【課題】
揮発性有機ガス等の有害ガスを含むガスを、プラズマと触媒とを併用して、低温で浄化する方法および装置を提供する。
【解決手段】
触媒微粒子を担持したシートまたは繊維構造体からなるフィルターをプラズマ反応器に装填することにより、低い印加電圧でプラズマの発生が可能となり、触媒微粒子とプラズマとの相乗作用により、有害ガス等を含むガス中の有害ガス等を効率よく分解することを可能とした。具体的には、浄化方法は、触媒微粒子が担持された、シートまたは繊維構造体からなるフィルターが装填され、電圧の印加によりプラズマを発生する低温プラズマ反応層内に、揮発性有機ガス等の有害ガスを含む空気を通過させて、揮発性有機ガス等の有害ガスを分解することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高温ガスの流量及び温度の制御範囲を拡大できるようにする。
【解決手段】高温ガスを生成するためのプラズマガス生成装置であって、内管２の先端に設けられ中心に陰極開口７を有する陰極３と、陰極３の後方に接触配置されて陰極３に電子を供給する浮遊電極４と、内管２と浮遊電極４との間を介して陰極開口７に陰極ガス５を導く陰極ガス流路６と、陰極３及び内管２の外側に設けられ陰極開口７の下流に陽極開口１１を有する陽極８と、内管２と陽極８との間を介して陽極開口１１に陽極ガス９を供給する陽極ガス流路１０と、陽極８の外側に設けた外側部材１２と、外側部材１２と陽極８との間を介して希釈ガス供給装置１３からの希釈ガス１４を供給する希釈ガス流路１５とを有する。 （もっと読む）

【課題】ナノスケール導電性微粒子を長時間にわたって連続的に製造することができる、ナノスケール導電性微粒子の連続製造装置を提供する。
【解決手段】本装置は、導電性の液体を収容した第１の容器１０と、第１の容器に導電性の液体を供給する送液路２０と、第１の容器内の導電性の液体中に配置された導電性材料からなる陰極３０と、導電性の液体中において陰極から所定の距離を隔てて配置された陽極４０と、陰極の近傍にグロー放電プラズマを生じさせる電圧を陰極と陽極との間に印加する電源５０と、液体を収容した１つ又は複数の第２の容器６０と、第１の容器及び１つ又は複数の第２の容器を連通する液体流路７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 二酸化炭素の処理効率が高く、処理コストが低い二酸化炭素分解処理装置及び二酸化炭素分解処理方法を実現する。
【解決手段】 二酸化炭素分解処理装置１は、マイクロ波を伝送する導波管１０と、マイクロ波発振器１１と、マイクロ波のマッチングを行うマッチング部１２と、同軸変換部１３と、を備えている。マッチング部１２の側面には、二酸化炭素を含む被処理ガスを内部に導入するためのガス導入口１２ｂが設けられている。マッチング部１２の内部に導入された被処理ガスは、同軸変換部１３に導入され、同軸変換部１３において励起されたマイクロ波プラズマＰにより二酸化炭素が分解される。 （もっと読む）

【課題】表面にナノレベルの微細構造が形成された導電性材料を低コストで効率的に製造できる方法を提供する。
【解決手段】電解溶液３中に、不溶性陽極電極４と、被処理表面を有する導電性材料からなる、陰極電極５としての被処理材とを浸漬した後、電解溶液３中に浸漬した不溶性陽極電極４と、陰極電極５としての被処理材との間に、第１電圧以上、第２電圧未満の電圧を印加し、被処理表面を改質処理する表面改質処理工程を含み、第１電圧が、表面改質処理系の電圧−電流特性において、正電圧領域に最初に現れる第１電流極大値と、正電圧領域に最初に現れる第１電流極小値との和の１／２の電流値に対応する電圧であり、第２電圧が、完全プラズマ状態を呈する電圧であることを特徴とする表面改質された導電性材料の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】より安定してラジカルを生成することのできるプラズマ発生装置、ラジカル生成方法、それらを用いた洗浄浄化装置および小型電器機器を得る。
【解決手段】プラズマ発生装置１は、気体収容部５に配設された第１電極１２と、少なくとも第１電極１２と対になる側の部分が液体収容部４中の液体１７と接触するように配設した第２電極１３と、を備えている。そして、第１電極１２と第２電極１３との間に放電を発生させることで、液体収容部４中の液体１７内における気体の領域においてプラズマを生成し、液体１７に含まれる水および気体に含まれる酸素からヒドロキシラジカルを生成するようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、プラズマトーチを利用した微粒子の生成に関する技術において、トーチ全体の大きさを小さくでき、エネルギー効率が高く、さらに原料材料を均一に加熱することができる、微粒子生成装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る微粒子生成装置１００は、直流プラズマトーチ５０と、直流プラズマトーチ５０から離隔して対向配置された対向電極１０と、材料気化反応室３５を側面側から囲繞する壁面部１１とを、備える。直流プラズマトーチ５０は、リング状の磁石３と、円筒形状であり、磁石３が円筒の空洞内部に配置され、磁石と所定の距離だけ離隔している移行型プラズマ用電極１と、直流プラズマトーチ５０の略中央部に設けられた原料材料通路部２５とを、備えている。 （もっと読む）

【課題】この発明は、プラズマにおける高温場と反応場周辺の液体による急冷によって、高速にナノ粒子を合成する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】上記の課題を解決するために、本発明に係るナノ粒子製造方法は、ナノ粒子の原料である金属よりなる電極１の先端部１ａを液体中に設置し、電極１の他端側に高周波電源５を接続し、電極１の先端部の断面積よりも広い表面積の対向電極１１を電極１の先端部１ａに対向して設置し、高周波電源５より高周波を電極１に供給することにより液体中にプラズマを発生させてナノ粒子を生成する。 （もっと読む）

【課題】燃料の改質及び難分解性ガスの化学処理を行うための、反応効率が高いプラズマ反応器を提供する。
【解決手段】被処理気体の流入口６３、流入気体が移動しながら熱を吸収する吸熱路６４、ならびに気体の排出口６２とを有する反応炉６１と、前記反応炉の内部にプラズマを形成させるための電極７０と、熱を吸収した前記被処理気体と液状燃料とを混合させる混合チャンバ６７と、混合チャンバで生成される混合燃料が反応炉内に供給される流入ホール６８、とを含んで構成されるプラズマ反応器であって、前記電極は円錐形状を有し、前記流入ホールは電極基部近傍に設置され、流入した混合燃料が電極の外周面に沿って回転流を形成して進行する、プラズマ反応器。 （もっと読む）

【課題】ヒータツールを機械的に研磨することなくヒータツールに付着するフラックスや樹脂などを能率良く除去することができ、先端面の温度分布を変化させることがなく、接合のバラツキを少なくして接合の信頼性を向上させる。
【解決手段】ヒータツール１０の有機汚染物付着面１２に炭酸ガスレーザー２０を照射して有機汚染物を加熱し炭化する第一段階の処理工程と、ii）大気圧プラズマ装置３０がプロセスガスを励起して射出するプラズマを、有機汚染物の付着面１２に導き、炭化した有機汚染物を除去する第二段階の処理工程、とを有する。 （もっと読む）

【目的】放電電極部を処理ガスから保護し、酸化を防止して、寿命を長くする。
【解決手段】電極２２〜２５を電極カバー２２Ｐ〜２５Ｐで覆い、放電開口２２ＨＬ，ＨＲ〜２５ＨＬ，ＨＲ（２２ＨＬ、２５ＨＲは閉塞されている）を設ける。また、放電開口２２ＨＬ，ＨＲ〜２５ＨＬ，ＨＲの上流側で、９０°位相がずれた位置に保護ガス流入口２２Ｑ〜２５Ｑを設ける。保護ガス流入口２２Ｑ〜２５Ｑから流入させられた保護ガスは、放電電極部２２Ｓ〜２５Ｓの周辺を流れて放電空間に流出させられる。放電電極部２２Ｓ〜２５Ｓに保護ガスが供給されるため、放電電極部２２Ｓ〜２５Ｓが処理ガスに接触し難くすることができる。そのため、放電電極部２２Ｓ〜２５Ｓの酸化を抑制し、寿命を長くすることができる。 （もっと読む）

【課題】どのような液体、例えば、水を用いても、所望の物質を合成することのできる物質合成方法及び物質合成装置を提供することである
【解決手段】液体中に気体を溶解させて気体溶存液Ｗｇｄを生成する気体溶存液生成ステップ（１０）と、前記気体溶存液Ｗｇｄ中に前記気体の微細バブルを発生させて前記気体溶存液Ｗｇｄをバブル含有液Ｗｂにするバブル含有液化ステップ（４０）と、前記バブル含有液Ｗｂに高エネルギーを供給して該バブル含有液Ｗｂ中でプラズマを発生させるプラズマ発生ステップ（２０）とを有し、前記バブル含有液Ｗｂ中で発生するプラズマによって少なくとも前記気体の成分を原料とした物質を合成する構成となる。 （もっと読む）

【課題】ＴＣＰ窓を過度に腐食させることなく導電性の反応生成物の堆積を防止する。
【解決手段】誘電結合型プラズマエッチング装置は、チャンバと、チャンバ頂部の開口部を封止するための窓とを備える。窓は、チャンバの内部領域に露出した内面を有する。ファラデーシールドとして機能する金属板は、窓の上方に窓から離れて設置される。コイルは、窓の内面がスパッタリングされるのを最適に低減し、それと実質同時に、窓の内面上にエッチング副産物が堆積されるの防ぐような、ピークトゥピーク電圧を生成するように構成された接続位置において、金属板に導電結合される。別の実施形態において、この装置は、金属板に外部からピークトゥピーク電圧を印加するためのコントローラを備える。コントローラは、発振回路と、整合回路と、ＲＦ電源と、印加されたピークピーク電圧をモニタリングするためのフィードバック制御とを備える。 （もっと読む）

【課題】珪素粒子の欠陥密度を可及的に低減すること。
【解決手段】珪素粒子１を積載する第一の電極２と、水素プラズマの発生領域を挟んで第一の電極２に対向して配設されている第二の電極４と、第一の電極２の温度が第二の電極４の温度よりも高くなるように温度制御して第一の電極２と第二の電極４との間に原料ガスの対流を起こす温度制御手段（ヒーター３、冷却管６）と、を備え、原料ガスの対流によって第一の電極２に積載されている珪素粒子１を水素プラズマ中に浮遊させて水素プラズマに曝露する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、内部電極を用いることなく、ワークの内表面を処理し得るプラズマ表面処理装置およびプラズマ表面処理方法を提供する。
【解決手段】本発明のプラズマ表面処理装置Ｓａは、内表面を持つ長尺筒状体のワークＷＫに対し前記内表面をプラズマによって表面処理する装置であって、ワークＷＫの外雰囲気における第１放電開始電圧よりも低い第２放電開始電圧の気体をワークＷＫ内に供給する供給部１０ａと、前記筒状体の外側から前記筒状体を挟み込むようにワークＷＫの大きさに応じた間隔を空けて互いに対向する一対の第１および第２電極２１、２２を備える電極部２０ａと、ワークＷＫおよび電極部２０ａを相対的に運動させる駆動部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 少なくとも一部に通気性を有する処理対象物の当該通気性部分の内部にまでプラズマ処理を施すことができるとともに、コストを削減することができ、さらには、あらゆる処理対象物に対して様々なプラズマ処理を簡便に行うことが可能なプラズマ処理方法およびプラズマ処理装置ならびにプラズマ処理された処理対象物を提供すること。
【解決手段】 少なくともその一部が通気性を有する処理対象物１の内部にプラズマを透過させることにより所定のプラズマ処理を施すためのプラズマ処理装置２であって、プラズマを生成するプラズマ生成手段３と、前記プラズマを前記処理対象物１の内部に透過させるプラズマ透過手段とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ハニカム構造体に直接水分を補給して、更なるガス処理能力の向上を図る。
【解決手段】ハニカム構造体４−１〜４−４を水分補給のための対象ハニカム構造体とし、ハニカム構造体４−１および４−４のガス流対向面４ｂに細管１４の給水口１４−１および１４−２を接して設け、ハニカム構造体４−２および４−３のガス流対向面４ｂに細管１５の給水口１５−１および１５−２を接して設け、毛細管現象又は送風ファンの負圧現象によりタンク１６，１７内の水分を細管１４，１５を通してハニカム構造体４−１〜４−４に直接補給する。 （もっと読む）

【課題】異常放電の発生を抑えつつ、ガス処理能力の低下を補いながらガス処理を継続し、未処理のガスが残らないようにする。
【解決手段】異常放電検知部１６Ａおよび１６Ｂを設ける。制御部１７は、異常放電検知部１６Ａからガス処理ユニットＧＵ１での異常放電を知らせる検知信号Ｓ１Ａを受けて、ガス処理ユニットＧＵ２での異常放電が発生していないことを確認のうえ、ガス処理ユニットＧＵ１への高電圧Ｖ１の電圧値を下げ、ガス処理ユニットＧＵ２への高電圧Ｖ２の電圧値を上げる。異常放電検知部１６Ｂからガス処理ユニットＧＵ２での異常放電を知らせる検知信号Ｓ１Ｂを受けて、ガス処理ユニットＧＵ１での異常放電が発生していないことを確認のうえ、ガス処理ユニットＧＵ１への高電圧Ｖ１の電圧値を上げ、ガス処理ユニットＧＵ２への高電圧Ｖ２の電圧値を下げる。 （もっと読む）

【課題】高周波や超音波をより効率的に供給でき、生体内や配管内など狭い場所でも使用することができる液中プラズマ発生装置や清掃装置、補修装置、清掃方法、補修方法を提供する。
【解決手段】液中プラズマ発生装置は、延在する同軸ケーブルと、同軸ケーブルの第１端部側の先端にて同軸ケーブルの内導体１２に接続された液中プラズマ用電極３と、第１端部とは反対の第２端部側に接続された高周波供給装置を有し、同軸ケーブルを介して高周波を液中プラズマ用電極３に供給し、液中プラズマ用電極３より液中に電磁波を照射して液中プラズマを発生させる。 （もっと読む）

【課題】隣接するガス処理ユニット間の空間でもプラズマを発生させ、全体のガス処理能力を更に高める。部品点数を削減して製造・組立のコスト・時間を削減する
【解決手段】ガス処理ユニットＧＵ１，ＧＵ２のグランド電極９−１，９−２を一体化し共通電極９とする。ガス処理ユニットＧＵ１，ＧＵ２の高圧電極８−１の印加極性を正、高圧電極８−２の印加極性を負、高圧電極１０−１の印加極性を正、高圧電極１０−２の印加極性を負とする。これにより、対向する高圧電極間に大きな電位差が生じ、隣接するガス処理ユニット間の空間でもプラズマが発生し、ガス処理が行われるようになる。また、ガス処理ユニット間で、グランド電極が一体化（共通化）され、部品点数が削減される。 （もっと読む）