、傾斜プレート３５の可動プレート３５’が、正面プレート１４に垂直な面内で、Ｃ’を中心として枢動し、可動プレート３５’の枢動により、可動プレート３５’、３５’の間に固定された保持台１２が、中心Ｃ’を通る移動軸線１３を軸として枢動し、ベース２に対して傾斜する。保持台１２がベース２に対して所望の角度だけ傾斜したところで、傾斜プレート３５の外側から固定ネジ３６を締付けることにより、可動プレート３５’が傾斜プレート３５に対して固定される。
【００６３】
上記のように、保持台１２を傾斜プレート３５により（ベース２に平行な状態から）移動軸線１３を軸にして枢動させて傾斜させ、又は、保持台１２を傾斜プレート３７により（ベース２に平行な状態から）移動軸線１３に垂直且つベース２に平行な軸を中心に回動させて傾斜させる、傾斜角度の調節は、どちらを先に行ってもよいものである。
【００６４】
図５に研磨テープユニット４の側面図が示されている。研磨テープユニット４は、ベース２から垂直に伸張して対面する一対の固定プレート５０、５０を有する。この固定プレート５０、５０に平行に、ロッド（ガイドローラー）４９ａ（図７Ａ）を介して一対の傾斜プレート４６、４６が取り付けられている。傾斜プレート４６、４６の間に、シャフト（軸）とナット（軸受）とから成るガイド軸受４８が伸張している。図７Ａの正面図に示されているように、左右一対のガイド軸受４８、４８が傾斜プレート４６、４６の間に伸張し連結部材（符号なし）により一体的に連結されている。ガイド軸受４８は、シャフトと円柱状のナットとから成るリニアブッシュ、ボールスプライン又はボールベアリングガイド等であってよい。
【００６５】
図５を参照して、このガイド軸受４８の上にベース２に平行に移動プレート４２が載置されている。この移動プレート４２から研磨プレート２７が垂直に伸張している。研磨プレート２７にパッド２６がベース２に垂直に取り付けられる。
【００６６】
エアシリンダー４３のロッドが空気圧又はバネにより押し出され、又は引き込まれることで、ガイド軸受４８のナット（可動部）が、シャフトに沿って矢印２８の方向に往復移動する。エアシリンダー４３に代えて、ナット（可動部）に往復移動を与えるための他の押圧手段を使用してもよい。ガイド軸受４８のナット（可動部）が往復移動すると、移動プレート４２及び移動プレート４２に取り付けられた研磨プレート２７が矢印２８に沿って往復移動し、パッド２６に配置される研磨テープＴの表面が、ワークユニット３に近づき所定の押圧力（推力）で被研磨体（板ガラスＷ）に押圧され、またはワークユニット３から遠ざかることができる。
【００６７】
図７Ａに傾斜プレート４６が示されている。図では固定プレート５０は点線で示されている。傾斜プレート４６は、左右に固定ネジ４７を通すための円弧状のネジ溝を有し、円弧状のガイド溝４９を有する。左右のネジ溝及びガイド溝４９は各々、好適に、パッド２６に配置される研磨テープＴの中心Ｃ”を中心とする円の円周の一部を画成するように形成されている。該構成により、傾斜プレート４６は、固定ネジ４７を緩めた状態で、ガイド溝４９及びガイド溝を通るロッド（ガイドローラー）４９ａに沿って回動することができる。
【００６８】
図７Ｂによく示されているように、傾斜プレート４６が回動すると、移動プレート４２がベース２に平行な状態から傾き、研磨プレート２７も傾く。研磨プレート２７が傾くと、パッド２６を介して研磨プレート２７に取り付けられた研磨テープＴの長手方向が、ベース２（ワークユニット３の移動軸線１３）に対して傾く。言い換えると、研磨テープＴの長手方向は、移動軸線１３に垂直且つベース２に平行な、Ｃ”を通る軸を中心に回動して、移動軸線１３に対して傾斜することができる。研磨テープＴの長手方向が移動軸線１３に対し所望の角度だけ傾斜したところで、傾斜プレート４６は、固定ネジ４７により固定プレート５０に固定される。
【００６９】
このような研磨テープユニット４のパッド２６に研磨テープＴ（図３）が走行可能に配置される。
【００７０】
パッド２６を研磨テープＴの裏面に対置することによって、研磨テープＴの表面が板ガラスＷの被研磨部（稜部）にパッドを介して押圧される。パッド２６が弾性を有することにより、仕上がり面（３０ａ）を曲面に、すなわち断面がＲ形状となるように形成することができ、板ガラスの強度をより向上させることができる。パッド２６として、ゴム、発泡樹脂又はその複合材の弾性体を使用することができる。
【００７１】
パッド２６の弾性は、微細な砥粒を表面に有する研磨テープを使用して高精度な仕上がり面を形成するために、適切に選択されることが好ましい。
【００７２】
パッド２６の弾性があまりに大きいと（例えば、ショアＡ硬度が２０未満）、板ガラスＷの仕上がり面がだれてしまい、エッジ部の直線性が失われるため好ましくない。逆に弾性があまりに小さいと（例えば、ショアＡ硬度が９０を超える）、仕上がり面のエッジ部の直線性は十分だが、機械的衝撃によって被研磨物に発生する傷や欠けの除去が不十分となり、板ガラスＷの強度が低下するため、好ましくない。
【００７３】
このため、パッド２６は、機械的衝撃を緩和するために、ショアＡ硬度が２０ないし５０の範囲の発泡樹脂板であってよい。また、研磨テープＴの表面に含まれる砥粒の平均粒径が１μｍ以下（＃８０００）である場合は、弾性の大きい発泡樹脂板では研磨速度が急激に遅くなって実用的でないため、パッド２６は、上記の発泡樹脂板と、ショアＡ硬度が８０ないし９０の範囲にあるゴム板とを組み合わせたものが好ましい。このようにすることで、平均粒径が極めて微細な（例えば、１μｍ以下）砥粒の研磨テープを使用しても、研磨速度をあまり遅くすることなく、高精度な表面性状（Ｒａ、Ｒｖ）を有する仕上がり面であってエッジ部の直線性に優れた仕上がり面を形成できる。
【００７４】
図４に、弾性のあるパッド２６Ａ、２６Ｂを配置した研磨テープユニット４が模式的に示されている。例えば、パッド２６Ａは弾性が比較的小さいゴム板であり、パッド２６Ｂは弾性が比較的大きい発泡樹脂板であってよい。
【００７５】
図１５に、移動軸線１３と研磨テープＴの表面との配置に係るひとつの態様と他の態様が示されている。図１６（ａ）のように、板ガラスＷの角部が予めＲ状に面取りされている場合は、研磨テープＴの表面と移動軸線１３が平行な状態で板ガラスＷを往復移動させて研磨が行われる。
【００７６】
図１６（ｂ）のように、板ガラスＷが、予め面取りされていない、または面取りが少ない角部（以下、角部Ｒ’という）を有する場合には、図１６（ａ）のように研磨テープＴの表面と板ガラスＷの移動軸線１３が平行な状態にあると、研磨テープＴに進入する角部Ｒ’が研磨テープＴに傷を付け、そのために研磨テープＴが破れて研磨を中断しなければならないことがある。
【００７７】
このため、角部Ｒ’を有する板ガラスＷを研磨テープＴで研磨する場合には、研磨テープＴの表面が板ガラスＷに対して凸状の曲面を有することが好ましい。このように研磨テープＴの表面を配置するために、板ガラスＷに対向する面に凸状の曲面を有する研磨プレート２７の曲面に沿ってパッド２６を取り付けることが好ましい。または、平坦な研磨プレート２７に、板ガラスＷに対して凸状の曲面を有するパッド２６を取り付けても良い。このようにすれば、研磨テープＴに進入する角部Ｒ’の研磨テープＴの表面との接触が制限されるため、研磨テープＴに傷を形成することがなく、研磨テープＴの耐久性が向上する。
【００７８】
上記の凸状の曲面は、曲率半径の大きい円弧状の曲面であって、平坦面に近い曲面であることが好ましい。研磨テープＴの表面の曲率が必要以上に大きくなると、研磨テープＴの表面と板ガラスＷとの接触面積が小さくなって研磨効率が低下し、好ましくないからである。また、板ガラスＷの往復移動の間隔（ストローク）が小さい場合、板ガラスＷの被研磨部分（１辺の稜部）の中央部と両端部に研磨差（中央部より両端部の研磨量が少なくなってしまう）が生じ、好ましくないからである。
【００７９】
図３を参照して、研磨テープユニット４は、研磨テープＴを供給する供給ロール２２、研磨テープを巻き取る巻取りロール２３を有する。供給リール２２は、研磨テープＴに適度な張力を与えるため、トルクモータ（図示せず）に接続されている。巻取りリール２３はステッピングモータ（図示せず）に接続され、供給リール２２から供給された研磨テープＴを巻き取る。巻取りリール２３側には、研磨テープＴに適度な張力を与えるためのストッパーローラ（図示せず）が設けられている。また、研磨テープユニット４は、研磨テープＴを研磨プレート２７の上に配置されたパッド２６に適切に配置するための補助ローラ２４、２５を有してもよい。
【００８０】
研磨中、研磨テープＴは静止した状態でもよく、研磨テープ走行手段により、連続的または断続的に走行されてもよい。短時間で研磨が終了する場合は、研磨テープＴを走行させずに静止した状態で使用し、研磨後に次の研磨のために新しい研磨テープＴの表面を供給するようにしてよい。研磨が長時間に及ぶ場合は、継続して高精度で安定した研磨面、すなわち砥粒を含む研磨テープの表面を供給するために、連続的または断続的に研磨テープを走行させることが好ましい。
【００８１】
研磨装置１は、さらに、ワークユニット３及び研磨テープユニット４を制御するための制御装置を含む。また、湿式で研磨を行うときに研磨テープＴの表面に水又は界面活性剤を加えた水溶液を供給するための水供給機や水パイプを有していてよい。
【００８２】
上記のような構成を有する研磨装置１により、板ガラスＷの稜部（又は端面）が、好適に移動軸線１３に対して所定の角度傾いた状態で、研磨テープＴの表面に当接、押圧され、板ガラスＷが移動軸線１３に沿って往復移動して研磨が行われる。
【００８３】
図８（ａ）及び（ｂ）に、上記の第１、第２の傾斜手段（３５、３７）による板ガラスＷの傾斜角度α又は傾斜角度θと研磨テープの表面又は移動軸線１３の側面又は正面から見た配置が、各々模式的に図示されている。
【００８４】
図８（ａ）に点線で示されているように、保持台１２が傾斜していない状態では、板ガラスＷは、上面又は下面が研磨テープＴの表面に垂直であり、端面が研磨テープＴの表面に平行である。板ガラスＷ１は、第１の傾斜手段３５により角度αだけ傾斜したものである。図２（Ｃ）に示されているとおり、角度αは、いわゆるＣ面取りの角度に対応するものである。
【００８５】
図８（ｂ）は、板ガラスＷが、第２の傾斜手段３７により、移動軸線１３に対して角度θだけ傾斜された状態を示す。角度θは、５度〜６０度の範囲にあることが好ましい。角度θの選択は、使用される研磨テープＴの幅及び板ガラスＷの被研磨部（１辺の稜部）の長さによって規制されるが、角度θが５度未満では研磨効率があまり向上しない。角度θが６０度を越えると研磨効率は向上するが、板ガラスＷの往復運動による研磨テープＴの表面との接触抵抗が大きくなり、安定した研磨が困難となる。また、薄い板ガラスＷの場合、ガラスが割れてしまうことがある。なお、角度θが小さい場合は、板ガラスＷを順次未使用の研磨テープＴの幅方向に移動させることにより、研磨テープを有効に利用することができる。
【００８６】
研磨方法として、板ガラスＷ１の状態（稜部が移動軸線に平行な状態）で板ガラスＷ１を移動軸線に沿って往復移動させて研磨してもよく、角度αと角度θが組み合わされた状態（稜部が移動軸線に対し角度θだけ傾いた状態）で研磨してもよい。板ガラスＷ１の状態では研磨効率が十分でない場合もあるが、研磨テープの走行方向（長手方向）を移動軸線に対して傾斜させる等により、効率のよい研磨を行うことができる。また、角度αと角度θが組み合わされた状態で研磨すると、研磨テープの幅を広く使用して砥粒を稜部に有効に作用させることができ、研磨速度を向上させることができ、コスト面でも有利である。
【００８７】
図９には、板ガラスＷの他の研磨方法が示されている。研磨テープＴの幅Ｔｗは、板ガラスＷの厚さ（端面の幅）以上であれば使用することが可能であるが、板ガラスＷの端縁部をその移動軸線１３に対して所定の角度だけ傾けて研磨テープＴの表面に押圧し、往復移動させて研磨を行う場合には、その往復移動の面積を考慮して、研磨テープＴの幅が選択される。研磨は、研磨テープＴの幅内で行うことが好ましい。
【００８８】
図９（ａ）のように、板ガラスＷの端面（又は稜部）が移動軸線１３に対してθ’傾いている状態で、研磨テープＴが所定の速度で矢印２１の方向に走行している場合、研磨テープＴの幅Ｔｗに対し、研磨に使用される幅Ｔｗ’が小さいため、研磨テープＴの表面に未使用部分があり、経済的でない。図９（ｂ）のように、研磨テープＴを、移動軸線１３に対して角度βだけ傾けて走行させると、研磨テープＴの走行に従って、順次、研磨テープＴの幅Ｔｗ全体が板ガラスＷの被研磨部分に接触するため、実質的に、研磨テープＴの幅Ｔｗが研磨に使用される幅Ｔｗ’に等しくなる。また、研磨テープＴの長手方向が移動軸線１３に対して角度βだけ傾いた状態で、研磨テープＴを矢印２１の方向へ走行させながら、板ガラスＷを移動軸線１３に沿って所定の往復間隔（ストローク）Ｌで往復移動させると、研磨テープＴの表面に対する板ガラスＷの動きが上下にジグザグを描く形になり、研磨テープＴの幅Ｔｗを有効に利用することができる。
【００８９】
角度（θ’＋β）は、５度〜６０度の範囲にあることが好ましい。この範囲で、往復移動中に板ガラスＷの被研磨部分が研磨テープＴの幅からはみ出ないように調節することが好ましい。研磨テープＴの幅方向の端部の段差に接触して板ガラスＷの端縁部に傷を発生することを防止するためである。
【００９０】
図１０に、板ガラスＷのもうひとつの他の研磨方法が示されている。図１０（ａ）のように板ガラスＷの上面又は下面を研磨テープＴの表面に垂直且つ研磨テープＴの長手方向に平行になるように当接し、図１０（ｂ）のように研磨プレート２７を板ガラスＷの上面の稜部から下面の稜部にかけて、円弧状に往復運動させることによって、板ガラスの端面全体を円弧状にＲ面研磨してもよい。
【００９１】
本発明に使用される研磨テープは、プラスチック製の基材フィルムに樹脂バインダーに砥粒を分散させた溶液を塗布し、乾燥、硬化させたシートを必要幅にスリットし、リールに巻かれたものである。
【００９２】
基材フィルムとして、柔軟性を有する合成樹脂製のプラスチックフィルムが使用される。具体的には、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンナフタレート等のポリエステル系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂、ポリビニルアルコール又はメタクリルアルコールを主成分とするアクリル系樹脂等から成るフィルムが基材フィルムとして使用される。
【００９３】
砥粒（研磨粒子）としては、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、酸化セリウム（ＣｅＯ２ ）、シリカ（ＳｉＯ２ ）、ダイヤモンド、炭化珪素（ＳｉＣ）、酸化クロム（Ｃｒ２Ｏ３）、ジルコニア（ＺｒＯ２ ）、立方晶窒化ホウ素（ｃＢＮ）等及びその混合物であって、上で述べた粒径の範囲にあるものが使用できる。
【００９４】
実施例１
本発明の実施例１の製造方法により、稜部に高精度な仕上がり面を有する板ガラスが製造された。板ガラスとして、長さ７００ｍｍ、幅４００ｍｍ、厚さ０．８ｍｍの長方形のソーダライムガラスが使用された。この板ガラスの４つの角部が予め砥石によりＲ面取りされ、その後研磨テープにより、８辺の稜部が研磨されて仕上がり面に形成された。研磨において、板ガラスの往復移動は、稜部が移動軸線に対して１０度傾いた状態（θ＝１０°）で行われ、板ガラスは４５度の角度（α＝４５°）で研磨テープの表面に当接され、研磨量（図２Ｃのｈ）は５０μｍであった。このように一定の研磨量とするために、研磨テープの表面に含まれる砥粒径によって、板ガラスの往復回数（１往復＝１パス）が調節された。研磨テープの表面は板ガラスの移動軸線に対して平行であり、静止した状態であった。また、研磨テープの表面に小量の水を供給しながら研磨が行われた。
【００９５】
実施例１の製造方法における条件をまとめると、以下のとおりである。
【００９６】
研磨条件（１辺）
研磨テープの状態：静止
板ガラスの研磨テープ表面に垂直な面に対する傾斜角度（α）：４５°
研磨量（ｈ）：５０μｍ
稜部の移動軸線に対する傾斜角度（θ）：１０°
往復運動のストローク長さ（Ｌ）：１５０ｍｍ
研磨テープの幅（Ｔｗ）：３０ｍｍ
研磨テープの押圧力（推力）：１５Ｎ
【００９７】
研磨テープとして、ＧＣ（グリーンカーボランダム）＃４０００（ＳｉＣ：平均砥粒径３μｍ）が使用され、パッド部材として、ショアＡ硬さ３０の発泡樹脂パッドが使用された。板ガラスの往復回数は２１パスであった。
【００９８】
実施例２
実施例２の製造方法において、研磨テープとして、ＧＣ＃６０００（平均砥粒径２μｍ）が使用された。板ガラスの往復回数は２４パスであった。そのほかの条件は実施例１と同様であった。
【００９９】
実施例３
実施例３の製造方法において、研磨テープとして、ＧＣ＃１００００（平均砥粒径０．５μｍ）が使用された。パッド部材として、ショアＡ硬さ８０のゴム板及びショアＡ硬さ３０の発泡樹脂板が使用された。板ガラスの往復回数は３１パスであった。そのほかの条件は実施例１と同様であった。
【０１００】
比較例１
比較例１の製造方法において、研磨テープとして、ＧＣ＃１０００（平均砥粒径１６μｍ）が使用された。板ガラスの往復回数は７パスであった。そのほかの条件は実施例１と同様であった。
【０１０１】
比較例２
比較例２の製造方法において、研磨テープとして、ＧＣ＃２０００（平均砥粒径９μｍ）が使用された。板ガラスの往復回数は１１パスであった。そのほかの条件は実施例１と同様であった。
【０１０２】
比較例３
比較例３の製造方法において、研磨テープとして、ＧＣ＃３０００（平均砥粒径５μｍ）が使用された。板ガラスの往復回数は１７パスであった。そのほかの条件は実施例１と同様であった。
【０１０３】
比較例４
比較例４の製造方法において、メッシュサイズ＃１０００のダイヤモンド砥粒（平均粒径１４〜２２μｍ）をメタルボンドした砥石が使用された。図１４に示すように、砥石と板ガラスの端縁部を配置し、砥石を回転させることにより稜部の面取り研磨が行われた。
【０１０４】
上記のように仕上げ研磨された実施例、比較例の平均表面粗さＲａ及び粗さ曲線の最大谷深さＲｖが、以下の表１に示されている。平均表面粗さＲａ及び最大谷深さＲｖは表面粗さ計（製品名ＮｅｗＶｉｅｗ５０００：Ｚｙｇｏ社製）により測定された。
【０１０５】
【表１】
【０１０６】
実施例１ないし４の製造方法により、稜部が高精度な仕上がり面（平均表面粗さＲａ：１．７ｎｍ〜１１．５ｎｍ、最大谷深さＲｖ：３２ｎｍ〜１６２ｎｍ）に形成された板ガラスが得られた。往復パス回数は２０回から３０回程度で、研磨速度も十分であった。比較例の製造方法による板ガラスの仕上がり面は、最大谷深さが１０００ｎｍを超えたものが多かった。
【０１０７】
実施例、比較例の仕上がり面の拡大写真が図１１に示されている。左側はデジタルマイクロスコープ（製品名ＶＨＸ５００：ＫＥＹＥＮＣＥ社製）による光学写真であり、右側は表面粗さ計（製品名ＮｅｗＶｉｅｗ５０００：Ｚｙｇｏ社製）よるものである。図１１（Ａ）は比較例１、（Ｂ）は比較例２、（Ｃ）は実施例１、（Ｄ）は実施例３による仕上がり面である。
【０１０８】
比較例に係る（Ａ）、（Ｂ）は、表面の凹凸が多く仕上がり面の表面性状として不十分であった。実施例に係る（Ｃ）、（Ｄ）は、凹凸や傷がない高精度の仕上がり面となっていた。また、研磨テープを使用したことにより、仕上がり面が曲面を有しており、エッジ部の直線性にも優れていた。
【０１０９】
図１２は、比較例４の製造方法で得られた板ガラスの仕上がり面の拡大写真である。砥石で研磨したことにより、仕上がり面は曲面に形成されていない。また、表面に研磨痕（ホイールマーク）があり、傷が多く見られた。
【０１１０】
実施例、比較例の各板ガラスのエッジ強度（ＭＰａ）が測定された。エッジ強度とは、ガラスの端縁部の強度を指すものである。エッジ強度は、室温曲げ強さ試験方法（ＪＩＳ Ｒ１６０１）に基づいて、市販の４点曲げ試験機を使用して測定された。エッジ強度試験（４点曲げ）の方法が図１３に模式的に示されている。負荷治具間隔が１０ｍｍ、支持治具間隔が３０ｍｍ、負荷速度が５ｍｍ／ｍｉｎの条件で試験が行われた。
【０１１１】
表１に、実施例、比較例の板ガラスを各１０枚試験し、得られたエッジ強度を平均した値が記載されている。本発明に係る、微細な砥粒を表面に含む研磨テープを使用して端縁部が研磨され仕上がり面に形成された板ガラスは、仕上がり面の平均表面粗さＲａ及び最大谷深さＲｖ値を大幅に低減することができた結果、従来の砥石による加工と比較して、エッジ強度が３倍以上に向上した。このように、本発明に係る板ガラスは、エッジ強度が著しく向上しているため、当該板ガラスを使用する製品の製造工程で、板ガラスが機械的応力や熱ショックにより破損することを防ぐことができるものである。また、板ガラスが製品に組み込まれた後も破損しにくく、製品の信頼性を向上させることができるものである。
【０１１２】
本発明の思想及び態様から離れることなく多くのさまざまな修正が可能であることは当業者の知るところである。したがって、言うまでもなく、本発明の態様は例示に過ぎず、本発明の範囲を限定するものではない。
【符号の説明】
【０１１３】
Ｗ 板ガラス（被研磨体）
Ｔ 研磨テープ
Ｔｗ 研磨テープ幅
Ｔｗ’ 研磨幅
１ 研磨装置
２ ベース
３ ワークユニット
４ 研磨テープユニット
５ 単軸ロボット
６ ＬＭガイド
７ 走行体
１２ 保持台
１３ 移動軸線
２１ 研磨テープ走行方向
２２ 供給ロール
２３ 巻取りロール
２４ 補助ローラ１
２５ 補助ローラ２
２６ パッド
２６Ａ 第２のパッド手段
２６Ｂ 第１のパッド手段
２７ 研磨プレート
２８ 研磨プレートの移動方向１
２９ 研磨プレートの移動方向２
３０ａ 仕上がり面（稜部）
３０ｂ 仕上がり面（端面）
３１ レール１
３２ レール２
３３ 固定板
３４ 固定レバー
３５ 傾斜プレート１
３５ａ ネジ溝
３５ｂ ガイド溝
３５’ 可動プレート
３５’ａ ロッド１
３５’ｂ ネジ孔
３６ 固定ネジ１
３７ 傾斜プレート２
３８ 固定ネジ２
３９ ガイド溝１
３９ａ ロッド２
４０ 砥石
４２ 移動プレート
４３ エアシリンダー
４６ 傾斜プレート３
４７ 固定ネジ３
４８ ガイド軸受
４９ ガイド溝２
４９ａ ロッド３
５０ 固定プレート
【技術分野】
【０００１】
本発明は、携帯電話表示窓、液晶パネル、有機ＥＬパネル、プラズマパネル、太陽電池パネルなどのフラットディスプレイや電子部品用のカバーガラス、光学フィルター等に使用される板ガラスであって、少なくとも一辺の稜部又はひとつの端面を研磨テープで研磨することにより強度が向上した板ガラス並びにその製造方法、研磨方法及び研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
板ガラスの割れは、板ガラスの端縁部（稜部又は端面）に始めから存在する微細な傷を起点に生ずることが多く、板ガラスの端縁部に傷があると、それが微細なものであっても、製品の製造中や製品の操作中、機械的応力や熱応力が加わったときに、傷が伸長して板ガラスの破損につながることがある。
【０００３】
また、端縁部に角を有する板ガラスはガラス屑を生じ易く、このガラス屑が板ガラスの主表面（上面又は下面）に汚染や傷を発生させる原因となる。特に、板ガラスの用途が電子部品用のカバーガラス（例えば、撮像装置用のカバーガラス）や光学フィルター（例えば、撮像装置の近赤外補正フィルター）等であった場合、ガラス屑による汚染や傷が大きな問題になることがある。
【０００４】
このため、従来から、各種フラットディスプレイやカバーガラス等に使用される板ガラスは、ガラス屑による傷や端縁部の微細な傷、チッピング（欠け）による破損、又はそれに伴う作業時の危険を防止するために、端縁部がいわゆるＣ面取り加工やＲ面取り加工を施され面取りされていた。面取りによって、端縁部の微細な傷を減少させることができ、板ガラスの強度を向上させることができる。
【０００５】
従来、板ガラスの端縁部を面取りするため、略円盤状の研削砥石が使用されていた。すなわち、略円盤状の研削砥石を回転させ、研削砥石の円盤面又は端面を板ガラスの端縁部に押し当てることにより面取り加工が行われていた。
【０００６】
例えば、略円盤状の研削砥石の円盤面を傾けて板ガラスの稜部に押し当てることにより稜部のみを除去するＣ面取り加工が行われていた（特開２０００−２３３３５１公報：特許文献１）。また、研削砥石の端面に傾斜面を設け、該傾斜面を板ガラスの稜部に押し当てて稜部のみを除去するＣ面取り加工が行われていた（特開２００３−２３１０４６公報：特許文献２、特開２０１１−５１０６８公報：特許文献３）。
【０００７】
さらに、研削砥石の端面に円弧状の凹部又は所望の形状の凹部を形成して、板ガラスの端面を研削砥石の端面形状に倣って除去する、Ｒ面取り加工又は総形加工が行われていた（特開２００２−５９３４６公報：特許文献４、特開２００１−８５７１０公報：特許文献５）。
【０００８】
上記のような従来の面取り加工では、研削砥石として、金属の粉末を固めて焼結しダイヤモンド砥粒を固定したメタルボンドのダイヤモンドホイール等が使用され、砥粒のサイズが異なるホイール（砥石）を使用して、一次加工と二次加工が行われた。一次加工には、メッシュサイズで＃３２５〜＃６００のダイヤモンド粒子を用いたホイールが使用され、加工した板ガラス端縁部の平均表面粗さＲａは、概して、０．５μｍ〜１．０μｍの範囲にあった。この表面粗さを小さくするために、二次加工には、一次加工用のホイールと同じ断面形状に成形された、メッシュサイズで＃１０００〜＃２０００のダイヤモンド粒子を用いた仕上げ加工用のホイールが使用された。
【０００９】
また、上記のようなメタルボンドのダイヤモンドホイールに代えて、繊維間が樹脂で充填された繊維構成体の面取りホイール、又はメッシュサイズで＃５００〜＃２０００の炭化ケイ素、アルミナ等の研磨砥粒が配された樹脂構成体の面取りホイールが提案された（特開２００２−１６０１４７公報：特許文献６）。この面取りホイール（砥石）を回転させながら、断面凹状に形成されたホイールの周縁部を液晶ディスプレイ用板ガラス等の端面に押し当てることにより、加工が行われた。加工むらをなくし均一な研磨を行うために、面取りホイールは、回転軸を板ガラスの表面に立てた垂線に対して所定の角度傾けて使用された。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２０００−２３３３５１公報
【特許文献２】特開２００３−２３１０４６公報
【特許文献３】特開２０１１−５１０６８公報
【特許文献４】特開２００２−５９３４６公報
【特許文献５】特開２００１−８５７１０公報
【特許文献６】特開２００２−１６０１４７公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上記のような砥石（ホイール）を板ガラスの端縁部に押し当てて回転させながら面取りを行うと、砥石の目詰まりや砥石の磨耗が徐々に進行するという問題があった。目詰まりや摩耗により砥石の加工部の形状等が悪くなると、板ガラスの端縁部に研削傷が発生するようになり、砥石が板ガラスの端縁部の一部に接触しないことにより未加工部（加工むら）を生じ、また、加工圧力の不均一により焼け等を生ずることがあった。
【００１２】
砥石の加工部の形状等が悪くなった場合、ドレッシングやツルーイングが行われるが、ダイヤモンドホイールには、高度な成形精度が不可欠とされ、ドレッシング等や砥石の位置調整に時間を要するため、作業効率が低下した。また、砥石の未使用領域が多く残ったまま加工部のドレッシング等を行ったり、寿命として砥石の交換を行ったりする必要があるため、コストが増大するという問題があった。
【００１３】
また、砥石を使用して板ガラスの端縁部の面取りを行うと、砥石を加工物に当接するときに機械的衝撃が加わり、その衝撃で板ガラスが破損し、加工歩留りが悪くなるという問題があった。
【００１４】
メタルボンドのダイヤモンドホイールと比べて剛性が低い樹脂構成体等の面取りホイール（特許文献６）では、板ガラスの端縁部への衝撃が減少し、欠けや傷の発生は減少した。しかし、砥石の磨耗が激しくなって加工部の形状変化が速く、目詰まりも起こるため、砥石のドレッシング（又はツルーイング）の頻度が高いという問題があった。
【００１５】
さらに近年、液晶ディスプレイ用の板ガラスや厚みの薄い（１ｍｍ以下）電子部品用の板ガラス等では、より高精度に端縁部（稜部や端面）が面取り加工されることが要求されるようになった。しかし、従来の研削砥石を使用して板ガラスの端縁部を面取りした場合、得られる加工面の精度が不十分で、板ガラス端縁部に微細な傷又はチッピングが残ってしまい、十分な割れ防止にならなかった。
【００１６】
上記の問題に鑑みて、本発明は、端縁部が高精度に加工され、高い強度を付与された板ガラス並びにその製造方法、研磨方法及び研磨装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記課題を解決する本発明に係る板ガラスは、上面、下面及びその両面の間に端面を有する矩形の板ガラスの上面又は下面と端面との境界にある稜部のうち少なくとも１辺の稜部、又は、少なくともひとつの端面が、研磨テープで研磨され仕上がり面に形成された板ガラスであって、該仕上がり面の平均表面粗さＲａが２０ｎｍ以下であり且つ最大谷深さＲｖが２００ｎｍ以下であることを特徴とする。
【００１８】
研磨テープを使用する方法で板ガラスの稜部又は端面を研磨することより、板ガラスの稜部又は端面に高精度な表面性状を有する仕上がり面が形成される。稜部又は端面が上記の表面粗さＲａ及び最大谷深さＲｖの仕上がり面に形成されることにより、板ガラスの強度が著しく向上する。本発明に係る板ガラスは、周縁部の微細な傷や欠けを起点にした割れの発生を防ぎ、機械的応力や熱ショックによる破損を防止することができるものである。また、後工程の加工歩留まりを改善し、板ガラスが組み込まれた製品の信頼性を向上させることができる。
【００１９】
本発明に係る、稜部が所定の表面性状を有する仕上がり面に形成された板ガラスを製造するための製造方法は、研磨テープの裏面に弾性のあるパッド部材の表面を配置し板ガラスの少なくとも１辺の稜部をＣ面取りするために研磨テープの表面と板ガラスの１辺の稜部を対向させて配置する工程と、パッド部材を介して研磨テープに所定の押圧力を加えることにより研磨テープの表面を１辺の稜部に当接・押圧する工程と、板ガラスを直線的な移動軸線に沿って移動させることにより１辺の稜部を研磨する工程と、を含んで成る。ここで、研磨テープの表面は砥粒を含む研磨層から成り、砥粒の平均粒径は０．２μｍ以上３．０μｍ以下の範囲にある。研磨する工程において、研磨テープは走行せず停止していてもよく、走行していてもよい。
【００２０】
このように、板ガラスの上面又は下面の１辺の稜部を研磨テープ表面に対向して配置し、当接、押圧して研磨（Ｃ面研磨）することにより、破損の原因に最もなりやすい稜部の割れや欠けを除去することができる。
【００２１】
微細な砥粒を表面に含む、柔軟性のある研磨テープと弾性のあるパッド部材とを使用することによって、稜部がＣ面取りされた面（仕上がり面）の端部（エッジ部）が鋭角にならず、また、板ガラスの端縁部に傷や欠けを新たに生ずることなく高精度に研磨仕上げされた仕上がり面を形成することができる。このような仕上がり面が形成された板ガラスは強度が著しく向上し、亀裂や破損が生じにくい。
【００２２】
研磨する工程において、板ガラスと研磨テープの表面は相対移動し、好適に板ガラスが、直線的な移動軸線に沿って往復移動する。研磨テープ、パッド部材の柔軟性、弾力性及び板ガラスの強度により、研磨体（研磨テープの表面）に対して被研磨体（板ガラス）を移動して研磨を行っても、研磨中に被研磨体が破損することはない。
【００２３】
好適に、板ガラスが移動軸線に沿って移動するとき、１辺の稜部は移動軸線に関して所定の角度（θ）だけ傾斜している。稜部が移動軸線に対して傾斜していることにより、研磨テープ表面の微細な砥粒を効率的に稜部に作用させることができる。また、研磨テープの幅（面積）を有効に利用して、短時間で効率よく研磨することができる。
【００２４】
上記所定の角度（θ）は、５度〜６０度の範囲にあることが好ましい。この範囲で研磨テープの幅によって角度（θ）を調整することが、コスト面から好ましい。
【００２５】
さらに、移動軸線は、研磨テープの長手方向に平行であってもよく、研磨テープの長手方向に対し所定の角度（β）だけ傾斜していてもよい。研磨テープの幅や走行の状態によって、移動軸線が研磨テープの長手方向に対し傾斜していることが効率的である。
【００２６】
また、本発明に係る、端面が所定の表面性状を有する仕上がり面に形成された板ガラスを製造するための製造方法は、研磨テープの裏面に弾性のあるパッド部材の表面を配置し研磨テープの表面と板ガラスのひとつの端面を対向させて配置する工程と、パッド部材を介して研磨テープに所定の押圧力を加えることにより研磨テープの表面をひとつの端面に当接・押圧する工程と、板ガラスを直線的な移動軸線に沿って移動させることによりひとつの端面を研磨する工程と、を含んで成る。ここで、研磨テープの表面は砥粒を含む研磨層から成り、砥粒の平均粒径は０．２μｍ以上３．０μｍ以下の範囲にある。研磨する工程において、研磨テープは走行せず停止していてもよく、走行していてもよい。
【００２７】
上記の製造方法により、端面全体が仕上がり面に形成された板ガラスを製造することができる。稜部を仕上がり面に形成したのちに、端面の残部を上記の方法により仕上がり面に形成してもよい。端面全体を研磨することにより、研磨残りがなく、汚れや研磨屑の除去が十分行われるため、板ガラス主表面に汚染や傷が発生することを防止することができる。
【００２８】
上記のパッド部材の表面は、平坦面であってよい。パッドの表面が平坦面であることにより、１辺の稜部全体をパッドの表面に配置された研磨テープの表面に当接し、研磨することができる。
【００２９】
また、パッド部材の表面は、平坦ではない凸状の曲面であってもよい。板ガラスの角部（ひとつの端面と他の端面との間に形成される部分）の研磨テープ表面への接触を制限し、研磨テープを保護しながら研磨することができるからである。
【００３０】
パッド部材としては、ショアＡ硬さが２０ないし５０の範囲にある第１のパッド部材を使用することが好ましい。弾性のあるパッド部材により、研磨テープと板ガラス端縁部の接触による機械的衝撃を緩和することができ、研磨とともに端縁部の形状が変化しても追従して加工することができる。
【００３１】
さらに本発明に係る製造方法において、研磨テープと第１のパッド部材との間にショアＡ硬さが９０以下である第２のパッド部材が配置されてもよい。板ガラスの材質、厚さ等の仕様に応じて適切なパッド部材とするためである。
【００３２】
本発明に係る板ガラスは、柔軟性のある研磨テープと弾性のあるパッド部材を使用して稜部又は端面が研磨され仕上がり面に形成されたものであるため、稜部がＣ面取りされた仕上がり面も、断面がＲ形状の曲面を有する。稜部の仕上がり面が上記の最大谷深さ等の表面性状を満たし、断面形状が曲面を有するように形成されることにより、欠けや割れの発生要因が極めて少ない板ガラスとすることができる。
【００３３】
研磨中、研磨テープは停止していてもよく、連続的又は断続的に走行してもよい。短時間で研磨仕上げする場合は、研磨テープを停止した状態で研磨することによって、研磨テープの使用量が少なくなるため、経済的である。研磨時間が比較的長い場合は、新しい研磨テープを順次送ることによって研磨効率を高めることができる。
【００３４】
研磨テープの表面を板ガラスの稜部又は端面に押圧するための押圧力は、板ガラスの状態によって、研磨初期は小さく、研磨の進行とともに次第に大きくしてよい。例えば、板ガラスによっては、角部や稜部に鋭角な部分があり、この場合、研磨初期から強い押圧力を加えると、鋭角な部分によって研磨テープに傷がついたり、研磨テープが破損したりする場合がある。押圧力を調節することにより、研磨テープ表面を保護しながら研磨を行うことができる。
【００３５】
研磨は、乾式又は湿式いずれでも行うことができる。湿式の場合は、研磨テープの表面に水又は界面活性剤を加えた水溶液を供給しながら研磨が行われる。
【００３６】
また、本発明は、板ガラスの稜部又は端面を高精度な仕上がり面に形成するための研磨装置に係る。本発明に係る研磨装置は、上面、下面及びその両面の間に端面を有する矩形の板ガラスの上面又は下面と端面との境界にある稜部のうち少なくとも１辺の稜部又は少なくともひとつの端面を研磨テープで研磨し仕上がり面に形成するための研磨装置であって、ベースと、板ガラスを配置するためのワークユニットであって、板ガラスをベースに平行な移動軸線に沿って移動可能に前記ベース上に設けられたワークユニットと、研磨テープを配置するための研磨テープユニットであって、前記ワークユニットと対向して前記ベース上に設けられた研磨テープユニットとから成る。ワークユニットは、板ガラスのひとつの端面が移動軸線に平行になり且つ板ガラスの上面又は下面がベースと平行になるよう板ガラスを保持するための保持台と、保持台を、移動軸線を中心に枢動させることにより板ガラスの上面又は下面をベースに対して所定の角度（α）だけ傾斜させるための第１の傾斜手段と、保持台を移動軸線と垂直且つ前記ベースと平行な回動軸線を中心に回動させることにより板ガラスの上面又は下面をベースに対して所定の角度（θ）だけ傾斜させるための第２の傾斜手段と、を有して成る。研磨テープユニットは、研磨テープの砥粒を含む表面が板ガラスの１辺の稜部又は前記ひとつの端面と対向するよう研磨テープを配置するためのパッドと、パッドを取り付けるためのベースに垂直な研磨プレートと、研磨テープの表面が１辺の稜部又はひとつの端面に当接・押圧されるよう研磨プレートをベースと平行且つ移動軸線と垂直な方向に移動させるための押圧手段と、研磨テープを走行させるための研磨テープ走行手段と、を有して成る。
【００３７】
本発明において、研磨テープが上記のパッドに配置されると、好適に、研磨テープの長手方向が移動軸線と平行になる。
【００３８】
また、研磨テープの幅や走行の状態等によって、パッドに配置された研磨テープの長手方向（走行方向）が移動軸線に対して所定の角度（β）だけ傾斜してもよい。研磨テープの長手方向を移動軸線に対して傾けるために、研磨テープユニットは、好適に、研磨プレートを傾斜するための研磨プレート傾斜手段を含む。
【００３９】
さらに、本発明は、上面、下面及びその両面の間に端面を有する矩形の板ガラスを水平な移動軸線に沿って移動させ、該板ガラスの上面又は下面と端面との境界にある稜部のうち少なくとも１辺の稜部を研磨テープの砥粒を有する表面で研磨し仕上がり面に形成するための研磨方法に係る。本発明に係る研磨方法は、板ガラスのひとつの端面が移動軸線に平行になるよう且つ板ガラスの上面又は下面が水平になるよう板ガラスを配置する工程と、板ガラスを、移動軸線を中心に枢動させることにより板ガラスの上面又は下面を水平に対して所定の角度（α）だけ傾斜させる第１の傾斜工程と、板ガラスを、水平且つ移動軸線と垂直な回動軸線を中心に回動させることにより板ガラスの上面又は下面を水平に対して所定の角度（θ）だけ傾斜させる第２の傾斜工程と、研磨テープの表面が板ガラスの１辺の稜部に対向するよう研磨テープをパッド部材の表面に配置する工程と、パッド部材を介して研磨テープに所定の押圧力を加え研磨テープの表面を１辺の稜部に当接・押圧する工程と、板ガラスを移動軸線に沿って移動させることにより１辺の稜部を研磨する工程と、を含んで成る。
【００４０】
上記の研磨方法においても、パッド部材に配置された研磨テープの長手方向は移動軸線と平行であってもよく、移動軸線に対し所定の角度（β）だけ傾斜していてもよい。
【発明の効果】
【００４１】
本発明によれば、携帯電話表示窓、液晶パネル、有機ＥＬパネル、プラズマパネル、太陽電池パネルなどのフラットディスプレイや電子部品用のカバーガラス、光学フィルター等の製造に使用される、稜部又は端面が高精度に加工されて強度が向上した板ガラスを得ることができる。板ガラスの稜部又は端面の研磨を、研磨テープを使用して行うことにより、破損の原因となる端縁部の傷や欠けを十分に除去することができ、高精度な仕上がり面を形成することができる。本発明に係る板ガラスを実施することにより、各種フラットディスプレイ等製品の製造歩留まりを改善し、該板ガラスが組み込まれた商品の品質及び精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】図１は板ガラスを模式的に示す図である。
【図２】図２（Ａ）及び（Ｂ）は板ガラスの端縁部に仕上がり面が形成されるプロセスと形成された仕上がり面の側面形状を模式的に示す図である。図２（Ｃ）は図２（Ａ）の仕上がり面を形成するプロセスにおける板ガラスと研磨テープの表面の角度等を示す図である。
【図３】図３は本発明に係るひとつの態様の研磨装置を示す平面図である。
【図４】図４は本発明に係る研磨装置を模式的に示す図である。
【図５】図５は本発明に係るひとつの態様の研磨装置を示す側面図である。
【図５Ａ】図５Ａは本発明に係る研磨装置の可動プレートの模式図である。
【図５Ｂ】図５Ｂは本発明に係る研磨装置の傾斜プレート３５の中央横断面の模式図である。
【図６】図６は本発明に係るひとつの態様の研磨装置を示す正面図である。
【図７Ａ】図７Ａは本発明に係るひとつの態様の研磨テープユニットを示す正面図である。
【図７Ｂ】図７Ｂは本発明に係るひとつの態様の研磨テープユニットが傾斜した状態を示す正面図である。
【図８】図８（ａ）及び図８（ｂ）は本発明に係るひとつの態様の板ガラスの製造方法、研磨方法、研磨装置における板ガラス、研磨テープ表面及び移動軸線を模式的に示す図である。
【図９】図９は本発明に係る他の態様の板ガラスの製造方法、研磨方法、研磨装置における板ガラス、研磨テープ表面及び移動軸線等を模式的に示す図である。
【図１０】図１０（ａ）及び（ｂ）は本発明に係るもうひとつの他の態様の板ガラスの製造方法、研磨方法、研磨装置における板ガラス、研磨テープ表面及びその移動方向を模式的に示す図である。
【図１１】図１１（Ａ）ないし（Ｄ）は本発明に係る実施例の板ガラス及び比較例の板ガラスの各々の仕上がり面の拡大写真である。
【図１２】図１２は、砥石を使用した比較例４に係る板ガラスの仕上がり面の拡大写真である。
【図１３】図１３は板ガラスのエッジ強度を測定するための４点曲げ試験方法を模式的に示す図である。
【図１４】図１４は比較例４に係る砥石を使用した板ガラスの稜部の研磨方法を示す模式図である。
【図１５】図１５（ａ）及び（ｂ）は各々板ガラスの角部の形状とパッドの形状を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００４３】
以下図面を参照しながら、本発明のさまざまな特徴が、本発明の限定を意図するものではない好適な実施例とともに説明される。図面は説明の目的で単純化され、尺度も必ずしも一致しない。
【００４４】
図１に、板ガラスＷが模式的に示されている。板ガラスＷは概して、上面又は下面（主表面）と端面との境界に稜部を有し、また、ひとつの端面と他の端面との境界に角部を有する。本発明に係る板ガラスは、この稜部や端面が研磨テープにより研磨され、高精度な仕上がり面に形成されたものである。
【００４５】
図２に、板ガラスＷを面取りするプロセスと形成された仕上がり面の側面の形状が模式的に示されている。図２（Ａ）は、いわゆるＣ面取りにより、稜部が仕上がり面３０ａに形成されたものである。図２（Ｂ）は、いわゆるＲ面取りにより、稜部から端面にかけて全体が仕上がり面３０ｂに形成されたものである。
【００４６】
板ガラスＷの強度を向上させるためには、端縁部を研磨して傷やチッピングを稜部を取り除き、稜部を取り除くことにより形成される仕上がり面３０ａ又は３０ｂの表面粗さや最大谷深さを小さくすることが重要である。板ガラスＷに十分な機械的強度を付与するためには、仕上がり面３０ａ又は３０ｂの平均表面粗さＲａを２０ｎｍ以下、粗さ曲線の最大谷深さＲｖを２００ｎｍ以下とすることが有効である。
【００４７】
このような高精度な仕上がり面を得るために、本発明では、板ガラスＷの稜部又は端面（端縁部）を、表面に微細な砥粒を含む研磨層を有する研磨テープで研磨仕上げすることを特徴とする。高精度な仕上がり面３０ａ又は３０ｂを得るため、研磨を、粗研磨、中研磨及び鏡面仕上げの工程に分けて行うことができる。また、予め、加工歪みの少ない樹脂ボンドの砥石を使用して角部（図１）の面取り加工を行った後、研磨テープによる研磨を行うことで、効率の良い研磨を行うことができる。
【００４８】
研磨テープの表面に含まれる砥粒の平均粒径は、好適に、０．２μｍ以上（＃２００００）、３μｍ以下（＃４０００）の範囲にある。平均粒径が３μｍを超えると、研磨前の比較的大きな傷や欠けは除去できるが、仕上がり面に新たに微細な傷や欠けが発生し、板ガラスＷに十分な強度を与えることができないため好ましくない。平均粒径が０．２μｍ未満であると、研磨効率が極端に下がり生産性が悪くなるため、工業上、実用的ではない。
【００４９】
以下、図面を参照し、板ガラスＷの稜部（又は端面）を研磨テープで研磨して
所定の表面性状を有する仕上がり面とするための本発明に係る研磨装置のひとつの態様を説明する。
【００５０】
図３は研磨装置１の平面図であり、図５は研磨装置１の側面図である。本発明に係る研磨装置１は、ベース２上に対向して設けられたワークユニット３及び研磨テープユニット４とから成る。
【００５１】
ワークユニット３はベース２上に設けられた往復移動機構に取り付けられている。図３を参照して、往復移動機構は、ベース２に平行なレール３２を有するＬＭガイド６、及びレール３２と平行なレール（ボックス）３１を有する単軸ロボット５を含む。図５によく示されているように、ＬＭガイド６及び単軸ロボット５上に、ベース２に平行な走行体７が連結されている。ワークユニット３は走行体７に取り付けられており、これにより、ワークユニット３はＬＭガイド６のレール３２に沿って移動が可能である。レール３２によりワークユニット３の移動軸線１３が画成される。
【００５２】
単軸ロボット５は、レール３１内のボールネジをモータで回転させることにより、ナット（可動部）が、所定の間隔（ストローク）でボールネジに沿って直線的に往復移動するものである。走行体７が単軸ロボット５の可動部と連結されていることにより、走行体７が駆動され、往復運動することができる。なお、単軸ロボット５は、モータがナット（可動部）と同軸上に配置されて連結されることにより、固定されたボールネジに対しナットが回転し直線的に往復移動するものであってもよく、他の構成により走行体７に直線的な駆動を与えるものであってもよい。
【００５３】
走行体７が正確に移動軸線１３（図３）に沿って往復運動をするために、単軸ロボット５とＬＭガイド６を併用することが好ましいが、走行体７は、単軸ロボット５又はアクチュエータとして機能するＬＭガイドにより往復運動されてもよい。
【００５４】
図５を参照し、ワークユニット３は、走行体７に垂直に取り付けられた正面プレート１４、正面プレート１４に平行に取り付けられた傾斜プレート３７、傾斜プレート３７に垂直に取り付けられた傾斜プレート３５及び傾斜プレート３５の可動プレート３５’により保持される保持台１２から成る。保持台１２は、傾斜プレート（３５又は３７）により傾斜されていない状態では、正面プレート１４に対し垂直でありベース２に平行である。
【００５５】
図３によく示されているように、保持台１２の上面に板ガラスＷが研磨テープによる仕上げ研磨のために配置される。板ガラスＷは、そのひとつの端面が移動軸線１３に平行になるよう保持台１２に配置され、固定される。板ガラスＷは固定板３３及び固定レバー３４により固定される。板ガラスＷが配置される保持台１２の表面及び固定板３３の裏面には、板ガラス面に傷が発生しないように布類やゴム等の弾性シートが貼り付けられる。その他、板ガラスＷは、真空吸着法、バンド固定等により保持台１２に固定されてもよい。
【００５６】
図６にワークユニット３の正面図が、研磨テープユニット４に一部重ねて示されている。上向きに開口部を持つ略Ｕ字形の正面プレート１４が、ベース２に平行な走行体７に垂直且つ移動軸線１３に平行に伸張している。この正面プレート１４に、略Ｕ字形の傾斜プレート３７が平行に取り付けられている。図では、傾斜プレート３７と重なっている正面プレート１４の開口部は点線で示されている。傾斜プレート３７の開口部の内側に、左右に対面するように一対の傾斜プレート３５、３５が傾斜プレート３７に対して垂直に設けられている。
【００５７】
傾斜プレート３７は左右に円弧状のネジ溝と下部に円弧状のガイド溝３９を有する。ネジ溝及びガイド溝３９は各々、中心をＣとする円の円周の一部を画成するように形成されている。左右のネジ溝には、傾斜プレート３７を正面プレート１４に所定の角度で固定するための固定ネジ３８が貫通している。ワッシャー等（図示せず）を介して固定ネジ３８を締付けることにより、傾斜プレート３７が正面プレート１４に固定される。ガイド溝３９には正面プレート１４に固定されたロッド（ガイドローラー）３９ａが通っており、固定ネジ３８を緩めた状態で、傾斜プレート３７はガイド溝３９及びロッド３９ａに沿って、ベース２に垂直な面内で回動可能である。言い換えると、傾斜プレート３７は、移動軸線１３に垂直且つベース２に平行な、中心Ｃを通る軸を中心にして、回動可能である。
【００５８】
傾斜プレート３７の回動に従って傾斜プレート３７と一体的に設けられた傾斜プレート３５も回動し、左右に位置する可動プレート３５’の間に保持された保持台１２が一点鎖線で示されたように回動してベース２に平行な移動軸線１３に対し傾斜する。保持台１２が移動軸線１３に対して所望の角度だけ傾斜したところで、傾斜プレート３７は、固定ネジ３８により正面プレート１４に対して固定される。
【００５９】
傾斜プレート３７に垂直に一体的に設けられた傾斜プレート３５は、左右対称の構成を有する。左右一対の傾斜プレート３５、３５の内側に、傾斜プレート３５と平行な左右一対の可動プレート３５’、３５’が設けられている。可動プレート３５’は保持台１２を保持している。
【００６０】
図５を参照して、傾斜プレート３５は、円弧状のネジ溝３５ａ（実線部分）を有する。該ネジ溝３５ａは、固定ネジ３６を外側から可動プレート３５’に差し込んで締付けるために、傾斜プレート３５を貫通している。固定ネジ３６は、効率よく締め付けができるように、クランプレバー等ハンドルやノブを有するものが好ましい。
【００６１】
傾斜プレート３５の内側には、上記のネジ溝３５ａに沿って、ネジ溝とほぼ同形状の円弧状のガイド溝３５ｂ（点線部分）が形成されている。図５Ｂに、傾斜プレート３５の中央の横断面が模式的に示されている。内側のガイド溝３５ｂはネジ溝３５ａよりも幅が広く、傾斜プレート３５を貫通しないように形成されている。
【００６２】
図５によく示されているように、ネジ溝３５ａ及びガイド溝３５ｂは各々、中心をＣ’とする円の円周の一部を画成するように形成されている。可動プレート３５’のロッド（ガイドローラー）３５’ａ（図１５Ａ）がガイド溝３５ｂに従って摺動する。すなわち、傾斜プレート３５の可動プレート３５’が、正面プレート１４に垂直な面内で、Ｃ’を中心として枢動し、可動プレート３５’の枢動により、可動プレート３５’、３５’の間に固定された保持台１２が、中心Ｃ’を通る移動軸線１３を軸として枢動し、ベース２に対して傾斜する。保持台１２がベース２に対して所望の角度だけ傾斜したところで、傾斜プレート３５の外側から固定ネジ３６を締付けることにより、可動プレート３５’が傾斜プレート３５に対して固定される。
【００６３】
上記のように、保持台１２を傾斜プレート３５により（ベース２に平行な状態から）移動軸線１３を軸にして枢動させて傾斜させ、又は、保持台１２を傾斜プレート３７により（ベース２に平行な状態から）移動軸線１３に垂直且つベース２に平行な軸を中心に回動させて傾斜させる、傾斜角度の調節は、どちらを先に行ってもよいものである。
【００６４】
図５に研磨テープユニット４の側面図が示されている。研磨テープユニット４は、ベース２から垂直に伸張して対面する一対の固定プレート５０、５０を有する。この固定プレート５０、５０に平行に、ロッド（ガイドローラー）４９ａ（図７Ａ）を介して一対の傾斜プレート４６、４６が取り付けられている。傾斜プレート４６、４６の間に、シャフト（軸）とナット（軸受）とから成るガイド軸受４８が伸張している。図７Ａの正面図に示されているように、左右一対のガイド軸受４８、４８が傾斜プレート４６、４６の間に伸張し連結部材（符号なし）により一体的に連結されている。ガイド軸受４８は、シャフトと円柱状のナットとから成るリニアブッシュ、ボールスプライン又はボールベアリングガイド等であってよい。
【００６５】
図５を参照して、このガイド軸受４８の上にベース２に平行に移動プレート４２が載置されている。この移動プレート４２から研磨プレート２７が垂直に伸張している。研磨プレート２７にパッド２６がベース２に垂直に取り付けられる。
【００６６】
エアシリンダー４３のロッドが空気圧又はバネにより押し出され、又は引き込まれることで、ガイド軸受４８のナット（可動部）が、シャフトに沿って矢印２８の方向に往復移動する。エアシリンダー４３に代えて、ナット（可動部）に往復移動を与えるための他の押圧手段を使用してもよい。ガイド軸受４８のナット（可動部）が往復移動すると、移動プレート４２及び移動プレート４２に取り付けられた研磨プレート２７が矢印２８に沿って往復移動し、パッド２６に配置される研磨テープＴの表面が、ワークユニット３に近づき所定の押圧力（推力）で被研磨体（板ガラスＷ）に押圧され、またはワークユニット３から遠ざかることができる。
【００６７】
図７Ａに傾斜プレート４６が示されている。図では固定プレート５０は点線で示されている。傾斜プレート４６は、左右に固定ネジ４７を通すための円弧状のネジ溝を有し、円弧状のガイド溝４９を有する。左右のネジ溝及びガイド溝４９は各々、好適に、パッド２６に配置される研磨テープＴの中心Ｃ”を中心とする円の円周の一部を画成するように形成されている。該構成により、傾斜プレート４６は、固定ネジ４７を緩めた状態で、ガイド溝４９及びガイド溝を通るロッド（ガイドローラー）４９ａに沿って回動することができる。
【００６８】
図７Ｂによく示されているように、傾斜プレート４６が回動すると、移動プレート４２がベース２に平行な状態から傾き、研磨プレート２７も傾く。研磨プレート２７が傾くと、パッド２６を介して研磨プレート２７に取り付けられた研磨テープＴの長手方向が、ベース２（ワークユニット３の移動軸線１３）に対して傾く。言い換えると、研磨テープＴの長手方向は、移動軸線１３に垂直且つベース２に平行な、Ｃ”を通る軸を中心に回動して、移動軸線１３に対して傾斜することができる。研磨テープＴの長手方向が移動軸線１３に対し所望の角度だけ傾斜したところで、傾斜プレート４６は、固定ネジ４７により固定プレート５０に固定される。
【００６９】
このような研磨テープユニット４のパッド２６に研磨テープＴ（図３）が走行可能に配置される。
【００７０】
パッド２６を研磨テープＴの裏面に対置することによって、研磨テープＴの表面が板ガラスＷの被研磨部（稜部）にパッドを介して押圧される。パッド２６が弾性を有することにより、仕上がり面（３０ａ）を曲面に、すなわち断面がＲ形状となるように形成することができ、板ガラスの強度をより向上させることができる。パッド２６として、ゴム、発泡樹脂又はその複合材の弾性体を使用することができる。
【００７１】
パッド２６の弾性は、微細な砥粒を表面に有する研磨テープを使用して高精度な仕上がり面を形成するために、適切に選択されることが好ましい。
【００７２】
パッド２６の弾性があまりに大きいと（例えば、ショアＡ硬度が２０未満）、板ガラスＷの仕上がり面がだれてしまい、エッジ部の直線性が失われるため好ましくない。逆に弾性があまりに小さいと（例えば、ショアＡ硬度が９０を超える）、仕上がり面のエッジ部の直線性は十分だが、機械的衝撃によって被研磨物に発生する傷や欠けの除去が不十分となり、板ガラスＷの強度が低下するため、好ましくない。
【００７３】
このため、パッド２６は、機械的衝撃を緩和するために、ショアＡ硬度が２０ないし５０の範囲の発泡樹脂板であってよい。また、研磨テープＴの表面に含まれる砥粒の平均粒径が１μｍ以下（＃８０００）である場合は、弾性の大きい発泡樹脂板では研磨速度が急激に遅くなって実用的でないため、パッド２６は、上記の発泡樹脂板と、ショアＡ硬度が８０ないし９０の範囲にあるゴム板とを組み合わせたものが好ましい。このようにすることで、平均粒径が極めて微細な（例えば、１μｍ以下）砥粒の研磨テープを使用しても、研磨速度をあまり遅くすることなく、高精度な表面性状（Ｒａ、Ｒｖ）を有する仕上がり面であってエッジ部の直線性に優れた仕上がり面を形成できる。
【００７４】
図４に、弾性のあるパッド２６Ａ、２６Ｂを配置した研磨テープユニット４が模式的に示されている。例えば、パッド２６Ａは弾性が比較的小さいゴム板であり、パッド２６Ｂは弾性が比較的大きい発泡樹脂板であってよい。
【００７５】
図１５に、移動軸線１３と研磨テープＴの表面との配置に係るひとつの態様と他の態様が示されている。図１６（ａ）のように、板ガラスＷの角部が予めＲ状に面取りされている場合は、研磨テープＴの表面と移動軸線１３が平行な状態で板ガラスＷを往復移動させて研磨が行われる。
【００７６】
図１６（ｂ）のように、板ガラスＷが、予め面取りされていない、または面取りが少ない角部（以下、角部Ｒ’という）を有する場合には、図１６（ａ）のように研磨テープＴの表面と板ガラスＷの移動軸線１３が平行な状態にあると、研磨テープＴに進入する角部Ｒ’が研磨テープＴに傷を付け、そのために研磨テープＴが破れて研磨を中断しなければならないことがある。
【００７７】
このため、角部Ｒ’を有する板ガラスＷを研磨テープＴで研磨する場合には、研磨テープＴの表面が板ガラスＷに対して凸状の曲面を有することが好ましい。このように研磨テープＴの表面を配置するために、板ガラスＷに対向する面に凸状の曲面を有する研磨プレート２７の曲面に沿ってパッド２６を取り付けることが好ましい。または、平坦な研磨プレート２７に、板ガラスＷに対して凸状の曲面を有するパッド２６を取り付けても良い。このようにすれば、研磨テープＴに進入する角部Ｒ’の研磨テープＴの表面との接触が制限されるため、研磨テープＴに傷を形成することがなく、研磨テープＴの耐久性が向上する。
【００７８】
上記の凸状の曲面は、曲率半径の大きい円弧状の曲面であって、平坦面に近い曲面であることが好ましい。研磨テープＴの表面の曲率が必要以上に大きくなると、研磨テープＴの表面と板ガラスＷとの接触面積が小さくなって研磨効率が低下し、好ましくないからである。また、板ガラスＷの往復移動の間隔（ストローク）が小さい場合、板ガラスＷの被研磨部分（１辺の稜部）の中央部と両端部に研磨差（中央部より両端部の研磨量が少なくなってしまう）が生じ、好ましくないからである。
【００７９】
図３を参照して、研磨テープユニット４は、研磨テープＴを供給する供給ロール２２、研磨テープを巻き取る巻取りロール２３を有する。供給リール２２は、研磨テープＴに適度な張力を与えるため、トルクモータ（図示せず）に接続されている。巻取りリール２３はステッピングモータ（図示せず）に接続され、供給リール２２から供給された研磨テープＴを巻き取る。巻取りリール２３側には、研磨テープＴに適度な張力を与えるためのストッパーローラ（図示せず）が設けられている。また、研磨テープユニット４は、研磨テープＴを研磨プレート２７の上に配置されたパッド２６に適切に配置するための補助ローラ２４、２５を有してもよい。
【００８０】
研磨中、研磨テープＴは静止した状態でもよく、研磨テープ走行手段により、連続的または断続的に走行されてもよい。短時間で研磨が終了する場合は、研磨テープＴを走行させずに静止した状態で使用し、研磨後に次の研磨のために新しい研磨テープＴの表面を供給するようにしてよい。研磨が長時間に及ぶ場合は、継続して高精度で安定した研磨面、すなわち砥粒を含む研磨テープの表面を供給するために、連続的または断続的に研磨テープを走行させることが好ましい。
【００８１】
研磨装置１は、さらに、ワークユニット３及び研磨テープユニット４を制御するための制御装置を含む。また、湿式で研磨を行うときに研磨テープＴの表面に水又は界面活性剤を加えた水溶液を供給するための水供給機や水パイプを有していてよい。
【００８２】
上記のような構成を有する研磨装置１により、板ガラスＷの稜部（又は端面）が、好適に移動軸線１３に対して所定の角度傾いた状態で、研磨テープＴの表面に当接、押圧され、板ガラスＷが移動軸線１３に沿って往復移動して研磨が行われる。
【００８３】
図８（ａ）及び（ｂ）に、上記の第１、第２の傾斜手段（３５、３７）による板ガラスＷの傾斜角度α又は傾斜角度θと研磨テープの表面又は移動軸線１３の側面又は正面から見た配置が、各々模式的に図示されている。
【００８４】
図８（ａ）に点線で示されているように、保持台１２が傾斜していない状態では、板ガラスＷは、上面又は下面が研磨テープＴの表面に垂直であり、端面が研磨テープＴの表面に平行である。板ガラスＷ１は、第１の傾斜手段３５により角度αだけ傾斜したものである。図２（Ｃ）に示されているとおり、角度αは、いわゆるＣ面取りの角度に対応するものである。
【００８５】
図８（ｂ）は、板ガラスＷが、第２の傾斜手段３７により、移動軸線１３に対して角度θだけ傾斜された状態を示す。角度θは、５度〜６０度の範囲にあることが好ましい。角度θの選択は、使用される研磨テープＴの幅及び板ガラスＷの被研磨部（１辺の稜部）の長さによって規制されるが、角度θが５度未満では研磨効率があまり向上しない。角度θが６０度を越えると研磨効率は向上するが、板ガラスＷの往復運動による研磨テープＴの表面との接触抵抗が大きくなり、安定した研磨が困難となる。また、薄い板ガラスＷの場合、ガラスが割れてしまうことがある。なお、角度θが小さい場合は、板ガラスＷを順次未使用の研磨テープＴの幅方向に移動させることにより、研磨テープを有効に利用することができる。
【００８６】
研磨方法として、板ガラスＷ１の状態（稜部が移動軸線に平行な状態）で板ガラスＷ１を移動軸線に沿って往復移動させて研磨してもよく、角度αと角度θが組み合わされた状態（稜部が移動軸線に対し角度θだけ傾いた状態）で研磨してもよい。板ガラスＷ１の状態では研磨効率が十分でない場合もあるが、研磨テープの走行方向（長手方向）を移動軸線に対して傾斜させる等により、効率のよい研磨を行うことができる。また、角度αと角度θが組み合わされた状態で研磨すると、研磨テープの幅を広く使用して砥粒を稜部に有効に作用させることができ、研磨速度を向上させることができ、コスト面でも有利である。
【００８７】
図９には、板ガラスＷの他の研磨方法が示されている。研磨テープＴの幅Ｔｗは、板ガラスＷの厚さ（端面の幅）以上であれば使用することが可能であるが、板ガラスＷの端縁部をその移動軸線１３に対して所定の角度だけ傾けて研磨テープＴの表面に押圧し、往復移動させて研磨を行う場合には、その往復移動の面積を考慮して、研磨テープＴの幅が選択される。研磨は、研磨テープＴの幅内で行うことが好ましい。
【００８８】
図９（ａ）のように、板ガラスＷの端面（又は稜部）が移動軸線１３に対してθ’傾いている状態で、研磨テープＴが所定の速度で矢印２１の方向に走行している場合、研磨テープＴの幅Ｔｗに対し、研磨に使用される幅Ｔｗ’が小さいため、研磨テープＴの表面に未使用部分があり、経済的でない。図９（ｂ）のように、研磨テープＴを、移動軸線１３に対して角度βだけ傾けて走行させると、研磨テープＴの走行に従って、順次、研磨テープＴの幅Ｔｗ全体が板ガラスＷの被研磨部分に接触するため、実質的に、研磨テープＴの幅Ｔｗが研磨に使用される幅Ｔｗ’に等しくなる。また、研磨テープＴの長手方向が移動軸線１３に対して角度βだけ傾いた状態で、研磨テープＴを矢印２１の方向へ走行させながら、板ガラスＷを移動軸線１３に沿って所定の往復間隔（ストローク）Ｌで往復移動させると、研磨テープＴの表面に対する板ガラスＷの動きが上下にジグザグを描く形になり、研磨テープＴの幅Ｔｗを有効に利用することができる。
【００８９】
角度（θ’＋β）は、５度〜６０度の範囲にあることが好ましい。この範囲で、往復移動中に板ガラスＷの被研磨部分が研磨テープＴの幅からはみ出ないように調節することが好ましい。研磨テープＴの幅方向の端部の段差に接触して板ガラスＷの端縁部に傷を発生することを防止するためである。
【００９０】
図１０に、板ガラスＷのもうひとつの他の研磨方法が示されている。図１０（ａ）のように板ガラスＷの上面又は下面を研磨テープＴの表面に垂直且つ研磨テープＴの長手方向に平行になるように当接し、図１０（ｂ）のように研磨プレート２７を板ガラスＷの上面の稜部から下面の稜部にかけて、円弧状に往復運動させることによって、板ガラスの端面全体を円弧状にＲ面研磨してもよい。
【００９１】
本発明に使用される研磨テープは、プラスチック製の基材フィルムに樹脂バインダーに砥粒を分散させた溶液を塗布し、乾燥、硬化させたシートを必要幅にスリットし、リールに巻かれたものである。
【００９２】
基材フィルムとして、柔軟性を有する合成樹脂製のプラスチックフィルムが使用される。具体的には、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンナフタレート等のポリエステル系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン系樹脂、ポリビニルアルコール又はメタクリルアルコールを主成分とするアクリル系樹脂等から成るフィルムが基材フィルムとして使用される。
【００９３】
砥粒（研磨粒子）としては、アルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、酸化セリウム（ＣｅＯ２ ）、シリカ（ＳｉＯ２ ）、ダイヤモンド、炭化珪素（ＳｉＣ）、酸化クロム（Ｃｒ２Ｏ３）、ジルコニア（ＺｒＯ２ ）、立方晶窒化ホウ素（ｃＢＮ）等及びその混合物であって、上で述べた粒径の範囲にあるものが使用できる。
【００９４】
実施例１
本発明の実施例１の製造方法により、稜部に高精度な仕上がり面を有する板ガラスが製造された。板ガラスとして、長さ７００ｍｍ、幅４００ｍｍ、厚さ０．８ｍｍの長方形のソーダライムガラスが使用された。この板ガラスの４つの角部が予め砥石によりＲ面取りされ、その後研磨テープにより、８辺の稜部が研磨されて仕上がり面に形成された。研磨において、板ガラスの往復移動は、稜部が移動軸線に対して１０度傾いた状態（θ＝１０°）で行われ、板ガラスは４５度の角度（α＝４５°）で研磨テープの表面に当接され、研磨量（図２Ｃのｈ）は５０μｍであった。このように一定の研磨量とするために、研磨テープの表面に含まれる砥粒径によって、板ガラスの往復回数（１往復＝１パス）が調節された。研磨テープの表面は板ガラスの移動軸線に対して平行であり、静止した状態であった。また、研磨テープの表面に小量の水を供給しながら研磨が行われた。
【００９５】
実施例１の製造方法における条件をまとめると、以下のとおりである。
【００９６】
研磨条件（１辺）
研磨テープの状態：静止
板ガラスの研磨テープ表面に垂直な面に対する傾斜角度（α）：４５°
研磨量（ｈ）：５０μｍ
稜部の移動軸線に対する傾斜角度（θ）：１０°
往復運動のストローク長さ（Ｌ）：１５０ｍｍ
研磨テープの幅（Ｔｗ）：３０ｍｍ
研磨テープの押圧力（推力）：１５Ｎ
【００９７】
研磨テープとして、ＧＣ（グリーンカーボランダム）＃４０００（ＳｉＣ：平均砥粒径３μｍ）が使用され、パッド部材として、ショアＡ硬さ３０の発泡樹脂パッドが使用された。板ガラスの往復回数は２１パスであった。
【００９８】
実施例２
実施例２の製造方法において、研磨テープとして、ＧＣ＃６０００（平均砥粒径２μｍ）が使用された。板ガラスの往復回数は２４パスであった。そのほかの条件は実施例１と同様であった。
【００９９】
実施例３
実施例３の製造方法において、研磨テープとして、ＧＣ＃１００００（平均砥粒径０．５μｍ）が使用された。パッド部材として、ショアＡ硬さ８０のゴム板及びショアＡ硬さ３０の発泡樹脂板が使用された。板ガラスの往復回数は３１パスであった。そのほかの条件は実施例１と同様であった。
【０１００】
比較例１
比較例１の製造方法において、研磨テープとして、ＧＣ＃１０００（平均砥粒径１６μｍ）が使用された。板ガラスの往復回数は７パスであった。そのほかの条件は実施例１と同様であった。
【０１０１】
比較例２
比較例２の製造方法において、研磨テープとして、ＧＣ＃２０００（平均砥粒径９μｍ）が使用された。板ガラスの往復回数は１１パスであった。そのほかの条件は実施例１と同様であった。
【０１０２】
比較例３
比較例３の製造方法において、研磨テープとして、ＧＣ＃３０００（平均砥粒径５μｍ）が使用された。板ガラスの往復回数は１７パスであった。そのほかの条件は実施例１と同様であった。
【０１０３】
比較例４
比較例４の製造方法において、メッシュサイズ＃１０００のダイヤモンド砥粒（平均粒径１４〜２２μｍ）をメタルボンドした砥石が使用された。図１４に示すように、砥石と板ガラスの端縁部を配置し、砥石を回転させることにより稜部の面取り研磨が行われた。
【０１０４】
上記のように仕上げ研磨された実施例、比較例の平均表面粗さＲａ及び粗さ曲線の最大谷深さＲｖが、以下の表１に示されている。平均表面粗さＲａ及び最大谷深さＲｖは表面粗さ計（製品名ＮｅｗＶｉｅｗ５０００：Ｚｙｇｏ社製）により測定された。
【０１０５】
【表１】
【０１０６】
実施例１ないし４の製造方法により、稜部が高精度な仕上がり面（平均表面粗さＲａ：１．７ｎｍ〜１１．５ｎｍ、最大谷深さＲｖ：３２ｎｍ〜１６２ｎｍ）に形成された板ガラスが得られた。往復パス回数は２０回から３０回程度で、研磨速度も十分であった。比較例の製造方法による板ガラスの仕上がり面は、最大谷深さが１０００ｎｍを超えたものが多かった。
【０１０７】
実施例、比較例の仕上がり面の拡大写真が図１１に示されている。左側はデジタルマイクロスコープ（製品名ＶＨＸ５００：ＫＥＹＥＮＣＥ社製）による光学写真であり、右側は表面粗さ計（製品名ＮｅｗＶｉｅｗ５０００：Ｚｙｇｏ社製）よるものである。図１１（Ａ）は比較例１、（Ｂ）は比較例２、（Ｃ）は実施例１、（Ｄ）は実施例３による仕上がり面である。
【０１０８】
比較例に係る（Ａ）、（Ｂ）は、表面の凹凸が多く仕上がり面の表面性状として不十分であった。実施例に係る（Ｃ）、（Ｄ）は、凹凸や傷がない高精度の仕上がり面となっていた。また、研磨テープを使用したことにより、仕上がり面が曲面を有しており、エッジ部の直線性にも優れていた。
【０１０９】
図１２は、比較例４の製造方法で得られた板ガラスの仕上がり面の拡大写真である。砥石で研磨したことにより、仕上がり面は曲面に形成されていない。また、表面に研磨痕（ホイールマーク）があり、傷が多く見られた。
【０１１０】
実施例、比較例の各板ガラスのエッジ強度（ＭＰａ）が測定された。エッジ強度とは、ガラスの端縁部の強度を指すものである。エッジ強度は、室温曲げ強さ試験方法（ＪＩＳ Ｒ１６０１）に基づいて、市販の４点曲げ試験機を使用して測定された。エッジ強度試験（４点曲げ）の方法が図１３に模式的に示されている。負荷治具間隔が１０ｍｍ、支持治具間隔が３０ｍｍ、負荷速度が５ｍｍ／ｍｉｎの条件で試験が行われた。
【０１１１】
表１に、実施例、比較例の板ガラスを各１０枚試験し、得られたエッジ強度を平均した値が記載されている。本発明に係る、微細な砥粒を表面に含む研磨テープを使用して端縁部が研磨され仕上がり面に形成された板ガラスは、仕上がり面の平均表面粗さＲａ及び最大谷深さＲｖ値を大幅に低減することができた結果、従来の砥石による加工と比較して、エッジ強度が３倍以上に向上した。このように、本発明に係る板ガラスは、エッジ強度が著しく向上しているため、当該板ガラスを使用する製品の製造工程で、板ガラスが機械的応力や熱ショックにより破損することを防ぐことができるものである。また、板ガラスが製品に組み込まれた後も破損しにくく、製品の信頼性を向上させることができるものである。
【０１１２】
本発明の思想及び態様から離れることなく多くのさまざまな修正が可能であることは当業者の知るところである。したがって、言うまでもなく、本発明の態様は例示に過ぎず、本発明の範囲を限定するものではない。
【符号の説明】
【０１１３】
Ｗ 板ガラス（被研磨体）
Ｔ 研磨テープ
Ｔｗ 研磨テープ幅
Ｔｗ’ 研磨幅
１ 研磨装置
２ ベース
３ ワークユニット
４ 研磨テープユニット
５ 単軸ロボット
６ ＬＭガイド
７ 走行体
１２ 保持台
１３ 移動軸線
２１ 研磨テープ走行方向
２２ 供給ロール
２３ 巻取りロール
２４ 補助ローラ１
２５ 補助ローラ２
２６ パッド
２６Ａ 第２のパッド手段
２６Ｂ 第１のパッド手段
２７ 研磨プレート
２８ 研磨プレートの移動方向１
２９ 研磨プレートの移動方向２
３０ａ 仕上がり面（稜部）
３０ｂ 仕上がり面（端面）
３１ レール１
３２ レール２
３３ 固定板
３４ 固定レバー
３５ 傾斜プレート１
３５ａ ネジ溝
３５ｂ ガイド溝
３５’ 可動プレート
３５’ａ ロッド１
３５’ｂ ネジ孔
３６ 固定ネジ１
３７ 傾斜プレート２
３８ 固定ネジ２
３９ ガイド溝１
３９ａ ロッド２
４０ 砥石
４２ 移動プレート
４３ エアシリンダー
４６ 傾斜プレート３
４７ 固定ネジ３
４８ ガイド軸受
４９ ガイド溝２
４９ａ ロッド３
５０ 固定プレート
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面、下面及びその両面の間に端面を有する矩形の板ガラスであって、前記上面又は前記下面と前記端面との境界にある稜部のうち少なくとも１辺の稜部が研磨テープで研磨され仕上がり面に形成された板ガラスであって、該仕上がり面の平均表面粗さＲａが２０ｎｍ以下であり且つ最大谷深さＲｖが２００ｎｍ以下である板ガラス。
【請求項２】
上面、下面及びその両面の間に端面を有する矩形の板ガラスであって、少なくともひとつの端面が研磨テープで研磨され仕上がり面に形成された板ガラスであって、該仕上がり面の平均表面粗さＲａが２０ｎｍ以下であり且つ最大谷深さＲｖが２００ｎｍ以下である板ガラス。
【請求項３】
請求項１に記載された板ガラスの製造方法であって、
前記研磨テープの裏面に弾性のあるパッド部材の表面を配置し前記板ガラスの少なくとも１辺の稜部をＣ面取りするために前記研磨テープの表面と前記板ガラスの１辺の稜部を対向させて配置する工程であって、前記研磨テープの表面が砥粒を含む研磨層から成る、ところの工程と、
前記パッド部材を介して前記研磨テープに所定の押圧力を加えることにより前記研磨テープの表面を前記１辺の稜部に当接・押圧する工程と、
前記板ガラスを直線的な移動軸線に沿って移動させることにより前記１辺の稜部を研磨する工程と、を含み、
前記砥粒の平均粒径が０．２μｍ以上３．０μｍ以下の範囲にあり、
前記研磨する工程において、前記研磨テープが走行せず停止している又は走行している、
ことを特徴とする板ガラスの製造方法。
【請求項４】
前記研磨する工程において、前記１辺の稜部が前記移動軸線に関して所定の角度（θ）だけ傾斜した状態で前記板ガラスを前記移動軸線に沿って往復移動させる、
ことを特徴とする請求項３に記載された板ガラスの製造方法。
【請求項５】
前記所定の角度（θ）が５度以上６０度以下の範囲にある、
ことを特徴とする請求項４に記載された板ガラスの製造方法。
【請求項６】
前記パッド部材の表面が平坦面である、
ことを特徴とする請求項３ないし５のいずれかに記載された板ガラスの製造方法。
【請求項７】
前記パッド部材の表面が凸状の曲面である、
ことを特徴とする請求項３ないし５のいずれかに記載された板ガラスの製造方法。
【請求項８】
前記移動軸線が前記研磨テープの長手方向に平行である、
ことを特徴とする請求項３ないし７のいずれかに記載された板ガラスの製造方法。
【請求項９】
前記移動軸線が前記研磨テープの長手方向に対し所定の角度（β）だけ傾斜している、
ことを特徴とする請求項３ないし７のいずれかに記載された板ガラスの製造方法。
【請求項１０】
請求項２に記載された板ガラスの製造方法であって、
前記研磨テープの裏面に弾性のあるパッド部材の表面を配置し前記研磨テープの表面と前記板ガラスのひとつの端面を対向させて配置する工程であって、前記研磨テープの表面が砥粒を含む研磨層から成る、ところの工程と、
前記パッド部材を介して前記研磨テープに所定の押圧力を加えることにより前記研磨テープの表面を前記ひとつの端面に当接・押圧する工程と、
前記板ガラスを直線的な移動軸線に沿って移動させることにより前記ひとつの端面を研磨する工程と、を含み、
前記砥粒の平均粒径が０．２μｍ以上３．０μｍ以下の範囲にあり、
前記研磨する工程において、前記研磨テープが走行せず停止している又は走行している、
ことを特徴とする板ガラスの製造方法。
【請求項１１】
前記パッド部材が、ショアＡ硬さが２０ないし５０の範囲にある第１のパッド部材である、
ことを特徴とする請求項３ないし１０のいずれかに記載された板ガラスの製造方法。
【請求項１２】
前記研磨テープと前記第１のパッド部材との間にショアＡ硬さが９０以下である第２のパッド部材が配置されている、
ことを特徴とする請求項１１に記載された板ガラスの製造方法。
【請求項１３】
前記仕上がり面が曲面を有する、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載された板ガラス、又は請求項３ないし１２のいずれかに記載された板ガラスの製造方法。
【請求項１４】
前記研磨する工程において、前記研磨テープが連続的又は断続的に走行する、
ことを特徴とする請求項３ないし１３のいずれかに記載された板ガラスの製造方法。
【請求項１５】
前記所定の押圧力を、研磨の進行とともに次第に大きくする、
ことを特徴とする請求項３ないし１４のいずれかに記載された板ガラスの製造方法。
【請求項１６】
上面、下面及びその両面の間に端面を有する矩形の板ガラスの前記上面又は前記下面と前記端面との境界にある稜部のうち少なくとも１辺の稜部又は少なくともひとつの端面を研磨テープで研磨し仕上がり面に形成するための研磨装置であって、
ベースと、
前記板ガラスを配置するためのワークユニットであって、前記板ガラスを前記ベースに平行な移動軸線に沿って移動可能に前記ベース上に設けられたワークユニットと、
前記研磨テープを配置するための研磨テープユニットであって、前記ワークユニットと対向して前記ベース上に設けられた研磨テープユニットと、から成り、
前記ワークユニットは、
前記板ガラスのひとつの端面が前記移動軸線に平行になり且つ前記板ガラスの前記上面又は前記下面が前記ベースと平行になるよう前記板ガラスを保持するための保持台と、
前記保持台を、前記移動軸線を中心に枢動させることにより前記板ガラスの前記上面又は前記下面を前記ベースに対して所定の角度（α）だけ傾斜させるための第１の保持台傾斜手段と、
前記保持台を前記移動軸線と垂直且つ前記ベースと平行な回動軸線を中心に回動させることにより前記板ガラスの前記上面又は前記下面を前記ベースに対して所定の角度（θ）だけ傾斜させるための第２の保持台傾斜手段と、を含み、
前記研磨テープユニットは、
前記研磨テープの砥粒を含む表面が前記板ガラスの１辺の稜部又は前記ひとつの端面と対向するよう前記研磨テープを配置するためのパッドと、
前記パッドを取り付けるための前記ベースに垂直な研磨プレートと、
前記研磨テープの表面が前記１辺の稜部又は前記ひとつの端面に当接・押圧されるよう前記研磨プレートを前記ベースと平行且つ前記移動軸線と垂直な方向に移動させるための押圧手段と、
前記研磨テープを走行させるための研磨テープ走行手段と、
を含む、
ことを特徴とする研磨装置。
【請求項１７】
前記パッドに配置された前記研磨テープの長手方向が前記移動軸線と平行である、
ことを特徴とする請求項１６に記載された研磨装置。
【請求項１８】
前記研磨テープユニットが、前記研磨テープの長手方向が前記移動軸線に対して所定の角度（β）だけ傾斜するよう前記研磨プレートを傾斜するための研磨プレート傾斜手段を含む、
ことを特徴とする請求項１７に記載された研磨装置。
【請求項１９】
前記パッドの前記研磨テープが配置される表面が平坦面である、
ことを特徴とする請求項１６ないし１８のいずれかに記載された研磨装置。
【請求項２０】
前記パッドの前記研磨テープが配置される表面が凸状の曲面である、
ことを特徴とする請求項１６ないし１８のいずれかに記載された研磨装置。
【請求項２１】
上面、下面及びその両面の間に端面を有する矩形の板ガラスを水平な移動軸線に沿って移動させ該板ガラスの前記上面又は前記下面と前記端面との境界にある稜部のうち少なくとも１辺の稜部を研磨テープの砥粒を有する表面で研磨し仕上がり面に形成するための研磨方法であって、
前記板ガラスのひとつの端面が前記移動軸線に平行になるよう且つ前記板ガラスの前記上面又は前記下面が水平になるよう前記板ガラスを配置する工程と、
前記板ガラスを、前記移動軸線を中心に枢動させることにより前記板ガラスの前記上面又は前記下面を水平に対して所定の角度（α）だけ傾斜させる第１の傾斜工程と、
前記板ガラスを、水平且つ前記移動軸線と垂直な回動軸線を中心に回動させることにより前記板ガラスの前記上面又は前記下面を水平に対して所定の角度（θ）だけ傾斜させる第２の傾斜工程と、
前記研磨テープの表面が前記板ガラスの１辺の稜部に対向するよう前記研磨テープをパッド部材の表面に配置する工程と、
前記パッド部材を介して前記研磨テープに所定の押圧力を加え前記研磨テープの表面を前記１辺の稜部に当接・押圧する工程と、
前記板ガラスを前記移動軸線に沿って移動させることにより前記１辺の稜部を研磨する工程と、を含む、
ことを特徴とする研磨方法。
【請求項２２】
前記パッド部材に配置された前記研磨テープの長手方向が前記移動軸線と平行である、
ことを特徴とする請求項２１に記載された研磨方法。
【請求項２３】
前記パッド部材に配置された前記研磨テープの長手方向が前記移動軸線に対し所定の角度（β）だけ傾斜している、
ことを特徴とする請求項２０に記載された研磨方法。
【請求項２４】
前記パッド部材の表面が平坦である、
ことを特徴とする請求項２１ないし２３のいずれかに記載された研磨方法。
【請求項２５】
前記パッド部材の表面が凸状の曲面である、
ことを特徴とする請求項２１ないし２３のいずれかに記載された研磨方法。
【請求項１】
上面、下面及びその両面の間に端面を有する矩形の板ガラスであって、前記上面又は前記下面と前記端面との境界にある稜部のうち少なくとも１辺の稜部が研磨テープで研磨され仕上がり面に形成された板ガラスであって、該仕上がり面の平均表面粗さＲａが２０ｎｍ以下であり且つ最大谷深さＲｖが２００ｎｍ以下である板ガラス。
【請求項２】
上面、下面及びその両面の間に端面を有する矩形の板ガラスであって、少なくともひとつの端面が研磨テープで研磨され仕上がり面に形成された板ガラスであって、該仕上がり面の平均表面粗さＲａが２０ｎｍ以下であり且つ最大谷深さＲｖが２００ｎｍ以下である板ガラス。
【請求項３】
請求項１に記載された板ガラスの製造方法であって、
前記研磨テープの裏面に弾性のあるパッド部材の表面を配置し前記板ガラスの少なくとも１辺の稜部をＣ面取りするために前記研磨テープの表面と前記板ガラスの１辺の稜部を対向させて配置する工程であって、前記研磨テープの表面が砥粒を含む研磨層から成る、ところの工程と、
前記パッド部材を介して前記研磨テープに所定の押圧力を加えることにより前記研磨テープの表面を前記１辺の稜部に当接・押圧する工程と、
前記板ガラスを直線的な移動軸線に沿って移動させることにより前記１辺の稜部を研磨する工程と、を含み、
前記砥粒の平均粒径が０．２μｍ以上３．０μｍ以下の範囲にあり、
前記研磨する工程において、前記研磨テープが走行せず停止している又は走行している、
ことを特徴とする板ガラスの製造方法。
【請求項４】
前記研磨する工程において、前記１辺の稜部が前記移動軸線に関して所定の角度（θ）だけ傾斜した状態で前記板ガラスを前記移動軸線に沿って往復移動させる、
ことを特徴とする請求項３に記載された板ガラスの製造方法。
【請求項５】
前記所定の角度（θ）が５度以上６０度以下の範囲にある、
ことを特徴とする請求項４に記載された板ガラスの製造方法。
【請求項６】
前記パッド部材の表面が平坦面である、
ことを特徴とする請求項３ないし５のいずれかに記載された板ガラスの製造方法。
【請求項７】
前記パッド部材の表面が凸状の曲面である、
ことを特徴とする請求項３ないし５のいずれかに記載された板ガラスの製造方法。
【請求項８】
前記移動軸線が前記研磨テープの長手方向に平行である、
ことを特徴とする請求項３ないし７のいずれかに記載された板ガラスの製造方法。
【請求項９】
前記移動軸線が前記研磨テープの長手方向に対し所定の角度（β）だけ傾斜している、
ことを特徴とする請求項３ないし７のいずれかに記載された板ガラスの製造方法。
【請求項１０】
請求項２に記載された板ガラスの製造方法であって、
前記研磨テープの裏面に弾性のあるパッド部材の表面を配置し前記研磨テープの表面と前記板ガラスのひとつの端面を対向させて配置する工程であって、前記研磨テープの表面が砥粒を含む研磨層から成る、ところの工程と、
前記パッド部材を介して前記研磨テープに所定の押圧力を加えることにより前記研磨テープの表面を前記ひとつの端面に当接・押圧する工程と、
前記板ガラスを直線的な移動軸線に沿って移動させることにより前記ひとつの端面を研磨する工程と、を含み、
前記砥粒の平均粒径が０．２μｍ以上３．０μｍ以下の範囲にあり、
前記研磨する工程において、前記研磨テープが走行せず停止している又は走行している、
ことを特徴とする板ガラスの製造方法。
【請求項１１】
前記パッド部材が、ショアＡ硬さが２０ないし５０の範囲にある第１のパッド部材である、
ことを特徴とする請求項３ないし１０のいずれかに記載された板ガラスの製造方法。
【請求項１２】
前記研磨テープと前記第１のパッド部材との間にショアＡ硬さが９０以下である第２のパッド部材が配置されている、
ことを特徴とする請求項１１に記載された板ガラスの製造方法。
【請求項１３】
前記仕上がり面が曲面を有する、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載された板ガラス、又は請求項３ないし１２のいずれかに記載された板ガラスの製造方法。
【請求項１４】
前記研磨する工程において、前記研磨テープが連続的又は断続的に走行する、
ことを特徴とする請求項３ないし１３のいずれかに記載された板ガラスの製造方法。
【請求項１５】
前記所定の押圧力を、研磨の進行とともに次第に大きくする、
ことを特徴とする請求項３ないし１４のいずれかに記載された板ガラスの製造方法。
【請求項１６】
上面、下面及びその両面の間に端面を有する矩形の板ガラスの前記上面又は前記下面と前記端面との境界にある稜部のうち少なくとも１辺の稜部又は少なくともひとつの端面を研磨テープで研磨し仕上がり面に形成するための研磨装置であって、
ベースと、
前記板ガラスを配置するためのワークユニットであって、前記板ガラスを前記ベースに平行な移動軸線に沿って移動可能に前記ベース上に設けられたワークユニットと、
前記研磨テープを配置するための研磨テープユニットであって、前記ワークユニットと対向して前記ベース上に設けられた研磨テープユニットと、から成り、
前記ワークユニットは、
前記板ガラスのひとつの端面が前記移動軸線に平行になり且つ前記板ガラスの前記上面又は前記下面が前記ベースと平行になるよう前記板ガラスを保持するための保持台と、
前記保持台を、前記移動軸線を中心に枢動させることにより前記板ガラスの前記上面又は前記下面を前記ベースに対して所定の角度（α）だけ傾斜させるための第１の保持台傾斜手段と、
前記保持台を前記移動軸線と垂直且つ前記ベースと平行な回動軸線を中心に回動させることにより前記板ガラスの前記上面又は前記下面を前記ベースに対して所定の角度（θ）だけ傾斜させるための第２の保持台傾斜手段と、を含み、
前記研磨テープユニットは、
前記研磨テープの砥粒を含む表面が前記板ガラスの１辺の稜部又は前記ひとつの端面と対向するよう前記研磨テープを配置するためのパッドと、
前記パッドを取り付けるための前記ベースに垂直な研磨プレートと、
前記研磨テープの表面が前記１辺の稜部又は前記ひとつの端面に当接・押圧されるよう前記研磨プレートを前記ベースと平行且つ前記移動軸線と垂直な方向に移動させるための押圧手段と、
前記研磨テープを走行させるための研磨テープ走行手段と、
を含む、
ことを特徴とする研磨装置。
【請求項１７】
前記パッドに配置された前記研磨テープの長手方向が前記移動軸線と平行である、
ことを特徴とする請求項１６に記載された研磨装置。
【請求項１８】
前記研磨テープユニットが、前記研磨テープの長手方向が前記移動軸線に対して所定の角度（β）だけ傾斜するよう前記研磨プレートを傾斜するための研磨プレート傾斜手段を含む、
ことを特徴とする請求項１７に記載された研磨装置。
【請求項１９】
前記パッドの前記研磨テープが配置される表面が平坦面である、
ことを特徴とする請求項１６ないし１８のいずれかに記載された研磨装置。
【請求項２０】
前記パッドの前記研磨テープが配置される表面が凸状の曲面である、
ことを特徴とする請求項１６ないし１８のいずれかに記載された研磨装置。
【請求項２１】
上面、下面及びその両面の間に端面を有する矩形の板ガラスを水平な移動軸線に沿って移動させ該板ガラスの前記上面又は前記下面と前記端面との境界にある稜部のうち少なくとも１辺の稜部を研磨テープの砥粒を有する表面で研磨し仕上がり面に形成するための研磨方法であって、
前記板ガラスのひとつの端面が前記移動軸線に平行になるよう且つ前記板ガラスの前記上面又は前記下面が水平になるよう前記板ガラスを配置する工程と、
前記板ガラスを、前記移動軸線を中心に枢動させることにより前記板ガラスの前記上面又は前記下面を水平に対して所定の角度（α）だけ傾斜させる第１の傾斜工程と、
前記板ガラスを、水平且つ前記移動軸線と垂直な回動軸線を中心に回動させることにより前記板ガラスの前記上面又は前記下面を水平に対して所定の角度（θ）だけ傾斜させる第２の傾斜工程と、
前記研磨テープの表面が前記板ガラスの１辺の稜部に対向するよう前記研磨テープをパッド部材の表面に配置する工程と、
前記パッド部材を介して前記研磨テープに所定の押圧力を加え前記研磨テープの表面を前記１辺の稜部に当接・押圧する工程と、
前記板ガラスを前記移動軸線に沿って移動させることにより前記１辺の稜部を研磨する工程と、を含む、
ことを特徴とする研磨方法。
【請求項２２】
前記パッド部材に配置された前記研磨テープの長手方向が前記移動軸線と平行である、
ことを特徴とする請求項２１に記載された研磨方法。
【請求項２３】
前記パッド部材に配置された前記研磨テープの長手方向が前記移動軸線に対し所定の角度（β）だけ傾斜している、
ことを特徴とする請求項２０に記載された研磨方法。
【請求項２４】
前記パッド部材の表面が平坦である、
ことを特徴とする請求項２１ないし２３のいずれかに記載された研磨方法。
【請求項２５】
前記パッド部材の表面が凸状の曲面である、
ことを特徴とする請求項２１ないし２３のいずれかに記載された研磨方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図５Ａ】
【図５Ｂ】
【図６】
【図７Ａ】
【図７Ｂ】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１１】
【図１２】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図５Ａ】
【図５Ｂ】
【図６】
【図７Ａ】
【図７Ｂ】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１１】
【図１２】
【公開番号】特開２０１３−９９８２１（Ｐ２０１３−９９８２１Ａ）
【公開日】平成２５年５月２３日（２０１３．５．２３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２４４７８７（Ｐ２０１１−２４４７８７）
【出願日】平成２３年１１月８日（２０１１．１１．８）
【出願人】（３９００３７１６５）日本ミクロコーティング株式会社 (79)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月２３日（２０１３．５．２３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１１月８日（２０１１．１１．８）
【出願人】（３９００３７１６５）日本ミクロコーティング株式会社 (79)
【Ｆターム（参考）】
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