【課題】ボトル缶のねじ部を正確かつ短時間で検査する。
【解決手段】ライナー付キャップを被嵌するために開口端を外方へ向かってカールさせたカール部１とカール部１の下方でキャップをねじ嵌合するねじ部２とからなる口金部３を有するボトル缶４を缶軸Ｘまわりに回転させながら、口金部３の一部を含むように設定された撮像エリアを撮像して口金部３におけるねじ部２の形状を検査する装置であって、ボトル缶４を保持して缶軸まわりに回転させる回転手段２１と、撮像エリア内のボトル缶４のねじ部２に半径方向外方かつ缶軸方向下方から斜め上向きに照明光Ａを照射するねじ部照明手段２２と、撮像エリアにおける照明光Ａの反射光Ａ´を含む検査画像を連続的に取得する撮像手段２４と、反射光Ａ´の撮像結果に基づきねじ部２のねじ始まり部を検出し、ねじ始まり部を含むねじ部２の検査を行うねじ部検査手段２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】同じ測定箇所で位相差値と厚みデータとを測定することで、複屈折や厚み方向位相差値Ｒｔｈをより精度よく得ることができる光学測定装置を提供する。
【解決手段】光学測定装置Ｍは、光学フィルムＳに光Ｌ１を入射する投光器３０と、投光器３０から光学フィルムＳに入射された入射光Ｌ１を受光する受光器３４と、受光器３４によって受光された透過光Ｌ１から光学フィルムＳの面内位相差値Ｒ０を算出する位相差Ｒ０算出部１１と、位相差Ｒ０算出部１１で面内位相差値Ｒ０を算出するのに用いた入射光Ｌ１と同じ入射光Ｌ１を用いて光学フィルムＳの厚みデータｄを算出する厚み算出部１２とを備えている。受光器３４は、２つのファイバ部８ａ，８ｂに分岐される光ファイバ８を含んでおり、一方のファイバ部８ａが位相差Ｒ０算出部１１に接続され、他方のファイバ部８ｂが厚み算出部１２に接続されている。 （もっと読む）

【課題】従来の形状測定装置は、被測定物体の幅方向に変位計を複数台設置して凹凸を測定していたので、幅方向の分解能が粗いという問題があった。また、スポット光と光走査装置を用いて、被測定物体の幅方向にこの光スポットを走査し、撮像装置で走査されたスポット光を撮像する方法が提案されていたが、撮像装置の受光信号のレベルが低い、または、測定範囲内の受光レベル差が大きく、安定した測定ができないという問題があった。
【解決手段】被測定物体に垂直でかつ幅方向にスリット状の光を照射するスリット光光源と、スリット光源と反対側に配置される撮像装置と、被測定物体に垂直でかつ搬送方向にスリット状の光を照射するスリット光光源と、スリット光源と反対側に配置される撮像装置と、撮像素子上の結像座標を被測定物体の測定座標に変換する座標変換器と、顕在形状演算器を備えた。 （もっと読む）

【課題】 表面に光沢がある複数の物品をステレオカメラを用いて認識する。
【解決手段】 認識対象の複数の物品からなる物品群を撮像する第１および第２カメラを備えたステレオカメラを制御するカメラ制御部と、物品群を互いに異なる方向から照明する第１ないし第３照明装置を制御する照明制御部と、第１ないし第３照明装置のうちの何れか１つを順次点灯させて、ステレオカメラによってそれぞれ撮像された一対の２次元画像からなる第１ないし第３画像対を取得する撮像処理部と、第１ないし第３画像対に含まれる少なくとも１つの２次元画像から物品をそれぞれ含む領域を抽出する抽出処理部と、領域ごとに、第１ないし第３画像対のうち第１および第２カメラ間の受光量の差が所定値以下である画像対に基づいて物品の３次元画像を生成する３次元化処理部と、３次元画像に基づいて物品を認識して位置・姿勢情報を算出する認識処理部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】凹凸パターンの上部及び下部の寸法を明確に区別して測定する。
【解決手段】基板５上に形成された凹凸パターンを拡大観察する顕微鏡１と、前記顕微鏡１を通して観察される前記凹凸パターンを撮像する撮像カメラ２と、前記顕微鏡１の対物レンズ７の視野外からその視野内に散乱光を照射する照明光学系３と、前記撮像カメラ２の画像を入力して表示部１７の画面１７ａ上に表示し、入力手段１６により入力して前記表示画面１７ａ上に指定された範囲内の前記凹凸パターンの上部及び下部のいずれか一方、又は両方の寸法を測定する制御手段４と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】高精度なウエハステージの移動制御を行う。
【解決手段】ウエハステージの位置を計測するために用いられるスケール３９Ｙ₂に対して検出装置ＰＤＹ₁の照射系６９Ａからの検出ビームを照射し、スケール３９Ｙ₂を介した検出ビームを受光系６９Ｂで検出することにより、スケールの表面状態（異物の存在状態）を検出する。これにより、スケールに対して非接触で表面状態の検出を行うことができる。さらに、この表面状態を考慮することで、ウエハステージの移動制御を高精度に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】帯状体の顕在化形状を、幅方向の分解能を高めて検出可能な形状測定装置を提供する。
【解決手段】被測定物体１の搬送方向に平行な直線と垂直の平面内に配置され、平面内の被測定物体１表面の幅方向へスリット状の光を照射するスリット光光源２と、平面と垂直な平面でかつ被測定物体１の表面に垂直な平面を介してスリット光光源２と反対側に配置され、被測定物体１上のスリット状の光を撮像する撮像装置３とを備えた。また、被測定物体１の幅方向に沿い被測定物体１に外力を印加する外力印加装置１４を設け、潜在形状演算器４０を備えた。 （もっと読む）

【課題】配置の制約が少なく、かつ照度不足および照度ムラが生じにくい投影装置を提供する。
【解決手段】撮像部の撮像対象物に対して光を投影する投影装置２００であって、放射する光の波長帯が互いに異なる赤色ＬＥＤ２４０Ｒ、緑色ＬＥＤ２４０Ｇおよび青色ＬＥＤ２４０Ｂと、撮像対象物の特性に基づき、各ＬＥＤが放射する光の光量を制御する投影制御部２３０と、複数のＬＥＤから放射される光を、同一の光軸上に導くことにより、撮像対象物に対して光を投影するリレー部２５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 タイヤ表面の薄広凸欠陥を高精度に検出することができるタイヤの欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】 ステップＳ１を開始するまでに、予め連続的にスリット光像を含む２次元画像を取得しておく。ステップＳ１では、撮像された複数の２次元画像データから、スリット光像を抽出する。ステップＳ２では、抽出されたスリット光像から偏心によるぶれである偏心成分を除去する。ステップＳ３では、偏心成分を除去した光像に基づいて特徴量を算出し、ステップＳ４で、算出された特徴量に基づいて薄広凸欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】サイズや凹凸が大きい被検物体であっても光干渉計測法により表面形状を検査することが可能な形状検査装置及び形状検査方法を提供する。
【解決手段】形状検査装置１は、ホログラム原器３及び結像手段を備える。ホログラム原器３は、被検物体Ｏの理想形状に対応する再生光を再生する。結像手段は、前記被検物体Ｏに所要の入射角で斜め方向に光Ｌ１を入射する一方、前記ホログラム原器３に光を入射することによって、前記被検物体Ｏに反射した反射光Ｌ３又は前記被検物体Ｏを経由した透過光と前記ホログラム原器３からの前記再生光との干渉光による干渉画像を取得する。 （もっと読む）

【課題】太陽電池ウェハの表面及び裏面の形状のみならず、太陽電池ウェハの厚みを高速に算出する。
【解決手段】光源１２１，１３１は太陽電池ウェハの表面及び裏面に光切断線ＣＬを照射する。カメラ１２２，１３２は太陽電池ウェハが所定距離搬送される都度、測定試料５００の表面及び裏面の光切断線画像を連続撮像する。計測データ算出部１２３，１３３は角光切断線画像から光切断線ＣＬが現れている重心座標を表面計測データ及び裏面計測データとして算出する。高さデータ算出部１４３は、表面計測データ及び裏面計測データから太陽電池ウェハの表面及び裏面の高さデータを算出する。厚みデータ算出部１４６は、太陽電池ウェハの表面及び裏面の高さデータから太陽電池ウェハの厚みデータを求める。 （もっと読む）

【課題】高い回折効率を示し、精度良く位置検出を行える変位検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】台形または矩形のレリーフ形状をした回折格子を用いる。また、可干渉光を出射する光源部と、光源部から出射された光束を二つの光束に分割する光束分割部と、を含み、二つの光束をＰ偏光として回折格子上に照射させる照射光学系と、二つの光束が回折格子により回折されることによって生じる二つの第１回折光をそれぞれ反射し、回折格子上にＰ偏光として再入射させる反射光学系を備える。また、回折格子に再入射した二つの第１回折光が回折されて生じる二つの第２回折光を干渉させる干渉光学系と、干渉光学系により干渉した光を受光する受光部と、受光部において取得した干渉信号に基づいて、回折格子の位置情報を検出する位置検出部を備えるものとする。そして、回折格子のレリーフの周期を、回折格子に入射する可干渉光の波長の１．５倍以下とする。 （もっと読む）

【課題】検査装置の検査情報とレビュー装置で取得した観察情報とを用い、欠陥の高さ、屈折率、材質の情報を取得して欠陥材質・屈折率分析や、微細なパターン形状の三次元解析を行う方法、並びにこれを搭載した欠陥観察装置を提供する。
【解決手段】試料上の欠陥を観察する方法において、光が照射された試料からの反射・散乱光を受光した検出器からの検出信号を処理して検出した検査結果の情報を用いて観察対象の欠陥が存在する位置を走査電子顕微鏡で撮像して画像を取得し、この取得した観察対象の欠陥の像を用いて欠陥のモデルを作成し、作成された欠陥のモデルに対して光を照射したときに欠陥モデルから発生する反射・散乱光を検出器で受光した場合のこの検出器の検出値を算出し、この算出した検出値と実際に試料からの反射・散乱光を受光した検出器の検出値とを比較して観察対象の欠陥の高さ又は材質又は屈折率に関する情報を求めるようにした。 （もっと読む）

【課題】仮組み用ワイヤ残留の検出精度を高める。
【解決手段】ろう付けにより製造された熱交換器１に仮組み用ワイヤ６が残留しているか否かを検出する仮組み用ワイヤ残留検出装置であって、熱交換器１のチューブ２を撮影する撮影手段１３と、撮影手段１３が撮影した画像を処理する画像処理手段１４とを備え、画像処理手段１４は、撮影手段１３が撮影した画像をチューブ２と平行な方向に収縮処理する第１の処理と、撮影手段１３が撮影した画像をチューブ２と直交する方向に収縮処理する第２の処理と、第１の処理を行った画像に対して、チューブ２が分断されているか否かを判定する第１の判定と、第２の処理を行った画像に対して、仮組み用ワイヤ６があるか否かを判定する第２の判定とを行うものである。 （もっと読む）

【課題】貼り合わせた２つの基板層のいずれかに検査光の透過しない部分があっても、貼り合わせ界面に発生し得る微小空洞を検査することのできる基板検査装置を提供することである。
【解決手段】基板１００の表面に対して斜めに入射するように検査光を帯状に照射する光源ユニット３０と、前記検査光により前記基板の表面に形成される帯状照明領域を挟んで光源ユニット３０と逆側の所定位置に配置されるラインセンサカメラ２０とを有し、照明ユニット３０及びラインセンサカメラ２０と基板１００とが相対移動している際にラインセンサカメラ２０から出力される映像信号に基づいて基板画像情報を生成し、基板画像情報に基づいて基板１００の第１基板層１０１と第２基板層１０２との界面に生じ得る微小空洞についての検査結果情報を生成する構成となる。 （もっと読む）

【課題】物体が高速で移動し、物体の大きさによって必要とされる分解能が異なる場合でも、当該物体の形状認識を精度良く行うことができる形状認識方法を提供する。
【解決手段】物体の形状認識方法であって、基準光を物体上の投影領域に投影する基準光投影ステップ（Ｓ１０２）と、基準光が投影された投影領域のうちライン状の領域を撮像する基準光撮像ステップ（Ｓ１０４）と、輝度の傾斜方向に輝度が異なる輝度傾斜量を有する光である輝度傾斜光を投影領域に投影する傾斜光投影ステップ（Ｓ１０６）と、輝度傾斜光の投影方向と異なる撮像方向で、輝度傾斜光が投影された投影領域のうち、輝度傾斜光の輝度の傾斜方向と異なる方向に延びて配置されるライン状の領域を撮像する傾斜光撮像ステップ（Ｓ１０８）と、基準光撮像ステップ（Ｓ１０４）と傾斜光撮像ステップ（Ｓ１０８）での撮像結果を用いて物体の形状を認識する形状認識ステップ（Ｓ１１０）とを含む。 （もっと読む）

【課題】パターンが形成される物体を保持する移動体を安定して位置制御する。
【解決手段】露光装置は、ウエハを保持して所定平面内で移動するウエハステージと、所定平面内でウエハステージとは独立に移動する計測ステージと、計測ステージの位置情報を計測する干渉計システム１１８と、ウエハステージの位置情報を計測する、干渉計システム１１８に比べて計測値の短期安定性が優れるエンコーダシステム（７０Ａ〜７０Ｆ）と、を備えている。このため、露光装置によると、干渉計システム１１８により計測ステージの位置情報が計測され、エンコーダシステム（７０Ａ〜７０Ｆ）によってウエハステージＷＳＴの位置情報が計測される。従って、パターンが形成されるウエハを保持するウエハステージを安定して位置制御することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成にて巻締め検査を精度よく行える金属缶端部の巻締検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】カメラ３２からの取得画像から極座標展開画像１１２を形成し（Ｓ４）、巻締め部３内側側面６１の内側フランジエッジ１２２と（Ｓ５）、外側側面６２の外側フランジエッジ１２４を認識して（Ｓ６）、内側フランジエッジ１２２から外側フランジエッジ１２４までの幅寸法１３１が閾値内にあるか否かを判断する（Ｓ８）。閾値内の場合、内側側面６１の内帯幅１６１の長さ方向での変化量、及び外側側面６２の外帯幅１６２の長さ方向での変化量を検査し（Ｓ９）、これらの変化が大きい場合、巻締不良フラグをセットして（Ｓ１０）終了する一方、変化が小さい場合には、巻締不良フラグをリセットして（Ｓ１１）終了する。 （もっと読む）

【課題】簡易な手法により、人の爪部のような湾曲形状の印刷対象面に対しても高精細な印刷を行うことのできる曲面印刷装置及び印刷制御方法を提供する。
【解決手段】インク噴射方向における印刷部４０との距離が幅方向の中央部では小さな距離Ｌ１で、幅方向の端部に行くほど大きな距離Ｌ２となる湾曲形状をなす爪領域Ｔａを有する爪部Ｔに対して印刷を行うネイルプリント装置１であって、爪領域Ｔａの幅方向の中央部の印刷ピッチＰ１よりも幅方向の両端部の方の印刷ピッチＰ２が印刷部４０による印刷の際の印刷ピッチが細かくなるように対応付けられたピッチ調整基本テーブルに応じて、爪領域Ｔａに印刷すべき画像の元画像データから爪領域画像の幅寸法に対応した印刷用データを生成し、この印刷用データにしたがって爪領域Ｔａに印刷を施す。 （もっと読む）

【課題】能率よく、かつ正確に適切な矯正を行うことができる矯正プレスを提供する。
【解決手段】被矯正プレートＰを載せるベッド５と、ベッド５の上方から被矯正プレートＰを押圧する上型７とを有する矯正プレスであって、被矯正プレートＰの平坦度を測定する平坦度計を備えており、平坦度計が、レーザー光投射器１０とカメラ２０からなり、レーザー光投射器１０は、プレスの一側においてレーザー光を被矯正プレートＰの上面に照射できる位置に配置されており、カメラ２０は、プレスの他側においてレーザー光の照射方向に対し被矯正プレートＰの送り方向においてオフセットした位置に配置されている。レーザー光投射器１０とカメラ２０が１対もしくは２対用いられる矯正プレスは、ベッドとクラウン部をコラムを介して連結した構造であって、前後コラム間のサイドオープニング開口ＳＯは被矯正プレートの幅（Ｗ）に対する比がＳＯ／Ｗ≧0.3が好ましい。 （もっと読む）