コンタクト機器
【課題】 フレーム１４の交換を伴わず、ハウジング２及びフローティングボード８を交換するのみで、被測定装置、例えば被測定ＩＣの電極の配置ピッチの違いに対応することができるコンタクト機器を提供する。
【解決手段】プローブ４を設けたハウジング２には、フローティングボード８を上側に付勢する付勢手段６を設け、フレーム１４にはフローティングボード８の移動範囲の上側限界点を規定する位置規定手段１８を設け、フローティングボード８をフレーム１４によって上下方向に案内されるようにハウジング２上に設ける。
【効果】 被測定装置の電極配置ピッチの違いに対しては、フレーム１４を交換する必要はなく、単に、ハウジング２と、その上に配置されるフローティングボード８を交換することを以て対応することができる。
【解決手段】プローブ４を設けたハウジング２には、フローティングボード８を上側に付勢する付勢手段６を設け、フレーム１４にはフローティングボード８の移動範囲の上側限界点を規定する位置規定手段１８を設け、フローティングボード８をフレーム１４によって上下方向に案内されるようにハウジング２上に設ける。
【効果】 被測定装置の電極配置ピッチの違いに対しては、フレーム１４を交換する必要はなく、単に、ハウジング２と、その上に配置されるフローティングボード８を交換することを以て対応することができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定体の各電極と測定回路の各端子との間を電気的に接続するところの、一端が被測定体の電極に弾接（弾力を介して接触）し、他端が測定回路側のコードの電線等に弾接（弾力を介して接触）するコンタクトプローブを用いたコンタクト機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ、トランジスタその他の電子部品を用いた電子回路は、各種の装置、機器類に非常に多く用いられており、その用途は拡大の一途を辿っているが、これらの電子回路は片面或いは両面に配線膜が印刷されたプリント基板を用いて構成されるのが普通であり、該プリント基板にＩＣ、ＬＳＩ、トランジスタその他の各種電子部品を搭載し、必要な半田付けを行うことにより電子回路が構成されるようになっている。
【０００３】
そして、電子回路を用いた装置、機器類はその多くが小型化、高機能化、高性能化が要求され、それに伴って電子回路の回路構成が複雑化、高集積化を要求されている。従って、プリント基板の配線も微細化、高集積化の傾向があり、その結果、そのＩＣ、ＬＳＩ等、或いはそれらを用いた電子回路を搭載するプリント基板等の検査のための測定が難しくなる。というのは、ＩＣ、ＬＳＩ等の高集積化、配線の微細化、高集積化により測定用コンタクトプローブの配設密度、配置位置の精度を高くすることが必要であるからである。それでいて、検査の重要性は高まる一方である。というのは、配線の微細化、高集積化が進むほど、ショート不良その他の不良の発生率が高くなるからである。
【０００４】
そして、その検査には、測定回路を備えたテスターが用いられ、その測定回路へのプリント基板の各配線膜、電極等の電気的導出にはコンタクト機器が用いられる。このコンタクト機器はプレートに多数のコンタクトプローブを備え、各プローブの一端をプリント基板の各配線膜等の測定回路に電気的に接続すべき部分に接触させ、他端を測定回路に接続されたコードの先端に接触させるようになっているものが多い。これに関しては、本願出願人会社は特願平７−６１７２８、特願平８−１８３４４９、特願平１０−６６３３３等により各種提案を行っている。
【０００５】
そして、コンタクト機器として、従来、図４及び図５（Ａ）、（Ｂ）に示すものが多く用いられた。図４はコンタクト機器全体の斜視図、図５（Ａ）はフレーム及びそれに吊下状に取付けられたフローティングボードを斜め下側から視た斜視図、同じく（Ｂ）はハウジングを斜め上側から視た斜視図である。図において、ａはハウジングで、多数のプローブ収納孔ｂ、ｂ、・・・が形成され、各プローブ収納孔ｂ、ｂ、・・・にはプローブｃ、ｃ、・・・が収納されている。
各プローブｃ、ｃ、・・・は、一対の端子とその間に介在するスプリングからなり、上下両端を押さえられるとそのスプリングの弾力に抗して縮んでそれに反発する方向の力をそのスプリングが蓄えるようにされており、それぞれ両端部がハウジングａの主表面から適宜突出し、抜け止めされた状態でプローブ収納孔ｂ、ｂ、・・・に収納されている。
【０００６】
ｄはフローティングボードで、後述するフレーム（ｇ）の下部に吊下げ状に取付けられている。該フローティングボードｄは上記プローブ収納孔ｂ、ｂ、・・・の全部又は一部と対応する位置にプローブ上部挿通孔ｅ、ｅ、・・・が形成されている。ｆ、ｆはフローティングボードｄの両辺の中央部に一体に形成された被取付片であり、後述するフレーム（ｇ）には該被取付片ｆ、ｆにて吊下げられる。
【０００７】
ｇはフレームで、矩形枠状を有し、被測定装置を収納する大きさを有し、一対の相対向する辺の下面には、上記被取付片ｆ、ｆが嵌るフローティングボード取付溝ｈ、ｈが形成されている。この溝ｈ、ｈは、フローティングボードｄ（の被取付片ｆ、ｆ）の厚さよりも稍深くされている。
該フローティングボードｄは、被取付片ｆ、ｆがフローティングボード取付溝ｈ、ｈに遊嵌された状態で、上下動可能で且つ上側に付勢された状態でフレームｇに吊下げ状に保持されており、ｉ、ｉは吊下げ用ピンである。
上記ハウジングａは上記フレームｇの下面に着脱可能（分解可能）に、例えばねじ止めにより、固定されている。
【０００８】
ｊ、ｊは上記フレームｇの一辺の両端部に形成された軸保持片で、該軸保持片j、jにより蓋保持軸ｋが保持されている。
ｌは蓋で、中央部に押さえ（プッシャー）ｍが設けられている。ｎ、ｎは蓋ｌの一辺に設けられた軸遊挿片で、軸遊挿孔を有し、該軸遊挿孔に上記蓋保持軸ｋが遊挿されることにより上記軸保持片ｊ、ｊより内側にてフレームｇに回動自在に保持されている。
ｏは上記蓋保持軸ｋに外嵌されたねじりコイルスプリングで、蓋ｌをフレームｇに対して開く方向に付勢する。
【０００９】
ｐは上記蓋ｌの軸遊挿片ｎ、ｎが形成された側の辺に回動自在に取付けられた断面形状Ｌ字状のロック片で、これの一辺の係合爪ｑが上記フレームｇ底辺の係合部に係合することによりフレームｇに対して蓋ｌを閉じた状態を保つようになっている。そして、ロック片ｐは係合爪ｑに係合したときその係合状態を保つ方向に図面に現れないねじりコイルスプリングにより付勢されている。
押さえ（プッシャー）ｍは上記蓋ｌの中央部に形成された図面に現れない孔に案内されて上下方向（蓋ｌに対して垂直方向）に移動可能なるように嵌合されている。
【００１０】
押さえ（プッシャー）ｍには図面に現れない雌ねじ穴が形成されている。ｓは押さえ操作部で、下部が柱状でその周面に上記雌ねじ穴に嵌合する雄ねじが形成されており、上部はその柱状部の軸と直交する操作片となっており、その操作片を回動することにより押さえｍを上下方向に移動することができる。蓋ｌの上面にはストッパーが突出形成され、該ストッパーに上記操作片が係合して該操作片の回動範囲が略１８０°（度）に規定され、延いては、押さえｍの上下動範囲が一定値に規定される。
【００１１】
このようなコンタクト機器は、蓋ｌを開いた状態で、フレームｇ内のフローティングボードｄ上に、下面に電極を配置した被測定装置、例えばＩＣ（半導体集積回路装置）を載置する。すると、そのＩＣの各電極は、上記フローティングボードｄの各プローブ上部挿通孔上に位置する。
次いで、蓋ｌを閉め、そのロック片ｐのロック爪ｑをフレームｇの底辺の係合部に係合し、閉めた状態を保持する。
その後、上記操作部ｓの操作片ｔを指で操作して時計回り方向に操作すると約１８０°回動し、それに応じた量押さえｍが下側に移動し、被測定ＩＣを下側に押さえる。
【００１２】
すると、フローティングボードｄは下側に押され、ハウジングａのプローブ収納孔ｂに収納された各プローブｃ、ｃ、・・・の上部がフローティングボードｄのプローブ上部挿通孔ｅ、ｅ、・・・内を遊挿されてそれより上に突出して被測定ＩＣの電極に弾接する。これにより、被測定ＩＣの各電極がコンタクト機器自身により他（例えばテスター回路）の各電極に接続された状態になる。
【特許文献１】特開平０８−２３６１８０号公報（特願平７−６１７２８）
【特許文献２】特開平１０−２６６４８号公報（特願平８−１８３４４９）
【特許文献３】特開平１１−２５８３１１号公報（特願平１０−６６３３３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ところで、上述したコンタクト機器には、第１に、被測定装置（例えば被測定ＩＣ）の電極の配置ピッチが異なると、それに応じて、フローティングボードｄを吊下げ状に保持するフレームｇと、ハウジングａの両方を交換しなければならないという問題があった。
この問題について詳細に説明すると、被測定装置の電極の配置ピッチには何通りかあり、その異なる配置ピッチに対応するには、フローティングボードｄが取付けられたフレームｇとハウジングａとの両方について対応すべき配置ピッチの種類数ずつ用意して交換しなければならない。
【００１４】
そして、フローティングボードｄが取下げられたフレームｇ及びハウジングａの両方を電極配置ピッチの異なる種類毎に用意することは、各部材がそれぞれ高精密加工技術の粋（すい）を集めて製造されるものであるから、非常に高価になり、これを用意することは測定業者等にとっては無視できない負担になる。これが従来の無視できない問題の一つであった。
また、従来の技術には、被測定ＩＣを、その各電極が同じ圧力でプローブｃ、ｃ、・・・と接するように押圧することが難しく、正常な測定が難しくなる場合があった。
【００１５】
また、従来のコンタクト機器は、一度に１個の被測定装置、例えばＩＣしか測定できず、測定効率を高めることが難しいという問題があった。
【００１６】
本発明は、このような各種問題を解決すべく為されたものであり、第１に、フレームの交換を伴わず、ハウジング及びフローティングボードを交換するのみで、被測定装置、例えば被測定ＩＣの電極の配置ピッチの違いに対応することができるコンタクト機器を提供することを目的とし、第２に、蓋に取付けられた押さえによる被測定装置にかける圧力分布を調整して各電極とそれに接するプローブとの圧力をより均一にして良好な測定ができるようにすることを目的とし、第３に、測定効率を高めることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
請求項１のコンタクト機器は、被測定装置が納まるフレームと、複数のプローブ収納孔が配設され、該各プローブ収納孔にプローブが収納され、上記フレームの下部に着脱可能に取付けられたハウジングと、該ハウジング上に、上記フレーム内にて上下動可能になるように配置され、上記プローブ収納孔と対応するプローブ上部遊挿孔を有するフローティングボードと、 上記フレームに、ヒンジ機構を介して回動可能に取付けられ、上記フレームに納められた被測定装置を上側から押さえて該被測定装置の下面の各電極を上記フローティングボードの各プローブ上部挿通孔を通って該上部挿通孔から突出した状態になった各プローブの上部と接触させる押さえを有した蓋部と、を有し、上記ハウジングには、上記フローティングボードを上側に付勢する付勢手段を設け、上記フレームには、上記フローティングボードの移動範囲の上側限界点を規定する位置規定手段を設けてなることを特徴とする。
【００１８】
請求項２のコンタクト機器は、請求項１のコンタクト機器において、前記フレームは被測定装置が複数個納まる大きさを有し、前記ハウジングは、配設されたプローブ収納孔の数が前記複数個分の被測定装置の電極数以上であり、前記フローティングボードは、前記プローブ収納孔の数以上のプローブ上部挿通孔を有し、複数個の被測定装置単位で測定が為し得るようにされたことを特徴とする。
【００１９】
請求項３のコンタクト機器は、複数のプローブ収納孔が配設され、該各プローブ収納孔にプローブがその両端が両主面から突出する状態で収納され、上記フレームの下部に着脱可能に取付けられたハウジングと、該ハウジングに、ヒンジ機構を介して回動可能に取付けられ、上記フレームに納められた被測定装置を上側から押さえて該被測定装置の下面の各電極を上記ハウジングの各プローブ挿通孔から上に突出する各プローブの上部と接触させる押さえを有した蓋部と、を有するコンタクト機器であって、上記押さえは蓋部に、複数箇所にて高さ微調整可能な調整ねじにより固定されてなることを特徴とする。
請求項４のコンタクト機器は、請求項３のコンタクト機器において、前記ハウジングは、プローブ収納孔が複数個の被測定装置分配設され、複数個の被測定装置単位で測定が為し得るようにされたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１のコンタクト機器によれば、被測定装置の電極配置ピッチの違いに対しては、フレームを交換する必要はなく、単に、ハウジングと、該ハウジング上に配置されるフローティングボードを交換すれば、対応することができ、被測定装置の電極配置ピッチの違いに対応するに必要な準備すべき部材の数を従来よりも減らすことができ、延いては設備費を低減することができる。
【００２１】
請求項２のコンタクト機器によれば、一度に複数個の被測定装置を測定することができる。従って、測定効率を高めることができる。
請求項３のコンタクト機器によれば、複数箇所の高さ微調整可能な調整ねじをそれぞれ独立して調整することができ、延いては、押さえの向きを微調整することができる。
従って、押さえの向きを微調整することができ、延いては、被測定ＩＣの各電極のプローブに対する圧力を均一化することができる。依って、良好な測定ができる。
請求項４のコンタクト機器によれば、一度に複数個の被測定装置を測定することができる。従って、測定効率を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明コンタクト機器の第１のものは、基本的に、フレームと、該フレームに着脱可能に取付られたハウジングと、該ハウジング上のフローティングボードと、上記フレームに回動自在に取付けられた蓋部とからなり、該フレームは被測定装置が収納され得るようにされ、上記ハウジングは、プローブを収納するプローブ収納孔を有し、上記フローティングボードはプローブ上部遊挿孔を有し、上記ハウジングと上記フレームとの間に上側に付勢され上下動可能な状態で保持されている。
【００２３】
そして、本発明コンタクト機器の第１のものにおいて、フレームは被測定装置が複数個納まる大きさを有し、前記ハウジングは、配設されたプローブ収納孔の数が前記複数個分の被測定装置の電極数以上であり、前記フローティングボードは、前記プローブ収納孔の数以上のプローブ上部挿通孔を有し、複数個の被測定装置単位で測定が為し得るようにしても良い。
【００２４】
また、本発明の第２のものは、複数箇所の高さ微調整可能な調整ねじをそれぞれ独立して調整することができるようにする。
【実施例１】
【００２５】
以下、本発明を図示実施例に従って詳細に説明する。図１は本発明コンタクト機器の第１の実施例を示す分解斜視図である。２はハウジングで、複数個のプローブ収納孔が配設され、各プローブ収納孔にはプローブ４、４、・・・が抜け止めされて収納されており、その上部及び下部は該ハウジング２の上面及び下面から突出せしめられている。
６、６、６、６は上記ハウジング２上面の上記プローブ４、４、・・・が配設された領域の外側に配設された弾縮ピンで、上側に付勢された状態で取付けられており、次に述べるフローティングボード８を付勢して保持する。
【００２６】
上記フローティングボード８は、中央部の矩形領域が他の部分より肉薄に形成され、その矩形領域内に上記プローブ４、４、・・・と対応してプローブ上部挿通孔１０、１０、・・・が形成されている。破線で示す６ａ、６ａ、６ａ、６ａは該フローティングボード８の上記弾縮ピン６、６、６、６が当たる位置を示す。
１２、１２、１２、１２は該フローティングボード８上面の周縁に設けられた凹溝で、後述するフレーム（１４）のストッパー（１８）が当たる。
【００２７】
１４はフレームで、矩形枠状を有し、上記フローティングボード８を案内してその上下動を許容する大きさを有する。
該フレーム１４は、外側面から延びて内側面に開口するストッパー保持ねじ孔１６、１６、１６、１６が形成され、該ストッパー保持ねじ孔１６、１６、１６、１６には、ねじらなるストッパー１８、１８、１８、１８が外側から螺合され、その先端は矩形枠状フレーム１４の内側面から内側に突出され、その突出した先端部は上記フローティングボード８の凹溝１２、１２、１２、１２と当接することにより該フローティングボード８の上下動範囲の上側限界点を規定する。
【００２８】
該フレーム１４の下面には、上記ハウジング２が、該フレーム１４に上記フローティングボード８が案内されて上下動可能な状態で例えばねじ止め等により分解可能に固定されている。そして、上記フローティングボード８は上記弾縮ピン６、６、６、６により上側に付勢されてその凹溝１２、１２、１２、１２が上記ストッパー１８、１８、１８、１８に当たる位置、即ち上下動範囲の上側限界点に位置した状態を保つ。
【００２９】
２０、２０は上記フレームｇの一辺の両端部に形成された軸保持片で、該軸保持片２０、２０により蓋保持軸２１が保持されている。
２２は蓋部で、中央部に押さえ（プッシャー）２４が設けられている。２６、２６は蓋部２２の一辺に設けられた軸遊挿片で、軸遊挿孔を有し、該軸遊挿孔に上記蓋保持軸２１が遊挿されることにより上記軸保持片２０、２０より内側にてフレームｇに回動自在に保持されている。
２７は上記蓋保持軸２１に外嵌されたねじりコイルスプリングで、蓋部２２をフレーム１４に対して開く方向に付勢する。
【００３０】
３０は上記蓋部２２の軸遊挿片２６、２６が形成された側の辺に回動自在に取付けられた断面形状Ｌ字状のロック片で、これの一辺の係合爪３２が上記フレーム１４底辺の係合部に係合することによりフレーム１４に対して蓋部２２を閉じた状態を保つようになっている。そして、ロック片３０は係合爪３２に係合したときその係合状態を保つ方向に図面に現れないねじりコイルスプリングにより付勢されている。
押さえ（プッシャー）２４は上記蓋部２２の中央部に形成された図面に現れない孔に、該孔に案内されて上下方向（蓋部２２に対して垂直方向）に移動可能なるように嵌合されている。
【００３１】
上記蓋部２２の略中央部には図面に現れない雌ねじ穴が形成されている。３４は押さえ操作部で、下部が柱状でその周面に上記雌ねじ穴に嵌合する雄ねじが形成されており、上部はその柱状部の軸と直交する操作片３６となっており、その操作片３６を回動することにより押さえ２４を上下方向に移動することができる。蓋部２２の上面には図面に現れないストッパーが突出形成され、該ストッパーに上記操作片３４が係合して該操作片の回動範囲が略１８０°（度）に規定され、延いては、押さえ２４の上下動範囲が一定値に規定される。
【００３２】
このようなコンタクト機器は、蓋部２２を開いた状態で、フレーム１４により上下方向に案内され、上下動範囲の上側限界点に位置するフローティングボード８上に、下面に電極を配置した被測定装置、例えばＩＣ（半導体集積回路装置）を載置する。すると、そのＩＣの各電極は、上記フローティングボード８の各プローブ上部挿通孔１０、１０、・・・上に位置する。
次いで、蓋部２２を閉め、そのロック片３０のロック爪３２をフレーム１４の底辺の係合部に係合し、閉めた状態を保持する。
その後、上記操作部３４の操作片２８を指で操作して時計回り方向に操作すると約１８０°回動し、それに応じた量押さえ２４が下側に移動し、被測定ＩＣを下側に押さえる。
【００３３】
すると、フローティングボード８は下側に押され、ハウジング２のプローブ収納孔に収納された各プローブ４、４、・・・の上部がフローティングボード８のプローブ上部挿通孔１０、１０、・・・内を遊挿されてそれより上に突出して被測定ＩＣの電極に弾接する。これにより、被測定ＩＣの各電極がコンタクト機器自身により他（例えばテスター回路）の各電極に接続された状態になる。
【００３４】
このコンタクト機器においては、電極配置ピッチの異なる被測定装置を測定するときは、フローティングボード８とハウジング２のみを交換すればよい。即ち、電極配置ピッチの違いに対しては、フレーム１４を交換する必要はなく、単に、ハウジング２と、該ハウジング２上に配置されるフローティングボード８を交換すれば、対応することができ、被測定装置の電極配置ピッチの違いに対応するに必要な準備すべき部材の数を従来よりも減らすことができ、延いては設備費を低減することができる。
【実施例２】
【００３５】
図２（Ａ）、（Ｂ）は本発明コンタクト機器の第２の実施例を示すもので、（Ａ）はコンタクト機器の断面図、（Ｂ）は蓋部の分解斜視図である。
図面において、５０はハウジング兼用フレームで、被測定ＩＣ５１を受ける凹部５２を有し、凹部５２の内底面に当たる領域には、プローブ５６、５６、・・・が保持され、各プローブ５６の上下両端は上下両面から突出せしめられている。該各プローブ５６、５６、・・・は図面では、単に恰も一つの針であるかのように図示したが、実際には、一対のプローブ素子とその間に介在するスプリングからなり、プローブ収納孔内に抜け止めされて収納されている。
【００３６】
５８、５８はハウジング兼用フレーム５０の一辺に形成された一対の蓋部支持片（図面には一方の蓋部支持片５８のみ現れる。）で、一対の蓋部支持片５８、５８間には蓋部保持軸６０が保持されている。
６２は蓋部であり、中央部下面に押さえ６４が納まる２段構造の凹部６５が形成されている。
６６、６６、６６、６６は蓋部６２に形成されたねじ孔で、蓋部６２上面から延びて上記凹部６６内底面に開口するように形成されている。７０は蓋部６２の一端部に設けられた被保持片、７２は該被保持片７０に形成された軸嵌合孔で、これには上記蓋部保持軸６０が、その両端部が蓋部６２側面から突出するように嵌合されている。
【００３７】
そして、上述したように、その蓋部保持軸６０の蓋部６２側面から突出した部分が上記蓋部支持片５８、５８に固定されている。従って、蓋部６２はハウジング兼用フレーム５０の一辺に回動可能に保持された状態になる。更に、蓋部６２は図面に現れないねじりコイルスプリングにより常に開く方向に付勢されている。
７４はロック片で、蓋部６２の上記被保持片７０が設けられた辺と反対側の辺にて軸７６により回動自在に取付けられている。７８は該ロック片７４の係合爪で、上記ハウジング兼用フレーム５０の係合溝８０に係合することにより蓋部６２でハウジング兼用フレーム５０の上側を塞いだ状態を保つことができる。尚、ロック片７４は図面に現れないねじりコイルスプリングによりロック状態を保つ方向に付勢されている。
【００３８】
上記押さえ６４は上下方向に長い断面形状の軸挿孔８２、８２が形成されている。
８４、８４は上記ハウジング兼用フレーム５０に形成された押さえ保持ねじ孔で、これには押さえ保持ねじ８６がねじ込まれ、そして、該押さえ保持ねじ８６が上記押さえ６４の軸挿孔８２、８２に挿通されている。それにより、押さえ６４は蓋部６２の下部に上下動可能に保持された状態になる。
８８、８８、８８、８８は該押さえ６４の上面に、上記ねじ挿通孔６６、６６、６６、６６に対応して形成されたねじ穴である。
【００３９】
９０、９０、９０、９０は調整用ねじで、上記ねじ挿通孔６６、６６、６６、６６に挿通され、その先端部が上記ねじ穴８８、８８、８８、８８に螺合し、その各調整用ねじ９０、９０、９０、９０の螺合量の調整により押さえ６４の向きを調整することができる。
【００４０】
このようなコンタクト機器は次のように使用する。蓋部６２を開いた状態で、先ず、上記ハウジング兼用フレーム５０の凹部５２上に被測定ＩＣ５１を置く。すると、被測定ＩＣ５１下面の各電極は、自己と対応するところのハウジング兼用フレーム５０の各プローブ５６、５６、・・・上に位置せしめられる。
そして、蓋部６２を図面に現れないねじりコイルスプリングのばね力に抗して閉じ、更に、ロック片７４の上記係合爪７８を係合溝部８０に係合させてその蓋部６２を閉じた状態を保つ。
【００４１】
その状態で、測定を開始する。ところで、もし、被測定ＩＣ５１の向きが悪く各電極のプローブに対する弾力が一定ではないときは、測定ができない。具体的には、測定値が予測値と全く異なる値になり、測定結果と認識できない値になる。
そこで、各調整用ねじ９０、９０、９０、９０のねじ穴８８、８８、８８、８８に対するねじ込み量を調整すると被測定ＩＣ５１の向きが正常になりうる。そして、正常になると、各電極のプローブに対する弾力が一定になり、延いては測定が可能な状態になる。即ち、測定値が予想範囲内の値になり、その結果を以て測定結果とする。
【００４２】
このようなコンタクト機器によれば、複数箇所の高さ微調整可能な調整ねじ９０、９０、９０、９０をそれぞれ独立して調整することができ、延いては、押さえ６４の向きを微調整することができる。
従って、押さえ６４の向きを微調整することができ、延いては、被測定ＩＣ５１の各電極のプローブ５６、５６、・・・に対する圧力を均一化することができる。依って、良好な測定ができる。
【実施例３】
【００４３】
図３は本発明コンタクト機器の第３の実施例の要部を示すところの被測定ＩＣ、フレーム、フローティングボード及びハウジングの分解斜視図である。
１００、１００、１００及び１００は同時に測定される被測定ＩＣであり、本実施例のコンタクト機器は４個の被測定ＩＣを同時に測定できるようになっている。
１０２はフレームで、４個のＩＣ１００、１００、１００及び１００を同時に測定することができる大きさを有する。１０４はフローティングボードで、４個のＩＣ１００、１００、１００及び１００を測定できるプローブ上部挿通孔１０６、１０６、・・・が形成されている。該フローティングボード１０４はフレーム１０２に吊下げ状に取付けられている。
【００４４】
１０８はハウジングで、４個のＩＣ１００、１００、１００及び１００の測定が可能な数のプローブ１１０、１１０、・・・が保持されている。
このように、本コンタクト機器は、複数個の被測定ＩＣ１００、１００、１００及び１００を同時に測定できるようにするものである。
本コンタクト機器によれば、一度に複数個の被測定装置を測定することができる。従って、測定効率を高めることができる。
【００４５】
尚、このように、複数個の被測定ＩＣを同時に測定することができるようにすることは、先ず、第１の実施例、第２の実施例に適用できる。第１の実施例に適用する場合には、フレーム１４が被測定装置が複数個納まる大きさを有し、ハウジング２も複数の被測定装置分相応の大きさを有し、プローブ収納孔の数が前記複数個分の被測定装置の電極数以上であり、前記フローティングボードも、複数の被測定装置分相応の大きさを有し、前記プローブ収納孔の数以上のプローブ上部挿通孔を有するようにすることによって実現できる。
また、第２の実施例に適用する場合には、フレーム（ハウジング兼用フレーム）として複数個の被測定装置分の大きさを有し、プローブ収納孔が複数個の被測定装置分配設されたものを用いることによって為し得る。
また、この複数個の被測定装置を一度に測定する技術は第１、第２の実施例以外のタイプのコンタクト機器にも適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明は、被測定体の各電極と測定回路の各端子との間を電気的に接続するところの、一端が被測定体の電極に弾接（弾力を介して接触）し、他端が測定回路側のコードの電線等に弾接（弾力を介して接触）するコンタクトプローブを用いたコンタクト機器に一般的に広く利用可能性がある。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明コンタクト機器の第１の実施例を示す分解斜視図である。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）は本発明コンタクト機器の第２の実施例を示すもので、（Ａ）はコンタクト機器の断面図、（Ｂ）は蓋部の分解斜視図である。
【図３】本発明コンタクト機器の第３の実施例を示す被測定ＩＣ、フレーム、フローティングボード及びハウジングを示す分解斜視図である。
【図４】本発明の背景技術に係る一つのコンタクト機器の全体の斜視図である。
【図５】上記背景技術に係る上記一つのコンタクト機器を示すもので、（Ａ）はフレーム及びそれに吊下状に取付けられたフローティングボードを斜め下側から視た斜視図、（Ｂ）はハウジングを斜め上側から視た斜視図である。
【符号の説明】
【００４８】
２・・・ハウジング、４・・・プローブ、
６・・・フローティングボードを付勢する手段、８・・・フローティングボード、
１４・・・フレーム、１６、１８・・・位置規定手段、
２０、２１、２６、２７・・・ヒンジ機構、２２・・・蓋部、２４・・・押さえ、５０・・・ハウジング兼用フレーム、５１・・・被測定装置（被測定ＩＣ）、
６２・・・蓋部、６４・・・押さえ、６６・・・調整ねじ、
１００・・・被測定装置（被測定ＩＣ）。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被測定体の各電極と測定回路の各端子との間を電気的に接続するところの、一端が被測定体の電極に弾接（弾力を介して接触）し、他端が測定回路側のコードの電線等に弾接（弾力を介して接触）するコンタクトプローブを用いたコンタクト機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣ、ＬＳＩ、トランジスタその他の電子部品を用いた電子回路は、各種の装置、機器類に非常に多く用いられており、その用途は拡大の一途を辿っているが、これらの電子回路は片面或いは両面に配線膜が印刷されたプリント基板を用いて構成されるのが普通であり、該プリント基板にＩＣ、ＬＳＩ、トランジスタその他の各種電子部品を搭載し、必要な半田付けを行うことにより電子回路が構成されるようになっている。
【０００３】
そして、電子回路を用いた装置、機器類はその多くが小型化、高機能化、高性能化が要求され、それに伴って電子回路の回路構成が複雑化、高集積化を要求されている。従って、プリント基板の配線も微細化、高集積化の傾向があり、その結果、そのＩＣ、ＬＳＩ等、或いはそれらを用いた電子回路を搭載するプリント基板等の検査のための測定が難しくなる。というのは、ＩＣ、ＬＳＩ等の高集積化、配線の微細化、高集積化により測定用コンタクトプローブの配設密度、配置位置の精度を高くすることが必要であるからである。それでいて、検査の重要性は高まる一方である。というのは、配線の微細化、高集積化が進むほど、ショート不良その他の不良の発生率が高くなるからである。
【０００４】
そして、その検査には、測定回路を備えたテスターが用いられ、その測定回路へのプリント基板の各配線膜、電極等の電気的導出にはコンタクト機器が用いられる。このコンタクト機器はプレートに多数のコンタクトプローブを備え、各プローブの一端をプリント基板の各配線膜等の測定回路に電気的に接続すべき部分に接触させ、他端を測定回路に接続されたコードの先端に接触させるようになっているものが多い。これに関しては、本願出願人会社は特願平７−６１７２８、特願平８−１８３４４９、特願平１０−６６３３３等により各種提案を行っている。
【０００５】
そして、コンタクト機器として、従来、図４及び図５（Ａ）、（Ｂ）に示すものが多く用いられた。図４はコンタクト機器全体の斜視図、図５（Ａ）はフレーム及びそれに吊下状に取付けられたフローティングボードを斜め下側から視た斜視図、同じく（Ｂ）はハウジングを斜め上側から視た斜視図である。図において、ａはハウジングで、多数のプローブ収納孔ｂ、ｂ、・・・が形成され、各プローブ収納孔ｂ、ｂ、・・・にはプローブｃ、ｃ、・・・が収納されている。
各プローブｃ、ｃ、・・・は、一対の端子とその間に介在するスプリングからなり、上下両端を押さえられるとそのスプリングの弾力に抗して縮んでそれに反発する方向の力をそのスプリングが蓄えるようにされており、それぞれ両端部がハウジングａの主表面から適宜突出し、抜け止めされた状態でプローブ収納孔ｂ、ｂ、・・・に収納されている。
【０００６】
ｄはフローティングボードで、後述するフレーム（ｇ）の下部に吊下げ状に取付けられている。該フローティングボードｄは上記プローブ収納孔ｂ、ｂ、・・・の全部又は一部と対応する位置にプローブ上部挿通孔ｅ、ｅ、・・・が形成されている。ｆ、ｆはフローティングボードｄの両辺の中央部に一体に形成された被取付片であり、後述するフレーム（ｇ）には該被取付片ｆ、ｆにて吊下げられる。
【０００７】
ｇはフレームで、矩形枠状を有し、被測定装置を収納する大きさを有し、一対の相対向する辺の下面には、上記被取付片ｆ、ｆが嵌るフローティングボード取付溝ｈ、ｈが形成されている。この溝ｈ、ｈは、フローティングボードｄ（の被取付片ｆ、ｆ）の厚さよりも稍深くされている。
該フローティングボードｄは、被取付片ｆ、ｆがフローティングボード取付溝ｈ、ｈに遊嵌された状態で、上下動可能で且つ上側に付勢された状態でフレームｇに吊下げ状に保持されており、ｉ、ｉは吊下げ用ピンである。
上記ハウジングａは上記フレームｇの下面に着脱可能（分解可能）に、例えばねじ止めにより、固定されている。
【０００８】
ｊ、ｊは上記フレームｇの一辺の両端部に形成された軸保持片で、該軸保持片j、jにより蓋保持軸ｋが保持されている。
ｌは蓋で、中央部に押さえ（プッシャー）ｍが設けられている。ｎ、ｎは蓋ｌの一辺に設けられた軸遊挿片で、軸遊挿孔を有し、該軸遊挿孔に上記蓋保持軸ｋが遊挿されることにより上記軸保持片ｊ、ｊより内側にてフレームｇに回動自在に保持されている。
ｏは上記蓋保持軸ｋに外嵌されたねじりコイルスプリングで、蓋ｌをフレームｇに対して開く方向に付勢する。
【０００９】
ｐは上記蓋ｌの軸遊挿片ｎ、ｎが形成された側の辺に回動自在に取付けられた断面形状Ｌ字状のロック片で、これの一辺の係合爪ｑが上記フレームｇ底辺の係合部に係合することによりフレームｇに対して蓋ｌを閉じた状態を保つようになっている。そして、ロック片ｐは係合爪ｑに係合したときその係合状態を保つ方向に図面に現れないねじりコイルスプリングにより付勢されている。
押さえ（プッシャー）ｍは上記蓋ｌの中央部に形成された図面に現れない孔に案内されて上下方向（蓋ｌに対して垂直方向）に移動可能なるように嵌合されている。
【００１０】
押さえ（プッシャー）ｍには図面に現れない雌ねじ穴が形成されている。ｓは押さえ操作部で、下部が柱状でその周面に上記雌ねじ穴に嵌合する雄ねじが形成されており、上部はその柱状部の軸と直交する操作片となっており、その操作片を回動することにより押さえｍを上下方向に移動することができる。蓋ｌの上面にはストッパーが突出形成され、該ストッパーに上記操作片が係合して該操作片の回動範囲が略１８０°（度）に規定され、延いては、押さえｍの上下動範囲が一定値に規定される。
【００１１】
このようなコンタクト機器は、蓋ｌを開いた状態で、フレームｇ内のフローティングボードｄ上に、下面に電極を配置した被測定装置、例えばＩＣ（半導体集積回路装置）を載置する。すると、そのＩＣの各電極は、上記フローティングボードｄの各プローブ上部挿通孔上に位置する。
次いで、蓋ｌを閉め、そのロック片ｐのロック爪ｑをフレームｇの底辺の係合部に係合し、閉めた状態を保持する。
その後、上記操作部ｓの操作片ｔを指で操作して時計回り方向に操作すると約１８０°回動し、それに応じた量押さえｍが下側に移動し、被測定ＩＣを下側に押さえる。
【００１２】
すると、フローティングボードｄは下側に押され、ハウジングａのプローブ収納孔ｂに収納された各プローブｃ、ｃ、・・・の上部がフローティングボードｄのプローブ上部挿通孔ｅ、ｅ、・・・内を遊挿されてそれより上に突出して被測定ＩＣの電極に弾接する。これにより、被測定ＩＣの各電極がコンタクト機器自身により他（例えばテスター回路）の各電極に接続された状態になる。
【特許文献１】特開平０８−２３６１８０号公報（特願平７−６１７２８）
【特許文献２】特開平１０−２６６４８号公報（特願平８−１８３４４９）
【特許文献３】特開平１１−２５８３１１号公報（特願平１０−６６３３３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ところで、上述したコンタクト機器には、第１に、被測定装置（例えば被測定ＩＣ）の電極の配置ピッチが異なると、それに応じて、フローティングボードｄを吊下げ状に保持するフレームｇと、ハウジングａの両方を交換しなければならないという問題があった。
この問題について詳細に説明すると、被測定装置の電極の配置ピッチには何通りかあり、その異なる配置ピッチに対応するには、フローティングボードｄが取付けられたフレームｇとハウジングａとの両方について対応すべき配置ピッチの種類数ずつ用意して交換しなければならない。
【００１４】
そして、フローティングボードｄが取下げられたフレームｇ及びハウジングａの両方を電極配置ピッチの異なる種類毎に用意することは、各部材がそれぞれ高精密加工技術の粋（すい）を集めて製造されるものであるから、非常に高価になり、これを用意することは測定業者等にとっては無視できない負担になる。これが従来の無視できない問題の一つであった。
また、従来の技術には、被測定ＩＣを、その各電極が同じ圧力でプローブｃ、ｃ、・・・と接するように押圧することが難しく、正常な測定が難しくなる場合があった。
【００１５】
また、従来のコンタクト機器は、一度に１個の被測定装置、例えばＩＣしか測定できず、測定効率を高めることが難しいという問題があった。
【００１６】
本発明は、このような各種問題を解決すべく為されたものであり、第１に、フレームの交換を伴わず、ハウジング及びフローティングボードを交換するのみで、被測定装置、例えば被測定ＩＣの電極の配置ピッチの違いに対応することができるコンタクト機器を提供することを目的とし、第２に、蓋に取付けられた押さえによる被測定装置にかける圧力分布を調整して各電極とそれに接するプローブとの圧力をより均一にして良好な測定ができるようにすることを目的とし、第３に、測定効率を高めることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
請求項１のコンタクト機器は、被測定装置が納まるフレームと、複数のプローブ収納孔が配設され、該各プローブ収納孔にプローブが収納され、上記フレームの下部に着脱可能に取付けられたハウジングと、該ハウジング上に、上記フレーム内にて上下動可能になるように配置され、上記プローブ収納孔と対応するプローブ上部遊挿孔を有するフローティングボードと、 上記フレームに、ヒンジ機構を介して回動可能に取付けられ、上記フレームに納められた被測定装置を上側から押さえて該被測定装置の下面の各電極を上記フローティングボードの各プローブ上部挿通孔を通って該上部挿通孔から突出した状態になった各プローブの上部と接触させる押さえを有した蓋部と、を有し、上記ハウジングには、上記フローティングボードを上側に付勢する付勢手段を設け、上記フレームには、上記フローティングボードの移動範囲の上側限界点を規定する位置規定手段を設けてなることを特徴とする。
【００１８】
請求項２のコンタクト機器は、請求項１のコンタクト機器において、前記フレームは被測定装置が複数個納まる大きさを有し、前記ハウジングは、配設されたプローブ収納孔の数が前記複数個分の被測定装置の電極数以上であり、前記フローティングボードは、前記プローブ収納孔の数以上のプローブ上部挿通孔を有し、複数個の被測定装置単位で測定が為し得るようにされたことを特徴とする。
【００１９】
請求項３のコンタクト機器は、複数のプローブ収納孔が配設され、該各プローブ収納孔にプローブがその両端が両主面から突出する状態で収納され、上記フレームの下部に着脱可能に取付けられたハウジングと、該ハウジングに、ヒンジ機構を介して回動可能に取付けられ、上記フレームに納められた被測定装置を上側から押さえて該被測定装置の下面の各電極を上記ハウジングの各プローブ挿通孔から上に突出する各プローブの上部と接触させる押さえを有した蓋部と、を有するコンタクト機器であって、上記押さえは蓋部に、複数箇所にて高さ微調整可能な調整ねじにより固定されてなることを特徴とする。
請求項４のコンタクト機器は、請求項３のコンタクト機器において、前記ハウジングは、プローブ収納孔が複数個の被測定装置分配設され、複数個の被測定装置単位で測定が為し得るようにされたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１のコンタクト機器によれば、被測定装置の電極配置ピッチの違いに対しては、フレームを交換する必要はなく、単に、ハウジングと、該ハウジング上に配置されるフローティングボードを交換すれば、対応することができ、被測定装置の電極配置ピッチの違いに対応するに必要な準備すべき部材の数を従来よりも減らすことができ、延いては設備費を低減することができる。
【００２１】
請求項２のコンタクト機器によれば、一度に複数個の被測定装置を測定することができる。従って、測定効率を高めることができる。
請求項３のコンタクト機器によれば、複数箇所の高さ微調整可能な調整ねじをそれぞれ独立して調整することができ、延いては、押さえの向きを微調整することができる。
従って、押さえの向きを微調整することができ、延いては、被測定ＩＣの各電極のプローブに対する圧力を均一化することができる。依って、良好な測定ができる。
請求項４のコンタクト機器によれば、一度に複数個の被測定装置を測定することができる。従って、測定効率を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明コンタクト機器の第１のものは、基本的に、フレームと、該フレームに着脱可能に取付られたハウジングと、該ハウジング上のフローティングボードと、上記フレームに回動自在に取付けられた蓋部とからなり、該フレームは被測定装置が収納され得るようにされ、上記ハウジングは、プローブを収納するプローブ収納孔を有し、上記フローティングボードはプローブ上部遊挿孔を有し、上記ハウジングと上記フレームとの間に上側に付勢され上下動可能な状態で保持されている。
【００２３】
そして、本発明コンタクト機器の第１のものにおいて、フレームは被測定装置が複数個納まる大きさを有し、前記ハウジングは、配設されたプローブ収納孔の数が前記複数個分の被測定装置の電極数以上であり、前記フローティングボードは、前記プローブ収納孔の数以上のプローブ上部挿通孔を有し、複数個の被測定装置単位で測定が為し得るようにしても良い。
【００２４】
また、本発明の第２のものは、複数箇所の高さ微調整可能な調整ねじをそれぞれ独立して調整することができるようにする。
【実施例１】
【００２５】
以下、本発明を図示実施例に従って詳細に説明する。図１は本発明コンタクト機器の第１の実施例を示す分解斜視図である。２はハウジングで、複数個のプローブ収納孔が配設され、各プローブ収納孔にはプローブ４、４、・・・が抜け止めされて収納されており、その上部及び下部は該ハウジング２の上面及び下面から突出せしめられている。
６、６、６、６は上記ハウジング２上面の上記プローブ４、４、・・・が配設された領域の外側に配設された弾縮ピンで、上側に付勢された状態で取付けられており、次に述べるフローティングボード８を付勢して保持する。
【００２６】
上記フローティングボード８は、中央部の矩形領域が他の部分より肉薄に形成され、その矩形領域内に上記プローブ４、４、・・・と対応してプローブ上部挿通孔１０、１０、・・・が形成されている。破線で示す６ａ、６ａ、６ａ、６ａは該フローティングボード８の上記弾縮ピン６、６、６、６が当たる位置を示す。
１２、１２、１２、１２は該フローティングボード８上面の周縁に設けられた凹溝で、後述するフレーム（１４）のストッパー（１８）が当たる。
【００２７】
１４はフレームで、矩形枠状を有し、上記フローティングボード８を案内してその上下動を許容する大きさを有する。
該フレーム１４は、外側面から延びて内側面に開口するストッパー保持ねじ孔１６、１６、１６、１６が形成され、該ストッパー保持ねじ孔１６、１６、１６、１６には、ねじらなるストッパー１８、１８、１８、１８が外側から螺合され、その先端は矩形枠状フレーム１４の内側面から内側に突出され、その突出した先端部は上記フローティングボード８の凹溝１２、１２、１２、１２と当接することにより該フローティングボード８の上下動範囲の上側限界点を規定する。
【００２８】
該フレーム１４の下面には、上記ハウジング２が、該フレーム１４に上記フローティングボード８が案内されて上下動可能な状態で例えばねじ止め等により分解可能に固定されている。そして、上記フローティングボード８は上記弾縮ピン６、６、６、６により上側に付勢されてその凹溝１２、１２、１２、１２が上記ストッパー１８、１８、１８、１８に当たる位置、即ち上下動範囲の上側限界点に位置した状態を保つ。
【００２９】
２０、２０は上記フレームｇの一辺の両端部に形成された軸保持片で、該軸保持片２０、２０により蓋保持軸２１が保持されている。
２２は蓋部で、中央部に押さえ（プッシャー）２４が設けられている。２６、２６は蓋部２２の一辺に設けられた軸遊挿片で、軸遊挿孔を有し、該軸遊挿孔に上記蓋保持軸２１が遊挿されることにより上記軸保持片２０、２０より内側にてフレームｇに回動自在に保持されている。
２７は上記蓋保持軸２１に外嵌されたねじりコイルスプリングで、蓋部２２をフレーム１４に対して開く方向に付勢する。
【００３０】
３０は上記蓋部２２の軸遊挿片２６、２６が形成された側の辺に回動自在に取付けられた断面形状Ｌ字状のロック片で、これの一辺の係合爪３２が上記フレーム１４底辺の係合部に係合することによりフレーム１４に対して蓋部２２を閉じた状態を保つようになっている。そして、ロック片３０は係合爪３２に係合したときその係合状態を保つ方向に図面に現れないねじりコイルスプリングにより付勢されている。
押さえ（プッシャー）２４は上記蓋部２２の中央部に形成された図面に現れない孔に、該孔に案内されて上下方向（蓋部２２に対して垂直方向）に移動可能なるように嵌合されている。
【００３１】
上記蓋部２２の略中央部には図面に現れない雌ねじ穴が形成されている。３４は押さえ操作部で、下部が柱状でその周面に上記雌ねじ穴に嵌合する雄ねじが形成されており、上部はその柱状部の軸と直交する操作片３６となっており、その操作片３６を回動することにより押さえ２４を上下方向に移動することができる。蓋部２２の上面には図面に現れないストッパーが突出形成され、該ストッパーに上記操作片３４が係合して該操作片の回動範囲が略１８０°（度）に規定され、延いては、押さえ２４の上下動範囲が一定値に規定される。
【００３２】
このようなコンタクト機器は、蓋部２２を開いた状態で、フレーム１４により上下方向に案内され、上下動範囲の上側限界点に位置するフローティングボード８上に、下面に電極を配置した被測定装置、例えばＩＣ（半導体集積回路装置）を載置する。すると、そのＩＣの各電極は、上記フローティングボード８の各プローブ上部挿通孔１０、１０、・・・上に位置する。
次いで、蓋部２２を閉め、そのロック片３０のロック爪３２をフレーム１４の底辺の係合部に係合し、閉めた状態を保持する。
その後、上記操作部３４の操作片２８を指で操作して時計回り方向に操作すると約１８０°回動し、それに応じた量押さえ２４が下側に移動し、被測定ＩＣを下側に押さえる。
【００３３】
すると、フローティングボード８は下側に押され、ハウジング２のプローブ収納孔に収納された各プローブ４、４、・・・の上部がフローティングボード８のプローブ上部挿通孔１０、１０、・・・内を遊挿されてそれより上に突出して被測定ＩＣの電極に弾接する。これにより、被測定ＩＣの各電極がコンタクト機器自身により他（例えばテスター回路）の各電極に接続された状態になる。
【００３４】
このコンタクト機器においては、電極配置ピッチの異なる被測定装置を測定するときは、フローティングボード８とハウジング２のみを交換すればよい。即ち、電極配置ピッチの違いに対しては、フレーム１４を交換する必要はなく、単に、ハウジング２と、該ハウジング２上に配置されるフローティングボード８を交換すれば、対応することができ、被測定装置の電極配置ピッチの違いに対応するに必要な準備すべき部材の数を従来よりも減らすことができ、延いては設備費を低減することができる。
【実施例２】
【００３５】
図２（Ａ）、（Ｂ）は本発明コンタクト機器の第２の実施例を示すもので、（Ａ）はコンタクト機器の断面図、（Ｂ）は蓋部の分解斜視図である。
図面において、５０はハウジング兼用フレームで、被測定ＩＣ５１を受ける凹部５２を有し、凹部５２の内底面に当たる領域には、プローブ５６、５６、・・・が保持され、各プローブ５６の上下両端は上下両面から突出せしめられている。該各プローブ５６、５６、・・・は図面では、単に恰も一つの針であるかのように図示したが、実際には、一対のプローブ素子とその間に介在するスプリングからなり、プローブ収納孔内に抜け止めされて収納されている。
【００３６】
５８、５８はハウジング兼用フレーム５０の一辺に形成された一対の蓋部支持片（図面には一方の蓋部支持片５８のみ現れる。）で、一対の蓋部支持片５８、５８間には蓋部保持軸６０が保持されている。
６２は蓋部であり、中央部下面に押さえ６４が納まる２段構造の凹部６５が形成されている。
６６、６６、６６、６６は蓋部６２に形成されたねじ孔で、蓋部６２上面から延びて上記凹部６６内底面に開口するように形成されている。７０は蓋部６２の一端部に設けられた被保持片、７２は該被保持片７０に形成された軸嵌合孔で、これには上記蓋部保持軸６０が、その両端部が蓋部６２側面から突出するように嵌合されている。
【００３７】
そして、上述したように、その蓋部保持軸６０の蓋部６２側面から突出した部分が上記蓋部支持片５８、５８に固定されている。従って、蓋部６２はハウジング兼用フレーム５０の一辺に回動可能に保持された状態になる。更に、蓋部６２は図面に現れないねじりコイルスプリングにより常に開く方向に付勢されている。
７４はロック片で、蓋部６２の上記被保持片７０が設けられた辺と反対側の辺にて軸７６により回動自在に取付けられている。７８は該ロック片７４の係合爪で、上記ハウジング兼用フレーム５０の係合溝８０に係合することにより蓋部６２でハウジング兼用フレーム５０の上側を塞いだ状態を保つことができる。尚、ロック片７４は図面に現れないねじりコイルスプリングによりロック状態を保つ方向に付勢されている。
【００３８】
上記押さえ６４は上下方向に長い断面形状の軸挿孔８２、８２が形成されている。
８４、８４は上記ハウジング兼用フレーム５０に形成された押さえ保持ねじ孔で、これには押さえ保持ねじ８６がねじ込まれ、そして、該押さえ保持ねじ８６が上記押さえ６４の軸挿孔８２、８２に挿通されている。それにより、押さえ６４は蓋部６２の下部に上下動可能に保持された状態になる。
８８、８８、８８、８８は該押さえ６４の上面に、上記ねじ挿通孔６６、６６、６６、６６に対応して形成されたねじ穴である。
【００３９】
９０、９０、９０、９０は調整用ねじで、上記ねじ挿通孔６６、６６、６６、６６に挿通され、その先端部が上記ねじ穴８８、８８、８８、８８に螺合し、その各調整用ねじ９０、９０、９０、９０の螺合量の調整により押さえ６４の向きを調整することができる。
【００４０】
このようなコンタクト機器は次のように使用する。蓋部６２を開いた状態で、先ず、上記ハウジング兼用フレーム５０の凹部５２上に被測定ＩＣ５１を置く。すると、被測定ＩＣ５１下面の各電極は、自己と対応するところのハウジング兼用フレーム５０の各プローブ５６、５６、・・・上に位置せしめられる。
そして、蓋部６２を図面に現れないねじりコイルスプリングのばね力に抗して閉じ、更に、ロック片７４の上記係合爪７８を係合溝部８０に係合させてその蓋部６２を閉じた状態を保つ。
【００４１】
その状態で、測定を開始する。ところで、もし、被測定ＩＣ５１の向きが悪く各電極のプローブに対する弾力が一定ではないときは、測定ができない。具体的には、測定値が予測値と全く異なる値になり、測定結果と認識できない値になる。
そこで、各調整用ねじ９０、９０、９０、９０のねじ穴８８、８８、８８、８８に対するねじ込み量を調整すると被測定ＩＣ５１の向きが正常になりうる。そして、正常になると、各電極のプローブに対する弾力が一定になり、延いては測定が可能な状態になる。即ち、測定値が予想範囲内の値になり、その結果を以て測定結果とする。
【００４２】
このようなコンタクト機器によれば、複数箇所の高さ微調整可能な調整ねじ９０、９０、９０、９０をそれぞれ独立して調整することができ、延いては、押さえ６４の向きを微調整することができる。
従って、押さえ６４の向きを微調整することができ、延いては、被測定ＩＣ５１の各電極のプローブ５６、５６、・・・に対する圧力を均一化することができる。依って、良好な測定ができる。
【実施例３】
【００４３】
図３は本発明コンタクト機器の第３の実施例の要部を示すところの被測定ＩＣ、フレーム、フローティングボード及びハウジングの分解斜視図である。
１００、１００、１００及び１００は同時に測定される被測定ＩＣであり、本実施例のコンタクト機器は４個の被測定ＩＣを同時に測定できるようになっている。
１０２はフレームで、４個のＩＣ１００、１００、１００及び１００を同時に測定することができる大きさを有する。１０４はフローティングボードで、４個のＩＣ１００、１００、１００及び１００を測定できるプローブ上部挿通孔１０６、１０６、・・・が形成されている。該フローティングボード１０４はフレーム１０２に吊下げ状に取付けられている。
【００４４】
１０８はハウジングで、４個のＩＣ１００、１００、１００及び１００の測定が可能な数のプローブ１１０、１１０、・・・が保持されている。
このように、本コンタクト機器は、複数個の被測定ＩＣ１００、１００、１００及び１００を同時に測定できるようにするものである。
本コンタクト機器によれば、一度に複数個の被測定装置を測定することができる。従って、測定効率を高めることができる。
【００４５】
尚、このように、複数個の被測定ＩＣを同時に測定することができるようにすることは、先ず、第１の実施例、第２の実施例に適用できる。第１の実施例に適用する場合には、フレーム１４が被測定装置が複数個納まる大きさを有し、ハウジング２も複数の被測定装置分相応の大きさを有し、プローブ収納孔の数が前記複数個分の被測定装置の電極数以上であり、前記フローティングボードも、複数の被測定装置分相応の大きさを有し、前記プローブ収納孔の数以上のプローブ上部挿通孔を有するようにすることによって実現できる。
また、第２の実施例に適用する場合には、フレーム（ハウジング兼用フレーム）として複数個の被測定装置分の大きさを有し、プローブ収納孔が複数個の被測定装置分配設されたものを用いることによって為し得る。
また、この複数個の被測定装置を一度に測定する技術は第１、第２の実施例以外のタイプのコンタクト機器にも適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４６】
本発明は、被測定体の各電極と測定回路の各端子との間を電気的に接続するところの、一端が被測定体の電極に弾接（弾力を介して接触）し、他端が測定回路側のコードの電線等に弾接（弾力を介して接触）するコンタクトプローブを用いたコンタクト機器に一般的に広く利用可能性がある。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明コンタクト機器の第１の実施例を示す分解斜視図である。
【図２】（Ａ）、（Ｂ）は本発明コンタクト機器の第２の実施例を示すもので、（Ａ）はコンタクト機器の断面図、（Ｂ）は蓋部の分解斜視図である。
【図３】本発明コンタクト機器の第３の実施例を示す被測定ＩＣ、フレーム、フローティングボード及びハウジングを示す分解斜視図である。
【図４】本発明の背景技術に係る一つのコンタクト機器の全体の斜視図である。
【図５】上記背景技術に係る上記一つのコンタクト機器を示すもので、（Ａ）はフレーム及びそれに吊下状に取付けられたフローティングボードを斜め下側から視た斜視図、（Ｂ）はハウジングを斜め上側から視た斜視図である。
【符号の説明】
【００４８】
２・・・ハウジング、４・・・プローブ、
６・・・フローティングボードを付勢する手段、８・・・フローティングボード、
１４・・・フレーム、１６、１８・・・位置規定手段、
２０、２１、２６、２７・・・ヒンジ機構、２２・・・蓋部、２４・・・押さえ、５０・・・ハウジング兼用フレーム、５１・・・被測定装置（被測定ＩＣ）、
６２・・・蓋部、６４・・・押さえ、６６・・・調整ねじ、
１００・・・被測定装置（被測定ＩＣ）。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定装置が納まるフレームと、
複数のプローブ収納孔が配設され、該各プローブ収納孔にプローブが収納され、上記フレームの下部に着脱可能に取付けられたハウジングと、
上記ハウジング上に、上記フレーム内にて上下動可能になるように配置され、上記プローブ収納孔と対応するプローブ上部遊挿孔を有するフローティングボードと、
上記フレームに、ヒンジ機構を介して回動可能に取付けられ、上記フレームに納められた被測定装置を上側から押さえて該被測定装置の下面の各電極を上記フローティングボードの各プローブ上部挿通孔を通って該上部挿通孔から突出した状態になった各プローブの上部と接触させる押さえを有した蓋部と、
を有し、
上記ハウジングには、上記フローティングボードを上側に付勢する付勢手段を設け、
上記フレームには、上記フローティングボードの移動範囲の上側限界点を規定する位置規定手段を設けてなる
ことを特徴とするコンタクト機器。
【請求項２】
前記フレームは被測定装置が複数個納まる大きさを有し、
前記ハウジングは、配設されたプローブ収納孔の数が前記複数個分の被測定装置の電極数以上であり、
前記フローティングボードは、前記プローブ収納孔の数以上のプローブ上部挿通孔を有し、
複数個の被測定装置単位で測定が為し得るようにされた
ことを特徴とする請求項１記載のコンタクト機器。
【請求項３】
複数のプローブ収納孔が配設され、該各プローブ収納孔にプローブがその両端が両主面から突出する状態で収納されたハウジングと、
上記ハウジングに、ヒンジ機構を介して回動可能に取付けられ、上記フレームに納められた被測定装置を上側から押さえて該被測定装置の下面の各電極を上記ハウジングの各プローブ挿通孔から上に突出する各プローブの上部と接触させる押さえを有した蓋部と、
を少なくとも有するコンタクト機器であって、
上記押さえは蓋部に、複数箇所にて高さ微調整可能な調整ねじにより固定されてなる
ことを特徴とするコンタクト機器。
【請求項４】
前記ハウジングは、プローブ収納孔が複数個の被測定装置分配設され、
複数個の被測定装置単位で測定が為し得るようにされた
ことを特徴とする請求項３記載のコンタクト機器。
【請求項１】
被測定装置が納まるフレームと、
複数のプローブ収納孔が配設され、該各プローブ収納孔にプローブが収納され、上記フレームの下部に着脱可能に取付けられたハウジングと、
上記ハウジング上に、上記フレーム内にて上下動可能になるように配置され、上記プローブ収納孔と対応するプローブ上部遊挿孔を有するフローティングボードと、
上記フレームに、ヒンジ機構を介して回動可能に取付けられ、上記フレームに納められた被測定装置を上側から押さえて該被測定装置の下面の各電極を上記フローティングボードの各プローブ上部挿通孔を通って該上部挿通孔から突出した状態になった各プローブの上部と接触させる押さえを有した蓋部と、
を有し、
上記ハウジングには、上記フローティングボードを上側に付勢する付勢手段を設け、
上記フレームには、上記フローティングボードの移動範囲の上側限界点を規定する位置規定手段を設けてなる
ことを特徴とするコンタクト機器。
【請求項２】
前記フレームは被測定装置が複数個納まる大きさを有し、
前記ハウジングは、配設されたプローブ収納孔の数が前記複数個分の被測定装置の電極数以上であり、
前記フローティングボードは、前記プローブ収納孔の数以上のプローブ上部挿通孔を有し、
複数個の被測定装置単位で測定が為し得るようにされた
ことを特徴とする請求項１記載のコンタクト機器。
【請求項３】
複数のプローブ収納孔が配設され、該各プローブ収納孔にプローブがその両端が両主面から突出する状態で収納されたハウジングと、
上記ハウジングに、ヒンジ機構を介して回動可能に取付けられ、上記フレームに納められた被測定装置を上側から押さえて該被測定装置の下面の各電極を上記ハウジングの各プローブ挿通孔から上に突出する各プローブの上部と接触させる押さえを有した蓋部と、
を少なくとも有するコンタクト機器であって、
上記押さえは蓋部に、複数箇所にて高さ微調整可能な調整ねじにより固定されてなる
ことを特徴とするコンタクト機器。
【請求項４】
前記ハウジングは、プローブ収納孔が複数個の被測定装置分配設され、
複数個の被測定装置単位で測定が為し得るようにされた
ことを特徴とする請求項３記載のコンタクト機器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２００６−３８５６２（Ｐ２００６−３８５６２Ａ）
【公開日】平成１８年２月９日（２００６．２．９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００４−２１７２３５（Ｐ２００４−２１７２３５）
【出願日】平成１６年７月２６日（２００４．７．２６）
【出願人】（５９５０４１２８０）東洋電子技研株式会社 (7)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年２月９日（２００６．２．９）
【国際特許分類】
【出願日】平成１６年７月２６日（２００４．７．２６）
【出願人】（５９５０４１２８０）東洋電子技研株式会社 (7)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]