【課題】低コストで除染能力の評価を行う。
【解決手段】この模擬試料１０は、母材１１上に、Ｃｏ層１２、酸化鉄層１３が順次積層されて構成される。酸化鉄層１３は、マグネタイト（四酸化三鉄）層１３１、ヘマタイト（三酸化二鉄）層１３２が順次積層されて構成される。Ｃｏ層１２は、放射性同位元素である^６０Ｃｏ等の付着層を模しており、酸化鉄層１３はその上に付着した錆を模している。除染処理をこの模擬試料１０に対して行い、Ｃｏの蛍光Ｘ線がどの箇所からも許容レベル以下となるまで適宜繰り返すことができ、それまでに要した除染処理量あるいはこれに要した時間の総計の長短によって除染能力を評価することができる。 （もっと読む）

【課題】 従来では、高圧噴射攪拌工法により形成された地盤改良体の強度を、施工後短期間のうちに、簡便かつ精度よく推定することができなかった。
【解決手段】 硬化材液が硬化する前に、地盤中を撮影可能なカメラ部１８と地盤改良体から改良土を採取するサンプリング部２１が設けられたビデオサンプリングロッド５を備える注入ロッド１を地盤中に貫入し、カメラ部により撮影された画像を地上のモニター２４に表示し、サンプリング部２１から地盤改良体の改良土を採取し、採取された改良土から強度測定用試料を作製し、作製された強度測定用試料を促進養生し、強度測定用試料の強度を測定し、その強度測定用試料の強度に基づいて地盤改良体の強度を推定する。 （もっと読む）

【課題】冷凍アーティファクツをできるだけ避けることができ、組織試料の取り扱いが容易な、冷凍ミクロトームと組織試料の顕微鏡観察用薄片の製造方法を提供する。
【解決手段】組織試料（６０）の顕微鏡観察用の薄片を製造するための冷凍ミクロトーム（１０）であって、該組織試料を冷凍するための冷却装置（２４、３４、３６、３８、４０、４２、４６、４８、５０、５２）、冷凍した該組織試料を切断する切断装置（２６）、ならびに内部に該切断装置及び、該冷却装置の少なくとも一部、が配置されている作業用区画（２０）を含む。該作業用区画内に配置された該冷却装置の一部に冷却液（７０）を含み、それに該組織試料を挿入して冷凍する。 （もっと読む）

【課題】試料の表面に傷などの影響を与えずに帯電を緩和させ、その表面分析を行えるようにする。
【解決手段】表面分析方法は、非導電性マトリクスに導電性フィラーを含有させた未固化の導電性試料固定材１２を層状に設け、その上に試料１３を、その少なくとも一部分が埋没し且つ表面の一部分が露出するようにセットした後、導電性試料固定材１２を固化させて試料１３を固定し、導電性試料固定材１２に固定した試料１３の露出した表面に分析ビームを照射して表面分析するものである。 （もっと読む）

【課題】円柱状、円筒状、球状の試料をホルダーの所定位置に確実かつ安定的に保持することができるサンプルホルダーを提供することを目的とする。
【解決手段】円筒状のホルダー本体１と、複数の分割部に分割され上記ホルダー本体内に格納された円形ブロック状の治具３とを具備し、かつ上記治具３の上面中央部には断面Ｖ字状の保持凹部３２が形成されていると共に、該治具３の径が上記ホルダー本体１の内径よりも小さく設定されており、上記保持凹部３２に試料を載置すると共に上記治具の各分割部３１を外側に移動させて上記ホルダー本体１内周面に当接させ、この状態で上記試料ｓを治具３の上面に保持するサンプルホルダーを提供する。 （もっと読む）

【課題】簡便な方法により、試料を所望の膜厚に薄片化することができる試料作製方法を提供する。
【解決手段】試料作製方法は、基板１００の表面から所定深さＤ１を有する第１の孔１０２と基板１００の表面から所定深さＤ２を有する第２の孔１０４とを(Ｄ１＞Ｄ２)、基板１００の表面に形成する工程と、裏面側から研磨を実施して、第１の孔１０２を露出させる工程と、さらに第２の孔１０４が露出した時点で研磨を終了する工程と、を含むものである。 （もっと読む）

【課題】マイクロクラックから発生する可能性のあるパーティクルを予め吸い込んでカウントすることにより、厳しい条件での検査を課し、その結果として、最終的にパーティクルの発生のきわめて少ない良品のガラス板を製造することを可能にするパーティクル測定方法を提供する。
【解決手段】ガラス板Ｗの端面Ｗａに樹脂チューブ１０の先端１１を押し当てながらスライドさせることにより、当該ガラス板の端面に摩擦を加えて該端面のパーティクルを擦り取り、その擦り取ったパーティクルを吸引して、パーティクルカウンタ２０でその数を計数する。 （もっと読む）

【課題】
既存のレーザー顕微解剖装置（ＬＭＤ）での使用に適したレーザー照射チャンバーが、ＬＭＤと組み合わせて試料の元素濃度の定量的に場所分解されたナノ局所分析及び分布分析と同じ試料のナノメートルの範囲内の表面のトポグラフィーの顕微鏡による検出との双方を可能にする。オプション的には、試料が当該試料を有するスライドガラスから除去される必要なしに、その他の検査が続く。当該検査のため、試料の分析すべき領域が、ＬＭＤの顕微鏡によって検査される。
【解決手段】
この場合、当該試料は、カバーガラス（スライドガラス）の下面に存在する。同時に、このカバーガラスは、スライドガラスの下で且つＬＭＤの内部に取り付けられたレーザー照射チャンバーの一部である。当該試料の一部が照射されて分析される。オプション的には、組織の、金属が検出された特定の領域が、既存のＬＭＤ装置によってその他の分析のために適切に切除され、レーザー照射後にスライドガラスの下に取り付けられる試料容器内に収集される。
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【課題】 本発明は、既知の方法の欠点である、ミリングによって曝露された面では像が生成されないこと、及び如何なるエンドポイント指定もウエハ表面から生成される像に基づかなければならないことを解決することを目的とする。
【解決手段】 本発明は、FIB鏡筒のみが用いられている装置によって、この問題に対する代替解決策を提供する。
薄片を最終的な厚さ-たとえば30nm-にまでミリングするため、集束イオンビーム100は前記薄片に沿って繰り返し走査される。前記薄片をミリングしている際、前記薄片から信号が得られ、該信号はエンドポイント指定にとって十分であることが分かった。検査用のさらなる電子ビームは必要ない。 （もっと読む）

【課題】ＦＩＢ加工で薄片試料を作製する際に保護膜形成時に穴が形成されず穴からリデポすることを防ぎ、電子顕微鏡にて良好な像を取得することのできる薄片試料作製方法を提供することを課題とする。
【解決手段】集束イオンビーム装置を用い試料から薄片試料を作製する薄片試料作製方法であって、試料の薄片試料作製箇所にインクを塗布し塗膜を形成する工程と、試料を前記集束イオンビーム装置に導入し、金属系材料を用い薄片試料作製箇所にイオンビームにより保護膜を形成する工程と、前記保護膜が形成された薄片試料作製箇所についてイオンビームによるエッチング加工により薄片試料を作製する工程とを順に備えることを特徴とする薄片試料作製方法とした。 （もっと読む）

【課題】薄膜状試料に張力を与えた時に発生するクラックについて、引張り率の変化やさらには温度依存に応じた挙動の詳細な観察を容易かつ簡単にできる薄膜試料観察用治具を提供する。
【解決手段】基板１０の載置面１０ａ上に載置された薄膜状試料４０を固定する試料固定機構２０と、基板１０の載置面１０ａ上に固定された薄膜状試料４０に張力を付与する張力付与機構３０を備え、張力付与機構３０は、張力が付与された薄膜状試料４０を加熱する加熱手段を含んで構成されている。 （もっと読む）

【課題】小型で測定誤差が小さく、高精度な測定を行うことが可能な粒子状物質検出装置を提供する。
【解決手段】一方の端部に貫通孔２が形成された検出装置本体１と、貫通孔２を形成する一方の壁の内側面に配設された一対の計測電極１５，１６と、計測電極１５，１６から延びる一対の計測電極配線１５ｂ，１６ｂと、貫通孔２を形成する壁の内部に埋設された、誘電体で覆われた一対の集塵電極１１，１２と、誘電体を通じて計測電極配線１５ｂ，１６ｂに流れる電流を遮断するためのシールド電極１７と、を備え、貫通孔２内に流入する流体に含有される粒子状物質を一対の電極１１，１２により荷電して貫通孔２の壁面に吸着させ、一対の計測電極１５，１６により貫通孔２を形成する壁の電気的な特性の変化を測定することにより貫通孔２の壁面に吸着された粒子状物質を検出することが可能な粒子状物質検出装置１００。 （もっと読む）

【課題】農薬捕集装置において、上向き面以外に付着した農薬を計測でき、乾燥までの時間を軽減できる農薬捕集装置を提供する。
【解決手段】農薬捕集装置１１は、４本の脚部２１と、この脚部２１によって支持される測定台２２と、農薬を捕集するために６面体状の測定台２２に固定される捕集材２３と、を備える。捕集材２３は、測定台２２の複数の面に貼り付けることができるように構成されている。捕集材２３は吸水性又は速乾性がある素材を用いて構成されている。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハやデバイスチップから所望の特定領域を含む試料片のみをサンプリング（摘出）して、分析／計測装置の試料ステ−ジに、経験や熟練や時間のかかる手作業の試料作り工程を経ることなく、マウント（搭載）する試料作製方法およびその装置を提供すること。
【解決手段】FIB加工と、摘出試料の移送、さらには摘出試料の試料ホルダへの固定技術
を用いる。
【効果】分析や計測用の試料作製に経験や熟練技能工程を排除し、サンプリング箇所の決定から各種装置への装填までの時間が短縮でき、総合的に分析や計測の効率が向上する。 （もっと読む）

【課題】凍結破断法による断面観察試料作製時における損傷や物理的変性を軽減した断面観察試料作製方法を提供することを課題とし、容易かつ簡便に、微小、微量であっても断面作製が可能な固定用冶具を提供することを課題とする。
【解決手段】フィルム状またはシート状の試料を凍結破断法によって破断し断面観察試料を作製するための固定用治具であって、前記フィルム状またはシート状の試料の一方の面と接触させるため基材と、前記試料の両端を基材と固定するための固定具を備え、且つ、前記基材が曲げ可能であることを特徴とする固定用治具とした。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハやデバイスチップから所望の特定領域を含む試料片のみをサンプリング（摘出）して、分析／計測装置の試料ステ−ジに、経験や熟練や時間のかかる手作業の試料作り工程を経ることなく、マウント（搭載）する試料作製方法およびその装置を提供すること。
【解決手段】FIB加工と、摘出試料の移送、さらには摘出試料の試料ホルダへの固定技術
を用いる。
【効果】分析や計測用の試料作製に経験や熟練技能工程を排除し、サンプリング箇所の決定から各種装置への装填までの時間が短縮でき、総合的に分析や計測の効率が向上する。 （もっと読む）

【課題】製作歩留まりがよく長期間にわたって安定して使用でき、バックグラウンドを抑制する、蛍光Ｘ線分析用のドリフト補正試料等を提供する。
【解決手段】本発明のドリフト補正試料１は、蛍光Ｘ線分析装置１０における測定強度の径時変化を補正するための基準となるドリフト補正試料１であって、母材であるポリイミドまたはパリレンに少なくとも１つの分析対象元素が混入され、厚さが０．１ｍｍ未満に製膜される。 （もっと読む）

【課題】大気中における抗原濃度を測定または推測する際に、大気中に含まれる微小物質を効率よく捕集する。
【解決手段】測定器３の開口部に測定用チップ８を挿入すると、測定器３の制御部３１は、測定用チップ８に備えられた吸引ポンプに対向する押圧部を駆動部３４により駆動させる。これにより、吸引ポンプの容量が変動し、吸引口から吸着室へ向かう気流が発生する。この発生した気流に伴って、旋回翼が回転するので、吸着室の内部の気体は旋回する。そして、旋回した気体は吸着室の吸着面にあたった後、排出口から排出される。制御部３１は、吸引ポンプにこの動作を行わせ、所定時間が経過すると吸引ポンプを停止させる。これにより、吸着室の底に備えられた吸着面には、吸引した大気に含まれる粒子が吸着す
る。 （もっと読む）

【課題】本発明は電子顕微鏡の試料コーティング方法に関し、絶縁試料の導電性処理を簡易な構成で行なうことができる電子顕微鏡の試料コーティング方法を提供することを目的としている。
【解決手段】走査型電子顕微鏡１０と集束イオンビーム装置１１との光学系を備え、これら二つの光学系の光軸が試料位置の一点で交わる構造のマルチビーム装置において、マルチビーム装置のチャンバ１にその先端部のプローブ１３の位置が移動可能なマニピュレータ１２を設置し、該設置されたマニピュレータ１２のプローブ先端に蒸着材料保持機構を設け、イオンビームによって加工された絶縁試料の加工断面近傍に前記蒸着材料保持機構を近づけ、該蒸着材料保持機構内の蒸着材料に前記集束イオンビーム装置１１からイオンビームを照射してスパッタリングを行ない絶縁試料の加工断面に該蒸着材料をコーティングさせるように構成する。 （もっと読む）

【課題】微小な特定箇所を劈開して断面を得ることができるミクロ断面加工方法の提供を提供する。
【解決手段】試料表面２ａに、観察対象３が含まれる線状の断面予想位置３Ｌを決定する工程と、断面予想位置に対して、集束イオンビーム２０Ａを垂直または傾斜角を持って照射させ、断面予想位置の前方の位置で断面１０を形成する工程と、断面の両端部に集束イオンビームを照射させ、断面予想位置より後方の位置まで延びる側面切込み１２、１２を形成する工程と、断面予想位置より後方の位置まで延びる底部切込み１４を形成する工程と、側面切込みから断面予想位置に沿って集束イオンビームを照射させ、底部切込みに接続する楔１６，１６を形成する工程と、試料の断面予想位置より前方の部位２ｘに衝撃を加え、楔で挟まれた断面予想位置の近傍を劈開させ、劈開面Ｓを形成する工程とを有するミクロ断面加工方法である。 （もっと読む）