超音波エッジ洗浄装置
【課題】 従来の超音波エッジ洗浄装置では、円錐形状に形成したホーン３の先端に二股部３ａ、３ｂを形成しているため、その二股部３ａ、３ｂが非常に短いので、被洗浄物１の端部の僅かな部分しか洗浄できないという問題がある。
【解決手段】 背面部６に洗浄液の供給部７及び排出部８装着し、背面部６の上端及び下端から傾斜壁９，１０が対向するように形成され、傾斜壁９，１０の間に挿入部１１を形成し、傾斜壁９，１０の間に側壁１２，１３を形成することにより、筐体１４が形成され、挿入部１１が側壁１２，１３に延長して切り欠き部１５が形成されるように構成し、傾斜壁９，１０にそれぞれ超音波振動子１４，１５が装着され、さらに、超音波振動子１４，１５に発振器（図示せず）から発振出力が印加されており、超音波振動子１４，１５を覆うように外壁１６が形成されている。
【解決手段】 背面部６に洗浄液の供給部７及び排出部８装着し、背面部６の上端及び下端から傾斜壁９，１０が対向するように形成され、傾斜壁９，１０の間に挿入部１１を形成し、傾斜壁９，１０の間に側壁１２，１３を形成することにより、筐体１４が形成され、挿入部１１が側壁１２，１３に延長して切り欠き部１５が形成されるように構成し、傾斜壁９，１０にそれぞれ超音波振動子１４，１５が装着され、さらに、超音波振動子１４，１５に発振器（図示せず）から発振出力が印加されており、超音波振動子１４，１５を覆うように外壁１６が形成されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、筐体の傾斜した対向壁に装着した超音波振動子から超音波を照射するようにし、筐体の対向壁の間に挿入したワークを洗浄する超音波エッジ洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、図４に示すように、半導体ウエハのような被洗浄物１が回転するように支持され、被洗浄物１のエッジ１ａの近傍に洗浄液供給部２が装着され、又、円錐形状に形成されたホーン３の先端に鋭角（９０度以下）に切り込みを設けて二股部３ａ、３ｂが構成され、この二股部３ａ、３ｂは被洗浄物１のエッジ１ａを挟むように微小間隙を開けて装着され、さらに、ホーン３の後端に形成された拡大部３ｃに超音波振動子４が装着され、超音波振動子４に超音波発振器５から発振出力が印加されている。
【０００３】
しかしながら、このよう構成された超音波エッジ洗浄装置では、円錐形状に形成したホーン３の先端に二股部３ａ、３ｂを形成しているため、その二股部１ａが非常に短いので、被洗浄物１の端部の僅かな部分しか洗浄できないという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２１３１４
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
解決しようとする問題点は、従来の超音波エッジ洗浄装置では、円錐形状に形成したホーン３の先端に二股部３ａ、３ｂを形成しているため、その二股部３ａ、３ｂが非常に短いので、被洗浄物１の端部の僅かな部分しか洗浄できないという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明では、背壁部に洗浄液の供給部及び排出部を設け、前記背壁部の上下部からほぼ中央に向けて突出した傾斜壁を設け、該傾斜壁の先端の間に挿入部を設け、前記傾斜壁の間に形成した側壁に前記挿入部から続けて切り欠きを設けた筐体と、該筐体の前記傾斜壁にそれぞれ装着した超音波振動子とからなり、前記挿入部に基板の端部を挿入し、前記供給部から洗浄液を供給し、前記超音波振動子からの超音波とともに、前記基板のエッジ及びその近傍を洗浄するものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の超音波エッジ洗浄装置では、筐体の中央の切り欠き部から筐体の内部に形成した傾斜部の間に基板のエッジを挿入して、洗浄しているので、切り欠き部を長く形成することにより、基板のエッジを深く挿入することができ、基板のエッジをより幅広く洗浄することができるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施例の超音波エッジ洗浄装置の側面断面図である。
【図２】図１の超音波エッジ洗浄装置の側面図である。
【図３】図１の超音波エッジ洗浄装置の斜視図である。
【図４】従来の超音波エッジ洗浄装置の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明では、超音波振動子を筐体の内部に傾斜部を形成し、傾斜部の間に挿入部を形成し、傾斜部の間に形成した側壁に挿入部から続けて切り欠き部を形成することにより、基板を広い幅で挿入して洗浄することができる。
【実施例】
【００１０】
図１は本発明の実施例の超音波エッジ洗浄装置の側面断面図で、背面部６に洗浄液の供給部７及び排出部８装着し、又、背面部６の上端及び下端から傾斜壁９，１０が対向するように形成され、傾斜壁９，１０の間に挿入部１１を形成し、傾斜壁９，１０の間に側壁１２，１３を形成することにより、筐体１４が形成され、さらに、挿入部１１が側壁１２，１３に延長して切り欠き部１５が形成されるように構成し、又、傾斜壁９，１０にそれぞれ超音波振動子１６，１７が装着され、さらに、超音波振動子１６，１７に発振器（図示せず）から発振出力が印加されており、又、超音波振動子１６，１７を覆うように外壁１８が形成されている。
【００１１】
このように構成した本実施例の超音波エッジ洗浄装置では、筐体１４の供給部７から洗浄液を供給し、被洗浄物１９を挿入部１１から切り欠き部１５に挿入すると、筐体１４の内部に洗浄液が充満し、さらに、被洗浄物１９に沿って切り欠き部１５及び挿入部１１から流れ出し、その状態で超音波振動子１６，１７に発振器から発振出力を印可すると、被洗浄物１９のエッジ１９ａから内側まで洗浄される。
【００１２】
本発明は、このように筐体１４の内部に洗浄液を供給し、この洗浄液に向けて超音波振動子１４，１５から超音波を照射し、この洗浄液に被洗浄物１９のエッジ１９ａを挿入することにより、被洗浄物１９のエッジ１９ａを幅広く洗浄することができるという利点がある。
【産業上の利用可能性】
【００１３】
なお、本発明の上記実施例では、筐体１４の外側に外壁１６を設けたが、筐体１４の壁が強ければ、外壁１６を設ける必要がない。
【符号の説明】
【００１４】
６ 背面部
７ 供給部
８ 排出部
９、１０ 傾斜面
１１ 挿入部
１２，１３ 側壁
１４ 筐体
１５ 切り欠き部
１６、１７ 超音波振動子
１８ 外壁
１９ 被洗浄物
【技術分野】
【０００１】
本発明は、筐体の傾斜した対向壁に装着した超音波振動子から超音波を照射するようにし、筐体の対向壁の間に挿入したワークを洗浄する超音波エッジ洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、図４に示すように、半導体ウエハのような被洗浄物１が回転するように支持され、被洗浄物１のエッジ１ａの近傍に洗浄液供給部２が装着され、又、円錐形状に形成されたホーン３の先端に鋭角（９０度以下）に切り込みを設けて二股部３ａ、３ｂが構成され、この二股部３ａ、３ｂは被洗浄物１のエッジ１ａを挟むように微小間隙を開けて装着され、さらに、ホーン３の後端に形成された拡大部３ｃに超音波振動子４が装着され、超音波振動子４に超音波発振器５から発振出力が印加されている。
【０００３】
しかしながら、このよう構成された超音波エッジ洗浄装置では、円錐形状に形成したホーン３の先端に二股部３ａ、３ｂを形成しているため、その二股部１ａが非常に短いので、被洗浄物１の端部の僅かな部分しか洗浄できないという問題があった。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２１３１４
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
解決しようとする問題点は、従来の超音波エッジ洗浄装置では、円錐形状に形成したホーン３の先端に二股部３ａ、３ｂを形成しているため、その二股部３ａ、３ｂが非常に短いので、被洗浄物１の端部の僅かな部分しか洗浄できないという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明では、背壁部に洗浄液の供給部及び排出部を設け、前記背壁部の上下部からほぼ中央に向けて突出した傾斜壁を設け、該傾斜壁の先端の間に挿入部を設け、前記傾斜壁の間に形成した側壁に前記挿入部から続けて切り欠きを設けた筐体と、該筐体の前記傾斜壁にそれぞれ装着した超音波振動子とからなり、前記挿入部に基板の端部を挿入し、前記供給部から洗浄液を供給し、前記超音波振動子からの超音波とともに、前記基板のエッジ及びその近傍を洗浄するものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の超音波エッジ洗浄装置では、筐体の中央の切り欠き部から筐体の内部に形成した傾斜部の間に基板のエッジを挿入して、洗浄しているので、切り欠き部を長く形成することにより、基板のエッジを深く挿入することができ、基板のエッジをより幅広く洗浄することができるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
【図１】本発明の実施例の超音波エッジ洗浄装置の側面断面図である。
【図２】図１の超音波エッジ洗浄装置の側面図である。
【図３】図１の超音波エッジ洗浄装置の斜視図である。
【図４】従来の超音波エッジ洗浄装置の斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本発明では、超音波振動子を筐体の内部に傾斜部を形成し、傾斜部の間に挿入部を形成し、傾斜部の間に形成した側壁に挿入部から続けて切り欠き部を形成することにより、基板を広い幅で挿入して洗浄することができる。
【実施例】
【００１０】
図１は本発明の実施例の超音波エッジ洗浄装置の側面断面図で、背面部６に洗浄液の供給部７及び排出部８装着し、又、背面部６の上端及び下端から傾斜壁９，１０が対向するように形成され、傾斜壁９，１０の間に挿入部１１を形成し、傾斜壁９，１０の間に側壁１２，１３を形成することにより、筐体１４が形成され、さらに、挿入部１１が側壁１２，１３に延長して切り欠き部１５が形成されるように構成し、又、傾斜壁９，１０にそれぞれ超音波振動子１６，１７が装着され、さらに、超音波振動子１６，１７に発振器（図示せず）から発振出力が印加されており、又、超音波振動子１６，１７を覆うように外壁１８が形成されている。
【００１１】
このように構成した本実施例の超音波エッジ洗浄装置では、筐体１４の供給部７から洗浄液を供給し、被洗浄物１９を挿入部１１から切り欠き部１５に挿入すると、筐体１４の内部に洗浄液が充満し、さらに、被洗浄物１９に沿って切り欠き部１５及び挿入部１１から流れ出し、その状態で超音波振動子１６，１７に発振器から発振出力を印可すると、被洗浄物１９のエッジ１９ａから内側まで洗浄される。
【００１２】
本発明は、このように筐体１４の内部に洗浄液を供給し、この洗浄液に向けて超音波振動子１４，１５から超音波を照射し、この洗浄液に被洗浄物１９のエッジ１９ａを挿入することにより、被洗浄物１９のエッジ１９ａを幅広く洗浄することができるという利点がある。
【産業上の利用可能性】
【００１３】
なお、本発明の上記実施例では、筐体１４の外側に外壁１６を設けたが、筐体１４の壁が強ければ、外壁１６を設ける必要がない。
【符号の説明】
【００１４】
６ 背面部
７ 供給部
８ 排出部
９、１０ 傾斜面
１１ 挿入部
１２，１３ 側壁
１４ 筐体
１５ 切り欠き部
１６、１７ 超音波振動子
１８ 外壁
１９ 被洗浄物
【特許請求の範囲】
【請求項１】
背壁部に洗浄液の供給部及び排出部を設け、前記背壁部の上下部からほぼ中央に向けて突出した傾斜壁を設け、該傾斜壁の先端の間に挿入部を設け、前記傾斜壁の間に形成した側壁に前記挿入部から続けて切り欠きを設けた筐体と、該筐体の前記傾斜壁にそれぞれ装着した超音波振動子とからなり、前記挿入部に基板の端部を挿入し、前記供給部から洗浄液を供給し、前記超音波振動子からの超音波とともに、前記基板のエッジ及びその近傍を洗浄することを特徴とする超音波エッジ洗浄装置。
【請求項１】
背壁部に洗浄液の供給部及び排出部を設け、前記背壁部の上下部からほぼ中央に向けて突出した傾斜壁を設け、該傾斜壁の先端の間に挿入部を設け、前記傾斜壁の間に形成した側壁に前記挿入部から続けて切り欠きを設けた筐体と、該筐体の前記傾斜壁にそれぞれ装着した超音波振動子とからなり、前記挿入部に基板の端部を挿入し、前記供給部から洗浄液を供給し、前記超音波振動子からの超音波とともに、前記基板のエッジ及びその近傍を洗浄することを特徴とする超音波エッジ洗浄装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図２】
【図３】
【図４】
【公開番号】特開２０１０−２８２９９４（Ｐ２０１０−２８２９９４Ａ）
【公開日】平成２２年１２月１６日（２０１０．１２．１６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１３２７６４（Ｐ２００９−１３２７６４）
【出願日】平成２１年６月２日（２００９．６．２）
【出願人】（０００２４３３６４）本多電子株式会社 (255)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１２月１６日（２０１０．１２．１６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年６月２日（２００９．６．２）
【出願人】（０００２４３３６４）本多電子株式会社 (255)
【Ｆターム（参考）】
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