【課題】スピンコーティング法において基板上に形成される塗布膜の膜厚について高い面内均一性が得られる技術を提供すること。
【解決手段】ウエハＷの面内の膜厚分布は、レジスト液の種類及びウエハＷの回転数の推移パターンを含む処理レシピに応じて決まる。そこで、予めＬＥＤ４１の照射を含まない処理レシピを用いてウエハＷにレジスト塗布処理を行い、このウエハＷの面内の膜厚分布を求める。このようにして、ウエハＷの面内の膜厚分布における凹部８を事前に把握しておき、その上で、この膜厚分布における凹部８の位置にＬＥＤ４１を照射してウエハＷ上の当該部位を局所的に加熱する。 （もっと読む）

【課題】区画形成された膜形成区画（配置区画）に向けて吐出され、膜形成区画に着弾した液状体が膜形成区画から溢れることを抑制する液状体吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】液状体吐出方法は、基材上に区画形成された配置区画における着弾領域に向けて、所定のノズルピッチで配列された複数の吐出ノズルから液状体の液滴を吐出させる液状体吐出方法であって、複数の吐出ノズルは、着弾領域の長手方向における中心位置を含むノズルピッチの範囲に向けて液滴を吐出させる第一吐出ノズルを含み、着弾領域に対する単位面積あたりの吐出量は、第一吐出ノズルの方が、他の吐出ノズルよりも少ない。 （もっと読む）

【課題】建築物等において、大理石等の天然石材に類似した模様が形成できる、簡便な塗装方法を提供する。
【解決手段】基材に対し、（１）着色塗料を筋状に塗付して、筋状模様面を形成する工程、（２）当該筋状模様面に対し、少なくとも１種以上の透明着色塗料を粒状に塗付する工程、を行う。基材に対し、少なくとも１種以上の着色粒状物が散在した下塗面を形成した後、前記工程（１）及び工程（２）を行うこともできる。 （もっと読む）

【課題】成形時に延伸される部分において見た目が変化せず、高品質な外観を有する成形体とすることが可能な印刷物の印刷方法を提供する。
【解決手段】型押しによって凸状の凸部が形成されるシート状のワークに塗料を付着させることによって印刷を行う印刷方法であって、前記シート状のワークにおいて、平面視で、前記凸部の輪郭６に対応する重畳格子７と、重畳格子７から輪郭６の外側に向かって、前記凸部の高さ寸法に相当する距離だけ離れた離間位置８との間の補正許可領域９に対する印刷データのうち、印刷の解像度に前記凸部の高さ寸法を乗じて得られる画素数Ａだけ、印刷に用いる前記塗料の量を増やす方向にデータを補正した状態で前記ワークに印刷を行う。 （もっと読む）

【課題】ノズルの液体分配室に混入したエアーを効率的に除去する。
【解決手段】ノズル３の内部には、液体分配室であるマニホールド３ｂと、マニホールド３ｂから吐出口３ａに通じる液体流路３ｃとが形成されている。ノズル３は、互いに対向して配置され、液体流路３ｃ及び吐出口３ａを形成する一対の駒部３１，３２を有している。また、ノズル３は、一対の駒部３１，３２を互いに接近又は離間させる方向に相対的に移動させ、吐出口３ａの開口幅を調整する移動機構を有している。ノズル３には、マニホールド３ｂに接続され、マニホールド３ｂに塗布液を供給する液体供給流路３ｄが形成されている。また、ノズル３には、マニホールド３ｂに接続され、移動機構により吐出口３ａを閉塞させた際に、液体供給流路３ｄを通じてマニホールド３ｂに供給された塗布液によりマニホールド３ｂから余剰分の塗布液と共にエアーを排出する排出流路３ｅが形成されている。 （もっと読む）

【課題】ブロック状凸部の凸面と傾斜面との境界を目立たないようにすることができる塗装建築板を提供する。
【解決手段】周囲に傾斜面１を有するブロック状凸部２を表面に複数設けて形成された建築板３に印刷データ４に基づいてインクジェット印刷して形成された塗装建築板に関する。前記印刷データ４上において前記ブロック状凸部２の凸面５に比べて前記傾斜面１の明度及び輝度が小さい。 （もっと読む）

【課題】塗布処理装置により基板に対して塗布処理を行うにあたり、塗布液を供給するノズルの位置調整を作業員の熟練度によらず正確で且つ迅速に行う。
【解決手段】ウェハに塗布液を供給する塗布液ノズル３３の位置調整を行う方法であって、塗布液ノズル３３を、ウェハが保持されていない状態のスピンチャック２０の中心部の上方に移動させ、その後、スピンチャック２０の中心部に対応する吸引口２０ａ及び塗布液ノズル３３の先端部をＣＣＤカメラ５０、５１により撮像し、撮像された画像において、塗布液ノズル３３の先端部の中心の水平方向の位置とスピンチャック２０の中心部である吸引口２０ａの水平方向の位置とが一致するように塗布液ノズル３３の位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】塗布針を用いて液体材料を塗布する際に、従来よりも長い距離の塗布を可能にする。
【解決手段】塗布機構２５において、液体材料１０を収納する液体容器１１の底部１３には貫通孔１４が形成されている。塗布針１の先端には平坦面３が形成され、塗布針１の先端部には、先端に向かって細くなるテーパ部２が形成されている。塗布針１には、さらに、先端から上方に向かって、テーパ部２の少なくとも一部および平坦面３の各々を分割するように１または複数のスリット溝５が形成されている。塗布対象物２６に液体材料１０を塗布するときに液体材料１０を平坦面３に導くために、塗布針１は、液体容器１１の貫通孔１４を貫通するとともに１または複数のスリット溝５の上端が液体容器１１の底部１３よりも上方に位置するように液体容器１１に対して配置される。 （もっと読む）

【課題】非平坦な基体表面上に液滴を付着させるときの液滴配置誤差を減少させる。
【解決手段】基体の表面プロファイルを、液滴吐出装置の複数のノズルが配列する方向と平行な方向に沿って該基体を測る変位計測器のアレイを用いて、前記基体と前記液滴吐出装置との相対移動の方向に対して垂直な方向であって前記ノズルが配列する方向に沿った複数の位置で同時に、測定する。 （もっと読む）

【課題】 高精度に描画を行う。
【解決手段】 保持対象物を保持するステージと、ステージに保持された保持対象物に向けて液滴を吐出する、第１の吐出ヘッド、及び、第２の吐出ヘッドを備える吐出ヘッドユニットとを有し、ステージは、吐出ヘッドユニットとの間で、相対的に第１の方向に移動可能に保持対象物を保持し、更に、第１及び第２の吐出ヘッドから吐出され、ステージに保持された保持対象物に着弾した液滴を検出する検出器と、検出器による検出結果に基づいて、第１の吐出ヘッドと第２の吐出ヘッドとの間の第１の方向と平行な方向に沿う相対位置関係を把握し、把握した相対位置関係を加味して、ステージに保持された保持対象物と吐出ヘッドユニットとの間の相対的な移動、及び、第１及び第２の吐出ヘッドからの液滴の吐出を制御する制御装置とを含む描画装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】加圧を始めてから液体が供給口から押出されるまでの時間遅れを防止して設定量の液体を正確に塗布でき、耐久性の向上を図ることができる流体供給装置及び液体供給方法を提供する。
【解決手段】液体Ｌの供給口５１が設けられたシリンジ１を備え、シリンジ内に空気圧回路２を介してエアを供給することにより液体Ｌを供給口５１から押出す液体供給装置である。空気圧回路２は、シリンジ１に設定圧のエアを供給する第１エア供給部５と、設定圧のエアよりも高圧のエアを供給する第２エア供給部６とを備える。シリンジ１に所定の設定圧のエアを負荷する通常供給状態と、シリンジ１に前記設定圧よりも高圧エアを負荷する高圧供給状態との切換を行う切換手段４を備え、初期段階において第２エア供給部６による高圧供給状態として、設定圧に達した際に、第１エア供給部５による通常供給状態に切換える。 （もっと読む）

【課題】塗布液の蒸発に起因するダイコータの変形防止と、塗布開始時に発生する面状故障を防止できる塗膜付きフィルムの製造方法、及び塗布装置の提供。
【解決手段】塗布液２４が供給されるマニホールド１４と、マニホールドと連通するスロット１６と、スロットの先端に形成されたリップ面１８とを有するダイコータ１２と、ダイコータ１２から吐出された塗布液２４がリップ面１８から下方の領域に付着しないようにダイコータ１２に取り付けられた、テーパー形状の上端部を有する断熱性の板材４０と減圧チャンバー５０とを備える塗布装置１０を準備する。ダイコータ１２から塗布液２４を吐出させながら、塗布時における塗布装置１０とウエブＷとの所定クリアランスより大となる位置で塗布装置１０を待機させる。塗布装置１０を所定クリアランスとなる位置に移動し、ウエブＷとダイコータ１２との間にビード２４ａを形成し、塗膜２４ｂを形成する。 （もっと読む）

【課題】建築材に対する模様付けにおいて好適な品質を容易に確保できるインクジェット記録方法を提供することを目的とする。
【解決手段】インクジェット記録装置１を用いて建築材７０を模様付けする場合において、吐出されたインク滴の初速が３ｍ／ｓｅｃ〜１６ｍ／ｓｅｃであるインクジェット記録方法であって、搬送工程と、インクジェット記録工程とを含む。搬送工程では、搬送部１０によって複数の建築材７０が順次搬送される。インクジェット記録工程では、搬送部１０の搬送面１２から鉛直方向に離間した位置であって、順次搬送される建築材７０が記録部３０を通過する状態において、搬送面１２を基準とした記録面７２の高さのばらつきを許容できる位置に設置された記録部３０から、インクが吐出される。インクジェット記録工程では、記録面７２に着弾する一滴のインク滴の体積が４５ｐｌ以上のインク滴によって、ドットが形成されて模様付けされる。 （もっと読む）

【課題】曲面を有する各種成形品、立体物をインクジェット塗装により、優れた画質レベルの塗装物が得られる塗装方法を提供する。
【解決手段】活性エネルギー線硬化型インクジェットインクをピエゾ素子により、オリフィス径１０μｍ以上１００μｍ以下、駆動周波数２０００Ｈｚ以上５００００Ｈｚ以下、駆動電圧１０Ｖ以上２００Ｖ以下、インク吐出温度２０℃以上９０℃以下、インク液滴速度５ｍ／ｓｅｃ以上１５ｍ／ｓｅｃ以下の条件で塗装対象物に吐出する工程を含み、インク吐出時はインクジェットヘッドと被塗装部との距離が０．５ｍｍ以上１５ｍｍ以下であることを特徴とする塗装方法。 （もっと読む）

【課題】線パターンの膜厚を幅方向に所望の一定厚に均一化し得る液体描画方法を提供する。
【解決手段】直線状に並んだ複数のノズルを有するインクジェットヘッドを用いて等間隔の線パターン１を描画する。線パターン１の幅方向のエッジ部３や中央部４について、その領域に塗布するノズルを選択し、線パターン１の膜厚が幅方向に一定化するように塗布量を調整して描画する。 （もっと読む）

【課題】塗布された塗布液の膜厚の均一性を改善する。
【解決手段】塗布液を吐出している吐出部を基板に対して相対移動させることによって該基板に塗布液を塗布して塗布膜を形成する塗布装置であって、基板に塗布液を吐出する吐出部と、前記吐出部を前記基板に対して相対移動させる移動機構と、前記吐出部と前記移動機構とを用いて試行的に形成された塗布膜の膜厚情報を取得する取得部と、速度変更部とを備える。そして、前記速度変更部は、前記基板に対して相対移動中の前記吐出部の移動速度を前記膜厚情報に応じて変更する。 （もっと読む）

【課題】塗布された塗布液の膜厚の不均一性を改善し得る技術を提供する。
【解決手段】塗布装置は、塗布液を吐出するノズルと、基板に対して、ノズルを移動させるノズル移動機構と、ノズルに塗布液を供給する塗布液供給部と、塗布液をノズルに供給するためにノズルに接続され、ノズル移動機構によるノズルの移動に追従して変形する接続チューブと、塗布液供給部からノズルに向けて供給される塗布液の流量を測定する流量測定部と、塗布液供給部からノズルに通じる塗布液流路の開度を調節する開度調節部と、流量測定部の測定結果に基づいて、開度調節部を制御する開度調節制御部とを備える。開度調節制御部は、ノズルが移動して、基板の表面に塗布液を吐出する際、開度調節部を、ノズルの停止中に調節した開度を維持するように制御する。 （もっと読む）

【課題】基板表面に対して相対移動するノズルからパターン形成材料を含む塗布液を塗布して、基板上に所定のパターンを形成するパターン形成技術において、パターン幅および端部位置の安定したパターンを形成する。
【解決手段】基板上に塗布液を塗布してライン状パターンを形成するのに際して、本来の始端位置Ｘ1よりも内側の位置Ｘ0から、しかもノズルと基板とのギャップ量をパターン高さよりも小さな値Ｇ0にして塗布液の吐出を開始する。その後、ノズルを基板から離間させながら基板外側に向けて移動させ、パターン始端位置Ｘ1で移動方向を反転させる。終端近傍においても、塗布液の吐出量を低下させながらノズルを基板に近接させてゆき、パターン終端位置Ｘ3においてノズルを離間させるとともに移動方向を反転させる。 （もっと読む）

【課題】モールドの表面を保護する保護膜の形成において、剥離した時に残渣欠陥が生じない保護膜の形成を可能とする。
【解決手段】微細な凹凸パターンＰを表面に有するモールド１０の上記表面を保護する保護膜１６の形成方法において、有機イソシアネートおよび活性水素含有化合物が混合され、有機イソシアネート中のイソシアネート基（ＮＣＯ基）と活性水素含有化合物中の活性水素（Ｈ）とがＮＣＯ／Ｈ＝５．５／１〜２０／１モル比の範囲で反応して得られたイソシアネート基末端プレポリマー（Ａ液）と、芳香族ジアミン、ポリオール及び／又はポリエーテルアミン、並びに硬化触媒が混合されて得られたレジン（Ｂ液）とが混合されて得られた塗料を用意し、凹凸パターンＰがある上記表面に塗料を塗布し、塗布された塗料を乾燥させて、上記表面に保護膜１６を形成する。 （もっと読む）

【課題】吐出部及びその周囲近傍部分の熱可塑性接着剤の堆積を抑える。
【解決手段】熱可塑性接着剤を吐出する吐出部を有し、所定の走行経路を走行する吸収性物品に係る連続シートの片面に、吐出部から熱可塑性接着剤を吐出して塗布する接着剤塗布装置である。前記連続シートと吐出部とを接離方向に相対移動する接離機構と、吐出部からの熱可塑性接着剤の吐出動作を行う吐出機構と、接離機構及び吐出機構を制御するコントローラと、を有する。前記連続シートの走行速度が所定の閾値よりも大きい場合には、吐出部を前記連続シートの前記片面に接触させつつ吐出部から熱可塑性接着剤を吐出するようにコントローラは接離機構及び吐出機構を制御する。前記走行速度が前記閾値以下になった場合には、吐出部からの熱可塑性接着剤の吐出を停止するとともに、当該吐出の停止以降に前記連続シートと吐出部とが離間状態になるように、コントローラは接離機構及び吐出機構を制御する。 （もっと読む）